ワーク搬送用容器の開閉機構を備えた搬送装置
【課題】ワーク搬送用容器を開ける際の衝撃を減らし、このときに発生するパーティクルを抑制する。
【解決手段】ワーク搬送用容器１９の上蓋２０に突出部２４を備え、容器開閉機構３０に、突出部２４の下面を支持可能な固定棚３３と、底板２１の上面に当接可能な第１押下部材３８と、突出部２４の上面に当接可能な第２押下部材３９と、これらを昇降させる昇降機構部３１と、を備え、ロボットハンド３２に支持された状態のワーク搬送用容器１９に対し、突出部２４を第２押下部材３９と固定棚３３とで狭持し、底板２１を第１押下部材３８とロボットハンド３２とで狭持しながら下降させて容器を開閉するようにした。
【解決手段】ワーク搬送用容器１９の上蓋２０に突出部２４を備え、容器開閉機構３０に、突出部２４の下面を支持可能な固定棚３３と、底板２１の上面に当接可能な第１押下部材３８と、突出部２４の上面に当接可能な第２押下部材３９と、これらを昇降させる昇降機構部３１と、を備え、ロボットハンド３２に支持された状態のワーク搬送用容器１９に対し、突出部２４を第２押下部材３９と固定棚３３とで狭持し、底板２１を第１押下部材３８とロボットハンド３２とで狭持しながら下降させて容器を開閉するようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置においてワークを搬送する搬送装置に関するもので、特に、ワークとして、半導体露光装置に使用され、回路パターンの原版にあたるレチクルを搬送するのにあたって、レチクルを収納するレチクルケースを開閉する機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体デバイスに要求される回路線幅は、ますます狭くなってきている。このような微細な回路パターンを半導体ウエハ上に形成する方法として、所望の回路パターンが形成された数十種類の原画パターンが描かれたレチクルを、ウエハ上の露光領域に高精度に位置決めした後、レーザ光によりパターンを縮小投影露光してウエハ上に転写する方法がある。このようにして作業を行う半導体露光装置においては、作業を行う作業空間をプロセス室内に設け、このプロセス室内を真空状態に保っておく必要がある。ここで、真空状態に保たれたプロセス室に対して、レチクル等のワークを搬入及び搬出する際には、プロセス室に隣接して、ロボットアームを備えたトランスファ室を設置し、プロセス室とほぼ同程度の圧力となるようにトランスファ室を真空状態に保った状態で、ロボットアームにてプロセス室に対してワークを搬入及び搬出する真空搬送装置が使用されている。真空搬送装置では、プロセス室に対してワークを交換するたびに、比較的容積が大きなトランスファ室を真空状態に復帰させるには非常に効率が悪いので、ロードロック室と呼ばれる小部屋を開閉自在のゲートバルブを介してトランスファ室に併設しておき、まずこのロードロック室にワークを置き、そしてロードロック室内を真空状態にした後に、ロードロック室とトランスファ室とを仕切るゲートバルブを開放し、トランスファ室に設置されたロボットアームによって、ワークをロードロック室からトランスファ室に搬入することが行われている。
ここで、ロードロック室が完全に真空状態になった後は、ワークにパーティクルが付着する可能性は極めて低いが、ワークをロードロック室に置いてから、それが十分に真空状態になるまでの時間は、ロードロック室内にはガスの流れ、つまり、気流が発生し、この気流により舞い上がったパーティクルがワークの表面に付着してしまう可能性が極めて高い。このような、ワーク表面の汚染に対して、許容できるパーティクルの大きさは、上述した回路線幅が狭くなるにつれて微小化してきている。
従来、このようなワーク表面へのパーティクルの付着を防ぐため、例えば、特許文献１のように、プロセス室にワークを搬入する際には、清浄雰囲気の中で、フィルタ付きのケーシングと底板とから成るワーク搬送用容器の中にワークを収納し、このワーク搬送用容器ごとロードロック室に搬送した後、ロードロック室の内部を真空にし、ロードロック室が完全に真空状態になった後、ワーク搬送用容器を開けてワークを取り出し、プロセス室へワークを搬入する、ということが行われている。そして、露光等のプロセスが終了した後は、上述とは逆の動きでワークが搬出される。具体的には、プロセス室から取り出したワークを真空状態のロードロック室に搬送してワーク搬送用容器内に再び収納し、ワーク搬送用容器を閉じた後、ロードロック室の真空状態を解除し、ワーク搬送用容器ごとロードロック室より搬出して清浄雰囲気の中でワークを取り出す、ということが行われている。
【０００３】
ここで、ワーク搬送用容器からワークを取り出すために使用されるワーク搬送用容器の開閉機構は、ロードロック室内でワーク搬送用容器の底板とケーシングとを係止するロック機構を外した後、昇降機構によってワーク搬送用容器を下降させ、ケーシングをロードロック室の内壁に係止させながら底板をケーシングから分離させる、というものであった。この従来のワーク搬送用容器の開閉機構について説明する。図１は従来のレチクルケースの構造を示す側断面図である。１はワークであるレチクル、３はワーク搬送用容器の上蓋であるケーシング、４はワーク搬送用容器の底板、２はケーシングと底板の間にある外界と環境を遮断するシール材である。なお、図１では図示しないが、ケーシング３と底板４とはメカニカルなロック機構によって互いに係止され、ロック機構を外さない限り分離しないように構成されている。
図２に従来のワーク搬送用容器の開閉機構の動作を示す。５はケーシングの突出部、６はロードロックチャンバ、７はロードロックチャンバ上蓋、８はロードロックチャンバ６の内壁に設置された、ケーシング３の突出部５を引っ掛ける固定棚部、９はワーク搬送用容器の底板４を支持する容器保持部、１０は真空ベローズ、１１はロードロックチャンバ６内に昇降動作を導入する昇降機構部である。ワーク搬送用容器を開ける動作は、昇降機構部１１がワーク搬送用容器を搭載した容器保持部９を下降させ、突出部５を固定棚部８に引っ掛けることで行われる。なお、このときワーク搬送用容器の図示しないロック機構は外されているものとする。図２（ａ）はケーシング３の突出部５が固定棚部８にちょうど接触した状態を示している。この後、さらに容器保持部９が下降すると、図２（ｂ）のようにケーシング３が固定棚部８に残ったまま底板４が下降するのでワーク搬送用容器が開く。
【特許文献１】特許第３４５５０７２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来のワーク搬送用容器の開閉機構では、底板４とケーシング３との間のシール材２の粘着現象によって、容器を開ける際に衝撃が起こり、底板４と容器保持部９との間、あるいは突出部５と固定棚部８との間で、ずれやたたきが起き、パーティクルが発生するという問題があった。
また、ケーシング３と底板４とがずれ、これらが安全に閉まらなかったりすることがあった。
