【課題】
非接触座標測定機の真直度の評価作業に時間が掛からないようにする。
【解決手段】
直方体形の基材１１と基材１１の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体１６，１７，１８，１９とからなる評価用標準器１を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての校正値Ａを得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機２で評価用標準器１を測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての測定値Ｂを得る第２の手順と、測定値Ｂから校正値Ａを引いた補正値Ｃから非接触座標測定機２の真直度を評価する第３の手順とを実行する。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度の経時変化を把握する方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】長尺体の直線度の経時変化を把握する方法は、角速度センサーが取り付けられた移動体を、長尺体にガイドされながら移動させる移動工程（Ｓ３）と、前記移動体が移動した際の前記角速度センサーの姿勢の変化の情報を前記角速度センサーが取得する取得工程（Ｓ４）と、前記角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、情報処理部が関連づけして情報処理する情報処理工程（Ｓ５）と、定期的に前記移動体を移動させ、その都度前記情報処理部が前記情報処理し、該情報処理した結果の経時変化を、記憶部が記憶する記憶工程（Ｓ６）と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度を容易に測定することを考慮した直線度測定装置を提供すること。
【解決手段】長尺体１３の直線度測定装置１は、第１直線ガイド部材２と、第２直線ガイド部材３と、移動体４と、角速度センサー（５）と、情報処理部１０と、測定対象の長尺体１３と前記第２直線ガイド部材３とが一つの直線軸を形成するように、前記測定対象の長尺体１３を取り付け可能な取り付け部１１と、を備え、前記移動体４が、前記第１直線ガイド部材２と前記長尺体１３とにガイドされて一の方向へ移動し、前記移動体４が移動している間の前記角速度センサー（５）の姿勢の変化の情報と前記長尺体１３における移動中の前記角速度センサー（５）の位置との関係を、前記情報処理部１０が関連づけして情報処理することにより前記長尺体１３の直線度を測定する構成であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】設置場所の制限を軽減すると共に、コストの増加を抑えて、被検査物の端辺の直線度を検査可能な直線度検査方法を提供する。
【解決手段】この課題を解決するために、被検査物７の平面視における端辺８の直線度を検査する検査方法であって、前記端辺８までの距離に対応した情報を検出する距離検出部２と、被検査物７を距離検出部２に対して端辺８の一端９側から他端１０側に向けて移動させる移動手段４と、距離検出部２の検出結果から端辺８の直線度を求める情報処理部１と、を備えると共に、距離検出部２が移動手段４による移動動作の移動方向Ｔに沿って並ぶ二つ以上のセンサ３を有し、被検査物７の移動量がセンサ３の間隔Ｌのセンサ３の数から１減算した値以下の整数倍になる毎に、距離検出部２が前記情報の検出動作を行うものとした。 （もっと読む）

【課題】簡易でかつ安価な校正用治具を用いて直角度誤差を簡易にかつ高精度に算出可能な表面性状測定機の直角度誤差算出方法および校正用治具を提供する。
【解決手段】３つの基準球６２Ａ〜６２Ｃを校正プレート６１に直角に配置した校正用治具６０を、テーブル１６上に配置し、接触式検出器２０によって３つの基準球の中心座標を求め（第１測定工程）たのち、これら中心座標を結ぶ２つの直線の交差角度θ１を算出する（第１角度算出工程）。次に、校正用治具を、同一面内で９０度回転させてテーブル上に配置し、接触式検出器によって３つの基準球の中心座標を求め（第２測定工程）たのち、これら中心座標を結ぶ２つの直線の交差角度θ２を算出する（第２角度算出工程）。最後に、交差角度θ１，θ２とからＹ軸駆動機構１７の移動方向とＸ軸駆動機構４８の移動方向との直角度誤差を算出する（直角度誤差算出工程）。 （もっと読む）

【課題】 表面形状測定装置を介して工作機械のワークテーブル上の加工ワークの真直度を測定し、その測定された真直度の値を校正する方法の提供。
【解決手段】 一対の平面鏡（Ｍ_１，Ｍ_２）を距離ｄ離して両端に設けた姿勢表示物体２を１個、変位センサ４を用い、長尺の被測定物（加工ワーク）ｗを距離ｄずつ移動さして変位センサ４により被測定物の真直度を測定し、この測定値に含まれる装置の運動誤差誤差を差し引く校正を行うので、短い姿勢表示物体２を用いて長い被測定物の真直度を校正することができる。 （もっと読む）

