光学面の姿勢調整機構、マイケルソン干渉計、およびフーリエ変換分光分析装置
【課題】簡素な構成からなる、光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構を提供する。
【解決手段】光学面の姿勢調整機構１００Ａは、光学面１１５Ａを含む光学部材１１５、固定台２０、光学部材１１５と固定台２０との間で光学部材１１５を揺動可能に支持する支持部３０、および固定台２０から光学部材１１５に向かって進退する第１移動部材４０を備え、第１移動部材４０が前進し光学部材１１５を押圧することによって、支持部３０の剛性に対抗して光学部材１１５は支持部３０を中心に第１の方向に回動し、第１移動部材４０が光学部材１１５に当接した状態で後退することによって、支持部３０の剛性から生じる復元力により光学部材１１５は支持部３０を中心に第１の方向とは反対の方向に回動し、光学面１１５Ａの姿勢は光学部材１１５の上記回動によって調整される。
【解決手段】光学面の姿勢調整機構１００Ａは、光学面１１５Ａを含む光学部材１１５、固定台２０、光学部材１１５と固定台２０との間で光学部材１１５を揺動可能に支持する支持部３０、および固定台２０から光学部材１１５に向かって進退する第１移動部材４０を備え、第１移動部材４０が前進し光学部材１１５を押圧することによって、支持部３０の剛性に対抗して光学部材１１５は支持部３０を中心に第１の方向に回動し、第１移動部材４０が光学部材１１５に当接した状態で後退することによって、支持部３０の剛性から生じる復元力により光学部材１１５は支持部３０を中心に第１の方向とは反対の方向に回動し、光学面１１５Ａの姿勢は光学部材１１５の上記回動によって調整される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部材等に形成される光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構、その光学面の姿勢調整機構を備えたマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学面は、レンズ、プリズム、またはミラーなどの光学部材に形成される。光学面に受けた光は、光学部材によって集光（導光）、反射、または透過される。光学面を有する光学部材は、たとえばフーリエ変換分光分析装置（ＦＴＩＲ：Fourier Transform Infrared Spectroscopy）に組み込まれるマイケルソン干渉計に用いられることができる。この場合、光学面の姿勢調整機構は、光学部材としての固定鏡の姿勢を調整する。固定鏡の姿勢が調整されることに伴って、光学面が所定の方向に向けられる。
【０００３】
特開２００２−１４８１１６号公報（特許文献１）は、干渉分光高度計に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、固定鏡の姿勢の粗調整及び微調整を共に自動的に行うことができると述べている。
【０００４】
姿勢調整に関する技術としては以下の４つの文献も知られる。特開２００７−９６８３０号公報（特許文献２）は、撮像素子のあおり（傾斜角度）調整装置およびそれを用いた撮影装置に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、あおり（傾斜角度）調整を行った場合に滑らかにあおり角度を調整することができると述べている。特開２００３−２１５０７１号公報（特許文献３）は、分光素子交換機を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置の分光素子取付機構に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、分光素子の取付角度を十分に高い精度で調整できると述べている。
【０００５】
特開２００３−２２８０１４号公報（特許文献４）は、走査光学装置に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、反射鏡の角度の調整が容易で信頼性の向上を図ることができると述べている。特開２００５−１１７２５３号公報（特許文献５）は、撮像装置に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、ＣＣＤ素子の光軸に対する傾きの調整を容易に精度よく行うことができると述べている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１４８１１６号公報
【特許文献２】特開２００７−９６８３０号公報
【特許文献３】特開２００３−２１５０７１号公報
【特許文献４】特開２００３−２２８０１４号公報
【特許文献５】特開２００５−１１７２５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、簡素な構成からなる、光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構、その光学面の姿勢調整機構を備えたマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のある局面に基づく光学面の姿勢調整機構は、光学面を含む被調整部材と、固定台と、所定の剛性を有し、上記被調整部材と上記固定台との間に設けられ、上記被調整部材を揺動可能に支持する支持部と、上記被調整部材および上記固定台の一方に取り付けられ、上記被調整部材および上記固定台の他方に向かって進退移動可能な第１移動部材と、を備え、上記第１移動部材が前進移動して上記被調整部材および上記固定台の上記他方を押圧することによって、上記支持部の剛性に対抗して上記被調整部材は上記支持部を中心に第１の方向に回動し、上記被調整部材および上記固定台の上記他方と上記第１移動部材とが相互に当接した状態で上記第１移動部材が後退移動することによって、上記支持部の剛性から生じる復元力により上記被調整部材は上記支持部を中心に上記第１の方向とは反対の第２の方向に回動し、上記光学面の姿勢は、上記被調整部材が上記第１の方向または上記第２の方向に回動することによって調整される。
【０００９】
