プリント配線板に粘性剤を使う空洞部またはトラック間に位置する領域の充填方法と装置ならびに前記装置を利用する設備
本発明はマスクやシルクスクリーン無しでは基板（１）の表面上まで拡がらない空洞部（４）に位置する領域を充填する方法と装置に関する。本発明によると、前記方法は、基板（１）に関する充填材（２）の頭部（１２）の相対移動方向の順番に応じて、次の物体、すなわち、基板（１）の表面上に充填する剤（２）の散布要素（１０）、充填領域（４）の充填材（２）の入替要素（３）、過剰充填剤（２）の厚み調整あるいは掻き落としの要素（７）を、上述の充填剤（２）が充填操作の最初から過剰材の掻き落としまで常に充填領域（４）と接触を維持したまま残るよう連動させることからなる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空洞領域に存在する空気やガスの排出によって、また充填剤との置換によって多少とも粘性のある液剤で表面より凹んだ位置の領域を充填する装置に関する。
【０００２】
一般的にこれらの領域は長さが長く、幅が狭く、そして深さが深い。例としては、本発明には自動車分野に利用される用途のようにプリント配線製作向けの有力な用途がある。
【０００３】
実際、導電体、例えば、銅製のトラックが含まれ、１００ミクロンを越える（通常は４００ミクロン程度の）厚みのある基板が利用される用途が存在する。
【０００４】
これらの用途では、誘電剤で中間トラック領域を充填する必要があり、この充填は最適な電気特性と空洞領域に関する必要最小限の十分な厚みを得るために泡が無いようにしなくてはならない。その上、該中間トラック領域は必ず塞がれるとは限らない。この充填操作後、プリント配線はブラシがけに続いて重合の過程を受ける。
【背景技術】
【０００５】
この充填を行うために、技術者は自身に自由となる技術、すなわち、ローラーコーティング、あるいは、ドクターを使うシルクスクリーン印刷を利用する。これらの方法は剤を押しやって空洞領域の充填を強いるために剤に過圧力を生じさせるよう、傾けたローラーあるいはドクターの前に運ぶことからなる。従来技術のこれらの装置の問題は２種類ある。まず、最初の問題は、空洞部に位置して別の面上に現れないある領域では、空気が内在してこれらを完全に充填するのを妨害するという点にある。従来技術の装置にまつわるこの問題を予防するためには、空洞領域での剤の厚みは十分でなく、相変わらず空気を含んでいるので、実際には満足が得られずとも１回分の充填を得るためにはドクターあるいはローラーを複数回通過させなくてはならなく、これらの複数回の通過により、明らかに大量生産と相容れないｌ繰り返し時間が生ずる。二番目は、剤が充填要素によって改めて引きずり込まれるという点に関係しており、この点により、つまり、寸法が大きい場合、あるいは大きな粘性を示す剤の場合に、特に充填物がえぐられてしまう傾向となる。この問題は移動ローラーを利用する場合には特に明白である。
【０００６】
ブラインドホールを充填することを目的とした装置が過去に提案された。同一申請人からのPCT/FR00.03494の特許請求が一例である。この技術は充填基板表面上の２ヶ所のすき間の位置を変えることからなる。最初のすき間は真空生成器と連結される一方で、その二番目のものには充填剤が入れられる。最初のすき間は外部からと同時に第２のすき間からも、移動方向に平行に計測される距離で、基板上にある最大開口部よりも大きな間隔で離れている。この場合には、該装置は必然的に基板と気密に接触しており、もしそうでない場合にはブラインドホールの充填は完全には実行不可能である。この技術は、充填面上の周辺が塞がれた領域に相当するめくらの空洞部にのみ適用が可能である。さらに、真空状態は寸法の大きな基板上につくられ、かつ維持されるのが極めて困難であり、また表面に凹凸が呈される可能性がある。
【０００７】
ペースト状の剤で、そしてシルクスクリーン印刷のマスクを通して、基板内に現れる穴の充填を可能にするシルクスクリーン印刷の装置がある。米国特許6,533,162号にこのタイプの装置が説明されているように、この装置では基板の底面から空気を追い出して穴を充填するよう基板にかかわる装置の移動に応じて、ローラーの前で蝋付けクリームに過圧力を与えるようマスク上を移動し回転するローラーの利用がなされている。この装置の大きな欠点はローラーのおかげで運ばれる剤が該ローラーの背後に再度引きずり込まれるという点にある。ステンシルの存在に基づく、穴ならびに蝋付けクリームのサイズが小さいことに基づくこの特許に説明されるケースでは、ローラー背後へのクリームの再引きずり込みは制限されて充填品質が損なわれない。一方、この技術は長い長さにわたり拡がる可能性のある、すなわち、数センチあるいは数デシセンチを考えた数ミリで、かつ、開口部の最小寸法により分割された面の領域の深さにより相対的に定められる１より小さいアスペクト比を呈する可能性のある、別の面上に現れない液体あるいは多少ともペースト状の剤による空洞領域の充填には適用が不可能である。実際、このケースでは、充填剤は、これから分かるように、付近の空気に触れるローラーの背後にある部分により１部が、残りの部分は傾斜したドクターにより、再度引きずり込まれる。さらに、この発明は空洞領域内にあるガスを排出するためのいかなる手段も考慮していないので、表に現れない空洞領域には適用不可能である。
【０００８】
この特許ではローラーと背後に位置するドクターとが連続してかつ別々に作用する点は注目される。第１段階では、ローラーは固定して保持された基板にかかわる装置の動きに応じて、その前部部分上に位置する剤に圧力を加えるのを可能にし、次に第２段階では、傾斜したドクターが固定して保持された基板にかかわる装置の動きに応じて、その前部部分上にある剤に２回目の圧力を加えようとし、これが溝の中に泡をかかえると同時に充填物をえぐるという結果を招く。
【０００９】
米国特許3,921,521号にはカーペットのように織地の基板に関するインクのシルクスクリーン印刷装置が説明されている。この特許では、流体力学効果のおかげで装置の低部領域内に流体静力学上の過圧力の生成を可能にする回転シリンダーが考慮されている。この特許の目的はインクがスクリーンを通過するのを強いるとともに、空気を底部や脇部から追い出しながら織地の基板を通り抜けさせるよう、搬送領域での過圧力を生み出すことにある。このようにして、この発明は多孔質の基板には適用可能であるが、これにひきかえ表に現れない空洞領域の充填には適用不可能である。実際、空洞領域にある空気を排出するためのいかなる装置も考えられていない。
【００１０】
表に現れない空洞領域を充填するための本装置の利用は、該領域をしかるべき装置が通過する時に、空洞領域にある空気を圧縮するようになるだろうが、いかなる場合にも完全で空気泡のない充填を可能することは無かろう。
【００１１】
一般的な方法では、流体力学効果は剤を運ぶ目的でシルクスクリーン印刷のマスクを経由する通行を強制するために知られた手だてであるようだが、この手段は単独では、空気泡の除去から自由に解放されると同時に、まさに発明の目的そのものである過剰厚み状態にするためには十分でないようである。
【発明の開示】
【００１２】
本発明は、中間トラックまたは基板面での空洞部に位置する領域の、さらに特に、対向する面上の表に現れなくてその長さが非常に長い領域の、そして／または、開口部の最小寸法によって分割される基板面の領域の深さによって相対的に定められる、例えば、銅トラック間に位置する領域のような１以下のアスペクト比を有する領域の空洞領域に関して、液体あるいは多少とも粘性のあるペースト状の剤によって、シルクスクリーン印刷のスクリーンあるいはステンシルなしで、空気泡が無くかつ必要最小限の過剰厚み状態でプリント配線上に直接、充填することを狙いとしている。
【００１３】
本発明によると、無空気泡かつ、中間トラックあるいは基板あるいはプリント配線の表面での空洞部に位置する領域の過剰厚でのペースト状の剤による直接充填の方法は、空洞領域内にあるガスを泡の形で排出するよう、移動手段により充填剤を充填領域まで移動させるとともに、このガスを充填剤により置換すると同時に基板表面の剤の厚さを調整することからなるという点で注目に値するものである。
【００１４】
充填領域で剤を移動させる段階に先立ち、本発明の方法は外部ガスから充填領域を切り離して剤が自由に入るよう基板の表面に塗布して、領域外部のガスのすべての入口から該充填領域を遮断することも提案している。こうして気密性は、充填領域外部ガスとのあらゆる外部側との接触を避けて、充填剤が充填領域で移動が起こるように、充填の始まりから余剰分の掻き落とし時あるいは基板表面の剤厚の調整時まで、剤で被覆された充填領域を維持して保証される。充填剤の塗布から余剰分の掻き落としが完全に可能になる厚みの掻き落としまでのいかなる時点でも、充填領域は充填領域外部からくるガスに触れないはずである。
【００１５】
充填剤による空気置換の原理を支配する基本的な作用に合わせると、本発明の対象となる方法はその実施において３つの段階に分解可能である。
【００１６】
第１段階は、充填ならびに必要な場合には基板表面上の剤厚の調整を実施することをめざして、一方で外部からの充填領域中にあるガスを切り離すとともに、他方で剤を十分に塗布するよう基板表面上に充填剤を塗布することからなる。
【００１７】
第２段階は泡の形のガスを排出するよう充填領域で剤の強制循環を生じさせるようにして、充填剤を基板内の充填領域で移動させることからなる。ガスの排出に応じて、対応する容積が先に塗布された充填剤によって置換される。充填剤の移動により泡の形の空洞領域にあるガスが運び去られるので、剤による置換が可能な結果となる。
【００１８】
第３段階は過剰な剤を取り除くかあるいは基板面に望ましい厚さを調整することからなり、この厚さはゼロであることもある。
【００１９】
