位相調整回路および試験装置
【課題】被測定信号の位相を、基準信号の位相に精度よく合わせることができる位相調整回路を提供する。
【解決手段】被測定信号の位相を調整する位相調整回路であって、トリガ信号を生成するトリガ発生部と、基準信号を受け取り、共通の前記トリガ信号のタイミングで、被測定信号および基準信号を測定し、被測定信号および基準信号のそれぞれの信号レベルの差分に応じた測定結果を出力するレベル比較部と、レベル比較部が出力する信号レベルの差分が略零となるように、被測定信号の位相を調整する信号位相調整部とを備える位相調整回路を提供する。
【解決手段】被測定信号の位相を調整する位相調整回路であって、トリガ信号を生成するトリガ発生部と、基準信号を受け取り、共通の前記トリガ信号のタイミングで、被測定信号および基準信号を測定し、被測定信号および基準信号のそれぞれの信号レベルの差分に応じた測定結果を出力するレベル比較部と、レベル比較部が出力する信号レベルの差分が略零となるように、被測定信号の位相を調整する信号位相調整部とを備える位相調整回路を提供する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位相調整回路および試験装置に関する。本発明は、特に、被測定信号の位相を調整する位相調整回路、および、被試験デバイスを試験する試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置において、複数の試験信号を被試験デバイスに供給する方式が知られている。例えば、被試験デバイスの各ピンに、それぞれ試験信号を同時に供給する場合が考えられる。
【０００３】
この場合、試験信号を出力するドライバから被試験デバイスの各ピンまでの信号遅延時間が異なると、各ドライバが同時に試験信号を出力しても、それぞれの試験信号が被試験デバイスに入力されるタイミングに誤差が生じてしまう。このため、被試験デバイスの入力端におけるそれぞれの試験信号の位相を、基準となる試験信号の位相に合わせるように調整することが好ましい。
【０００４】
試験信号の位相を、基準信号の位相に合わせる方法としては、一般的に試験装置に設けられるレベル比較器を用いる方法が考えられる。レベル比較器は、第１の入力端子および第２の入力端子に与えられる信号レベルを比較する。レベル比較器の第１の入力端子には、所定の参照レベルが与えられる。
【０００５】
まず第１の測定において、レベル比較器の第２の入力端子に基準信号を与え、基準信号の信号レベルと参照レベルとを比較する。このとき、所定のトリガタイミングにおける基準信号の信号レベルが、参照レベルと一致するように、トリガタイミングを調整する。
【０００６】
次に第２の測定において、レベル比較器の第２の入力端子に試験信号を入力し、試験信号の信号レベルと参照レベルとを比較する。このとき、上述したトリガタイミングにおける試験信号の信号レベルが参照レベルと一致するように、試験信号の位相を調整する。第１の測定および第２の測定を、それぞれの試験装置について順次行うことで、それぞれの試験信号の位相を、基準信号の位相に合わせることができ、複数の試験信号を同時に被試験デバイスに供給することができる。
【０００７】
なお、信号の位相調整に関する先行技術文献として、下記の特許文献がある。
【特許文献１】特開２００１−１８３４３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上述した位相調整方法は、基準信号についての第１の測定と、被測定信号についての第２の測定とを順番に行う。このため、第１の測定および第２の測定の間で、温度変動等によりトリガタイミングに変動が生じると、試験信号の位相調整に誤差が生じてしまう。
【０００９】
なお、トリガタイミングの変動を防ぐべく、装置温度が安定する程度に十分長い間装置を動作させた後に位相調整を行うことも考えられるが、試験時間が増大してしまう。また、高精度な温度補償回路を用いることも考えられるが、温度補償回路の精度が位相調整の精度に影響を与えてしまい、また、装置コストも増大してしまう。また、これらの方法では、温度変動以外の要因によるトリガタイミングの変動は防ぐことができない。
【００１０】
そこで本発明の一つの側面においては、上記の課題を解決することのできる位相調整回路および試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被測定信号の位相を調整する位相調整回路であって、トリガ信号を生成するトリガ発生部と、基準信号を受け取り、共通のトリガ信号のタイミングで、被測定信号および基準信号を測定するレベル比較部と、レベル比較部における測定結果に基づいて、被測定信号の位相を調整する信号位相調整部とを備える位相調整回路を提供する。
【００１２】
本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験信号をそれぞれ出力する複数のドライバと、被試験デバイスが試験信号に応じて出力する応答信号に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部と、トリガ信号を生成するトリガ発生部と、共通のトリガ信号のタイミングで、基準となる試験信号および他の試験信号を測定するレベル比較部と、レベル比較部における測定結果に基づいて、他の試験信号の位相を予め調整する信号位相調整部とを備える試験装置を提供する。
【００１３】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１５】
図１は、一つの実施形態に係る位相調整回路１００の構成例を示す図である。位相調整回路１００は、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する回路であって、トリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、基準信号発生部２０、信号位相調整部３０、および、レベル比較部４０を備える。
【００１６】
トリガ発生部１０は、トリガ信号Ｔｒを生成する。例えばトリガ発生部１０は、所定のタイミングでパルスを有するトリガ信号Ｔｒを生成してよい。トリガ位相調整部１２は、トリガ発生部１０が生成したトリガ信号Ｔｒの位相を調整して、レベル比較部４０に供給する。例えばトリガ位相調整部１２は、トリガ信号Ｔｒを遅延させる可変遅延回路であってよい。
【００１７】
基準信号発生部２０は、基準信号Ｒｅｆを生成する。例えば基準信号発生部２０は、所定の傾きのエッジを有する基準信号Ｒｅｆを生成してよい。また、基準信号発生部２０は、被測定信号Ｖｉｎと略同一の波形を有する基準信号Ｒｅｆを生成してもよい。
【００１８】
なお、トリガ発生部１０および基準信号発生部２０は、同期してトリガ信号Ｔｒおよび基準信号Ｒｅｆを生成する。トリガ発生部１０は、基準信号発生部２０が基準信号Ｒｅｆのエッジを生成するタイミングに応じてトリガ信号Ｔｒを生成してよい。
【００１９】
例えば、トリガ発生部１０および基準信号発生部２０は、共通の基準クロックに基づいて、トリガ信号Ｔｒおよび基準信号Ｒｅｆを生成してよい。つまり、トリガ発生部１０が出力するトリガ信号Ｔｒと、基準信号発生部２０が出力する基準信号Ｒｅｆとの間の相対位相は、略一定であってよい。ただし、レベル比較部４０に入力されるトリガ信号Ｔｒおよび基準信号Ｒｅｆの間の相対位相は、トリガ位相調整部１２により調整することができる。
【００２０】
信号位相調整部３０は、与えられる被測定信号Ｖｉｎの位相を調整してレベル比較部４０に供給する。例えば信号位相調整部３０は、被測定信号Ｖｉｎを遅延させるか可変遅延回路であってよい。
【００２１】
レベル比較部４０は、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆを受け取り、共通のトリガ信号Ｔｒのタイミングで、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆを測定する。例えばレベル比較部４０は、トリガ信号Ｔｒのタイミングにおける、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆのそれぞれの信号レベルを比較してよい。この場合、レベル比較部４０は、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆのそれぞれの信号レベルの差分に応じた測定結果を出力してよい。