好ましくは、上記被調整部材および上記固定台の上記他方は、上記第１移動部材の移動方向に交差する方向に進退移動可能な第２移動部材を含み、上記第２移動部材は、上記第２移動部材が進退移動することによって上記第１移動部材の移動方向上における位置が変位する当接部を有し、上記第１移動部材が上記当接部に当接した状態で上記第２移動部材が進退移動することによって、上記被調整部材は回動するとともに上記光学面の姿勢が調整される。
【００１０】
好ましくは、上記被調整部材、上記固定台、および上記支持部は、一体的に形成されている。
【００１１】
好ましくは、上記第１移動部材の、上記被調整部材および上記固定台の上記他方側における先端部は球面状である。
【００１２】
本発明の他の局面に基づく光学面の姿勢調整機構は、光学面を含む被調整部材と、上記被調整部材が取り付けられる被調整部材支持体と、固定台と、所定の剛性を有し、第１平板部と第２平板部と上記第１平板部および上記第２平板部の間に設けられた支持部とから一体的に形成され、上記第１平板部が上記被調整部材支持体に取り付けられ且つ上記第２平板部が上記固定台に取り付けられることによって、上記被調整部材支持体を揺動可能に支持する支持部構成体と、上記固定台に取り付けられ、上記被調整部材支持体に向かって進退移動可能な第１移動部材と、上記被調整部材支持体に設けられ、上記第１移動部材の移動方向に交差する方向に進退移動可能な第２移動部材と、を備え、上記第１移動部材が前進移動して上記被調整部材支持体を押圧することによって、上記支持部の剛性に対抗して上記被調整部材支持体は上記支持部を中心に第１の方向に回動し、上記第１移動部材が後退移動して上記上記被調整部材支持体から離れることによって、上記支持部の剛性から生じる復元力により上記被調整部材支持体は上記支持部を中心に上記第１の方向とは反対の第２の方向に回動し、上記光学面の姿勢は、上記被調整部材支持体が上記第１の方向または上記第２の方向に回動することによって調整され、さらに、上記第２移動部材は、上記第２移動部材が進退移動することによって上記第１移動部材の移動方向に進退移動する当接部を有し、上記第１移動部材が上記当接部に当接した状態で上記第２移動部材が進退移動することによって、上記被調整部材は回動するとともに上記光学面の姿勢が調整される。
【００１３】
本発明に基づくマイケルソン干渉計は、本発明のある局面または他の局面に基づく上記の光学面の姿勢調整機構と、固定鏡である上記被調整部材と、移動鏡と、光源と、上記光源が出射した光を上記被調整部材に向かう光と上記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、上記被調整部材および上記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッタと、上記干渉光を検出する検出器と、を備える。
【００１４】
本発明に基づくフーリエ変換分光分析装置は、本発明に基づく上記のマイケルソン干渉計と、上記検出器が検出した上記干渉光のスペクトルを算出する演算部と、上記演算部によって得られた上記スペクトルを出力する出力部と、を備える。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、簡素な構成からなる、光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構、その光学面の姿勢調整機構を備えたマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態１におけるフーリエ変換分光分析装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】実施の形態１におけるマイケルソン干渉計に用いられる参照検出器の構成を示す正面図である。
【図３】（Ａ）は、実施の形態１におけるマイケルソン干渉計に用いられる参照検出器が検出した干渉光の一部の強度の経時的な変化を示す図である。（Ｂ）は、実施の形態１におけるマイケルソン干渉計に用いられる参照検出器が検出した干渉光の残部の強度の経時的な変化を示す図である。
【図４】実施の形態１における光学面の姿勢調整機構を示す斜視図である。
【図５】図４中におけるＶ−Ｖ線に関する矢視断面図である。
【図６】実施の形態１における光学面の姿勢調整機構の動作を示す断面図である。
【図７】実施の形態２における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図８】実施の形態３における光学面の姿勢調整機構を示す斜視図である。
【図９】実施の形態４における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１０】実施の形態５における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１１】実施の形態６における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１２】実施の形態７における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１３】実施の形態８における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１４】実施の形態９における光学面の姿勢調整機構を分解して示す斜視図である。
【図１５】図１４中におけるＸＶ−ＸＶ線に関する矢視断面図（組立図）である。
【図１６】図１５中におけるＸＶＩ−ＸＶＩ線に関する矢視断面図である。
【図１７】実施の形態９における光学面の姿勢調整機構の動作を示す断面図である。
【図１８】実施の形態９における光学面の姿勢調整機構の他の動作を示す断面図である。
【図１９】実施の形態９の変形例における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図２０】実施の形態１０における光学面の姿勢調整機構を分解して示す第１斜視図である。
【図２１】実施の形態１０における光学面の姿勢調整機構を分解して示す第２斜視図である。