本発明の別の特徴によれば、充填領域での剤の移動は、ある流体力学効果により、特に、その軸が装置に関する基板の動きに垂直であるとともに、基板に平行でかつ充填領域でのローラーの接線方向の移動が装置に関する基板の相対移動の方向と逆であるという回転ローラーの流体力学効果によって得られる。このようにして、流体力学効果によって、ローラー上の粘性のある剤の粘着性により充填剤の移動が生じる。該移動はローラーの間隔が狭いほど大きい。ローラーの表面では、剤の速度はローラーの接線方向速度に等しく、ついでこの速度はローラーから遠ざかるにつれて遅くなる。この減速は充填剤の流動性次第である。いずれの場合も、ローラーは流体力学効果がはっきりするよう、例えば、充填領域でのローラーの接線方向速度１００に対し５０以上であるといったように、剤の速度が十分小さい基板の間隔で配置されよう。より好ましい方法では、一方では、機械的な摩擦の危険をすべて無くすように、他方で流体力学効果が乱れるのを避けるために、ローラーと基板との間の接触が避けられる。
【００２０】
本発明によると、多少なりとも粘性のある液体剤の利用により、基板の対向面上に現れずに長さが長くなることもある空洞領域の充填が特に保証される。
【００２１】
本発明の別の特徴によると、充填の方法は、基板の並進移動の手段を基板上に支持を取るとともに、充填剤の入った充填先端部の作用と関連付けることから構成され、充填剤の前記移動手段、ならびに充填剤により全体的に占められる過圧力近傍の下流領域を形成する掻き落とし要素に付随する作用のおかげで、前記先端部により剤の移動手段の上流と下流間にプラスの圧力差分を生じさせることが可能となり、特に充填先端部内に含まれるローラーにより構成される剤の移動手段が、充填領域にあるガスを排出するとともに、基板の移動に応じて充填剤により置換するよう、こうして圧力のより少ない上流領域を形成する前記充填先端部に関する基板の移動と反対の方向に充填領域での充填剤の循環を引き起こすことからなる。
【００２２】
充填領域でのローラーの接線方向の動きが基板の移動方向と反対であるローラーの回転方向は、一方では、ローラーとローラーの下流に位置する掻き落とし要素との間に過圧力に極めて近い領域を生み出すように、他方では、ローラーの上流に位置するより小さい圧力の領域の方へと過圧力領域の充填領域での充填剤の循環を生み出すよう、掻き落とし要素の方への流体力学効果による充填剤の蓄積を可能にしよう。
【００２３】
移動要素ならびに掻き落とし要素に付随する作用のもとで下流に極めて近い領域に生じる過圧力は、引き裾効果と呼ばれる再引きずり込みと掻き落とし要素による剤のえぐりの影響の埋め合せを可能にする。また、本発明の別の有利な特徴は、上流のより小さい圧力の領域に対する下流の過圧力に極めて近い領域の圧力差分を調整するよう、充填剤を移動させるローラーの速度、および／または、ローラーの直径を調節するように調整あるいは選択して、充填領域での掻き落とし要素の下にある剤が溢れ出るのを制御するとともに、空洞領域に必要最小限に然るべき堆積物の過剰厚みを引き起こすことが可能なように、前述の掻き落とし要素の引き裾効果の埋め合せを可能にする点にある。
【００２４】
本発明のさらに別の特徴によると、移動要素を形成するローラーにより排出される泡が空洞充填領域に再度引きずり込まれるのを避けるためには、充填先端部内に位置するローラーの表面に、また理想的方法では、ローラーの一番上の部分上で接線方向に掻き落とし器を配置するのが賢明であることがある。こうしてローラーの回転時に剤の動きによって引きずり込まれる泡はこの掻き落とし器により阻止されるとともに、その時は剤に関するガスの比重差により充填剤の表面に浮かび上がってくるしか他に選択の余地はなくなる。実際、掻き落とし器は、局部的に剤の移動状態を無くすよう流体力学上の効果を無効にするのが目的である。ガスもまた基板の移動の方向に応じて移動要素の下流と上流間に存在する圧力差により自然に排出されることに注目すべきである。
【００２５】
本発明による方法のもうひとつの特徴によれば、剤の移動は制御可能である。この点で、もし充填剤の移動装置が回転ローラーから構成される場合には、該ローラーの回転速度は装置に関する基板の移動の速度と関係ない方法で調整可能である。回転の速度は装置に関する基板の速度、剤の流動性ならびに充填されるべき空洞領域の形状に応じて調節される。このことは先に指摘されたように、流体力学上の効果はローラーの回転速度、および／または、直径を変動させて多少なりとも増幅可能である。実は、流体力学効果はローラーの接線方向速度の関数である。このように、回転速度一定のローラーの直径を太くすると、流体力学効果が拡大する。同様にして、直径が一定のローラーの回転速度を上げると同じく流体力学効果が拡大する。
【００２６】
ローラーの回転の速度と直径の一組のパラメーターが充填剤の流動性に応じて選択される。実際には、例として、ある種の充填材は極めて速すぎる回転速度によって引き起こされる過度な剪断には耐えられない。この場合には、より遅い回転速度でより大きな直径のローラーが選択されよう。例として、毎分１００回転の回転速度で連結される直径１０ミリのローラーは、今日の市場で入手可能な充填材で優秀な充填結果をもたらす。充填装置に関するプリント配線あるいは基板の移動速度は、流体力学効果と充填領域の形態に応じて変化させることも可能である。極めて決定的な試験が３０ミリ／秒の回転速度で実施された。ローラーと基板表面間の距離間隔は最終的に主として剤の流動性と充填領域の深さに応じて調節された。そこでは、再び、厚み４００ミクロンの銅のトラックならびに今日の市場で入手可能な充填剤に関して０．５ミリの間隔で極めてはっきりした結果が得られた。
【００２７】
明らかに、ここに提起されたすべての値は良好な結果を招く例として挙げられたものであるが、本発明からそれないでこれらを大幅に変動させることも可能である。
【００２８】
本発明はまた本発明の充填方法の実施を可能にする装置にも関する。
【００２９】
本発明によれば、基板面に関する空洞部に位置するとともに基板の別の面上に現れなくて、かつ長さがかなり長くなる可能性のある領域のシルクスクリーン印刷のマスクあるいはスクリーンのないタイプの、多少とも粘性のある液体充填剤を伴い、基板の表面に相対的に並進移動する本装置は、基板に関する充填装置の相対移動の方向に応じた順番で、基板表面の充填剤塗布要素、特に回転ローラーにより構成される充填領域での充填剤の移動要素、厚み調整あるいは過剰充填剤の掻き落とし要素、を前記充填剤が充填開始から過剰分の掻き落としまで常に充填領域と接触を保つように連動させる点で注目に値する。
【００３０】
充填剤の移動要素に関して対称な方法を考えると、本装置は二方向に機能可能であると同時に、シルクスクリーン印刷機上で機能可能である。このように、充填剤の移動は基板に関する装置の進行方向に応じて逆転可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１および図２は前記充填先端部１２の下での連続回転（矢印A）を可能にする、プリント配線によりここに構成される充填先端部１２ならびに基板１の並進移動手段１１の全体断面図を示す。
【００３２】
基板１に関する充填先端部１２の相対並進移動は基板１の固定を保った先端部１２の移動により実行可能となるが、先端部１２の固定と基板１の移動を保つことが最も実施が容易であるので採用された解決策である。
【００３３】
本発明の主たる性質に合わせて製作される充填先端部１２には、充填剤２が入った室１３が含まれ、該室１３は下流で９０度以下の角度で傾斜するドクター７により、上流では９０度以上の角度で同じ方向に傾斜したドクター１０で境界が定められるとともに、ドクター７および１０の間に配置されて剤２の移動をさせるとともに、空洞充填領域４でローラー３の接線方向の動きの方向に回転するローラー３が、充填先端部１２に関する基板１の並進移動Aに対向する。
【００３４】
ローラー３の下で回転が発生するにつれて、ローラー３の回転Rが充填領域４での剤２の移動を引き起こし、該ローラーは充填先端部１２に関する基板１の移動方向Aとは反対である方向Bに回転する。ローラー３と掻き落とし要素７に付随する作用が、その後、これら２つの要素間に位置する剤２中の過圧力の下流Cに非常に近い領域を生成する。実際には、ローラー３は流体力学効果を発生させるとともに、基板１と掻き落とし要素７の仕切壁間で計測される９０度未満の角度で傾斜する仕切壁である掻き落とし要素７に剤２を押しつける。この掻き落としは、その傾斜角度が充填先端部１２に関する剤２の流動性と基板１の前進速度Aに応じて対応可能な傾斜した仕切壁７を利用して行うのが賢明である。角度aが小さいほどローラー３と掻き落とし要素との間に極めて近い領域C中の過圧力は大きくなる。剤２の過剰分の下流の掻き落とし要素７の角度もまた前記掻き落とし要素７の背後の剤の再引きずり込みあるいは引き裾の効果を限定するように順応される。
【００３５】
従って、空洞領域４にある空気５は移動によるかあるいは泡６の形で排出されるとともに、剤２によって置換されるということになる。空気が泡６の形で排出される場合には、これらの泡はローラー３の近傍下流領域Ｃと上流領域Ｄとの間に生ずる圧力差分のおかげで剤２から追い出される。上流要素１０の仕切壁は剤２を塞がれた容積１３中に入れることを可能にするとともに、下流要素７の仕切壁と同一方向に傾斜すると同時に基板１と９０度より大きな角度βをなす。
【００３６】
好ましくは、充填先端部１２は、生じた真空が充填領域４から取り出される空気の排出に都合が良いように、先端部１２の部分にあるレベルの真空を引き起こす可能性に備えて塞がれよう。同様に、ある先端部１２から別の先端部への通行のための迅速固定装置や、生産停止時あるいは先端部の変更時に先端部１２に含まれる剤２が流れるのを避けるための低い部分の閉塞要素や、処理するプリント配線１の幅に応じて本発明の装置を迅速に再構成するよう基板１の幅に対応する長さ調節要素、等々を充填先端部１２に装備することが計画可能であろう。
【００３７】
