ヘッド機構、光アシスト式磁気記録装置、および光記録装置
【課題】光源と記録用ヘッドとを離隔させるとともに、光源を高精度に配置させつつ、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができるヘッド機構、光アシスト式磁気記録装置、および光記録装置を提供する。
【解決手段】ヘッドスライダと近接してサスペンションに取り付けられ、レーザ光を出射するとともに、記録媒体上をヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部をヘッド機構が備える。
【解決手段】ヘッドスライダと近接してサスペンションに取り付けられ、レーザ光を出射するとともに、記録媒体上をヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部をヘッド機構が備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド機構、光アシスト式磁気記録装置、および光記録装置に関するものであり、例えば、情報記録に磁界または光を利用するヘッド機構、それを備える光アシスト式磁気記録装置、および光記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハードディスク装置等に使用される記録媒体において記録密度を高めるための技術開発が進められている。記録密度を向上させるためには、１ビットの記録サイズを小さくする必要がある。しかし、磁気記録方式において、記録ビットサイズを小さくすると、記録情報を保持している磁化状態が、熱エネルギーによって不安定となり、熱揺らぎによって記録情報が消えてしまうので、安定に記録することができなくなる。そのため高い保持力を有する記録媒体が必要になるが、そのような記録媒体を使用すると記録時に必要な磁界も大きくなる。また、記録ヘッドによって発生する磁界は飽和磁束密度によって上限が決まるが、この値は材料限界に近づいており飛躍的な増大は望めない。そこで、記録時に局所的に加熱して磁気軟化を生じせしめ、保持力が小さくなった状態で記録し、その後に加熱を止めて自然冷却することで記録した磁気ビットの安定性を保証する方式が提案されている。この方式は熱アシスト磁気記録方式と呼ばれている。
【０００３】
この熱アシスト磁気記録方式では、記録媒体の加熱を瞬間的に行うことが望ましく、加熱する機構と記録媒体とが接触することは許されない。このため、加熱は光の吸収を利用して行われるのが一般的であり、加熱に光を用いる方式は光アシスト式と呼ばれている。そして、光アシスト式の磁気記録ヘッドとして、集光機能付きプラナー導波路を有する光学ヘッド部分と、その光学ヘッド部分からの射出光で照射された部分に磁気記録を行う磁気ヘッド部分とを備えたものが提案されている（例えば、特許文献１など）。
【０００４】
また、光アシスト式によって超高密度記録を行うためには、記録媒体に照射する光のスポット径を例えば２０ｎｍ程度の超微小なものにする必要がある。しなしながら、通常の光学系では回折限界の存在により光を超微小なものにまで集光することは難しい。そこで、非伝搬光であるいわゆる近接場光を用いて加熱を行う方式が提案されている（例えば、非特許文献１など）。なお、近接場光を発生させる光ヘッドおよび記録再生装置については、その他の種々の提案がなされている（例えば、特許文献２，３など）。
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６９４４１１２号明細書
【特許文献２】特開２０００―１４９３１７号公報
【特許文献３】特開２０００―３５３３３６号公報
【非特許文献１】シャープ技報第９１号２６頁―３０頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１および非特許文献１で提案された技術では、光源の配置およびその光線のヘッドまでの導光方法が明らかでない。また、上記特許文献２で提案された技術では、光ヘッドに光源が搭載されているため、光源の加熱による光ヘッドの熱膨張に起因して記録精度が低下する虞があるとともに、斜め方向からの光線の導入や複雑な集光用の光学系の配置により光ヘッドの大型化を招いてしまう。
【０００７】
記録装置では、狭い空間に記録ディスクや記録用ヘッドなどを配置する必要があり、記録用ヘッドの大型化は好ましくない。特に、磁気記録方式では、高密度で大量の情報を記録させる場合、狭い空間に複数枚の記録ディスクを微小距離（例えば、１ｍｍ以下）だけ相互に離隔して配置することが要求される。このような場合には、記録用ヘッドの厚みが制限される。なお、上記特許文献３で提案された技術では、光源から記録用ヘッドまで光線を導くための光学系が複雑であり、狭い空間に記録ディスクと記録用ヘッドとを配置することができない。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、光源と記録用ヘッドとを離隔させるとともに、光源を高精度に配置させつつ、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、記録媒体上を浮上走行して情報の記録を行うためのヘッドスライダと、前記ヘッドスライダを保持するサスペンションと、前記サスペンションを保持するアームと、前記ヘッドスライダと近接して前記サスペンションに取り付けられ、レーザ光を出射するとともに、前記ヘッドスライダに対応した形状を有することで前記記録媒体上を前記ヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部と、を備え、前記ヘッドスライダは、前記レーザ光を集光して前記記録媒体に光を照射するための集光部を有することを特徴とするヘッド機構である。
【００１０】
また請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のヘッド機構であって、前記サスペンションは、前記アーム部に取り付けられた一端と、該一端側から第１および第２方向に分岐して延設される第１および第２腕部とを有し、前記第１腕部に前記光源部が取り付けられるとともに、前記第２腕部に前記ヘッドスライダが取り付けられることを特徴とする。
【００１１】
また請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のヘッド機構であって、前記光源部から出射されたレーザ光が前記サスペンションの表面で反射されて前記集光部に入射されるように、前記ヘッドスライダと前記光源部とが前記サスペンションに取り付けられていることを特徴とする。
【００１２】
また請求項４に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のヘッド機構であって、前記光源部から出射されたレーザ光が前記記録媒体の表面で反射されて前記集光部に入射されるように、前記ヘッドスライダと前記光源部とが前記サスペンションに取り付けられていることを特徴とする。
【００１３】
また請求項５に記載の発明は、記録媒体上を浮上走行して情報の記録を行うためのヘッドスライダと、レーザ光を出射するとともに、前記ヘッドスライダに対応した形状を有することで前記記録媒体上を前記ヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部と、前記ヘッドスライダを保持する第１サスペンションと、前記光源部を保持する第２サスペンションと、前記第１および第２サスペンションを保持するアームと、を備え、前記ヘッドスライダは、前記レーザ光を集光して前記記録媒体に光を照射するための集光部を有することを特徴とするヘッド機構である。
【００１４】
また請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５の何れかに記載のヘッド機構を備えるとともに、前記記録媒体に前記集光部から光を照射することにより、前記記録媒体の一部領域を加熱昇温させた状態で前記一部領域に対して情報の磁気的な記録を行うことを特徴とする光アシスト式磁気記録装置である。