【図２２】実施の形態１０における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に基づいた各実施の形態について、以下、図面を参照しながら説明する。各実施の形態の説明において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。各実施の形態の説明において、同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。特に制限が無い限り、下記に示す各実施の形態に示す構成を適宜組み合わせて用いることは、当初から予定されていることである。
【００１８】
［実施の形態１］
（フーリエ変換分光分析装置１０００・マイケルソン干渉計１１０）
図１を参照して、本実施の形態におけるフーリエ変換分光分析装置１０００について説明する。フーリエ変換分光分析装置１０００は、マイケルソン干渉計１１０、演算部１２０、および出力部１３０を備える。マイケルソン干渉計１１０は、分光光学系１１１、参照光学系１２１、および光学面の姿勢調整機構１００Ａを含む。
【００１９】
（分光光学系１１１）
分光光学系１１１は、光源１１２、コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５（光学部材）、移動鏡１１６、集光光学系１１７、検出器１１８、および駆動機構１１９を有する。
【００２０】
光源１１２は、半導体レーザ等の発光素子から構成され、赤外光等の光を出射する。光源１１２が出射した光は、参照光学系１２１（詳細は後述する）における光路合成鏡１２３に導入され、参照光源１２２（詳細は後述する）が出射した光と合成される。合成された光は光路合成鏡１２３から出射され、コリメート光学系１１３によって平行光に変換された後、ビームスプリッタ１１４に導入される。ビームスプリッタ１１４はハーフミラー等から構成される。ビームスプリッタ１１４に導入された光（入射光）は２光束に分割される。
【００２１】
分割された光の一方は固定鏡１１５に照射される。固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）に反射した光（反射光）は、反射前と略同一の光路を通過してビームスプリッタ１１４に再び照射される。分割された光の他方は移動鏡１１６に照射される。移動鏡１１６の表面１１６Ａに反射した光（反射光）は、反射前と略同一の光路を通過してビームスプリッタ１１４に再び照射される。固定鏡１１５からの反射光および移動鏡１１６からの反射光は、ビームスプリッタ１１４によって合成される（重ね合わせられる）。
【００２２】
ここで、分割された光の他方が移動鏡１１６の表面１１６Ａに反射する際、移動鏡１１６は駆動機構１１９によって平行を維持した状態で矢印ＡＲ１１６方向に往復移動している。移動鏡１１６の往復移動によって、固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との間には、光路長の差が生じる。固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光とは、ビームスプリッタ１１４に合成されることによって干渉光を形成する。
【００２３】
移動鏡１１６の位置に応じて光路長の差は連続的に変化する。光路長の差に応じて干渉光としての光の強度も連続的に変化する。光路長の差が、たとえば、コリメート光学系１１３からビームスプリッタ１１４に照射される光の波長の整数倍のとき、干渉光としての光の強度は最大となる。
【００２４】
干渉光を形成した光は試料Ｓに照射される。試料Ｓを透過した光は集光光学系１１７に集光される。集光された光は、参照光学系１２１（詳細は後述する）における光路分離鏡１２４に導入される。検出器１１８は、光路分離鏡１２４から出射された光を干渉パターン（インターフェログラム）として検出する。この干渉パターンは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等を含む演算部１２０に送られる。演算部１２０は、収集（サンプリング）した干渉パターンをアナログ形式からデジタル形式に変換し、変換後のデータをさらにフーリエ変換する。
【００２５】
フーリエ変換によって、試料Ｓを透過した光（干渉光）の波数（＝１／波長）毎の光の強度を示すスペクトル分布が算出される。フーリエ変換後のデータは、出力部１３０を通して他の機器に出力されたりディスプレイ等に表示されたりする。このスペクトル分布に基づいて、試料Ｓの特性（たとえば、材料、構造、または成分量）が分析される。
【００２６】
（参照光学系１２１）
参照光学系１２１は、コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５、移動鏡１１６、集光光学系１１７、参照光源１２２、光路合成鏡１２３、光路分離鏡１２４、参照検出器１２５、および信号処理部１２６を有している。コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５、移動鏡１１６、および集光光学系１１７は、分光光学系１１１および参照光学系１２１の双方の構成として共通している。
【００２７】
参照光源１２２は、半導体レーザ等の発光素子から構成され、赤色光等の光を出射する。上述のとおり、参照光源１２２が出射した光は光路合成鏡１２３に導入される。光路合成鏡１２３はハーフミラー等から構成される。光源１１２からの光は光路合成鏡１２３を透過する。参照光源１２２からの光は光路合成鏡１２３に反射される。
【００２８】
光源１１２からの光および参照光源１２２からの光は、光路合成鏡１２３によって合成された状態で、光路合成鏡１２３から同一光路上に出射される。光路合成鏡１２３から出射された光は、コリメート光学系１１３によって平行光に変換された後、ビームスプリッタ１１４に導入されて２光束に分割される。
【００２９】
上述のとおり、分割された光の一方は固定鏡１１５に照射され、反射光としてビームスプリッタ１１４に再び照射される。分割された光の他方は移動鏡１１６に照射され、反射光としてビームスプリッタ１１４に再び照射される。固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光とは、ビームスプリッタ１１４に合成されることによって干渉光を形成する。
【００３０】