【００２２】
信号位相調整部３０は、レベル比較部４０における測定結果に基づいて、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。例えば、信号位相調整部３０は、レベル比較部４０が測定する信号レベルの差分が略零となるように、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整してよい。このような構成により、被測定信号Ｖｉｎの位相を、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせることができる。また、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆを同時に測定するので、温度変動等による位相調整誤差を排除することができる。
【００２３】
図２は、レベル比較部４０の構成例を示す図である。本例のレベル比較部４０は、第１の切替部４２、第２の切替部４４、および、コンパレータ４６を有する。コンパレータ４６は、与えられる２つの信号の信号レベルを比較した測定結果を出力する。例えばコンパレータ４６は、第１の入力端子に入力された信号のレベルが、第２の入力端子に入力された信号のレベル以上の場合にＨ論理を出力してよい。また、コンパレータ４６は、第１の入力端子に入力された信号のレベルが、第２の入力端子に入力された信号のレベルより小さい場合にＬ論理を出力してよい。
【００２４】
第１の切替部４２は、コンパレータ４６の第１の入力端子に、基準信号Ｒｅｆを入力するか否かを切り替える。本例の第１の切替部４２は、トリガ信号Ｔｒのパルスのタイミングにおける基準信号Ｒｅｆの信号レベルを、コンパレータ４６の第１の入力端子に入力する。
【００２５】
第２の切替部４４は、コンパレータ４６の第２の入力端子に、被測定信号Ｖｉｎを入力するか否かを切り替える。本例の第２の切替部４４は、トリガ信号Ｔｒのパルスのタイミングにおける被測定信号Ｖｉｎの信号レベルを、コンパレータ４６の第２の入力端子に入力する。このような構成により、共通のタイミングにおける基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルを、コンパレータ４６を用いて比較することができる。コンパレータ４６は、半導体回路等の試験装置に一般的に実装されているので、位相調整回路１００は、半導体回路等の試験装置において特に有用となる。
【００２６】
図３は、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの波形を用いて、位相調整回路１００の動作例を説明する図である。図３において横軸は時間を示しており、縦軸は信号レベルを示す。本例の基準信号Ｒｅｆは、被測定信号Ｖｉｎと略同一の波形を有する。また、位相調整前の被測定信号Ｖｉｎの波形を点線で、位相調整後の被測定信号Ｖｉｎの波形を実線で示す。
【００２７】
上述したように、トリガ発生部１０はトリガ信号Ｔｒを生成する。トリガ位相調整部１２は、レベル比較部４０に供給されるトリガ信号Ｔｒのタイミングが、基準信号Ｒｅｆのエッジ期間に含まれるように、トリガ信号Ｔｒのタイミングを予め調整してよい。本例のトリガ位相調整部１２は、トリガ信号Ｔｒのタイミングが、基準信号Ｒｅｆの立ち上がりエッジ期間に含まれるように、トリガ信号Ｔｒのタイミングを予め調整する。
【００２８】
レベル比較部４０は、トリガ信号Ｔｒのタイミングにおける基準信号Ｒｅｆの信号レベルＶｓおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルＶｔを比較した結果を出力する。本例では、基準信号Ｒｅｆの信号レベルＶｓが、被測定信号Ｖｉｎの信号レベルＶｔより小さいので、レベル比較部４０は、被測定信号Ｖｉｎの位相が基準信号Ｒｅｆより進んでいる旨を示すＬ論理を出力する。
【００２９】
信号位相調整部３０は、レベル比較部４０が出力する比較結果に基づいて、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。本例では、レベル比較部４０が、被測定信号Ｖｉｎの位相が基準信号Ｒｅｆより進んでいる旨のＬ論理を出力するので、信号位相調整部３０は、被測定信号Ｖｉｎに対する遅延量を増大させ、被測定信号Ｖｉｎの位相を単位量だけ遅らせる。このような処理を繰り返すことで、レベル比較部４０において検出される被測定信号Ｖｉｎの信号レベルが、基準信号Ｒｅｆの信号レベルＶｓと略等しくなるまで、被測定信号Ｖｉｎの位相がシフトされる。これにより、被測定信号Ｖｉｎの位相を、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせることができる。
【００３０】
また、レベル比較部４０が、被測定信号Ｖｉｎの信号レベルと基準信号Ｒｅｆの信号レベルとの差分を出力する場合、信号位相調整部３０は、被測定信号Ｖｉｎに対する遅延量を、当該差分が略零となる変動量Ｔ１で変化させてよい。変動量Ｔ１は、信号レベルの差分と、基準信号Ｒｅｆのエッジ傾きから求めることができる。基準信号Ｒｅｆのエッジ傾きは、位相調整回路１００に予め与えられてよい。このような処理によっても、被測定信号Ｖｉｎの位相を、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせることができる。
【００３１】
図４は、レベル比較部４０の他の構成例を示す図である。本例のレベル比較部４０は、図２に関連して説明したレベル比較部４０の構成に加え、参照レベル生成部４８を更に有する。他の構成要素は、図２において同一の符号を付して説明した構成要素と同一であってよい。また、本例の位相調整回路１００は、被測定信号Ｖｉｎの位相を基準信号Ｒｅｆの位相に合わせる前に、トリガ信号Ｔｒの位相を予め調整する。具体的には、位相調整回路１００は、トリガ信号Ｔｒのタイミングが、基準信号Ｒｅｆの立ち上がりエッジ期間に含まれるように、トリガ信号Ｔｒの位相を予め調整する。
【００３２】
参照レベル生成部４８は、予め定められた参照レベルＶｓを生成する。例えば参照レベル生成部４８は、基準信号ＲｅｆのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの間の参照レベルＶｓを生成してよい。本例の参照レベル生成部４８は、基準信号ＲｅｆのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの中間の参照レベルＶｓを生成する。参照レベルＶｓは、使用者等により設定されてよい。
【００３３】
また、参照レベル生成部４８は、被測定信号ＶｉｎのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの間の参照レベルＶｓを生成してもよい。また、参照レベル生成部４８は、基準信号のＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの中間の参照レベルＶｓを生成してもよい。これらの場合、参照レベル生成部４８は、被測定信号ＶｉｎのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとを測定してよい。
【００３４】
第２の切替部４４は、コンパレータ４６の第２の入力端子に、被測定信号Ｖｉｎに代えて、参照レベルＶｓを入力するか否かを切り替える。具体的には、第２の切替部４４は、トリガ信号Ｔｒの位相を調整する場合に、参照レベルＶｓをコンパレータ４６に供給する。また、第２の切替部４４は、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する場合には、トリガ信号Ｔｒに応じて被測定信号Ｖｉｎをコンパレータ４６に供給する。
【００３５】
トリガ信号Ｔｒの位相を調整する場合、コンパレータ４６は、トリガ信号Ｔｒのタイミングにおける基準信号Ｒｅｆの信号レベルと、参照レベルＶｓとを比較する。トリガ位相調整部１２は、トリガ信号Ｔｒのタイミングにおける基準信号Ｒｅｆの信号レベルが、参照レベルＶｓと略等しくなるように、トリガ信号Ｔｒの位相を調整する。例えばトリガ位相調整部１２は、コンパレータ４６が出力する信号レベルの差分が略零となるように、トリガ信号Ｔｒに対する遅延量を調整してよい。
【００３６】
