レーザ成形装置及びこの装置を使用するヘッドサスペンションの製造方法
【課題】微細な修正分解能で捻れ変形の発生しないレーザフォーミング技術によるサスペンションのばね圧修正が可能なレーザ成形装置を提供する。
【解決手段】レーザ成形装置４０には、ばね圧修正を行うヘッドサスペンション１の中心線Ｃに垂直な面に対して面対称に第１の光学系５０と第２の光学系６０を設け、これら２つの光学系には１つのレーザ発振器４１からのレーザ光Ｌをハーフミラー４２によって２分岐して供給する。第１の光学系５０と第２の光学系６０で集光されたレーザ光の光スポット４が、ヘッドサスペンション１の中心線Ｃから等距離に位置するように構成し、第１の光学系と第２の光学系の集光レンズ５１，６１を面対称状態で左右にずらすことにより光スポット４の走査を行って、ヘッドサスペンションシ１のばね圧を調整する。
【解決手段】レーザ成形装置４０には、ばね圧修正を行うヘッドサスペンション１の中心線Ｃに垂直な面に対して面対称に第１の光学系５０と第２の光学系６０を設け、これら２つの光学系には１つのレーザ発振器４１からのレーザ光Ｌをハーフミラー４２によって２分岐して供給する。第１の光学系５０と第２の光学系６０で集光されたレーザ光の光スポット４が、ヘッドサスペンション１の中心線Ｃから等距離に位置するように構成し、第１の光学系と第２の光学系の集光レンズ５１，６１を面対称状態で左右にずらすことにより光スポット４の走査を行って、ヘッドサスペンションシ１のばね圧を調整する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願はレーザ成形装置及びこの装置を使用するヘッドサスペンションの製造方法に関し、特に、薄板金属を素材としたばね部品のばね圧をレーザ光により修正することができるレーザ成形装置、およびこの装置を使用するヘッドサスペンションの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドサスペンション（以後単にヘッドサスペンションと言う）は、磁気ディスク装置を構成する精密ばね部品である。磁気ヘッドサスペンションの先端部には、磁気データの書き込み／読み出し行うための磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと呼ばれる部品が搭載され、後端部はＶＣＭ（ボイスコイルモータ）によって揺動する揺動アームの先端部に取り付けられる。ヘッドサスペンションは板厚が２０〜３０μｍ程度のステンレス鋼板薄板を素材とし、一般にプレス成形法を用いて製造されている。
【０００３】
このヘッドサスペンションにはばね機能があり、ヘッドスライダの磁気記録媒体に対向する面に形成されたエアベアリングサスペンション（ＡＢＳ）形状による浮上力と釣り合って、ヘッドスライダを磁気記録媒体上で所定高さだけ浮上させている。この浮上量は、磁気ディスク装置の小型／高記録容量化の要求に従い、１０ｎｍ以下が要求されるようになってきている。更に、このヘッドスライダの浮上量の要求に伴って、ヘッドサスペンションのばね圧精度も非常に高いものが要求されるようになってきている。
【０００４】
これに対して、ヘッドサスペンションのばね圧修正方法が種々提案されており、その１つにレーザフォーミンング技術を活用した方法がある。レーザフォーミング技術は、非特許文献１に記載のように、レーザ光を集光させて金属薄板に当て、走査してレーザ光の持つ熱エネルギにより材料の板厚方向における温度勾配を形成し、この温度勾配によって金属薄板を塑性変形させる加工技術である。また、レーザフォーミング技術は、非接触で成形加工が行えるという特徴に加えて、スプリングバックの無い高精度な成形が可能、レーザ走査条件のみで微細な曲げ角度制御が可能であるといった特徴を有している。このためレーザフォーミング技術は、特許文献１に記載のように、ヘッドサスペンションのばね圧修正技術として活用が拡大している。
【０００５】
ヘッドスライダの磁気記録媒体からの浮上量を安定的に維持するためには、ヘッドサスペンションの捻れ変形を回避することが重要である。ヘッドサスペンションの捩れ変形防止を実現する方法としては、ヘッドサスペンションの形状を左右対称とし、軽量化のために中央部に孔を設け、ヘッドサスペンションの両側にばね機能を持たせるという構造が採用されている。
【０００６】
ところで、前述のように、ヘッドサスペンションにはその先端部にヘッドスライダが搭載されており、磁気ヘッドの書き込み／読み出し信号を処理する処理回路は揺動アームの外部にある。このため、ヘッドサスペンションには磁気ヘッドと処理回路との間で電気信号を伝送するための電気回路をサスペンションの表面に設ける必要がある。
【０００７】
そして、ヘッドサスペンションの捻れ変形を回避するために、この電気回路はヘッドサスペンションの中央部に配置するという構造が採用されている。このため、ヘッドサスペンションの回転軸に近い根元部の近傍に設けられた孔が、電気回路によって二分されたような構造となっているのが最近の磁気ヘッドサスペンション形状の傾向である。なお、ばね機能としての両側の梁の幅や電気回路の両側に位置する孔の幅、および電気回路部の幅は、それぞれ０．５ｍｍ程度以下と非常に微細な構造となっている。
【０００８】
このような構造のヘッドサスペンションに対してばね圧を修整する場合、特許文献１及び非特許文献１に開示のレーザフォーミング技術を使用すると、ばね成形部に１本のレーザ光を、ヘッドサスペンションに対して水平方向に１本の直線上に走査させる、あるいは水平方向に複数本の直線上にレーザ光を走査させることにより、ばね圧を修正することになる。
【０００９】
【特許文献１】特開昭６３−３０３２３７号公報（図 ）
【００１０】
【非特許文献１】松下電工技報（Aug.2002）特集「生産技術」の第４０頁−第４５頁「レーザフォーミングによるリレー特性調整」北田耕作・朝日信行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、これらの方法を前述のような構造を有するヘッドサスペンションのばね圧修正に適用した場合には、下記に示すような問題点が発生する。
【００１２】
（１）サスペンション中央部に形成された電気回路部分にレーザ光が照射されて破損しないために、（ａ）電気回路にレーザ光が照射されないように遮光マスクを設置して電気回路部にレーザが照射されることを防止する方法、或いは（ｂ）レーザ光のオン／オフ制御（レーザ発振器の電気的なオン／オフ制御やメカニカルシャッターによるオン／オフ制御）により電気回路部にレーザが照射されることを防止する方法をとる必要がある。
【００１３】
ところが、（ａ）の方法ではレーザのオン／オフ制御が不要というメリットがあるものの、対象部材形状に合わせた遮光マスクを準備しておく必要や、遮光マスクをセットする作業工程が増えるといった欠点がある。また、（ｂ）の方法では高速なレーザ光のオン／オフ制御が肝要であり、レーザ光の走査速度に対して電気回路部の幅が狭い場合には制御不可能な場合も発生する。
【００１４】
（２）レーザフォーミング技術は、板厚方向の温度勾配の発生による塑性変形加工であるため、レーザ照射の持続によって生じる材料自体の温度上昇が曲げ変形量の低下をもたらすことになる。この現象はレーザ走査の開始点と終了点での曲げ変形の大きさが異なることを示しており、一方向でのレーザ走査では部材に捻れ変形をもたらすことになる。この傾向は被加工材料の部材が小さいほど顕著となるため、ヘッドサスペンションのような捻れ変形が嫌われる部材のばね圧の修正には不適切である。
【００１５】
この捻れ変形を防ぐ方法として、レーザ光を往復走査する方法が提案されているが、この方法でも、１回のレーザ走査で修正出来るばね圧変化量の２倍の変形を発生させることになり、修正分解能が一方向走査に比較して２倍となってしまう欠点がある。
【００１６】
（３）更に、前述の問題点を解決する別の方法として、ヘッドサスペンションの左右のばね部に対して、例えば、左側のばね部には左側の孔部分を開始点として左方向にレーザを走査した後、右側の孔部分を開始点として右側のばね部に右方向にレーザを走査するといったシーケンシャルに各ばね構造部に対して反対方向にレーザを走査する方法が考えられる。この方法では、左右のばね部でそれぞれ反対方向への捻れが発生することから、ヘッドサスペンション全体から見ると捻れの無い修正が可能である。
【００１７】
ところが、この方法でも、１つのヘッドサスペンションに対して最低２回に分割しての複数回のレーザ走査が必要となることから、ヘッドサスペンションの加工時間が２倍近くになってしまうという欠点がある。
【００１８】
そこでこの出願は、これらの問題点を解決し、短時間に微細な修正分解能を有しながら捻れ変形の発生しないレーザフォーミング技術によるサスペンションのばね圧修正を行うことができるレーザ成形装置及びこの装置を使用するばね圧調整方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記目的を達成するレーザ成形装置は、レーザ光を出射するレーザ発振器と、レーザ発振器から出射されたレーザ光を反射及び透過するハーフミラーと、ハーフミラーで反射された第１のレーザ光を第１の集光レンズで集光し、その照射点を治具上に載置されたばね成形体の所定位置に導く第１の光学系と、ハーフミラーを透過し、ミラーで反射されて第１のレーザ光に平行にされた第２のレーザ光を第２の集光レンズで集光し、その照射点をばね成形体の中心線に対して所定位置に対称な位置に導く第２の光学系と、２つの照射点をばね成形体の中心線に垂直な方向に走査するために第１と第２の集光レンズを移動する集光レンズの移動機構とを備えることを特徴としている。
【００２０】
また、前記目的を達成するレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法の第１の形態は、ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度、或いは照射時間を決定する段階と、照射点が孔の中に位置するように、第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、レーザ発振器からレーザ光を照射し、レーザ光の照射時間に応じて集光レンズの移動機構によって第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、照射点がヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、レーザ発振器の動作を停止させるようにした段階とを有するレーザ成形装置を使用するヘッドサスペンションの製造方法である。
【００２１】
更に、前記目的を達成するレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法の第２の形態は、ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度或いは照射時間、及び上部光学装置と下部光学装置の何れを使用するかを選択する段階と、選択した光学装置において、照射点が孔の中に位置するように、第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、レーザ光の照射時間に応じて集光レンズの移動機構によって第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、照射点がヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、ばね圧の調整が過度に実行されたか否かを判定する段階と、ばね圧の調整が過度でなかった場合にはレーザ発振器の動作を停止させ、過度であった場合は選択しなかった方の光学装置を使用して段階を繰り返す段階とを備えることを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
この出願のレーザ成形装置及びレーザ成形装置を使用したにヘッドサスペンションの製造方法よれば、レーザフォーミングを活用したヘッドサスペンションのばね圧修正において、以下の効果が得られる。
【００２３】
（１）捻れ変形の無いばね圧修正が可能
（２）１つのレーザ光を往復走査させる場合に比較して、２倍の修正精度（修正分解能では１／２）が得られる。
（３）１つのレーザ光方式に比較して１／２以下の時間でばね圧修正が可能
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付図面を用いてこの出願における実施の形態を、具体的な実施例に基づいて詳細に説明するが、その前に従来の技術の問題点について図面を用いて説明する。
【００２５】
図１（ａ）は従来のレーザ光によるばね圧力調整方法に使用するばね圧調整治具３２を備えたレーザ成形装置９０の構成を示すものである。ばね圧調整治具３２の取付ブロック２９には、片持ち梁構成のばね形成体１の固定端３が装着され、ばね形成体１のヘッド支持端２に取り付けられた磁気ヘッドを備えたヘッドスライダ５は、歪ゲージ１０の上に載置されている。ばね形成体１を挟んで上下両面側に一対の照射ユニット７，８が配置される。照射ユニット７，８はアーム１９を介して照射ユニット駆動部１１に接続しており、照射ユニット駆動部１１によってばね形成体１の長さ方向に直交する方向に走査される。
【００２６】
レーザ照射装置は、レーザ光発振器１３、光制御部１４、及び光ケーブル６を介して接続される集光レンズ内蔵の照射ユニット７，８から構成される。光制御部１４には、レーザ光発振器１３で発振されたレーザ光を表裏両面に配分するハーフミラー１６及びミラー１７と、これらミラー１６，１７の光を開閉するシャッタ機構部９，９’、及びシャッタの開閉制御部１８がある。
【００２７】
ハーフミラー１６で反射したレーザ光は、シャッタ機構部９、光ケーブル６を経て照射ユニット７に達し、集光されて導出され、ばね形成体１の表面側に光スポット４を形成する。他方、ハーフミラー１６を通過し、ミラー１７で反射したレーザ光は、シャッタ機構部９’、光ケーブル６を経て接続された照射ユニット８に達し、集光されて導出され、ばね形成体１の裏面側に光スポット４’を形成する。