【００１５】
また請求項７に記載の発明は、請求項１から５の何れかに記載のヘッド機構を備えるとともに、前記記録媒体に前記集光部から光を照射することによって、前記記録媒体の一部領域に光スポットを形成させて、該光スポットによって前記一部領域に対して情報の記録を行う光記録装置である。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１から７の何れに記載の発明によっても、光源部とヘッドスライダとを離隔させるとともに、ヘッドスライダに対して所望の位置に精密な角度で光を照射できるように、光源部を容易に配置することが可能となるので、光源部を高精度に配置させつつ、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができる。
【００１７】
請求項２および請求項５の何れに記載の発明によっても、光源部とヘッドスライダの配置の自由度を上げることが可能となる。
【００１８】
請求項３および請求項４の何れに記載の発明によっても、レーザ光の最適な入射角度の設定が容易になる。
【００１９】
請求項６および請求項７の何れに記載の発明によっても、請求項１〜５の何れかに記載の発明と同様の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るヘッド機構１０とそれを備えた光アシスト式磁気記録装置１００の概略構成例を示す図である。図１および図１以降の図には、方位関係を明確化するためにＸＹＺの直交する３軸が適宜付されている。
【００２２】
図１で示すように、光アシスト式磁気記録装置１００は、光アシスト式の磁気記録用ヘッドを含むスライダ部３を搭載した磁気記録装置として構成され、例えば、ハードディスク装置などに適用される。この光アシスト式磁気記録装置１００は、略直方体状の筐体１と、該筐体１内に配置された３枚の記録用ディスク（磁気記録媒体）２およびヘッド機構１０とを備えている。
【００２３】
記録用ディスク２は、円盤状の記録媒体であり、相互に所定の微小距離（例えば、１ｍｍ以下）だけ離隔されて盤面が略平行となるように配置される。具体的には、上方から（＋Ｚ方向から−Ｚ方向に沿って）３枚の記録用ディスク２が空間順次に配置されており、筐体１に対して所定の回転軸およびモータによって回転可能に支持されている。
【００２４】
ヘッド機構１０は、３つのスライダ部３と、３本のサスペンション部４と、３本のアーム部５と、回転軸６とを備えている。
【００２５】
３本のサスペンション部４は、それぞれ同様な形状を有するとともに、それぞれ可撓性を有するように薄板状で且つ長細い形状を有し、相互に略平行に配置されている。具体的には、上方から（＋Ｚ方向から−Ｚ方向に沿って）３本のサスペンション部４が空間順次に配置されている。
【００２６】
３本のアーム部５は、一端側（ここでは、−Ｘ方向の端部）において回転軸６によって相互に連結されるとともに、該回転軸６を支点として、矢符ｍＡ方向（トラッキング方向）に筐体１に対して回転可能に支持されている。各アーム部５は、それぞれ１本のサスペンション部４を保持しており、アクチュエータ８による回転軸６の回転により、各アーム部５に保持された各サスペンション部４が、回転軸６を支点として矢符ｍＡ方向に回転する。
【００２７】
３つのスライダ部３は、それぞれ同様な構成を有するとともに、光アシスト式の磁気記録ヘッドを保持する。そして、１本のサスペンション部４ごとに、１つのスライダ部３が取り付けられている。具体的には、スライダ部３が、サスペンション部４のうちの回転軸６に連結されている一端側とは異なる他端側の下面に対して、記録用ディスク２の一方主面（ここでは上面）に対向するように設けられている。なお、ここでは、記録用ディスク２を矢符ｍＢ方向に回転させるモータ（不図示）が筐体１内に設けられており、スライダ部３が、記録用ディスク２上で浮上しながら相対的に移動し得るように構成されている（図２中の矢符ｍＣ方向）。
【００２８】
図２は、スライダ部３の構成例を示す断面図である。図２で示すように、スライダ部３は、記録用ディスク２に対する情報記録に光を利用する記録用ヘッド（ここでは、磁気記録用ヘッド）を有する。そして、スライダ部３は、例えば、セラミック製などの基板５０を用いて構成されており、基板５０の内部には、記録用ディスク２の被記録部分の流入側から流出側にかけて順に（矢符ｍＣ）、光アシスト部５１、磁気記録部５２、および磁気再生部５３が形成されている。
【００２９】
光アシスト部５１は、レーザ光を集光して記録用ディスク２に光を照射する集光部として機能する導波路６０（図３参照）を有している。この導波部６０は、記録用ディスク２の一部領域（すなわち被記録部分）を近赤外レーザ光によってスポット加熱するためのものである。なお、導波路６０の構成については、後述する。
【００３０】
磁気記録部５２は、記録用ディスク２の被記録部分に対して磁気情報の書き込みを行う磁気記録素子によって形成されている。具体的には、記録用ディスク２に対して光アシスト部５１の集光部によって光を照射することにより、記録用ディスク２の被記録部分を加熱昇温させた状態で、磁気記録部５２により被記録部分に対して情報の磁気的な記録が行われる。
【００３１】
磁気再生部５３は、記録用ディスク２に記録されている磁気情報の読み取りを行う磁気再生素子によって形成されている。
【００３２】
図３は、導波路６０を有する光アシスト部５１の構成例を示す図である。導波路６０としては、例えば、上記特許文献１で提案されたものを適用することができる。この導波路６０は、平面型導波路であり、厚みが薄く、幅が上部から下部に向かって徐々に狭まるような放物線状の内面７０，７２を有する。そして、導波路６０の上部の側面に配設された回折格子部６８（具体的には、太破線部内のレーザ照射領域）にレーザ光が照射されて、導波路６０にレーザ光が導入されると、矢符６４で示すようにレーザ光が内面７０，７２で反射して、導波路６０の最下部の焦点Ｆにレーザ光が集光し、記録用ディスク２に向けて電磁波が発生して、記録用ディスク２の微小領域が加熱される。なお、図２では、光アシスト部５１に照射されるレーザ光の光路の外縁が一点鎖線で例示されている。
【００３３】
図２を参照して、スライダ部３は、例えばＡｌＴｉＣ（アルミナ・チタン・カーバイド）からなる基板５０上に、公知の薄膜形成、フォトリソグラフィの技術で、光アシスト部５１、磁気記録部５２、および磁気再生部５３が形成される。そして、ダイシング、イオンミリング等の加工法によって、記録用ディスク２の上方を該記録ディスク２と極微小な距離だけ離間して浮上走行可能な形状（スライダ形状）となるように切断加工される。なお、ここでは、「浮上走行」する状態とは、記録用ディスク２の回転およびその回転によって生じる気流により、スライダ部３および半導体レーザー素子７が、記録用ディスク２の盤面を基準として所定距離だけ離れた位置まで浮き上がった状態で、該記録用ディスク２の盤面に対して相対的に移動する状態のことを示している。
【００３４】
以下、ヘッド機構１０の構成について、更に詳述する。
【００３５】
＜ヘッド機構＞
図４および図５は、本発明の第１実施形態に係るヘッド機構１０の構成例を示す模式図である。図４は、ヘッド機構１０およびその周辺の構成を上方（＋Ｚ側）から見た模式図であり、図４では、サスペンション部４に対する半導体レーザ素子７およびスライダ部３の配置関係が破線で示されている。また、図５は、ヘッド機構１０およびその周辺の構成を側方（＋Ｙ側）から見た断面模式図である。なお、図４および図５では、レーザ光が通過する光路が示されている。
【００３６】
アーム部５は、サスペンション部４と比較して、厚みが厚く且つ剛性が高い素材で構成され、サスペンション部４は、可撓性を有する素材で構成されており、アーム部５とサスペンション部４の延設方向は略同一となっている。そして、アーム部５の一端（−Ｘ側の端部）が回転軸６に固設され、アーム部５の他端（＋Ｘ側の端部）の下面（−Ｚ側の面）にサスペンション部４の一端の上面（＋Ｚ側の面）が連結されている。
【００３７】