参照レベルＶｓは、基準信号ＲｅｆのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの間のレベルなので、上述した調整により、トリガ信号Ｔｒのタイミングを、基準信号Ｒｅｆのエッジ部分に合わせることができる。また、予めタイミングを調整したトリガ信号Ｔｒを用いることで、被測定信号Ｖｉｎの位相を精度よく調整することができる。
【００３７】
なお、トリガ信号Ｔｒの位相を調整してから、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整するまでの間に、温度変動等によりトリガ信号Ｔｒの位相が変動した場合であっても、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎに対して共通のトリガ信号Ｔｒを用いるので、被測定信号Ｖｉｎの位相調整には影響を与えない。ただし、トリガ信号Ｔｒの位相が変動した場合であっても、トリガ信号Ｔｒのタイミングが基準信号Ｒｅｆのエッジ部分に含まれるようにすべく、参照レベルＶｓは、基準信号ＲｅｆのＨレベルおよびＬレベルの中間に設定することが好ましい。
【００３８】
図５は、位相調整回路１００の動作例を示すフローチャートである。本例の位相調整回路１００は、上述したようにトリガ信号Ｔｒの位相を調整してから、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。
【００３９】
まず、第２の切替部４４が、コンパレータ４６の第２の入力端子に参照レベルＶｓを入力する（Ｓ４００）。そして、トリガ位相調整部１２が、コンパレータ４６における比較結果に基づいて、トリガ信号Ｔｒのタイミングが基準信号Ｒｅｆのエッジ部分に含まれるように、トリガ信号Ｔｒの位相を調整する（Ｓ４０２）。
【００４０】
次に、第２の切替部４４は、コンパレータ４６の第２の入力端子に被測定信号Ｖｉｎを入力する（Ｓ４０４）。そして、信号位相調整部３０が、コンパレータ４６における比較結果に基づいて被測定信号Ｖｉｎの位相を調整して、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせる（Ｓ４０６）。このような処理により、被測定信号Ｖｉｎの位相を、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせることができる。
【００４１】
図６は、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの波形を用いて、位相調整回路１００の他の動作例を説明する図である。図３において横軸は時間を示しており、縦軸は信号レベルを示す。本例の基準信号Ｒｅｆは、被測定信号Ｖｉｎと略同一の波形を有する。
【００４２】
本例のトリガ発生部１０は、タイミングの異なる複数のトリガ信号Ｔｒを順次生成する。以下においては、トリガ発生部１０が、基準信号Ｒｅｆの１周期の間に、２つのトリガ信号Ｔｒ１、Ｔｒ２を順次生成する場合を説明する。２つのトリガ信号Ｔｒの少なくとも一方のタイミングは、基準信号Ｒｅｆのエッジ部分に含まれることが好ましい。
【００４３】
レベル比較部４０は、それぞれのトリガ信号Ｔｒ１、Ｔｒ２のタイミングで、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルを比較する。そして、信号位相調整部３０は、トリガ信号Ｔｒ１、Ｔｒ２のそれぞれのタイミングにおいて、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルが略等しくなるように、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。
【００４４】
このような構成により、被測定信号Ｖｉｎの位相を、より精度よく調整することができる。例えば、被測定信号Ｖｉｎの立ち下がりエッジの位相を、基準信号Ｒｅｆの立ち上がりエッジの位相に合わせてしまうことを防ぐことができる。また、トリガ発生部１０は、図６に示すように、基準信号の遷移時間Ｔ２（エッジの立ち上がり時間または立ち下がり時間）の間に、複数のトリガ信号Ｔｒを生成してもよい。
【００４５】
図７は、位相調整回路１００の他の構成例を示す図である。本例における位相調整回路１００は、図１に関連して説明した位相調整回路１００の構成に加え、位相差算出部５０を更に備える。位相差算出部５０は、レベル比較部４０における比較結果に基づいて、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの位相差を算出する。
【００４６】
例えば、位相差算出部５０は、レベル比較部４０から、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルの差分を受け取ってよい。上述したように、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの位相差は、当該信号レベルの差分と、基準信号Ｒｅｆのエッジ傾きから求めることができる。位相差算出部５０には、基準信号Ｒｅｆのエッジ傾きが予め与えられてよい。
【００４７】
信号位相調整部３０は、位相差算出部５０が算出した位相差が略零となるように、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。このような構成により、被測定信号Ｖｉｎの位相調整を短時間で行うことができる。
【００４８】
図８は、位相調整回路１００の他の構成例を示す図である。本例における位相調整回路１００は、複数の被測定信号Ｖｉｎを受け取り、それぞれの被測定信号Ｖｉｎの位相が略同一となるように、それぞれの被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。本例における位相調整回路１００は、トリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、複数の信号位相調整部３０、複数の切替部５２、および、コンパレータ４６を備える。トリガ発生部１０およびトリガ位相調整部１２は、図１に関連して説明したトリガ発生部１０およびトリガ位相調整部１２と同一であってよい。また、切替部５２およびコンパレータ４６は、図１に関連して説明したレベル比較部４０として機能してよい。
【００４９】
複数の信号位相調整部３０は、複数の被測定信号Ｖｉｎと一対一に対応して設けられる。それぞれの信号位相調整部３０は、対応する被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。複数の切替部５２は、複数の信号位相調整部３０と一対一に対応して設けられる。それぞれの切替部５２は、対応する信号位相調整部３０が出力する被測定信号Ｖｉｎを、コンパレータ４６に入力するか否かを、与えられるトリガ信号Ｔｒに応じて切り替える。また、それぞれの切替部５２は、図４に関連して説明した第２の切替部４４と同様に、参照レベルＶｓを、コンパレータ４６に入力するか否かを切り替えてもよい。
【００５０】
コンパレータ４６の第１の入力端子には、複数の被測定信号Ｖｉｎのうち、いずれかが基準信号Ｒｅｆとして与えられる。また、コンパレータ４６の第２の入力端子には、位相を調整すべき他の被測定信号Ｖｉｎが順次与えられる。例えば、トリガ発生部１０およびトリガ位相調整部１２は、基準信号Ｒｅｆとなる被測定信号Ｖｉｎ、および、位相を調整すべきいずれか一つの被測定信号Ｖｉｎに対応する切替部５２にトリガ信号Ｔｒを与えてよい。
【００５１】
コンパレータ４６は、与えられる２つの信号の比較結果を、位相を調整すべき被測定信号Ｖｉｎに対応する信号位相調整部３０に供給する。信号位相調整部３０は、当該比較結果に基づいて、当該被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。このような構成により、レベル比較部４０の第２の入力端子に与える被測定信号Ｖｉｎを順次変更して、それぞれの被測定信号Ｖｉｎの位相を順次調整することで、複数の被測定信号Ｖｉｎの位相を略同一とすることができる。
【００５２】
図９は、一つの実施形に係る試験装置２００の構成例を、被試験デバイス３００と併せて示す図である。試験装置２００は、半導体回路等の被試験デバイス３００を試験する装置であって、複数のパターン発生部１１０、複数の信号位相調整部３０、複数のドライバ１２０、パフォーマンスボード１３０、複数のコンパレータ４６、および、判定部１４０を備える。
【００５３】
