作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた工場１００と，各作業エリア１１２等とそこで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報データベース２２０と，各作業エリアに設けられた作業者検出センサ１３０とを設け，作業者検出手段からの出力に基づいて作業者がどの作業エリアにいるかを特定し，作業特定情報データベースの作業特定情報に基づいて，特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する。こうして特定された現在作業に基づいてその作業者に対し，現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断し，判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す。これにより，作業者が現在行っている作業の特定，新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，各作業者を適材適所に配置させて各作業者の作業効率を高めることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
本発明は，作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法に関する。
【背景技術】
例えば半導体製造工場などの作業場では，半導体製造装置等が設置されたクリーンルームの装置室を含め，様々なエリアで様々な作業が発生する。例えばクリーンルームでは装置室外では半導体装置の生産のための入力作業，装置室内では半導体製造装置のトラブル対応作業，またクリーンルーム外でも例えば保管庫の部品管理作業などが発生する。これら作業によっては，その作業を行うのに必要なスキル（技能）も異なるため，様々なスキル（技能）を有する作業者が必要となる場合も多い。
ところが，このような様々なスキルを有する作業者を管理するのは容易ではなく，作業の分配効率が悪いと作業者一人あたりの作業効率も低下する。従って，いかに作業者を適材適所に配置して各作業者の作業効率を高めるかが課題となる。そのためには，必要なタイミングで，その作業に最も適した作業者を選択して指示を出すのが理想的であるが，実際には困難がある。
例えば，作業者が作業を行っている間に別の新たな作業が発生した場合には，その作業者に新たな作業を行う指示を出すことはできない。この場合，作業者の現在行っている作業を把握できなければ，その現在の作業を中断させて新たな作業を行ってよいかの判断もできない。また，代りの作業者を探して新たな作業を行わせればよいとも考えられる。ところが，新たな作業によってはそれを行うのに必要なスキル（技能）を有する作業者の手が空いているとは限らない。従って，先ず作業者が現在行っている作業を特定する必要がある。
しかしながら，半導体製造工場などでは上述したように作業の種類が多く，各作業者が行っている作業を特定することは極めて困難である。作業の特定を行うために，例えば特開平８−１０７０９６に示すようにパスワードによって作業の種類ごとにオペレーションパネルの画面に入力できる者を予め決めておくようにすれば，作業者がどのような作業を行っているかをパスワードによってある程度特定できる。オペレータはオペレータ用画面の入力だけを行うことができ，エンジニアはパスワードによりエンジニア用画面の入力も可能となる。
ところが，このような技術では，オペレータ，エンジニアといった作業者の種類（作業者分類）がわかるだけで，特定の作業者がどのような作業を行っているかを検出することはできない。この点，予め作業者ごとにＩＤを決めておき，作業者ＩＤを入力してからオペレーションパネルの画面を操作するようにしておけば，そのＩＤを有する作業者がどのような作業を行っているかを検出することができるとも考えられる。ところが，このような作業者ＩＤによる入力では，画面入力などの操作を行わない作業については作業の特定ができないという問題がある。
一方，作業者が作業を行う度に作業内容をオペレーションパネルの画面などに入力させて記録をとっておくようにすれば各作業者の作業を特定することもできる。ところが，すべての作業者が作業を行う度に作業内容を入力するのは煩わしく，却って作業効率が落ちるおそれもある。特に火災やトラブルなどの緊急時においては作業者はできる限り早くトラブル対応作業などに取りかかる必要があるため，作業者管理のために作業内容を入力させるのは適切ではない。
ところで，半導体製造工場などでは，クリーンルーム内外，装置室内外などの作業エリアが多数あり，その作業エリアによって作業がある程度特定できると考えられる。従って，本出願人は，作業者が居るエリアを特定できればその作業者の作業が特定できるとの考えに至った。本発明は，このような半導体製造工場など作業エリアによってある程度作業が特定できるような分野の特質に鑑みてなされたものである。
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，作業者が現在行っている作業の特定，新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所に指示することができ，各作業者の作業効率を高めることができる作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法を提供することにある。
【発明の開示】
上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。また，作業者が作業を行うごとに作業内容を入力する手間も省けるため，作業者の作業効率が向上する。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。
これによれば，新作業を行うことができる者として抽出された作業者に，さらにその新作業に最も適する作業者分類（例えばエンジニア，オペレータ，定期作業者など）の優先度を高くするように優先順位をつけて，優先順位の高い作業者から現在作業と新作業との優先度も比較しつつ，新作業を行う作業者を決定することができる。これにより，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けてもよい。
これによれば，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合に，作業の優先度の高い順に作業者を決定していくので，重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。また，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。これにより，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，前記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，前記作業場は，半導体製造工場としてもよく，その場合，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
上記課題を解決するために，本発明の第２の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，前記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けてもよい。これによれば，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，上記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，上記作業場は，半導体製造工場としてもよく，この場合に，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
上記課題を解決するために，本発明の第３の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断工程と，前記判断工程での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段における作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程と，前記作業者特定工程によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，前記作業者抽出工程により抽出された各作業者について，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与工程とを有し，前記作業者特定工程は，前記作業者抽出工程で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与工程によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程と，前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配工程は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段における作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程とを有するようにしてもよい。これによれば，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，所定時間ごとに，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶工程と，前記作業情報記憶工程によって記憶された作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，上記作業報告書作成工程は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成工程は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，前記作業場は，半導体製造工場としてもよく，この場合，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
なお，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定するようにしてもよい。これにより，特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易に検出することができ，その作業エリア情報から作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。
また，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定するようにしてもよい。これによっても，特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易に検出することができ，その作業エリア情報から作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。
また，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報（装置に対する作業情報であり，本明細書では「装置情報」ともいう）を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定するようにしてもよい。これによれば，作業者がいる作業エリア情報からある程度の作業内容（例えばトラブル対応処理，通常オペレーション作業などの作業分類）が検出でき，作業情報からさらに細かな作業内容（例えばトラブル対応処理の中でも，電気系トラブル対応処理，機械系トラブル対応処理）を検出できる。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の第１実施形態にかかる作業者管理システムの全体構成を示すブロック図である。
図２は同実施形態におけるクリーンルームの装置室内での作用を説明する図である。
図３は同実施形態にかかる作業者管理装置の構成を示すブロック図である。
図４は図３に示す各種データベースの例を示すブロック図である。
図５は同実施形態にかかる作業特定情報データベースの１例を示す図である。
図６は同実施形態にかかる作業優先度情報データベースの１例を示す図である。
図７は同実施形態にかかる作業スキル情報データベースの１例を示す図である。
図８は同実施形態にかかる作業者スキル情報データベースの１例を示す図である。
図９は同実施形態にかかるエラーコード情報データベースの１例を示す図である。
図１０は同実施形態にかかる検査結果情報データベースの１例を示す図である。
図１１は同実施形態にかかる新作業配分処理メインルーチンを示す流れ図である。
図１２は同実施形態にかかる作業者優先順位付与処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１３は同実施形態にかかる作業者決定処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１４は同実施形態にかかる作業者の作業検出処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１５は本発明の第２実施形態にかかる新作業配分処理メインルーチンを示す流れ図である。
図１６は同実施形態にかかる全作業の再配分処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１７は本発明の第３実施形態にかかる作業データベース作成処理を示す流れ図である。
図１８は同実施形態にかかる作業日報作成処理を示す流れ図である。
図１９は同実施形態で作成される作業日報の１例を示す図。
図２０は作業者管理システムの変形例を示すブロック図である。
【発明を実施するための最良の形態】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
（第１実施形態）
先ず，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第１実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は，作業場の１例としての半導体製造工場における作業者管理システムの全体構成を示す図で，１００は半導体製造工場であり，工場１００内の間取りの１例を示したものである。２００は作業者管理装置である。
半導体製造工場１００は，図１に示すように，例えば主として工場内のクリーンルームエリア１１０とクリーンルーム以外のエリア１２０（以下，「クリーンルーム外エリア」と称する）に分けられる。
さらに，クリーンルームエリア１１０は，例えば複数の装置室エリア１１２と装置室以外のエリア１１４（以下，「装置室外エリア」と称する）に分けられる。装置室エリア１１２には，プロセス装置，計測装置等の半導体製造装置１４０が配設されている。プロセス装置としては，例えばエッチング装置，ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学気相成長法）装置，コータデベロッパ，洗浄装置，ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨）装置，ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：物理気相成長法）装置，露光装置，イオンインプランタなどがある。計測装置としては，例えば膜厚装置，ＯＤＰ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｐｒｏｆｉｌｅｒ），ＦＴＩＲなどがある。なお，装置室エリア１１２には各装置室エリア１１２ごとに異なる種類の半導体製造装置１４０を配設してもよく，同じ装置室エリア１１２に複数種類の半導体製造装置１４０を配設してもよい。
上記装置室エリア１１２には，メンテナンスや定期点検などの作業を行う場合に装置室エリア１１２内の各半導体製造装置１４０を室内から制御等する室内制御部１１６を設け，この室内制御部１１６によりその装置室内の半導体製造装置１４０を制御する。装置室の外側から半導体製造装置１４０の制御等を行う室外制御部１１８を設けてもよい。また半導体製造装置１４０の制御部は各半導体製造装置１４０自体に設けて，その制御部からその半導体製造装置１４０を制御等するようにしてもよい。上記室内制御部１１６，室外制御部１１８，その他の制御部は，例えば操作パネルで構成する。これら各制御部１１６，１１８及び半導体製造装置１４０は作業者管理装置２００の入出力部２０８と通信回線等により電気的に接続しており，アクセス情報，装置の状態情報などの装置情報（装置に対する作業情報）の送受信ができるようになっている。上記各制御部により半導体製造装置などを制御する場合には，その作業に応じて制御部から作業者のＩＤ，パスワードを入力してアクセスする。これによりどの作業者が制御しているのかを特定できるようにする。
装置室外エリア１１４は，ここでは上記室外制御部１１８を設置するエリアを示す。なお，装置室外エリア１１４は必ずしも室外制御部１１８の設置エリアに限られず，装置室エリア１１２間に形成される通路などを含めてもよい。
クリーンルーム外エリア１２０は，クリーンルーム以外の工場内エリアを示す。例えば中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９（トイレなどを含んでいてもよい）などがある。
上記クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２，装置室外エリア１１４，クリーンルーム外エリア１２０における中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９の各エリアには，作業者を検出する作業者検出手段としての作業者検出センサ１３０が設けられている。作業者検出センサ１３０は作業者管理装置２００の入出力部２０８と通信ケーブル等により電気的に接続しており，作業者検出センサ１３０からのセンサ情報の送受信ができるようになっている。
上記作業者検出センサ１３０は，例えば各作業者が携帯する送信機の電磁波（又は電波）を受信するセンサで構成する。作業者検出センサ１３０は，例えば各エリアの天井や壁などに取付ける。
図２に作業者検出センサ１３０として例えば受信機１３４をクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２に設置した例を示す。受信機１３４は装置室エリア１１２の区画となる装置室１３２の天井に取り付ける。一方，作業者１３６は送信機１３８を常に携帯しながら半導体製造装置１４０などの作業を行う。作業者１３６が半導体製造装置１４０の例えばメンテナンス作業を行うべく，装置室１３２に入ると，天井に設けられた受信機１３４が作業者が携帯する送信機１３８からの電磁波を受信する。これにより，作業者１３６が装置室エリア１１２にいることを検出することができる。
この場合，上記送信機１３８は，作業者ごとに異なる周波数（無線周波数）の電磁波を送信させるようにしてもよい。そして各作業者と各作業者の周波数とを関連づけた周波数情報は周波数情報記憶手段の１例としての周波数情報データベースに記憶しておく。この周波数情報データベースは，図３に示す各種データベース２１０に含まれるようにしてもよい。この周波数情報データベースの周波数情報に基づいて，作業者検出センサ１３０から受信した電磁波の周波数によってその作業者検出センサ１３０を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができる。作業者管理装置２００は，各作業者検出センサ１３０からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した作業者検出センサ１３０を見つけ出し，この作業者検出センサ１３０が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。
また，上記送信機１３８は，各作業者を識別する識別情報としてのＩＤのデータを符号化し変調等により電磁波に変換して送信し，受信機１３４は送信機１３８から受信した電磁波を復調等して複合化したＩＤのデータをセンサ情報として作業者管理装置２００に送出するようにしてもよい。このＩＤは図８に示す作業者スキル情報データベース２５０に記憶されている。この作業者スキル情報データベース２５０のＩＤ（識別情報）に基づいて，作業者検出センサ１３０から受信したＩＤ（識別情報）によってその作業者検出センサ１３０を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができる。これにより，作業者管理装置２００は，各作業者検出センサ１３０からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者のＩＤ（識別情報）を受信した作業者検出センサ１３０を見つけ出し，この作業者検出センサ１３０が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。なお，送信機１３８は携帯電話，後述する携帯型情報端末などで構成してもよい。また，受信機１３４，送信機１３８はともに送受信機としてもよい。この場合の具体例は後述する。
また，作業者のＩＤ（識別情報）は，その作業者の持つ送信機１３８の記憶手段（図示しない）に予め記憶されていてもよく，またバーコード化されたＩＤを読取って送信機１３８の記憶手段に記憶されるようにしてもよい。具体的には例えば携帯電話や携帯型情報端末などで構成された送信機１３８に赤外線読取手段などのバーコード読取手段を設け，このバーコード読取手段によりバーコード化されたＩＤを読取って送信機１３８の記憶手段に記憶されるようにしてもよい。
（作業者管理装置）
作業者管理装置２００は，例えば上記作業者検出センサ１３０からのデータを入力し，この作業者検出センサ１３０からのデータに基づいて各作業者がいるエリアを検出する。作業者管理装置２００は，図３に示すように，ＣＰＵ（中央処理装置），ＲＯＭ（リード・オンリ・メモリ），ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）などのメモリを有する制御部２０２，各種情報を表示するディスプレイなどの表示部２０４，各種データを入力するための入力部２０６，上記作業者検出センサ１３０からのデータを入力する入出力部２０８，各種データベース２１０の他，図示はしないがプログラムなどを記憶するハードディスク装置などの記憶手段などを備える。上記制御部２０２のメモリは，ＣＰＵによってアクセスするためのプログラムやデータが格納されるもので例えば必要に応じて上記ハードディスク装置などの記録媒体に記憶したプログラムが読み出されて格納される。