また、ケーシング３と底板４との位置ずれによってワーク１がロボットアームに対してずれることになり、ワークの搬送ができないことがあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、搬送装置においてワーク搬送用容器を開ける際の衝撃を減らし、このときに発生するパーティクルを抑制するとともに、ワーク搬送用容器のずれを防止することができ、安全に容器を閉め、搬送することができるワーク搬送用容器の開閉機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１記載の発明は、ワークを搭載する底板と、前記ワークを覆って前記底板との間で前記ワークを収容するとともに前記底板と分離可能な上蓋と、を備えたワーク搬送用容器を所定の位置に搬送可能であるとともに昇降自在に構成されたロボットハンドと、前記ロボットハンドが到達可能な位置にあって前記ワーク搬送用容器の前記上蓋と前記底板とを開閉する容器開閉機構と、を備えた搬送装置において、前記ワーク搬送用容器は、前記上蓋に前記ワーク搬送用容器の側面から外側に突出する突出部を備え、前記容器開閉機構は、前記突出部の下面を支持可能な固定棚と、前記底板の上面に当接可能な第１押下部材と、前記突出部の上面に当接可能な第２押下部材と、前記第１押下部材と前記第２押下部材とを昇降させる昇降機構部と、を備え、前記搬送装置は、前記上蓋と前記底板とを分離させる際、前記ロボットハンドに前記底板が支持された状態の前記ワーク搬送用容器に対し、前記第１押下部材と前記第２押下部材を下降させ、前記突出部を前記第２押下部材と前記固定棚とで狭持し、前記底板を前記第１押下部材と前記ロボットハンドとで狭持しながら下降させることを特徴とする搬送装置とするものである。
請求項２記載の発明は、前記第１押下部材と前記第２押下部材は、１つの前記昇降機構部によって同時に昇降するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の搬送装置とするものである。
請求項３記載の発明は、前記第２押下部材は、前記昇降機構部に対して、上下方向に撓み可能な板ばねを介して固定されていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置とするものである。
請求項４記載の発明は、前記ロボットハンドと前記容器開閉機構とが気密な真空容器内に収容され、前記上蓋と前記底板とを分離させる作業が前記真空容器内で行われることを特徴とする請求項１記載の搬送装置とするものである。
請求項５記載の発明は、前記昇降機構部は、前記真空容器上面に対して固定される回転型モータと、前記回転型モータの回転軸に連結されたボールネジと、前記ボールネジのナット部に固定された昇降ベースと、前記昇降ベースを上下に精密に案内するリニアガイドと、前記昇降ベースに一端が固定され、前記真空容器の内部へ貫通するとともに他端に前記第１押下部材と前記第２押下部材とを支持する昇降シャフトと、前記真空容器の上面と前記昇降ベースとの間であって前記昇降シャフトを挿通させる真空ベローズと、で構成されることを特徴とする請求項４記載の搬送装置とするものである。
請求項６記載の発明は、請求項１記載の搬送装置を備え、前記ワークがレチクルであることを特徴とする半導体露光装置とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の搬送装置によれば、ワーク搬送用容器の上蓋と底板とを開閉させる際、衝撃のない静かな開閉が実現され、これにより開閉時のパーティクルも防止される。またワーク搬送用容器がロボットハンドに対してずれることを防止することができ、安全にワーク搬送用容器を開閉して搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００８】
図３に本発明で使用するワーク搬送用容器１９の構造を示す。（ａ）は上面図、（ｂ）は側断面図を示している。２２はワークであるレチクル、２０はワーク搬送用容器１９の上蓋、２１はワーク搬送用容器１９の底板、２５は上蓋２０と底板２１との間にある外界と環境を遮断するシール材である。シール材２５は本実施例ではＯリングが使用されている。上蓋２０と底板２１とは図示しないマグネットによって互いに吸着するようになっていて、上下に分離可能である。上蓋２０には複数のフィルタ２３が設けられている。フィルタ２３はワーク２２が収容される空間と容器外部との間に存在し、気体は通すが微小なパーティクルを通さないフィルタである。また、ワーク搬送用容器１９は図３（ａ）のように上から見て矩形になっていて、上蓋２０の対向する１組の２辺に突出部２４が形成されている。突出部２４は容器の側面よりも外側に突出している。また、別の１組の２辺には凹部２６が形成されている。凹部２６は容器の側面よりも内側に窪んでいる。凹部２６によって、ワーク搬送用容器１９を上から見たときに底板２１が見えるようになっている。
なお、本実施例では上蓋２０に凹部２６が形成されているが、後述の説明から明らかなように、凹部２６が形成されていなくても、上から容器を見たときに底板２１のみが見える（押下できる）部分があればよい。
【０００９】
図５に本発明の搬送装置が適用された半導体露光装置の一部の上面図を示す。以下、本実施例では真空環境下における搬送装置について説明する。図において、４１は、真空状態（大気圧よりも低い負圧の状態）、あるいは、真空解除状態（ほぼ大気圧の状態）に圧力調整可能なロードロック室であり、４５は、ロードロック室４１に隣接して接続されたトランスファ室である。４７は、ワーク２２が収納されたワーク搬送用容器１９を開閉するための容器開閉室であり、トランスファ室４５とともに常時真空状態が保たれている。容器開閉室４７の室内に、後述するワーク搬送用容器１９の開閉機構が設置されている。４８は、露光等の処理を行うためのプロセス室であり、トランスファ室４５に隣接して接続されている。なお、ロードロック室４１、トランスファ室４５、容器開閉室４７、および、プロセス室４８は、いずれも、真空状態が維持できるように気密構造になっている。
トランスファ室４５には、ロードロック室４１、容器開閉室４７、および、プロセス室４８に対して、ワーク２２を搬入及び搬出するためのロボットアーム４６が設置してあり、また、図示していないが、トランスファ室４５内のガス（気体）を排気して内部を真空状態にするための真空ポンプと、真空状態を解除するための給気設備が装備されている。
また、ロードロック室４１とトランスファ室４５との間には、ゲートバルブ４９が設けてあり、ゲートバルブ４９は、ワーク搬送用容器１９を持ったロボットアーム４６の先端部が通過するのに十分な広さの開口と、この開口を開閉するためのバルブを備えており、このバルブを閉じれば、ロードロック室４１とトランスファ室４５の間の気密性を保つことができるようになっている。ゲートバルブ４９はロードロック室４１側壁の開口部４２に連結されている。また、ロードロック室４１の他方の側壁には、ワーク２２が収納されたワーク搬送用容器１９を搬入、搬出するための搬入搬出口４３が設けてあり、この搬入搬出口４３を塞ぎ、ロードロック室４１の内部と外部の間で気密性が保てるようにゲートバルブ５０が設けてある。また、図示していないが、ロードロック室４１には、ロードロック室４１内のガスを排気して内部を真空状態にするための真空ポンプと、真空状態を解除するための給気管が接続されている。給気管の先には、図示しない給気バルブ及び清浄フィルタが接続されており、この給気バルブを開放すると、清浄フィルタを通ってガスがロードロック室４１内に流れ込み、ロードロック室４１内の真空状態を解除できるようになっている。