上述のとおり、干渉光を形成した光は試料Ｓに照射される。試料Ｓを透過した光は集光光学系１１７に集光される。集光された光は、参照光学系１２１における光路分離鏡１２４に導入される。光路分離鏡１２４はハーフミラー等から構成され、光路分離鏡１２４に導入された光（入射光）は２光束に分割される。
【００３１】
光源１１２から出射され、光路合成鏡１２３、コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５、移動鏡１１６、試料Ｓ、および集光光学系１１７を通して光路分離鏡１２４に導入された光は、光路分離鏡１２４を透過する。上述のとおり、光路分離鏡１２４を透過したこの光（干渉光）は、検出器１１８によって検出される。
【００３２】
一方、参照光源１２２から出射され、光路合成鏡１２３、コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５、移動鏡１１６、試料Ｓ、および集光光学系１１７を通して光路分離鏡１２４に導入された光は、光路分離鏡１２４に反射される。光路分離鏡１２４からの反射光（干渉光）は、４分割センサ等から構成される参照検出器１２５によって干渉パターンとして検出される。
【００３３】
干渉光の干渉パターンは、ＣＰＵ等を含む信号処理部１２６に送られる。信号処理部１２６は、収集した干渉パターンに基づいて光路分離鏡１２４からの反射光の強度を算出する。信号処理部１２６は、光路分離鏡１２４からの反射光の強度に基づいて、演算部１２０におけるサンプリングのタイミングを示す信号を生成することができる。演算部１２０におけるサンプリングのタイミングを示す信号は、公知の手段によって生成されることができる。
【００３４】
信号処理部１２６は、光路分離鏡１２４からの反射光の強度に基づいて、２光路間における光の傾き（固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との相対的な傾き）を算出することもできる。２光路間における光の傾きは、たとえば以下のように算出される。
【００３５】
図２を参照して、４分割センサから構成される参照検出器１２５は、４つの受光領域Ｅ１〜Ｅ４を有している。受光領域Ｅ１〜Ｅ４は反時計回りに並んで相互に隣接している。受光領域Ｅ１〜Ｅ４によって構成される領域に、光路分離鏡１２４からの反射光が照射される。受光領域Ｅ１〜Ｅ４によって構成される領域の中心と、光路分離鏡１２４からの反射光のスポットＤの中心とは略一致している。
【００３６】
受光領域Ｅ１〜Ｅ４は、光路分離鏡１２４からそれぞれの領域に照射された反射光の強度を検出する。光路分離鏡１２４からの反射光の強度は、経時的に変化する位相信号として、たとえば図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示されるように検出される。
【００３７】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）の各々の横軸は、時間（単位：秒）の経過を示している。図３（Ａ）の縦軸は、受光領域Ｅ１が検出した光強度および受光領域Ｅ２が検出した光強度の和を強度Ａ１（相対値）として示している。図３（Ｂ）の縦軸は、受光領域Ｅ３が検出した光強度および受光領域Ｅ４が検出した光強度の和を強度Ａ２（相対値）として示している。
【００３８】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、強度Ａ１と強度Ａ２との間に、位相差Δが生じているとする。位相差Δに基づいて、２光路間での光の傾き（固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との相対的な傾き）が算出される。受光領域Ｅ１〜Ｅ４からなる他の組み合わせ（たとえば受光領域Ｅ１，Ｅ４と受光領域Ｅ２，Ｅ３との組合せ）によって、他の位相差Δを得ることができる。上記の位相差Δとこの他の位相差Δとに基づいて、２光路間での光の傾きの方向（ベクトル）を算出することもできる。
【００３９】
（光学面の姿勢調整機構１００Ａ）
図１を再び参照して、光学面の姿勢調整機構１００Ａは、信号処理部１２６における検出結果（固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との相対的な傾き）に基づいて、固定鏡１１５の姿勢（ビームスプリッタ１１４に対する表面１１５Ａの角度）を矢印ＡＲ１１５方向に調整する。当該調整によって、固定鏡１１５における反射光の光路が補正され、２光路間での光の傾きを無くす（若しくは減少させる）ことが可能となる。光学面の姿勢調整機構１００Ａがマイケルソン干渉計１１０内に設けられていることによって、干渉光をより精度高く生成することが可能となる。
【００４０】
以下、図４および図５を参照して、本実施の形態における光学面の姿勢調整機構１００Ａの構成について詳細に説明する。図４は、光学面の姿勢調整機構１００Ａを示す斜視図である。図５は、図４中におけるＶ−Ｖ線に関する矢視断面図である。
【００４１】
図４を参照して、光学面の姿勢調整機構１００Ａ（以下、姿勢調整機構１００Ａともいう。後述の実施の形態２〜１０においても同様とする。）は、光学部材としての固定鏡１１５（被調整部材）、固定台２０、支持部３０、第１移動部材４０、およびベース部材５０を備える。
【００４２】
固定鏡１１５は、略直方体状に形成され、表面１１５Ａおよび裏面１１５Ｂを含む。表面１１５Ａが光学面を形成している。表面１１５Ａに照射された光Ｌ１（図５参照）が表面１１５Ａに反射することによって、光Ｌ２（反射光）が得られる。
【００４３】
固定台２０も、略直方体状に形成され、表面２１および裏面２２を含む。支持部３０は、所定の剛性を有する。支持部３０は、固定鏡１１５の裏面１１５Ｂと固定台２０の表面２１との間に設けられる。図５に示すように、本実施の形態においては、固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０は一体的に形成される。固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０は、金属部材（材質はたとえばアルミニウムまたは黄銅）に対する切削加工によって、一体的に形成されることができる。
【００４４】