上記各種データベース２１０としては，図４に示すように作業特定情報データベース２２０，作業優先度情報データベース２３０，作業スキル情報（作業技能情報）データベース２４０，作業者スキル（作業者技能情報）情報データベース２５０，トラブル情報（異常情報）データベース２６０などがある。
（作業特定情報データベース）
作業特定情報データベース２２０は，図５に示すようにエリア情報２２２と装置情報（装置に対する作業情報）２２４と作業内容２２６とを関連づけた作業特定情報を記憶している。この作業特定情報は，例えば作業者が行っている作業を特定するときに用いられる。具体的には作業者検出センサ１３０により検出した作業者のいるエリア情報と半導体製造装置１４０のアクセス情報などの作業特定情報とによりその作業者が現在行っている作業（現在作業）を特定する。
エリア情報２２２は，図１に示す工場の各エリアの情報である。本実施の形態では，クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２，装置室外エリア１１４，クリーンルーム外エリア１２０における中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９を各エリアとしている。
装置情報２２４は，例えば上記半導体製造装置１４０の室内制御部１１６，室外制御部１１８などの制御部へのアクセス情報，異常時に発生する半導体製造装置１４０のアラーム，ランプ点灯などの異常報知情報，メンテナンスが必要なときに発生する半導体製造装置１４０のアラーム，ランプ点灯などのメンテナンス報知情報などである。制御部へのアクセス情報としては例えば半導体製造装置１４０のメンテナンスなどの各作業を行うためのアクセスがあったか否かの情報である。作業内容２２６は，各エリアで行われる作業の種類である。
ここで，各エリアごとに判断される作業内容２２６の１例を図５を参照しながら説明する。先ずクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２における作業としては，トラブル対応作業（トラブル対応メンテナンス），定期作業が挙げられる。
上記装置室エリア１１２の作業内容におけるトラブル対応作業は，装置室エリア１１２内の半導体製造装置１４０にトラブルが発生したときにそのトラブルを解消するための作業である。このトラブル対応作業には装置の電気系統に異常があった場合の電気系トラブル対応作業，装置の機械系統に異常があった場合の機械系トラブル対応作業，エッチング処理などのプロセス過程に異常があった場合のプロセス系トラブルなどがある。半導体製造装置１４０のトラブルは，その装置の報知手段によるアラームなどによる報知，ランプ手段によるランプの点灯などによりトラブル発生の有無やトラブルの種類がわかるようになっている。
従って，作業者が装置室エリア１１２にいることが判断されたときに，さらに作業特定情報によってトラブルが発生していれば，その作業者がトラブル対処作業を行っていることを判断できる。このとき，作業特定情報のトラブルの種類（例えば電気系，機械系，プロセス系など）によってより詳細なトラブル対処作業が判断できる。なお，半導体製造装置１４０の報知（アラーム）があった場合には通常は作業者が室内制御部１１６などから当該半導体製造装置１４０にアクセスしてメンテナンスモードに切換え，チェック動作を行うなどの作業を行うので，そのときの作業者のアクセス情報からトラブル対処作業を判断してもよい。
上記装置室エリア１１２の作業内容における定期作業は，例えば半導体製造装置１４０に対して部品交換やウエットクリーニングを行う作業である。ウエットクリーニングは，作業者が装置室エリア１１２で半導体製造装置１４０の処理室を開けて薬液を用いて洗浄するものである。ここでは装置室エリア１１２での作業であるためクリーニングとしてウエットクリーニングを例としたが，必ずしもこれに限定されるものではない。なお，部品交換やウエットクリーニングを行う場合にも報知（アラーム）やランプの点灯などによるメンテナンス報知や室内制御部１１６などからメンテナンスモードに切換えて作業を行うために当該半導体製造装置１４０にアクセスする場合がある。このため，作業者が装置室エリア１１２にいると判断されたときに，これらのアクセス情報やメンテナンス報知情報などの作業特定情報によれば，その作業者が定期作業を行っていることを判断できる。
次いで，クリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４での作業としては，通常オペレーション作業，定期作業，その他の作業が挙げられる。通常オペレーション作業は，例えば室外制御部１１８から半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり，半導体ウエハが収納されたキャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業である。なお，キャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業は，装置室エリア１１２内で行われるが，その後に室外制御部１１８から半導体装置の生産指示などを行うので，装置室外エリア１１４での作業に含めている。但し，これらの作業を装置室エリア１１２で行う場合には装置室エリア１１２の作業としてもよい。
このように，通常オペレーション作業は，通常は室外制御部１１８などから半導体製造装置１４０にアクセスするので，作業者が装置室エリア１１２にいると判断されたときに，アクセス情報によれば，その作業者が通常オペレーション作業を行っていることを判断できる。装置室外エリア１１４における定期作業は，例えば半導体製造装置１４０に対するドライクリーニングやシーズニングなどがある。ドライクリーニングは，通常室外制御部１１８などから半導体製造装置１４０にアクセスし，必要情報を入力することにより半導体製造装置１４０の処理室などを洗浄するものである。ここでは装置室外エリア１１４での作業であるためクリーニングとしてドライクリーニングを例としたが，必ずしもこれに限定されるものではない。
装置室外エリア１１４におけるその他の装置室外作業（図６における後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる）は，半導体製造装置１４０の監視や周囲の清掃などがある。これらは装置室外エリア１１４に作業者がいると判断されたときに，アクセス情報，メンテナンス報知情報などの作業特定情報がなかった場合にその他の作業を行っていると判断できる。これらの作業をより詳細に判断するには，例えば作業者の携帯型情報端末から監視，清掃など作業内容を入力するようにしてもよい。この入力された作業内容の情報を作業特定情報として作業を判断してもよい。
続いて，クリーンルーム外エリア１２０の作業としては，中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８での作業がある。これらの作業はすべて図６における後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる。また休憩室エリア１２９では休憩やトイレの使用が考えられる。上記中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８での作業としては，例えば生産準備作業（工程管理作業としてもよい）がある。生産準備作業としては，中央監査室エリア１２２では例えば半導体装置の生産全体の監視や生産スケジュール（生産工程計画）の作業の変更などを行い，保管庫エリア１２６では部品の管理作業などを行い，オフィスエリア１２８では部品の発注その他の雑務を行う。用力室エリア１２４ではクリーンルーム内の空気清浄機等の故障等のトラブル対応作業や空気清浄機等の定期メンテナンス等の定期的作業などを行う。このように作業者がどのエリアにいるかによって行っている作業を判断できる。
なお，上述した例では，工場内にあるエリアについての作業を説明したが，工場外においてもクリーニングなどで使用する薬品を収容しておく薬品タンクへの受け入れ作業などの工場外エリアでの作業を行う。従って，作業者が工場外エリアにいることが検出された場合は工場外作業を行っていると判断できる。作業者が工場外エリアにいるか否かは例えば工場内に配設した作業者検出センサ１３０により作業者の居場所が検出できなかった場合に，その作業者が出勤していれば工場外エリアにいると判断してもよい。
このように，本実施の形態では，作業特定情報としてエリア情報２２２と装置情報２２４により作業者の現在作業を特定している。これは作業者がどこのエリアにいるかのエリア情報２２２によってその作業者が行っている現在作業が大まかに判断でき，大まかな作業の中のさらに詳細な作業はアクセス情報などの装置情報２２４から判断できるからである。但し，必ずしもこれに限られず，作業特定情報としてエリア情報２２２のみにより現在作業を特定してもよい。例えば工場内外のエリアをさらに細かく分けることにより，エリア情報２２２のみによってもある程度詳細に現在作業を特定することもできる。また，作業特定情報としてアクセス情報などの装置情報２２４のみにより現在作業を特定してもよい。
（作業優先度情報データベース）
作業優先度情報データベース２３０は，大きく分けた作業分類とその作業分類に属する作業の優先度（優先順位）情報である作業優先度情報を記憶している。例えば図６に示すように最も高い優先度である優先度１から最も低い優先度５まで優先度２３２と作業分類２３４からなる。
最も優先度の高い優先度１の作業分類は，非常時作業である。この非常時作業としては，火災が発生した際の消火作業，ガス検知器からの報知に基づいてガス漏れに対応するガス漏れ対応作業などが挙げられる。これらの作業の特定は，例えば各装置室エリア１１２に設けられた火災報知器などの災害用のセンサなどから判断する。
優先度２の作業分類は，装置室エリア１１２に設けられた半導体製造装置１４０のトラブルへ対応するトラブル対応作業である。このトラブル対応作業には，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２におけるトラブル対応作業が含まれる。このトラブル対応作業は，上述したように例えば電気系トラブル，機械系トラブル，プロセス系トラブルなどのトラブルに対応するメンテナンスなどがある。またトラブル対応作業には，用力室エリア１２４における空気清浄機などの電気系トラブル，機械系トラブルも含まれる。これらの作業は半導体装置の生産，品質を阻害し，歩留りの低下などに起因するものである。このためトラブルの対応作業は，非常時ではない通常時の作業のうちでは最も優先される。
優先度３の作業分類は，通常オペレーション作業である。この通常オペレーション作業は，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４における通常オペレーション作業が含まれる。この通常オペレーション作業は，例えば上述の半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり，半導体ウエハが収納されたキャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業である。通常時において原則として何らかのトラブルがない限り通常オペレーション作業が優先される。通常オペレーション作業は半導体装置の生産のための作業だからである。
優先度４の作業分類は，定期作業である。この定期作業は，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２における定期作業と，装置室外エリア１１４における定期作業の両方が含まれる。この定期作業としては，上述したように例えばウエットクリーニング，ドライクリーニング，部品交換などのメンテナンスが挙げられる。さらに用力室エリア１２４の空気清浄機などの定期的なメンテナンスも含まれる。これらは原則として半導体装置の生産を中止してまで行うものではないので，本実施の形態では通常オペレーション作業よりも優先度を低くしている。但し，必ずしもこれに限られることはなく，優先度に拘らず例えば半導体装置の生産過程において全体又は前後の生産スケジュールを判断して最も適当と思われるところで作業を行うようにしてもよい。この場合，どのタイミングで定期作業を入れるかは工程管理の技能（スキル）を有する作業者が全体又は前後の生産スケジュールを判断して決定し，上記優先度をタイミングに応じて適宜変更するようにしてもよい。
優先度５の作業分類は，その他の作業である。ここでいうその他の作業には，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４におけるその他の装置室外作業の他，クリーンルーム外エリア１２０の中央監査室エリア１２２の作業，保管庫エリア１２６の作業，オフィスエリア１２８の作業，休憩室エリア１２９の作業，及び工場外エリアの作業が含まれる。従って，ここでいうその他の作業としては，例えば部品発注作業，半導体装置の生産スケジューリング作業の調整，半導体製造装置１４０の監視，清掃などが含まれる。
なお，本実施の形態では作業の優先度を５つに分けたが，必ずしもこれに限られることはなく，６つ以上の優先度にしてもよく，４つ以下の優先度にしてもよい。また作業の分け方もこれに限られることはない。
（作業スキル情報データベース）
作業スキル情報データベース２４０は，作業自体に必要なスキル情報（作業技能情報）を記憶するものであり，作業者の持つスキル情報（作業者技能情報）を記憶する後述の作業者スキル情報データベース２５０と異なる。作業スキル情報データベース２４０は，具体的には図７に示すように作業２４２と大きく分けた作業者分類２４４とを関連づける作業スキル情報を記憶している。
上記作業２４２は，さらに作業分類２４６とその作業分類２４６に含まれる作業内容２４８とに分けられる。ここでの作業分類２４６は図６に示す作業分類２３４に対応している。この作業分類２４６ごと又はその作業分類に属する作業内容２４８ごとにその作業を行うのに最適な作業者分類２４４を関連づけている。
先ず，火災に対する消火作業などの非常時対応作業は，作業者分類２４４に関係なく，全員で行うのが最適である。トラブル対応作業は，エンジニアが行うのが最適である。さらにトラブル対応作業のうちの電気系トラブル対応作業は電気系エンジニア，機械系トラブル対応作業は機械系エンジニア，プロセス系トラブル対応作業はプロセス系エンジニアがそれぞれ行うのが最適である。これは，作業者がエンジニアの場合にはそれぞれの作業者が専門分野を有しているため，専門に応じたエンジニアが作業にあたることが最適と考えられるからである。つまり，必ず専門のエンジニアが行わなければならないという意味ではなく，専門以外のエンジニアであってもそのトラブルに対応できるエンジニアがいればその作業者が作業を行ってもよい。
通常オペレーション作業は，半導体製造装置１４０に半導体装置の生産をさせるために上記制御部１１６等を操作する作業などである。このため，オペレータである作業者が行うのが最適である。なお，通常オペレーション作業は必ずオペレータが行わなければならないという意味ではない。例えばエンジニアは通常，オペレータとしてのスキルも有するので，エンジニアが通常オペレーションを行ってもよい。
定期作業は，例えばクリーニング，部品交換などのメンテナンス作業である。従って，定期作業者が行うのが最適である。なお，この定期作業についても上記と同様に必ず定期作業者が行わなければならないという意味ではない。例えばエンジニア，オペレータは通常，定期作業者としてのスキルも有するので，エンジニアが通常オペレーションを行ってもよい。
その他の作業は，例えば半導体装置の生産スケジューリングなどの作業である。従って，その他の作業は，その作業に対応できるスキルを有する，その他の作業者が行うのが最適である。
（作業者スキル情報データベース）
作業者スキル情報データベース２５０は，図８に示すように作業者の持つ作業者スキル情報（作業者技能情報）を記憶する。この作業者スキル情報は，例えば作業者の整理番号２５１，氏名２５２，ＩＤ２５３，パスワード２５４，所属２５５，作業者分類２５６，作業２５７などの項目で記憶される。なお，これらの項目の他に例えば作業者のシフト（時間），半導体製造装置の運転スケジュールなどを記憶してもよい。また，作業分類ごとにその作業を行う際の単価を記憶しておいてもよい。この作業の単価は例えばある工場に別の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場合に利用できる。
整理番号２５１は作業者の通し番号であり，氏名２５２とＩＤ２５３は作業者を特定するものである。
上記所属２５５にはその作業者が所属する工場名，事業所名，会社名等を記憶する。例えば作業者が本発明にかかる作業者管理システムを備える工場の作業者である場合には，所属２５５にその工場名を記憶する。また，本発明にかかる作業者管理システムを備える工場に別の工場に所属する作業者が派遣されている場合には，所属２５５にはその所属する別の工場名を記憶する。さらに後述するように半導体製造装置１４０を販売する会社（販売会社）とその半導体製造装置１４０を購入する顧客である会社（購入会社）がある場合，販売会社の従業員が作業者として販売会社の工場に派遣されている場合には，所属２５５にはその販売会社名を記憶する。
作業者分類２５６には，その作業者の図７に示す作業者分類を記憶する。その作業者がオペレータのスキルを有する場合にはオペレータとし，その作業者が定期作業を行うスキルを有する場合には定期作業者とする。また作業者がエンジニアであれば機械系エンジニアのようにその専門まで記載することが好ましい。
上記作業２５７には，その作業者がスキルを有する作業を記憶する。上記作業２５７は，図７に示す作業２４２に対応している。具体的には作業２５７は作業分類と作業内容に分けられる。作業者がその作業を行うことができるか否かは，例えば○，△，×で表す。○はその作業者が行うことができる作業であり，△はその作業者が行うのは難しいができないことはない作業であり，×はその作業者が行うことができない作業である。
なお，作業２４２には，作業者自らの専門の作業のみならず，実際に行うことができる作業を記憶してもよい。例えばその作業者の作業者分類が機械系エンジニアであれば，自らの専門に属する機械系トラブル対応作業が○となるが，一般にエンジニアであれば通常オペレーション作業を行うこともできるので，通常オペレーション作業も○にする。また，その作業者が電気系エンジニアであっても，自らの専門ではない機械系トラブル対応作業を行うことができる場合がある。このような場合には電機系トラブル対応作業のみならず，機械系トラブル対応作業を○にしてもよい。
（トラブル情報データベース）
トラブル情報（異常情報）データベース２６０は，半導体製造装置１４０のエラーコードによるトラブル情報を記憶するエラーコード情報データベース２６２と，半導体装置の検査結果によるトラブル情報を記憶する検査結果情報データベース２６４とを有する。
エラーコード情報データベース２６２は，図９に示すように半導体製造装置１４０にトラブル（異常）があったときのエラーコード，そのエラーコードの内容，そのエラーに対応できるスキル（技能）を有する作業者分類を関連づけたエラーコード情報を記憶する。例えばエラーコード「ＡＡＢＢ０１」は，半導体製造装置１４０として例えば高周波電力を印加して処理室内に発生させたプラズマによりエッチング処理を行うプラズマエッチング装置における処理室内の高周波反射波が上限値を越えた場合のエラーである。この場合にはプラズマエッチング装置に設けられた高周波ジェネレータや整合器（マッチャー）などがエラー対象部位となる。従ってこのエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル（技能）を有する作業者分類は電気系エンジニアである。これに対してエラーコード「ＣＣＤＤ０１」は，ポンプの冷却水の流量低下によるエラーである。この場合にはポンプユニットなどがエラー対象部位となる。従ってこのエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル（技能）を有する作業者分類は機械系エンジニアである。
検査結果情報データベース２６４は，図１０に示すようにプラズマエッチング装置などの半導体製造装置１４０によって製造された半導体装置に検査異常があったとき検査結果，その検査結果による異常に対応できるスキル（技能）を有する作業者分類を関連づけた検査結果情報を記憶する。例えば半導体製造装置１４０によって製造されたウエハなどは，検査装置により様々な検査が行われる。これらの検査結果によるトラブルは，主としてプロセス系エンジニアがトラブル対応作業を行う。このようなトラブル情報データベース２６０を利用すれば，トラブルの種類に応じてそのトラブル対応作業を行う最適な作業者分類を決定できる。
（作業者管理装置が行う処理）
次に，作業者管理装置２００が行う新作業分配処理についての具体例を図１１〜図１４を参照しながら説明する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
本実施形態における新作業分配処理は，新たな作業が発生した場合に，作業者の現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか又は新たな作業を行わせるかを判断し（判断手段），前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す（指示手段）ものである。新作業の作業内容及び作業者のスキル，現在行っている作業と新作業との優先度などを考慮しつつ，最適な作業者を選択して指示を与える処理である。
新作業分配処理は，具体的には図１１に示すように先ずステップＳ１１０にて新たな作業が発生したか否かを判断する。例えば半導体製造装置１４０にエラー情報の他，報知（アラーム）情報などから判断し，新作業を特定する。
例えば半導体製造装置１４０にトラブルが発生した場合は，作業者管理装置２００は半導体製造装置１４０からアラームを受信するとともにエラーコードを含むエラー情報を受信する。トラブル情報データベース２６０のうちのエラーコード情報データベース２６２を利用すれば，上記エラー情報のエラーコードに基づいてその新作業がどのようなトラブルに対する作業（電気系トラブル対応作業，機械系トラブル対応作業）かを特定することができる。
また半導体製造装置１４０のうちの検査装置からの検査結果を受信して，その検査結果に異常があった場合には，トラブル情報データベース２６０のうちの検査結果情報データベース２６４を利用すれば，新作業がプロセス系トラブル対応作業であることを特定でき，さらにそのトラブルの詳細も取得できる。
