【課題】近年の基板サイズの大型化傾向に従って、基板を戴置するためのステージも大きくなってきている。このため、測定装置そのものが大きくなってきているこの大きくなった装置を収容するべく、サーマルチャンバは、送風ブース内のスペースの内容積が大きくなり、従って温同調節に必要な雰囲気容量が多くなるため、そのスペース内の温度性能を保つため、温調ユニットを大くしなければならないという問題があった。
【解決手段】測定装置のステージ部架台より出された支持金具によって、サーマルチャンバの送風ブースを支持し、石定盤より上方のステージ部分のみ、一定温度に保つ構造とし、更に好ましくは、温調ユニットと送風ブースとを分離することにより、温調ユニットの機械振動を送風ブースに伝えない機能を備えたサーマルチャンバとした。 （もっと読む）

【課題】比較的安価な２軸の加速度センサを用いて測定対象となる車両挙動を表すパラメータの数を減らしながら、車両の姿勢を高精度で推定することができる装置等を提供する。
【解決手段】車両姿勢推定装置１００によれば、車両１の挙動を表すパラメータとして当該車両の速度と、２軸（ロール軸およびピッチ軸）方向の加速度と、１軸（ヨー軸）まわりの角速度とが測定される。また、当該測定結果に基づき、グローバル座標系のｚ軸と車両座標系のヨー軸とを一致させるためのグローバル座標系の回転を表す第１演算子と、グローバル座標系のｘ軸およびｙ軸のそれぞれと車両座標系のロール軸およびピッチ軸のそれぞれとを一致させるためのグローバル座標系の回転を表す第２演算子との合成演算子にしたがってグローバル座標系における車両の姿勢が推定される。 （もっと読む）

【課題】多点プローブにおいて、複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差関連値記録装置を提供する。
【解決手段】
零点誤差関連値記録装置は試料を回転させるスピンドルと、複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃを含む真直形状測定用のセンサユニット２２０を試料の測定面に相対するように支持するセンサキャリッジ２３０を備える。試料が所定回転角度回転する毎に変位センサＡ，Ｂ，Ｃから、試料の測定面における同心円に沿う形状値ｆ（ｒ_F，θ），ｆ（r₀，θ），ｆ（r_R，θ）及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０が読取り、読取りした形状値及び零点誤差を含む測定値を記憶装置３４０に記憶する。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差の変動検出方法を提供する。
【解決手段】
多点プローブの零点誤差の変動検出方法は、センサユニット２２０をスピンドルにて回転されている状態の試料の測定面に相対するように配置して、試料が１回転する間において、試料が所定回転角度回転する毎に複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃから出力される試料の測定面における同心円に沿う形状値及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０に読取りさせて記憶装置３４０に記憶させる。記憶装置３４０が記憶した、同一の試料に関する新しい測定値と古い測定値とに基づいて、零点誤差の変動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】小型化を容易に図れ、製造上の負担を軽減でき、スピンドルの絶対位置を測定可能な絶対位置測定装置を提供すること。
【解決手段】スピンドル３の回転量を第１の周期で変化する位相信号として検出する第１のロータリーエンコーダと、スピンドル３の回転量を第２の周期で変化する位相信号として検出する第２のロータリーエンコーダとを備える。第１のロータリーエンコーダの第１のロータ４２の回転は、第１の回転円筒４３の外周に形成された第１の歯車４８と、第２の回転円筒５２の外周に形成された第２の歯車５５とに噛合する中継歯車５３によって、第２のロータ５１に伝達される。従って、二つの異なる周期の位相信号に基づいてスピンドルの絶対位置を算出できる。また、従来のようなスピンドルの螺旋状のキー溝を設ける必要がなく、小型化を容易に図れる。また、製造上の負担を軽減させることができる。 （もっと読む）

【課題】汎用性が高く、測定対象タイヤの回転時におけるリムずれを連続的に測定することができるリムずれ測定装置およびリムずれ測定方法を提供すること。
【解決手段】リムずれ測定装置１は、タイヤ周方向において不規則に連続して形成される陸溝配列ＴＤ３がタイヤ表面に形成された測定対象タイヤＴの回転時に陸溝配列ＴＤ３に対向して配置され、陸溝配列ＴＤ３における凹凸を検出する凹凸検出センサ２と、リムＲの基準リム回転位置を検出する回転位置センサ３と、検出された基準リム回転位置から測定対象タイヤＴの１回転分で検出された凹凸に基づいて凹凸配列波形を生成する凹凸配列波形生成部４６と、リムずれ測定前において測定対象タイヤＴの回転時に生成された基準凹凸配列波形およびリムずれ測定中において測定対象タイヤＴの回転時に繰り返し生成される回転凹凸配列波形に基づいてリムずれを判定するリムずれ判定部４８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等が発生することなく載置することができるハニカム構造体用載置台を提供すること。
【解決手段】 ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、上記ハニカム構造体の端面と重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とするハニカム構造体用載置台。 （もっと読む）