充填剤２がローラー３と掻き落とし要素７の間の全近傍空間を占有するのに十分な量があることもまた必須である。この条件は剤２の圧力導入を保証するために必要である。従って、充填先端部１２中に剤２の最小容積の維持装置を計画することが考えられる。こうして、剤２の移動要素を形成するローラー３が停止状態で常に完全に覆われるように、充填先端部１２を剤の最小容積で充填しておくことが推奨される。
【００３８】
充填剤２の移動を強化するために、ローラー３の表面の状態を変更する、例えば、ローラー軸に平行な縞模様で細縞を付けたり、あるいはローラー３にローラーの軸にこれもまた平行で柔軟なあるいは剛な小翼を装備するといったことが賢明であることがある。
【００３９】
図２の図はＡの方向に充填先端部１２の下を次々に通過する充填基板１の移動を確実にする搬送装置１１の実施方法を図式的に示したものである。ここで、回転カーペットで形成されて示される搬送装置１１は、引きずり去りシリンダーあるいは充填先端部１２の下の配線１の前進Ａを可能にする全く別の装置によって当然置換可能であろう。
【００４０】
図３は本発明の方法による空洞領域４が剤２によって充填された基板１の断面である。これから分かるように、領域４の充填状態は剤２が基板１について少し厚すぎる状態にある。この点は領域４が完全でかつ凹みのないこのように確かな充填であるので特に興味深い。
【００４１】
この点は移動要素３ならびに下流の掻き落とし要素７に付随する作用のもとで生じる過圧力の近傍領域のおかげで可能となったものである。
【００４２】
実際、過圧力Ｃは充填領域４中の下流掻き落とし要素７の下で軽いオーバーフローを生じさせる。
【００４３】
このオーバーフローがドクターの引き裾効果を埋め合せるとともに、空洞領域４の上に必要最小限の過剰厚みを生じさせる。
【００４４】
１枚の充填基板１を示す図４の写真上で、空洞領域４は数センチにわたって延びる可能性のある中間トラック領域により形成されることが理解できる。本発明の目的は完全かつ泡無しの方法で誘電剤により領域４を充填することである。充填の困難さは領域４が反対側の面上に現れなく、従って空気がある領域にこもったままであることに起因する。これらの領域を充填するために該剤上の圧力を上げることが十分でないという理由は、この点が充填先端部１２の通過時に空洞領域４中に閉じこめられた空気を圧縮する結果を招くだけにすぎないからである。この充填を実行するため本発明は、空洞領域４にある空気５を移動によるかまたは泡６の形で引きずり込むと同時に充填剤２により順次これを置換するように、充填領域４で剤２の流れを生じさせることを提案するものである。
【００４５】
充填基板１の詳細を示す図５の写真上で、この場合、およそ４００ミクロンの充填領域４の深さを見て取ることが可能である。
【００４６】
導電性トラックは銅製である。
【００４７】
図６は、剤２の移動を局部的になくすとともに掻き落とし器９の仕切壁上での阻止により空気６の泡の排出を引き起こすよう、表面の方への排出に都合良くして流体力学上の効果を無効にするために、ローラー３の上部部分で接線方向に配置された掻き落とし器９が装備された充填先端部の断面を図式的に示す。
【００４８】
基板１が厚みの厚い銅が見えるプリント配線により構成される場合には、剤２の過剰厚みは剤２の重合後に処置されるブラシがけ時に容易に無くされよう。
【００４９】
本発明の充填方法は、例えば、電気動力変換器によって生み出される流体力学効果のあるローラー３の回転Ｒで、また、手動にせよ、搬送装置、回転カーペットあるいは引きずり去りローラーのような自動引きずり去り装置によるにせよ、確実な充填先端部１２に関する基板１の並進移動Ａの動きを伴う自律的な方法で機能させることが可能である。
【００５０】
図７の図は基板１の空洞領域４の充填を確実にするための充填先端部１２と連結された設備例の実施方法を図示することを目的としている。
【００５１】
これを見て分かる通り、この設備は充填先端部１２の下で基板１の移動Ａを保証する搬送装置１１、充填基板１を充填先端部１２の下の搬送装置１１の方へ送るために進行方向Ａにある搬送装置１１の上流に位置する供給搬送装置２０、そして充填先端部１２により充填されたばかりの基板１を回収するための搬送装置１１の下流に位置する排出搬送装置３０から構成される。
【００５２】
本発明によると、搬送装置１１は、より精確には、好ましくはステンレススチールで製作される継ぎ目無しカーペット１１０により構成されるとともに、少なくともその１本が駆動する２本のシリンダー１１１および１１２の廻りに駆動されて、圧力状態に維持するとともに、充填先端部１２の下にあるカーペット１１０上で受入れ搬送装置２０から出たばかりの基板１を駆動するよう、カーペット１１０の上部に配置された２本の圧縮シリンダー１２０aおよび１２０bに入口で連結される。
【００５３】
ローラータイプの供給搬送装置２０には、回転キャスターが内部に用意された２本の誘導レール２１a、２１bから形成され、長さが調整可能に取付けられるとともに、搬送装置１１上にある充填先端部１２の下へのそれらの受入れ前に基板１の適切な位置決め可能にする芯合わせ装置２１が含まれる。搬送装置１１は剤２により汚染されるのが避けられないので、カーペット１１０の下に配置された。１枚あるいは数枚の刃で構成される継ぎ目無しカーペット１１０の連続清浄装置２２が、搬送装置１１の下のカーペット１１０の外面に支持される複数のドクター（２つの２２aおよび２２bが示されている）を形成する。この清浄装置は溶剤の塗布用具で置き換えることも可能である。
【００５４】
ベルト付きタイプの排出搬送装置３０は先端部１２により置換されたばかりの基板１を別の処理単位の方に送ることを可能にする。
【００５５】
該設備機能は充填先端部１２中に含まれる剤２で配線１を充填するのを可能にし、上記で記述されたばかり内容は単純であると同時に、図７から図１０を参照して同様に続けられる。
【００５６】
図７の図により図示された第１段階では、ある配線１が充填先端部１２の下に置かれる一方で、もうひとつの配線１が受入れ搬送装置２０の芯決め装置２１の２本のレール２１a、２１b間を誘導される。
【００５７】
図８の図により図示された第２段階では、搬送装置２０上で芯が合わされたばかりの配線１が、先端部１２の下に置かれるとともに、本発明の方法による充填先端部１２により空洞領域４を充填させるように矢印Ａの方向に次々と通り過ぎる配線１と接触するようになるために、搬送装置１１の圧縮ローラー１２０aおよび１２０bにより引きずり込まれる。
【００５８】
図９の図により図示される第３段階では、充填先端部１２の下にあった該配線１は、先端部１２によって塗布された剤２とともに、継ぎ目なしカーペット１１０を経由して、先行材によるこの最後の駆動力から完全に脱する。
【００５９】
図１０の図により図示された第４段階では、配線１は別の処理単位あるいは貯蔵場所に向けた発送の最後に、搬送装置１１からベルト付き搬送装置３０の方に運搬される。次いで、搬送装置１１のカーペト１１０上に残る充填剤２が、装置２２の刃２２aおよび２２bにより除去されるとともに洗浄される。
【００６０】
従って、このように、本発明による装置は、配線１を充填先端部１２の下を連続して通過可能にさせる。実際、搬送装置２０ならびに圧縮ローラー１２０aおよび１２０bに付随する作用のおかげで、配線１は先端部１２の下の通行の間相互に接触する。この接触により剤２によるカーペット１１０の汚染の最小化が可能となる。
【００６１】
図１１a、１１b、および図１１cの図は、組立支持台の当然の構造ならびに、充填先端部１２の下の基板１の並進移動Ａを確保するための２本のシリンダー１１１および１１２の廻りに駆動される継ぎ目無しカーペット１０付き搬送装置１１、充填先端部１２の下で充填基板１を搬送装置１１の方に発送するとともに、芯合わせ装置２１の２本の誘導レール２１a、２１bならびにローラー２０付きの進行方向Ａにある搬送装置１１の上流に位置する供給搬送装置、ならびに、ベルト付きのタイプであると同時に、搬送装置１１の下流に位置して充填先端部１２により充填されたばかりの基板１を回収するための排出搬送装置３０、の機能に必要な駆動装置を示す設備一式の一実施方法のそれぞれ正面図、側面図ならびに上面図を示す。
【００６２】
上流２０および下流３０の供給搬送装置類が中央搬送装置１１に関する位置調整が手動で可能である点は注目される。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
その他の特徴や利点は付録の図類とともにそれらに続く説明を理解すればより明確になろう。図類は本発明の非限定的実施例を示すものである。
【図１】本発明による充填装置の断面を示す。
【図２】図１の充填装置と連結された移動手段を図式的に示す。
【図３】本発明により実行される基板の充填の断面を示す。
【図４】充填基板の写真の見下ろし図を示す。
【図５】充填基板の拡大詳細を示す。
【図６】移動要素の掻き落とし器を装備した充填先端部を示す。
【図７】図１の充填装置に連結された設備の実施方法の段階を図示する透視図である。
【図８】図１の充填装置に連結された設備の実施方法の段階を図示する透視図である。
【図９】図１の充填装置に連結された設備の実施方法の段階を図示する透視図である。
【図１０】図１の充填装置に連結された設備の実施方法の段階を図示する透視図である。
【図１１ａ】図７の設備一式の実施方法の正面図である。
【図１１ｂ】図７の設備一式の実施方法の側面図である。
【図１１ｃ】図７の設備一式の実施方法の見下ろし図である。
【技術分野】
【０００１】
本発明は空洞領域に存在する空気やガスの排出によって、また充填剤との置換によって多少とも粘性のある液剤で表面より凹んだ位置の領域を充填する装置に関する。
【０００２】
一般的にこれらの領域は長さが長く、幅が狭く、そして深さが深い。例としては、本発明には自動車分野に利用される用途のようにプリント配線製作向けの有力な用途がある。
【０００３】
実際、導電体、例えば、銅製のトラックが含まれ、１００ミクロンを越える（通常は４００ミクロン程度の）厚みのある基板が利用される用途が存在する。