【００２８】
このようにして、ばね形成体１の表面または裏面に照射される光スポット４，４’の切り換えは、ばね圧力センサである歪ゲージ１０からの検出圧力レベル（出力表示器３１に表示される）が、大きいか小さいかを判別するばね圧力検出制御部１２によって行われるが、具体的には光制御部１４にあるシャッタ開閉駆動部１８により行われる。シャッタ開閉駆動部１８によるシャッタ９，９’の開閉は、例えば、シャッタ機構部９，９’の一方のシャッタが開の時は、他方のシャッタが閉となるような開閉制御が行われる。
【００２９】
ばね圧力検出制御部１２は、予めばね形成体１の圧力基準値を記憶しており、この圧力基準値より大きい圧力調整の上部許容限界値と、小さい下部許容限界値とが設定されている。そして、ばね圧力検出制御部１２には、前述の上部並びに下部の許容限界値を、歪ゲージ１０の検出圧力と比較するためのコンパレータが内蔵されている。歪ゲージ１０からの検出圧力が上部、下部の許容限界値の範囲内にあれば、ばね圧力調整は完了したことになる。しかし、歪ゲージ１０の検出圧力が上部許容限界値を上回れば、ばね圧力検出制御部１２からシャッタ開閉駆動部１８に信号が送られ、シャッタ９が開放され、シャッタ９’が閉じられるので、照射ユニット７から光スポット４が照射されることによってばね圧力が軽減される。
【００３０】
他方、歪ゲージ１０の検出圧力が下部許容限界値を下回れば、ばね圧力検出制御部１２からシャッタ開閉駆動部１８に信号が送られ、シャッタ９’が開放され、シャッタ９が閉じられるので、照射ユニット８から光スポット４’が照射されることになり、その結果としてばね圧力が強められる。シャッタ開閉駆動の信号は、照射ユニット駆動部１１にも送られ、ばね形成体１の幅方向のばね端の間を交互に往復させる光スポット４，４’の走査が行われる。
【００３１】
図１（ｂ）は図１（ａ）に示したばね成形体１がヘッドサスペンションである場合の詳細な構成を示すものである。ヘッドサスペンション１の先端部のヘッド支持端２には磁気ヘッドを備えたヘッドスライダ５が取り付けられている。また、ヘッドサスペンション１の固定端３に近い基部側には孔２１が設けられており、ヘッドスライダ５に接続する電気回路２０が、この孔２１を幅方向に二分してヘッドサスペンション１の上に配置されている。そしてヘッドサスペンション１の固定端３側にはヘッドサスペンション１を揺動アーム（図示せず）に取り付けるための支持部材２２がある。電気回路２０の幅Ｗ１は１ｍｍ程度、孔２１の幅Ｗ２は２ｍｍ程度、ヘッドサスペンション１の孔２１の両端部の幅Ｗ３は０．５ｍｍ程度である。
【００３２】
図１（ｂ）に示すようなヘッドサスペンション１に、図１（ａ）に示すようなレーザ成形装置９０によってレーザフォーミングを行う場合は、図２（ａ）に示すように、ヘッドサスペンション１のレーザ走査ラインＳに電気回路２０が重なる。このため、電気回路２０にレーザ光が照射されて破損しないために、電気回路２０の上に遮光マスク２３を設置して、レーザフォーミング時にレーザ光Ｌが電気回路２０に照射されないようにしていた。ところが、図２（ａ）に示した方法では、レーザ光Ｌのオン／オフ制御が不要というメリットがあるものの、電気回路２０の形状に合わせた遮光マスク２３を準備しておく必要や、遮光マスク２３をレーザフォーミング毎にセットする作業工程が増えるといった問題点がある。
【００３３】
そこで、図２（ｂ）に示すように、レーザ光Ｌのオン／オフ制御（図１（ａ）に示したレーザ発振器１３の電気的なオン／オフ制御や、シャッタ機構部９のオン／オフ制御）により、電気回路２０にレーザ光Ｌが照射されることを防止する方法がある。ところが、図２（ｂ）の方法では高速なレーザ光のＬオン／オフ制御が肝要であり、レーザ光Ｌの走査速度に対して電気回路２０の幅が狭い場合には制御が不可能な場合も発生するという問題点があった。
【００３４】
レーザフォーミング技術は、ヘッドサスペンション１の板厚方向の温度勾配の発生による塑性変形加工であるため、レーザ照射の持続によって生じる材料自体の温度上昇が曲げ変形量の低下をもたらすことになる。この現象はレーザ走査の開始点と終了点での曲げ変形の大きさが異なることを示しており、図２（ａ）の方法、或いは図２（ｂ）の方法により、図３（ａ）に示すような一方向にレーザ光Ｌを走査させた場合は、図３（ｂ）に示すように、ヘッドサスペンション１の部材に捻れ変形をもたらすことになる。この傾向は被加工材料の部材寸法が小さいほど顕著となるため、ヘッドサスペンション１のような捻れ変形が嫌われる部材のばね圧の修正には不適切である。
【００３５】
この捻れ変形を防ぐ方法として、図４（ａ）に示すように、図２（ａ）で説明した方法において、レーザ光Ｌを往復走査する方法、或いは図４（ｂ）に示すように、図２（ｂ）で説明した方法において、レーザ光Ｌを往復走査する方法が提案されている。しかし、これらの方法では、１回のレーザ走査で修正出来るばね圧変化量の２倍の変形を発生させることになり、修正分解能が一方向走査に比較して２倍となってしまう問題点があった。
【００３６】
更に、前述の問題点を解決する別の方法として、ヘッドサスペンション１の左右のばね部１Ｌ，１Ｒに対して別々に照射を行う方法がある。この方法では、左側のばね部１Ｌに対しては、左側の孔２１の電気回路２０側を開始点として左方向に走査してレーザ光Ｌを照射し、照射後はレーザ光Ｌを照射せずに戻る。次いで、右側のばね部１Ｒに対しては右側の孔２１の電気回路２０側を開始点として右方向に走査してレーザ光Ｌを照射し、照射後はレーザ光Ｌを照射せずに戻る。この方法では、左右のばね部１Ｌ，１Ｒでそれぞれ反対方向への捻れが発生することから、ヘッドサスペンション１の全体から見ると捻れの無い修正が可能である。
【００３７】
ところが、この方法でも、１つのヘッドサスペンション１に対して最低２回に分割しての複数回のレーザ光Ｌを走査させることが必要となることから、ヘッドサスペンション１の加工時間が２倍近くになってしまうという問題点があった。
【００３８】
そこで、本発明者らは、図１（ｂ）に示した１つのヘッドサスペンション１において、同一エネルギ条件と同一集光特性を有する２つのレーザ光を１組として使用し、ヘッドサスペンション１の孔２１の左右両側にある２箇所のばね部１Ｌ，１Ｒに対して、水平な同一直線上で同時に反対方向にレーザ光による走査を行えば、レーザ光の走査回数も少なく、且つ左右のばね部１Ｌ，１Ｒでそれぞれ反対方向への捻れが発生することから、ヘッドサスペンション１の全体から見ると捻れの無い修正が可能であることを見出した。
【００３９】
なお、レーザ成形装置は、図１（ａ）に示したように、ヘッドサスペンション１の両面にレーザ光を照射できるが、レーザ光はヘッドサスペンション１の両面に同時に照射されることはなく、上側又は下側の何れか一方の面のみに照射される。そこで、以下に説明する第１の実施例では、ヘッドサスペンション１にレーザ光が上側からのみ照射される形態を説明し、第２の実施例でヘッドサスペンション１にレーザ光が上側からまたは下側から照射される形態を説明する。
【００４０】
図５（ａ）は、この思想に基づく第１の実施例のレーザ成形装置４０の構成を示すものである。レーザ成形装置４０は、１つのレーザ発信器４１と、レーザ発信器４１から出射されたレーザ光Ｌをニ分岐するハーフミラー４２、分岐されたレーザ光ＬＢ２を全反射するミラー４３、及び第１と第２の２組の光学系５０，６０とを備えて構成される。ハーフミラー４２により反射されたレーザ光Ｌ１と、ハーフミラー４２で分岐された後にミラー４３で全反射されたレーザ光Ｌ２とは同一エネルギを有する。また、第１と第２の２つの光学系５０，６０には、同一の集光特性を有する光学部品を、ヘッドサスペンション１を左右に二分する平面に対して面対称に配置し、１つのヘッドサスペンション１の上に集光される光スポット（レーザ光の照射点）のエネルギを同一にしている。
【００４１】
第１の光学系５０は、集光レンズ５１および２つの全反射ミラー５２，５３を備えて構成され、第２の光学系６０は、集光レンズ６１および２つの全反射ミラー６２，６３を備えて構成される。集光レンズ５１と集光レンズ６１の集光特性は同じである。
【００４２】
第１の光学系５０において、集光レンズ５１はハーフミラー４２で反射されたレーザ光Ｌ１を集光し、ミラー５２は集光されたレーザ光Ｌｂ１を第２の光学系６０の方向に反射する。そして、ミラー５３は、ミラー５２からのレーザ光Ｌｂ１を、ハーフミラー４２で反射されたレーザ光Ｌ１に平行な方向に反射する。
【００４３】
同様に、第２の光学系６０において、集光レンズ６１はミラー４３で反射されたレーザ光Ｌ２を集光し、ミラー６２は集光されたレーザ光Ｌｂ２を第１の光学系５０の方向に反射する。そして、ミラー６３は、ミラー６２からのレーザ光Ｌｂ２を、ミラー４３で反射されたレーザ光Ｌ２に平行な方向に反射する。
【００４４】
なお、図５（ａ）では、集光レンズ５１，６１の形状を円板状に描いてあるが、集光レンズ５１，６１の形状は、例えば図５（ｂ）に示すように凸レンズを備えた形状である。また、光学系５０，６０における集光レンズ５１，６１、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３は、治具の上に載置されるヘッドサスペンション１の中心線Ｃを通る垂直面に対して面対称に配置されている。
【００４５】
図５（ａ）に示した光学系の構成を更に詳しく説明する。まず、治具の上に載置されるヘッドサスペンション１の中心線Ｃと、この中心線Ｃに孔２１の位置で直交する線Ｄの交点を通る垂線をＺ軸とする。そして、このＺ軸を中心軸として、ヘッドサスペンション１の上方の点を基準点として、線Ｄに平行なＸ軸のプラス／マイナス両方向にそれぞれ〔集光レンズ５１，６１の半径〕＋〔レーザ走査距離の１／２〕以上の距離Ｌｘにある２点Ｐ１、Ｐ２を通り、Ｚ軸に平行な２本の軸を入射レーザ光軸ＬＢ１、ＬＢ２としている。
【００４６】
２本の光軸ＬＢ１、ＬＢ２を中心軸として、直径の最小値が〔レーザ光の直径φｄ〕＋〔レーザ走査距離〕の大きさを有するレーザ集光用の凸レンズ（集光レンズ５１，６１）を同一高さＬｚ位置に設置している。また、２本の光軸ＬＢ１、ＬＢ２上に反射面がそれぞれ向き合うように配置したレーザ反射ミラー５２，６２を同じ角度αだけ傾斜させた状態で同一高さ位置に設置させている。レーザ反射ミラー５２，６２で反射したレーザ光の光軸をそれぞれＬＲ１−１およびＬＲ２−１とする。
【００４７】
更に、２本の光軸ＬＲ１−１、ＬＲ２−１の上で反射面の裏面がそれぞれ向き合うようにレーザ反射ミラー５３、６３を、反射ミラー５２，６２と同じ角度αだけ傾斜させた状態で同一高さ位置に設置している。レーザ反射ミラー５３、６３で反射したレーザ光の光軸をＬＲ１−２およびＬＲ２−２とする。そして、レーザ光軸ＬＲ１−２、ＬＲ２−２の上のレーザ集光位置（光スポット位置）に、ばね圧修正対象のヘッドサスペンション１のそれぞれのばね構造部が位置するように配置している。
【００４８】
具体的には、ハーフミラー４２とミラー４３の取付角度、及び反射ミラー５２，５３、６２，６３の設置角度αをそれぞれ４５°としている。この結果、レーザ発振器４１から出射されたレーザ光Ｌをハーフミラー４２でレーザ光Ｌ１，Ｌ２に２分岐し、ミラー４３で反射されたレーザ光Ｌ２の光軸がハーフミラー４２で反射されたレーザ光Ｌ１の光軸に平行になる。また、ミラー５２，６２で反射されたレーザ光の光軸ＬＲ１−１．ＬＲ２−１は同一直線上にあり、ミラー５３，６３で反射されたレーザ光の光軸ＬＲ１−２．ＬＲ２−２は平行である。
【００４９】
これに加えて、この実施例のレーザ成形装置４０は、図６に示すように、第１の光学系５０と第２の光学系６０からなる光学系全体をＹ軸方向に移動して位置決めするＹ軸方向移動機構７０を備えている。Ｙ軸方向移動機構７０には種々の機構が適用できるが、ここではその図示を省略する。Ｙ軸方向移動機構７０により、ヘッドサスペンション１の長さ方向に光学系全体を、例えば、レーザフォーミングが必要な各位置Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３に移動させることができる。
【００５０】
以上のような構成において、この実施例では、図５（ｃ）に示すように、Ｙ軸方向移動機構７０により位置決めされた場所において、光スポット４がヘッドサスペンション１の孔２１の左右両側にある２箇所のばね部１Ｌ，１Ｒに対して、水平な同一直線上で同時に反対方向に走査を行うようにする。集光されたレーザ光を同時に反対方向に走査するためには、第１と第２の光学系５０，６０をそれぞれ反対方向に移動するような機構を構成することで実現出来る。
【００５１】
しかし、レーザ成形装置４０では、レーザ照射部やその周囲は非常に微細な構造となっている。このため、光学系全体をＹ軸方向に移動して位置決めするＹ軸方向移動機構７０とは異なり、２つのレーザ光を集光・走査するために、第１の光学系５０と第２の光学系６０をそれぞれ独立に等距離だけＸ軸方向に精密に移動させる駆動機構系を構成することは困難である。
【００５２】
そこでこの実施例では、第１の光学系５０と第２の光学系６０における集光レンズ５１と６１のみを、同時に逆方向に移動させることができるＸ軸方向移動機構８０が設けられている。Ｘ軸方向移動機構８０は、２個の集光レンズ５１，６１を同一ＸＹ平面内でＸ軸方向にそれぞれ反対方向（一方がプラス方向の場合には、片方はマイナス方向といった状態）に移動させることができる機構である。
【００５３】
図７（ａ）は、Ｘ軸方向移動機構８０の第１の実施例の構成を示すものである。第１の実施例のＸ軸方向移動機構８０では、第１の光学系５０の集光レンズ５１と第２の光学系６０の集光レンズ６１とをそれぞれケース８１，８２に収容する。ケース８１，８２は同一直線上を移動可能とし、図示しない付勢機構によって互いに近づく方向に付勢する。そして、ケース８１，８２の間に、楕円カム８３をその両端がケース８１，８２に当接する状態で挿入する。そして、この楕円カム８３の中心軸８４をモータ８５によって回転させるようにする。この楕円カム８３の回転により、ケース８１，８２に収容された集光レンズ５１と集光レンズ６１とが、同一ＸＹ平面内でＸ軸方向にそれぞれ反対方向に移動する。
【００５４】