また半導体製造装置１４０のロットが終了した場合は，ロット終了の通知がある。これにより新作業はＦＯＵＰの移動等，次ロットに対する準備作業などの定期作業，通常オペレーション作業などであることが特定できる。半導体製造装置１４０からクリーニングなどの通知があった場合は，新作業が定期作業であることが特定できる。
次いでステップＳ１２０にてその新作業を行うことができる作業者を抽出する（作業者抽出手段の例）。例えば作業スキル情報データベース２４０によりその新作業を行うのに最適な作業者分類を検索し，その作業者分類を有する作業者を作業者スキル情報データベース２５０に基づいて抽出する。また，その新作業を行うのに最適な作業者分類に属する作業者でなくても，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄に○と△がついている作業者は新作業を行うことができる。従ってこれらの作業者も抽出の対象とする。
なお，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄では，例えば電気系エンジニアは電気系トラブル対応作業には必ず○がついているように，作業者分類の専門の作業には必ず○がついている。また専門以外の作業でも○がついている作業者がいる場合があり，専門以外の作業でもできないことはない場合には△がついている。従って，作業者分類によらず，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄のみに基づいて○と△がついている作業者だけを抽出するようにしてもよい。
続いて，ステップＳ１３０にて作業者に優先順位を付与する（優先順位付与手段）。作業スキル及び作業者スキルに基づいて最も適した作業者から優先順位をつける。例えば作業者スキル情報データベース２５０の作業の欄に○がついている作業者の優先順位を高くする。その作業が専門の作業者を優先的に作業に当らせることができるようにするためである。なお，作業者に優先順位をつける処理の詳細は後述する。
次にステップＳ１４０にて作業を行う作業者を決定する。作業者の決定は，例えば優先順位の高い作業者から順に，その作業者が現在行っている作業と新たな作業との優先度に基づいて行う。なお，この作業者を決定する処理の詳細は後述する。
次いでステップＳ１５０にてステップＳ１４０で決定された作業者に新作業を実行させる指示を出す（指示手段）。このとき例えばその作業者が持つ携帯型情報端末に新作業を実行するように指示を出すようにしてもよい。
続いてステップＳ１６０にてその作業者の現在作業があるかを判断する。ステップＳ１４０の作業者決定処理において現在作業を検出しているので（図１３に示すステップＳ３２０），その結果を利用して判断する。このようにしたのは，新作業を指示する作業者に現在作業があった場合には，その現在作業について代りの作業者を選択して指示を出す必要があるためである。ステップＳ１６０にてその作業者に現在作業があると判断した場合には，ステップＳ１７０にて現在作業を新作業としてステップＳ１２０の処理に戻り，その作業を代りに行うものを決定する。またステップＳ１６０にてその作業者に現在作業がないと判断した場合には，この処理を終了する。
ここで，上記ステップＳ１３０における作業者の優先順位付与処理（作業者優先順位付与手段）の１例を図１２に示すサブルーチンを参照しながら説明する。ステップＳ２１０にて新作業とされる作業について作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄に○がついていることを第１のキーとして，そのような作業者の優先順位を高くするようにソートする。続いてステップＳ２２０にて新作業の作業者分類を第２のキーとしてこの作業者分類に一致する作業分類の作業者についての優先順位を最も高くするようにソートする。
こうして，作業者スキル情報データベース２５０の作業の欄に○がついており，かつ新作業の作業者分類が一致する作業者が最も優先順位が高くなる。例えばその新作業の作業スキルを有する作業者の作業者分類が電気系エンジニアの場合には，抽出された作業者の中に機械系エンジニアが含まれていても，電気系エンジニアの優先順位の方が高くなる。これにより，ステップＳ１４０にて作業者を決定する際に，新作業に最も適切な作業者から順番に新作業を担当させてよいか否かを判断することができる。これにより，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができる。
次に，ステップＳ１５０にて作業者を決定する処理の１例を図１３に示すサブルーチンを参照しながら説明する。先ずステップＳ３１０にて図１３に示すステップＳ１４０で得られた作業者の優先順位ｋ＝１とし，優先順位の高い順に作業者決定処理を行う。次いでステップＳ３２０にて作業者の現在行っている作業（現在作業）を検出する（現在作業特定手段の例）。作業者の現在作業の検出は例えばその作業者がどのエリアにいるかなどに基づいて行う。
この作業者の作業を検出する処理については例えば図１４に示すサブルーチンのように行う（現在作業特定手段の例）。先ずステップＳ４１０にてその作業者が存在するエリア情報を検出する。これによりある程度の作業（作業分類）が検出できる。具体的にはクリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２などの上記各エリアのうち，作業者がどのエリアにいるかを作業者検出センサ１３０からのセンサ情報に基づいて検出する。例えばその作業者の周波数が検出された作業者検出センサ１３０の設置エリアを作業者のいるエリアとする。その作業者の周波数が，クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２に設置された作業者検出センサ１３０で検出されれば，その作業者は装置室エリア１１２にいると判断され，装置室外エリア１１４に設置された作業者検出センサ１３０で検出されればその作業者は装置室外エリア１１４にいると判断される。
次に，ステップＳ４２０にて半導体製造装置１４０へのアクセス情報などの装置情報を検出する。これにより，さらに詳しい作業を検出できる。半導体製造装置１４０や制御部１１６，１１８などからアクセスした装置情報は，作業者管理装置２００により受信される。このアクセス情報からＩＤとパスワードによりその作業者を特定し，その作業者がどのような作業を行っているかを判断する。また半導体製造装置１４０の報知（アラーム）情報などの装置情報も作業者管理装置２００により受信される。この報知情報からも作業を検出できる。
続いてステップＳ４３０にて上記エリア情報及び上記装置情報により，図５に示す作業特定情報データベース２２０の作業特定情報に基づいて，その作業者の現在作業を特定する。例えばエリア情報としてクリーンルームエリア１１０における装置室エリア１１２にその作業者がいると判断され，さらに装置情報として報知情報，トラブル対応アクセスがあったと判断された場合には，現在作業の作業内容としてトラブル対応作業を行っていると判断する。
次に，図１３に示すステップＳ３３０にてその作業者の現在作業があるかを判断する。ステップＳ３２０により作業が特定された場合には現在作業ありと判断し，作業が特定されない場合は現在作業なしと判断する。ステップＳ３３０にて現在作業がないと判断した場合には，ステップＳ４００にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する（作業者特定手段）。
これに対してステップＳ３３０にて現在作業ありと判断された場合は，ステップＳ３４０にて作業優先度情報データベース２３０の作業優先度情報に基づいて現在作業の優先度を取得し，ステップＳ３５０にて新作業の優先度を取得する。次いでステップＳ３６０にて現在作業の優先度（Ｕ１）の方が現在優先度（Ｕ２）よりも高いか否か又は優先度が同じか否かを判断する。ステップＳ３５０にて現在作業の優先度の方が現在優先度よりも高いと判断した場合又は優先度が同じと判断した場合は，ステップＳ３７０にて優先順位ｋをインクリメント（ｋ＝ｋ＋１）する。続いて，ステップＳ３８０にて優先順位が付与されたすべての作業者について処理を行ったか否かを判断する。例えば抽出され優先順位が付与された作業者数をＮとしておき，優先順位ｋ＝Ｎ＋１になったか否かで判断する。ステップＳ３８０にて未だ優先順位の付与されたすべての作業者について処理していないと判断した場合，例えば優先順位ｋ＝Ｎ＋１になっていないと判断した場合は，ステップＳ３２０の処理に戻って次の優先順位の作業者について処理を行う。
上記ステップＳ３５０にてその作業者における現在作業の優先度の方が現在優先度よりも低いと判断した場合には，ステップＳ４００にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する。こうして決定された作業者には図１１に示すステップＳ１５０により新作業を行うよう指示が与えられる。
このように検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記ステップＳ３８０にて優先順位の付与されたすべての作業者について処理したと判断した場合，例えば優先順位ｋ＝Ｎ＋１になったと判断した場合は，ステップＳ３９０にてエラー処理を行う。エラー処理としては例えば該当する作業者が見つからない旨の表示を表示部２０４に行う。この場合には例えばその作業を行うことが可能な作業者にその旨を通知するようにしてもよい。上記のような処理によれば，優先度の高い処理ほど作業者が見つかる場合が多いから，作業者が見つからない処理は優先度の低い処理になる可能性が高い。従って，例えば時間をずらして上記の処理を再度行うようにしてもよい。
なお，ステップＳ３９０のエラー処理では，作業スキル情報データベース２４０の作業スキル情報に基づいて作業者が見つからなかった作業からその作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類を検索し，上記作業，作業者分類，日時などをログファイルなどにより記憶するようにしてもよい。例えば作業者が見つからなかった作業が機械系トラブル対応作業の場合，その作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類としては機械系エンジニアが検索できるので，ログファイルには機械系トラブル対応作業，機械系エンジニアなどを記憶する。これにより，その工場では機械系エンジニアが不足している可能性があることがわかる。
このように，上記ログファイルは，その工場における作業者の増減が必要か否かの判断材料にすることができる。例えば，エラー処理が頻繁に起る場合には作業者が不足しており，どの作業者分類の作業者が不足しているかも推測できる。また，エラー処理が起らない程度に作業者を削減することにより余分な作業者を削減することもできる。これにより，その工場に真に必要な作業者分類の作業者を必要な数だけ配属させることができるので，作業者一人あたりの作業の効率化を図ることができるだけでなく，作業者数の効率化を図ることもできる。
このような処理によれば，例えば新作業として機械系トラブル対応作業が発生し，その新作業を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏，オペレータのＣ氏であったとすると，これらの作業者の優先順位は，機械系エンジニアのＢ氏，電気系エンジニアのＡ氏，オペレータのＣ氏の順となり，この順に処理される。この場合，Ｂ氏の現在作業がなければ，新作業の作業者はＢ氏に決定される。
またＢ氏に現在作業があった場合であっても，その現在作業が例えば通常オペレーション作業であった場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によればＢさんの現在作業である通常オペレーション作業よりも新作業である機械系トラブル対応作業の方が優先度が高いので，この場合も新作業の作業者はＢ氏に決定される。
この場合，Ｂ氏の現在作業である通常オペレーション作業は，新作業として処理が繰返される。このときの作業者の優先順位は，オペレータのＣ氏，電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏の順となり，この順に処理される。このとき，オペレータのＣ氏に現在作業がなければ，新作業の作業者はＣ氏に決定される。
またＣ氏に現在作業があっても，その現在作業が定期作業であった場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によればＣ氏の現在作業である定期作業よりも新作業である通常オペレーション作業の方が優先度が高いので，この場合も新作業の作業者はそのＣ氏に決定される。
ところが，Ｃ氏の現在作業が別のエリアでの通常オペレーション作業の場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によれば現在作業と新作業とは優先度に優劣がないため，Ｃ氏には現在作業を続行してもらい。電気系エンジニアのＡ氏の現在作業がなければ，新作業の作業者はＡ氏に決定される。
（第２実施形態）
次に，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第２実施形態を図面を参照して説明する。なお，第２実施形態においては，図１〜図１０までの構成は同様であるためその詳細な説明は省略する。また第１実施形態と同様の部分については同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。
第２実施形態における作業者管理装置２００が行う新作業分配処理についての他の具体例を図１５，図１６を参照しながら説明する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
第２実施形態における新作業配分処理において，第１実施形態における図１１に示す場合と異なるのは，新作業が発生するとこの新作業とすべての作業者の現在作業とを含めた全作業について，各作業の優先度，作業スキル，作業者スキルなどを考慮しつつ，最適な作業者が作業を行うことができるように作業の再配分を行う点である。
具体的には，図１５に示すように先ずステップＳ５１０にて新たな作業が発生したか否かを判断する。上記ステップＳ３１０と同様に例えば半導体製造装置１４０にトラブルが発生した場合のエラー情報，報知情報などから判断する。次いでステップＳ５２０にてすべての作業者の現在作業を検出する。この作業者の現在作業の検出処理は，例えば図１４に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返して全作業者について行う。
次にステップＳ５３０にて新作業及び現在作業を含めた全作業についての再分配を行う（作業再配分手段）。このように，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。なお，作業の再分配の処理の詳細は後述する。
続いてステップＳ５４０にて各作業者に対してその作業者に分配された作業を行うように指示を出す。例えば各作業者が持つ携帯型情報端末にそれぞれ該当する作業を実行するように指示を出すようにしてもよい。
次いでステップＳ５５０にて未分配の作業が残っているかを判断する。ステップＳ５５０にて未分配の作業が残っていると判断した場合はステップＳ５６０にて対応可能な作業者に対して未分配の作業があるので対応するようにとの通知をして処理を終了する。ステップＳ５５０にて未分配の作業が残っていないと判断した場合はそのまま処理を終了する。
ここで，ステップＳ５３０における作業再分配処理（作業再配分手段）の１例を図１６に示すサブルーチンを参照しながら説明する。先ずステップＳ６１０にて新作業と現在作業を含めたすべての作業について，作業優先度情報データベース２３０の作業優先度情報に基づいて優先度の高い順にソートする。このときの作業の優先順位をＷとする。続いてステップＳ６２０にて優先順位Ｗ＝１とし優先順位の最も高い作業から以降の処理により最適な作業者を決定していく。
次いでステップＳ６３０にてその作業を行うことができる作業者を抽出する。続いてステップＳ６４０にて作業者に優先順位をつける。この優先順位付与の処理は，例えば図１２に示すサブルーチンにより行う。続いて，ステップＳ６５０にて作業者を決定する。この作業者決定の処理は，例えば図１３に示すサブルーチンにより行う。
次に，ステップＳ６６０にて作業の優先順位Ｗをインクリメントし（Ｗ＝Ｗ＋１），ステップＳ６７０にて該当するすべての作業について処理したかを判断する。こうして，原則としてすべての作業について作業者が決定される。但し，作業によっては適切な作業者が見つからない場合もある。この場合は，図１５に示すステップＳ５５０，５６０により未分配の作業として作業が可能な作業者にその旨を通知する。
このような処理によれば，例えば新作業が発生すると，全作業者の現在作業を検出し，新作業を含めたすべての作業について作業優先度情報データベース２３０に基づいて優先順位を付与する。優先順位の高い作業からその作業を行う作業者を決定していく。例えばすべての作業の優先順位が機械系トラブル対応作業，通常オペレーション作業であったとすると，先ず機械系トラブル対応作業から作業者を決定される。
最初の作業である機械系トラブル対応作業については，その作業を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏，オペレータのＣ氏であったとすると，これらの作業者の優先順位は，機械系エンジニアのＢ氏，電気系エンジニアのＡ氏，オペレータのＣ氏の順となり，この順に処理される。この場合，Ｂ氏の現在作業がなければ，機械系トラブル対応作業の作業者はＢ氏に決定される。
次に，通常オペレーション作業について作業者が決定される。このときの作業者の優先順位は，オペレータのＣ氏，電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏の順となり，この順に処理される。このとき，オペレータのＣ氏に現在作業がなければ，新作業の作業者はＣ氏に決定される。
このように，新作業が発生した場合に，新作業を含めた全作業の再配分を行い，その際，作業の優先度の高い順に作業者を決定していくので，重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。また，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。これにより，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業配分の最適化を作業の効率化を図ることができる。
（第３実施形態）
次に，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第３実施形態を図面を参照して説明する。第３実施形態においては，図１〜図１０までの構成は同様であるためその詳細な説明は省略する。また第１実施形態と同様の部分については同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
第３実施形態における作業者管理装置２００が行う作業情報記憶手段の１例としての作業データベースの作成処理について図１６を参照しながら説明する。作業データベースは，後述する各作業者の作業日報を作成するための元になるデータベースである。従って，作業データベースには作業者ごとに所定時間ごとに行った作業を記憶しておく。従って，この作業データベースの作成処理は，作業日報に記載する時間に応じて所定時間ごとに実行する。例えば１時間ごとの作業日報を作成する場合には，上記作業データベースの作成処理を１時間ごとに実行し，３０分ごとの作業日報を作成する場合には，上記作業データベースの作成処理を３０分ごとに実行する。
作業データベースの作成処理は，先ずステップＳ７１０にてすべての作業者が現在行っている作業（現在作業）を検出する。各作業者の現在作業の検出処理は，例えば図１４に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返して全作業者について行う。ステップＳ７２０にて各作業者ごとに検出した現在作業を記憶する。こうして，所定時間ごとに作業者の現在作業を検出して記憶していけば，各作業者ごとに作業データベースが作成される。この作業データベースは，例えば図３に示す各種データベース２１０に含まれるようにしてもよい。
次に，作業者管理装置２００が行う作業報告書作成手段の１例としての作業日報作成処理について図１８を参照しながら説明する。作業日報作成処理は，作業者ごとに作業日報を自動的に作成するものである。
先ずステップＳ８１０にて作業者の特定を行う。作業日報を作成する作業者を特定する。ここでは操作画面に作業者を入力するようにして特定の作業者の作業日報を作成できるようにしてもよく，また各作業者を自動的に次々と特定していき，すべての作業者について作業日報を作成できるようにしてもよい。
次いでステップＳ８２０にて図１７に示す処理により作成された作業データベースに基づいてその作業者の作業日報データを作成する。作業日報データはその作業者の該当日における作業を抽出して作成する。
次にステップＳ８３０にて作業日報を印刷する。例えば作業者管理装置２００に接続したプリンタにより，作業日報を印刷して出力してこの処理を終了する。こうして作成された作業日報の１例を図１９に示す。この作業日報は，所定時時間として１時間ごとに図１７に示す作業データベース作成処理を行って作業者の現在作業を検出した場合の例である。
なお，この作業日報は，例えばある工場に別の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場合にも利用できる。作業者スキル情報データベース２５０に作業単価を記憶している場合には，各作業の作業単価も検索して印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
また，作業データベースから月ごとのデータを取出せば，作業月報も作成して印刷可能である。このように，本実施の形態によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業データベースを作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
このような本発明によれば，作業者が現在行っている作業を容易に特定することができるため，例えば新たな作業が発生した場合でも現在の作業と新作業との優先度を考慮しつつ，最も適切な作業者を選択して作業を行わせることができる。このように，各作業者を適材適所に配置させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