【０００４】
これらの用途では、誘電剤で中間トラック領域を充填する必要があり、この充填は最適な電気特性と空洞領域に関する必要最小限の十分な厚みを得るために泡が無いようにしなくてはならない。その上、該中間トラック領域は必ず塞がれるとは限らない。この充填操作後、プリント配線はブラシがけに続いて重合の過程を受ける。
【背景技術】
【０００５】
この充填を行うために、技術者は自身に自由となる技術、すなわち、ローラーコーティング、あるいは、ドクターを使うシルクスクリーン印刷を利用する。これらの方法は剤を押しやって空洞領域の充填を強いるために剤に過圧力を生じさせるよう、傾けたローラーあるいはドクターの前に運ぶことからなる。従来技術のこれらの装置の問題は２種類ある。まず、最初の問題は、空洞部に位置して別の面上に現れないある領域では、空気が内在してこれらを完全に充填するのを妨害するという点にある。従来技術の装置にまつわるこの問題を予防するためには、空洞領域での剤の厚みは十分でなく、相変わらず空気を含んでいるので、実際には満足が得られずとも１回分の充填を得るためにはドクターあるいはローラーを複数回通過させなくてはならなく、これらの複数回の通過により、明らかに大量生産と相容れないｌ繰り返し時間が生ずる。二番目は、剤が充填要素によって改めて引きずり込まれるという点に関係しており、この点により、つまり、寸法が大きい場合、あるいは大きな粘性を示す剤の場合に、特に充填物がえぐられてしまう傾向となる。この問題は移動ローラーを利用する場合には特に明白である。
【０００６】
ブラインドホールを充填することを目的とした装置が過去に提案された。同一申請人からのPCT/FR00.03494の特許請求が一例である。この技術は充填基板表面上の２ヶ所のすき間の位置を変えることからなる。最初のすき間は真空生成器と連結される一方で、その二番目のものには充填剤が入れられる。最初のすき間は外部からと同時に第２のすき間からも、移動方向に平行に計測される距離で、基板上にある最大開口部よりも大きな間隔で離れている。この場合には、該装置は必然的に基板と気密に接触しており、もしそうでない場合にはブラインドホールの充填は完全には実行不可能である。この技術は、充填面上の周辺が塞がれた領域に相当するめくらの空洞部にのみ適用が可能である。さらに、真空状態は寸法の大きな基板上につくられ、かつ維持されるのが極めて困難であり、また表面に凹凸が呈される可能性がある。
【０００７】
ペースト状の剤で、そしてシルクスクリーン印刷のマスクを通して、基板内に現れる穴の充填を可能にするシルクスクリーン印刷の装置がある。米国特許6,533,162号にこのタイプの装置が説明されているように、この装置では基板の底面から空気を追い出して穴を充填するよう基板にかかわる装置の移動に応じて、ローラーの前で蝋付けクリームに過圧力を与えるようマスク上を移動し回転するローラーの利用がなされている。この装置の大きな欠点はローラーのおかげで運ばれる剤が該ローラーの背後に再度引きずり込まれるという点にある。ステンシルの存在に基づく、穴ならびに蝋付けクリームのサイズが小さいことに基づくこの特許に説明されるケースでは、ローラー背後へのクリームの再引きずり込みは制限されて充填品質が損なわれない。一方、この技術は長い長さにわたり拡がる可能性のある、すなわち、数センチあるいは数デシセンチを考えた数ミリで、かつ、開口部の最小寸法により分割された面の領域の深さにより相対的に定められる１より小さいアスペクト比を呈する可能性のある、別の面上に現れない液体あるいは多少ともペースト状の剤による空洞領域の充填には適用が不可能である。実際、このケースでは、充填剤は、これから分かるように、付近の空気に触れるローラーの背後にある部分により１部が、残りの部分は傾斜したドクターにより、再度引きずり込まれる。さらに、この発明は空洞領域内にあるガスを排出するためのいかなる手段も考慮していないので、表に現れない空洞領域には適用不可能である。
【０００８】
この特許ではローラーと背後に位置するドクターとが連続してかつ別々に作用する点は注目される。第１段階では、ローラーは固定して保持された基板にかかわる装置の動きに応じて、その前部部分上に位置する剤に圧力を加えるのを可能にし、次に第２段階では、傾斜したドクターが固定して保持された基板にかかわる装置の動きに応じて、その前部部分上にある剤に２回目の圧力を加えようとし、これが溝の中に泡をかかえると同時に充填物をえぐるという結果を招く。
【０００９】
米国特許3,921,521号にはカーペットのように織地の基板に関するインクのシルクスクリーン印刷装置が説明されている。この特許では、流体力学効果のおかげで装置の低部領域内に流体静力学上の過圧力の生成を可能にする回転シリンダーが考慮されている。この特許の目的はインクがスクリーンを通過するのを強いるとともに、空気を底部や脇部から追い出しながら織地の基板を通り抜けさせるよう、搬送領域での過圧力を生み出すことにある。このようにして、この発明は多孔質の基板には適用可能であるが、これにひきかえ表に現れない空洞領域の充填には適用不可能である。実際、空洞領域にある空気を排出するためのいかなる装置も考えられていない。
【００１０】
表に現れない空洞領域を充填するための本装置の利用は、該領域をしかるべき装置が通過する時に、空洞領域にある空気を圧縮するようになるだろうが、いかなる場合にも完全で空気泡のない充填を可能することは無かろう。
【００１１】
一般的な方法では、流体力学効果は剤を運ぶ目的でシルクスクリーン印刷のマスクを経由する通行を強制するために知られた手だてであるようだが、この手段は単独では、空気泡の除去から自由に解放されると同時に、まさに発明の目的そのものである過剰厚み状態にするためには十分でないようである。
【発明の開示】
【００１２】
本発明は、中間トラックまたは基板面での空洞部に位置する領域の、さらに特に、対向する面上の表に現れなくてその長さが非常に長い領域の、そして／または、開口部の最小寸法によって分割される基板面の領域の深さによって相対的に定められる、例えば、銅トラック間に位置する領域のような１以下のアスペクト比を有する領域の空洞領域に関して、液体あるいは多少とも粘性のあるペースト状の剤によって、シルクスクリーン印刷のスクリーンあるいはステンシルなしで、空気泡が無くかつ必要最小限の過剰厚み状態でプリント配線上に直接、充填することを狙いとしている。
【００１３】
本発明によると、無空気泡かつ、中間トラックあるいは基板あるいはプリント配線の表面での空洞部に位置する領域の過剰厚でのペースト状の剤による直接充填の方法は、空洞領域内にあるガスを泡の形で排出するよう、移動手段により充填剤を充填領域まで移動させるとともに、このガスを充填剤により置換すると同時に基板表面の剤の厚さを調整することからなるという点で注目に値するものである。
【００１４】
充填領域で剤を移動させる段階に先立ち、本発明の方法は外部ガスから充填領域を切り離して剤が自由に入るよう基板の表面に塗布して、領域外部のガスのすべての入口から該充填領域を遮断することも提案している。こうして気密性は、充填領域外部ガスとのあらゆる外部側との接触を避けて、充填剤が充填領域で移動が起こるように、充填の始まりから余剰分の掻き落とし時あるいは基板表面の剤厚の調整時まで、剤で被覆された充填領域を維持して保証される。充填剤の塗布から余剰分の掻き落としが完全に可能になる厚みの掻き落としまでのいかなる時点でも、充填領域は充填領域外部からくるガスに触れないはずである。
【００１５】
充填剤による空気置換の原理を支配する基本的な作用に合わせると、本発明の対象となる方法はその実施において３つの段階に分解可能である。
【００１６】
第１段階は、充填ならびに必要な場合には基板表面上の剤厚の調整を実施することをめざして、一方で外部からの充填領域中にあるガスを切り離すとともに、他方で剤を十分に塗布するよう基板表面上に充填剤を塗布することからなる。
【００１７】
第２段階は泡の形のガスを排出するよう充填領域で剤の強制循環を生じさせるようにして、充填剤を基板内の充填領域で移動させることからなる。ガスの排出に応じて、対応する容積が先に塗布された充填剤によって置換される。充填剤の移動により泡の形の空洞領域にあるガスが運び去られるので、剤による置換が可能な結果となる。
【００１８】
第３段階は過剰な剤を取り除くかあるいは基板面に望ましい厚さを調整することからなり、この厚さはゼロであることもある。
【００１９】
本発明の別の特徴によれば、充填領域での剤の移動は、ある流体力学効果により、特に、その軸が装置に関する基板の動きに垂直であるとともに、基板に平行でかつ充填領域でのローラーの接線方向の移動が装置に関する基板の相対移動の方向と逆であるという回転ローラーの流体力学効果によって得られる。このようにして、流体力学効果によって、ローラー上の粘性のある剤の粘着性により充填剤の移動が生じる。該移動はローラーの間隔が狭いほど大きい。ローラーの表面では、剤の速度はローラーの接線方向速度に等しく、ついでこの速度はローラーから遠ざかるにつれて遅くなる。この減速は充填剤の流動性次第である。いずれの場合も、ローラーは流体力学効果がはっきりするよう、例えば、充填領域でのローラーの接線方向速度１００に対し５０以上であるといったように、剤の速度が十分小さい基板の間隔で配置されよう。より好ましい方法では、一方では、機械的な摩擦の危険をすべて無くすように、他方で流体力学効果が乱れるのを避けるために、ローラーと基板との間の接触が避けられる。
【００２０】
本発明によると、多少なりとも粘性のある液体剤の利用により、基板の対向面上に現れずに長さが長くなることもある空洞領域の充填が特に保証される。
【００２１】