図７（ｂ）は、Ｘ軸方向移動機構８０の第２の実施例の構成を示すものである。第２の実施例のＸ軸方向移動機構８０でも集光レンズ５１と集光レンズ６１とをそれぞれケース８１，８２に収容する。ケース８１，８２は同一直線上を移動可能とし、ケース８１，８２の対応する位置に、リンクレバー８６，８７の一端を回動自在に取り付ける。リンクレバー８６，８７の他端はピン８８で結合し、作動板８９に回動自在に取り付けてリンク機構を構成する。作動板８９は、図示しない往復動作機構に接続し、Ｙ軸方向に往復動作可能とする。この作動板８９の往復動作により、リンク機構を介してケース８１，８２に収容された集光レンズ５１と集光レンズ６１とが、同一ＸＹ平面内でＸ軸方向にそれぞれ反対方向に移動する。
【００５５】
図８（ａ）は、Ｘ軸方向移動機構８０の第３の実施例の構成を示すものである。第３の実施例のＸ軸方向移動機構８０でも集光レンズ５１と集光レンズ６１とをそれぞれケース８１，８２に収容する。ケース８１，８２は同一直線上を移動可能とし、ケース８１，８２の対応する外側の端部に、スライドレバー９１，９２の一端を固着する。スライドレバー９１，９２は、それぞれアクチュエータ９３，９４によってＸ軸方向に移動可能に構成する。アクチュエータ９３，９４はケーブル９５，９６でコントローラ９７に接続し、コントローラ９７はコンピュータ９８で制御できるようにする。このスライドレバー９１，９２の往復動作により、ケース８１，８２に収容された集光レンズ５１と集光レンズ６１とが、同一ＸＹ平面内でＸ軸方向にそれぞれ反対方向に移動する。
【００５６】
ここで、図８（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向移動機構８０の第１から第３の実施例において、集光レンズ５１と集光レンズ６１とが最も内側の位置から最も外側の位置まで移動すると、光スポット４も同じ距離だけ移動する。例えば、集光レンズ５１と集光レンズ６１とが最も内側の位置から最も外側の位置まで２．５ｍｍ移動すると、光スポット４が同様に２．５ｍｍだけ移動する。これを図９（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。
【００５７】
図９（ａ）は、ケース８１に収容された集光レンズ５１とケース８２に収容された集光レンズ６１とが最も内側の位置にある状態を示している。このときは、集光レンズ５１、６１、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３の作用により、レーザ光の光スポット４が最も近接した位置にある。この位置は、例えば、光スポット４がヘッドサスペンション１の電気回路２０の両側にある孔２１の中にある位置であり、ヘッドサスペンション１の中心線から等距離にある。この位置から集光レンズ５１、６１の間隔を離していくと、集光レンズ５１、６１は同じ時間に同じ距離だけ移動する。すると、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３の作用により、レーザ光の光スポット４の中心線からの距離が同じように大きくなり、光スポット４によりヘッドサスペンション１の左右のばね部１Ｌ，１Ｒが照射される。
【００５８】
図９（ｂ）は、ケース８１に収容された集光レンズ５１とケース８２に収容された集光レンズ６１とが最も外側の位置にある状態を示している。このときは、集光レンズ５１、６１、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３の作用により、レーザ光の光スポット４が最も離間した位置にある。この位置は、例えば、光スポット４がヘッドサスペンション１の孔２１の両側にあるばね部１Ｌ，１Ｒの外側にある位置である。よって、この位置では、光スポット４によるヘッドサスペンション１の左右のばね部１Ｌ，１Ｒの照射が終了している。このように、集光レンズ５１、６１を最も近接した位置から、最も離間した位置まで移動させると、ヘッドサスペンション１の孔２１の両側にあるばね部１Ｌ，１Ｒの光スポット４による走査が終了する。
【００５９】
このように、以上説明した実施例のレーザ成形装置４０では、レーザ入射光軸と最終の光軸とを平行移動させるために１つの光軸上に２個の反射ミラーを設置した光学系を２つ作り、更にこの２つの光学系を面対称に配置することにより、入射部における２つの光軸間距離を各種光学系や駆動系を組み込むのに十分な長さとして確保した上で、加工対象であるサスペンションの両側に形成されて微小距離だけ離間している左右のばね部に対して同時にレーザ照射が行える。
【００６０】
また、２つの反射ミラーは集光レンズの焦点までの光路間に配置し、集光レンズを水平面内で移動させる構造としたことにより、焦点位置の高さが変化することなく被加工対象のばね部上でレーザ光を集光・走査させることができる。このように、以上説明した実施例のレーザ成形装置４０では、レーザ集光のための光学系やレーザ走査のための駆動系を設置する十分な空間を確保した上で、微細な加工対象領域内の２箇所に対して同時にレーザ光を集光、走査させることが可能である。
【００６１】
図１０は、この出願の第２の実施例のレーザ成形装置３０の構成を示す斜視図である。レーザ成形装置４０は、ヘッドサスペンション１に対して上側からのみしかレーザ光を照射することができない構成であったが、レーザ成形装置３０は、図１（ａ）で説明した従来のレーザ成形装置９０と同様に、ヘッドサスペンション１の下側からもレーザ光の照射を行うことができるものである。
【００６２】
このため、レーザ成形装置３０は、レーザ成形装置４０の構成に加えて、ヘッドサスペンション１を載置する平面に対して、レーザ成形装置４０を面対称に配置したレーザ成形装置４０Ｌを有する。従って、レーザ成形装置３０には、レーザ成形装置４０のハーフミラー４２、ミラー４３、集光レンズ５１，６１、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３に対応する位置に、ハーフミラー４２Ｌ、ミラー４３Ｌ、集光レンズ５１Ｌ，６１Ｌ、ミラー５２Ｌ，６２Ｌ、及びミラー５３Ｌ，６３Ｌを備えるレーザ成形装置４０Ｌが追加されたものである。
【００６３】
レーザ発振器４１は１台であり、レーザ発振器４１から出射されたレーザ光２Ｌは、ハーフミラー４４で二分岐される。ハーフミラー４４で反射されたレーザ光Ｌはハーフミラー４２に導かれ、ハーフミラー４４を透過したレーザ光ＬＬはミラー４５に導かれて反射し、ハーフミラー４２Ｌに導かれる。
【００６４】
一方、ハーフミラー４４からハーフミラー４２に至るレーザ光Ｌの光路、及びミラー４５からハーフミラー４２Ｌに至るレーザ光ＬＬの光路の途中には、レーザ光Ｌとレーザ光ＬＬの何れか一方は透過し、他方は遮断するシャッタ４６が設けられている。シャッタ４６は図示しない駆動機構により上下動し、シャッタ４６の上側に設けられた上窓４７がレーザ光Ｌを通過させている時には、シャッタ４６の下側に設けられた下窓４８がレーザ光ＬＬの光路に位置せず、レーザ光ＬＬはシャッタ４６で遮断される。逆に、下窓４８がレーザ光ＬＬを通過させている時には、上窓４７がレーザ光Ｌの光路に位置せず、レーザ光Ｌはシャッタ４６で遮断される。
【００６５】
レーザ成形装置３０は、光路切替機能を有するシャッタ４６によって、上側のレーザ成形装置４０あるいは下側のレーザ成形装置４０Ｌが切り替えられることで、必要とされるばね圧と測定されたばね圧の差分から判断されるばね圧の増加／低下のそれぞれに対応が可能である。
【００６６】
なお、以上説明したレーザ成形装置は、ヘッドサスペンションのばね圧修正ばかりでなく、ヘッドサスペンションのばね成形に活用することができる。
【００６７】
ここで、レーザ成形装置４０を使用したヘッドサスペンション１のばね圧の修正方法について説明する。
【００６８】
まず、ステップ１では、ヘッドサスペンションを治具上に載置する。
次に、ステップ２では、ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する。
そして、ステップ３では、ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度、或いは照射時間を決定する。
【００６９】
この後、ステップ４において、光スポットが孔の中に位置するように、第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めを行う。
次に、レーザ発振器からレーザ光を照射し、レーザ光の照射時間に応じて集光レンズの移動機構によって第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる。
そして、光スポットがヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、レーザ発振器の動作を停止させるようにする。
【００７０】
次に、レーザ成形装置３０を使用したヘッドサスペンション１のばね圧の修正方法について説明する。
【００７１】
ステップ１ではヘッドサスペンションを治具上に載置する。
ステップ２ではヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する。
ステップ３ではばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度或いは照射時間、及び上部光学装置と下部光学装置の何れを使用するかを選択する。
【００７２】
ステップ４では選択した光学装置において、照射点が孔の中に位置するように、第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする。
ステップ５ではレーザ発振器からレーザ光を照射する。
ステップ６ではレーザ光の照射時間に応じて集光レンズの移動機構によって第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる。
【００７３】
ステップ７では照射点がヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、ばね圧の調整が過度に実行されたか否かを判定する。
ステップ８ではばね圧の調整が過度でなかった場合にはレーザ発振器の動作を停止させ、過度であった場合は選択しなかった方の光学装置を使用して、ステップ４からステップ８を繰り返す。
【００７４】
以上、本発明を特にその好ましい実施の形態を参照して詳細に説明した。本発明の容易な理解のために、本発明の具体的な形態を以下に付記する。
【００７５】
（付記１） レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を反射及び透過するハーフミラーと、
前記ハーフミラーで反射された第１のレーザ光を第１の集光レンズで集光し、その照射点を治具上に載置されたばね成形体の所定位置に導く第１の光学系と、
前記ハーフミラーを透過し、ミラーで反射されて前記第１のレーザ光に平行にされた第２のレーザ光を第２の集光レンズで集光し、その照射点を前記ばね成形体の中心線に対して前記所定位置に対称な位置に導く第２の光学系と、
前記２つの照射点を、前記ばね成形体の中心線に垂直な方向に走査するために、前記第１と第２の集光レンズを移動する集光レンズの移動機構とを備えることを特徴とするレーザ成形装置。
（付記２） 前記第１の光学系と前記第２の光学系を近接する領域に同時に照射するためのメイン光学系を有したことを特徴とする付記１に記載のレーザ成形装置。
（付記３） ばね成形体の上部側に設けられた上部光学装置と、前記ばね成形体の下部側に設けられた下部光学装置、及び前記上部光学装置と下部光学装置の何れか一方にレーザ光を出射するレーザ発振器とから構成されるレーザ成形装置であって、前記上部光学装置及び前記下部光学装置がそれぞれ、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を反射及び透過するハーフミラーと、
前記ハーフミラーで反射された第１のレーザ光を第１の集光レンズで集光し、その照射点を治具上に載置されたばね成形体の所定位置に導く第１の光学系と、
前記ハーフミラーを透過し、ミラーで反射されて前記第１のレーザ光に平行にされた第２のレーザ光を第２の集光レンズで集光し、その照射点を前記ばね成形体の中心線に対して前記所定位置に対称な位置に導く第２の光学系と、
前記２つの照射点を、前記ばね成形体の中心線に垂直な方向に走査するために、前記第１と第２の集光レンズを移動する集光レンズの移動機構とを備えることを特徴とするレーザ成形装置。
（付記４） 前記第１の光学系に配置された光学部材と、前記第２の光学系に配置された光学部材は、前記ばね成形体の中心線を通る垂直面に対して、面対称に配置されていることを特徴とする付記１から３の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記５） 前記集光レンズの移動機構は、前記第１と第２の集光レンズを、前記垂直面に対して同じ距離だけ離反させる、或いは同じ距離だけ接近させるように移動することを特徴とする付記４に記載のレーザ成形装置。
【００７６】
（付記６） 前記ばね成形体が、先端部にヘッド、基部側に孔を備え、前記ヘッドに接続する電気回路が前記孔を左右に二分するように配置されているヘッドサスペンションであり、
前記集光レンズの移動機構は、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた時に、前記照射点が前記孔の中に位置し、前記第１と第２の集光レンズを最も離間させた時に、前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを移動することを特徴とする付記５に記載のレーザ成形装置。
（付記７） 前記第１の光学系と前記第２の光学系及び前記集光レンズの移動機構を一体的に、前記ばね成形体の中心線の方向に所定距離だけ移動させることができる光学系の移動機構を更に備えることを特徴とする付記１から６の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記８） 前記集光レンズの移動機構が、