以上の構成において、まず、図示しない清浄雰囲気の中で、ワーク２２をワーク搬送用容器１９の中に収納する。このとき、ロードロック室４１、トランスファ室４５、容器開閉室４７、プロセス室４８はいずれも真空状態とする。トランスファ室４５側のゲートバルブ４９を閉じて、ロードロック室４１のみを真空解除する。外部側のゲートバルブ５０を開けて、図示しない大気搬送用ロボットアームにて、ワーク２２を収納したワーク搬送用容器１９をロードロック室４１内に載置する。外部側のゲートバルブ５０を閉じた後、ロードロック室４１の内部を真空にする。次に、トランスファ室４５側のゲートバルブ４９を開けて、ロボットアーム４６により、ロードロック室４５からワーク搬送用容器１９を搬出し、容器開閉室４７へ搬入する。ワーク搬送容器１９を真空雰囲気外に搬出する場合は上記と逆の手順による。
【００１０】
ロボットアーム４６は、アーム全体もしくは少なくともロボットハンド３２を上下に昇降させる昇降機構を有するものである。ロボットアーム４６は複数のアームが連結されている水平多関節形のアームであり、アームの連結部を回転させることによってロボットアーム４６の先端に備えたフォーク形状のロボットハンド３２をロボットアーム４６基端の旋回中心に対して伸縮動作させる。また、ロボットアーム４６全体はその基端の旋回中心で回転可能であって、この動作によってロードロック室４１、プロセス室４８、及び容器開閉室４７の各方向にロボットハンド３２を向けることができる。ロボットハンド３２はワーク搬送用容器１９の底板２１の両サイドが載置できるように形成されている。
【００１１】
ワーク搬送用容器１９の開閉場所である容器開閉室４７には本発明の搬送装置における容器開閉機構３０が設置されている。図４は容器開閉機構３０を示す図であって、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が搬送されてきたときを示している。（ａ）は上面図であって容器開閉室４７のチャンバ蓋３６及び後述する昇降機構部３１を透視して図示している。（ｂ）は（ａ）において矢印Ｘ方向から見た側断面図、（ｃ）は（ａ）において矢印Ｙ方向から見た側断面図である。（ｂ）、（ｃ）図においては解りやすくするため、一部を省略して図示している。
容器開閉機構３０は、図４のように、容器開閉室４７の室内にワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の下面と当接可能な固定棚３３を備えている。固定棚３３はロボットハンド３２の幅よりもやや広い間隔に設置されている。一方、
容器開閉室４７のチャンバ蓋３６の上面には容器開閉機構３０の昇降機構部３１が設置されている。昇降機構部３１は、例えば図６に示すように、容器開閉室４７のチャンバ蓋３６に対して固定される回転型モータ５１と、回転型モータ５１の回転軸に連結されたボールネジ５２と、ボールネジ５２のナット部に固定された昇降ベース５３と、昇降ベース５３を上下に精密に案内するリニアガイド５５と、昇降ベース５３に一端が固定され、容器開閉室４７の内部へ貫通する昇降シャフト５４と、容器開閉室４７の気密性を確保し、かつ昇降シャフト５４の昇降を妨げないように、容器開閉室４７の上面と昇降ベース５３との間に設けられた真空ベローズ５６とで構成されている。そして、昇降シャフト５４の他端にプレート３４が固定されている。
【００１２】
図４のように、プレート３４は水平方向に延在する板状の部材である。プレート３４の両端には第１押下部材３８が固定されている。第１押下部材３８は、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が図４（ａ）のように搬送されてきたとき、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の凹部２６の上に位置するようになっていて、上蓋２０とは接触せず、底板２１の上面と当接可能に形成されている。一方、プレート３４には４枚の板ばね３５のそれぞれの一端が固定されている。そして、それぞれの板ばね３５の他端には第２押下部材３９が固定されている。第２押下部材３９は、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が図４（ａ）のように搬送されてきたとき、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上に位置するようになっていて、突出部２４の上面と当接可能に形成されている。第２押下部材３９の先端は球状に形成されている。また、上述のように突出部２４の下面は固定棚３３と当接可能な位置にあるので、突出部２４は上下方向において第２押下部材３９と固定棚３３との間に位置することになる。
以上のように、昇降機構部３１の動作によって、第１押下部材３８と第２押下部材３９は同時に昇降可能であって、これらが下降したとき、第１押下部材３８はワーク搬送用容器１９の底板２１の上面と当接し、第２押下部材３９はワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上面と当接する。
なお、本実施例では第１押下部材３８と第２押下部材３９を１つの昇降機構部３１に対して固定している例を示しているが、勿論、昇降機構部３１を別にもう１機設け、第１押下部材３８と第２押下部材３９とを別々に昇降可能に構成してもよい。但し、この場合、各々の昇降機構部３１はある程度同時に昇降できるような制御が必要である。
【００１３】
以上で構成された本発明の搬送装置について、ワーク搬送用容器１９を開ける際の動作を図４で説明する。ワーク搬送用容器１９を開ける動作は、ロボットアーム４６と容器開閉機構３０とを同時に動作させながら、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４を固定棚３３に引っ掛けることで行われる。以下、この動作を説明する。
ここでは、ロボットアーム４６がロードロック室４１などからワーク搬送用容器１９をロボットハンド３２に搭載して容器搬送室４７へ搬送してきているものとする。
まず、図４（ａ）のように、ロボットアーム４６が、ロボットハンド３２にワーク搬送用容器１９を搭載して容器開閉室４７に搬送する。このとき、容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９は、ロボットハンド３２とワーク搬送用容器１９に干渉しない程度に上方に位置している。
次に、図４（ｂ）（ｃ）のように、ロボットハンド３２を下降させ、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の下面が固定棚３３にちょうど接触する高さでロボットハンド３２の下降動作を停止させる。そしてこのとき、容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９を、第１押下部材３８がワーク搬送用容器１９の底板２１の上面と当接し、第２押下部材３９がワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上面と当接する位置まで下降させる。