【課題】 表面形状測定装置を介して工作機械のワークテーブル上の加工ワークの真直度を測定する際に使用する被測定物用位置決め治具の提供。
【解決手段】 位置決め治具７は、案内レール８ａ上をｘ軸方向に移動可能な基台８ｂ上面の一方の端面近くに、ベース８ｃを設け、その上の一方の端にキネマカップリング機構９ａを、他方の端に高さ位置調整機構９ｂとチルト機構９ｃを設けた。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】使用する環境の温度変化や、経時変化などの影響があっても適切に空間精度補正をすることができる産業機械の提供。
【解決手段】産業機械としての三次元測定機１は、ガイド部２１２と、コラム２２１とで構成され、Ｙ軸方向に沿って移動する移動機構と、コラム２２１の角度を検出する２軸角度計３２と、移動機構を制御する制御装置４とを備える。制御装置４は、角度誤差取得部４２と、パラメータ生成部４３と、補正部４４とを備える。角度誤差取得部４２は、コラム２２１を移動させたときに２軸角度計３２にて検出される角度に基づいて、コラム２２１の位置に対するコラム２２１の角度誤差を取得する。パラメータ生成部４３は、角度誤差取得部４２にて取得されるコラム２２１の角度誤差をコラム２２１の位置で積分することで真直度補正パラメータを生成する。補正部４４は、パラメータ生成部４３にて生成される真直度補正パラメータに基づいて、移動機構の運動誤差を補正する。 （もっと読む）

測定プローブ（１８）を有する座標位置決め装置を操作する方法が記載される。方法は、一連の公称同一の部品の内の第一の部品（２４）を選択する工程であって、少なくとも、第一の部品（２４）の一つ以上の構造と関連する第一の基準幾何学的特性は知られている工程を含む。また、第一の部品（２４）の一つ以上の構造を測定するために、座標位置決め装置を用い、そこから、第一の基準幾何学的特性に対応する、第一の測定幾何学的特性を決定する工程が実行される。それから、第一の基準幾何学的特性と第一測定幾何学的特性との間の差異を記述する、第一の特性補正値が決定される。座標位置決め装置は、それから、一連の公称同一の部品の内の一つ以上の他の部品の一つ以上の構造を測定するために用いられ、各々の他の部品に対して、第一の基準幾何学的特性に対応する、他の測定幾何学的特性が決定される。それから、第一の特性補正値が、各々の他の測定幾何学的特性に適用される。対応する座標位置決め装置が、また、記載される。
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【課題】ゼロ点ずれを精度良く検出すること。
【解決手段】第１の形状測定器（Ｐ１，Ｐ１′）と、第２の形状測定器（Ｐ３，Ｐ３′）と、第３の形状測定器（Ｐ５，Ｐ５′）と、形状測定器（Ｐ１〜Ｐ５′）を支持する支持部材（７）を有し移動方向下流側に向って第１の形状測定器（Ｐ１，Ｐ１′）と第２の形状測定器（Ｐ１，Ｐ１′）と第３の形状測定器（Ｐ１，Ｐ１′）とが配置された測定ユニット（Ｕ１）と、第１の形状測定器（Ｐ１，Ｐ１′）と第２の形状測定器（Ｐ３，Ｐ３′）との相対的な位置ずれ量を測定する測定ユニット（Ｕ１）と一体的に移動可能な第１のずれ量測定器（３６）と、第１の形状測定器（Ｐ１，Ｐ１′）と第３の形状測定器（Ｐ５，Ｐ５′）との相対的な位置ずれ量を測定する測定ユニット（Ｕ１）と一体的に移動可能な第２のずれ量測定器（３７）と、を備えた真直度測定装置（Ａ）。 （もっと読む）

【課題】３点法プローブのゼロ点校正を３点法の環境に対するロバスト性を維持しながら、迅速に、精度よく、かつ簡便に実現できる校正装置及び真直形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正対象となる３つの変位センサＳＳ１〜ＳＳ３を円板ＣＰ１〜ＣＰ３に対して相対的に固定し、回転角θ＝０度において３つの円板ＣＰ１〜ＣＰ３の円周を、各変位センサセンサＳＳ１〜ＳＳ３を用いて測定して第１の測定値を求め、且つ回転角θ＝１８０度において３つの円板ＣＰ１〜ＣＰ３の円周を、変位センサセンサＳＳ１〜ＳＳ３を用いて測定して第２の測定値を求め、第１の測定値と第２の測定値とに基づいて、前記変位センサを校正できる （もっと読む）

【課題】長尺大面積の直線形状や、面形状の測定における逐次３点法の零点調整を、工作機械やそれに類似する測定システム上に簡便に実現することができ、反転法と異なり長尺の被測定物の被測定対象面を置き直すことがなく測定ができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】
形状測定装置は、変位センサ４１〜４３の検出感度軸方向Ｋが水平面に含まれるとともに互いに反対方向となる第２姿勢位置Ｄ２及び第３姿勢位置Ｄ３、及び水平面と直交する鉛直方向に向ける第１姿勢位置Ｄ１を取り得るようにホルダ３８を回転自在に支持する姿勢可変機構を備える。形状測定装置は基準幅直定規を変位センサ４１〜４３の配列方向を走査方向として、該走査方向に走査測定することで得られる幅真直形状と基準幅直定規の校正値を比較することで変位センサ４１〜４３の零点調整誤差を算出し、被測定物の断面形状を逐次３点法で測定して、零点調整誤差に基づき校正する。 （もっと読む）