なお，上述した実施形態においては，図１に示すように作業者検出センサ１３０として各エリア１１０，１２０に配設する例えば受信機１３４は，作業者管理装置２００に通信ケーブル等によって接続する場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，通信ケーブル等の代りにネットワークにより接続するようにしてもよい。また，図２に示す受信機１３４は，送受信機能を有する送受信機であってもよく，送信機１３８は送受信機能を有する携帯型情報端末であってもよい。この場合，携帯型情報端末に臭気センサなど各種センサを設け，これらセンサの検出値に基づいて異常判断を行うようにしてもよい。
具体的には，図２０に示すように，例えば装置室エリア１１２にネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続機能付送受信機３２０を配設する。ネットワーク接続機能付送受信機３２０はネットワーク３００を介して作業者管理装置２００に接続する。作業者管理装置２００はネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続装置３４０を介してネットワーク３００に接続する。
作業者が携帯する図２に示すような送信機１３８は，送受信機能を有する携帯型情報端末３６０により構成してもよい。なお，このような携帯型情報端末３６０としては例えばＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ａｓｓｉｓｔａｎｔ），ノート型コンピュータ，ペン入力可能なコンピュータ（例えばタブレットＰＣ）などが挙げられる。
携帯型情報端末３６０は，異常検知のために音や臭いなどを検知する臭気センサ，高周波センサ，低周波センサなどの各種センサ３６２の他，制御部３６４，変復調部３６６，通信インタフェース３６８などを備える。変復調部３６６は，通信インタフェース３６８を介して送信するデータを例えば無線信号に変調したり，通信インタフェース３６８を介して受信したデータを復調したりするものである。
ネットワーク３００は，インターネットなどの公衆回線網であってもよく，またＷＡＮ（Ｗｉｄｅ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ），ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ），ＩＰ−ＶＰＮ（ＩｎｔｅｒｎｅｔＰｒｏｔｏｃｏｌ−Ｖｉｒｔｕａｌ Ｐｒｉｖａｔｅ Ｎｅｔｗｏｒｋ）などの閉鎖回線網であってもよい。また接続媒体は，ＦＤＤＩ（Ｆｉｂｅｒ Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｄａｔａ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）などによる光ファイバケーブル，Ｅｔｈｅｒｎｅｔによる同軸ケーブル又はツイストペアケーブル，もしくはＩＥＥＥ８０２．１１ｂなどによる無線など，有線無線を問わず，衛星ネットワークなどであってもよい。
上記ネットワーク接続機能付送受信機３２０は，例えば無線ルータ機能を有するように構成し，携帯型情報端末３６０の通信インタフェース３６８は無線ＬＡＮカードなどで構成することにより，ネットワーク接続機能付送受信機３２０と携帯型情報端末３６０との間は無線ＬＡＮによりデータを送受信可能としてもよい。
携帯型情報端末３６０の各種センサ３６２は，音については例えば人間が感知できないような周波数，周期などを検出するものであってもよい。また各種センサ３６２として臭気センサを設ける場合には，例えばセンサ表面に臭い成分が吸着することにより検出するものであってもよい。臭気センサは例えばガス探知センサで構成し，ＣＯ，Ｃｌ等のハロゲンガスなど人体に有害なガスを検出するようにしてもよい。また，例えば半導体製造装置の処理室を排気する排気ポンプの油の蒸気から油の摩擦度，粘度を検出するようにしてもよい。
具体的には各種センサ３６２としては，オシロスコープ，スペクトラムアナライザー，ファーストフーリエトンスレッシュホルドーション（ＦＦＴ），振動解析器，振動水晶子センサ，半導体センサ，光センサなどが挙げられる。携帯型情報端末３６０は各種センサ３６２の切換スイッチ（図示しない）を備え，作業者は切換スイッチにより所望のセンサを選択して使用することができるようにしてもよい。
なお，携帯型情報端末３６０に設けられた入力手段から作業者が入力したデータ（外部環境情報）をセンサデータとしてもよい。外部環境情報としては例えば作業者が計測器を用いて計測したデータやオペレーションパネルにより表示されるデータなど様々なデータをセンサデータとして入力してもよい。入力手段は，キー入力，タッチパネル入力など公知の入力手段であってもよい。
携帯型情報端末３６０の制御部は３６４は，例えば各種センサ３６２からの検出値に基づいて半導体製造装置などの異常判断を行う。例えば音や臭いが検出されると異常が発生していると判断してもよく，また異常か否かの閾値を記憶部（図示しない）などに記憶しておき，その閾値を越える音や臭いが検出されると，異常が発生していると判断する。これにより，例えば図９に示すようなエラーが発生する前に異常を判断することができる。
そして，異常が発生していると判断した場合には，携帯型情報端末３６０は各種センサ３６２のうち該当するセンサからのデータをネットワーク３００を介して作業者管理装置２００へ送信する。作業者管理装置２００では，携帯型情報端末３６０から受信したセンサデータに基づいて，例えば図１１に示すステップＳ１１０，図１５に示すステップＳ５１０の新作業が発生したかを判断する。
具体的には図９に示すようなエラーが発生する前の兆候を事前情報として記憶する例えばエラー事前情報データベース（図示しない）を各種データベース２１０に設け，エラー事前情報データベースに記憶した兆候に基づいて総合的に作業を特定し，新作業が発生したものと判断する。この場合，作業者管理装置２００は，異常と判断された半導体製造装置１４０にアクセスして，報知手段によるアラームなどによる報知，ランプ手段によるランプの点灯などを行わせるようにしてもよい。
エラー事前情報データベースに記憶される具体例は以下の通りである。エラー事前情報データベースには，例えば真空側エラー事前情報として，リークレート増大（兆候１），ベースプレッシャ上昇（兆候２），大気側エラー事前情報として異音（兆候３），振動増大（兆候４）が記憶されている。リークレート増大（兆候１）は例えば半導体製造装置の処理室に設けられたＯリングの劣化により大気が処理室内に流入する場合の兆候である。ベースプレッシャ上昇（兆候２）は例えば処理室内を真空引きする真空ポンプの疲労や異物の堆積で真空引き能力が不足する場合の兆候である。異音（兆候３）は例えば真空ポンプの劣化に加えてベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のバランス不良を生じている場合の兆候である。振動増大（兆候４）は例えば異物の堆積，真空ポンプの劣化などに加えてベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のバランス不良を生じている場合の兆候である。兆候１，２は，例えば作業者によって携帯型情報端末３６０に入力された外部環境情報に基づいて判断することができる。兆候３，４は各種センサ３６２から検出されたセンサデータに基づいて判断することができる。
このような兆候がエラー事前情報データベースに記憶されている場合，例えば作業者によって携帯型情報端末３６０に入力された外部環境情報に基づき，兆候１のみであると判断され，兆候３，４がない場合には，真空ポンプは正常の可能性が高く，チャンバリーク（処理室内にリークが発生）している可能性が高いので，チャンバリークの発生に基づくメンテナンスを行うという新作業が発生したものと判断する。従って，図１１，図１５によりその新作業を行うように特定された作業者に新作業を行うように指示を出す。具体的には例えば作業者管理装置２００は，ネットワーク３００を介してその作業者の携帯型情報端末３６０に指示を送信する。
なお，図２０に示す携帯型情報端末３６０で検出されたり，入力されたりしたセンサデータは，その都度作業者管理装置２００に送信されるようにしてもよく，また図１４に示すステップＳ４１０のエリア情報を検出する際に，作業者の識別情報とともに作業者管理装置２００に送信されるようにしてもよい。そして，作業者管理装置２００で異常か否かの判断を行い，新作業の発生を判断するようにしてもよい。
また，上記ネットワーク接続機能付送受信機３２０，携帯型情報端末３６０の送受信機能は，無線による送受信機能に限られず，赤外線による送受信機能など様々な送受信機能を適用することができる。さらに，携帯型情報端末３６０に，ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）を設け，ＧＰＳに基づいて作業者の位置を検出するようにしてもよい。
以上，添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれぱ，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば，本発明は，半導体製造工場を所有する企業の作業者を管理する作業者管理システムとして適用してもよく，また半導体製造工場にこれを所有する企業とは異なる企業からの作業者を派遣した場合にその作業者を含めて管理する作業者管理システムとして適用してもよい。特に，半導体製造装置を購入又は使用する企業である客先に，その半導体製造装置を製造又は販売する企業の従業員を作業者として派遣して半導体製造装置のメンテナンスや半導体製造などの作業を行わせる場合に，その作業者を管理する作業者管理システムとして適用してもよい。これにより，派遣にかかる作業者一人当りの作業効率を最大限に高めることができ，その派遣した工場の特質に応じた作業者分類，作業者数を決定することができる。
これにより，半導体製造装置の製造又は販売元の企業にとっては，半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業に対して派遣する作業者を必要最小限にとどめることができる。一方，半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業にとっては，半導体製造装置の製造又は販売元の企業から派遣された作業者にかかる人件費を必要最小限に抑えることができる。
【産業上の利用の可能性】
本発明は，作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法に適用可能である。
【符号の説明】
１００ 半導体製造工場
１１０ クリーンルームエリア
１１２ 装置室エリア
１１４ 装置室外エリア
１１６ 室内制御部
１１８ 室外制御部
１２０ クリーンルーム外エリア
１２２ 中央監査室エリア
１２４ 用力室エリア
１２６ 保管庫エリア
１２８ オフィスエリア
１２９ 休憩室エリア
１３０ 作業者検出センサ
１３２ 装置室
１３４ 受信機
１３６ 作業者
１３８ 送信機
１４０ 半導体製造装置
２００ 作業者管理装置
２０２ 制御部
２０４ 表示部
２０６ 入力部
２０８ 入出力部
２１０ 各種データベース
２２０ 作業特定情報データベース
２３０ 作業優先度情報データベース
２４０ 作業スキル情報データベース
２５０ 作業者スキル情報データベース
２６０ トラブル情報データベース
２６２ エラーコード情報データベース
２６４ 検査結果情報データベース
３００ ネットワーク
３２０ ネットワーク接続機能付送受信機
３４０ ネットワーク接続装置
３６０ 携帯型情報端末
３６２ 各種センサ
３６４ 制御部
３６６ 変復調部
３６８ 通信インタフェース
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【技術分野】
本発明は，作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法に関する。
【背景技術】
例えば半導体製造工場などの作業場では，半導体製造装置等が設置されたクリーンルームの装置室を含め，様々なエリアで様々な作業が発生する。例えばクリーンルームでは装置室外では半導体装置の生産のための入力作業，装置室内では半導体製造装置のトラブル対応作業，またクリーンルーム外でも例えば保管庫の部品管理作業などが発生する。これら作業によっては，その作業を行うのに必要なスキル（技能）も異なるため，様々なスキル（技能）を有する作業者が必要となる場合も多い。
ところが，このような様々なスキルを有する作業者を管理するのは容易ではなく，作業の分配効率が悪いと作業者一人あたりの作業効率も低下する。従って，いかに作業者を適材適所に配置して各作業者の作業効率を高めるかが課題となる。そのためには，必要なタイミングで，その作業に最も適した作業者を選択して指示を出すのが理想的であるが，実際には困難がある。
例えば，作業者が作業を行っている間に別の新たな作業が発生した場合には，その作業者に新たな作業を行う指示を出すことはできない。この場合，作業者の現在行っている作業を把握できなければ，その現在の作業を中断させて新たな作業を行ってよいかの判断もできない。また，代りの作業者を探して新たな作業を行わせればよいとも考えられる。ところが，新たな作業によってはそれを行うのに必要なスキル（技能）を有する作業者の手が空いているとは限らない。従って，先ず作業者が現在行っている作業を特定する必要がある。
しかしながら，半導体製造工場などでは上述したように作業の種類が多く，各作業者が行っている作業を特定することは極めて困難である。作業の特定を行うために，例えば特開平８−１０７０９６に示すようにパスワードによって作業の種類ごとにオペレーションパネルの画面に入力できる者を予め決めておくようにすれば，作業者がどのような作業を行っているかをパスワードによってある程度特定できる。オペレータはオペレータ用画面の入力だけを行うことができ，エンジニアはパスワードによりエンジニア用画面の入力も可能となる。
ところが，このような技術では，オペレータ，エンジニアといった作業者の種類（作業者分類）がわかるだけで，特定の作業者がどのような作業を行っているかを検出することはできない。この点，予め作業者ごとにＩＤを決めておき，作業者ＩＤを入力してからオペレーションパネルの画面を操作するようにしておけば，そのＩＤを有する作業者がどのような作業を行っているかを検出することができるとも考えられる。ところが，このような作業者ＩＤによる入力では，画面入力などの操作を行わない作業については作業の特定ができないという問題がある。
一方，作業者が作業を行う度に作業内容をオペレーションパネルの画面などに入力させて記録をとっておくようにすれば各作業者の作業を特定することもできる。ところが，すべての作業者が作業を行う度に作業内容を入力するのは煩わしく，却って作業効率が落ちるおそれもある。特に火災やトラブルなどの緊急時においては作業者はできる限り早くトラブル対応作業などに取りかかる必要があるため，作業者管理のために作業内容を入力させるのは適切ではない。
ところで，半導体製造工場などでは，クリーンルーム内外，装置室内外などの作業エリアが多数あり，その作業エリアによって作業がある程度特定できると考えられる。従って，本出願人は，作業者が居るエリアを特定できればその作業者の作業が特定できるとの考えに至った。本発明は，このような半導体製造工場など作業エリアによってある程度作業が特定できるような分野の特質に鑑みてなされたものである。
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，作業者が現在行っている作業の特定，新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所に指示することができ，各作業者の作業効率を高めることができる作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法を提供することにある。
【発明の開示】
上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。また，作業者が作業を行うごとに作業内容を入力する手間も省けるため，作業者の作業効率が向上する。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。
これによれば，新作業を行うことができる者として抽出された作業者に，さらにその新作業に最も適する作業者分類（例えばエンジニア，オペレータ，定期作業者など）の優先度を高くするように優先順位をつけて，優先順位の高い作業者から現在作業と新作業との優先度も比較しつつ，新作業を行う作業者を決定することができる。これにより，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けてもよい。
これによれば，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合に，作業の優先度の高い順に作業者を決定していくので，重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。また，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。これにより，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。
このような本発明の作業者管理システムによれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，前記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，前記作業場は，半導体製造工場としてもよく，その場合，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
上記課題を解決するために，本発明の第２の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，前記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けてもよい。これによれば，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。
このような本発明の作業者管理装置によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，上記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，上記作業場は，半導体製造工場としてもよく，この場合に，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
上記課題を解決するために，本発明の第３の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断工程と，前記判断工程での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，作業者のいるエリア（場所）を検出し，そのエリアと関連づけられた作業からその作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。このため例えば新作業が発生した場合に，その新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段における作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程と，前記作業者特定工程によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，前記作業者抽出工程により抽出された各作業者について，各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与工程とを有し，前記作業者特定工程は，前記作業者抽出工程で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与工程によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うようにしてもよい。これによれば，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ，作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程と，前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。
また，上記作業再分配工程は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段における作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程とを有するようにしてもよい。これによれば，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業者を適材適所に指示することができ，作業配分の最適化，作業の効率化を図ることができる。
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，所定時間ごとに，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶工程と，前記作業情報記憶工程によって記憶された作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供される。
このような本発明の作業者管理方法によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
また，上記作業報告書作成工程は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成工程は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成するようにしてもよい。また，前記作業場は，半導体製造工場としてもよく，この場合，前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることとしてもよい。これによれば，例えば派遣作業者が行った作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に，作業報告書に各作業の作業単価，合計額も印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
なお，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定するようにしてもよい。これにより，特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易に検出することができ，その作業エリア情報から作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。