前記第１と第２の集光レンズをそれぞれ収容する独立したケースと、
前記ケースを近接する方向に付勢する付勢機構と、
前記ケースの間に挿入された楕円形状のカムと、
前記カムの中心点に取り付けられた回転軸と、
前記回転軸を回転させるモータとを備えることを特徴とする付記１から７の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記９） 前記集光レンズの移動機構が、
前記第１と第２の集光レンズをそれぞれ収容する独立したケースと、
前記ケースを近接方向或いは離間方向に移動させる移動ガイドと、
同じ長さを備えた２つのロッドを備え、各ロッドはその一端が前記ケースの対応する位置にそれぞれピンで回転可能に固着され、他端が結合ピンで連結されたリンク機構と、
前記結合ピンを前記移動ガイドに垂直な方向に往復動作させる往復動作機構とを備えることを特徴とする付記１から７の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記１０） 前記集光レンズの移動機構が、
前記第１と第２の集光レンズをそれぞれ収容する独立したケースと、
前記ケースを近接方向或いは離間方向に移動させる移動ガイドと、
前記ケースを前記移動ガイド上でそれぞれ独立に移動させることができるアクチュエータと、
前記アクチュエータにより、前記２つのケースが互いに近づく方向に同じ距離だけ移動する、或いは互いに遠ざかる方向に同じ距離だけ移動するように、前記アクチュエータを動作制御する制御回路とを備えることを特徴とする付記１から７の何れかに記載のレーザ成形装置。
【００７７】
（付記１１） 前記制御回路がマイクロコンピュータであることを特徴とする付記９に記載のレーザ成形装置。
（付記１２） 前記第１の光学系と前記第２の光学系には、前記第１と第２の集光レンズで集光されたレーザ光を互いに近づく方向に反射させる第１の反射ミラーと、前記第１の反射ミラーで反射されたレーザ光を更に反射して前記ばね成形体に垂直に入射されるようにする第２の反射ミラーとが設けられていることを特徴とする付記１から１１の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記１３） 前記第１と第２の反射ミラーの傾斜角度がそれぞれ４５度であることを特徴とする付記１２に記載のレーザ成形装置。
（付記１４） 前記レーザ発信器は、レーザ光を前記上部光学装置と下部光学装置の一方の方向に反射させると共に透過させるハーフミラーと、前記ハーフミラーを透過したレーザ光を前記上部光学装置と下部光学装置の他方方向に反射させるミラー、及び前記ハーフミラーで反射されたレーザ光と前記ミラーで反射されたレーザ光の何れか一方を遮断するシャッタとを備えることを特徴とする付記３に記載のレーザ成形装置。
（付記１５） 付記５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧の調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法において、
前記ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、
前記ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、
前記ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度、或いは照射時間を決定する段階と、
前記照射点が前記孔の中に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、
前記レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光の照射時間に応じて前記集光レンズの移動機構によって前記第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、
前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、前記レーザ発振器の動作を停止させる段階を備えることを特徴とする、付記５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションの製造方法。
【００７８】
（付記１６） 付記５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧の調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法において、
前記ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、
前記ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、
前記ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度或いは照射時間、及び前記上部光学装置と下部光学装置の何れを使用するかを選択する段階と、
選択した光学装置において、前記照射点が前記孔の中に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、
前記レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光の照射時間に応じて前記集光レンズの移動機構によって前記第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、
前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、ばね圧の調整が過度に実行されたか否かを判定する段階と、
前記ばね圧の調整が過度でなかった場合には前記レーザ発振器の動作を停止させ、過度であった場合は選択しなかった方の光学装置を使用して前記段階を繰り返す段階とを備えることを特徴とする、付記５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションの製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】（ａ）は従来のレーザ光によるばね圧力調整方法に使用するばね圧調整治具３２の構成を示す構成図、（ｂ）は（ａ）に示したばね成形体の詳細な構成を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第１の例を説明する図、（ｂ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第２の例を説明する図である。
【図３】（ａ）は図２（ａ）、（ｂ）に示すように、ヘッドサスペンションに対して一方向にレーザ走査が実施される場合を説明する図、（ｂ）は（ａ）に示したレーザ走査の結果、ヘッドサスペンションに捩れが生じた様子を示す図である。
【図４】（ａ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第３の例を説明する図、（ｂ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第４の例を説明する図、（ｃ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第５の例を説明する図である。
【図５】（ａ）はこの出願の第１の実施例のレーザ成形装置の主要部の構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の集光レンズの一実施例の側面図、（ｃ）は（ａ）に示したレーザ成形装置におけるレーザ光のＸ方向の走査を説明する図である。
【図６】図５（ａ）に示したレーザ成形装置におけるレーザ光のＹ方向への走査を説明する図である。
【図７】（ａ）は図５（ａ）に示したレーザ成形装置における集光レンズの移動機構の第１の実施例の構成を示す図、（ｂ）は図５（ａ）に示したレーザ成形装置における集光レンズの移動機構の第２の実施例の構成を示す図である。
【図８】（ａ）は図５（ａ）に示したレーザ成形装置における集光レンズの移動機構の第３の実施例の構成を示す図、（ｂ）は図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ａ）において集光レンズが移動した時のスポットの移動を説明する図である。
【図９】（ａ）は図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ａ）において、集光レンズが近づいた位置にある時のスポットの位置を示す図、（ｂ）は図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ａ）において、集光レンズが離れた位置にある時のスポットの位置を示す図である。
【図１０】この出願の第２の実施例のレーザ成形装置の主要部の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８０】
１ ばね成形体（ヘッドサスペンション）
４ 光スポット
２０ 電気回路
２１ 孔
３０，４０ レーザ成形装置
４１ レーザ発振器
４２，４２Ｌ，４４ ハ−フミラー
４３、５２，５３，６２，６３ ミラー
４５、５２Ｌ，５３Ｌ，６２Ｌ，６３Ｌ ミラー
４６ シャッタ
４７，４８ 窓
７０ Ｙ軸方向移動機構
８０ Ｘ軸方向移動機構
【技術分野】
【０００１】
この出願はレーザ成形装置及びこの装置を使用するヘッドサスペンションの製造方法に関し、特に、薄板金属を素材としたばね部品のばね圧をレーザ光により修正することができるレーザ成形装置、およびこの装置を使用するヘッドサスペンションの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドサスペンション（以後単にヘッドサスペンションと言う）は、磁気ディスク装置を構成する精密ばね部品である。磁気ヘッドサスペンションの先端部には、磁気データの書き込み／読み出し行うための磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと呼ばれる部品が搭載され、後端部はＶＣＭ（ボイスコイルモータ）によって揺動する揺動アームの先端部に取り付けられる。ヘッドサスペンションは板厚が２０〜３０μｍ程度のステンレス鋼板薄板を素材とし、一般にプレス成形法を用いて製造されている。
【０００３】
このヘッドサスペンションにはばね機能があり、ヘッドスライダの磁気記録媒体に対向する面に形成されたエアベアリングサスペンション（ＡＢＳ）形状による浮上力と釣り合って、ヘッドスライダを磁気記録媒体上で所定高さだけ浮上させている。この浮上量は、磁気ディスク装置の小型／高記録容量化の要求に従い、１０ｎｍ以下が要求されるようになってきている。更に、このヘッドスライダの浮上量の要求に伴って、ヘッドサスペンションのばね圧精度も非常に高いものが要求されるようになってきている。
【０００４】
これに対して、ヘッドサスペンションのばね圧修正方法が種々提案されており、その１つにレーザフォーミンング技術を活用した方法がある。レーザフォーミング技術は、非特許文献１に記載のように、レーザ光を集光させて金属薄板に当て、走査してレーザ光の持つ熱エネルギにより材料の板厚方向における温度勾配を形成し、この温度勾配によって金属薄板を塑性変形させる加工技術である。また、レーザフォーミング技術は、非接触で成形加工が行えるという特徴に加えて、スプリングバックの無い高精度な成形が可能、レーザ走査条件のみで微細な曲げ角度制御が可能であるといった特徴を有している。このためレーザフォーミング技術は、特許文献１に記載のように、ヘッドサスペンションのばね圧修正技術として活用が拡大している。
【０００５】
ヘッドスライダの磁気記録媒体からの浮上量を安定的に維持するためには、ヘッドサスペンションの捻れ変形を回避することが重要である。ヘッドサスペンションの捩れ変形防止を実現する方法としては、ヘッドサスペンションの形状を左右対称とし、軽量化のために中央部に孔を設け、ヘッドサスペンションの両側にばね機能を持たせるという構造が採用されている。
【０００６】
ところで、前述のように、ヘッドサスペンションにはその先端部にヘッドスライダが搭載されており、磁気ヘッドの書き込み／読み出し信号を処理する処理回路は揺動アームの外部にある。このため、ヘッドサスペンションには磁気ヘッドと処理回路との間で電気信号を伝送するための電気回路をサスペンションの表面に設ける必要がある。
【０００７】
そして、ヘッドサスペンションの捻れ変形を回避するために、この電気回路はヘッドサスペンションの中央部に配置するという構造が採用されている。このため、ヘッドサスペンションの回転軸に近い根元部の近傍に設けられた孔が、電気回路によって二分されたような構造となっているのが最近の磁気ヘッドサスペンション形状の傾向である。なお、ばね機能としての両側の梁の幅や電気回路の両側に位置する孔の幅、および電気回路部の幅は、それぞれ０．５ｍｍ程度以下と非常に微細な構造となっている。
【０００８】
このような構造のヘッドサスペンションに対してばね圧を修整する場合、特許文献１及び非特許文献１に開示のレーザフォーミング技術を使用すると、ばね成形部に１本のレーザ光を、ヘッドサスペンションに対して水平方向に１本の直線上に走査させる、あるいは水平方向に複数本の直線上にレーザ光を走査させることにより、ばね圧を修正することになる。
【０００９】
【特許文献１】特開昭６３−３０３２３７号公報（図 ）
【００１０】
【非特許文献１】松下電工技報（Aug.2002）特集「生産技術」の第４０頁−第４５頁「レーザフォーミングによるリレー特性調整」北田耕作・朝日信行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、これらの方法を前述のような構造を有するヘッドサスペンションのばね圧修正に適用した場合には、下記に示すような問題点が発生する。
【００１２】