次に、以上の状態で、ロボットハンド３２と容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９を同時にわずかに（数ミリ程度）下降させる。このときの状態を示すのが（ｂ’）（ｃ’）図である。同図（ｂ’）のように、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０は、その突出部２４が第２押下部材３９と固定棚３３とに狭持されて固定棚３３に係止する。一方、同図（ｃ’）のようにワーク搬送用容器１９の底板２１は第１押下部材３８の下降動作によって押し下げられ、このときロボットハンド３２も同時に下降するので、底板２１は上蓋２０から分離してロボットハンド３２に載置される。また、底板２１に搭載されているワーク２２もそのままロボットハンド３２に搭載される。また、第１押下部材３８が底板２１を上蓋２０から分離させる程度まで下降する一方で、第２押下部材３９は突出部２４を介して固定棚３３で係止するので絶対的に下降しないが、上記の板ばね３５が上下方向に撓むように配置されているので、（ｂ’）図のように、板ばね３５の撓み作用により、第１押下部材３８は問題なく底板２１を上蓋２０から分離させる程度に下降可能である。
ここで従来技術によれば、第１押下部材３８によって底板２１が押し下げられ、底板２１と上蓋２０とが分離したときに、シール材２５の粘着（癒着）によって上蓋２０が跳ね上がることがあるが、本発明においては、底板２１が押下されている間は、板ばね３５が撓みながら第２押下部材３９によって上蓋２０を押さえつけ、上蓋２０を固定棚３３とともに動かないようにするので、上蓋２０が跳ね上がることがない。
以上の動作により、
衝撃なくワーク搬送用容器１９は開き、底板２１及びワーク２２はロボットハンド３２上に静かに載置されることになり、
ワーク搬送用容器１９の開放時のパーティクルもほとんど発生しない。
またワーク搬送用容器１９がロボットハンド３２に対してずれることもなく、ワーク搬送用容器１９を閉める動作も安全に確実に行うことができる。また、ワーク搬送用容器１９のずれがないことで、ワーク２２の搬送ミスも低減できる。なお、ワーク搬送用容器１９を閉める動作は上述の逆の順路を辿ればよいことはいうまでもないので説明を省略する。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本実施例はワーク搬送用容器として特にレチクルを収納する容器を想定しているが、同様な構造の容器において開閉時の衝撃が問題となる場合には本発明のような容器開閉機構を備える搬送装置が使用できる。また、本実施例における搬送装置は、トランスファ室内や容器開閉室など真空環境下における例を説明したが、搬送装置としては、昇降可能なロボットハンド及びロボットハンドがアクセスできる上記容器開閉機構を少なくとも備えていれば、真空環境下を問わず、例えば清浄な雰囲気のクリーンルームなど大気圧環境下でも本発明は利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来のレチクルケースの構造説明図
【図２】従来のレチクルケースの開閉機構を説明する図
【図３】本発明において使用するワーク搬送用容器の構造説明図
【図４】本発明における容器開閉機構を説明する図
【図５】本発明の搬送装置が適用された半導体露光装置の一部の上面図
【図６】本発明の容器開閉機構の昇降機構部の構成を示す側面図
【符号の説明】
【００１６】
１ ワーク
２ シール材
３ ケーシング
４ 底板
５ 突出部
６ ロードロックチャンバ
７ ロードロックチャンバ上蓋
８ 固定棚部
９ 容器保持部
１０ 真空ベローズ
１１ 昇降機構部
１９ ワーク搬送用容器
２０ 上蓋
２１ 底板
２２ ワーク
２３ フィルタ
２４ 突出部
２５ シール材
２６ 凹部
３０ 容器開閉機構
３１ 昇降機構部
３２ ロボットハンド
３３ 固定棚
３４ プレート
３５ 板ばね
３６ チャンバ蓋
３８ 第１押下部材
３９ 第２押下部材
４１ ロードロック室
４２ 開口部
４３ 搬入搬出口
４５ トランスファ室
４６ ロボットアーム
４７ 容器開閉室
４８ プロセス室
４９ ゲートバルブ
５０ ゲートバルブ
５１ モータ
５２ ボールネジ
５３ 昇降ベース
５４ 昇降シャフト
５５ リニアガイド
５６ 真空ベローズ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置においてワークを搬送する搬送装置に関するもので、特に、ワークとして、半導体露光装置に使用され、回路パターンの原版にあたるレチクルを搬送するのにあたって、レチクルを収納するレチクルケースを開閉する機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体デバイスに要求される回路線幅は、ますます狭くなってきている。このような微細な回路パターンを半導体ウエハ上に形成する方法として、所望の回路パターンが形成された数十種類の原画パターンが描かれたレチクルを、ウエハ上の露光領域に高精度に位置決めした後、レーザ光によりパターンを縮小投影露光してウエハ上に転写する方法がある。このようにして作業を行う半導体露光装置においては、作業を行う作業空間をプロセス室内に設け、このプロセス室内を真空状態に保っておく必要がある。ここで、真空状態に保たれたプロセス室に対して、レチクル等のワークを搬入及び搬出する際には、プロセス室に隣接して、ロボットアームを備えたトランスファ室を設置し、プロセス室とほぼ同程度の圧力となるようにトランスファ室を真空状態に保った状態で、ロボットアームにてプロセス室に対してワークを搬入及び搬出する真空搬送装置が使用されている。真空搬送装置では、プロセス室に対してワークを交換するたびに、比較的容積が大きなトランスファ室を真空状態に復帰させるには非常に効率が悪いので、ロードロック室と呼ばれる小部屋を開閉自在のゲートバルブを介してトランスファ室に併設しておき、まずこのロードロック室にワークを置き、そしてロードロック室内を真空状態にした後に、ロードロック室とトランスファ室とを仕切るゲートバルブを開放し、トランスファ室に設置されたロボットアームによって、ワークをロードロック室からトランスファ室に搬入することが行われている。
ここで、ロードロック室が完全に真空状態になった後は、ワークにパーティクルが付着する可能性は極めて低いが、ワークをロードロック室に置いてから、それが十分に真空状態になるまでの時間は、ロードロック室内にはガスの流れ、つまり、気流が発生し、この気流により舞い上がったパーティクルがワークの表面に付着してしまう可能性が極めて高い。このような、ワーク表面の汚染に対して、許容できるパーティクルの大きさは、上述した回路線幅が狭くなるにつれて微小化してきている。