それぞれのパターン発生部１１０は、被試験デバイス３００に供給すべき論理パターンを有する試験信号を生成する。複数の信号位相調整部３０は、複数のパターン発生部１１０と一対一に対応して設けられる。それぞれの信号位相調整部３０は、対応するパターン発生部１１０が出力する試験信号の位相を調整する。
【００５４】
複数のドライバ１２０は、複数の信号位相調整部３０と一対一に対応して設けられる。それぞれのドライバ１２０は、対応する信号位相調整部３０が出力する試験信号を、被試験デバイス３００に供給する。
【００５５】
パフォーマンスボード１３０は、被試験デバイス３００を載置して、試験装置２００および被試験デバイス３００の間で信号を受け渡す。パフォーマンスボード１３０は、試験装置２００に対して取り外し可能に設けられる。
【００５６】
それぞれのコンパレータ４６は、被試験デバイス３００が試験信号に応じて出力する応答信号を測定する。例えばコンパレータ４６は、応答信号の信号レベルと、所定の参照レベルとを比較することで、応答信号の論理パターンを検出してよい。
【００５７】
判定部１４０は、コンパレータ４６における応答信号の測定結果に基づいて、被試験デバイス３００の良否を判定する。例えば判定部１４０は、コンパレータ４６が検出した論理パターンと、所定の期待値パターンとを比較することで、被試験デバイス３００の良否を判定してよい。
【００５８】
このような構成により、被試験デバイス３００を試験することができる。ただし、複数のドライバ１２０から被試験デバイス３００に供給される試験信号は、略同時に被試験デバイス３００に供給されることが好ましい。このため、試験装置２００は、被試験デバイス３００の試験前に、それぞれの信号位相調整部３０を用いてそれぞれの試験信号の位相を調整する。
【００５９】
図１０は、試験信号の位相を調整する場合の試験装置２００の構成例を示す図である。本例の試験装置２００は、いずれかの試験信号を基準信号として、他の試験信号の位相を調整する。試験信号の位相調整方法は、図８に関連して説明した方法と同一であってよい。
【００６０】
本例の試験装置２００には、パフォーマンスボード１３０に代えて、キャリブレーション用ボード１５０が設けられる。キャリブレーション用ボード１５０は、トリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、および、複数の切替部５２が設けられる。複数の切替部５２は、複数のドライバ１２０と一対一に対応して設けられる。それぞれの切替部５２は、対応するドライバ１２０が出力する試験信号を、コンパレータ４６に入力するか否かを切り替える。
【００６１】
トリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、および、複数の切替部５２は、図８に関連して説明したトリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、および、複数の切替部５２と同一であってよい。また、図１０に示すコンパレータ４６は、図９に示した複数のコンパレータ４６のうちのいずれかであってよい。それぞれの信号位相調整部３０は、図８に関連して説明した信号位相調整部３０と同様に、コンパレータ４６における比較結果に基づいて、対応する試験信号の位相を調整する。このような構成により、複数の試験信号の位相を略同一に合わせることができる。
【００６２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】一つの実施形態に係る位相調整回路１００の構成例を示す図である。
【図２】レベル比較部４０の構成例を示す図である。
【図３】基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの波形を用いて、位相調整回路１００の動作例を説明する図である。
【図４】レベル比較部４０の他の構成例を示す図である。
【図５】位相調整回路１００の動作例を示すフローチャートである。
【図６】基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの波形を用いて、位相調整回路１００の他の動作例を説明する図である。
【図７】位相調整回路１００の他の構成例を示す図である。
【図８】位相調整回路１００の他の構成例を示す図である。
【図９】一つの実施形に係る試験装置２００の構成例を、被試験デバイス３００と併せて示す図である。
【図１０】試験信号の位相を調整する場合の試験装置２００の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０・・・トリガ発生部、１２・・・トリガ位相調整部、２０・・・基準信号発生部、３０・・・信号位相調整部、４０・・・レベル比較部、４２・・・第１の切替部、４４・・・第２の切替部、４６・・・コンパレータ、４８・・・参照レベル生成部、５０・・・位相差算出部、５２・・・切替部、１００・・・位相調整回路、１１０・・・パターン発生部、１２０・・・ドライバ、１３０・・・パフォーマンスボード、１４０・・・判定部、１５０・・・キャリブレーション用ボード、２００・・・試験装置、３００・・・被試験デバイス
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位相調整回路および試験装置に関する。本発明は、特に、被測定信号の位相を調整する位相調整回路、および、被試験デバイスを試験する試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置において、複数の試験信号を被試験デバイスに供給する方式が知られている。例えば、被試験デバイスの各ピンに、それぞれ試験信号を同時に供給する場合が考えられる。
【０００３】
この場合、試験信号を出力するドライバから被試験デバイスの各ピンまでの信号遅延時間が異なると、各ドライバが同時に試験信号を出力しても、それぞれの試験信号が被試験デバイスに入力されるタイミングに誤差が生じてしまう。このため、被試験デバイスの入力端におけるそれぞれの試験信号の位相を、基準となる試験信号の位相に合わせるように調整することが好ましい。
【０００４】
試験信号の位相を、基準信号の位相に合わせる方法としては、一般的に試験装置に設けられるレベル比較器を用いる方法が考えられる。レベル比較器は、第１の入力端子および第２の入力端子に与えられる信号レベルを比較する。レベル比較器の第１の入力端子には、所定の参照レベルが与えられる。
【０００５】
まず第１の測定において、レベル比較器の第２の入力端子に基準信号を与え、基準信号の信号レベルと参照レベルとを比較する。このとき、所定のトリガタイミングにおける基準信号の信号レベルが、参照レベルと一致するように、トリガタイミングを調整する。
【０００６】
次に第２の測定において、レベル比較器の第２の入力端子に試験信号を入力し、試験信号の信号レベルと参照レベルとを比較する。このとき、上述したトリガタイミングにおける試験信号の信号レベルが参照レベルと一致するように、試験信号の位相を調整する。第１の測定および第２の測定を、それぞれの試験装置について順次行うことで、それぞれの試験信号の位相を、基準信号の位相に合わせることができ、複数の試験信号を同時に被試験デバイスに供給することができる。
【０００７】
なお、信号の位相調整に関する先行技術文献として、下記の特許文献がある。
【特許文献１】特開２００１−１８３４３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上述した位相調整方法は、基準信号についての第１の測定と、被測定信号についての第２の測定とを順番に行う。このため、第１の測定および第２の測定の間で、温度変動等によりトリガタイミングに変動が生じると、試験信号の位相調整に誤差が生じてしまう。
【０００９】
なお、トリガタイミングの変動を防ぐべく、装置温度が安定する程度に十分長い間装置を動作させた後に位相調整を行うことも考えられるが、試験時間が増大してしまう。また、高精度な温度補償回路を用いることも考えられるが、温度補償回路の精度が位相調整の精度に影響を与えてしまい、また、装置コストも増大してしまう。また、これらの方法では、温度変動以外の要因によるトリガタイミングの変動は防ぐことができない。
【００１０】