また、スライダ部３は、サスペンション部４のうちのアーム部５に対して連結されている一端とは逆の他端近傍の下面に対して、バネ部材からなる懸架部９を介して取り付けられている。
【００３８】
光源部である半導体レーザ素子７は、サスペンション部４の下面に対してバネ部材からなる懸架部１１を介し、所定の最適な位置にスライダ部３と近接して取り付けられている。つまり、１本のサスペンション部４に対して、スライダ部３と半導体レーザ素子７とが所定距離だけ離隔して取り付けられている。ここで言う所定距離としては、例えば、半導体レーザ素子７の発光点を１μｍ、スライダ部３の受光領域（例えば、図３の太破線部で示したレーザ照射領域）を５０μｍとした場合には、１００μｍ程度の距離に設定されれば好適である。
【００３９】
また、半導体レーザ素子７は、レーザ光を出射する光源部として機能し、ヘッドスライダに対応した形状を有する。このため、半導体レーザ素子７は、記録用ディスク２の回転により、記録用ディスク２上をスライダ部３とは離隔した状態で、同時期に浮上走行する。そして、半導体レーザ素子７から出射されるレーザ光は、スライダ部３に対して集光するように照射される。
【００４０】
また、半導体レーザ素子７を構成する素材としては、例えば、ＧａＡｓ、ＡｌＧａＡｓ、ＩｎＧａＡｓ、ＡｌＧａＩｎＰ、ＩｎＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＧａＮ、ＧａＩｎＮＡｓ、ＧａＮＡｓＰ、ＡｌＧａＮＡｓなどの公知の素材のうちの何れかを用いれば良い。そして、例えば、ウエハ上に発光に必要な層を適宜積層させ、所望の位置を切断することで端面から発光するように半導体レーザ素子７を形成すれば良い。
【００４１】
更に、半導体レーザ素子７の形状は、半導体レーザ素子７とスライダ部３の重量および密度が同等である場合には、スライダ部３に対応させて、該スライダ部３と略同一の形状とされる。なお、レーザ素子７の形状をスライダ部３の形状に対応したものとするためには、例えば、スライダ部３と同様に、ダイシング、イオンミリング等の加工法によって、記録用ディスク２の上方を該記録ディスク２と極微小な距離だけ離間して浮上走行可能な形状（スライダ形状）に切断加工されれば良い。
【００４２】
以上のように、本発明の第１実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置１００では、スライダ部３と半導体レーザ素子７とが同一のサスペンション部４に近接して取り付けられている。このため、半導体レーザ素子７とスライダ部３とを離隔させるとともに、スライダ部３に対して所望の位置に精密な角度で光を照射できるように、半導体レーザ素子７を容易かつ簡単な構成で配置することが可能となる。したがって、光源である半導体レーザ素子７を高精度に配置させつつ、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができる。
【００４３】
＜第２実施形態＞
上記第１実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置１００では、１本のサスペンション部４に対し、該サスペンション部４の延設方向に沿って、スライダ部３と半導体レーザ素子７とが所定距離だけ離隔して取り付けられていたが、第２実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置では、サスペンション部４の形状、ならびにスライダ部３および半導体レーザ素子７の配置および形態が変更されたものとなっている。なお、この相違点の他は、第１実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置１００と同様な構成を有するため、以下では、相違する点について主に説明し、同様な部分については同じ符号を付して適宜説明を省略する。
【００４４】
図６は、本発明の第２実施形態に係るヘッド機構１０Ａおよびその周辺の構成を上方（＋Ｚ方向）から見た模式図であり、図６では、半導体レーザ素子７Ａおよびスライダ部３Ａのサスペンション部４Ａに対する配置関係が破線で示されている。
【００４５】
図６で示すように、サスペンション部４Ａが、分岐したものとなっている。具体的には、サスペンション部４Ａは、一端がアーム部５に取り付けられ、該一端から＋Ｘ方向に所定距離だけ延設される部分と、ＸＹ平面上でＸ軸から所定角度ずつ傾いた第１方向および第２方向に分岐して延設される第１腕部４Ａａおよび第２腕部４Ａｂとを有して構成される。なお、ここで言う所定角度は、第１腕部４Ａａの先端部と第２腕部４Ａｂの先端部とが離れすぎない所定距離となるように設定される。なお、ここで言う所定距離としては、例えば、上記第１実施形態で述べたように、１００μｍ程度の距離と設定されれば好適である。
【００４６】
半導体レーザ素子７Ａとスライダ部３Ａとは、第１実施形態に係る半導体レーザ素子７とスライダ部３と同様な構成を有するが、半導体レーザ素子７およびスライダ部３と比較して、半導体レーザ素子７Ａにおけるレーザ光の出射方向、ならびにスライダ部３Ａにおける導波路の取付位置が異なっている。
【００４７】
そして、半導体レーザ素子７Ａとスライダ部３Ａとが、分岐したサスペンション部４Ａの各先端近傍に取り付けられている。具体的には、第１腕部４Ａａの先端近傍の裏面（−Ｚ側の面）に半導体レーザ素子７Ａが取り付けられ、第２腕部４Ａｂの先端近傍の裏面（−Ｚ側の面）にスライダ部３Ａが取り付けられている。より具体的には、半導体レーザ素子７Ａおよびスライダ部３Ａは、近接した第１腕部４Ａａおよび第２腕部４Ａｂの各先端近傍にそれぞれ取り付けられている。つまり、第１腕部４Ａａおよび第２腕部４Ａｂに対して、半導体レーザ素子７Ａおよびスライダ部３Ａが所定距離だけ離隔して取り付けられている。
【００４８】
以上のように、第２実施形態に係るヘッド機構１０Ａを採用した場合であっても、上記第１実施形態と同様に、半導体レーザ素子７Ａからスライダ部３Ａの所望の位置に対してレーザ光を照射することができるとともに、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができる。また、半導体レーザ素子とヘッドスライダの配置の範囲の自由度を上げることが可能となる。
【００４９】
＜変形例＞
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００５０】
◎上記第１および第２実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置では、半導体レーザ素子７，７Ａから射出されるレーザ光が、スライダ部３，３Ａに対して直接入光されたが、これに限られない。例えば、半導体レーザ素子７，７Ａから射出されるレーザ光を一旦他の部材において反射させて、スライダ部３Ｂ，３Ｃに一定の角度で入光させても構わない。
【００５１】
例えば、第１実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置１については、サスペンション部４または記録用ディスク２にレーザ光を反射させる態様が考えられる。また、第２実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置については、記録用ディスク２にレーザ光を反射させる態様が考えられる。このような構成を採用すれば、レーザ光の最適な入射角度の設定が容易になる。
【００５２】
このような構成について、以下、ヘッド機構の具体例（具体的には、具体例１，２）を示して説明する。
【００５３】
○具体例１：
図７は、具体例１に係るヘッド機構１０Ｂの構成例を示す模式図であり、ヘッド機構１０Ｂおよびその周辺の構成を側方（＋Ｙ方向）から見た断面模式図である。
【００５４】
図７で示すように、半導体レーザ素子７Ｂとスライダ部３Ｂとが、所定距離だけ離隔配置され、サスペンション部４に対して所定角度を成すように取り付けられている。そして、記録用ディスク２が回転して、半導体レーザ素子７Ｂとスライダ部３Ｂとが記録用ディスク２の上方で浮上走行した状態で、半導体レーザ素子７Ｂから出射されるレーザ光は、サスペンション部４の表面で反射した後にスライダ部３Ｂに入光するように設定されている。