また，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定するようにしてもよい。これによっても，特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易に検出することができ，その作業エリア情報から作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。
また，上記作業者管理システム，作業者装置，作業者方法における作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報（装置に対する作業情報であり，本明細書では「装置情報」ともいう）を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定するようにしてもよい。これによれば，作業者がいる作業エリア情報からある程度の作業内容（例えばトラブル対応処理，通常オペレーション作業などの作業分類）が検出でき，作業情報からさらに細かな作業内容（例えばトラブル対応処理の中でも，電気系トラブル対応処理，機械系トラブル対応処理）を検出できる。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の第１実施形態にかかる作業者管理システムの全体構成を示すブロック図である。
図２は同実施形態におけるクリーンルームの装置室内での作用を説明する図である。
図３は同実施形態にかかる作業者管理装置の構成を示すブロック図である。
図４は図３に示す各種データベースの例を示すブロック図である。
図５は同実施形態にかかる作業特定情報データベースの１例を示す図である。
図６は同実施形態にかかる作業優先度情報データベースの１例を示す図である。
図７は同実施形態にかかる作業スキル情報データベースの１例を示す図である。
図８は同実施形態にかかる作業者スキル情報データベースの１例を示す図である。
図９は同実施形態にかかるエラーコード情報データベースの１例を示す図である。
図１０は同実施形態にかかる検査結果情報データベースの１例を示す図である。
図１１は同実施形態にかかる新作業配分処理メインルーチンを示す流れ図である。
図１２は同実施形態にかかる作業者優先順位付与処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１３は同実施形態にかかる作業者決定処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１４は同実施形態にかかる作業者の作業検出処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１５は本発明の第２実施形態にかかる新作業配分処理メインルーチンを示す流れ図である。
図１６は同実施形態にかかる全作業の再配分処理サブルーチンを示す流れ図である。
図１７は本発明の第３実施形態にかかる作業データベース作成処理を示す流れ図である。
図１８は同実施形態にかかる作業日報作成処理を示す流れ図である。
図１９は同実施形態で作成される作業日報の１例を示す図。
図２０は作業者管理システムの変形例を示すブロック図である。
【発明を実施するための最良の形態】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
（第１実施形態）
先ず，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第１実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は，作業場の１例としての半導体製造工場における作業者管理システムの全体構成を示す図で，１００は半導体製造工場であり，工場１００内の間取りの１例を示したものである。２００は作業者管理装置である。
半導体製造工場１００は，図１に示すように，例えば主として工場内のクリーンルームエリア１１０とクリーンルーム以外のエリア１２０（以下，「クリーンルーム外エリア」と称する）に分けられる。
さらに，クリーンルームエリア１１０は，例えば複数の装置室エリア１１２と装置室以外のエリア１１４（以下，「装置室外エリア」と称する）に分けられる。装置室エリア１１２には，プロセス装置，計測装置等の半導体製造装置１４０が配設されている。プロセス装置としては，例えばエッチング装置，ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学気相成長法）装置，コータデベロッパ，洗浄装置，ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨）装置，ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：物理気相成長法）装置，露光装置，イオンインプランタなどがある。計測装置としては，例えば膜厚装置，ＯＤＰ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｐｒｏｆｉｌｅｒ），ＦＴＩＲなどがある。なお，装置室エリア１１２には各装置室エリア１１２ごとに異なる種類の半導体製造装置１４０を配設してもよく，同じ装置室エリア１１２に複数種類の半導体製造装置１４０を配設してもよい。
上記装置室エリア１１２には，メンテナンスや定期点検などの作業を行う場合に装置室エリア１１２内の各半導体製造装置１４０を室内から制御等する室内制御部１１６を設け，この室内制御部１１６によりその装置室内の半導体製造装置１４０を制御する。装置室の外側から半導体製造装置１４０の制御等を行う室外制御部１１８を設けてもよい。また半導体製造装置１４０の制御部は各半導体製造装置１４０自体に設けて，その制御部からその半導体製造装置１４０を制御等するようにしてもよい。上記室内制御部１１６，室外制御部１１８，その他の制御部は，例えば操作パネルで構成する。これら各制御部１１６，１１８及び半導体製造装置１４０は作業者管理装置２００の入出力部２０８と通信回線等により電気的に接続しており，アクセス情報，装置の状態情報などの装置情報（装置に対する作業情報）の送受信ができるようになっている。上記各制御部により半導体製造装置などを制御する場合には，その作業に応じて制御部から作業者のＩＤ，パスワードを入力してアクセスする。これによりどの作業者が制御しているのかを特定できるようにする。
装置室外エリア１１４は，ここでは上記室外制御部１１８を設置するエリアを示す。なお，装置室外エリア１１４は必ずしも室外制御部１１８の設置エリアに限られず，装置室エリア１１２間に形成される通路などを含めてもよい。
クリーンルーム外エリア１２０は，クリーンルーム以外の工場内エリアを示す。例えば中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９（トイレなどを含んでいてもよい）などがある。
上記クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２，装置室外エリア１１４，クリーンルーム外エリア１２０における中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９の各エリアには，作業者を検出する作業者検出手段としての作業者検出センサ１３０が設けられている。作業者検出センサ１３０は作業者管理装置２００の入出力部２０８と通信ケーブル等により電気的に接続しており，作業者検出センサ１３０からのセンサ情報の送受信ができるようになっている。
上記作業者検出センサ１３０は，例えば各作業者が携帯する送信機の電磁波（又は電波）を受信するセンサで構成する。作業者検出センサ１３０は，例えば各エリアの天井や壁などに取付ける。
図２に作業者検出センサ１３０として例えば受信機１３４をクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２に設置した例を示す。受信機１３４は装置室エリア１１２の区画となる装置室１３２の天井に取り付ける。一方，作業者１３６は送信機１３８を常に携帯しながら半導体製造装置１４０などの作業を行う。作業者１３６が半導体製造装置１４０の例えばメンテナンス作業を行うべく，装置室１３２に入ると，天井に設けられた受信機１３４が作業者が携帯する送信機１３８からの電磁波を受信する。これにより，作業者１３６が装置室エリア１１２にいることを検出することができる。
この場合，上記送信機１３８は，作業者ごとに異なる周波数（無線周波数）の電磁波を送信させるようにしてもよい。そして各作業者と各作業者の周波数とを関連づけた周波数情報は周波数情報記憶手段の１例としての周波数情報データベースに記憶しておく。この周波数情報データベースは，図３に示す各種データベース２１０に含まれるようにしてもよい。この周波数情報データベースの周波数情報に基づいて，作業者検出センサ１３０から受信した電磁波の周波数によってその作業者検出センサ１３０を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができる。作業者管理装置２００は，各作業者検出センサ１３０からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した作業者検出センサ１３０を見つけ出し，この作業者検出センサ１３０が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。
また，上記送信機１３８は，各作業者を識別する識別情報としてのＩＤのデータを符号化し変調等により電磁波に変換して送信し，受信機１３４は送信機１３８から受信した電磁波を復調等して複合化したＩＤのデータをセンサ情報として作業者管理装置２００に送出するようにしてもよい。このＩＤは図８に示す作業者スキル情報データベース２５０に記憶されている。この作業者スキル情報データベース２５０のＩＤ（識別情報）に基づいて，作業者検出センサ１３０から受信したＩＤ（識別情報）によってその作業者検出センサ１３０を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができる。これにより，作業者管理装置２００は，各作業者検出センサ１３０からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者のＩＤ（識別情報）を受信した作業者検出センサ１３０を見つけ出し，この作業者検出センサ１３０が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。なお，送信機１３８は携帯電話，後述する携帯型情報端末などで構成してもよい。また，受信機１３４，送信機１３８はともに送受信機としてもよい。この場合の具体例は後述する。
また，作業者のＩＤ（識別情報）は，その作業者の持つ送信機１３８の記憶手段（図示しない）に予め記憶されていてもよく，またバーコード化されたＩＤを読取って送信機１３８の記憶手段に記憶されるようにしてもよい。具体的には例えば携帯電話や携帯型情報端末などで構成された送信機１３８に赤外線読取手段などのバーコード読取手段を設け，このバーコード読取手段によりバーコード化されたＩＤを読取って送信機１３８の記憶手段に記憶されるようにしてもよい。
（作業者管理装置）
作業者管理装置２００は，例えば上記作業者検出センサ１３０からのデータを入力し，この作業者検出センサ１３０からのデータに基づいて各作業者がいるエリアを検出する。作業者管理装置２００は，図３に示すように，ＣＰＵ（中央処理装置），ＲＯＭ（リード・オンリ・メモリ），ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）などのメモリを有する制御部２０２，各種情報を表示するディスプレイなどの表示部２０４，各種データを入力するための入力部２０６，上記作業者検出センサ１３０からのデータを入力する入出力部２０８，各種データベース２１０の他，図示はしないがプログラムなどを記憶するハードディスク装置などの記憶手段などを備える。上記制御部２０２のメモリは，ＣＰＵによってアクセスするためのプログラムやデータが格納されるもので例えば必要に応じて上記ハードディスク装置などの記録媒体に記憶したプログラムが読み出されて格納される。
上記各種データベース２１０としては，図４に示すように作業特定情報データベース２２０，作業優先度情報データベース２３０，作業スキル情報（作業技能情報）データベース２４０，作業者スキル（作業者技能情報）情報データベース２５０，トラブル情報（異常情報）データベース２６０などがある。
（作業特定情報データベース）
作業特定情報データベース２２０は，図５に示すようにエリア情報２２２と装置情報（装置に対する作業情報）２２４と作業内容２２６とを関連づけた作業特定情報を記憶している。この作業特定情報は，例えば作業者が行っている作業を特定するときに用いられる。具体的には作業者検出センサ１３０により検出した作業者のいるエリア情報と半導体製造装置１４０のアクセス情報などの作業特定情報とによりその作業者が現在行っている作業（現在作業）を特定する。
エリア情報２２２は，図１に示す工場の各エリアの情報である。本実施の形態では，クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２，装置室外エリア１１４，クリーンルーム外エリア１２０における中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８，休憩室エリア１２９を各エリアとしている。
装置情報２２４は，例えば上記半導体製造装置１４０の室内制御部１１６，室外制御部１１８などの制御部へのアクセス情報，異常時に発生する半導体製造装置１４０のアラーム，ランプ点灯などの異常報知情報，メンテナンスが必要なときに発生する半導体製造装置１４０のアラーム，ランプ点灯などのメンテナンス報知情報などである。制御部へのアクセス情報としては例えば半導体製造装置１４０のメンテナンスなどの各作業を行うためのアクセスがあったか否かの情報である。作業内容２２６は，各エリアで行われる作業の種類である。
ここで，各エリアごとに判断される作業内容２２６の１例を図５を参照しながら説明する。先ずクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２における作業としては，トラブル対応作業（トラブル対応メンテナンス），定期作業が挙げられる。
上記装置室エリア１１２の作業内容におけるトラブル対応作業は，装置室エリア１１２内の半導体製造装置１４０にトラブルが発生したときにそのトラブルを解消するための作業である。このトラブル対応作業には装置の電気系統に異常があった場合の電気系トラブル対応作業，装置の機械系統に異常があった場合の機械系トラブル対応作業，エッチング処理などのプロセス過程に異常があった場合のプロセス系トラブルなどがある。半導体製造装置１４０のトラブルは，その装置の報知手段によるアラームなどによる報知，ランプ手段によるランプの点灯などによりトラブル発生の有無やトラブルの種類がわかるようになっている。
従って，作業者が装置室エリア１１２にいることが判断されたときに，さらに作業特定情報によってトラブルが発生していれば，その作業者がトラブル対処作業を行っていることを判断できる。このとき，作業特定情報のトラブルの種類（例えば電気系，機械系，プロセス系など）によってより詳細なトラブル対処作業が判断できる。なお，半導体製造装置１４０の報知（アラーム）があった場合には通常は作業者が室内制御部１１６などから当該半導体製造装置１４０にアクセスしてメンテナンスモードに切換え，チェック動作を行うなどの作業を行うので，そのときの作業者のアクセス情報からトラブル対処作業を判断してもよい。
上記装置室エリア１１２の作業内容における定期作業は，例えば半導体製造装置１４０に対して部品交換やウエットクリーニングを行う作業である。ウエットクリーニングは，作業者が装置室エリア１１２で半導体製造装置１４０の処理室を開けて薬液を用いて洗浄するものである。ここでは装置室エリア１１２での作業であるためクリーニングとしてウエットクリーニングを例としたが，必ずしもこれに限定されるものではない。なお，部品交換やウエットクリーニングを行う場合にも報知（アラーム）やランプの点灯などによるメンテナンス報知や室内制御部１１６などからメンテナンスモードに切換えて作業を行うために当該半導体製造装置１４０にアクセスする場合がある。このため，作業者が装置室エリア１１２にいると判断されたときに，これらのアクセス情報やメンテナンス報知情報などの作業特定情報によれば，その作業者が定期作業を行っていることを判断できる。
次いで，クリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４での作業としては，通常オペレーション作業，定期作業，その他の作業が挙げられる。通常オペレーション作業は，例えば室外制御部１１８から半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり，半導体ウエハが収納されたキャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業である。なお，キャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業は，装置室エリア１１２内で行われるが，その後に室外制御部１１８から半導体装置の生産指示などを行うので，装置室外エリア１１４での作業に含めている。但し，これらの作業を装置室エリア１１２で行う場合には装置室エリア１１２の作業としてもよい。
このように，通常オペレーション作業は，通常は室外制御部１１８などから半導体製造装置１４０にアクセスするので，作業者が装置室エリア１１２にいると判断されたときに，アクセス情報によれば，その作業者が通常オペレーション作業を行っていることを判断できる。装置室外エリア１１４における定期作業は，例えば半導体製造装置１４０に対するドライクリーニングやシーズニングなどがある。ドライクリーニングは，通常室外制御部１１８などから半導体製造装置１４０にアクセスし，必要情報を入力することにより半導体製造装置１４０の処理室などを洗浄するものである。ここでは装置室外エリア１１４での作業であるためクリーニングとしてドライクリーニングを例としたが，必ずしもこれに限定されるものではない。
装置室外エリア１１４におけるその他の装置室外作業（図６における後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる）は，半導体製造装置１４０の監視や周囲の清掃などがある。これらは装置室外エリア１１４に作業者がいると判断されたときに，アクセス情報，メンテナンス報知情報などの作業特定情報がなかった場合にその他の作業を行っていると判断できる。これらの作業をより詳細に判断するには，例えば作業者の携帯型情報端末から監視，清掃など作業内容を入力するようにしてもよい。この入力された作業内容の情報を作業特定情報として作業を判断してもよい。
続いて，クリーンルーム外エリア１２０の作業としては，中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８での作業がある。これらの作業はすべて図６における後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる。また休憩室エリア１２９では休憩やトイレの使用が考えられる。上記中央監査室エリア１２２，用力室エリア１２４，保管庫エリア１２６，オフィスエリア１２８での作業としては，例えば生産準備作業（工程管理作業としてもよい）がある。生産準備作業としては，中央監査室エリア１２２では例えば半導体装置の生産全体の監視や生産スケジュール（生産工程計画）の作業の変更などを行い，保管庫エリア１２６では部品の管理作業などを行い，オフィスエリア１２８では部品の発注その他の雑務を行う。用力室エリア１２４ではクリーンルーム内の空気清浄機等の故障等のトラブル対応作業や空気清浄機等の定期メンテナンス等の定期的作業などを行う。このように作業者がどのエリアにいるかによって行っている作業を判断できる。
なお，上述した例では，工場内にあるエリアについての作業を説明したが，工場外においてもクリーニングなどで使用する薬品を収容しておく薬品タンクへの受け入れ作業などの工場外エリアでの作業を行う。従って，作業者が工場外エリアにいることが検出された場合は工場外作業を行っていると判断できる。作業者が工場外エリアにいるか否かは例えば工場内に配設した作業者検出センサ１３０により作業者の居場所が検出できなかった場合に，その作業者が出勤していれば工場外エリアにいると判断してもよい。
このように，本実施の形態では，作業特定情報としてエリア情報２２２と装置情報２２４により作業者の現在作業を特定している。これは作業者がどこのエリアにいるかのエリア情報２２２によってその作業者が行っている現在作業が大まかに判断でき，大まかな作業の中のさらに詳細な作業はアクセス情報などの装置情報２２４から判断できるからである。但し，必ずしもこれに限られず，作業特定情報としてエリア情報２２２のみにより現在作業を特定してもよい。例えば工場内外のエリアをさらに細かく分けることにより，エリア情報２２２のみによってもある程度詳細に現在作業を特定することもできる。また，作業特定情報としてアクセス情報などの装置情報２２４のみにより現在作業を特定してもよい。
（作業優先度情報データベース）
作業優先度情報データベース２３０は，大きく分けた作業分類とその作業分類に属する作業の優先度（優先順位）情報である作業優先度情報を記憶している。例えば図６に示すように最も高い優先度である優先度１から最も低い優先度５まで優先度２３２と作業分類２３４からなる。
最も優先度の高い優先度１の作業分類は，非常時作業である。この非常時作業としては，火災が発生した際の消火作業，ガス検知器からの報知に基づいてガス漏れに対応するガス漏れ対応作業などが挙げられる。これらの作業の特定は，例えば各装置室エリア１１２に設けられた火災報知器などの災害用のセンサなどから判断する。
優先度２の作業分類は，装置室エリア１１２に設けられた半導体製造装置１４０のトラブルへ対応するトラブル対応作業である。このトラブル対応作業には，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２におけるトラブル対応作業が含まれる。このトラブル対応作業は，上述したように例えば電気系トラブル，機械系トラブル，プロセス系トラブルなどのトラブルに対応するメンテナンスなどがある。またトラブル対応作業には，用力室エリア１２４における空気清浄機などの電気系トラブル，機械系トラブルも含まれる。これらの作業は半導体装置の生産，品質を阻害し，歩留りの低下などに起因するものである。このためトラブルの対応作業は，非常時ではない通常時の作業のうちでは最も優先される。