従来、このようなワーク表面へのパーティクルの付着を防ぐため、例えば、特許文献１のように、プロセス室にワークを搬入する際には、清浄雰囲気の中で、フィルタ付きのケーシングと底板とから成るワーク搬送用容器の中にワークを収納し、このワーク搬送用容器ごとロードロック室に搬送した後、ロードロック室の内部を真空にし、ロードロック室が完全に真空状態になった後、ワーク搬送用容器を開けてワークを取り出し、プロセス室へワークを搬入する、ということが行われている。そして、露光等のプロセスが終了した後は、上述とは逆の動きでワークが搬出される。具体的には、プロセス室から取り出したワークを真空状態のロードロック室に搬送してワーク搬送用容器内に再び収納し、ワーク搬送用容器を閉じた後、ロードロック室の真空状態を解除し、ワーク搬送用容器ごとロードロック室より搬出して清浄雰囲気の中でワークを取り出す、ということが行われている。
【０００３】
ここで、ワーク搬送用容器からワークを取り出すために使用されるワーク搬送用容器の開閉機構は、ロードロック室内でワーク搬送用容器の底板とケーシングとを係止するロック機構を外した後、昇降機構によってワーク搬送用容器を下降させ、ケーシングをロードロック室の内壁に係止させながら底板をケーシングから分離させる、というものであった。この従来のワーク搬送用容器の開閉機構について説明する。図１は従来のレチクルケースの構造を示す側断面図である。１はワークであるレチクル、３はワーク搬送用容器の上蓋であるケーシング、４はワーク搬送用容器の底板、２はケーシングと底板の間にある外界と環境を遮断するシール材である。なお、図１では図示しないが、ケーシング３と底板４とはメカニカルなロック機構によって互いに係止され、ロック機構を外さない限り分離しないように構成されている。
図２に従来のワーク搬送用容器の開閉機構の動作を示す。５はケーシングの突出部、６はロードロックチャンバ、７はロードロックチャンバ上蓋、８はロードロックチャンバ６の内壁に設置された、ケーシング３の突出部５を引っ掛ける固定棚部、９はワーク搬送用容器の底板４を支持する容器保持部、１０は真空ベローズ、１１はロードロックチャンバ６内に昇降動作を導入する昇降機構部である。ワーク搬送用容器を開ける動作は、昇降機構部１１がワーク搬送用容器を搭載した容器保持部９を下降させ、突出部５を固定棚部８に引っ掛けることで行われる。なお、このときワーク搬送用容器の図示しないロック機構は外されているものとする。図２（ａ）はケーシング３の突出部５が固定棚部８にちょうど接触した状態を示している。この後、さらに容器保持部９が下降すると、図２（ｂ）のようにケーシング３が固定棚部８に残ったまま底板４が下降するのでワーク搬送用容器が開く。
【特許文献１】特許第３４５５０７２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来のワーク搬送用容器の開閉機構では、底板４とケーシング３との間のシール材２の粘着現象によって、容器を開ける際に衝撃が起こり、底板４と容器保持部９との間、あるいは突出部５と固定棚部８との間で、ずれやたたきが起き、パーティクルが発生するという問題があった。
また、ケーシング３と底板４とがずれ、これらが安全に閉まらなかったりすることがあった。
また、ケーシング３と底板４との位置ずれによってワーク１がロボットアームに対してずれることになり、ワークの搬送ができないことがあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、搬送装置においてワーク搬送用容器を開ける際の衝撃を減らし、このときに発生するパーティクルを抑制するとともに、ワーク搬送用容器のずれを防止することができ、安全に容器を閉め、搬送することができるワーク搬送用容器の開閉機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１記載の発明は、ワークを搭載する底板と、前記ワークを覆って前記底板との間で前記ワークを収容するとともに前記底板と分離可能な上蓋と、を備えたワーク搬送用容器を所定の位置に搬送可能であるとともに昇降自在に構成されたロボットハンドと、前記ロボットハンドが到達可能な位置にあって前記ワーク搬送用容器の前記上蓋と前記底板とを開閉する容器開閉機構と、を備えた搬送装置において、前記ワーク搬送用容器は、前記上蓋に前記ワーク搬送用容器の側面から外側に突出する突出部を備え、前記容器開閉機構は、前記突出部の下面を支持可能な固定棚と、前記底板の上面に当接可能な第１押下部材と、前記突出部の上面に当接可能な第２押下部材と、前記第１押下部材と前記第２押下部材とを昇降させる昇降機構部と、を備え、前記搬送装置は、前記上蓋と前記底板とを分離させる際、前記ロボットハンドに前記底板が支持された状態の前記ワーク搬送用容器に対し、前記第１押下部材と前記第２押下部材を下降させ、前記突出部を前記第２押下部材と前記固定棚とで狭持し、前記底板を前記第１押下部材と前記ロボットハンドとで狭持しながら下降させることを特徴とする搬送装置とするものである。
請求項２記載の発明は、前記第１押下部材と前記第２押下部材は、１つの前記昇降機構部によって同時に昇降するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の搬送装置とするものである。
請求項３記載の発明は、前記第２押下部材は、前記昇降機構部に対して、上下方向に撓み可能な板ばねを介して固定されていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置とするものである。
請求項４記載の発明は、前記ロボットハンドと前記容器開閉機構とが気密な真空容器内に収容され、前記上蓋と前記底板とを分離させる作業が前記真空容器内で行われることを特徴とする請求項１記載の搬送装置とするものである。
請求項５記載の発明は、前記昇降機構部は、前記真空容器上面に対して固定される回転型モータと、前記回転型モータの回転軸に連結されたボールネジと、前記ボールネジのナット部に固定された昇降ベースと、前記昇降ベースを上下に精密に案内するリニアガイドと、前記昇降ベースに一端が固定され、前記真空容器の内部へ貫通するとともに他端に前記第１押下部材と前記第２押下部材とを支持する昇降シャフトと、前記真空容器の上面と前記昇降ベースとの間であって前記昇降シャフトを挿通させる真空ベローズと、で構成されることを特徴とする請求項４記載の搬送装置とするものである。
請求項６記載の発明は、請求項１記載の搬送装置を備え、前記ワークがレチクルであることを特徴とする半導体露光装置とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の搬送装置によれば、ワーク搬送用容器の上蓋と底板とを開閉させる際、衝撃のない静かな開閉が実現され、これにより開閉時のパーティクルも防止される。またワーク搬送用容器がロボットハンドに対してずれることを防止することができ、安全にワーク搬送用容器を開閉して搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００８】