支持部３０は、固定鏡１１５の裏面１１５Ｂの中心と固定台２０の表面２１の中心とを接続している。支持部３０は、円柱状であっても、四角柱状であってもよい。固定台２０の下端は、ベース部材５０に固定される。当該構成によって、固定鏡１１５および支持部３０は、ベース部材５０に固定された固定台２０によって片持ち梁状に揺動可能に支持される。
【００４５】
第１移動部材４０は、たとえばネジまたはボルトなどの螺合手段から構成され、裏面２２側から表面２１側に向かって固定台２０を貫通するとともに、固定台２０に螺合している。第１移動部材４０の先端部４２は、固定鏡１１５の裏面１１５Ｂに対向し、軸線方向（図５紙面左右方向）に進退移動可能となっている。図５に示すように、第１移動部材４０の固定鏡１１５側における先端部４２は球面状に構成されるとよい。
【００４６】
フーリエ変換分光分析装置１０００、マイケルソン干渉計１１０、および光学面の姿勢調整機構１００Ａは、以上のように構成される。
【００４７】
（フーリエ変換分光分析装置１０００等の動作）
フーリエ変換分光分析装置１０００は、研究所内または開発室内などの所定の場所に設置される。フーリエ変換分光分析装置１０００が設置された後、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢が所望の角度に調整される。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢は、上記の姿勢調整機構１００Ａによって調整される。
【００４８】
また、図３（Ａ）および図３（Ｂ）を参照して上述したように、姿勢調整機構１００Ａは、信号処理部１２６（図１参照）における検出結果（固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との相対的な傾き）に基づいて、固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢（ビームスプリッタ１１４に対する角度）を調整する。当該調整によって、固定鏡１１５における反射光の光路が補正され、２光路間での光の傾きを無くす（若しくは減少させる）ことが可能となる。干渉光は、より精度高く生成されることが可能となる。
【００４９】
以下、図６を参照して、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢を調整するための姿勢調整機構１００Ａの動作について説明する。姿勢調整機構１００Ａにおいては、第１移動部材４０が、機械的にまたは作業者によって回転方向の力を受ける。第１移動部材４０の軸方向周りの回転によって、第１移動部材４０は軸線方向（図６紙面左右方向）に進退移動する。
【００５０】
第１移動部材４０が矢印ＡＲ４０方向に前進移動する場合について説明する。この場合、第１移動部材４０の先端部４２は固定鏡１１５の裏面１１５Ｂに当接する。当該当接後、第１移動部材４０がさらに前進移動することによって、第１移動部材４０の先端部４２は固定鏡１１５の裏面１１５Ｂを押圧する。固定鏡１１５は、支持部３０の剛性に対抗して、支持部３０を中心に矢印ＡＲ１１方向（第１の方向）に回動する。光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００５１】
第１移動部材４０が（矢印ＡＲ４０とは反対方向に）後退移動する場合について説明する。第１移動部材４０が後退移動する際、第１移動部材４０の先端部４２と固定鏡１１５の裏面１１５Ｂとが相互に当接している状態では、支持部３０の剛性から生じる復元力により固定鏡１１５は支持部３０を中心に回動する。固定鏡１１５は、矢印ＡＲ１１方向とは反対方向（第２の方向）に回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度は、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００５２】
第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量に応じて固定鏡１１５の回動量（たおれ角度）が調整される。表面１１５Ａの姿勢とともに、光Ｌ２の反射角度も調整されることが可能となる。第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量は、第１移動部材４０と固定台２０との螺合によって調整されてもよく、第１移動部材４０と固定台２０との摺動（摩擦係合）によって調整されてもよい。第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量は、機械的に調整されてもよく、作業者によって調整されてもよい。
【００５３】
（作用・効果）
冒頭に説明した特開２００２−１４８１１６号公報（特許文献１）が開示する発明においては、固定鏡を保持するホルダが、弾性体からなる首部を有する支持棒を介して固定台に固定される。ホルダは、首部とは別途設けられた板ばねと圧電素子とで挟まれる。圧電素子が後退すると、板ばねの付勢力により固定鏡は下に傾く。
【００５４】
特許文献１における首部は、ゴム等の弾性体である（特許文献１の段落００１７参照）。圧電素子が後退した際に固定鏡を下に傾けるために、板ばねが用いられる。固定鏡は、板バネの付勢力によって下に傾けられる。つまり、首部がゴム等の弾性体であるため、別途板バネを用いてその付勢力によって固定鏡の角度を調整する必要がある。
【００５５】
特許文献１によると、板バネを用いるために、板バネおよびこの板バネを固定するネジが準備される。さらに、ネジが取り付けられる固定台にはネジ孔が複数加工される必要がある。特許文献１における姿勢調整機構においては、部品点数も多く、構成も複雑であり、その構成を得るための負担も大きい。
【００５６】
本実施の形態における姿勢調整機構１００Ａにおいては、第１移動部材４０が固定鏡１１５に当接した状態で後退移動する場合には、支持部３０の剛性から生じる復元力によって固定鏡１１５は回動することができる。姿勢調整機構１００Ａは、特許文献１における板バネを不要としており、特許文献１に開示される発明に比べて部品点数も少なく、構成も簡素であり、その構成を得るための負担も小さい。
【００５７】