本発明の別の特徴によると、充填の方法は、基板の並進移動の手段を基板上に支持を取るとともに、充填剤の入った充填先端部の作用と関連付けることから構成され、充填剤の前記移動手段、ならびに充填剤により全体的に占められる過圧力近傍の下流領域を形成する掻き落とし要素に付随する作用のおかげで、前記先端部により剤の移動手段の上流と下流間にプラスの圧力差分を生じさせることが可能となり、特に充填先端部内に含まれるローラーにより構成される剤の移動手段が、充填領域にあるガスを排出するとともに、基板の移動に応じて充填剤により置換するよう、こうして圧力のより少ない上流領域を形成する前記充填先端部に関する基板の移動と反対の方向に充填領域での充填剤の循環を引き起こすことからなる。
【００２２】
充填領域でのローラーの接線方向の動きが基板の移動方向と反対であるローラーの回転方向は、一方では、ローラーとローラーの下流に位置する掻き落とし要素との間に過圧力に極めて近い領域を生み出すように、他方では、ローラーの上流に位置するより小さい圧力の領域の方へと過圧力領域の充填領域での充填剤の循環を生み出すよう、掻き落とし要素の方への流体力学効果による充填剤の蓄積を可能にしよう。
【００２３】
移動要素ならびに掻き落とし要素に付随する作用のもとで下流に極めて近い領域に生じる過圧力は、引き裾効果と呼ばれる再引きずり込みと掻き落とし要素による剤のえぐりの影響の埋め合せを可能にする。また、本発明の別の有利な特徴は、上流のより小さい圧力の領域に対する下流の過圧力に極めて近い領域の圧力差分を調整するよう、充填剤を移動させるローラーの速度、および／または、ローラーの直径を調節するように調整あるいは選択して、充填領域での掻き落とし要素の下にある剤が溢れ出るのを制御するとともに、空洞領域に必要最小限に然るべき堆積物の過剰厚みを引き起こすことが可能なように、前述の掻き落とし要素の引き裾効果の埋め合せを可能にする点にある。
【００２４】
本発明のさらに別の特徴によると、移動要素を形成するローラーにより排出される泡が空洞充填領域に再度引きずり込まれるのを避けるためには、充填先端部内に位置するローラーの表面に、また理想的方法では、ローラーの一番上の部分上で接線方向に掻き落とし器を配置するのが賢明であることがある。こうしてローラーの回転時に剤の動きによって引きずり込まれる泡はこの掻き落とし器により阻止されるとともに、その時は剤に関するガスの比重差により充填剤の表面に浮かび上がってくるしか他に選択の余地はなくなる。実際、掻き落とし器は、局部的に剤の移動状態を無くすよう流体力学上の効果を無効にするのが目的である。ガスもまた基板の移動の方向に応じて移動要素の下流と上流間に存在する圧力差により自然に排出されることに注目すべきである。
【００２５】
本発明による方法のもうひとつの特徴によれば、剤の移動は制御可能である。この点で、もし充填剤の移動装置が回転ローラーから構成される場合には、該ローラーの回転速度は装置に関する基板の移動の速度と関係ない方法で調整可能である。回転の速度は装置に関する基板の速度、剤の流動性ならびに充填されるべき空洞領域の形状に応じて調節される。このことは先に指摘されたように、流体力学上の効果はローラーの回転速度、および／または、直径を変動させて多少なりとも増幅可能である。実は、流体力学効果はローラーの接線方向速度の関数である。このように、回転速度一定のローラーの直径を太くすると、流体力学効果が拡大する。同様にして、直径が一定のローラーの回転速度を上げると同じく流体力学効果が拡大する。
【００２６】
ローラーの回転の速度と直径の一組のパラメーターが充填剤の流動性に応じて選択される。実際には、例として、ある種の充填材は極めて速すぎる回転速度によって引き起こされる過度な剪断には耐えられない。この場合には、より遅い回転速度でより大きな直径のローラーが選択されよう。例として、毎分１００回転の回転速度で連結される直径１０ミリのローラーは、今日の市場で入手可能な充填材で優秀な充填結果をもたらす。充填装置に関するプリント配線あるいは基板の移動速度は、流体力学効果と充填領域の形態に応じて変化させることも可能である。極めて決定的な試験が３０ミリ／秒の回転速度で実施された。ローラーと基板表面間の距離間隔は最終的に主として剤の流動性と充填領域の深さに応じて調節された。そこでは、再び、厚み４００ミクロンの銅のトラックならびに今日の市場で入手可能な充填剤に関して０．５ミリの間隔で極めてはっきりした結果が得られた。
【００２７】
明らかに、ここに提起されたすべての値は良好な結果を招く例として挙げられたものであるが、本発明からそれないでこれらを大幅に変動させることも可能である。
【００２８】
本発明はまた本発明の充填方法の実施を可能にする装置にも関する。
【００２９】
本発明によれば、基板面に関する空洞部に位置するとともに基板の別の面上に現れなくて、かつ長さがかなり長くなる可能性のある領域のシルクスクリーン印刷のマスクあるいはスクリーンのないタイプの、多少とも粘性のある液体充填剤を伴い、基板の表面に相対的に並進移動する本装置は、基板に関する充填装置の相対移動の方向に応じた順番で、基板表面の充填剤塗布要素、特に回転ローラーにより構成される充填領域での充填剤の移動要素、厚み調整あるいは過剰充填剤の掻き落とし要素、を前記充填剤が充填開始から過剰分の掻き落としまで常に充填領域と接触を保つように連動させる点で注目に値する。
【００３０】
充填剤の移動要素に関して対称な方法を考えると、本装置は二方向に機能可能であると同時に、シルクスクリーン印刷機上で機能可能である。このように、充填剤の移動は基板に関する装置の進行方向に応じて逆転可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１および図２は前記充填先端部１２の下での連続回転（矢印A）を可能にする、プリント配線によりここに構成される充填先端部１２ならびに基板１の並進移動手段１１の全体断面図を示す。
【００３２】
基板１に関する充填先端部１２の相対並進移動は基板１の固定を保った先端部１２の移動により実行可能となるが、先端部１２の固定と基板１の移動を保つことが最も実施が容易であるので採用された解決策である。
【００３３】
本発明の主たる性質に合わせて製作される充填先端部１２には、充填剤２が入った室１３が含まれ、該室１３は下流で９０度以下の角度で傾斜するドクター７により、上流では９０度以上の角度で同じ方向に傾斜したドクター１０で境界が定められるとともに、ドクター７および１０の間に配置されて剤２の移動をさせるとともに、空洞充填領域４でローラー３の接線方向の動きの方向に回転するローラー３が、充填先端部１２に関する基板１の並進移動Aに対向する。
【００３４】
ローラー３の下で回転が発生するにつれて、ローラー３の回転Rが充填領域４での剤２の移動を引き起こし、該ローラーは充填先端部１２に関する基板１の移動方向Aとは反対である方向Bに回転する。ローラー３と掻き落とし要素７に付随する作用が、その後、これら２つの要素間に位置する剤２中の過圧力の下流Cに非常に近い領域を生成する。実際には、ローラー３は流体力学効果を発生させるとともに、基板１と掻き落とし要素７の仕切壁間で計測される９０度未満の角度で傾斜する仕切壁である掻き落とし要素７に剤２を押しつける。この掻き落としは、その傾斜角度が充填先端部１２に関する剤２の流動性と基板１の前進速度Aに応じて対応可能な傾斜した仕切壁７を利用して行うのが賢明である。角度aが小さいほどローラー３と掻き落とし要素との間に極めて近い領域C中の過圧力は大きくなる。剤２の過剰分の下流の掻き落とし要素７の角度もまた前記掻き落とし要素７の背後の剤の再引きずり込みあるいは引き裾の効果を限定するように順応される。
【００３５】
従って、空洞領域４にある空気５は移動によるかあるいは泡６の形で排出されるとともに、剤２によって置換されるということになる。空気が泡６の形で排出される場合には、これらの泡はローラー３の近傍下流領域Ｃと上流領域Ｄとの間に生ずる圧力差分のおかげで剤２から追い出される。上流要素１０の仕切壁は剤２を塞がれた容積１３中に入れることを可能にするとともに、下流要素７の仕切壁と同一方向に傾斜すると同時に基板１と９０度より大きな角度βをなす。
【００３６】
好ましくは、充填先端部１２は、生じた真空が充填領域４から取り出される空気の排出に都合が良いように、先端部１２の部分にあるレベルの真空を引き起こす可能性に備えて塞がれよう。同様に、ある先端部１２から別の先端部への通行のための迅速固定装置や、生産停止時あるいは先端部の変更時に先端部１２に含まれる剤２が流れるのを避けるための低い部分の閉塞要素や、処理するプリント配線１の幅に応じて本発明の装置を迅速に再構成するよう基板１の幅に対応する長さ調節要素、等々を充填先端部１２に装備することが計画可能であろう。
【００３７】
充填剤２がローラー３と掻き落とし要素７の間の全近傍空間を占有するのに十分な量があることもまた必須である。この条件は剤２の圧力導入を保証するために必要である。従って、充填先端部１２中に剤２の最小容積の維持装置を計画することが考えられる。こうして、剤２の移動要素を形成するローラー３が停止状態で常に完全に覆われるように、充填先端部１２を剤の最小容積で充填しておくことが推奨される。
【００３８】
充填剤２の移動を強化するために、ローラー３の表面の状態を変更する、例えば、ローラー軸に平行な縞模様で細縞を付けたり、あるいはローラー３にローラーの軸にこれもまた平行で柔軟なあるいは剛な小翼を装備するといったことが賢明であることがある。
【００３９】
図２の図はＡの方向に充填先端部１２の下を次々に通過する充填基板１の移動を確実にする搬送装置１１の実施方法を図式的に示したものである。ここで、回転カーペットで形成されて示される搬送装置１１は、引きずり去りシリンダーあるいは充填先端部１２の下の配線１の前進Ａを可能にする全く別の装置によって当然置換可能であろう。
【００４０】
図３は本発明の方法による空洞領域４が剤２によって充填された基板１の断面である。これから分かるように、領域４の充填状態は剤２が基板１について少し厚すぎる状態にある。この点は領域４が完全でかつ凹みのないこのように確かな充填であるので特に興味深い。
【００４１】