【課題】小型乗用作業機用に使用できる安価なステアリングセンサはまだ一般には普及していない。ステアリングセンサは従来自動車の走行安定制御用として開発されてきたが、精密複雑でまだまだ高価なものであるのが現状である。加えて使用環境的には極めて条件の良い自動車用とは異なり屋外環境で使用する小型の作業機械には耐環境性からみても使用は難しい。しかし簡素で安価な作業機械でも近年安全装置の必要性が言われており、特に乗用作業機械においては走行安全制御装置実現の為に作業機械用ステアリングセンサの開発が必要になっている。
【解決手段】ラック＆ピニオン式操舵機構を搭載する小型乗用作業機械で、ラックの直線動作に着目し、ラックに連動する連動体をラックに連結し、その連動体に当接又は近接又は連動するスイッチ又は位置センサ又は変位センサを配設した。
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【課題】 フィルムの膜厚測定に関するものであり、フィルムの製膜上に起因するフィルムの波状の撓みによる影響を解消し、フィルムにキズを付けることなく高精度な測定方法、及び測定装置を実現する。
【解決手段】フィルムの厚みを連続的に非接触で測定する方法において、膜厚を計測するセンサーで前記フィルムの膜厚を測定する範囲周辺の表面に、表と裏側、またはどちらか片側より空気を吹き付けるノズルを備え、フィルムの幅方向の膜厚を測定する際に該膜厚測定センサーと該吹き出しノズルをその位置や速度を同期させてフィルムの幅方向に移動させることを特徴とするフィルム厚み測定方法、およびフィルム厚み測定装置。 （もっと読む）

【課題】 第１の座標変換情報、第２の座標変換情報の概略値を外部から入力することなく、より簡便かつ確実に校正情報を取得する為の技術を提供すること。
【解決手段】 校正情報算出部５４０は、第２の座標変換情報の複数の候補と、センサ計測値と、世界座標系におけるビデオカメラ１００の位置及び姿勢とを用いて、第１の座標変換情報の候補を複数求める。そして、求めた複数の候補を統合して１つの第１の座標変換情報を求める。そして、第２の座標変換情報の候補と、第１の変換情報とを校正情報の初期値とし、校正情報を補正する為の繰り返し演算を行う。 （もっと読む）

【課題】安価な測定装置を用いて外部の環境によらず安定的にガス槽の傾斜を測定できる有水式ガスホルダの傾斜測定装置を提供すること。
【解決手段】水槽と第１〜第３基柱と昇降自在に設けられたガス槽４１を備える有水式ガスホルダの傾斜測定装置１０を提供する。この傾斜測定装置１０は、ガス槽４１に対して同一の相対高さで連結された第１〜第３被検知体と、第１基柱の第１高さに配置され第１被検知体の通過を検知する第１センサ１１Ａと、第１基柱〜第３基柱の第２高さにそれぞれ配置され、対応する第１被検知体〜第３被検知体の通過を検知する第２〜第４センサ１１Ｂ〜１１Ｄと、ガス槽が上昇又は下降するときに、第１センサ１１Ａと第２センサ１１Ｂとの検知タイミングの時間差と、第２〜第４センサ１１Ｂ〜１１Ｄによる検知タイミングと、に基づいてガス槽４１の傾斜を算出する傾斜算出手段１３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度な形状測定を行う微細形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】固定端１４ｂに保持された状態でワーク４０をなぞるスタイラス３４を自由端１４ａに持つ可撓性カンチレバー１４と、該固定端１４ｂを上下動する駆動手段２０と、該ワーク４０に対する位置及び姿勢が変化しない基準部材２２と、該基準部材２２とスタイラス３４との上下方向の相対変位を測定し、自由端変位情報を出力する自由端変位計２４と、該基準部材２２と固定端１４ｂとの上下方向の相対変位を測定し、固定端変位情報を出力する固定端変位計２６と、該自由端変位情報及び固定端変位情報に基づきカンチレバー１４の上下方向のたわみ量を求める演算手段２８とを備え、該たわみ量が所定値となるように該固定端１４ｂを上下させつつ該ワーク４０を走査して得られた、該自由端変位情報に基づき、該ワーク４０の形状を把握することを特徴とする微細形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】本発明は、管路位置計測装置の姿勢・方位角センサーを最終地点で１８０°旋回させて計測することにより、管路位置の誤差を高精度に除去することを目的とする。
【解決手段】本発明による管路位置の検出方法は、管路位置計測装置(3)が管路(1)の出発地点(4)から最終地点(5)に到達した状態で、姿勢・方位角センサー(7)を１８０°旋回させた後に元に戻し、姿勢・方位角のＸ軸ベクトルと速度方向ベクトルの平行度誤差を管路(1)の位置の誤差として補正する方法である。 （もっと読む）