図３に本発明で使用するワーク搬送用容器１９の構造を示す。（ａ）は上面図、（ｂ）は側断面図を示している。２２はワークであるレチクル、２０はワーク搬送用容器１９の上蓋、２１はワーク搬送用容器１９の底板、２５は上蓋２０と底板２１との間にある外界と環境を遮断するシール材である。シール材２５は本実施例ではＯリングが使用されている。上蓋２０と底板２１とは図示しないマグネットによって互いに吸着するようになっていて、上下に分離可能である。上蓋２０には複数のフィルタ２３が設けられている。フィルタ２３はワーク２２が収容される空間と容器外部との間に存在し、気体は通すが微小なパーティクルを通さないフィルタである。また、ワーク搬送用容器１９は図３（ａ）のように上から見て矩形になっていて、上蓋２０の対向する１組の２辺に突出部２４が形成されている。突出部２４は容器の側面よりも外側に突出している。また、別の１組の２辺には凹部２６が形成されている。凹部２６は容器の側面よりも内側に窪んでいる。凹部２６によって、ワーク搬送用容器１９を上から見たときに底板２１が見えるようになっている。
なお、本実施例では上蓋２０に凹部２６が形成されているが、後述の説明から明らかなように、凹部２６が形成されていなくても、上から容器を見たときに底板２１のみが見える（押下できる）部分があればよい。
【０００９】
図５に本発明の搬送装置が適用された半導体露光装置の一部の上面図を示す。以下、本実施例では真空環境下における搬送装置について説明する。図において、４１は、真空状態（大気圧よりも低い負圧の状態）、あるいは、真空解除状態（ほぼ大気圧の状態）に圧力調整可能なロードロック室であり、４５は、ロードロック室４１に隣接して接続されたトランスファ室である。４７は、ワーク２２が収納されたワーク搬送用容器１９を開閉するための容器開閉室であり、トランスファ室４５とともに常時真空状態が保たれている。容器開閉室４７の室内に、後述するワーク搬送用容器１９の開閉機構が設置されている。４８は、露光等の処理を行うためのプロセス室であり、トランスファ室４５に隣接して接続されている。なお、ロードロック室４１、トランスファ室４５、容器開閉室４７、および、プロセス室４８は、いずれも、真空状態が維持できるように気密構造になっている。
トランスファ室４５には、ロードロック室４１、容器開閉室４７、および、プロセス室４８に対して、ワーク２２を搬入及び搬出するためのロボットアーム４６が設置してあり、また、図示していないが、トランスファ室４５内のガス（気体）を排気して内部を真空状態にするための真空ポンプと、真空状態を解除するための給気設備が装備されている。
また、ロードロック室４１とトランスファ室４５との間には、ゲートバルブ４９が設けてあり、ゲートバルブ４９は、ワーク搬送用容器１９を持ったロボットアーム４６の先端部が通過するのに十分な広さの開口と、この開口を開閉するためのバルブを備えており、このバルブを閉じれば、ロードロック室４１とトランスファ室４５の間の気密性を保つことができるようになっている。ゲートバルブ４９はロードロック室４１側壁の開口部４２に連結されている。また、ロードロック室４１の他方の側壁には、ワーク２２が収納されたワーク搬送用容器１９を搬入、搬出するための搬入搬出口４３が設けてあり、この搬入搬出口４３を塞ぎ、ロードロック室４１の内部と外部の間で気密性が保てるようにゲートバルブ５０が設けてある。また、図示していないが、ロードロック室４１には、ロードロック室４１内のガスを排気して内部を真空状態にするための真空ポンプと、真空状態を解除するための給気管が接続されている。給気管の先には、図示しない給気バルブ及び清浄フィルタが接続されており、この給気バルブを開放すると、清浄フィルタを通ってガスがロードロック室４１内に流れ込み、ロードロック室４１内の真空状態を解除できるようになっている。
以上の構成において、まず、図示しない清浄雰囲気の中で、ワーク２２をワーク搬送用容器１９の中に収納する。このとき、ロードロック室４１、トランスファ室４５、容器開閉室４７、プロセス室４８はいずれも真空状態とする。トランスファ室４５側のゲートバルブ４９を閉じて、ロードロック室４１のみを真空解除する。外部側のゲートバルブ５０を開けて、図示しない大気搬送用ロボットアームにて、ワーク２２を収納したワーク搬送用容器１９をロードロック室４１内に載置する。外部側のゲートバルブ５０を閉じた後、ロードロック室４１の内部を真空にする。次に、トランスファ室４５側のゲートバルブ４９を開けて、ロボットアーム４６により、ロードロック室４５からワーク搬送用容器１９を搬出し、容器開閉室４７へ搬入する。ワーク搬送容器１９を真空雰囲気外に搬出する場合は上記と逆の手順による。
【００１０】
ロボットアーム４６は、アーム全体もしくは少なくともロボットハンド３２を上下に昇降させる昇降機構を有するものである。ロボットアーム４６は複数のアームが連結されている水平多関節形のアームであり、アームの連結部を回転させることによってロボットアーム４６の先端に備えたフォーク形状のロボットハンド３２をロボットアーム４６基端の旋回中心に対して伸縮動作させる。また、ロボットアーム４６全体はその基端の旋回中心で回転可能であって、この動作によってロードロック室４１、プロセス室４８、及び容器開閉室４７の各方向にロボットハンド３２を向けることができる。ロボットハンド３２はワーク搬送用容器１９の底板２１の両サイドが載置できるように形成されている。
【００１１】
ワーク搬送用容器１９の開閉場所である容器開閉室４７には本発明の搬送装置における容器開閉機構３０が設置されている。図４は容器開閉機構３０を示す図であって、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が搬送されてきたときを示している。（ａ）は上面図であって容器開閉室４７のチャンバ蓋３６及び後述する昇降機構部３１を透視して図示している。（ｂ）は（ａ）において矢印Ｘ方向から見た側断面図、（ｃ）は（ａ）において矢印Ｙ方向から見た側断面図である。（ｂ）、（ｃ）図においては解りやすくするため、一部を省略して図示している。
容器開閉機構３０は、図４のように、容器開閉室４７の室内にワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の下面と当接可能な固定棚３３を備えている。固定棚３３はロボットハンド３２の幅よりもやや広い間隔に設置されている。一方、
容器開閉室４７のチャンバ蓋３６の上面には容器開閉機構３０の昇降機構部３１が設置されている。昇降機構部３１は、例えば図６に示すように、容器開閉室４７のチャンバ蓋３６に対して固定される回転型モータ５１と、回転型モータ５１の回転軸に連結されたボールネジ５２と、ボールネジ５２のナット部に固定された昇降ベース５３と、昇降ベース５３を上下に精密に案内するリニアガイド５５と、昇降ベース５３に一端が固定され、容器開閉室４７の内部へ貫通する昇降シャフト５４と、容器開閉室４７の気密性を確保し、かつ昇降シャフト５４の昇降を妨げないように、容器開閉室４７の上面と昇降ベース５３との間に設けられた真空ベローズ５６とで構成されている。そして、昇降シャフト５４の他端にプレート３４が固定されている。
【００１２】