この点は移動要素３ならびに下流の掻き落とし要素７に付随する作用のもとで生じる過圧力の近傍領域のおかげで可能となったものである。
【００４２】
実際、過圧力Ｃは充填領域４中の下流掻き落とし要素７の下で軽いオーバーフローを生じさせる。
【００４３】
このオーバーフローがドクターの引き裾効果を埋め合せるとともに、空洞領域４の上に必要最小限の過剰厚みを生じさせる。
【００４４】
１枚の充填基板１を示す図４の写真上で、空洞領域４は数センチにわたって延びる可能性のある中間トラック領域により形成されることが理解できる。本発明の目的は完全かつ泡無しの方法で誘電剤により領域４を充填することである。充填の困難さは領域４が反対側の面上に現れなく、従って空気がある領域にこもったままであることに起因する。これらの領域を充填するために該剤上の圧力を上げることが十分でないという理由は、この点が充填先端部１２の通過時に空洞領域４中に閉じこめられた空気を圧縮する結果を招くだけにすぎないからである。この充填を実行するため本発明は、空洞領域４にある空気５を移動によるかまたは泡６の形で引きずり込むと同時に充填剤２により順次これを置換するように、充填領域４で剤２の流れを生じさせることを提案するものである。
【００４５】
充填基板１の詳細を示す図５の写真上で、この場合、およそ４００ミクロンの充填領域４の深さを見て取ることが可能である。
【００４６】
導電性トラックは銅製である。
【００４７】
図６は、剤２の移動を局部的になくすとともに掻き落とし器９の仕切壁上での阻止により空気６の泡の排出を引き起こすよう、表面の方への排出に都合良くして流体力学上の効果を無効にするために、ローラー３の上部部分で接線方向に配置された掻き落とし器９が装備された充填先端部の断面を図式的に示す。
【００４８】
基板１が厚みの厚い銅が見えるプリント配線により構成される場合には、剤２の過剰厚みは剤２の重合後に処置されるブラシがけ時に容易に無くされよう。
【００４９】
本発明の充填方法は、例えば、電気動力変換器によって生み出される流体力学効果のあるローラー３の回転Ｒで、また、手動にせよ、搬送装置、回転カーペットあるいは引きずり去りローラーのような自動引きずり去り装置によるにせよ、確実な充填先端部１２に関する基板１の並進移動Ａの動きを伴う自律的な方法で機能させることが可能である。
【００５０】
図７の図は基板１の空洞領域４の充填を確実にするための充填先端部１２と連結された設備例の実施方法を図示することを目的としている。
【００５１】
これを見て分かる通り、この設備は充填先端部１２の下で基板１の移動Ａを保証する搬送装置１１、充填基板１を充填先端部１２の下の搬送装置１１の方へ送るために進行方向Ａにある搬送装置１１の上流に位置する供給搬送装置２０、そして充填先端部１２により充填されたばかりの基板１を回収するための搬送装置１１の下流に位置する排出搬送装置３０から構成される。
【００５２】
本発明によると、搬送装置１１は、より精確には、好ましくはステンレススチールで製作される継ぎ目無しカーペット１１０により構成されるとともに、少なくともその１本が駆動する２本のシリンダー１１１および１１２の廻りに駆動されて、圧力状態に維持するとともに、充填先端部１２の下にあるカーペット１１０上で受入れ搬送装置２０から出たばかりの基板１を駆動するよう、カーペット１１０の上部に配置された２本の圧縮シリンダー１２０aおよび１２０bに入口で連結される。
【００５３】
ローラータイプの供給搬送装置２０には、回転キャスターが内部に用意された２本の誘導レール２１a、２１bから形成され、長さが調整可能に取付けられるとともに、搬送装置１１上にある充填先端部１２の下へのそれらの受入れ前に基板１の適切な位置決め可能にする芯合わせ装置２１が含まれる。搬送装置１１は剤２により汚染されるのが避けられないので、カーペット１１０の下に配置された。１枚あるいは数枚の刃で構成される継ぎ目無しカーペット１１０の連続清浄装置２２が、搬送装置１１の下のカーペット１１０の外面に支持される複数のドクター（２つの２２aおよび２２bが示されている）を形成する。この清浄装置は溶剤の塗布用具で置き換えることも可能である。
【００５４】
ベルト付きタイプの排出搬送装置３０は先端部１２により置換されたばかりの基板１を別の処理単位の方に送ることを可能にする。
【００５５】
該設備機能は充填先端部１２中に含まれる剤２で配線１を充填するのを可能にし、上記で記述されたばかり内容は単純であると同時に、図７から図１０を参照して同様に続けられる。
【００５６】
図７の図により図示された第１段階では、ある配線１が充填先端部１２の下に置かれる一方で、もうひとつの配線１が受入れ搬送装置２０の芯決め装置２１の２本のレール２１a、２１b間を誘導される。
【００５７】
図８の図により図示された第２段階では、搬送装置２０上で芯が合わされたばかりの配線１が、先端部１２の下に置かれるとともに、本発明の方法による充填先端部１２により空洞領域４を充填させるように矢印Ａの方向に次々と通り過ぎる配線１と接触するようになるために、搬送装置１１の圧縮ローラー１２０aおよび１２０bにより引きずり込まれる。
【００５８】
図９の図により図示される第３段階では、充填先端部１２の下にあった該配線１は、先端部１２によって塗布された剤２とともに、継ぎ目なしカーペット１１０を経由して、先行材によるこの最後の駆動力から完全に脱する。
【００５９】
図１０の図により図示された第４段階では、配線１は別の処理単位あるいは貯蔵場所に向けた発送の最後に、搬送装置１１からベルト付き搬送装置３０の方に運搬される。次いで、搬送装置１１のカーペト１１０上に残る充填剤２が、装置２２の刃２２aおよび２２bにより除去されるとともに洗浄される。
【００６０】
従って、このように、本発明による装置は、配線１を充填先端部１２の下を連続して通過可能にさせる。実際、搬送装置２０ならびに圧縮ローラー１２０aおよび１２０bに付随する作用のおかげで、配線１は先端部１２の下の通行の間相互に接触する。この接触により剤２によるカーペット１１０の汚染の最小化が可能となる。
【００６１】
図１１a、１１b、および図１１cの図は、組立支持台の当然の構造ならびに、充填先端部１２の下の基板１の並進移動Ａを確保するための２本のシリンダー１１１および１１２の廻りに駆動される継ぎ目無しカーペット１０付き搬送装置１１、充填先端部１２の下で充填基板１を搬送装置１１の方に発送するとともに、芯合わせ装置２１の２本の誘導レール２１a、２１bならびにローラー２０付きの進行方向Ａにある搬送装置１１の上流に位置する供給搬送装置、ならびに、ベルト付きのタイプであると同時に、搬送装置１１の下流に位置して充填先端部１２により充填されたばかりの基板１を回収するための排出搬送装置３０、の機能に必要な駆動装置を示す設備一式の一実施方法のそれぞれ正面図、側面図ならびに上面図を示す。
【００６２】
上流２０および下流３０の供給搬送装置類が中央搬送装置１１に関する位置調整が手動で可能である点は注目される。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
その他の特徴や利点は付録の図類とともにそれらに続く説明を理解すればより明確になろう。図類は本発明の非限定的実施例を示すものである。
【図１】本発明による充填装置の断面を示す。
【図２】図１の充填装置と連結された移動手段を図式的に示す。
【図３】本発明により実行される基板の充填の断面を示す。
【図４】充填基板の写真の見下ろし図を示す。
【図５】充填基板の拡大詳細を示す。
【図６】移動要素の掻き落とし器を装備した充填先端部を示す。
【図７】図１の充填装置に連結された設備の実施方法の段階を図示する透視図である。
【図８】図１の充填装置に連結された設備の実施方法の段階を図示する透視図である。
【図９】図１の充填装置に連結された設備の実施方法の段階を図示する透視図である。
【図１０】図１の充填装置に連結された設備の実施方法の段階を図示する透視図である。
【図１１ａ】図７の設備一式の実施方法の正面図である。
【図１１ｂ】図７の設備一式の実施方法の側面図である。
【図１１ｃ】図７の設備一式の実施方法の見下ろし図である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空洞領域（４）にあるガス（５）を泡（６）の形で排出させるとともに充填剤（２）により置換するよう移動手段（３）によって充填領域（４）で充填剤（２）を移動させるとともに、基板（１）表面の剤（２）の厚みを調整することから構成されることを特徴とする粘性剤（２）による基板あるいはプリント配線（１）の表面に関する空洞部に位置する中間トラックあるいは領域（４）の無空気泡かつ過剰厚みでの直接充填方法。
【請求項２】
順番に、充填領域（４）を外部ガスから隔離するとともに剤（２）を十分充填するよう基板（１）の表面に剤（２）を塗布しながら、充填領域（４）を該領域外部のガスのあらゆる侵入から遮断し、充填剤（２）のもとで充填領域（４）中にあるガス（５）を泡（６）の形で排出させるよう充填領域（４）で剤（２）を移動させ、充填剤（２）により泡（６）の形で排出されるガス（５）を置換するとともに、基板（１）の表面にある剤（２）の厚みを調整することから構成されることを特徴とする請求項１による充填方法。
【請求項３】
充填領域（４）での剤（２）の移動が流体力学効果により得られることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項４】
充填領域（４）に再度引きずり込まれないように掻き落とし（９）の手段によって充填剤（２）の移動手段（３）により排出されるガスの泡（６）を阻止することから構成されることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項５】
前記充填領域（４）が基板（１）の他方の面上に現れないと同時に長さが長いことを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項６】