優先度３の作業分類は，通常オペレーション作業である。この通常オペレーション作業は，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４における通常オペレーション作業が含まれる。この通常オペレーション作業は，例えば上述の半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり，半導体ウエハが収納されたキャリア（ＦＯＵＰ）をセットしたり，移動したりする作業である。通常時において原則として何らかのトラブルがない限り通常オペレーション作業が優先される。通常オペレーション作業は半導体装置の生産のための作業だからである。
優先度４の作業分類は，定期作業である。この定期作業は，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室エリア１１２における定期作業と，装置室外エリア１１４における定期作業の両方が含まれる。この定期作業としては，上述したように例えばウエットクリーニング，ドライクリーニング，部品交換などのメンテナンスが挙げられる。さらに用力室エリア１２４の空気清浄機などの定期的なメンテナンスも含まれる。これらは原則として半導体装置の生産を中止してまで行うものではないので，本実施の形態では通常オペレーション作業よりも優先度を低くしている。但し，必ずしもこれに限られることはなく，優先度に拘らず例えば半導体装置の生産過程において全体又は前後の生産スケジュールを判断して最も適当と思われるところで作業を行うようにしてもよい。この場合，どのタイミングで定期作業を入れるかは工程管理の技能（スキル）を有する作業者が全体又は前後の生産スケジュールを判断して決定し，上記優先度をタイミングに応じて適宜変更するようにしてもよい。
優先度５の作業分類は，その他の作業である。ここでいうその他の作業には，図５に示すクリーンルームエリア１１０の装置室外エリア１１４におけるその他の装置室外作業の他，クリーンルーム外エリア１２０の中央監査室エリア１２２の作業，保管庫エリア１２６の作業，オフィスエリア１２８の作業，休憩室エリア１２９の作業，及び工場外エリアの作業が含まれる。従って，ここでいうその他の作業としては，例えば部品発注作業，半導体装置の生産スケジューリング作業の調整，半導体製造装置１４０の監視，清掃などが含まれる。
なお，本実施の形態では作業の優先度を５つに分けたが，必ずしもこれに限られることはなく，６つ以上の優先度にしてもよく，４つ以下の優先度にしてもよい。また作業の分け方もこれに限られることはない。
（作業スキル情報データベース）
作業スキル情報データベース２４０は，作業自体に必要なスキル情報（作業技能情報）を記憶するものであり，作業者の持つスキル情報（作業者技能情報）を記憶する後述の作業者スキル情報データベース２５０と異なる。作業スキル情報データベース２４０は，具体的には図７に示すように作業２４２と大きく分けた作業者分類２４４とを関連づける作業スキル情報を記憶している。
上記作業２４２は，さらに作業分類２４６とその作業分類２４６に含まれる作業内容２４８とに分けられる。ここでの作業分類２４６は図６に示す作業分類２３４に対応している。この作業分類２４６ごと又はその作業分類に属する作業内容２４８ごとにその作業を行うのに最適な作業者分類２４４を関連づけている。
先ず，火災に対する消火作業などの非常時対応作業は，作業者分類２４４に関係なく，全員で行うのが最適である。トラブル対応作業は，エンジニアが行うのが最適である。さらにトラブル対応作業のうちの電気系トラブル対応作業は電気系エンジニア，機械系トラブル対応作業は機械系エンジニア，プロセス系トラブル対応作業はプロセス系エンジニアがそれぞれ行うのが最適である。これは，作業者がエンジニアの場合にはそれぞれの作業者が専門分野を有しているため，専門に応じたエンジニアが作業にあたることが最適と考えられるからである。つまり，必ず専門のエンジニアが行わなければならないという意味ではなく，専門以外のエンジニアであってもそのトラブルに対応できるエンジニアがいればその作業者が作業を行ってもよい。
通常オペレーション作業は，半導体製造装置１４０に半導体装置の生産をさせるために上記制御部１１６等を操作する作業などである。このため，オペレータである作業者が行うのが最適である。なお，通常オペレーション作業は必ずオペレータが行わなければならないという意味ではない。例えばエンジニアは通常，オペレータとしてのスキルも有するので，エンジニアが通常オペレーションを行ってもよい。
定期作業は，例えばクリーニング，部品交換などのメンテナンス作業である。従って，定期作業者が行うのが最適である。なお，この定期作業についても上記と同様に必ず定期作業者が行わなければならないという意味ではない。例えばエンジニア，オペレータは通常，定期作業者としてのスキルも有するので，エンジニアが通常オペレーションを行ってもよい。
その他の作業は，例えば半導体装置の生産スケジューリングなどの作業である。従って，その他の作業は，その作業に対応できるスキルを有する，その他の作業者が行うのが最適である。
（作業者スキル情報データベース）
作業者スキル情報データベース２５０は，図８に示すように作業者の持つ作業者スキル情報（作業者技能情報）を記憶する。この作業者スキル情報は，例えば作業者の整理番号２５１，氏名２５２，ＩＤ２５３，パスワード２５４，所属２５５，作業者分類２５６，作業２５７などの項目で記憶される。なお，これらの項目の他に例えば作業者のシフト（時間），半導体製造装置の運転スケジュールなどを記憶してもよい。また，作業分類ごとにその作業を行う際の単価を記憶しておいてもよい。この作業の単価は例えばある工場に別の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場合に利用できる。
整理番号２５１は作業者の通し番号であり，氏名２５２とＩＤ２５３は作業者を特定するものである。
上記所属２５５にはその作業者が所属する工場名，事業所名，会社名等を記憶する。例えば作業者が本発明にかかる作業者管理システムを備える工場の作業者である場合には，所属２５５にその工場名を記憶する。また，本発明にかかる作業者管理システムを備える工場に別の工場に所属する作業者が派遣されている場合には，所属２５５にはその所属する別の工場名を記憶する。さらに後述するように半導体製造装置１４０を販売する会社（販売会社）とその半導体製造装置１４０を購入する顧客である会社（購入会社）がある場合，販売会社の従業員が作業者として販売会社の工場に派遣されている場合には，所属２５５にはその販売会社名を記憶する。
作業者分類２５６には，その作業者の図７に示す作業者分類を記憶する。その作業者がオペレータのスキルを有する場合にはオペレータとし，その作業者が定期作業を行うスキルを有する場合には定期作業者とする。また作業者がエンジニアであれば機械系エンジニアのようにその専門まで記載することが好ましい。
上記作業２５７には，その作業者がスキルを有する作業を記憶する。上記作業２５７は，図７に示す作業２４２に対応している。具体的には作業２５７は作業分類と作業内容に分けられる。作業者がその作業を行うことができるか否かは，例えば○，△，×で表す。○はその作業者が行うことができる作業であり，△はその作業者が行うのは難しいができないことはない作業であり，×はその作業者が行うことができない作業である。
なお，作業２４２には，作業者自らの専門の作業のみならず，実際に行うことができる作業を記憶してもよい。例えばその作業者の作業者分類が機械系エンジニアであれば，自らの専門に属する機械系トラブル対応作業が○となるが，一般にエンジニアであれば通常オペレーション作業を行うこともできるので，通常オペレーション作業も○にする。また，その作業者が電気系エンジニアであっても，自らの専門ではない機械系トラブル対応作業を行うことができる場合がある。このような場合には電機系トラブル対応作業のみならず，機械系トラブル対応作業を○にしてもよい。
（トラブル情報データベース）
トラブル情報（異常情報）データベース２６０は，半導体製造装置１４０のエラーコードによるトラブル情報を記憶するエラーコード情報データベース２６２と，半導体装置の検査結果によるトラブル情報を記憶する検査結果情報データベース２６４とを有する。
エラーコード情報データベース２６２は，図９に示すように半導体製造装置１４０にトラブル（異常）があったときのエラーコード，そのエラーコードの内容，そのエラーに対応できるスキル（技能）を有する作業者分類を関連づけたエラーコード情報を記憶する。例えばエラーコード「ＡＡＢＢ０１」は，半導体製造装置１４０として例えば高周波電力を印加して処理室内に発生させたプラズマによりエッチング処理を行うプラズマエッチング装置における処理室内の高周波反射波が上限値を越えた場合のエラーである。この場合にはプラズマエッチング装置に設けられた高周波ジェネレータや整合器（マッチャー）などがエラー対象部位となる。従ってこのエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル（技能）を有する作業者分類は電気系エンジニアである。これに対してエラーコード「ＣＣＤＤ０１」は，ポンプの冷却水の流量低下によるエラーである。この場合にはポンプユニットなどがエラー対象部位となる。従ってこのエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル（技能）を有する作業者分類は機械系エンジニアである。
検査結果情報データベース２６４は，図１０に示すようにプラズマエッチング装置などの半導体製造装置１４０によって製造された半導体装置に検査異常があったとき検査結果，その検査結果による異常に対応できるスキル（技能）を有する作業者分類を関連づけた検査結果情報を記憶する。例えば半導体製造装置１４０によって製造されたウエハなどは，検査装置により様々な検査が行われる。これらの検査結果によるトラブルは，主としてプロセス系エンジニアがトラブル対応作業を行う。このようなトラブル情報データベース２６０を利用すれば，トラブルの種類に応じてそのトラブル対応作業を行う最適な作業者分類を決定できる。
（作業者管理装置が行う処理）
次に，作業者管理装置２００が行う新作業分配処理についての具体例を図１１〜図１４を参照しながら説明する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
本実施形態における新作業分配処理は，新たな作業が発生した場合に，作業者の現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか又は新たな作業を行わせるかを判断し（判断手段），前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す（指示手段）ものである。新作業の作業内容及び作業者のスキル，現在行っている作業と新作業との優先度などを考慮しつつ，最適な作業者を選択して指示を与える処理である。
新作業分配処理は，具体的には図１１に示すように先ずステップＳ１１０にて新たな作業が発生したか否かを判断する。例えば半導体製造装置１４０にエラー情報の他，報知（アラーム）情報などから判断し，新作業を特定する。
例えば半導体製造装置１４０にトラブルが発生した場合は，作業者管理装置２００は半導体製造装置１４０からアラームを受信するとともにエラーコードを含むエラー情報を受信する。トラブル情報データベース２６０のうちのエラーコード情報データベース２６２を利用すれば，上記エラー情報のエラーコードに基づいてその新作業がどのようなトラブルに対する作業（電気系トラブル対応作業，機械系トラブル対応作業）かを特定することができる。
また半導体製造装置１４０のうちの検査装置からの検査結果を受信して，その検査結果に異常があった場合には，トラブル情報データベース２６０のうちの検査結果情報データベース２６４を利用すれば，新作業がプロセス系トラブル対応作業であることを特定でき，さらにそのトラブルの詳細も取得できる。
また半導体製造装置１４０のロットが終了した場合は，ロット終了の通知がある。これにより新作業はＦＯＵＰの移動等，次ロットに対する準備作業などの定期作業，通常オペレーション作業などであることが特定できる。半導体製造装置１４０からクリーニングなどの通知があった場合は，新作業が定期作業であることが特定できる。
次いでステップＳ１２０にてその新作業を行うことができる作業者を抽出する（作業者抽出手段の例）。例えば作業スキル情報データベース２４０によりその新作業を行うのに最適な作業者分類を検索し，その作業者分類を有する作業者を作業者スキル情報データベース２５０に基づいて抽出する。また，その新作業を行うのに最適な作業者分類に属する作業者でなくても，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄に○と△がついている作業者は新作業を行うことができる。従ってこれらの作業者も抽出の対象とする。
なお，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄では，例えば電気系エンジニアは電気系トラブル対応作業には必ず○がついているように，作業者分類の専門の作業には必ず○がついている。また専門以外の作業でも○がついている作業者がいる場合があり，専門以外の作業でもできないことはない場合には△がついている。従って，作業者分類によらず，作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄のみに基づいて○と△がついている作業者だけを抽出するようにしてもよい。
続いて，ステップＳ１３０にて作業者に優先順位を付与する（優先順位付与手段）。作業スキル及び作業者スキルに基づいて最も適した作業者から優先順位をつける。例えば作業者スキル情報データベース２５０の作業の欄に○がついている作業者の優先順位を高くする。その作業が専門の作業者を優先的に作業に当らせることができるようにするためである。なお，作業者に優先順位をつける処理の詳細は後述する。
次にステップＳ１４０にて作業を行う作業者を決定する。作業者の決定は，例えば優先順位の高い作業者から順に，その作業者が現在行っている作業と新たな作業との優先度に基づいて行う。なお，この作業者を決定する処理の詳細は後述する。
次いでステップＳ１５０にてステップＳ１４０で決定された作業者に新作業を実行させる指示を出す（指示手段）。このとき例えばその作業者が持つ携帯型情報端末に新作業を実行するように指示を出すようにしてもよい。
続いてステップＳ１６０にてその作業者の現在作業があるかを判断する。ステップＳ１４０の作業者決定処理において現在作業を検出しているので（図１３に示すステップＳ３２０），その結果を利用して判断する。このようにしたのは，新作業を指示する作業者に現在作業があった場合には，その現在作業について代りの作業者を選択して指示を出す必要があるためである。ステップＳ１６０にてその作業者に現在作業があると判断した場合には，ステップＳ１７０にて現在作業を新作業としてステップＳ１２０の処理に戻り，その作業を代りに行うものを決定する。またステップＳ１６０にてその作業者に現在作業がないと判断した場合には，この処理を終了する。
ここで，上記ステップＳ１３０における作業者の優先順位付与処理（作業者優先順位付与手段）の１例を図１２に示すサブルーチンを参照しながら説明する。ステップＳ２１０にて新作業とされる作業について作業者スキル情報データベース２５０の作業２５７の欄に○がついていることを第１のキーとして，そのような作業者の優先順位を高くするようにソートする。続いてステップＳ２２０にて新作業の作業者分類を第２のキーとしてこの作業者分類に一致する作業分類の作業者についての優先順位を最も高くするようにソートする。
こうして，作業者スキル情報データベース２５０の作業の欄に○がついており，かつ新作業の作業者分類が一致する作業者が最も優先順位が高くなる。例えばその新作業の作業スキルを有する作業者の作業者分類が電気系エンジニアの場合には，抽出された作業者の中に機械系エンジニアが含まれていても，電気系エンジニアの優先順位の方が高くなる。これにより，ステップＳ１４０にて作業者を決定する際に，新作業に最も適切な作業者から順番に新作業を担当させてよいか否かを判断することができる。これにより，新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすことができる。
次に，ステップＳ１５０にて作業者を決定する処理の１例を図１３に示すサブルーチンを参照しながら説明する。先ずステップＳ３１０にて図１３に示すステップＳ１４０で得られた作業者の優先順位ｋ＝１とし，優先順位の高い順に作業者決定処理を行う。次いでステップＳ３２０にて作業者の現在行っている作業（現在作業）を検出する（現在作業特定手段の例）。作業者の現在作業の検出は例えばその作業者がどのエリアにいるかなどに基づいて行う。
この作業者の作業を検出する処理については例えば図１４に示すサブルーチンのように行う（現在作業特定手段の例）。先ずステップＳ４１０にてその作業者が存在するエリア情報を検出する。これによりある程度の作業（作業分類）が検出できる。具体的にはクリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２などの上記各エリアのうち，作業者がどのエリアにいるかを作業者検出センサ１３０からのセンサ情報に基づいて検出する。例えばその作業者の周波数が検出された作業者検出センサ１３０の設置エリアを作業者のいるエリアとする。その作業者の周波数が，クリーンルームエリア１１０内における装置室エリア１１２に設置された作業者検出センサ１３０で検出されれば，その作業者は装置室エリア１１２にいると判断され，装置室外エリア１１４に設置された作業者検出センサ１３０で検出されればその作業者は装置室外エリア１１４にいると判断される。
次に，ステップＳ４２０にて半導体製造装置１４０へのアクセス情報などの装置情報を検出する。これにより，さらに詳しい作業を検出できる。半導体製造装置１４０や制御部１１６，１１８などからアクセスした装置情報は，作業者管理装置２００により受信される。このアクセス情報からＩＤとパスワードによりその作業者を特定し，その作業者がどのような作業を行っているかを判断する。また半導体製造装置１４０の報知（アラーム）情報などの装置情報も作業者管理装置２００により受信される。この報知情報からも作業を検出できる。
続いてステップＳ４３０にて上記エリア情報及び上記装置情報により，図５に示す作業特定情報データベース２２０の作業特定情報に基づいて，その作業者の現在作業を特定する。例えばエリア情報としてクリーンルームエリア１１０における装置室エリア１１２にその作業者がいると判断され，さらに装置情報として報知情報，トラブル対応アクセスがあったと判断された場合には，現在作業の作業内容としてトラブル対応作業を行っていると判断する。
次に，図１３に示すステップＳ３３０にてその作業者の現在作業があるかを判断する。ステップＳ３２０により作業が特定された場合には現在作業ありと判断し，作業が特定されない場合は現在作業なしと判断する。ステップＳ３３０にて現在作業がないと判断した場合には，ステップＳ４００にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する（作業者特定手段）。
これに対してステップＳ３３０にて現在作業ありと判断された場合は，ステップＳ３４０にて作業優先度情報データベース２３０の作業優先度情報に基づいて現在作業の優先度を取得し，ステップＳ３５０にて新作業の優先度を取得する。次いでステップＳ３６０にて現在作業の優先度（Ｕ１）の方が現在優先度（Ｕ２）よりも高いか否か又は優先度が同じか否かを判断する。ステップＳ３５０にて現在作業の優先度の方が現在優先度よりも高いと判断した場合又は優先度が同じと判断した場合は，ステップＳ３７０にて優先順位ｋをインクリメント（ｋ＝ｋ＋１）する。続いて，ステップＳ３８０にて優先順位が付与されたすべての作業者について処理を行ったか否かを判断する。例えば抽出され優先順位が付与された作業者数をＮとしておき，優先順位ｋ＝Ｎ＋１になったか否かで判断する。ステップＳ３８０にて未だ優先順位の付与されたすべての作業者について処理していないと判断した場合，例えば優先順位ｋ＝Ｎ＋１になっていないと判断した場合は，ステップＳ３２０の処理に戻って次の優先順位の作業者について処理を行う。
上記ステップＳ３５０にてその作業者における現在作業の優先度の方が現在優先度よりも低いと判断した場合には，ステップＳ４００にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する。こうして決定された作業者には図１１に示すステップＳ１５０により新作業を行うよう指示が与えられる。
このように検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出す。このように，新作業が発生した場合にも，現在作業との優先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業，すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。これにより，作業配分の最適化を図ることができる。
また，上記ステップＳ３８０にて優先順位の付与されたすべての作業者について処理したと判断した場合，例えば優先順位ｋ＝Ｎ＋１になったと判断した場合は，ステップＳ３９０にてエラー処理を行う。エラー処理としては例えば該当する作業者が見つからない旨の表示を表示部２０４に行う。この場合には例えばその作業を行うことが可能な作業者にその旨を通知するようにしてもよい。上記のような処理によれば，優先度の高い処理ほど作業者が見つかる場合が多いから，作業者が見つからない処理は優先度の低い処理になる可能性が高い。従って，例えば時間をずらして上記の処理を再度行うようにしてもよい。
なお，ステップＳ３９０のエラー処理では，作業スキル情報データベース２４０の作業スキル情報に基づいて作業者が見つからなかった作業からその作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類を検索し，上記作業，作業者分類，日時などをログファイルなどにより記憶するようにしてもよい。例えば作業者が見つからなかった作業が機械系トラブル対応作業の場合，その作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類としては機械系エンジニアが検索できるので，ログファイルには機械系トラブル対応作業，機械系エンジニアなどを記憶する。これにより，その工場では機械系エンジニアが不足している可能性があることがわかる。