（１）サスペンション中央部に形成された電気回路部分にレーザ光が照射されて破損しないために、（ａ）電気回路にレーザ光が照射されないように遮光マスクを設置して電気回路部にレーザが照射されることを防止する方法、或いは（ｂ）レーザ光のオン／オフ制御（レーザ発振器の電気的なオン／オフ制御やメカニカルシャッターによるオン／オフ制御）により電気回路部にレーザが照射されることを防止する方法をとる必要がある。
【００１３】
ところが、（ａ）の方法ではレーザのオン／オフ制御が不要というメリットがあるものの、対象部材形状に合わせた遮光マスクを準備しておく必要や、遮光マスクをセットする作業工程が増えるといった欠点がある。また、（ｂ）の方法では高速なレーザ光のオン／オフ制御が肝要であり、レーザ光の走査速度に対して電気回路部の幅が狭い場合には制御不可能な場合も発生する。
【００１４】
（２）レーザフォーミング技術は、板厚方向の温度勾配の発生による塑性変形加工であるため、レーザ照射の持続によって生じる材料自体の温度上昇が曲げ変形量の低下をもたらすことになる。この現象はレーザ走査の開始点と終了点での曲げ変形の大きさが異なることを示しており、一方向でのレーザ走査では部材に捻れ変形をもたらすことになる。この傾向は被加工材料の部材が小さいほど顕著となるため、ヘッドサスペンションのような捻れ変形が嫌われる部材のばね圧の修正には不適切である。
【００１５】
この捻れ変形を防ぐ方法として、レーザ光を往復走査する方法が提案されているが、この方法でも、１回のレーザ走査で修正出来るばね圧変化量の２倍の変形を発生させることになり、修正分解能が一方向走査に比較して２倍となってしまう欠点がある。
【００１６】
（３）更に、前述の問題点を解決する別の方法として、ヘッドサスペンションの左右のばね部に対して、例えば、左側のばね部には左側の孔部分を開始点として左方向にレーザを走査した後、右側の孔部分を開始点として右側のばね部に右方向にレーザを走査するといったシーケンシャルに各ばね構造部に対して反対方向にレーザを走査する方法が考えられる。この方法では、左右のばね部でそれぞれ反対方向への捻れが発生することから、ヘッドサスペンション全体から見ると捻れの無い修正が可能である。
【００１７】
ところが、この方法でも、１つのヘッドサスペンションに対して最低２回に分割しての複数回のレーザ走査が必要となることから、ヘッドサスペンションの加工時間が２倍近くになってしまうという欠点がある。
【００１８】
そこでこの出願は、これらの問題点を解決し、短時間に微細な修正分解能を有しながら捻れ変形の発生しないレーザフォーミング技術によるサスペンションのばね圧修正を行うことができるレーザ成形装置及びこの装置を使用するばね圧調整方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記目的を達成するレーザ成形装置は、レーザ光を出射するレーザ発振器と、レーザ発振器から出射されたレーザ光を反射及び透過するハーフミラーと、ハーフミラーで反射された第１のレーザ光を第１の集光レンズで集光し、その照射点を治具上に載置されたばね成形体の所定位置に導く第１の光学系と、ハーフミラーを透過し、ミラーで反射されて第１のレーザ光に平行にされた第２のレーザ光を第２の集光レンズで集光し、その照射点をばね成形体の中心線に対して所定位置に対称な位置に導く第２の光学系と、２つの照射点をばね成形体の中心線に垂直な方向に走査するために第１と第２の集光レンズを移動する集光レンズの移動機構とを備えることを特徴としている。
【００２０】
また、前記目的を達成するレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法の第１の形態は、ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度、或いは照射時間を決定する段階と、照射点が孔の中に位置するように、第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、レーザ発振器からレーザ光を照射し、レーザ光の照射時間に応じて集光レンズの移動機構によって第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、照射点がヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、レーザ発振器の動作を停止させるようにした段階とを有するレーザ成形装置を使用するヘッドサスペンションの製造方法である。
【００２１】
更に、前記目的を達成するレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法の第２の形態は、ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度或いは照射時間、及び上部光学装置と下部光学装置の何れを使用するかを選択する段階と、選択した光学装置において、照射点が孔の中に位置するように、第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、レーザ光の照射時間に応じて集光レンズの移動機構によって第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、照射点がヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、ばね圧の調整が過度に実行されたか否かを判定する段階と、ばね圧の調整が過度でなかった場合にはレーザ発振器の動作を停止させ、過度であった場合は選択しなかった方の光学装置を使用して段階を繰り返す段階とを備えることを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
この出願のレーザ成形装置及びレーザ成形装置を使用したにヘッドサスペンションの製造方法よれば、レーザフォーミングを活用したヘッドサスペンションのばね圧修正において、以下の効果が得られる。
【００２３】
（１）捻れ変形の無いばね圧修正が可能
（２）１つのレーザ光を往復走査させる場合に比較して、２倍の修正精度（修正分解能では１／２）が得られる。
（３）１つのレーザ光方式に比較して１／２以下の時間でばね圧修正が可能
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付図面を用いてこの出願における実施の形態を、具体的な実施例に基づいて詳細に説明するが、その前に従来の技術の問題点について図面を用いて説明する。
【００２５】
図１（ａ）は従来のレーザ光によるばね圧力調整方法に使用するばね圧調整治具３２を備えたレーザ成形装置９０の構成を示すものである。ばね圧調整治具３２の取付ブロック２９には、片持ち梁構成のばね形成体１の固定端３が装着され、ばね形成体１のヘッド支持端２に取り付けられた磁気ヘッドを備えたヘッドスライダ５は、歪ゲージ１０の上に載置されている。ばね形成体１を挟んで上下両面側に一対の照射ユニット７，８が配置される。照射ユニット７，８はアーム１９を介して照射ユニット駆動部１１に接続しており、照射ユニット駆動部１１によってばね形成体１の長さ方向に直交する方向に走査される。
【００２６】
レーザ照射装置は、レーザ光発振器１３、光制御部１４、及び光ケーブル６を介して接続される集光レンズ内蔵の照射ユニット７，８から構成される。光制御部１４には、レーザ光発振器１３で発振されたレーザ光を表裏両面に配分するハーフミラー１６及びミラー１７と、これらミラー１６，１７の光を開閉するシャッタ機構部９，９’、及びシャッタの開閉制御部１８がある。
【００２７】
ハーフミラー１６で反射したレーザ光は、シャッタ機構部９、光ケーブル６を経て照射ユニット７に達し、集光されて導出され、ばね形成体１の表面側に光スポット４を形成する。他方、ハーフミラー１６を通過し、ミラー１７で反射したレーザ光は、シャッタ機構部９’、光ケーブル６を経て接続された照射ユニット８に達し、集光されて導出され、ばね形成体１の裏面側に光スポット４’を形成する。
【００２８】
このようにして、ばね形成体１の表面または裏面に照射される光スポット４，４’の切り換えは、ばね圧力センサである歪ゲージ１０からの検出圧力レベル（出力表示器３１に表示される）が、大きいか小さいかを判別するばね圧力検出制御部１２によって行われるが、具体的には光制御部１４にあるシャッタ開閉駆動部１８により行われる。シャッタ開閉駆動部１８によるシャッタ９，９’の開閉は、例えば、シャッタ機構部９，９’の一方のシャッタが開の時は、他方のシャッタが閉となるような開閉制御が行われる。
【００２９】
ばね圧力検出制御部１２は、予めばね形成体１の圧力基準値を記憶しており、この圧力基準値より大きい圧力調整の上部許容限界値と、小さい下部許容限界値とが設定されている。そして、ばね圧力検出制御部１２には、前述の上部並びに下部の許容限界値を、歪ゲージ１０の検出圧力と比較するためのコンパレータが内蔵されている。歪ゲージ１０からの検出圧力が上部、下部の許容限界値の範囲内にあれば、ばね圧力調整は完了したことになる。しかし、歪ゲージ１０の検出圧力が上部許容限界値を上回れば、ばね圧力検出制御部１２からシャッタ開閉駆動部１８に信号が送られ、シャッタ９が開放され、シャッタ９’が閉じられるので、照射ユニット７から光スポット４が照射されることによってばね圧力が軽減される。
【００３０】
他方、歪ゲージ１０の検出圧力が下部許容限界値を下回れば、ばね圧力検出制御部１２からシャッタ開閉駆動部１８に信号が送られ、シャッタ９’が開放され、シャッタ９が閉じられるので、照射ユニット８から光スポット４’が照射されることになり、その結果としてばね圧力が強められる。シャッタ開閉駆動の信号は、照射ユニット駆動部１１にも送られ、ばね形成体１の幅方向のばね端の間を交互に往復させる光スポット４，４’の走査が行われる。
【００３１】
図１（ｂ）は図１（ａ）に示したばね成形体１がヘッドサスペンションである場合の詳細な構成を示すものである。ヘッドサスペンション１の先端部のヘッド支持端２には磁気ヘッドを備えたヘッドスライダ５が取り付けられている。また、ヘッドサスペンション１の固定端３に近い基部側には孔２１が設けられており、ヘッドスライダ５に接続する電気回路２０が、この孔２１を幅方向に二分してヘッドサスペンション１の上に配置されている。そしてヘッドサスペンション１の固定端３側にはヘッドサスペンション１を揺動アーム（図示せず）に取り付けるための支持部材２２がある。電気回路２０の幅Ｗ１は１ｍｍ程度、孔２１の幅Ｗ２は２ｍｍ程度、ヘッドサスペンション１の孔２１の両端部の幅Ｗ３は０．５ｍｍ程度である。
【００３２】
図１（ｂ）に示すようなヘッドサスペンション１に、図１（ａ）に示すようなレーザ成形装置９０によってレーザフォーミングを行う場合は、図２（ａ）に示すように、ヘッドサスペンション１のレーザ走査ラインＳに電気回路２０が重なる。このため、電気回路２０にレーザ光が照射されて破損しないために、電気回路２０の上に遮光マスク２３を設置して、レーザフォーミング時にレーザ光Ｌが電気回路２０に照射されないようにしていた。ところが、図２（ａ）に示した方法では、レーザ光Ｌのオン／オフ制御が不要というメリットがあるものの、電気回路２０の形状に合わせた遮光マスク２３を準備しておく必要や、遮光マスク２３をレーザフォーミング毎にセットする作業工程が増えるといった問題点がある。
【００３３】
そこで、図２（ｂ）に示すように、レーザ光Ｌのオン／オフ制御（図１（ａ）に示したレーザ発振器１３の電気的なオン／オフ制御や、シャッタ機構部９のオン／オフ制御）により、電気回路２０にレーザ光Ｌが照射されることを防止する方法がある。ところが、図２（ｂ）の方法では高速なレーザ光のＬオン／オフ制御が肝要であり、レーザ光Ｌの走査速度に対して電気回路２０の幅が狭い場合には制御が不可能な場合も発生するという問題点があった。
【００３４】
レーザフォーミング技術は、ヘッドサスペンション１の板厚方向の温度勾配の発生による塑性変形加工であるため、レーザ照射の持続によって生じる材料自体の温度上昇が曲げ変形量の低下をもたらすことになる。この現象はレーザ走査の開始点と終了点での曲げ変形の大きさが異なることを示しており、図２（ａ）の方法、或いは図２（ｂ）の方法により、図３（ａ）に示すような一方向にレーザ光Ｌを走査させた場合は、図３（ｂ）に示すように、ヘッドサスペンション１の部材に捻れ変形をもたらすことになる。この傾向は被加工材料の部材寸法が小さいほど顕著となるため、ヘッドサスペンション１のような捻れ変形が嫌われる部材のばね圧の修正には不適切である。
【００３５】
この捻れ変形を防ぐ方法として、図４（ａ）に示すように、図２（ａ）で説明した方法において、レーザ光Ｌを往復走査する方法、或いは図４（ｂ）に示すように、図２（ｂ）で説明した方法において、レーザ光Ｌを往復走査する方法が提案されている。しかし、これらの方法では、１回のレーザ走査で修正出来るばね圧変化量の２倍の変形を発生させることになり、修正分解能が一方向走査に比較して２倍となってしまう問題点があった。
【００３６】
更に、前述の問題点を解決する別の方法として、ヘッドサスペンション１の左右のばね部１Ｌ，１Ｒに対して別々に照射を行う方法がある。この方法では、左側のばね部１Ｌに対しては、左側の孔２１の電気回路２０側を開始点として左方向に走査してレーザ光Ｌを照射し、照射後はレーザ光Ｌを照射せずに戻る。次いで、右側のばね部１Ｒに対しては右側の孔２１の電気回路２０側を開始点として右方向に走査してレーザ光Ｌを照射し、照射後はレーザ光Ｌを照射せずに戻る。この方法では、左右のばね部１Ｌ，１Ｒでそれぞれ反対方向への捻れが発生することから、ヘッドサスペンション１の全体から見ると捻れの無い修正が可能である。
【００３７】
ところが、この方法でも、１つのヘッドサスペンション１に対して最低２回に分割しての複数回のレーザ光Ｌを走査させることが必要となることから、ヘッドサスペンション１の加工時間が２倍近くになってしまうという問題点があった。
【００３８】
そこで、本発明者らは、図１（ｂ）に示した１つのヘッドサスペンション１において、同一エネルギ条件と同一集光特性を有する２つのレーザ光を１組として使用し、ヘッドサスペンション１の孔２１の左右両側にある２箇所のばね部１Ｌ，１Ｒに対して、水平な同一直線上で同時に反対方向にレーザ光による走査を行えば、レーザ光の走査回数も少なく、且つ左右のばね部１Ｌ，１Ｒでそれぞれ反対方向への捻れが発生することから、ヘッドサスペンション１の全体から見ると捻れの無い修正が可能であることを見出した。