【課題】ステアリングシャフトの軸方向の厚みを薄くした回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングシャフトと一体に回転するロータ５の回転を減速する減速機構を、第１平歯車６、第２平歯車７によって構成したので、平歯車は軸方向に比較的薄く形成しやすく、減速機構としてウォームギア等を用いた場合と比較して、回転角度検出装置の薄型化を図ることができる。また第１平歯車６と第２平歯車７との間で、小径歯車６Ａ、７Ａと大径歯車６Ｂ、７Ｂの軸方向位置が交互となるように、第１平歯車６および第２平歯車７を配置することにより、回転力の伝達経路が軸方向に広がることがなく、ロータ５の軸方向の厚みの薄い回転角度検出装置１を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】加工対象のうねり量を取得し、そのうねり量に基づいて光学系に設けられた焦点調整機構を制御して加工対象上に焦点を合わせる焦点調整方法において、よりスムーズに焦点調整機構を動作させる。
【解決手段】加工対象１５０上に焦点を合わせる焦点調整機構を有する複数の光学系１６２および加工対象１５０との距離を測定する距離測定手段１８４と加工対象１５０とを相対的に移動させ、その移動により距離測定手段１８４によって上記移動方向に沿って測定された測定データに基づいて、各光学系１６２の位置における加工対象１５０のうねり量を取得し、その取得したうねり量を上記移動方向について補間することによって各光学系１６２の焦点調整機構の制御データを生成し、その生成した制御データに基づいて焦点調整機構を制御する。 （もっと読む）

【課題】車輪とレールとの接触位置を連続的に測定する。
【解決手段】板部１ｂの中央部に設けた輪重測定用孔１ｄの、同一円周上の内周対向位置に１組の輪重測定用歪みゲージ２ａ…を、板部１ｂのボス側の表裏に横圧測定用歪みゲージ３ａ…、３ａ’…をそれぞれ貼り付けたＰＱ車輪１の、横圧測定用歪みゲージ３ａ…、３ａ’…から半径方向外方に延長した線上の、板部１ｂのリム側のＲしまい部近傍に接触位置検知用歪みゲージ４ａ…、４ａ’…をさらに貼り付ける。横圧測定用歪みゲージ３ａ…、３ａ’…、接触位置検知用歪みゲージ４ａ…、４ａ’…とそれぞれのブリッジ回路から計測された歪みと、輪重測定用歪みゲージ２ａ…とブリッジ回路から得られた輪重とから、車輪とレールとの接触位置を検知する。
【効果】走行中の車輪とレールとの接触位置を、高い検知精度で連続的に測定でき、脱線に対する安全性をより厳密に評価できる。 （もっと読む）

【課題】短時間で確実に車両を正対することが可能な車両正対装置および車両正対方法を提供する。
【解決手段】車両正対装置１に、正対位置に進入する乗用車７の車輪（右前輪８Ｒ、左前輪８Ｌ、右後輪９Ｒ、左後輪９Ｌ）をガイドするとともに、正対位置に到達した乗用車７の車輪の両側面を規制するガイド式正対装置２と、正対位置に到達した乗用車７の車輪を回転駆動するランナウト式正対装置４と、ガイド式正対装置２およびランナウト式正対装置４の動作を制御する制御装置６と、を具備し、制御装置６は、ランナウト式正対装置４による乗用車７の車輪の回転駆動が開始されてから車輪の回転速度が所定のランナウト速度となるまでの間にガイド式正対装置２による車輪の規制を解除する。 （もっと読む）

【課題】ケース体の部品コストを低減すると共に、回転に伴って発生する静電気が回転検出に影響を及ぼさない回転検出センサを提供する。
【解決手段】ケース体１に回転軸に追従して回転する回転体２と、回転体２の回転角度を検出する角度検出部３とを納めてなるものであって、ケース体１は上方開放状で周縁部に耳部１４を有した下ケース体１０と、下ケース体１０の上面を覆うカバー体１１とからなり、下ケース体１０の耳部１４には貫通孔１５が形成されると共に、貫通孔１５にはその内周面に略適合する金属カラー４が挿入され、カバー体１１は金属材からなると共に、耳部１４の貫通孔１５に挿入された金属カラー４の上面を含めて下ケース体１０の上面を覆ってなる。 （もっと読む）

【課題】バー塗布装置等に使用される円柱状部材の真直度を精度よく測定するのに好適な真直度測定装置、方法、及び該真直度測定装置で測定した円柱状部材を使用した塗布方法を提供する。
【解決手段】バーＢの上端部を把持しながら糸状部材１４により吊り下げ、バーの上端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第１の支持部材２４により支持するとともに、バーの下端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第２の支持部材２６により支持し、バーを回転駆動させるとともに、変位センサ２０をバーに沿って移動させながらバーの振れを非接触で検出する。 （もっと読む）

【課題】 プレス機の定盤面における悪化した平面度を良好な平面度であるときと同等の状態に補正する定盤面精度補正方法と、その補正のための立体補正シートを提供する。
【解決手段】 定盤面の基準平面からの変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし凹凸を反転した等高線データを得て、その各等高線が外形となるように補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得て、各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように積層接着し立体補正シートを得て、定盤面と立体面とが対向しかつ定盤面と立体補正シートの対応する測定点が一致するように位置合せして設置するようにした定盤面精度補正方法とその補正のための立体補正シート。 （もっと読む）