このように，上記ログファイルは，その工場における作業者の増減が必要か否かの判断材料にすることができる。例えば，エラー処理が頻繁に起る場合には作業者が不足しており，どの作業者分類の作業者が不足しているかも推測できる。また，エラー処理が起らない程度に作業者を削減することにより余分な作業者を削減することもできる。これにより，その工場に真に必要な作業者分類の作業者を必要な数だけ配属させることができるので，作業者一人あたりの作業の効率化を図ることができるだけでなく，作業者数の効率化を図ることもできる。
このような処理によれば，例えば新作業として機械系トラブル対応作業が発生し，その新作業を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏，オペレータのＣ氏であったとすると，これらの作業者の優先順位は，機械系エンジニアのＢ氏，電気系エンジニアのＡ氏，オペレータのＣ氏の順となり，この順に処理される。この場合，Ｂ氏の現在作業がなければ，新作業の作業者はＢ氏に決定される。
またＢ氏に現在作業があった場合であっても，その現在作業が例えば通常オペレーション作業であった場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によればＢさんの現在作業である通常オペレーション作業よりも新作業である機械系トラブル対応作業の方が優先度が高いので，この場合も新作業の作業者はＢ氏に決定される。
この場合，Ｂ氏の現在作業である通常オペレーション作業は，新作業として処理が繰返される。このときの作業者の優先順位は，オペレータのＣ氏，電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏の順となり，この順に処理される。このとき，オペレータのＣ氏に現在作業がなければ，新作業の作業者はＣ氏に決定される。
またＣ氏に現在作業があっても，その現在作業が定期作業であった場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によればＣ氏の現在作業である定期作業よりも新作業である通常オペレーション作業の方が優先度が高いので，この場合も新作業の作業者はそのＣ氏に決定される。
ところが，Ｃ氏の現在作業が別のエリアでの通常オペレーション作業の場合には，図６に示す作業優先度情報データベース２３０によれば現在作業と新作業とは優先度に優劣がないため，Ｃ氏には現在作業を続行してもらい。電気系エンジニアのＡ氏の現在作業がなければ，新作業の作業者はＡ氏に決定される。
（第２実施形態）
次に，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第２実施形態を図面を参照して説明する。なお，第２実施形態においては，図１〜図１０までの構成は同様であるためその詳細な説明は省略する。また第１実施形態と同様の部分については同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。
第２実施形態における作業者管理装置２００が行う新作業分配処理についての他の具体例を図１５，図１６を参照しながら説明する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
第２実施形態における新作業配分処理において，第１実施形態における図１１に示す場合と異なるのは，新作業が発生するとこの新作業とすべての作業者の現在作業とを含めた全作業について，各作業の優先度，作業スキル，作業者スキルなどを考慮しつつ，最適な作業者が作業を行うことができるように作業の再配分を行う点である。
具体的には，図１５に示すように先ずステップＳ５１０にて新たな作業が発生したか否かを判断する。上記ステップＳ３１０と同様に例えば半導体製造装置１４０にトラブルが発生した場合のエラー情報，報知情報などから判断する。次いでステップＳ５２０にてすべての作業者の現在作業を検出する。この作業者の現在作業の検出処理は，例えば図１４に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返して全作業者について行う。
次にステップＳ５３０にて新作業及び現在作業を含めた全作業についての再分配を行う（作業再配分手段）。このように，新作業が発生した場合に，全作業者の現在作業を検出し，その現在作業と新作業を含めた全作業を再配分し直すため，新作業を含めた全作業についてより適切な作業者を割当てることができる。これにより，作業配分の効率化，作業の効率化を図ることができる。なお，作業の再分配の処理の詳細は後述する。
続いてステップＳ５４０にて各作業者に対してその作業者に分配された作業を行うように指示を出す。例えば各作業者が持つ携帯型情報端末にそれぞれ該当する作業を実行するように指示を出すようにしてもよい。
次いでステップＳ５５０にて未分配の作業が残っているかを判断する。ステップＳ５５０にて未分配の作業が残っていると判断した場合はステップＳ５６０にて対応可能な作業者に対して未分配の作業があるので対応するようにとの通知をして処理を終了する。ステップＳ５５０にて未分配の作業が残っていないと判断した場合はそのまま処理を終了する。
ここで，ステップＳ５３０における作業再分配処理（作業再配分手段）の１例を図１６に示すサブルーチンを参照しながら説明する。先ずステップＳ６１０にて新作業と現在作業を含めたすべての作業について，作業優先度情報データベース２３０の作業優先度情報に基づいて優先度の高い順にソートする。このときの作業の優先順位をＷとする。続いてステップＳ６２０にて優先順位Ｗ＝１とし優先順位の最も高い作業から以降の処理により最適な作業者を決定していく。
次いでステップＳ６３０にてその作業を行うことができる作業者を抽出する。続いてステップＳ６４０にて作業者に優先順位をつける。この優先順位付与の処理は，例えば図１２に示すサブルーチンにより行う。続いて，ステップＳ６５０にて作業者を決定する。この作業者決定の処理は，例えば図１３に示すサブルーチンにより行う。
次に，ステップＳ６６０にて作業の優先順位Ｗをインクリメントし（Ｗ＝Ｗ＋１），ステップＳ６７０にて該当するすべての作業について処理したかを判断する。こうして，原則としてすべての作業について作業者が決定される。但し，作業によっては適切な作業者が見つからない場合もある。この場合は，図１５に示すステップＳ５５０，５６０により未分配の作業として作業が可能な作業者にその旨を通知する。
このような処理によれば，例えば新作業が発生すると，全作業者の現在作業を検出し，新作業を含めたすべての作業について作業優先度情報データベース２３０に基づいて優先順位を付与する。優先順位の高い作業からその作業を行う作業者を決定していく。例えばすべての作業の優先順位が機械系トラブル対応作業，通常オペレーション作業であったとすると，先ず機械系トラブル対応作業から作業者を決定される。
最初の作業である機械系トラブル対応作業については，その作業を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏，オペレータのＣ氏であったとすると，これらの作業者の優先順位は，機械系エンジニアのＢ氏，電気系エンジニアのＡ氏，オペレータのＣ氏の順となり，この順に処理される。この場合，Ｂ氏の現在作業がなければ，機械系トラブル対応作業の作業者はＢ氏に決定される。
次に，通常オペレーション作業について作業者が決定される。このときの作業者の優先順位は，オペレータのＣ氏，電気系エンジニアのＡ氏，機械系エンジニアのＢ氏の順となり，この順に処理される。このとき，オペレータのＣ氏に現在作業がなければ，新作業の作業者はＣ氏に決定される。
このように，新作業が発生した場合に，新作業を含めた全作業の再配分を行い，その際，作業の優先度の高い順に作業者を決定していくので，重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。また，新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても，検出した現在作業と新作業との優先度を比較して，新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。これにより，優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので，作業配分の最適化を作業の効率化を図ることができる。
（第３実施形態）
次に，本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理システムの第３実施形態を図面を参照して説明する。第３実施形態においては，図１〜図１０までの構成は同様であるためその詳細な説明は省略する。また第１実施形態と同様の部分については同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。なお，本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
第３実施形態における作業者管理装置２００が行う作業情報記憶手段の１例としての作業データベースの作成処理について図１６を参照しながら説明する。作業データベースは，後述する各作業者の作業日報を作成するための元になるデータベースである。従って，作業データベースには作業者ごとに所定時間ごとに行った作業を記憶しておく。従って，この作業データベースの作成処理は，作業日報に記載する時間に応じて所定時間ごとに実行する。例えば１時間ごとの作業日報を作成する場合には，上記作業データベースの作成処理を１時間ごとに実行し，３０分ごとの作業日報を作成する場合には，上記作業データベースの作成処理を３０分ごとに実行する。
作業データベースの作成処理は，先ずステップＳ７１０にてすべての作業者が現在行っている作業（現在作業）を検出する。各作業者の現在作業の検出処理は，例えば図１４に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返して全作業者について行う。ステップＳ７２０にて各作業者ごとに検出した現在作業を記憶する。こうして，所定時間ごとに作業者の現在作業を検出して記憶していけば，各作業者ごとに作業データベースが作成される。この作業データベースは，例えば図３に示す各種データベース２１０に含まれるようにしてもよい。
次に，作業者管理装置２００が行う作業報告書作成手段の１例としての作業日報作成処理について図１８を参照しながら説明する。作業日報作成処理は，作業者ごとに作業日報を自動的に作成するものである。
先ずステップＳ８１０にて作業者の特定を行う。作業日報を作成する作業者を特定する。ここでは操作画面に作業者を入力するようにして特定の作業者の作業日報を作成できるようにしてもよく，また各作業者を自動的に次々と特定していき，すべての作業者について作業日報を作成できるようにしてもよい。
次いでステップＳ８２０にて図１７に示す処理により作成された作業データベースに基づいてその作業者の作業日報データを作成する。作業日報データはその作業者の該当日における作業を抽出して作成する。
次にステップＳ８３０にて作業日報を印刷する。例えば作業者管理装置２００に接続したプリンタにより，作業日報を印刷して出力してこの処理を終了する。こうして作成された作業日報の１例を図１９に示す。この作業日報は，所定時時間として１時間ごとに図１７に示す作業データベース作成処理を行って作業者の現在作業を検出した場合の例である。
なお，この作業日報は，例えばある工場に別の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場合にも利用できる。作業者スキル情報データベース２５０に作業単価を記憶している場合には，各作業の作業単価も検索して印刷し，その合計額から作業内容に応じた料金を請求することも可能となる。
また，作業データベースから月ごとのデータを取出せば，作業月報も作成して印刷可能である。このように，本実施の形態によれば，作業日報，作業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業データベースを作成するので，作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ，作業効率が向上する。また作業者の自己報告に委ねる必要がないので，常に正確な作業報告を作成することができる。
このような本発明によれば，作業者が現在行っている作業を容易に特定することができるため，例えば新たな作業が発生した場合でも現在の作業と新作業との優先度を考慮しつつ，最も適切な作業者を選択して作業を行わせることができる。このように，各作業者を適材適所に配置させることができ，各作業者の作業効率を高めることができる。
なお，上述した実施形態においては，図１に示すように作業者検出センサ１３０として各エリア１１０，１２０に配設する例えば受信機１３４は，作業者管理装置２００に通信ケーブル等によって接続する場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，通信ケーブル等の代りにネットワークにより接続するようにしてもよい。また，図２に示す受信機１３４は，送受信機能を有する送受信機であってもよく，送信機１３８は送受信機能を有する携帯型情報端末であってもよい。この場合，携帯型情報端末に臭気センサなど各種センサを設け，これらセンサの検出値に基づいて異常判断を行うようにしてもよい。
具体的には，図２０に示すように，例えば装置室エリア１１２にネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続機能付送受信機３２０を配設する。ネットワーク接続機能付送受信機３２０はネットワーク３００を介して作業者管理装置２００に接続する。作業者管理装置２００はネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続装置３４０を介してネットワーク３００に接続する。
作業者が携帯する図２に示すような送信機１３８は，送受信機能を有する携帯型情報端末３６０により構成してもよい。なお，このような携帯型情報端末３６０としては例えばＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ａｓｓｉｓｔａｎｔ），ノート型コンピュータ，ペン入力可能なコンピュータ（例えばタブレットＰＣ）などが挙げられる。
携帯型情報端末３６０は，異常検知のために音や臭いなどを検知する臭気センサ，高周波センサ，低周波センサなどの各種センサ３６２の他，制御部３６４，変復調部３６６，通信インタフェース３６８などを備える。変復調部３６６は，通信インタフェース３６８を介して送信するデータを例えば無線信号に変調したり，通信インタフェース３６８を介して受信したデータを復調したりするものである。
ネットワーク３００は，インターネットなどの公衆回線網であってもよく，またＷＡＮ（Ｗｉｄｅ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ），ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ），ＩＰ−ＶＰＮ（ＩｎｔｅｒｎｅｔＰｒｏｔｏｃｏｌ−Ｖｉｒｔｕａｌ Ｐｒｉｖａｔｅ Ｎｅｔｗｏｒｋ）などの閉鎖回線網であってもよい。また接続媒体は，ＦＤＤＩ（Ｆｉｂｅｒ Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｄａｔａ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）などによる光ファイバケーブル，Ｅｔｈｅｒｎｅｔによる同軸ケーブル又はツイストペアケーブル，もしくはＩＥＥＥ８０２．１１ｂなどによる無線など，有線無線を問わず，衛星ネットワークなどであってもよい。
上記ネットワーク接続機能付送受信機３２０は，例えば無線ルータ機能を有するように構成し，携帯型情報端末３６０の通信インタフェース３６８は無線ＬＡＮカードなどで構成することにより，ネットワーク接続機能付送受信機３２０と携帯型情報端末３６０との間は無線ＬＡＮによりデータを送受信可能としてもよい。
携帯型情報端末３６０の各種センサ３６２は，音については例えば人間が感知できないような周波数，周期などを検出するものであってもよい。また各種センサ３６２として臭気センサを設ける場合には，例えばセンサ表面に臭い成分が吸着することにより検出するものであってもよい。臭気センサは例えばガス探知センサで構成し，ＣＯ，Ｃｌ等のハロゲンガスなど人体に有害なガスを検出するようにしてもよい。また，例えば半導体製造装置の処理室を排気する排気ポンプの油の蒸気から油の摩擦度，粘度を検出するようにしてもよい。
具体的には各種センサ３６２としては，オシロスコープ，スペクトラムアナライザー，ファーストフーリエトンスレッシュホルドーション（ＦＦＴ），振動解析器，振動水晶子センサ，半導体センサ，光センサなどが挙げられる。携帯型情報端末３６０は各種センサ３６２の切換スイッチ（図示しない）を備え，作業者は切換スイッチにより所望のセンサを選択して使用することができるようにしてもよい。
なお，携帯型情報端末３６０に設けられた入力手段から作業者が入力したデータ（外部環境情報）をセンサデータとしてもよい。外部環境情報としては例えば作業者が計測器を用いて計測したデータやオペレーションパネルにより表示されるデータなど様々なデータをセンサデータとして入力してもよい。入力手段は，キー入力，タッチパネル入力など公知の入力手段であってもよい。
携帯型情報端末３６０の制御部は３６４は，例えば各種センサ３６２からの検出値に基づいて半導体製造装置などの異常判断を行う。例えば音や臭いが検出されると異常が発生していると判断してもよく，また異常か否かの閾値を記憶部（図示しない）などに記憶しておき，その閾値を越える音や臭いが検出されると，異常が発生していると判断する。これにより，例えば図９に示すようなエラーが発生する前に異常を判断することができる。
そして，異常が発生していると判断した場合には，携帯型情報端末３６０は各種センサ３６２のうち該当するセンサからのデータをネットワーク３００を介して作業者管理装置２００へ送信する。作業者管理装置２００では，携帯型情報端末３６０から受信したセンサデータに基づいて，例えば図１１に示すステップＳ１１０，図１５に示すステップＳ５１０の新作業が発生したかを判断する。
具体的には図９に示すようなエラーが発生する前の兆候を事前情報として記憶する例えばエラー事前情報データベース（図示しない）を各種データベース２１０に設け，エラー事前情報データベースに記憶した兆候に基づいて総合的に作業を特定し，新作業が発生したものと判断する。この場合，作業者管理装置２００は，異常と判断された半導体製造装置１４０にアクセスして，報知手段によるアラームなどによる報知，ランプ手段によるランプの点灯などを行わせるようにしてもよい。
エラー事前情報データベースに記憶される具体例は以下の通りである。エラー事前情報データベースには，例えば真空側エラー事前情報として，リークレート増大（兆候１），ベースプレッシャ上昇（兆候２），大気側エラー事前情報として異音（兆候３），振動増大（兆候４）が記憶されている。リークレート増大（兆候１）は例えば半導体製造装置の処理室に設けられたＯリングの劣化により大気が処理室内に流入する場合の兆候である。ベースプレッシャ上昇（兆候２）は例えば処理室内を真空引きする真空ポンプの疲労や異物の堆積で真空引き能力が不足する場合の兆候である。異音（兆候３）は例えば真空ポンプの劣化に加えてベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のバランス不良を生じている場合の兆候である。振動増大（兆候４）は例えば異物の堆積，真空ポンプの劣化などに加えてベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のバランス不良を生じている場合の兆候である。兆候１，２は，例えば作業者によって携帯型情報端末３６０に入力された外部環境情報に基づいて判断することができる。兆候３，４は各種センサ３６２から検出されたセンサデータに基づいて判断することができる。
このような兆候がエラー事前情報データベースに記憶されている場合，例えば作業者によって携帯型情報端末３６０に入力された外部環境情報に基づき，兆候１のみであると判断され，兆候３，４がない場合には，真空ポンプは正常の可能性が高く，チャンバリーク（処理室内にリークが発生）している可能性が高いので，チャンバリークの発生に基づくメンテナンスを行うという新作業が発生したものと判断する。従って，図１１，図１５によりその新作業を行うように特定された作業者に新作業を行うように指示を出す。具体的には例えば作業者管理装置２００は，ネットワーク３００を介してその作業者の携帯型情報端末３６０に指示を送信する。
なお，図２０に示す携帯型情報端末３６０で検出されたり，入力されたりしたセンサデータは，その都度作業者管理装置２００に送信されるようにしてもよく，また図１４に示すステップＳ４１０のエリア情報を検出する際に，作業者の識別情報とともに作業者管理装置２００に送信されるようにしてもよい。そして，作業者管理装置２００で異常か否かの判断を行い，新作業の発生を判断するようにしてもよい。
また，上記ネットワーク接続機能付送受信機３２０，携帯型情報端末３６０の送受信機能は，無線による送受信機能に限られず，赤外線による送受信機能など様々な送受信機能を適用することができる。さらに，携帯型情報端末３６０に，ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）を設け，ＧＰＳに基づいて作業者の位置を検出するようにしてもよい。
以上，添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれぱ，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば，本発明は，半導体製造工場を所有する企業の作業者を管理する作業者管理システムとして適用してもよく，また半導体製造工場にこれを所有する企業とは異なる企業からの作業者を派遣した場合にその作業者を含めて管理する作業者管理システムとして適用してもよい。特に，半導体製造装置を購入又は使用する企業である客先に，その半導体製造装置を製造又は販売する企業の従業員を作業者として派遣して半導体製造装置のメンテナンスや半導体製造などの作業を行わせる場合に，その作業者を管理する作業者管理システムとして適用してもよい。これにより，派遣にかかる作業者一人当りの作業効率を最大限に高めることができ，その派遣した工場の特質に応じた作業者分類，作業者数を決定することができる。
これにより，半導体製造装置の製造又は販売元の企業にとっては，半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業に対して派遣する作業者を必要最小限にとどめることができる。一方，半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業にとっては，半導体製造装置の製造又は販売元の企業から派遣された作業者にかかる人件費を必要最小限に抑えることができる。