固定鏡１１５の姿勢（表面１１５Ａの向き）は、フーリエ変換分光分析装置１０００が所定の場所に設置された後、またはフーリエ変換分光分析装置１０００の起動時などに調整されるとよい。固定鏡１１５の姿勢は、干渉光を生成する際に、信号処理部１２６における検出結果に基づいて調整されてもよい。この場合、干渉光は、より精度高く生成されることが可能となる。
【００５８】
［実施の形態２］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、第１移動部材４０が固定鏡１１５に当接していない状態では、固定鏡１１５と固定台２０とが略平行な位置関係となっている（図５参照）。
【００５９】
図７を参照して、固定鏡１１５の回動可能な範囲を広げる観点から、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｂのように、固定鏡１１５は固定台２０に対して予め角度θだけ傾けられていてもよい。第１移動部材４０が固定鏡１１５に当接していない状態で、固定鏡１１５が固定台２０に対して角度θだけ傾いていると、固定鏡１１５の回動可能範囲もその分（時計回り方向に）広がる。表面１１５Ａの姿勢を調整可能な範囲および光Ｌ２の反射可能な角度範囲も、角度θの分だけ図７紙面左斜め上方向に拡大することが可能となる。
【００６０】
［実施の形態３］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、固定鏡１１５に対して進退移動する部材として、第１移動部材４０が固定台２０に設けられる（図５参照）。
【００６１】
図８を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｃのように、第１移動部材４１が固定台２０にさらに設けられていてもよい。第１移動部材４０と第１移動部材４１とは、支持部３０から見て相互に９０°離れた位置に設けられるとよい。第１移動部材４１の固定鏡１１５側における先端部４３も、球面状に構成されるとよい。第１移動部材４０および第１移動部材４１を用いて固定鏡１１５を押圧することによって、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢を３次元方向に調整することが可能となる。
【００６２】
［実施の形態４］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、第１移動部材４０が、裏面２２側から表面２１側に向かって固定台２０を貫通するとともに、固定台２０に螺合している（図５参照）。
【００６３】
図９を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｄのように、第１移動部材４０は、表面１１５Ａ側から裏面１１５Ｂ側に向かって固定鏡１１５を貫通するとともに、固定鏡１１５に螺合していてもよい。第１移動部材４０の先端部４２は、固定台２０の表面２１に対向し、軸線方向（図９紙面左右方向）に進退移動可能となっている。図９に示すように、支持部３０は、固定鏡１１５および固定台２０の下方側同士を接続していてもよい。
【００６４】
第１移動部材４０が矢印ＡＲ４０方向に前進移動する場合について説明する。この場合、第１移動部材４０の先端部４２は固定台２０の表面２１に当接する。当該当接後、第１移動部材４０がさらに前進移動することによって、第１移動部材４０の先端部４２は固定台２０の表面２１を押圧する。固定鏡１１５は、支持部３０の剛性に対抗して、支持部３０を中心に矢印ＡＲ１１方向（第１の方向）に回動する。光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００６５】
第１移動部材４０が（矢印ＡＲ４０とは反対方向に）後退移動する場合について説明する。第１移動部材４０が後退移動する際、第１移動部材４０の先端部４２と固定台２０の表面２１とが相互に当接している状態では、支持部３０の剛性から生じる復元力により固定鏡１１５は支持部３０を中心に回動する。固定鏡１１５は、矢印ＡＲ１１方向とは反対方向（第２の方向）に回動する。光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００６６】
第１移動部材４０の固定鏡１１５に対する押し込み量に応じて固定鏡１１５の回動量（たおれ角度）が調整される。表面１１５Ａの姿勢とともに、光Ｌ２の反射角度も調整されることが可能となる。第１移動部材４０の固定鏡１１５に対する押し込み量は、第１移動部材４０と固定鏡１１５との螺合によって調整されてもよく、第１移動部材４０と固定鏡１１５との摺動（摩擦係合）によって調整されてもよい。第１移動部材４０の固定鏡１１５に対する押し込み量は、機械的に調整されてもよく、作業者によって調整されてもよい。
【００６７】
［実施の形態５］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、支持部３０は、固定鏡１１５の裏面１１５Ｂと固定台２０の表面２１とを接続している（図５参照）。第１移動部材４０の先端部４２は固定鏡１１５の裏面１１５Ｂに対向し、第１移動部材４０は裏面１１５Ｂに当接可能に構成されている。
【００６８】
図１０を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｅのように、支持部３０は、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）と固定台２０の表面２１とを接続していてもよい。この場合、固定台２０には光Ｌ１，Ｌ２が通過する孔２３が設けられる。第１移動部材４０の先端部４２は固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）に対向し、第１移動部材４０は表面１１５Ａに当接可能に構成される。当該構成によっても、第１移動部材４０の進退移動によって固定鏡１１５の回動量が調整される。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢は調整され、光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も調整されることができる。
【００６９】
［実施の形態６］
上述の実施の形態５の姿勢調整機構１００Ｅにおいては、第１移動部材４０が裏面２２側から表面２１側に向かって固定台２０を貫通するとともに、固定台２０に螺合している（図５参照）。