図４のように、プレート３４は水平方向に延在する板状の部材である。プレート３４の両端には第１押下部材３８が固定されている。第１押下部材３８は、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が図４（ａ）のように搬送されてきたとき、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の凹部２６の上に位置するようになっていて、上蓋２０とは接触せず、底板２１の上面と当接可能に形成されている。一方、プレート３４には４枚の板ばね３５のそれぞれの一端が固定されている。そして、それぞれの板ばね３５の他端には第２押下部材３９が固定されている。第２押下部材３９は、ロボットハンド３２によってワーク搬送用容器１９が図４（ａ）のように搬送されてきたとき、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上に位置するようになっていて、突出部２４の上面と当接可能に形成されている。第２押下部材３９の先端は球状に形成されている。また、上述のように突出部２４の下面は固定棚３３と当接可能な位置にあるので、突出部２４は上下方向において第２押下部材３９と固定棚３３との間に位置することになる。
以上のように、昇降機構部３１の動作によって、第１押下部材３８と第２押下部材３９は同時に昇降可能であって、これらが下降したとき、第１押下部材３８はワーク搬送用容器１９の底板２１の上面と当接し、第２押下部材３９はワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上面と当接する。
なお、本実施例では第１押下部材３８と第２押下部材３９を１つの昇降機構部３１に対して固定している例を示しているが、勿論、昇降機構部３１を別にもう１機設け、第１押下部材３８と第２押下部材３９とを別々に昇降可能に構成してもよい。但し、この場合、各々の昇降機構部３１はある程度同時に昇降できるような制御が必要である。
【００１３】
以上で構成された本発明の搬送装置について、ワーク搬送用容器１９を開ける際の動作を図４で説明する。ワーク搬送用容器１９を開ける動作は、ロボットアーム４６と容器開閉機構３０とを同時に動作させながら、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４を固定棚３３に引っ掛けることで行われる。以下、この動作を説明する。
ここでは、ロボットアーム４６がロードロック室４１などからワーク搬送用容器１９をロボットハンド３２に搭載して容器搬送室４７へ搬送してきているものとする。
まず、図４（ａ）のように、ロボットアーム４６が、ロボットハンド３２にワーク搬送用容器１９を搭載して容器開閉室４７に搬送する。このとき、容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９は、ロボットハンド３２とワーク搬送用容器１９に干渉しない程度に上方に位置している。
次に、図４（ｂ）（ｃ）のように、ロボットハンド３２を下降させ、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の下面が固定棚３３にちょうど接触する高さでロボットハンド３２の下降動作を停止させる。そしてこのとき、容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９を、第１押下部材３８がワーク搬送用容器１９の底板２１の上面と当接し、第２押下部材３９がワーク搬送用容器１９の上蓋２０の突出部２４の上面と当接する位置まで下降させる。
次に、以上の状態で、ロボットハンド３２と容器開閉機構３０の第１押下部材３８と第２押下部材３９を同時にわずかに（数ミリ程度）下降させる。このときの状態を示すのが（ｂ’）（ｃ’）図である。同図（ｂ’）のように、ワーク搬送用容器１９の上蓋２０は、その突出部２４が第２押下部材３９と固定棚３３とに狭持されて固定棚３３に係止する。一方、同図（ｃ’）のようにワーク搬送用容器１９の底板２１は第１押下部材３８の下降動作によって押し下げられ、このときロボットハンド３２も同時に下降するので、底板２１は上蓋２０から分離してロボットハンド３２に載置される。また、底板２１に搭載されているワーク２２もそのままロボットハンド３２に搭載される。また、第１押下部材３８が底板２１を上蓋２０から分離させる程度まで下降する一方で、第２押下部材３９は突出部２４を介して固定棚３３で係止するので絶対的に下降しないが、上記の板ばね３５が上下方向に撓むように配置されているので、（ｂ’）図のように、板ばね３５の撓み作用により、第１押下部材３８は問題なく底板２１を上蓋２０から分離させる程度に下降可能である。
ここで従来技術によれば、第１押下部材３８によって底板２１が押し下げられ、底板２１と上蓋２０とが分離したときに、シール材２５の粘着（癒着）によって上蓋２０が跳ね上がることがあるが、本発明においては、底板２１が押下されている間は、板ばね３５が撓みながら第２押下部材３９によって上蓋２０を押さえつけ、上蓋２０を固定棚３３とともに動かないようにするので、上蓋２０が跳ね上がることがない。
以上の動作により、
衝撃なくワーク搬送用容器１９は開き、底板２１及びワーク２２はロボットハンド３２上に静かに載置されることになり、
ワーク搬送用容器１９の開放時のパーティクルもほとんど発生しない。
またワーク搬送用容器１９がロボットハンド３２に対してずれることもなく、ワーク搬送用容器１９を閉める動作も安全に確実に行うことができる。また、ワーク搬送用容器１９のずれがないことで、ワーク２２の搬送ミスも低減できる。なお、ワーク搬送用容器１９を閉める動作は上述の逆の順路を辿ればよいことはいうまでもないので説明を省略する。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本実施例はワーク搬送用容器として特にレチクルを収納する容器を想定しているが、同様な構造の容器において開閉時の衝撃が問題となる場合には本発明のような容器開閉機構を備える搬送装置が使用できる。また、本実施例における搬送装置は、トランスファ室内や容器開閉室など真空環境下における例を説明したが、搬送装置としては、昇降可能なロボットハンド及びロボットハンドがアクセスできる上記容器開閉機構を少なくとも備えていれば、真空環境下を問わず、例えば清浄な雰囲気のクリーンルームなど大気圧環境下でも本発明は利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来のレチクルケースの構造説明図
【図２】従来のレチクルケースの開閉機構を説明する図
【図３】本発明において使用するワーク搬送用容器の構造説明図
【図４】本発明における容器開閉機構を説明する図
【図５】本発明の搬送装置が適用された半導体露光装置の一部の上面図
【図６】本発明の容器開閉機構の昇降機構部の構成を示す側面図
【符号の説明】
【００１６】
１ ワーク
２ シール材
３ ケーシング
４ 底板
５ 突出部
６ ロードロックチャンバ
７ ロードロックチャンバ上蓋
８ 固定棚部
９ 容器保持部
１０ 真空ベローズ
１１ 昇降機構部