【産業上の利用の可能性】
本発明は，作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法に適用可能である。
【符号の説明】
１００ 半導体製造工場
１１０ クリーンルームエリア
１１２ 装置室エリア
１１４ 装置室外エリア
１１６ 室内制御部
１１８ 室外制御部
１２０ クリーンルーム外エリア
１２２ 中央監査室エリア
１２４ 用力室エリア
１２６ 保管庫エリア
１２８ オフィスエリア
１２９ 休憩室エリア
１３０ 作業者検出センサ
１３２ 装置室
１３４ 受信機
１３６ 作業者
１３８ 送信機
１４０ 半導体製造装置
２００ 作業者管理装置
２０２ 制御部
２０４ 表示部
２０６ 入力部
２０８ 入出力部
２１０ 各種データベース
２２０ 作業特定情報データベース
２３０ 作業優先度情報データベース
２４０ 作業スキル情報データベース
２５０ 作業者スキル情報データベース
２６０ トラブル情報データベース
２６２ エラーコード情報データベース
２６４ 検査結果情報データベース
３００ ネットワーク
３２０ ネットワーク接続機能付送受信機
３４０ ネットワーク接続装置
３６０ 携帯型情報端末
３６２ 各種センサ
３６４ 制御部
３６６ 変復調部
３６８ 通信インタフェース
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，
前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
【請求項２】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項１に記載の作業者管理システム。
【請求項３】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項１に記載の作業者管理システム。
【請求項４】
前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項１に記載の作業者管理システム。
【請求項５】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，
前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，
前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
【請求項６】
前記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，
各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，
前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うことを特徴とする請求項５に記載の作業者管理システム。
【請求項７】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項５に記載の作業者管理システム。
【請求項８】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項５に記載の作業者管理システム。
【請求項９】
前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項５に記載の作業者管理システム。
【請求項１０】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，
前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，
前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
【請求項１１】
前記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，
前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けたことを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１２】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１３】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１４】
前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１５】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，
前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段と，
を設けたことを特徴とする作業者管理システム。
【請求項１６】
前記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，
前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成することを特徴とする請求項１５に記載の作業者管理システム。
【請求項１７】
前記作業場は，半導体製造工場であることを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１８】
前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることを特徴とする請求項１７に記載の作業者管理システム。
【請求項１９】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，
前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。
【請求項２０】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，
前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，
前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。
【請求項２１】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，
前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，
前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。
【請求項２２】
前記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，
前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けたことを特徴とする請求項２１に記載の作業者管理装置。
【請求項２３】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項２１に記載の作業者管理装置。
【請求項２４】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項２１に記載の作業者管理装置。
【請求項２５】
前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項２１に記載の作業者管理装置。
【請求項２６】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，
前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段と，
を設けたことを特徴とする作業者管理装置。
【請求項２７】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，
前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断工程と，
前記判断工程での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
【請求項２８】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，
前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，
前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，
前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段における作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程と，
前記作業者特定工程によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
【請求項２９】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，
前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程と，
前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
【請求項３０】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，
所定時間ごとに，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶工程と，
前記作業情報記憶工程によって記憶された作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
【請求項１】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，
前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
【請求項２】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項１に記載の作業者管理システム。
【請求項３】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項１に記載の作業者管理システム。
【請求項４】
前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項１に記載の作業者管理システム。
【請求項５】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，
前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，
前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
【請求項６】
前記作業者スキル情報記憶手段は，各作業者ごとに作業者分類を記憶し，
各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段と，前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに，前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し，それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け，
前記作業者特定手段は，作業者抽出手段で抽出された作業者のうち，前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うことを特徴とする請求項５に記載の作業者管理システム。
【請求項７】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項５に記載の作業者管理システム。
【請求項８】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項５に記載の作業者管理システム。
【請求項９】
前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項５に記載の作業者管理システム。
【請求項１０】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，
前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，
前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
【請求項１１】
前記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，
前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けたことを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１２】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１３】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１４】
前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１５】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，
前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段と，
を設けたことを特徴とする作業者管理システム。
【請求項１６】
前記作業報告書作成手段は，各作業についてその各作業を行う場合の作業単価についても記憶し，
前記作業報告書作成手段は，作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を作成することを特徴とする請求項１５に記載の作業者管理システム。
【請求項１７】
前記作業場は，半導体製造工場であることを特徴とする請求項１０に記載の作業者管理システム。
【請求項１８】
前記作業者は，前記作業場である半導体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることを特徴とする請求項１７に記載の作業者管理システム。
【請求項１９】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と，
前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。
【請求項２０】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，
前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と，
前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。
【請求項２１】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と，
前記新作業検出手段が新作業を検出すると，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，
前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。
【請求項２２】
前記作業再分配手段は，作業の優先順位の高い作業から新作業とし，
前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し，前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段とを設けたことを特徴とする請求項２１に記載の作業者管理装置。
【請求項２３】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，作業エリア検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項２１に記載の作業者管理装置。
【請求項２４】
前記作業者検出手段は，各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は，各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は，前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し，作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し，この作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定することを特徴とする請求項２１に記載の作業者管理装置。
【請求項２５】
前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は，前記作業者がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて，前記作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し，これらエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定することを特徴とする請求項２１に記載の作業者管理装置。
【請求項２６】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
所定時間ごとに，前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と，
前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成手段と，
を設けたことを特徴とする作業者管理装置。
【請求項２７】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，
前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断する判断工程と，
前記判断工程での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
【請求項２８】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，
前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，
前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて，前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と，
前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段における作業優先情報に基づいて，前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し，前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程と，
前記作業者特定工程によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
【請求項２９】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と，
前記新作業検出工程が新作業を検出すると，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し，優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程と，
前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
【請求項３０】
作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に基づいて，前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と，
所定時間ごとに，前記現在作業特定工程により全作業者の現在作業を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶工程と，
前記作業情報記憶工程によって記憶された作業情報に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作成工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０４０３８８
【国際公開日】平成１６年５月１３日（２００４．５．１３）
【発行日】平成１８年３月２日（２００６．３．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−５４８０６７（Ｐ２００４−５４８０６７）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＪＰ２００３／０１３８４１
【国際出願日】平成１５年１０月２９日（２００３．１０．２９）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
ＥＴＨＥＲＮＥＴ
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【国際公開日】平成１６年５月１３日（２００４．５．１３）
【発行日】平成１８年３月２日（２００６．３．２）
【国際特許分類】
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＪＰ２００３／０１３８４１
【国際出願日】平成１５年１０月２９日（２００３．１０．２９）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
ＥＴＨＥＲＮＥＴ
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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