【００５５】
○具体例２：
図８は、具体例２に係るヘッド機構１０Ｃの構成例を示す模式図であり、ヘッド機構１０Ｃおよびその周辺の構成を側方（＋Ｙ方向）から見た断面模式図である。
【００５６】
図８で示すように、半導体レーザ素子７Ｃとスライダ部３Ｃとが、所定距離だけ離隔配置され、サスペンション部４に対して所定角度を成すように取り付けられている。そして、記録用ディスク２が回転して、半導体レーザ素子７Ｃとスライダ部３Ｃとが記録用ディスク２の上方で浮上走行した状態で、半導体レーザ素子７Ｃから出射されるレーザ光は、記録用ディスク２の表面で反射した後にスライダ部３Ｃに入光するように設定されている。
【００５７】
なお、上述した具体例１，２に係るヘッド機構１０Ｂ，Ｃを採用した場合であっても、レーザ光のスライダ部３Ｂ，３Ｃへの入射角度が、所定の角度（例えば４５°）となるように、半導体レーザ素子７Ｂ，７Ｃおよびスライダ部３Ｂ，３Ｃの導波路に配設された回折格子部の配置が調節される。
【００５８】
◎また、上記第２実施形態では、１本のアーム部５に分岐したサスペンション部４Ａを連結したが、これに限られない。例えば、１本のアーム部５に２本のサスペンション部を連結して、一方のサスペンション部にスライダ部を取り付けるとともに、他方のサスペンション部に半導体レーザを取り付けても良い。このような構成であっても、第２実施形態と同様な効果が得られる。また、アーム部を２本設けて、一方のアーム部にサスペンション部とスライダ部とを設け、他方のアーム部にサスペンション部と半導体レーザとを設けることによっても、同様の効果が得られる。
【００５９】
◎また、上記実施形態では、点発光を行う半導体レーザ素子７，７Ａ〜７Ｃが用いられたが、これに限られず、いわゆるフォトニック結晶レーザなどの異なる半導体レーザ素子からなる光源を適用しても良い。このフォトニック結晶レーザでは、光束の外縁が略平行な光（光束の断面が略一定の光）が射出される。このため、スライダ部および半導体レーザ素子の間隔を任意の距離に容易に設定できる。
【００６０】
◎なお、上記実施形態では、半導体レーザ素子から射出されるレーザ光を収束させるための光学レンズについては特に説明しなかったが、マイクロレンズを半導体レーザ素子において一体的に組み込むことも可能である。このように、光源部に対して光学レンズを一体的に形成することによって、光学レンズを別個に精度良く配設するプロセスが不要となる。したがって、光源からスライダ部への光路上において、光学系を容易かつ精度良く配置することができ、製造工程の簡略化が図られる。また、スライダ部および半導体レーザ素子の間隔を任意の距離に容易に設定できる。
【００６１】
◎また、上記実施形態では、記録媒体である記録用ディスク２に対して光で熱を付与しつつ、磁気で情報を記録および再生を行ったが、これに限られない。例えば、本発明を、磁気を用いることなく、記録媒体である光ディスク上にスライダの集光部から光を照射することによって、光ディスクの一部領域に光スポットを形成させて、光スポットによって一部領域に対して情報の記録を行う光記録装置に適用してもよい。
【００６２】
◎また、上記実施形態では、近赤外レーザ光によって記録媒体をスポット照射したが、近接場光を発生させて照射してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るヘッド機構とそれを備えた光アシスト式磁気記録装置１００の概略構成例を示す図である。
【図２】スライダ部３の構成例を示す断面図である。
【図３】導波路６０を有する光アシスト部５１の構成例を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係るヘッド機構１０の構成例を示す模式図である。
【図５】本発明の実施形態に係るヘッド機構１０の構成例を示す模式図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るヘッド機構１０Ａおよびその周辺の構成を上方（＋Ｚ方向）から見た模式図である。
【図７】具体例１に係るヘッド機構１０Ｂの構成例を示す模式図である。
【図８】具体例２に係るヘッド機構１０Ｃの構成例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６４】
１ 筐体
２ 記録用ディスク
３，３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，１７，２３ スライダ部
４，４Ａ，１４，２４，３４ サスペンション部
５，１５ アーム部
７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，１３ 半導体レーザ素子
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，２０，３０ ヘッド機構
５１ 光アシスト部
６０ 導波路
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド機構、光アシスト式磁気記録装置、および光記録装置に関するものであり、例えば、情報記録に磁界または光を利用するヘッド機構、それを備える光アシスト式磁気記録装置、および光記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハードディスク装置等に使用される記録媒体において記録密度を高めるための技術開発が進められている。記録密度を向上させるためには、１ビットの記録サイズを小さくする必要がある。しかし、磁気記録方式において、記録ビットサイズを小さくすると、記録情報を保持している磁化状態が、熱エネルギーによって不安定となり、熱揺らぎによって記録情報が消えてしまうので、安定に記録することができなくなる。そのため高い保持力を有する記録媒体が必要になるが、そのような記録媒体を使用すると記録時に必要な磁界も大きくなる。また、記録ヘッドによって発生する磁界は飽和磁束密度によって上限が決まるが、この値は材料限界に近づいており飛躍的な増大は望めない。そこで、記録時に局所的に加熱して磁気軟化を生じせしめ、保持力が小さくなった状態で記録し、その後に加熱を止めて自然冷却することで記録した磁気ビットの安定性を保証する方式が提案されている。この方式は熱アシスト磁気記録方式と呼ばれている。
【０００３】
この熱アシスト磁気記録方式では、記録媒体の加熱を瞬間的に行うことが望ましく、加熱する機構と記録媒体とが接触することは許されない。このため、加熱は光の吸収を利用して行われるのが一般的であり、加熱に光を用いる方式は光アシスト式と呼ばれている。そして、光アシスト式の磁気記録ヘッドとして、集光機能付きプラナー導波路を有する光学ヘッド部分と、その光学ヘッド部分からの射出光で照射された部分に磁気記録を行う磁気ヘッド部分とを備えたものが提案されている（例えば、特許文献１など）。
【０００４】
また、光アシスト式によって超高密度記録を行うためには、記録媒体に照射する光のスポット径を例えば２０ｎｍ程度の超微小なものにする必要がある。しなしながら、通常の光学系では回折限界の存在により光を超微小なものにまで集光することは難しい。そこで、非伝搬光であるいわゆる近接場光を用いて加熱を行う方式が提案されている（例えば、非特許文献１など）。なお、近接場光を発生させる光ヘッドおよび記録再生装置については、その他の種々の提案がなされている（例えば、特許文献２，３など）。
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６９４４１１２号明細書
【特許文献２】特開２０００―１４９３１７号公報
【特許文献３】特開２０００―３５３３３６号公報
【非特許文献１】シャープ技報第９１号２６頁―３０頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１および非特許文献１で提案された技術では、光源の配置およびその光線のヘッドまでの導光方法が明らかでない。また、上記特許文献２で提案された技術では、光ヘッドに光源が搭載されているため、光源の加熱による光ヘッドの熱膨張に起因して記録精度が低下する虞があるとともに、斜め方向からの光線の導入や複雑な集光用の光学系の配置により光ヘッドの大型化を招いてしまう。