【００３９】
なお、レーザ成形装置は、図１（ａ）に示したように、ヘッドサスペンション１の両面にレーザ光を照射できるが、レーザ光はヘッドサスペンション１の両面に同時に照射されることはなく、上側又は下側の何れか一方の面のみに照射される。そこで、以下に説明する第１の実施例では、ヘッドサスペンション１にレーザ光が上側からのみ照射される形態を説明し、第２の実施例でヘッドサスペンション１にレーザ光が上側からまたは下側から照射される形態を説明する。
【００４０】
図５（ａ）は、この思想に基づく第１の実施例のレーザ成形装置４０の構成を示すものである。レーザ成形装置４０は、１つのレーザ発信器４１と、レーザ発信器４１から出射されたレーザ光Ｌをニ分岐するハーフミラー４２、分岐されたレーザ光ＬＢ２を全反射するミラー４３、及び第１と第２の２組の光学系５０，６０とを備えて構成される。ハーフミラー４２により反射されたレーザ光Ｌ１と、ハーフミラー４２で分岐された後にミラー４３で全反射されたレーザ光Ｌ２とは同一エネルギを有する。また、第１と第２の２つの光学系５０，６０には、同一の集光特性を有する光学部品を、ヘッドサスペンション１を左右に二分する平面に対して面対称に配置し、１つのヘッドサスペンション１の上に集光される光スポット（レーザ光の照射点）のエネルギを同一にしている。
【００４１】
第１の光学系５０は、集光レンズ５１および２つの全反射ミラー５２，５３を備えて構成され、第２の光学系６０は、集光レンズ６１および２つの全反射ミラー６２，６３を備えて構成される。集光レンズ５１と集光レンズ６１の集光特性は同じである。
【００４２】
第１の光学系５０において、集光レンズ５１はハーフミラー４２で反射されたレーザ光Ｌ１を集光し、ミラー５２は集光されたレーザ光Ｌｂ１を第２の光学系６０の方向に反射する。そして、ミラー５３は、ミラー５２からのレーザ光Ｌｂ１を、ハーフミラー４２で反射されたレーザ光Ｌ１に平行な方向に反射する。
【００４３】
同様に、第２の光学系６０において、集光レンズ６１はミラー４３で反射されたレーザ光Ｌ２を集光し、ミラー６２は集光されたレーザ光Ｌｂ２を第１の光学系５０の方向に反射する。そして、ミラー６３は、ミラー６２からのレーザ光Ｌｂ２を、ミラー４３で反射されたレーザ光Ｌ２に平行な方向に反射する。
【００４４】
なお、図５（ａ）では、集光レンズ５１，６１の形状を円板状に描いてあるが、集光レンズ５１，６１の形状は、例えば図５（ｂ）に示すように凸レンズを備えた形状である。また、光学系５０，６０における集光レンズ５１，６１、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３は、治具の上に載置されるヘッドサスペンション１の中心線Ｃを通る垂直面に対して面対称に配置されている。
【００４５】
図５（ａ）に示した光学系の構成を更に詳しく説明する。まず、治具の上に載置されるヘッドサスペンション１の中心線Ｃと、この中心線Ｃに孔２１の位置で直交する線Ｄの交点を通る垂線をＺ軸とする。そして、このＺ軸を中心軸として、ヘッドサスペンション１の上方の点を基準点として、線Ｄに平行なＸ軸のプラス／マイナス両方向にそれぞれ〔集光レンズ５１，６１の半径〕＋〔レーザ走査距離の１／２〕以上の距離Ｌｘにある２点Ｐ１、Ｐ２を通り、Ｚ軸に平行な２本の軸を入射レーザ光軸ＬＢ１、ＬＢ２としている。
【００４６】
２本の光軸ＬＢ１、ＬＢ２を中心軸として、直径の最小値が〔レーザ光の直径φｄ〕＋〔レーザ走査距離〕の大きさを有するレーザ集光用の凸レンズ（集光レンズ５１，６１）を同一高さＬｚ位置に設置している。また、２本の光軸ＬＢ１、ＬＢ２上に反射面がそれぞれ向き合うように配置したレーザ反射ミラー５２，６２を同じ角度αだけ傾斜させた状態で同一高さ位置に設置させている。レーザ反射ミラー５２，６２で反射したレーザ光の光軸をそれぞれＬＲ１−１およびＬＲ２−１とする。
【００４７】
更に、２本の光軸ＬＲ１−１、ＬＲ２−１の上で反射面の裏面がそれぞれ向き合うようにレーザ反射ミラー５３、６３を、反射ミラー５２，６２と同じ角度αだけ傾斜させた状態で同一高さ位置に設置している。レーザ反射ミラー５３、６３で反射したレーザ光の光軸をＬＲ１−２およびＬＲ２−２とする。そして、レーザ光軸ＬＲ１−２、ＬＲ２−２の上のレーザ集光位置（光スポット位置）に、ばね圧修正対象のヘッドサスペンション１のそれぞれのばね構造部が位置するように配置している。
【００４８】
具体的には、ハーフミラー４２とミラー４３の取付角度、及び反射ミラー５２，５３、６２，６３の設置角度αをそれぞれ４５°としている。この結果、レーザ発振器４１から出射されたレーザ光Ｌをハーフミラー４２でレーザ光Ｌ１，Ｌ２に２分岐し、ミラー４３で反射されたレーザ光Ｌ２の光軸がハーフミラー４２で反射されたレーザ光Ｌ１の光軸に平行になる。また、ミラー５２，６２で反射されたレーザ光の光軸ＬＲ１−１．ＬＲ２−１は同一直線上にあり、ミラー５３，６３で反射されたレーザ光の光軸ＬＲ１−２．ＬＲ２−２は平行である。
【００４９】
これに加えて、この実施例のレーザ成形装置４０は、図６に示すように、第１の光学系５０と第２の光学系６０からなる光学系全体をＹ軸方向に移動して位置決めするＹ軸方向移動機構７０を備えている。Ｙ軸方向移動機構７０には種々の機構が適用できるが、ここではその図示を省略する。Ｙ軸方向移動機構７０により、ヘッドサスペンション１の長さ方向に光学系全体を、例えば、レーザフォーミングが必要な各位置Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３に移動させることができる。
【００５０】
以上のような構成において、この実施例では、図５（ｃ）に示すように、Ｙ軸方向移動機構７０により位置決めされた場所において、光スポット４がヘッドサスペンション１の孔２１の左右両側にある２箇所のばね部１Ｌ，１Ｒに対して、水平な同一直線上で同時に反対方向に走査を行うようにする。集光されたレーザ光を同時に反対方向に走査するためには、第１と第２の光学系５０，６０をそれぞれ反対方向に移動するような機構を構成することで実現出来る。
【００５１】
しかし、レーザ成形装置４０では、レーザ照射部やその周囲は非常に微細な構造となっている。このため、光学系全体をＹ軸方向に移動して位置決めするＹ軸方向移動機構７０とは異なり、２つのレーザ光を集光・走査するために、第１の光学系５０と第２の光学系６０をそれぞれ独立に等距離だけＸ軸方向に精密に移動させる駆動機構系を構成することは困難である。
【００５２】
そこでこの実施例では、第１の光学系５０と第２の光学系６０における集光レンズ５１と６１のみを、同時に逆方向に移動させることができるＸ軸方向移動機構８０が設けられている。Ｘ軸方向移動機構８０は、２個の集光レンズ５１，６１を同一ＸＹ平面内でＸ軸方向にそれぞれ反対方向（一方がプラス方向の場合には、片方はマイナス方向といった状態）に移動させることができる機構である。
【００５３】
図７（ａ）は、Ｘ軸方向移動機構８０の第１の実施例の構成を示すものである。第１の実施例のＸ軸方向移動機構８０では、第１の光学系５０の集光レンズ５１と第２の光学系６０の集光レンズ６１とをそれぞれケース８１，８２に収容する。ケース８１，８２は同一直線上を移動可能とし、図示しない付勢機構によって互いに近づく方向に付勢する。そして、ケース８１，８２の間に、楕円カム８３をその両端がケース８１，８２に当接する状態で挿入する。そして、この楕円カム８３の中心軸８４をモータ８５によって回転させるようにする。この楕円カム８３の回転により、ケース８１，８２に収容された集光レンズ５１と集光レンズ６１とが、同一ＸＹ平面内でＸ軸方向にそれぞれ反対方向に移動する。
【００５４】
図７（ｂ）は、Ｘ軸方向移動機構８０の第２の実施例の構成を示すものである。第２の実施例のＸ軸方向移動機構８０でも集光レンズ５１と集光レンズ６１とをそれぞれケース８１，８２に収容する。ケース８１，８２は同一直線上を移動可能とし、ケース８１，８２の対応する位置に、リンクレバー８６，８７の一端を回動自在に取り付ける。リンクレバー８６，８７の他端はピン８８で結合し、作動板８９に回動自在に取り付けてリンク機構を構成する。作動板８９は、図示しない往復動作機構に接続し、Ｙ軸方向に往復動作可能とする。この作動板８９の往復動作により、リンク機構を介してケース８１，８２に収容された集光レンズ５１と集光レンズ６１とが、同一ＸＹ平面内でＸ軸方向にそれぞれ反対方向に移動する。
【００５５】
図８（ａ）は、Ｘ軸方向移動機構８０の第３の実施例の構成を示すものである。第３の実施例のＸ軸方向移動機構８０でも集光レンズ５１と集光レンズ６１とをそれぞれケース８１，８２に収容する。ケース８１，８２は同一直線上を移動可能とし、ケース８１，８２の対応する外側の端部に、スライドレバー９１，９２の一端を固着する。スライドレバー９１，９２は、それぞれアクチュエータ９３，９４によってＸ軸方向に移動可能に構成する。アクチュエータ９３，９４はケーブル９５，９６でコントローラ９７に接続し、コントローラ９７はコンピュータ９８で制御できるようにする。このスライドレバー９１，９２の往復動作により、ケース８１，８２に収容された集光レンズ５１と集光レンズ６１とが、同一ＸＹ平面内でＸ軸方向にそれぞれ反対方向に移動する。
【００５６】
ここで、図８（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向移動機構８０の第１から第３の実施例において、集光レンズ５１と集光レンズ６１とが最も内側の位置から最も外側の位置まで移動すると、光スポット４も同じ距離だけ移動する。例えば、集光レンズ５１と集光レンズ６１とが最も内側の位置から最も外側の位置まで２．５ｍｍ移動すると、光スポット４が同様に２．５ｍｍだけ移動する。これを図９（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。
【００５７】
図９（ａ）は、ケース８１に収容された集光レンズ５１とケース８２に収容された集光レンズ６１とが最も内側の位置にある状態を示している。このときは、集光レンズ５１、６１、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３の作用により、レーザ光の光スポット４が最も近接した位置にある。この位置は、例えば、光スポット４がヘッドサスペンション１の電気回路２０の両側にある孔２１の中にある位置であり、ヘッドサスペンション１の中心線から等距離にある。この位置から集光レンズ５１、６１の間隔を離していくと、集光レンズ５１、６１は同じ時間に同じ距離だけ移動する。すると、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３の作用により、レーザ光の光スポット４の中心線からの距離が同じように大きくなり、光スポット４によりヘッドサスペンション１の左右のばね部１Ｌ，１Ｒが照射される。
【００５８】
図９（ｂ）は、ケース８１に収容された集光レンズ５１とケース８２に収容された集光レンズ６１とが最も外側の位置にある状態を示している。このときは、集光レンズ５１、６１、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３の作用により、レーザ光の光スポット４が最も離間した位置にある。この位置は、例えば、光スポット４がヘッドサスペンション１の孔２１の両側にあるばね部１Ｌ，１Ｒの外側にある位置である。よって、この位置では、光スポット４によるヘッドサスペンション１の左右のばね部１Ｌ，１Ｒの照射が終了している。このように、集光レンズ５１、６１を最も近接した位置から、最も離間した位置まで移動させると、ヘッドサスペンション１の孔２１の両側にあるばね部１Ｌ，１Ｒの光スポット４による走査が終了する。
【００５９】
このように、以上説明した実施例のレーザ成形装置４０では、レーザ入射光軸と最終の光軸とを平行移動させるために１つの光軸上に２個の反射ミラーを設置した光学系を２つ作り、更にこの２つの光学系を面対称に配置することにより、入射部における２つの光軸間距離を各種光学系や駆動系を組み込むのに十分な長さとして確保した上で、加工対象であるサスペンションの両側に形成されて微小距離だけ離間している左右のばね部に対して同時にレーザ照射が行える。
【００６０】
また、２つの反射ミラーは集光レンズの焦点までの光路間に配置し、集光レンズを水平面内で移動させる構造としたことにより、焦点位置の高さが変化することなく被加工対象のばね部上でレーザ光を集光・走査させることができる。このように、以上説明した実施例のレーザ成形装置４０では、レーザ集光のための光学系やレーザ走査のための駆動系を設置する十分な空間を確保した上で、微細な加工対象領域内の２箇所に対して同時にレーザ光を集光、走査させることが可能である。
【００６１】
図１０は、この出願の第２の実施例のレーザ成形装置３０の構成を示す斜視図である。レーザ成形装置４０は、ヘッドサスペンション１に対して上側からのみしかレーザ光を照射することができない構成であったが、レーザ成形装置３０は、図１（ａ）で説明した従来のレーザ成形装置９０と同様に、ヘッドサスペンション１の下側からもレーザ光の照射を行うことができるものである。
【００６２】
このため、レーザ成形装置３０は、レーザ成形装置４０の構成に加えて、ヘッドサスペンション１を載置する平面に対して、レーザ成形装置４０を面対称に配置したレーザ成形装置４０Ｌを有する。従って、レーザ成形装置３０には、レーザ成形装置４０のハーフミラー４２、ミラー４３、集光レンズ５１，６１、ミラー５２，６２、及びミラー５３，６３に対応する位置に、ハーフミラー４２Ｌ、ミラー４３Ｌ、集光レンズ５１Ｌ，６１Ｌ、ミラー５２Ｌ，６２Ｌ、及びミラー５３Ｌ，６３Ｌを備えるレーザ成形装置４０Ｌが追加されたものである。
【００６３】
レーザ発振器４１は１台であり、レーザ発振器４１から出射されたレーザ光２Ｌは、ハーフミラー４４で二分岐される。ハーフミラー４４で反射されたレーザ光Ｌはハーフミラー４２に導かれ、ハーフミラー４４を透過したレーザ光ＬＬはミラー４５に導かれて反射し、ハーフミラー４２Ｌに導かれる。