【課題】 ３個の変位計のゼロ点調整を高精度に行うことなく、測定対象物の表面プロファイルを算出することができる真直度測定方法を提供する。
【解決手段】 第１の方向に並び、相対位置が固定された３個の変位計と、測定対象物との一方（可動物）を他方（固定物）に対して第１の方向に移動させながら、３個の変位計から、それぞれ測定対象物の表面において第１の方向に延在する測定対象線に沿って並ぶ３つの被測定点までの距離を測定する。３個の変位計の測定結果に基づいて、可動物に対する相対位置が固定された基準点の軌跡である倣い曲線のプロファイルを算出する。倣い曲線の算出されたプロファイルの２次成分を、事前に測定されている倣い曲線のプロファイルの２次成分に基づいて補正する。補正された倣い曲線のプロファイルに基づいて、測定対象物の表面のプロファイルを算出する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の表面プロファイルを、容易に算出することができる真直度測定方法を提供する。
【解決手段】 第１の方向に並ぶ３個の変位計と、測定対象物との一方（稼動物）を他方（固定物）に対して第１の方向に移動させながら、３個の変位計から、それぞれ測定対象物の表面において第１の方向に延在する測定対象線に沿って並ぶ３つの被測定点までの距離を測定する。測定対象線に沿う表面プロファイル、可動物に固定された基準点の軌跡である倣い曲線のプロファイル、及び可動物の移動に伴うピッチング成分のプロファイルうち、２つのプロイファイルで規定される解の候補を複数個決定する。表面プロファイル、倣い曲線のプロファル、及びピッチング成分のプロファイルうち、解の候補に規定されていないプロファイルに基づいて定義される評価関数の値を適応度として、複数の解の候補に遺伝的アルゴリズムを適用し、最も適応度の高い解の候補を抽出する。 （もっと読む）

【課題】長さが２ｍを超える長尺円筒部材に計測用の罫書を施すことなく、長尺円筒部材の真直度を高精度に計測することができる長尺円筒部材の真直度計測治具とその計測方法を提供する。
【解決手段】真直度計測治具１０は、治具本体１２と水準器１８からなる。治具本体１２の下面１２ａは求心構造１３を有し、求心構造により治具本体を長尺円筒部材１の外径上部又は内径下部に水平を保持して載せると、長尺円筒部材の中心軸Ｚ−Ｚから同一高さ及び同一向きの「求心位置」を維持する。さらに、治具本体１２は、オートレベル又はトランシットでピッチングを計測可能な上下方向の高さ変位計測目盛２０Ａと、トランシットでヨーイングを計測可能な幅方向の幅変位計測目盛２０Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】真直度を効率よく測定することができる真直度測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の真直度測定装置１０は、被測定物Ｍ上を自走可能であり反射ミラーを載置した筐体１１と、筐体１１とは別に設置されたオートコリメータ１２と、筐体１１の走行距離データ、及びオートコリメータ１２からの傾斜データを処理し被測定物Ｍの真直度を算出する解析用コンピュータ１３とを備えている。筐体１１は、その底面側にタイヤ８ａ、８ｂを有し、タイヤ８ｂの回転によって筐体１１の走行距離が求められ、その走行距離は解析用コンピュータ１３に入力されて被測定物Ｍ上における筐体１１の位置が算出される。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドにおけるセンサの設置ずれ量及びセンサヘッドと計測対象との間の相対傾斜に起因する誤差を無くすことのできる幾何学量計測方法を提供する。
【解決手段】少なくとも３個のセンサを配置したセンサヘッドを計測対象に沿って相対移動させ、各センサから得られる検出信号を用いて計測対象表面の幾何学量を計測する。予め、基準平面３０に対して真直度の計測を行い、両側のセンサの基準点を結ぶ線分からの中央のセンサの基準点の計測方向に関するずれ量を算出すると共に、基準平面とセンサヘッドとの間の相対傾斜とずれ量との間の関係を対のデータとして補正テーブルを作成する。幾何学量の計測に際しては、計測対象とセンサヘッドとの間の相対傾斜を算出し、かつ前記補正テーブルを参照して前記算出されたずれ量を取り出し、該取り出したずれ量と３個のセンサから得られた検出信号を用いて計測対象表面の幾何学量を演算する。 （もっと読む）

【課題】パターンを書き込む際に生じるあらゆる物理的変形に無関係に、オブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法及びパターン生成装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光装置での使用を対象とするオブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法であって、表面を備えた厚さＴのオブジェクトをパターン生成装置のステージの上に配置するステップと、表面を多数の測定ポイントに分割するステップであって、隣接する２つの測定ポイントが所定の最大距離を越えない距離Ｐで間を隔てられているステップと、各測定ポイントにおける表面の勾配を決定するステップと、各測定ポイントのｘ−ｙ平面における二次元局部オフセットｄを勾配及びオブジェクトの厚さＴの関数として計算するステップと、前記表面に書き込むパターンを、二次元局部オフセットｄを使用して修正するステップとを含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等が発生することなく載置することができるハニカム構造体用載置台を提供すること。
【解決手段】 ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、上記ハニカム構造体の端面と重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とするハニカム構造体用載置台。 （もっと読む）