そこで本発明の一つの側面においては、上記の課題を解決することのできる位相調整回路および試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被測定信号の位相を調整する位相調整回路であって、トリガ信号を生成するトリガ発生部と、基準信号を受け取り、共通のトリガ信号のタイミングで、被測定信号および基準信号を測定するレベル比較部と、レベル比較部における測定結果に基づいて、被測定信号の位相を調整する信号位相調整部とを備える位相調整回路を提供する。
【００１２】
本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験信号をそれぞれ出力する複数のドライバと、被試験デバイスが試験信号に応じて出力する応答信号に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部と、トリガ信号を生成するトリガ発生部と、共通のトリガ信号のタイミングで、基準となる試験信号および他の試験信号を測定するレベル比較部と、レベル比較部における測定結果に基づいて、他の試験信号の位相を予め調整する信号位相調整部とを備える試験装置を提供する。
【００１３】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１５】
図１は、一つの実施形態に係る位相調整回路１００の構成例を示す図である。位相調整回路１００は、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する回路であって、トリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、基準信号発生部２０、信号位相調整部３０、および、レベル比較部４０を備える。
【００１６】
トリガ発生部１０は、トリガ信号Ｔｒを生成する。例えばトリガ発生部１０は、所定のタイミングでパルスを有するトリガ信号Ｔｒを生成してよい。トリガ位相調整部１２は、トリガ発生部１０が生成したトリガ信号Ｔｒの位相を調整して、レベル比較部４０に供給する。例えばトリガ位相調整部１２は、トリガ信号Ｔｒを遅延させる可変遅延回路であってよい。
【００１７】
基準信号発生部２０は、基準信号Ｒｅｆを生成する。例えば基準信号発生部２０は、所定の傾きのエッジを有する基準信号Ｒｅｆを生成してよい。また、基準信号発生部２０は、被測定信号Ｖｉｎと略同一の波形を有する基準信号Ｒｅｆを生成してもよい。
【００１８】
なお、トリガ発生部１０および基準信号発生部２０は、同期してトリガ信号Ｔｒおよび基準信号Ｒｅｆを生成する。トリガ発生部１０は、基準信号発生部２０が基準信号Ｒｅｆのエッジを生成するタイミングに応じてトリガ信号Ｔｒを生成してよい。
【００１９】
例えば、トリガ発生部１０および基準信号発生部２０は、共通の基準クロックに基づいて、トリガ信号Ｔｒおよび基準信号Ｒｅｆを生成してよい。つまり、トリガ発生部１０が出力するトリガ信号Ｔｒと、基準信号発生部２０が出力する基準信号Ｒｅｆとの間の相対位相は、略一定であってよい。ただし、レベル比較部４０に入力されるトリガ信号Ｔｒおよび基準信号Ｒｅｆの間の相対位相は、トリガ位相調整部１２により調整することができる。
【００２０】
信号位相調整部３０は、与えられる被測定信号Ｖｉｎの位相を調整してレベル比較部４０に供給する。例えば信号位相調整部３０は、被測定信号Ｖｉｎを遅延させるか可変遅延回路であってよい。
【００２１】
レベル比較部４０は、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆを受け取り、共通のトリガ信号Ｔｒのタイミングで、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆを測定する。例えばレベル比較部４０は、トリガ信号Ｔｒのタイミングにおける、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆのそれぞれの信号レベルを比較してよい。この場合、レベル比較部４０は、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆのそれぞれの信号レベルの差分に応じた測定結果を出力してよい。
【００２２】
信号位相調整部３０は、レベル比較部４０における測定結果に基づいて、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。例えば、信号位相調整部３０は、レベル比較部４０が測定する信号レベルの差分が略零となるように、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整してよい。このような構成により、被測定信号Ｖｉｎの位相を、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせることができる。また、被測定信号Ｖｉｎおよび基準信号Ｒｅｆを同時に測定するので、温度変動等による位相調整誤差を排除することができる。
【００２３】
図２は、レベル比較部４０の構成例を示す図である。本例のレベル比較部４０は、第１の切替部４２、第２の切替部４４、および、コンパレータ４６を有する。コンパレータ４６は、与えられる２つの信号の信号レベルを比較した測定結果を出力する。例えばコンパレータ４６は、第１の入力端子に入力された信号のレベルが、第２の入力端子に入力された信号のレベル以上の場合にＨ論理を出力してよい。また、コンパレータ４６は、第１の入力端子に入力された信号のレベルが、第２の入力端子に入力された信号のレベルより小さい場合にＬ論理を出力してよい。
【００２４】
第１の切替部４２は、コンパレータ４６の第１の入力端子に、基準信号Ｒｅｆを入力するか否かを切り替える。本例の第１の切替部４２は、トリガ信号Ｔｒのパルスのタイミングにおける基準信号Ｒｅｆの信号レベルを、コンパレータ４６の第１の入力端子に入力する。
【００２５】
第２の切替部４４は、コンパレータ４６の第２の入力端子に、被測定信号Ｖｉｎを入力するか否かを切り替える。本例の第２の切替部４４は、トリガ信号Ｔｒのパルスのタイミングにおける被測定信号Ｖｉｎの信号レベルを、コンパレータ４６の第２の入力端子に入力する。このような構成により、共通のタイミングにおける基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルを、コンパレータ４６を用いて比較することができる。コンパレータ４６は、半導体回路等の試験装置に一般的に実装されているので、位相調整回路１００は、半導体回路等の試験装置において特に有用となる。
【００２６】
図３は、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの波形を用いて、位相調整回路１００の動作例を説明する図である。図３において横軸は時間を示しており、縦軸は信号レベルを示す。本例の基準信号Ｒｅｆは、被測定信号Ｖｉｎと略同一の波形を有する。また、位相調整前の被測定信号Ｖｉｎの波形を点線で、位相調整後の被測定信号Ｖｉｎの波形を実線で示す。
【００２７】
上述したように、トリガ発生部１０はトリガ信号Ｔｒを生成する。トリガ位相調整部１２は、レベル比較部４０に供給されるトリガ信号Ｔｒのタイミングが、基準信号Ｒｅｆのエッジ期間に含まれるように、トリガ信号Ｔｒのタイミングを予め調整してよい。本例のトリガ位相調整部１２は、トリガ信号Ｔｒのタイミングが、基準信号Ｒｅｆの立ち上がりエッジ期間に含まれるように、トリガ信号Ｔｒのタイミングを予め調整する。
【００２８】
レベル比較部４０は、トリガ信号Ｔｒのタイミングにおける基準信号Ｒｅｆの信号レベルＶｓおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルＶｔを比較した結果を出力する。本例では、基準信号Ｒｅｆの信号レベルＶｓが、被測定信号Ｖｉｎの信号レベルＶｔより小さいので、レベル比較部４０は、被測定信号Ｖｉｎの位相が基準信号Ｒｅｆより進んでいる旨を示すＬ論理を出力する。
【００２９】
信号位相調整部３０は、レベル比較部４０が出力する比較結果に基づいて、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。本例では、レベル比較部４０が、被測定信号Ｖｉｎの位相が基準信号Ｒｅｆより進んでいる旨のＬ論理を出力するので、信号位相調整部３０は、被測定信号Ｖｉｎに対する遅延量を増大させ、被測定信号Ｖｉｎの位相を単位量だけ遅らせる。このような処理を繰り返すことで、レベル比較部４０において検出される被測定信号Ｖｉｎの信号レベルが、基準信号Ｒｅｆの信号レベルＶｓと略等しくなるまで、被測定信号Ｖｉｎの位相がシフトされる。これにより、被測定信号Ｖｉｎの位相を、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせることができる。