【０００７】
記録装置では、狭い空間に記録ディスクや記録用ヘッドなどを配置する必要があり、記録用ヘッドの大型化は好ましくない。特に、磁気記録方式では、高密度で大量の情報を記録させる場合、狭い空間に複数枚の記録ディスクを微小距離（例えば、１ｍｍ以下）だけ相互に離隔して配置することが要求される。このような場合には、記録用ヘッドの厚みが制限される。なお、上記特許文献３で提案された技術では、光源から記録用ヘッドまで光線を導くための光学系が複雑であり、狭い空間に記録ディスクと記録用ヘッドとを配置することができない。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、光源と記録用ヘッドとを離隔させるとともに、光源を高精度に配置させつつ、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、記録媒体上を浮上走行して情報の記録を行うためのヘッドスライダと、前記ヘッドスライダを保持するサスペンションと、前記サスペンションを保持するアームと、前記ヘッドスライダと近接して前記サスペンションに取り付けられ、レーザ光を出射するとともに、前記ヘッドスライダに対応した形状を有することで前記記録媒体上を前記ヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部と、を備え、前記ヘッドスライダは、前記レーザ光を集光して前記記録媒体に光を照射するための集光部を有することを特徴とするヘッド機構である。
【００１０】
また請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のヘッド機構であって、前記サスペンションは、前記アーム部に取り付けられた一端と、該一端側から第１および第２方向に分岐して延設される第１および第２腕部とを有し、前記第１腕部に前記光源部が取り付けられるとともに、前記第２腕部に前記ヘッドスライダが取り付けられることを特徴とする。
【００１１】
また請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のヘッド機構であって、前記光源部から出射されたレーザ光が前記サスペンションの表面で反射されて前記集光部に入射されるように、前記ヘッドスライダと前記光源部とが前記サスペンションに取り付けられていることを特徴とする。
【００１２】
また請求項４に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のヘッド機構であって、前記光源部から出射されたレーザ光が前記記録媒体の表面で反射されて前記集光部に入射されるように、前記ヘッドスライダと前記光源部とが前記サスペンションに取り付けられていることを特徴とする。
【００１３】
また請求項５に記載の発明は、記録媒体上を浮上走行して情報の記録を行うためのヘッドスライダと、レーザ光を出射するとともに、前記ヘッドスライダに対応した形状を有することで前記記録媒体上を前記ヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部と、前記ヘッドスライダを保持する第１サスペンションと、前記光源部を保持する第２サスペンションと、前記第１および第２サスペンションを保持するアームと、を備え、前記ヘッドスライダは、前記レーザ光を集光して前記記録媒体に光を照射するための集光部を有することを特徴とするヘッド機構である。
【００１４】
また請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５の何れかに記載のヘッド機構を備えるとともに、前記記録媒体に前記集光部から光を照射することにより、前記記録媒体の一部領域を加熱昇温させた状態で前記一部領域に対して情報の磁気的な記録を行うことを特徴とする光アシスト式磁気記録装置である。
【００１５】
また請求項７に記載の発明は、請求項１から５の何れかに記載のヘッド機構を備えるとともに、前記記録媒体に前記集光部から光を照射することによって、前記記録媒体の一部領域に光スポットを形成させて、該光スポットによって前記一部領域に対して情報の記録を行う光記録装置である。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１から７の何れに記載の発明によっても、光源部とヘッドスライダとを離隔させるとともに、ヘッドスライダに対して所望の位置に精密な角度で光を照射できるように、光源部を容易に配置することが可能となるので、光源部を高精度に配置させつつ、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができる。
【００１７】
請求項２および請求項５の何れに記載の発明によっても、光源部とヘッドスライダの配置の自由度を上げることが可能となる。
【００１８】
請求項３および請求項４の何れに記載の発明によっても、レーザ光の最適な入射角度の設定が容易になる。
【００１９】
請求項６および請求項７の何れに記載の発明によっても、請求項１〜５の何れかに記載の発明と同様の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るヘッド機構１０とそれを備えた光アシスト式磁気記録装置１００の概略構成例を示す図である。図１および図１以降の図には、方位関係を明確化するためにＸＹＺの直交する３軸が適宜付されている。
【００２２】
図１で示すように、光アシスト式磁気記録装置１００は、光アシスト式の磁気記録用ヘッドを含むスライダ部３を搭載した磁気記録装置として構成され、例えば、ハードディスク装置などに適用される。この光アシスト式磁気記録装置１００は、略直方体状の筐体１と、該筐体１内に配置された３枚の記録用ディスク（磁気記録媒体）２およびヘッド機構１０とを備えている。
【００２３】
記録用ディスク２は、円盤状の記録媒体であり、相互に所定の微小距離（例えば、１ｍｍ以下）だけ離隔されて盤面が略平行となるように配置される。具体的には、上方から（＋Ｚ方向から−Ｚ方向に沿って）３枚の記録用ディスク２が空間順次に配置されており、筐体１に対して所定の回転軸およびモータによって回転可能に支持されている。
【００２４】
ヘッド機構１０は、３つのスライダ部３と、３本のサスペンション部４と、３本のアーム部５と、回転軸６とを備えている。
【００２５】
３本のサスペンション部４は、それぞれ同様な形状を有するとともに、それぞれ可撓性を有するように薄板状で且つ長細い形状を有し、相互に略平行に配置されている。具体的には、上方から（＋Ｚ方向から−Ｚ方向に沿って）３本のサスペンション部４が空間順次に配置されている。
【００２６】
３本のアーム部５は、一端側（ここでは、−Ｘ方向の端部）において回転軸６によって相互に連結されるとともに、該回転軸６を支点として、矢符ｍＡ方向（トラッキング方向）に筐体１に対して回転可能に支持されている。各アーム部５は、それぞれ１本のサスペンション部４を保持しており、アクチュエータ８による回転軸６の回転により、各アーム部５に保持された各サスペンション部４が、回転軸６を支点として矢符ｍＡ方向に回転する。
【００２７】
３つのスライダ部３は、それぞれ同様な構成を有するとともに、光アシスト式の磁気記録ヘッドを保持する。そして、１本のサスペンション部４ごとに、１つのスライダ部３が取り付けられている。具体的には、スライダ部３が、サスペンション部４のうちの回転軸６に連結されている一端側とは異なる他端側の下面に対して、記録用ディスク２の一方主面（ここでは上面）に対向するように設けられている。なお、ここでは、記録用ディスク２を矢符ｍＢ方向に回転させるモータ（不図示）が筐体１内に設けられており、スライダ部３が、記録用ディスク２上で浮上しながら相対的に移動し得るように構成されている（図２中の矢符ｍＣ方向）。
【００２８】