【００６４】
一方、ハーフミラー４４からハーフミラー４２に至るレーザ光Ｌの光路、及びミラー４５からハーフミラー４２Ｌに至るレーザ光ＬＬの光路の途中には、レーザ光Ｌとレーザ光ＬＬの何れか一方は透過し、他方は遮断するシャッタ４６が設けられている。シャッタ４６は図示しない駆動機構により上下動し、シャッタ４６の上側に設けられた上窓４７がレーザ光Ｌを通過させている時には、シャッタ４６の下側に設けられた下窓４８がレーザ光ＬＬの光路に位置せず、レーザ光ＬＬはシャッタ４６で遮断される。逆に、下窓４８がレーザ光ＬＬを通過させている時には、上窓４７がレーザ光Ｌの光路に位置せず、レーザ光Ｌはシャッタ４６で遮断される。
【００６５】
レーザ成形装置３０は、光路切替機能を有するシャッタ４６によって、上側のレーザ成形装置４０あるいは下側のレーザ成形装置４０Ｌが切り替えられることで、必要とされるばね圧と測定されたばね圧の差分から判断されるばね圧の増加／低下のそれぞれに対応が可能である。
【００６６】
なお、以上説明したレーザ成形装置は、ヘッドサスペンションのばね圧修正ばかりでなく、ヘッドサスペンションのばね成形に活用することができる。
【００６７】
ここで、レーザ成形装置４０を使用したヘッドサスペンション１のばね圧の修正方法について説明する。
【００６８】
まず、ステップ１では、ヘッドサスペンションを治具上に載置する。
次に、ステップ２では、ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する。
そして、ステップ３では、ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度、或いは照射時間を決定する。
【００６９】
この後、ステップ４において、光スポットが孔の中に位置するように、第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めを行う。
次に、レーザ発振器からレーザ光を照射し、レーザ光の照射時間に応じて集光レンズの移動機構によって第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる。
そして、光スポットがヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、レーザ発振器の動作を停止させるようにする。
【００７０】
次に、レーザ成形装置３０を使用したヘッドサスペンション１のばね圧の修正方法について説明する。
【００７１】
ステップ１ではヘッドサスペンションを治具上に載置する。
ステップ２ではヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する。
ステップ３ではばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度或いは照射時間、及び上部光学装置と下部光学装置の何れを使用するかを選択する。
【００７２】
ステップ４では選択した光学装置において、照射点が孔の中に位置するように、第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする。
ステップ５ではレーザ発振器からレーザ光を照射する。
ステップ６ではレーザ光の照射時間に応じて集光レンズの移動機構によって第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる。
【００７３】
ステップ７では照射点がヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、ばね圧の調整が過度に実行されたか否かを判定する。
ステップ８ではばね圧の調整が過度でなかった場合にはレーザ発振器の動作を停止させ、過度であった場合は選択しなかった方の光学装置を使用して、ステップ４からステップ８を繰り返す。
【００７４】
以上、本発明を特にその好ましい実施の形態を参照して詳細に説明した。本発明の容易な理解のために、本発明の具体的な形態を以下に付記する。
【００７５】
（付記１） レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を反射及び透過するハーフミラーと、
前記ハーフミラーで反射された第１のレーザ光を第１の集光レンズで集光し、その照射点を治具上に載置されたばね成形体の所定位置に導く第１の光学系と、
前記ハーフミラーを透過し、ミラーで反射されて前記第１のレーザ光に平行にされた第２のレーザ光を第２の集光レンズで集光し、その照射点を前記ばね成形体の中心線に対して前記所定位置に対称な位置に導く第２の光学系と、
前記２つの照射点を、前記ばね成形体の中心線に垂直な方向に走査するために、前記第１と第２の集光レンズを移動する集光レンズの移動機構とを備えることを特徴とするレーザ成形装置。
（付記２） 前記第１の光学系と前記第２の光学系を近接する領域に同時に照射するためのメイン光学系を有したことを特徴とする付記１に記載のレーザ成形装置。
（付記３） ばね成形体の上部側に設けられた上部光学装置と、前記ばね成形体の下部側に設けられた下部光学装置、及び前記上部光学装置と下部光学装置の何れか一方にレーザ光を出射するレーザ発振器とから構成されるレーザ成形装置であって、前記上部光学装置及び前記下部光学装置がそれぞれ、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を反射及び透過するハーフミラーと、
前記ハーフミラーで反射された第１のレーザ光を第１の集光レンズで集光し、その照射点を治具上に載置されたばね成形体の所定位置に導く第１の光学系と、
前記ハーフミラーを透過し、ミラーで反射されて前記第１のレーザ光に平行にされた第２のレーザ光を第２の集光レンズで集光し、その照射点を前記ばね成形体の中心線に対して前記所定位置に対称な位置に導く第２の光学系と、
前記２つの照射点を、前記ばね成形体の中心線に垂直な方向に走査するために、前記第１と第２の集光レンズを移動する集光レンズの移動機構とを備えることを特徴とするレーザ成形装置。
（付記４） 前記第１の光学系に配置された光学部材と、前記第２の光学系に配置された光学部材は、前記ばね成形体の中心線を通る垂直面に対して、面対称に配置されていることを特徴とする付記１から３の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記５） 前記集光レンズの移動機構は、前記第１と第２の集光レンズを、前記垂直面に対して同じ距離だけ離反させる、或いは同じ距離だけ接近させるように移動することを特徴とする付記４に記載のレーザ成形装置。
【００７６】
（付記６） 前記ばね成形体が、先端部にヘッド、基部側に孔を備え、前記ヘッドに接続する電気回路が前記孔を左右に二分するように配置されているヘッドサスペンションであり、
前記集光レンズの移動機構は、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた時に、前記照射点が前記孔の中に位置し、前記第１と第２の集光レンズを最も離間させた時に、前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを移動することを特徴とする付記５に記載のレーザ成形装置。
（付記７） 前記第１の光学系と前記第２の光学系及び前記集光レンズの移動機構を一体的に、前記ばね成形体の中心線の方向に所定距離だけ移動させることができる光学系の移動機構を更に備えることを特徴とする付記１から６の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記８） 前記集光レンズの移動機構が、
前記第１と第２の集光レンズをそれぞれ収容する独立したケースと、
前記ケースを近接する方向に付勢する付勢機構と、
前記ケースの間に挿入された楕円形状のカムと、
前記カムの中心点に取り付けられた回転軸と、
前記回転軸を回転させるモータとを備えることを特徴とする付記１から７の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記９） 前記集光レンズの移動機構が、
前記第１と第２の集光レンズをそれぞれ収容する独立したケースと、
前記ケースを近接方向或いは離間方向に移動させる移動ガイドと、
同じ長さを備えた２つのロッドを備え、各ロッドはその一端が前記ケースの対応する位置にそれぞれピンで回転可能に固着され、他端が結合ピンで連結されたリンク機構と、
前記結合ピンを前記移動ガイドに垂直な方向に往復動作させる往復動作機構とを備えることを特徴とする付記１から７の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記１０） 前記集光レンズの移動機構が、
前記第１と第２の集光レンズをそれぞれ収容する独立したケースと、
前記ケースを近接方向或いは離間方向に移動させる移動ガイドと、
前記ケースを前記移動ガイド上でそれぞれ独立に移動させることができるアクチュエータと、
前記アクチュエータにより、前記２つのケースが互いに近づく方向に同じ距離だけ移動する、或いは互いに遠ざかる方向に同じ距離だけ移動するように、前記アクチュエータを動作制御する制御回路とを備えることを特徴とする付記１から７の何れかに記載のレーザ成形装置。
【００７７】
（付記１１） 前記制御回路がマイクロコンピュータであることを特徴とする付記９に記載のレーザ成形装置。
（付記１２） 前記第１の光学系と前記第２の光学系には、前記第１と第２の集光レンズで集光されたレーザ光を互いに近づく方向に反射させる第１の反射ミラーと、前記第１の反射ミラーで反射されたレーザ光を更に反射して前記ばね成形体に垂直に入射されるようにする第２の反射ミラーとが設けられていることを特徴とする付記１から１１の何れかに記載のレーザ成形装置。
（付記１３） 前記第１と第２の反射ミラーの傾斜角度がそれぞれ４５度であることを特徴とする付記１２に記載のレーザ成形装置。
（付記１４） 前記レーザ発信器は、レーザ光を前記上部光学装置と下部光学装置の一方の方向に反射させると共に透過させるハーフミラーと、前記ハーフミラーを透過したレーザ光を前記上部光学装置と下部光学装置の他方方向に反射させるミラー、及び前記ハーフミラーで反射されたレーザ光と前記ミラーで反射されたレーザ光の何れか一方を遮断するシャッタとを備えることを特徴とする付記３に記載のレーザ成形装置。
（付記１５） 付記５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧の調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法において、
前記ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、
前記ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、
前記ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度、或いは照射時間を決定する段階と、
前記照射点が前記孔の中に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、
前記レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光の照射時間に応じて前記集光レンズの移動機構によって前記第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、
前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、前記レーザ発振器の動作を停止させる段階を備えることを特徴とする、付記５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションの製造方法。
【００７８】
（付記１６） 付記５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧の調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法において、
前記ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、
前記ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、
前記ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度或いは照射時間、及び前記上部光学装置と下部光学装置の何れを使用するかを選択する段階と、
選択した光学装置において、前記照射点が前記孔の中に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、
前記レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光の照射時間に応じて前記集光レンズの移動機構によって前記第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、
前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、ばね圧の調整が過度に実行されたか否かを判定する段階と、
前記ばね圧の調整が過度でなかった場合には前記レーザ発振器の動作を停止させ、過度であった場合は選択しなかった方の光学装置を使用して前記段階を繰り返す段階とを備えることを特徴とする、付記５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションの製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】（ａ）は従来のレーザ光によるばね圧力調整方法に使用するばね圧調整治具３２の構成を示す構成図、（ｂ）は（ａ）に示したばね成形体の詳細な構成を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第１の例を説明する図、（ｂ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第２の例を説明する図である。