充填剤（２）移動速度が調節可能であることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項７】
軸が装置に関する基板の動きに垂直であるとともに、充填領域（４）での充填剤（２）の移動が充填領域でのローラーの接線方向の動きが基板（１）の移動方向と反対の方向に応ずる、基板に平行である回転ローラー（３）の流体力学効果により得られることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項８】
基板（１）が並進する移動手段（１１）を基板（１）上に支持を取るとともに充填剤（２）が含まれる充填先端部（１２）の作用に連結させて、前記先端部（１２）が、充填剤（２）の前記移動手段（３）、ならびに、充填剤により完全に占有される過圧力（Ｃ）に非常に近い下流領域を形成するとともに、移動手段（３）が充填領域（４）中にあるガス（５）を排出するよう、移動手段（３）がより小さい圧力（Ｄ）の上流領域形成する充填先端部（１２）に関する基板の移動と対向する方向に充填領域での充填材の循環を引き起こす掻き落とし要素（７）に付随する作用のおかげで、剤（２）の移動手段（３）の上下流間にプラスの圧力の差分を生じさせることを可能にするとともに、基板（１）の移動に応じて充填剤（２）によりこれを置換することを可能にすることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項９】
充填剤（２）の移動を保証するローラー（３）が前記充填先端部（１２）に含まれることを特徴とする請求項１、請求項７および請求項８による充填の方法。
【請求項１０】
回転速度、および／または、充填の頭部（１２）に含まれる前記ローラー（３）の直径が充填領域（４）での掻き落とし要素（７）の下で剤（２）のはみ出しの制御を可能にするとともに、下流の前記掻き落とし要素（７）の引き裾効果を補償することを可能にする圧力の小さい領域（Ｄ）に関する過圧力近傍領域（Ｃ）の圧力差分を調節するよう調整可能であることを特徴とする請求項８および請求項９による充填の方法。
【請求項１１】
基板（１）に関する充填装置の相対移動の方向に応じて順番に、基板（１）の面への充填剤（２）の塗布要素（１０）、充填領域（４）での充填剤（２）の移動要素（３）、充填剤（２）の厚みの調整あるいは過剰分の掻き落としの要素（７）を、充填の開始時から過剰分の掻き落とし時まで、前記充填剤（２）が充填領域（４）と常に接触を維持するよう連動させる点を特徴とする、基板（１）の表面に関する空洞部（４）に位置するとともに、基板（１）の別の面上に現れずかつ長さが長い可能性のある領域の無マスクあるいは無スクリーンのシルクスクリーン印刷の、多少とも粘性のある充填材（２）を伴い、基板（１）の表面に相対的に並進運動する請求項１から請求項１１までのいずれかによる充填の方法を実施する充填装置。
【請求項１２】
移動要素（３）が回転ローラー（３）により構成されるという点を特徴とする請求項１１による充填装置。
【請求項１３】
装置が２方向に機能可能であるとともに、シルクスクリーン印刷機械で実施されるように対称であるという点を特徴とする請求項１１による充填装置。
【請求項１４】
基板（１）の表面に関して相対的な充填剤（２）の前記相対並進運動が、基板（１）は動くが、剤（２）の充填装置は固定を維持しながら得られるという点を特徴とする請求項１１による充填装置。
【請求項１５】
前記移動要素（３）により排出される泡（６）の阻止用に充てられる掻き落とし器（９）が含まれるという点を特徴とする請求項１１および請求項１２による充填装置。
【請求項１６】
a)充填剤（２）が含まれる、下流で９０度以下の角度で傾斜するドクター（７）により、上流では９０度以上の角度で同じ方向に傾斜するドクター（１０）により仕切られる室（１３）、b)ドクター（７）と（１０）との間に置かれるとともに、充填領域でのローラー（３）の接線方向の運動が充填装置に関する基板の並進運動（矢印Ａ）に対向する方向に回転する剤（２）を移動させるローラー（３）が含まれる充填先端部（１２）、並びに前記充填先端部（１２）の下で基板の連続した通過（矢印Ａ）を可能にする基板（１）の並進移動手段（１１）から構成されるという点を特徴とする請求項１１から請求項１５までのいずれかによる充填装置。
【請求項１７】
基板（１）を並進移動させる前記移動手段（１１）が回転するカーペットである点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項１８】
前記充填先端部（１２）に下部部分に配置される閉塞要素が装備されている点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項１９】
前記充填先端部（１２）が処理基板（１）の幅に応じてその長さが調整可能である点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項２０】
前記充填先端部（１２）が処理基板（１）の幅に合わされるとともに、迅速な固定装置によりある充填先端部から別の先端部への通行が可能となる点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項２１】
前記ローラー（３）に充填剤（２）の移動を強化するようローラーの軸に平行な小翼が含まれる点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項２２】
前記掻き落とし器（９）が空気泡（６）の排出を引き起こすよう移動要素（３）の上部部分上の接線方向に配置される点を特徴とする請求項１５および請求項１６による充填装置。
【請求項２３】
前記基板（１）がプリント配線である点を特徴とする請求項１２から請求項２２までのいずれかによる充填装置。
【請求項２４】
充填剤（２）が含まれる前記充填先端部（１２）が塞がれている点を特徴とする請求項１２から請求項２３までのいずれかによる充填装置。
【請求項２５】
充填剤（２）が含まれる前記充填先端部（１２）が基板（１）の充填領域（４）から排出される空気の排出に都合が良いようにするために、充填剤（２）の上部に位置する部分に、あるレベルの真空状態の創出により塞がれる点を特徴とする請求項１２から請求項２３までのいずれかによる充填装置。
【請求項２６】
充填先端部（１２）の下にある基板（１）の並進運動Ａを保証する搬送装置（１１）、充填基板（１）を充填先端部（１２）の下にある搬送装置（１１）の方に発送するために搬送装置（１１）の上流に位置する供給搬送装置（２０）、ならびに前記充填先端部（１２）により充填されたばかりの基板（１）を回収するための搬送装置１１の下流に位置する排出搬送装置（３０）から構成される点を特徴とする請求項１２から請求項２５までのいずれかによる充填装置。
【請求項２７】
少なくともその１本が駆動する２本のシリンダー（１１１および１１２）の廻りに駆動される搬送装置（１１）が、圧力状態に維持するとともに受入れ搬送装置（２０）から出たばかりの基板（１）を充填先端部（１２）の下のカーペット（１１０）上に引きずり込むよう、カーペット（１１０）の上部に配置される少なくとも１本の圧縮シリンダー（１２０a、１２０b）に入口部で連結させられる継ぎ目無し回転カーペット（１１０）により構成される点を特徴とする請求項２６による設備。
【請求項２８】
供給搬送装置（２０）がローラー付きタイプであるとともに幅が調整可能に取付けられ、内部に回転キャスターが備えられた２本の誘導レール（２１a、２１b）で形成されて、該搬送装置（１１）上の充填先端部（１２）の下への受入れ前に基板（１）の適切な位置決めを可能にする芯合わせ装置（２１）がこれに含まれる点を特徴とする請求項２６による設備。
【請求項２９】
少なくとも１枚の刃（２２a、あるいは２２b）で構成されて、ドクターを形成するため搬送装置（１１）の下にあるカーペット（１１０）の外面上に支持点が置かれる継ぎ目無しカーペット（１１０）の連続洗浄装置（２２）が含まれる点を特徴とする請求項２６による設備。
【請求項３０】
排出搬送装置（３０）がベルト付きのタイプであるとともに先端部（１２）により充填されたばかりの基板（１）を別の処理単位の方へ発送可能にする点を特徴とする請求項２６による設備。
【請求項１】
空洞領域（４）にあるガス（５）を泡（６）の形で排出させるとともに充填剤（２）により置換するよう移動手段（３）によって充填領域（４）で充填剤（２）を移動させるとともに、基板（１）表面の剤（２）の厚みを調整することから構成されることを特徴とする粘性剤（２）による基板あるいはプリント配線（１）の表面に関する空洞部に位置する中間トラックあるいは領域（４）の無空気泡かつ過剰厚みでの直接充填方法。
【請求項２】
順番に、充填領域（４）を外部ガスから隔離するとともに剤（２）を十分充填するよう基板（１）の表面に剤（２）を塗布しながら、充填領域（４）を該領域外部のガスのあらゆる侵入から遮断し、充填剤（２）のもとで充填領域（４）中にあるガス（５）を泡（６）の形で排出させるよう充填領域（４）で剤（２）を移動させ、充填剤（２）により泡（６）の形で排出されるガス（５）を置換するとともに、基板（１）の表面にある剤（２）の厚みを調整することから構成されることを特徴とする請求項１による充填方法。
【請求項３】
充填領域（４）での剤（２）の移動が流体力学効果により得られることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項４】
充填領域（４）に再度引きずり込まれないように掻き落とし（９）の手段によって充填剤（２）の移動手段（３）により排出されるガスの泡（６）を阻止することから構成されることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項５】
前記充填領域（４）が基板（１）の他方の面上に現れないと同時に長さが長いことを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項６】