図２は、スライダ部３の構成例を示す断面図である。図２で示すように、スライダ部３は、記録用ディスク２に対する情報記録に光を利用する記録用ヘッド（ここでは、磁気記録用ヘッド）を有する。そして、スライダ部３は、例えば、セラミック製などの基板５０を用いて構成されており、基板５０の内部には、記録用ディスク２の被記録部分の流入側から流出側にかけて順に（矢符ｍＣ）、光アシスト部５１、磁気記録部５２、および磁気再生部５３が形成されている。
【００２９】
光アシスト部５１は、レーザ光を集光して記録用ディスク２に光を照射する集光部として機能する導波路６０（図３参照）を有している。この導波部６０は、記録用ディスク２の一部領域（すなわち被記録部分）を近赤外レーザ光によってスポット加熱するためのものである。なお、導波路６０の構成については、後述する。
【００３０】
磁気記録部５２は、記録用ディスク２の被記録部分に対して磁気情報の書き込みを行う磁気記録素子によって形成されている。具体的には、記録用ディスク２に対して光アシスト部５１の集光部によって光を照射することにより、記録用ディスク２の被記録部分を加熱昇温させた状態で、磁気記録部５２により被記録部分に対して情報の磁気的な記録が行われる。
【００３１】
磁気再生部５３は、記録用ディスク２に記録されている磁気情報の読み取りを行う磁気再生素子によって形成されている。
【００３２】
図３は、導波路６０を有する光アシスト部５１の構成例を示す図である。導波路６０としては、例えば、上記特許文献１で提案されたものを適用することができる。この導波路６０は、平面型導波路であり、厚みが薄く、幅が上部から下部に向かって徐々に狭まるような放物線状の内面７０，７２を有する。そして、導波路６０の上部の側面に配設された回折格子部６８（具体的には、太破線部内のレーザ照射領域）にレーザ光が照射されて、導波路６０にレーザ光が導入されると、矢符６４で示すようにレーザ光が内面７０，７２で反射して、導波路６０の最下部の焦点Ｆにレーザ光が集光し、記録用ディスク２に向けて電磁波が発生して、記録用ディスク２の微小領域が加熱される。なお、図２では、光アシスト部５１に照射されるレーザ光の光路の外縁が一点鎖線で例示されている。
【００３３】
図２を参照して、スライダ部３は、例えばＡｌＴｉＣ（アルミナ・チタン・カーバイド）からなる基板５０上に、公知の薄膜形成、フォトリソグラフィの技術で、光アシスト部５１、磁気記録部５２、および磁気再生部５３が形成される。そして、ダイシング、イオンミリング等の加工法によって、記録用ディスク２の上方を該記録ディスク２と極微小な距離だけ離間して浮上走行可能な形状（スライダ形状）となるように切断加工される。なお、ここでは、「浮上走行」する状態とは、記録用ディスク２の回転およびその回転によって生じる気流により、スライダ部３および半導体レーザー素子７が、記録用ディスク２の盤面を基準として所定距離だけ離れた位置まで浮き上がった状態で、該記録用ディスク２の盤面に対して相対的に移動する状態のことを示している。
【００３４】
以下、ヘッド機構１０の構成について、更に詳述する。
【００３５】
＜ヘッド機構＞
図４および図５は、本発明の第１実施形態に係るヘッド機構１０の構成例を示す模式図である。図４は、ヘッド機構１０およびその周辺の構成を上方（＋Ｚ側）から見た模式図であり、図４では、サスペンション部４に対する半導体レーザ素子７およびスライダ部３の配置関係が破線で示されている。また、図５は、ヘッド機構１０およびその周辺の構成を側方（＋Ｙ側）から見た断面模式図である。なお、図４および図５では、レーザ光が通過する光路が示されている。
【００３６】
アーム部５は、サスペンション部４と比較して、厚みが厚く且つ剛性が高い素材で構成され、サスペンション部４は、可撓性を有する素材で構成されており、アーム部５とサスペンション部４の延設方向は略同一となっている。そして、アーム部５の一端（−Ｘ側の端部）が回転軸６に固設され、アーム部５の他端（＋Ｘ側の端部）の下面（−Ｚ側の面）にサスペンション部４の一端の上面（＋Ｚ側の面）が連結されている。
【００３７】
また、スライダ部３は、サスペンション部４のうちのアーム部５に対して連結されている一端とは逆の他端近傍の下面に対して、バネ部材からなる懸架部９を介して取り付けられている。
【００３８】
光源部である半導体レーザ素子７は、サスペンション部４の下面に対してバネ部材からなる懸架部１１を介し、所定の最適な位置にスライダ部３と近接して取り付けられている。つまり、１本のサスペンション部４に対して、スライダ部３と半導体レーザ素子７とが所定距離だけ離隔して取り付けられている。ここで言う所定距離としては、例えば、半導体レーザ素子７の発光点を１μｍ、スライダ部３の受光領域（例えば、図３の太破線部で示したレーザ照射領域）を５０μｍとした場合には、１００μｍ程度の距離に設定されれば好適である。
【００３９】
また、半導体レーザ素子７は、レーザ光を出射する光源部として機能し、ヘッドスライダに対応した形状を有する。このため、半導体レーザ素子７は、記録用ディスク２の回転により、記録用ディスク２上をスライダ部３とは離隔した状態で、同時期に浮上走行する。そして、半導体レーザ素子７から出射されるレーザ光は、スライダ部３に対して集光するように照射される。
【００４０】
また、半導体レーザ素子７を構成する素材としては、例えば、ＧａＡｓ、ＡｌＧａＡｓ、ＩｎＧａＡｓ、ＡｌＧａＩｎＰ、ＩｎＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＧａＮ、ＧａＩｎＮＡｓ、ＧａＮＡｓＰ、ＡｌＧａＮＡｓなどの公知の素材のうちの何れかを用いれば良い。そして、例えば、ウエハ上に発光に必要な層を適宜積層させ、所望の位置を切断することで端面から発光するように半導体レーザ素子７を形成すれば良い。
【００４１】
更に、半導体レーザ素子７の形状は、半導体レーザ素子７とスライダ部３の重量および密度が同等である場合には、スライダ部３に対応させて、該スライダ部３と略同一の形状とされる。なお、レーザ素子７の形状をスライダ部３の形状に対応したものとするためには、例えば、スライダ部３と同様に、ダイシング、イオンミリング等の加工法によって、記録用ディスク２の上方を該記録ディスク２と極微小な距離だけ離間して浮上走行可能な形状（スライダ形状）に切断加工されれば良い。
【００４２】
以上のように、本発明の第１実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置１００では、スライダ部３と半導体レーザ素子７とが同一のサスペンション部４に近接して取り付けられている。このため、半導体レーザ素子７とスライダ部３とを離隔させるとともに、スライダ部３に対して所望の位置に精密な角度で光を照射できるように、半導体レーザ素子７を容易かつ簡単な構成で配置することが可能となる。したがって、光源である半導体レーザ素子７を高精度に配置させつつ、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができる。
【００４３】
＜第２実施形態＞
上記第１実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置１００では、１本のサスペンション部４に対し、該サスペンション部４の延設方向に沿って、スライダ部３と半導体レーザ素子７とが所定距離だけ離隔して取り付けられていたが、第２実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置では、サスペンション部４の形状、ならびにスライダ部３および半導体レーザ素子７の配置および形態が変更されたものとなっている。なお、この相違点の他は、第１実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置１００と同様な構成を有するため、以下では、相違する点について主に説明し、同様な部分については同じ符号を付して適宜説明を省略する。
【００４４】