【図３】（ａ）は図２（ａ）、（ｂ）に示すように、ヘッドサスペンションに対して一方向にレーザ走査が実施される場合を説明する図、（ｂ）は（ａ）に示したレーザ走査の結果、ヘッドサスペンションに捩れが生じた様子を示す図である。
【図４】（ａ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第３の例を説明する図、（ｂ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第４の例を説明する図、（ｃ）は図１（ｂ）に示したヘッドサスペンションにおける従来のレーザ光の走査方法の第５の例を説明する図である。
【図５】（ａ）はこの出願の第１の実施例のレーザ成形装置の主要部の構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の集光レンズの一実施例の側面図、（ｃ）は（ａ）に示したレーザ成形装置におけるレーザ光のＸ方向の走査を説明する図である。
【図６】図５（ａ）に示したレーザ成形装置におけるレーザ光のＹ方向への走査を説明する図である。
【図７】（ａ）は図５（ａ）に示したレーザ成形装置における集光レンズの移動機構の第１の実施例の構成を示す図、（ｂ）は図５（ａ）に示したレーザ成形装置における集光レンズの移動機構の第２の実施例の構成を示す図である。
【図８】（ａ）は図５（ａ）に示したレーザ成形装置における集光レンズの移動機構の第３の実施例の構成を示す図、（ｂ）は図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ａ）において集光レンズが移動した時のスポットの移動を説明する図である。
【図９】（ａ）は図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ａ）において、集光レンズが近づいた位置にある時のスポットの位置を示す図、（ｂ）は図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ａ）において、集光レンズが離れた位置にある時のスポットの位置を示す図である。
【図１０】この出願の第２の実施例のレーザ成形装置の主要部の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８０】
１ ばね成形体（ヘッドサスペンション）
４ 光スポット
２０ 電気回路
２１ 孔
３０，４０ レーザ成形装置
４１ レーザ発振器
４２，４２Ｌ，４４ ハ−フミラー
４３、５２，５３，６２，６３ ミラー
４５、５２Ｌ，５３Ｌ，６２Ｌ，６３Ｌ ミラー
４６ シャッタ
４７，４８ 窓
７０ Ｙ軸方向移動機構
８０ Ｘ軸方向移動機構
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を反射及び透過するハーフミラーと、
前記ハーフミラーで反射された第１のレーザ光を第１の集光レンズで集光し、その照射点を治具上に載置されたばね成形体の所定位置に導く第１の光学系と、
前記ハーフミラーを透過し、ミラーで反射されて前記第１のレーザ光に平行にされた第２のレーザ光を第２の集光レンズで集光し、その照射点を前記ばね成形体の中心線に対して前記所定位置に対称な位置に導く第２の光学系と、
前記２つの照射点を、前記ばね成形体の中心線に垂直な方向に走査するために、前記第１と第２の集光レンズを移動する集光レンズの移動機構とを備えることを特徴とするレーザ成形装置。
【請求項２】
前記第１の光学系と前記第２の光学系を近接する領域に同時に照射するためのメイン光学系を有したことを特徴とする請求項１に記載のレーザ成形装置。
【請求項３】
前記第１の光学系に配置された光学部材と、前記第２の光学系に配置された光学部材は、前記ばね成形体の中心線を通る垂直面に対して、面対称に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ成形装置。
【請求項４】
前記集光レンズの移動機構は、前記第１と第２の集光レンズを、前記垂直面に対して同じ距離だけ離反させる、或いは同じ距離だけ接近させるように移動することを特徴とする請求項３に記載のレーザ成形装置。
【請求項５】
前記ばね成形体が、先端部にヘッド、基部側に孔を備え、前記ヘッドに接続する電気回路が前記孔を左右に二分するように配置されているヘッドサスペンションであり、
前記集光レンズの移動機構は、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた時に、前記照射点が前記孔の中に位置し、前記第１と第２の集光レンズを最も離間させた時に、前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを移動することを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載のレーザ成形装置。
【請求項６】
請求項５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧の調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法において、
前記ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、
前記ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、
前記ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度、或いは照射時間を決定する段階と、
前記照射点が前記孔の中に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、
前記レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光の照射時間に応じて前記集光レンズの移動機構によって前記第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、
前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、前記レーザ発振器の動作を停止させる段階を備えることを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項７】
請求項５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧の調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法において、
前記ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、
前記ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、
前記ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度或いは照射時間、及び前記上部光学装置と下部光学装置の何れを使用するかを選択する段階と、
選択した光学装置において、前記照射点が前記孔の中に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、
前記レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光の照射時間に応じて前記集光レンズの移動機構によって前記第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、
前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、ばね圧の調整が過度に実行されたか否かを判定する段階と、
前記ばね圧の調整が過度でなかった場合には前記レーザ発振器の動作を停止させ、過度であった場合は選択しなかった方の光学装置を使用して前記段階を繰り返す段階とを備えることを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を反射及び透過するハーフミラーと、
前記ハーフミラーで反射された第１のレーザ光を第１の集光レンズで集光し、その照射点を治具上に載置されたばね成形体の所定位置に導く第１の光学系と、
前記ハーフミラーを透過し、ミラーで反射されて前記第１のレーザ光に平行にされた第２のレーザ光を第２の集光レンズで集光し、その照射点を前記ばね成形体の中心線に対して前記所定位置に対称な位置に導く第２の光学系と、
前記２つの照射点を、前記ばね成形体の中心線に垂直な方向に走査するために、前記第１と第２の集光レンズを移動する集光レンズの移動機構とを備えることを特徴とするレーザ成形装置。
【請求項２】
前記第１の光学系と前記第２の光学系を近接する領域に同時に照射するためのメイン光学系を有したことを特徴とする請求項１に記載のレーザ成形装置。
【請求項３】
前記第１の光学系に配置された光学部材と、前記第２の光学系に配置された光学部材は、前記ばね成形体の中心線を通る垂直面に対して、面対称に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ成形装置。
【請求項４】
前記集光レンズの移動機構は、前記第１と第２の集光レンズを、前記垂直面に対して同じ距離だけ離反させる、或いは同じ距離だけ接近させるように移動することを特徴とする請求項３に記載のレーザ成形装置。
【請求項５】
前記ばね成形体が、先端部にヘッド、基部側に孔を備え、前記ヘッドに接続する電気回路が前記孔を左右に二分するように配置されているヘッドサスペンションであり、
前記集光レンズの移動機構は、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた時に、前記照射点が前記孔の中に位置し、前記第１と第２の集光レンズを最も離間させた時に、前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを移動することを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載のレーザ成形装置。
【請求項６】
請求項５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧の調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法において、
前記ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、
前記ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、
前記ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度、或いは照射時間を決定する段階と、
前記照射点が前記孔の中に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、
前記レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光の照射時間に応じて前記集光レンズの移動機構によって前記第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、
前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、前記レーザ発振器の動作を停止させる段階を備えることを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項７】
請求項５に記載のレーザ成形装置を使用したヘッドサスペンションのばね圧の調整工程を有するヘッドサスペンションの製造方法において、
前記ヘッドサスペンションを治具上に載置する段階と、
前記ヘッドサスペンションのばね圧を測定してばね圧の調整量を算出する段階と、
前記ばね圧の調整量に応じたレーザ光の強度或いは照射時間、及び前記上部光学装置と下部光学装置の何れを使用するかを選択する段階と、
選択した光学装置において、前記照射点が前記孔の中に位置するように、前記第１と第２の集光レンズを最も近接させた位置に位置決めする段階と、
前記レーザ発振器からレーザ光を照射する段階と、
前記レーザ光の照射時間に応じて前記集光レンズの移動機構によって前記第１と第２の集光レンズの離間動作を行わせる段階と、
前記照射点が前記ヘッドサスペンションの外側に位置するようになった時に、ばね圧の調整が過度に実行されたか否かを判定する段階と、
前記ばね圧の調整が過度でなかった場合には前記レーザ発振器の動作を停止させ、過度であった場合は選択しなかった方の光学装置を使用して前記段階を繰り返す段階とを備えることを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００９−２３８３３３（Ｐ２００９−２３８３３３Ａ）
【公開日】平成２１年１０月１５日（２００９．１０．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−８４６４０（Ｐ２００８−８４６４０）
【出願日】平成２０年３月２７日（２００８．３．２７）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１０月１５日（２００９．１０．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年３月２７日（２００８．３．２７）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
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