１９ ワーク搬送用容器
２０ 上蓋
２１ 底板
２２ ワーク
２３ フィルタ
２４ 突出部
２５ シール材
２６ 凹部
３０ 容器開閉機構
３１ 昇降機構部
３２ ロボットハンド
３３ 固定棚
３４ プレート
３５ 板ばね
３６ チャンバ蓋
３８ 第１押下部材
３９ 第２押下部材
４１ ロードロック室
４２ 開口部
４３ 搬入搬出口
４５ トランスファ室
４６ ロボットアーム
４７ 容器開閉室
４８ プロセス室
４９ ゲートバルブ
５０ ゲートバルブ
５１ モータ
５２ ボールネジ
５３ 昇降ベース
５４ 昇降シャフト
５５ リニアガイド
５６ 真空ベローズ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搭載する底板と、前記ワークを覆って前記底板との間で前記ワークを収容するとともに前記底板と分離可能な上蓋と、を備えたワーク搬送用容器を所定の位置に搬送可能であるとともに昇降自在に構成されたロボットハンドと、
前記ロボットハンドが到達可能な位置にあって前記ワーク搬送用容器の前記上蓋と前記底板とを開閉する容器開閉機構と、を備えた搬送装置において、
前記ワーク搬送用容器は、前記上蓋に前記ワーク搬送用容器の側面から外側に突出する突出部を備え、
前記容器開閉機構は、前記突出部の下面を支持可能な固定棚と、前記底板の上面に当接可能な第１押下部材と、前記突出部の上面に当接可能な第２押下部材と、前記第１押下部材と前記第２押下部材とを昇降させる昇降機構部と、を備え、
前記搬送装置は、前記上蓋と前記底板とを分離させる際、前記ロボットハンドに前記底板が支持された状態の前記ワーク搬送用容器に対し、前記第１押下部材と前記第２押下部材を下降させ、前記突出部を前記第２押下部材と前記固定棚とで狭持し、前記底板を前記第１押下部材と前記ロボットハンドとで狭持しながら下降させることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記第１押下部材と前記第２押下部材は、１つの前記昇降機構部によって同時に昇降するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第２押下部材は、前記昇降機構部に対して、上下方向に撓み可能な板ばねを介して固定されていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記ロボットハンドと前記容器開閉機構とが気密な真空容器内に収容され、前記上蓋と前記底板とを分離させる作業が前記真空容器内で行われることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項５】
前記昇降機構部は、前記真空容器上面に対して固定される回転型モータと、前記回転型モータの回転軸に連結されたボールネジと、前記ボールネジのナット部に固定された昇降ベースと、前記昇降ベースを上下に精密に案内するリニアガイドと、前記昇降ベースに一端が固定され、前記真空容器の内部へ貫通するとともに他端に前記第１押下部材と前記第２押下部材とを支持する昇降シャフトと、前記真空容器の上面と前記昇降ベースとの間であって前記昇降シャフトを挿通させる真空ベローズと、で構成されることを特徴とする請求項４記載の搬送装置。
【請求項６】
請求項１記載の搬送装置を備え、前記ワークがレチクルであることを特徴とする半導体露光装置。
【請求項１】
ワークを搭載する底板と、前記ワークを覆って前記底板との間で前記ワークを収容するとともに前記底板と分離可能な上蓋と、を備えたワーク搬送用容器を所定の位置に搬送可能であるとともに昇降自在に構成されたロボットハンドと、
前記ロボットハンドが到達可能な位置にあって前記ワーク搬送用容器の前記上蓋と前記底板とを開閉する容器開閉機構と、を備えた搬送装置において、
前記ワーク搬送用容器は、前記上蓋に前記ワーク搬送用容器の側面から外側に突出する突出部を備え、
前記容器開閉機構は、前記突出部の下面を支持可能な固定棚と、前記底板の上面に当接可能な第１押下部材と、前記突出部の上面に当接可能な第２押下部材と、前記第１押下部材と前記第２押下部材とを昇降させる昇降機構部と、を備え、
前記搬送装置は、前記上蓋と前記底板とを分離させる際、前記ロボットハンドに前記底板が支持された状態の前記ワーク搬送用容器に対し、前記第１押下部材と前記第２押下部材を下降させ、前記突出部を前記第２押下部材と前記固定棚とで狭持し、前記底板を前記第１押下部材と前記ロボットハンドとで狭持しながら下降させることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記第１押下部材と前記第２押下部材は、１つの前記昇降機構部によって同時に昇降するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第２押下部材は、前記昇降機構部に対して、上下方向に撓み可能な板ばねを介して固定されていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記ロボットハンドと前記容器開閉機構とが気密な真空容器内に収容され、前記上蓋と前記底板とを分離させる作業が前記真空容器内で行われることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項５】
前記昇降機構部は、前記真空容器上面に対して固定される回転型モータと、前記回転型モータの回転軸に連結されたボールネジと、前記ボールネジのナット部に固定された昇降ベースと、前記昇降ベースを上下に精密に案内するリニアガイドと、前記昇降ベースに一端が固定され、前記真空容器の内部へ貫通するとともに他端に前記第１押下部材と前記第２押下部材とを支持する昇降シャフトと、前記真空容器の上面と前記昇降ベースとの間であって前記昇降シャフトを挿通させる真空ベローズと、で構成されることを特徴とする請求項４記載の搬送装置。
【請求項６】
請求項１記載の搬送装置を備え、前記ワークがレチクルであることを特徴とする半導体露光装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１０−２７８０９（Ｐ２０１０−２７８０９Ａ）
【公開日】平成２２年２月４日（２０１０．２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１８６４９７（Ｐ２００８−１８６４９７）
【出願日】平成２０年７月１７日（２００８．７．１７）
【出願人】（０００００６６２２）株式会社安川電機 (2,482)
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年２月４日（２０１０．２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年７月１７日（２００８．７．１７）
【出願人】（０００００６６２２）株式会社安川電機 (2,482)
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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