図６は、本発明の第２実施形態に係るヘッド機構１０Ａおよびその周辺の構成を上方（＋Ｚ方向）から見た模式図であり、図６では、半導体レーザ素子７Ａおよびスライダ部３Ａのサスペンション部４Ａに対する配置関係が破線で示されている。
【００４５】
図６で示すように、サスペンション部４Ａが、分岐したものとなっている。具体的には、サスペンション部４Ａは、一端がアーム部５に取り付けられ、該一端から＋Ｘ方向に所定距離だけ延設される部分と、ＸＹ平面上でＸ軸から所定角度ずつ傾いた第１方向および第２方向に分岐して延設される第１腕部４Ａａおよび第２腕部４Ａｂとを有して構成される。なお、ここで言う所定角度は、第１腕部４Ａａの先端部と第２腕部４Ａｂの先端部とが離れすぎない所定距離となるように設定される。なお、ここで言う所定距離としては、例えば、上記第１実施形態で述べたように、１００μｍ程度の距離と設定されれば好適である。
【００４６】
半導体レーザ素子７Ａとスライダ部３Ａとは、第１実施形態に係る半導体レーザ素子７とスライダ部３と同様な構成を有するが、半導体レーザ素子７およびスライダ部３と比較して、半導体レーザ素子７Ａにおけるレーザ光の出射方向、ならびにスライダ部３Ａにおける導波路の取付位置が異なっている。
【００４７】
そして、半導体レーザ素子７Ａとスライダ部３Ａとが、分岐したサスペンション部４Ａの各先端近傍に取り付けられている。具体的には、第１腕部４Ａａの先端近傍の裏面（−Ｚ側の面）に半導体レーザ素子７Ａが取り付けられ、第２腕部４Ａｂの先端近傍の裏面（−Ｚ側の面）にスライダ部３Ａが取り付けられている。より具体的には、半導体レーザ素子７Ａおよびスライダ部３Ａは、近接した第１腕部４Ａａおよび第２腕部４Ａｂの各先端近傍にそれぞれ取り付けられている。つまり、第１腕部４Ａａおよび第２腕部４Ａｂに対して、半導体レーザ素子７Ａおよびスライダ部３Ａが所定距離だけ離隔して取り付けられている。
【００４８】
以上のように、第２実施形態に係るヘッド機構１０Ａを採用した場合であっても、上記第１実施形態と同様に、半導体レーザ素子７Ａからスライダ部３Ａの所望の位置に対してレーザ光を照射することができるとともに、光アシスト式磁気記録装置の薄型化を図ることができる。また、半導体レーザ素子とヘッドスライダの配置の範囲の自由度を上げることが可能となる。
【００４９】
＜変形例＞
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００５０】
◎上記第１および第２実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置では、半導体レーザ素子７，７Ａから射出されるレーザ光が、スライダ部３，３Ａに対して直接入光されたが、これに限られない。例えば、半導体レーザ素子７，７Ａから射出されるレーザ光を一旦他の部材において反射させて、スライダ部３Ｂ，３Ｃに一定の角度で入光させても構わない。
【００５１】
例えば、第１実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置１については、サスペンション部４または記録用ディスク２にレーザ光を反射させる態様が考えられる。また、第２実施形態に係る光アシスト式磁気記録装置については、記録用ディスク２にレーザ光を反射させる態様が考えられる。このような構成を採用すれば、レーザ光の最適な入射角度の設定が容易になる。
【００５２】
このような構成について、以下、ヘッド機構の具体例（具体的には、具体例１，２）を示して説明する。
【００５３】
○具体例１：
図７は、具体例１に係るヘッド機構１０Ｂの構成例を示す模式図であり、ヘッド機構１０Ｂおよびその周辺の構成を側方（＋Ｙ方向）から見た断面模式図である。
【００５４】
図７で示すように、半導体レーザ素子７Ｂとスライダ部３Ｂとが、所定距離だけ離隔配置され、サスペンション部４に対して所定角度を成すように取り付けられている。そして、記録用ディスク２が回転して、半導体レーザ素子７Ｂとスライダ部３Ｂとが記録用ディスク２の上方で浮上走行した状態で、半導体レーザ素子７Ｂから出射されるレーザ光は、サスペンション部４の表面で反射した後にスライダ部３Ｂに入光するように設定されている。
【００５５】
○具体例２：
図８は、具体例２に係るヘッド機構１０Ｃの構成例を示す模式図であり、ヘッド機構１０Ｃおよびその周辺の構成を側方（＋Ｙ方向）から見た断面模式図である。
【００５６】
図８で示すように、半導体レーザ素子７Ｃとスライダ部３Ｃとが、所定距離だけ離隔配置され、サスペンション部４に対して所定角度を成すように取り付けられている。そして、記録用ディスク２が回転して、半導体レーザ素子７Ｃとスライダ部３Ｃとが記録用ディスク２の上方で浮上走行した状態で、半導体レーザ素子７Ｃから出射されるレーザ光は、記録用ディスク２の表面で反射した後にスライダ部３Ｃに入光するように設定されている。
【００５７】
なお、上述した具体例１，２に係るヘッド機構１０Ｂ，Ｃを採用した場合であっても、レーザ光のスライダ部３Ｂ，３Ｃへの入射角度が、所定の角度（例えば４５°）となるように、半導体レーザ素子７Ｂ，７Ｃおよびスライダ部３Ｂ，３Ｃの導波路に配設された回折格子部の配置が調節される。
【００５８】
◎また、上記第２実施形態では、１本のアーム部５に分岐したサスペンション部４Ａを連結したが、これに限られない。例えば、１本のアーム部５に２本のサスペンション部を連結して、一方のサスペンション部にスライダ部を取り付けるとともに、他方のサスペンション部に半導体レーザを取り付けても良い。このような構成であっても、第２実施形態と同様な効果が得られる。また、アーム部を２本設けて、一方のアーム部にサスペンション部とスライダ部とを設け、他方のアーム部にサスペンション部と半導体レーザとを設けることによっても、同様の効果が得られる。
【００５９】
◎また、上記実施形態では、点発光を行う半導体レーザ素子７，７Ａ〜７Ｃが用いられたが、これに限られず、いわゆるフォトニック結晶レーザなどの異なる半導体レーザ素子からなる光源を適用しても良い。このフォトニック結晶レーザでは、光束の外縁が略平行な光（光束の断面が略一定の光）が射出される。このため、スライダ部および半導体レーザ素子の間隔を任意の距離に容易に設定できる。
【００６０】
◎なお、上記実施形態では、半導体レーザ素子から射出されるレーザ光を収束させるための光学レンズについては特に説明しなかったが、マイクロレンズを半導体レーザ素子において一体的に組み込むことも可能である。このように、光源部に対して光学レンズを一体的に形成することによって、光学レンズを別個に精度良く配設するプロセスが不要となる。したがって、光源からスライダ部への光路上において、光学系を容易かつ精度良く配置することができ、製造工程の簡略化が図られる。また、スライダ部および半導体レーザ素子の間隔を任意の距離に容易に設定できる。
【００６１】
◎また、上記実施形態では、記録媒体である記録用ディスク２に対して光で熱を付与しつつ、磁気で情報を記録および再生を行ったが、これに限られない。例えば、本発明を、磁気を用いることなく、記録媒体である光ディスク上にスライダの集光部から光を照射することによって、光ディスクの一部領域に光スポットを形成させて、光スポットによって一部領域に対して情報の記録を行う光記録装置に適用してもよい。
【００６２】
◎また、上記実施形態では、近赤外レーザ光によって記録媒体をスポット照射したが、近接場光を発生させて照射してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るヘッド機構とそれを備えた光アシスト式磁気記録装置１００の概略構成例を示す図である。
【図２】スライダ部３の構成例を示す断面図である。
【図３】導波路６０を有する光アシスト部５１の構成例を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係るヘッド機構１０の構成例を示す模式図である。
【図５】本発明の実施形態に係るヘッド機構１０の構成例を示す模式図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るヘッド機構１０Ａおよびその周辺の構成を上方（＋Ｚ方向）から見た模式図である。