【００３０】
また、レベル比較部４０が、被測定信号Ｖｉｎの信号レベルと基準信号Ｒｅｆの信号レベルとの差分を出力する場合、信号位相調整部３０は、被測定信号Ｖｉｎに対する遅延量を、当該差分が略零となる変動量Ｔ１で変化させてよい。変動量Ｔ１は、信号レベルの差分と、基準信号Ｒｅｆのエッジ傾きから求めることができる。基準信号Ｒｅｆのエッジ傾きは、位相調整回路１００に予め与えられてよい。このような処理によっても、被測定信号Ｖｉｎの位相を、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせることができる。
【００３１】
図４は、レベル比較部４０の他の構成例を示す図である。本例のレベル比較部４０は、図２に関連して説明したレベル比較部４０の構成に加え、参照レベル生成部４８を更に有する。他の構成要素は、図２において同一の符号を付して説明した構成要素と同一であってよい。また、本例の位相調整回路１００は、被測定信号Ｖｉｎの位相を基準信号Ｒｅｆの位相に合わせる前に、トリガ信号Ｔｒの位相を予め調整する。具体的には、位相調整回路１００は、トリガ信号Ｔｒのタイミングが、基準信号Ｒｅｆの立ち上がりエッジ期間に含まれるように、トリガ信号Ｔｒの位相を予め調整する。
【００３２】
参照レベル生成部４８は、予め定められた参照レベルＶｓを生成する。例えば参照レベル生成部４８は、基準信号ＲｅｆのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの間の参照レベルＶｓを生成してよい。本例の参照レベル生成部４８は、基準信号ＲｅｆのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの中間の参照レベルＶｓを生成する。参照レベルＶｓは、使用者等により設定されてよい。
【００３３】
また、参照レベル生成部４８は、被測定信号ＶｉｎのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの間の参照レベルＶｓを生成してもよい。また、参照レベル生成部４８は、基準信号のＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの中間の参照レベルＶｓを生成してもよい。これらの場合、参照レベル生成部４８は、被測定信号ＶｉｎのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとを測定してよい。
【００３４】
第２の切替部４４は、コンパレータ４６の第２の入力端子に、被測定信号Ｖｉｎに代えて、参照レベルＶｓを入力するか否かを切り替える。具体的には、第２の切替部４４は、トリガ信号Ｔｒの位相を調整する場合に、参照レベルＶｓをコンパレータ４６に供給する。また、第２の切替部４４は、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する場合には、トリガ信号Ｔｒに応じて被測定信号Ｖｉｎをコンパレータ４６に供給する。
【００３５】
トリガ信号Ｔｒの位相を調整する場合、コンパレータ４６は、トリガ信号Ｔｒのタイミングにおける基準信号Ｒｅｆの信号レベルと、参照レベルＶｓとを比較する。トリガ位相調整部１２は、トリガ信号Ｔｒのタイミングにおける基準信号Ｒｅｆの信号レベルが、参照レベルＶｓと略等しくなるように、トリガ信号Ｔｒの位相を調整する。例えばトリガ位相調整部１２は、コンパレータ４６が出力する信号レベルの差分が略零となるように、トリガ信号Ｔｒに対する遅延量を調整してよい。
【００３６】
参照レベルＶｓは、基準信号ＲｅｆのＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの間のレベルなので、上述した調整により、トリガ信号Ｔｒのタイミングを、基準信号Ｒｅｆのエッジ部分に合わせることができる。また、予めタイミングを調整したトリガ信号Ｔｒを用いることで、被測定信号Ｖｉｎの位相を精度よく調整することができる。
【００３７】
なお、トリガ信号Ｔｒの位相を調整してから、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整するまでの間に、温度変動等によりトリガ信号Ｔｒの位相が変動した場合であっても、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎに対して共通のトリガ信号Ｔｒを用いるので、被測定信号Ｖｉｎの位相調整には影響を与えない。ただし、トリガ信号Ｔｒの位相が変動した場合であっても、トリガ信号Ｔｒのタイミングが基準信号Ｒｅｆのエッジ部分に含まれるようにすべく、参照レベルＶｓは、基準信号ＲｅｆのＨレベルおよびＬレベルの中間に設定することが好ましい。
【００３８】
図５は、位相調整回路１００の動作例を示すフローチャートである。本例の位相調整回路１００は、上述したようにトリガ信号Ｔｒの位相を調整してから、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。
【００３９】
まず、第２の切替部４４が、コンパレータ４６の第２の入力端子に参照レベルＶｓを入力する（Ｓ４００）。そして、トリガ位相調整部１２が、コンパレータ４６における比較結果に基づいて、トリガ信号Ｔｒのタイミングが基準信号Ｒｅｆのエッジ部分に含まれるように、トリガ信号Ｔｒの位相を調整する（Ｓ４０２）。
【００４０】
次に、第２の切替部４４は、コンパレータ４６の第２の入力端子に被測定信号Ｖｉｎを入力する（Ｓ４０４）。そして、信号位相調整部３０が、コンパレータ４６における比較結果に基づいて被測定信号Ｖｉｎの位相を調整して、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせる（Ｓ４０６）。このような処理により、被測定信号Ｖｉｎの位相を、基準信号Ｒｅｆの位相に合わせることができる。
【００４１】
図６は、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの波形を用いて、位相調整回路１００の他の動作例を説明する図である。図３において横軸は時間を示しており、縦軸は信号レベルを示す。本例の基準信号Ｒｅｆは、被測定信号Ｖｉｎと略同一の波形を有する。
【００４２】
本例のトリガ発生部１０は、タイミングの異なる複数のトリガ信号Ｔｒを順次生成する。以下においては、トリガ発生部１０が、基準信号Ｒｅｆの１周期の間に、２つのトリガ信号Ｔｒ１、Ｔｒ２を順次生成する場合を説明する。２つのトリガ信号Ｔｒの少なくとも一方のタイミングは、基準信号Ｒｅｆのエッジ部分に含まれることが好ましい。
【００４３】
レベル比較部４０は、それぞれのトリガ信号Ｔｒ１、Ｔｒ２のタイミングで、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルを比較する。そして、信号位相調整部３０は、トリガ信号Ｔｒ１、Ｔｒ２のそれぞれのタイミングにおいて、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルが略等しくなるように、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。
【００４４】
このような構成により、被測定信号Ｖｉｎの位相を、より精度よく調整することができる。例えば、被測定信号Ｖｉｎの立ち下がりエッジの位相を、基準信号Ｒｅｆの立ち上がりエッジの位相に合わせてしまうことを防ぐことができる。また、トリガ発生部１０は、図６に示すように、基準信号の遷移時間Ｔ２（エッジの立ち上がり時間または立ち下がり時間）の間に、複数のトリガ信号Ｔｒを生成してもよい。
【００４５】
図７は、位相調整回路１００の他の構成例を示す図である。本例における位相調整回路１００は、図１に関連して説明した位相調整回路１００の構成に加え、位相差算出部５０を更に備える。位相差算出部５０は、レベル比較部４０における比較結果に基づいて、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの位相差を算出する。
【００４６】