【００７０】
図１１を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｆのように、第１移動部材４０は裏面１１５Ｂ側から表面１１５Ａ側に向かって固定鏡１１５を貫通するとともに、固定鏡１１５に螺合していてもよい。当該構成によっても、上述の実施の形態４（図９参照）と同様にして、第１移動部材４０の進退移動によって固定鏡１１５の回動量が調整される。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢は調整され、光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も調整されることができる。
【００７１】
［実施の形態７］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０は一体的に形成される（図５参照）。
【００７２】
図１２を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｇでは、上述の支持部３０の代わりに支持部３０Ａが用いられる。固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０Ａは別体として形成される。本実施の形態における支持部３０Ａは、所定の剛性を有し、両端部が雄ネジ状に形成される。支持部３０Ａの両端部は、固定鏡１１５および固定台２０にそれぞれ螺合している。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用効果を得ることができる。さらに、固定鏡１１５が容易に交換されることも可能となる。
【００７３】
［実施の形態８］
上述の実施の形態７の姿勢調整機構１００Ｇにおいては、支持部３０Ａの両端部が固定鏡１１５および固定台２０にそれぞれ螺合している。（図１２参照）。
【００７４】
図１３を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｈでは、上述の支持部３０Ａの代わりに支持部３０Ｂが用いられる。支持部３０Ｂは、両端部が焼き嵌め可能な金属部材から構成される。支持部３０Ａの両端部は、固定鏡１１５および固定台２０のそれぞれ対して焼き嵌めによって固着される。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用効果を得ることができる。
【００７５】
［実施の形態９］
図１４〜図１６を参照して、本実施の形態における光学面の姿勢調整機構２００Ａについて説明する。ここでは、上述の実施の形態１における姿勢調整機構１００Ａとの相違点について説明する。
【００７６】
図１４は、姿勢調整機構２００Ａを分解して示す斜視図である。図１５は、図１４中におけるＸＶ−ＸＶ線に関する矢視断面図である。図１５では、図１４とは異なり、組立てられた状態の姿勢調整機構２００Ａの断面図が示されている。図１６は、図１５中におけるＸＶＩ−ＸＶＩ線に関する矢視断面図である。
【００７７】
図１４および図１５を参照して、姿勢調整機構２００Ａにおいては、固定鏡１１５が第２移動部材７０を含む。第２移動部材７０は、固定台２０に形成された凹部１６内に収容される。凹部１６は、固定台２０が裏面１１５Ｂから表面１１５Ａに向かって所定の深さで直方体状にくり抜かれることによって形成される。凹部１６の長手方向の一方側（図１４紙面上方側）の内周面に向かって、固定鏡１１５の側面１４Ａから雌ネジ１４が貫設される。雌ネジ１４には雄ネジ６０が螺合する。
【００７８】
図１６を参照して、第２移動部材７０は、側面視台形状に形成される。第２移動部材７０の端面７２には、雌ネジ１４に螺合する雄ネジ６０の先端部６２が当接する。第２移動部材７０の端面７２と雄ネジ６０の先端部６２との当接状態は、コイルバネ７８の付勢力によって維持される。当該構成によって、第２移動部材７０は、雄ネジ６０と一体的に、第１移動部材４０の移動方向（図１６紙面左右方向）に交差する方向（図１６紙面上下方向）に進退移動可能となる。
【００７９】
コイルバネ７８は必要に応じて設けられるとよい。第２移動部材７０の端面７２と雄ネジ６０の先端部６２との当接状態は、たとえば接着などの手段によって維持されてもよい。
【００８０】
第２移動部材７０は、第１移動部材４０の前進移動方向の前方に位置する。第２移動部材７０は、雄ネジ６０に押圧されることによって、凹部１６内の内壁面１６Ａ上を図１６紙面上下方向に進退移動する。第２移動部材７０は、第２移動部材７０の移動方向に対して傾斜する当接部７４を有している。
【００８１】
当接部７４は、第２移動部材７０が進退移動することによって、第１移動部材４０の移動方向上における位置が変位する。当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２とが離れた状態においては、当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２との第１移動部材４０の移動方向上における間隔は、第２移動部材７０が進退移動することによって増減する。
【００８２】
（動作）
姿勢調整機構２００Ａにおいては、固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢がまず大まかに調整され（以下、粗調整という）、その後必要に応じて細かく調整される（以下、微調整という）。
【００８３】
図１７を参照して、粗調整の際は、第１移動部材４０が機械的にまたは作業者によって回転方向の力を受ける。第１移動部材４０は、矢印ＡＲ４０方向に前進移動する。第１移動部材４０の先端部４２は、第２移動部材７０の当接部７４に当接する。この際、第２移動部材７０は雄ネジ６０とコイルバネ７８とによって挟まれている。第２移動部材７０は、第１移動部材４０の先端部４２に当接されても図１７紙面上下方向には移動しない。
【００８４】
第１移動部材４０の先端部４２が当接部７４に当接した状態においては、第１移動部材４０の先端部４２と凹部１６の内壁面１６Ａとは間隔Ｘ１を空けている。第１移動部材４０がさらに前進移動することによって、第１移動部材４０は第２移動部材７０を押圧する。第２移動部材７０は凹部１６の内壁面１６Ａを押圧し、内壁面１６Ａに対する第２移動部材７０の押圧によって、固定鏡１１５は回動する。