充填剤（２）移動速度が調節可能であることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項７】
軸が装置に関する基板の動きに垂直であるとともに、充填領域（４）での充填剤（２）の移動が充填領域でのローラーの接線方向の動きが基板（１）の移動方向と反対の方向に応ずる、基板に平行である回転ローラー（３）の流体力学効果により得られることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項８】
基板（１）が並進する移動手段（１１）を基板（１）上に支持を取るとともに充填剤（２）が含まれる充填先端部（１２）の作用に連結させて、前記先端部（１２）が、充填剤（２）の前記移動手段（３）、ならびに、充填剤により完全に占有される過圧力（Ｃ）に非常に近い下流領域を形成するとともに、移動手段（３）が充填領域（４）中にあるガス（５）を排出するよう、移動手段（３）がより小さい圧力（Ｄ）の上流領域形成する充填先端部（１２）に関する基板の移動と対向する方向に充填領域での充填材の循環を引き起こす掻き落とし要素（７）に付随する作用のおかげで、剤（２）の移動手段（３）の上下流間にプラスの圧力の差分を生じさせることを可能にするとともに、基板（１）の移動に応じて充填剤（２）によりこれを置換することを可能にすることを特徴とする請求項１による充填の方法。
【請求項９】
充填剤（２）の移動を保証するローラー（３）が前記充填先端部（１２）に含まれることを特徴とする請求項１、請求項７および請求項８による充填の方法。
【請求項１０】
回転速度、および／または、充填の頭部（１２）に含まれる前記ローラー（３）の直径が充填領域（４）での掻き落とし要素（７）の下で剤（２）のはみ出しの制御を可能にするとともに、下流の前記掻き落とし要素（７）の引き裾効果を補償することを可能にする圧力の小さい領域（Ｄ）に関する過圧力近傍領域（Ｃ）の圧力差分を調節するよう調整可能であることを特徴とする請求項８および請求項９による充填の方法。
【請求項１１】
基板（１）に関する充填装置の相対移動の方向に応じて順番に、基板（１）の面への充填剤（２）の塗布要素（１０）、充填領域（４）での充填剤（２）の移動要素（３）、充填剤（２）の厚みの調整あるいは過剰分の掻き落としの要素（７）を、充填の開始時から過剰分の掻き落とし時まで、前記充填剤（２）が充填領域（４）と常に接触を維持するよう連動させる点を特徴とする、基板（１）の表面に関する空洞部（４）に位置するとともに、基板（１）の別の面上に現れずかつ長さが長い可能性のある領域の無マスクあるいは無スクリーンのシルクスクリーン印刷の、多少とも粘性のある充填材（２）を伴い、基板（１）の表面に相対的に並進運動する請求項１から請求項１１までのいずれかによる充填の方法を実施する充填装置。
【請求項１２】
移動要素（３）が回転ローラー（３）により構成されるという点を特徴とする請求項１１による充填装置。
【請求項１３】
装置が２方向に機能可能であるとともに、シルクスクリーン印刷機械で実施されるように対称であるという点を特徴とする請求項１１による充填装置。
【請求項１４】
基板（１）の表面に関して相対的な充填剤（２）の前記相対並進運動が、基板（１）は動くが、剤（２）の充填装置は固定を維持しながら得られるという点を特徴とする請求項１１による充填装置。
【請求項１５】
前記移動要素（３）により排出される泡（６）の阻止用に充てられる掻き落とし器（９）が含まれるという点を特徴とする請求項１１および請求項１２による充填装置。
【請求項１６】
a)充填剤（２）が含まれる、下流で９０度以下の角度で傾斜するドクター（７）により、上流では９０度以上の角度で同じ方向に傾斜するドクター（１０）により仕切られる室（１３）、b)ドクター（７）と（１０）との間に置かれるとともに、充填領域でのローラー（３）の接線方向の運動が充填装置に関する基板の並進運動（矢印Ａ）に対向する方向に回転する剤（２）を移動させるローラー（３）が含まれる充填先端部（１２）、並びに前記充填先端部（１２）の下で基板の連続した通過（矢印Ａ）を可能にする基板（１）の並進移動手段（１１）から構成されるという点を特徴とする請求項１１から請求項１５までのいずれかによる充填装置。
【請求項１７】
基板（１）を並進移動させる前記移動手段（１１）が回転するカーペットである点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項１８】
前記充填先端部（１２）に下部部分に配置される閉塞要素が装備されている点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項１９】
前記充填先端部（１２）が処理基板（１）の幅に応じてその長さが調整可能である点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項２０】
前記充填先端部（１２）が処理基板（１）の幅に合わされるとともに、迅速な固定装置によりある充填先端部から別の先端部への通行が可能となる点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項２１】
前記ローラー（３）に充填剤（２）の移動を強化するようローラーの軸に平行な小翼が含まれる点を特徴とする請求項１６による充填装置。
【請求項２２】
前記掻き落とし器（９）が空気泡（６）の排出を引き起こすよう移動要素（３）の上部部分上の接線方向に配置される点を特徴とする請求項１５および請求項１６による充填装置。
【請求項２３】
前記基板（１）がプリント配線である点を特徴とする請求項１２から請求項２２までのいずれかによる充填装置。
【請求項２４】
充填剤（２）が含まれる前記充填先端部（１２）が塞がれている点を特徴とする請求項１２から請求項２３までのいずれかによる充填装置。
【請求項２５】
充填剤（２）が含まれる前記充填先端部（１２）が基板（１）の充填領域（４）から排出される空気の排出に都合が良いようにするために、充填剤（２）の上部に位置する部分に、あるレベルの真空状態の創出により塞がれる点を特徴とする請求項１２から請求項２３までのいずれかによる充填装置。
【請求項２６】
充填先端部（１２）の下にある基板（１）の並進運動Ａを保証する搬送装置（１１）、充填基板（１）を充填先端部（１２）の下にある搬送装置（１１）の方に発送するために搬送装置（１１）の上流に位置する供給搬送装置（２０）、ならびに前記充填先端部（１２）により充填されたばかりの基板（１）を回収するための搬送装置１１の下流に位置する排出搬送装置（３０）から構成される点を特徴とする請求項１２から請求項２５までのいずれかによる充填装置。
【請求項２７】
少なくともその１本が駆動する２本のシリンダー（１１１および１１２）の廻りに駆動される搬送装置（１１）が、圧力状態に維持するとともに受入れ搬送装置（２０）から出たばかりの基板（１）を充填先端部（１２）の下のカーペット（１１０）上に引きずり込むよう、カーペット（１１０）の上部に配置される少なくとも１本の圧縮シリンダー（１２０a、１２０b）に入口部で連結させられる継ぎ目無し回転カーペット（１１０）により構成される点を特徴とする請求項２６による設備。
【請求項２８】
供給搬送装置（２０）がローラー付きタイプであるとともに幅が調整可能に取付けられ、内部に回転キャスターが備えられた２本の誘導レール（２１a、２１b）で形成されて、該搬送装置（１１）上の充填先端部（１２）の下への受入れ前に基板（１）の適切な位置決めを可能にする芯合わせ装置（２１）がこれに含まれる点を特徴とする請求項２６による設備。
【請求項２９】
少なくとも１枚の刃（２２a、あるいは２２b）で構成されて、ドクターを形成するため搬送装置（１１）の下にあるカーペット（１１０）の外面上に支持点が置かれる継ぎ目無しカーペット（１１０）の連続洗浄装置（２２）が含まれる点を特徴とする請求項２６による設備。
【請求項３０】
排出搬送装置（３０）がベルト付きのタイプであるとともに先端部（１２）により充填されたばかりの基板（１）を別の処理単位の方へ発送可能にする点を特徴とする請求項２６による設備。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１ａ】
【図１１ｂ】
【図１１ｃ】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１ａ】
【図１１ｂ】
【図１１ｃ】
【公表番号】特表２００７−５００４３７（Ｐ２００７−５００４３７Ａ）
【公表日】平成１９年１月１１日（２００７．１．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−５２１６２７（Ｐ２００６−５２１６２７）
【出願日】平成１６年７月２９日（２００４．７．２９）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＦＲ２００４／００２０４３
【国際公開番号】ＷＯ２００５／０１１８７７
【国際公開日】平成１７年２月１０日（２００５．２．１０）
【出願人】（５０６０２９３７０）
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成１９年１月１１日（２００７．１．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年７月２９日（２００４．７．２９）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＦＲ２００４／００２０４３
【国際公開番号】ＷＯ２００５／０１１８７７
【国際公開日】平成１７年２月１０日（２００５．２．１０）
【出願人】（５０６０２９３７０）
【Ｆターム（参考）】
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