例えば、位相差算出部５０は、レベル比較部４０から、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの信号レベルの差分を受け取ってよい。上述したように、基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの位相差は、当該信号レベルの差分と、基準信号Ｒｅｆのエッジ傾きから求めることができる。位相差算出部５０には、基準信号Ｒｅｆのエッジ傾きが予め与えられてよい。
【００４７】
信号位相調整部３０は、位相差算出部５０が算出した位相差が略零となるように、被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。このような構成により、被測定信号Ｖｉｎの位相調整を短時間で行うことができる。
【００４８】
図８は、位相調整回路１００の他の構成例を示す図である。本例における位相調整回路１００は、複数の被測定信号Ｖｉｎを受け取り、それぞれの被測定信号Ｖｉｎの位相が略同一となるように、それぞれの被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。本例における位相調整回路１００は、トリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、複数の信号位相調整部３０、複数の切替部５２、および、コンパレータ４６を備える。トリガ発生部１０およびトリガ位相調整部１２は、図１に関連して説明したトリガ発生部１０およびトリガ位相調整部１２と同一であってよい。また、切替部５２およびコンパレータ４６は、図１に関連して説明したレベル比較部４０として機能してよい。
【００４９】
複数の信号位相調整部３０は、複数の被測定信号Ｖｉｎと一対一に対応して設けられる。それぞれの信号位相調整部３０は、対応する被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。複数の切替部５２は、複数の信号位相調整部３０と一対一に対応して設けられる。それぞれの切替部５２は、対応する信号位相調整部３０が出力する被測定信号Ｖｉｎを、コンパレータ４６に入力するか否かを、与えられるトリガ信号Ｔｒに応じて切り替える。また、それぞれの切替部５２は、図４に関連して説明した第２の切替部４４と同様に、参照レベルＶｓを、コンパレータ４６に入力するか否かを切り替えてもよい。
【００５０】
コンパレータ４６の第１の入力端子には、複数の被測定信号Ｖｉｎのうち、いずれかが基準信号Ｒｅｆとして与えられる。また、コンパレータ４６の第２の入力端子には、位相を調整すべき他の被測定信号Ｖｉｎが順次与えられる。例えば、トリガ発生部１０およびトリガ位相調整部１２は、基準信号Ｒｅｆとなる被測定信号Ｖｉｎ、および、位相を調整すべきいずれか一つの被測定信号Ｖｉｎに対応する切替部５２にトリガ信号Ｔｒを与えてよい。
【００５１】
コンパレータ４６は、与えられる２つの信号の比較結果を、位相を調整すべき被測定信号Ｖｉｎに対応する信号位相調整部３０に供給する。信号位相調整部３０は、当該比較結果に基づいて、当該被測定信号Ｖｉｎの位相を調整する。このような構成により、レベル比較部４０の第２の入力端子に与える被測定信号Ｖｉｎを順次変更して、それぞれの被測定信号Ｖｉｎの位相を順次調整することで、複数の被測定信号Ｖｉｎの位相を略同一とすることができる。
【００５２】
図９は、一つの実施形に係る試験装置２００の構成例を、被試験デバイス３００と併せて示す図である。試験装置２００は、半導体回路等の被試験デバイス３００を試験する装置であって、複数のパターン発生部１１０、複数の信号位相調整部３０、複数のドライバ１２０、パフォーマンスボード１３０、複数のコンパレータ４６、および、判定部１４０を備える。
【００５３】
それぞれのパターン発生部１１０は、被試験デバイス３００に供給すべき論理パターンを有する試験信号を生成する。複数の信号位相調整部３０は、複数のパターン発生部１１０と一対一に対応して設けられる。それぞれの信号位相調整部３０は、対応するパターン発生部１１０が出力する試験信号の位相を調整する。
【００５４】
複数のドライバ１２０は、複数の信号位相調整部３０と一対一に対応して設けられる。それぞれのドライバ１２０は、対応する信号位相調整部３０が出力する試験信号を、被試験デバイス３００に供給する。
【００５５】
パフォーマンスボード１３０は、被試験デバイス３００を載置して、試験装置２００および被試験デバイス３００の間で信号を受け渡す。パフォーマンスボード１３０は、試験装置２００に対して取り外し可能に設けられる。
【００５６】
それぞれのコンパレータ４６は、被試験デバイス３００が試験信号に応じて出力する応答信号を測定する。例えばコンパレータ４６は、応答信号の信号レベルと、所定の参照レベルとを比較することで、応答信号の論理パターンを検出してよい。
【００５７】
判定部１４０は、コンパレータ４６における応答信号の測定結果に基づいて、被試験デバイス３００の良否を判定する。例えば判定部１４０は、コンパレータ４６が検出した論理パターンと、所定の期待値パターンとを比較することで、被試験デバイス３００の良否を判定してよい。
【００５８】
このような構成により、被試験デバイス３００を試験することができる。ただし、複数のドライバ１２０から被試験デバイス３００に供給される試験信号は、略同時に被試験デバイス３００に供給されることが好ましい。このため、試験装置２００は、被試験デバイス３００の試験前に、それぞれの信号位相調整部３０を用いてそれぞれの試験信号の位相を調整する。
【００５９】
図１０は、試験信号の位相を調整する場合の試験装置２００の構成例を示す図である。本例の試験装置２００は、いずれかの試験信号を基準信号として、他の試験信号の位相を調整する。試験信号の位相調整方法は、図８に関連して説明した方法と同一であってよい。
【００６０】
本例の試験装置２００には、パフォーマンスボード１３０に代えて、キャリブレーション用ボード１５０が設けられる。キャリブレーション用ボード１５０は、トリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、および、複数の切替部５２が設けられる。複数の切替部５２は、複数のドライバ１２０と一対一に対応して設けられる。それぞれの切替部５２は、対応するドライバ１２０が出力する試験信号を、コンパレータ４６に入力するか否かを切り替える。
【００６１】
トリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、および、複数の切替部５２は、図８に関連して説明したトリガ発生部１０、トリガ位相調整部１２、および、複数の切替部５２と同一であってよい。また、図１０に示すコンパレータ４６は、図９に示した複数のコンパレータ４６のうちのいずれかであってよい。それぞれの信号位相調整部３０は、図８に関連して説明した信号位相調整部３０と同様に、コンパレータ４６における比較結果に基づいて、対応する試験信号の位相を調整する。このような構成により、複数の試験信号の位相を略同一に合わせることができる。
【００６２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】一つの実施形態に係る位相調整回路１００の構成例を示す図である。
【図２】レベル比較部４０の構成例を示す図である。
【図３】基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの波形を用いて、位相調整回路１００の動作例を説明する図である。
【図４】レベル比較部４０の他の構成例を示す図である。
【図５】位相調整回路１００の動作例を示すフローチャートである。
【図６】基準信号Ｒｅｆおよび被測定信号Ｖｉｎの波形を用いて、位相調整回路１００の他の動作例を説明する図である。
【図７】位相調整回路１００の他の構成例を示す図である。
【図８】位相調整回路１００の他の構成例を示す図である。
【図９】一つの実施形に係る試験装置２００の構成例を、被試験デバイス３００と併せて示す図である。
【図１０】試験信号の位相を調整する場合の試験装置２００の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０・・・トリガ発生部、１２・・・トリガ位相調整部、２０・・・基準信号発生部、３０・・・信号位相調整部、４０・・・レベル比較部、４２・・・第１の切替部、４４・・・第２の切替部、４６・・・コンパレータ、４８・・・参照レベル生成部、５０・・・位相差算出部、５２・・・切替部、１００・・・位相調整回路、１１０・・・パターン発生部、１２０・・・ドライバ、１３０・・・パフォーマンスボード、１４０・・・判定部、１５０・・・キャリブレーション用ボード、２００・・・試験装置、３００・・・被試験デバイス