【図７】具体例１に係るヘッド機構１０Ｂの構成例を示す模式図である。
【図８】具体例２に係るヘッド機構１０Ｃの構成例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６４】
１ 筐体
２ 記録用ディスク
３，３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，１７，２３ スライダ部
４，４Ａ，１４，２４，３４ サスペンション部
５，１５ アーム部
７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，１３ 半導体レーザ素子
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，２０，３０ ヘッド機構
５１ 光アシスト部
６０ 導波路
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体上を浮上走行して情報の記録を行うためのヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを保持するサスペンションと、
前記サスペンションを保持するアームと、
前記ヘッドスライダと近接して前記サスペンションに取り付けられ、レーザ光を出射するとともに、前記記録媒体上を前記ヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部と、
を備え、
前記ヘッドスライダは、前記レーザ光を集光して前記記録媒体に光を照射するための集光部を有することを特徴とするヘッド機構。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッド機構であって、
前記サスペンションは、前記アーム部に取り付けられた一端と、該一端側から第１および第２方向に分岐して延設される第１および第２腕部とを有し、
前記第１腕部に前記光源部が取り付けられるとともに、前記第２腕部に前記ヘッドスライダが取り付けられることを特徴とするヘッド機構。
【請求項３】
請求項１に記載のヘッド機構であって、
前記光源部から出射されたレーザ光が前記サスペンションの表面で反射されて前記集光部に入射されるように、前記ヘッドスライダと前記光源部とが前記サスペンションに取り付けられていることを特徴とするヘッド機構。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のヘッド機構であって、
前記光源部から出射されたレーザ光が前記記録媒体の表面で反射されて前記集光部に入射されるように、前記ヘッドスライダと前記光源部とが前記サスペンションに取り付けられていることを特徴とするヘッド機構。
【請求項５】
記録媒体上を浮上走行して情報の記録を行うためのヘッドスライダと、
レーザ光を出射するとともに、前記記録媒体上を前記ヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部と、
前記ヘッドスライダを保持する第１サスペンションと、
前記光源部を保持する第２サスペンションと、
前記第１および第２サスペンションを保持するアームと、
を備え、
前記ヘッドスライダは、前記レーザ光を集光して前記記録媒体に光を照射するための集光部を有することを特徴とするヘッド機構。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れかに記載のヘッド機構を備えるとともに、前記記録媒体に前記集光部から光を照射することにより、前記記録媒体の一部領域を加熱昇温させた状態で前記一部領域に対して情報の磁気的な記録を行うことを特徴とする光アシスト式磁気記録装置。
【請求項７】
請求項１から５の何れかに記載のヘッド機構を備えるとともに、前記記録媒体に前記集光部から光を照射することによって、前記記録媒体の一部領域に光スポットを形成させて、該光スポットによって前記一部領域に対して情報の記録を行う光記録装置。
【請求項１】
記録媒体上を浮上走行して情報の記録を行うためのヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを保持するサスペンションと、
前記サスペンションを保持するアームと、
前記ヘッドスライダと近接して前記サスペンションに取り付けられ、レーザ光を出射するとともに、前記記録媒体上を前記ヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部と、
を備え、
前記ヘッドスライダは、前記レーザ光を集光して前記記録媒体に光を照射するための集光部を有することを特徴とするヘッド機構。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッド機構であって、
前記サスペンションは、前記アーム部に取り付けられた一端と、該一端側から第１および第２方向に分岐して延設される第１および第２腕部とを有し、
前記第１腕部に前記光源部が取り付けられるとともに、前記第２腕部に前記ヘッドスライダが取り付けられることを特徴とするヘッド機構。
【請求項３】
請求項１に記載のヘッド機構であって、
前記光源部から出射されたレーザ光が前記サスペンションの表面で反射されて前記集光部に入射されるように、前記ヘッドスライダと前記光源部とが前記サスペンションに取り付けられていることを特徴とするヘッド機構。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のヘッド機構であって、
前記光源部から出射されたレーザ光が前記記録媒体の表面で反射されて前記集光部に入射されるように、前記ヘッドスライダと前記光源部とが前記サスペンションに取り付けられていることを特徴とするヘッド機構。
【請求項５】
記録媒体上を浮上走行して情報の記録を行うためのヘッドスライダと、
レーザ光を出射するとともに、前記記録媒体上を前記ヘッドスライダとは離隔して浮上走行するための光源部と、
前記ヘッドスライダを保持する第１サスペンションと、
前記光源部を保持する第２サスペンションと、
前記第１および第２サスペンションを保持するアームと、
を備え、
前記ヘッドスライダは、前記レーザ光を集光して前記記録媒体に光を照射するための集光部を有することを特徴とするヘッド機構。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れかに記載のヘッド機構を備えるとともに、前記記録媒体に前記集光部から光を照射することにより、前記記録媒体の一部領域を加熱昇温させた状態で前記一部領域に対して情報の磁気的な記録を行うことを特徴とする光アシスト式磁気記録装置。
【請求項７】
請求項１から５の何れかに記載のヘッド機構を備えるとともに、前記記録媒体に前記集光部から光を照射することによって、前記記録媒体の一部領域に光スポットを形成させて、該光スポットによって前記一部領域に対して情報の記録を行う光記録装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００９−２７７２８５（Ｐ２００９−２７７２８５Ａ）
【公開日】平成２１年１１月２６日（２００９．１１．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１２７００７（Ｐ２００８−１２７００７）
【出願日】平成２０年５月１４日（２００８．５．１４）
【出願人】（３０３０００４０８）コニカミノルタオプト株式会社 (3,255)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１１月２６日（２００９．１１．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年５月１４日（２００８．５．１４）
【出願人】（３０３０００４０８）コニカミノルタオプト株式会社 (3,255)
【Ｆターム（参考）】
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