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定信号の位相を調整する位相調整回路であって、
トリガ信号を生成するトリガ発生部と、
基準信号を受け取り、共通の前記トリガ信号のタイミングで、前記被測定信号および前記基準信号を測定するレベル比較部と、
前記レベル比較部における測定結果に基づいて、前記被測定信号の位相を調整する信号位相調整部と
を備える位相調整回路。
【請求項２】
前記レベル比較部は、前記トリガ信号のタイミングにおける、前記被測定信号および前記基準信号のそれぞれの信号レベルの差分に応じた測定結果を出力する
請求項１に記載の位相調整回路。
【請求項３】
前記信号位相調整部は、前記レベル比較部が測定する信号レベルの差分が略零となるように、前記被測定信号の位相を調整する
請求項２に記載の位相調整回路。
【請求項４】
前記レベル比較部に、前記被測定信号に代えて、予め定められた参照レベルを入力するか否かを切り替える切替部と、
前記レベル比較部に前記参照レベルが入力された場合に、前記レベル比較部が測定する信号レベルの差分が略零となるように、前記トリガ信号の位相を予め調整するトリガ位相調整部と
を更に備える請求項２に記載の位相調整回路。
【請求項５】
前記被測定信号と略同一の波形を有する前記基準信号を生成する基準信号発生部を更に備え、
前記トリガ発生部は、前記基準信号発生部が前記基準信号のエッジを生成するタイミングに応じて前記トリガ信号を生成する
請求項４に記載の位相調整回路。
【請求項６】
前記基準信号のＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの間の前記参照レベルを生成する参照レベル生成部を更に備える
請求項５に記載の位相調整回路。
【請求項７】
前記トリガ発生部は、タイミングの異なる複数の前記トリガ信号を順次生成する
請求項４に記載の位相調整回路。
【請求項８】
前記トリガ発生部は、前記基準信号の１周期の間に、前記複数のトリガ信号を生成する
請求項７に記載の位相調整回路。
【請求項９】
前記トリガ発生部は、前記基準信号の遷移時間の間に、前記複数のトリガ信号を生成する
請求項７に記載の位相調整回路。
【請求項１０】
前記位相調整回路は、複数の前記被測定信号を受け取り、
前記レベル比較部は、前記複数の被測定信号のうち、いずれかを前記基準信号として、他の前記被測定信号と、前記基準信号との信号レベル差を測定する
請求項２に記載の位相調整回路。
【請求項１１】
前記レベル比較部が測定する信号レベル差と、前記基準信号のエッジ傾きに基づいて、前記基準信号および前記被測定信号の位相差を算出する位相差算出部を更に備え、
前記信号位相調整部は、前記位相差算出部が算出する位相差に基づいて、前記被測定信号の位相を調整する
請求項２に記載の位相調整回路。
【請求項１２】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
試験信号をそれぞれ出力する複数のドライバと、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力する応答信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
トリガ信号を生成するトリガ発生部と、
共通の前記トリガ信号のタイミングで、基準となる前記試験信号および他の前記試験信号を測定するレベル比較部と、
前記レベル比較部における測定結果に基づいて、前記他の試験信号の位相を予め調整する信号位相調整部と
を備える試験装置。
【請求項１】
被測定信号の位相を調整する位相調整回路であって、
トリガ信号を生成するトリガ発生部と、
基準信号を受け取り、共通の前記トリガ信号のタイミングで、前記被測定信号および前記基準信号を測定するレベル比較部と、
前記レベル比較部における測定結果に基づいて、前記被測定信号の位相を調整する信号位相調整部と
を備える位相調整回路。
【請求項２】
前記レベル比較部は、前記トリガ信号のタイミングにおける、前記被測定信号および前記基準信号のそれぞれの信号レベルの差分に応じた測定結果を出力する
請求項１に記載の位相調整回路。
【請求項３】
前記信号位相調整部は、前記レベル比較部が測定する信号レベルの差分が略零となるように、前記被測定信号の位相を調整する
請求項２に記載の位相調整回路。
【請求項４】
前記レベル比較部に、前記被測定信号に代えて、予め定められた参照レベルを入力するか否かを切り替える切替部と、
前記レベル比較部に前記参照レベルが入力された場合に、前記レベル比較部が測定する信号レベルの差分が略零となるように、前記トリガ信号の位相を予め調整するトリガ位相調整部と
を更に備える請求項２に記載の位相調整回路。
【請求項５】
前記被測定信号と略同一の波形を有する前記基準信号を生成する基準信号発生部を更に備え、
前記トリガ発生部は、前記基準信号発生部が前記基準信号のエッジを生成するタイミングに応じて前記トリガ信号を生成する
請求項４に記載の位相調整回路。
【請求項６】
前記基準信号のＨ論理に対応する信号レベルと、Ｌ論理に対応する信号レベルとの間の前記参照レベルを生成する参照レベル生成部を更に備える
請求項５に記載の位相調整回路。
【請求項７】
前記トリガ発生部は、タイミングの異なる複数の前記トリガ信号を順次生成する
請求項４に記載の位相調整回路。
【請求項８】
前記トリガ発生部は、前記基準信号の１周期の間に、前記複数のトリガ信号を生成する
請求項７に記載の位相調整回路。
【請求項９】
前記トリガ発生部は、前記基準信号の遷移時間の間に、前記複数のトリガ信号を生成する
請求項７に記載の位相調整回路。
【請求項１０】
前記位相調整回路は、複数の前記被測定信号を受け取り、
前記レベル比較部は、前記複数の被測定信号のうち、いずれかを前記基準信号として、他の前記被測定信号と、前記基準信号との信号レベル差を測定する
請求項２に記載の位相調整回路。
【請求項１１】
前記レベル比較部が測定する信号レベル差と、前記基準信号のエッジ傾きに基づいて、前記基準信号および前記被測定信号の位相差を算出する位相差算出部を更に備え、
前記信号位相調整部は、前記位相差算出部が算出する位相差に基づいて、前記被測定信号の位相を調整する
請求項２に記載の位相調整回路。
【請求項１２】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
試験信号をそれぞれ出力する複数のドライバと、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力する応答信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
トリガ信号を生成するトリガ発生部と、
共通の前記トリガ信号のタイミングで、基準となる前記試験信号および他の前記試験信号を測定するレベル比較部と、
前記レベル比較部における測定結果に基づいて、前記他の試験信号の位相を予め調整する信号位相調整部と
を備える試験装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００９−１７１３３７（Ｐ２００９−１７１３３７Ａ）
【公開日】平成２１年７月３０日（２００９．７．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−８３３４（Ｐ２００８−８３３４）
【出願日】平成２０年１月１７日（２００８．１．１７）
【出願人】（３９０００５１７５）株式会社アドバンテスト (1,005)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年７月３０日（２００９．７．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１月１７日（２００８．１．１７）
【出願人】（３９０００５１７５）株式会社アドバンテスト (1,005)
【Ｆターム（参考）】
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