【００８５】
この際、固定鏡１１５は、支持部３０の剛性に対抗して、支持部３０を中心に矢印ＡＲ１２方向（第１の方向：図１７紙面奥行き方向）に回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ１が反射することによって得られる光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も、固定鏡１１５の移動量に合わせて変化する。
【００８６】
第１移動部材４０が後退移動する際、第１移動部材４０の先端部４２と第２移動部材７０の当接部７４とが相互に当接した状態では、支持部３０の剛性から生じる復元力により固定鏡１１５は支持部３０を中心に回動する。固定鏡１１５は、矢印ＡＲ１２方向とは反対方向（第２の方向）に回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度は、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００８７】
以上のようにして、第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量に応じて固定鏡１１５の回動量（たおれ角度）が粗調整される。粗調整の後、必要に応じて微調整が行なわれる。固定鏡１１５の表面１１５Ａが粗調整によって所望の姿勢を呈している場合、微調整は行なわれなくてもよい。
【００８８】
図１８を参照して、微調整の際は、雄ネジ６０が機械的にまたは作業者によって回転方向の力を受ける。雄ネジ６０の軸方向周りの回転によって、雄ネジ６０および第２移動部材７０は、矢印ＡＲ６０方向（図１８紙面上下方向）に進退移動する。この際、第２移動部材７０の当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２との当接状態が維持されながら、第２移動部材７０の当接部７４は第１移動部材４０の先端部４２に対して滑り移動する。
【００８９】
第２移動部材７０が前進移動する際、第２移動部材７０の端面７２側の部分（肉厚の部分）が、第１移動部材４０の先端部４２と凹部１６の内壁面１６Ａとの間に押し込まれる。第１移動部材４０の先端部４２と凹部１６の内壁面１６Ａとの間隔（間隔Ｘ２）は徐々に広がる。
【００９０】
この際、第１移動部材４０は固定台２０に対して固定（螺合）されている。凹部１６の内壁面１６Ａは、第２移動部材７０を通して第１移動部材４０の先端部４２に押圧される。当該押圧によって、固定鏡１１５は、支持部３０の剛性に対抗して、支持部３０を中心に矢印ＡＲ１３方向（第１の方向：図１８紙面奥行き方向）にさらに回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ１が反射することによって得られる光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度は、固定鏡１１５の移動量に合わせて変化する。
【００９１】
第２移動部材７０が後退移動する際、第１移動部材４０の先端部４２と第２移動部材７０の当接部７４とが相互に当接した状態では、支持部３０の剛性から生じる復元力により固定鏡１１５は支持部３０を中心に回動する。固定鏡１１５は、矢印ＡＲ１３方向とは反対方向（第２の方向）に回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度は、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００９２】
ここで、粗調整においては、第１移動部材４０の進退移動方向と表面１１５Ａの回動方向とは略同じ向きである。第１移動部材４０の移動量が、表面１１５Ａの姿勢の調整に直接反映される。一方、微調整においては、第２移動部材７０の進退移動方向と表面１１５Ａの回動方向とは略直交する関係にある。第２移動部材７０の移動量は、当接部７４の傾斜を通して表面１１５Ａの姿勢の調整に反映される。
【００９３】
第１移動部材４０と第２移動部材７０とが同一の量だけ移動した場合、第１移動部材４０の移動による固定鏡１１５の回動量は、第２移動部材７０に移動による固定鏡１１５の回動量に比べて多い。当該構成によって、第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量と、第２移動部材７０および雄ネジ６０の固定鏡１１５に対する押し込み量とに応じて、表面１１５Ａに対する粗調整および微調整がそれぞれ行なわれることができる。
【００９４】
（作用・効果）
姿勢調整機構２００Ａによれば、上述の実施の形態１における作用および効果に加え、表面１１５Ａに対する微調整を行なうことが可能となる。姿勢調整機構２００Ａがマイケルソン干渉計１１０（図１参照）内に設けられていることによって、干渉光をより精度高く生成することが可能となる。
【００９５】
［実施の形態９の変形例］
上述の実施の形態９の姿勢調整機構２００Ａにおいては、直方体状にくり抜かれた凹部１６内に収容される第２移動部材７０が、側面視台形状に形成される（図１６参照）。当接部７４は、第２移動部材７０が進退移動することによって、第１移動部材４０の移動方向上における位置が変位する。当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２とが離れた状態においては、当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２との第１移動部材４０の移動方向上における間隔は、第２移動部材７０が進退移動することによって増減する。
【００９６】
図１９を参照して、凹部１６の内壁面１６Ａが傾斜し、第２移動部材７０は直方体状に構成されてもよい。当該構成によっても、当接部７４は、第２移動部材７０が進退移動することによって、第１移動部材４０の移動方向上における位置が変位する。当該構成によっても、上述の実施の形態９と同様の作用および効果を得ることが可能となる。
【００９７】
上述の実施の形態９は、上述の実施の形態２〜８と組み合わされることが可能である。たとえば、上述の実施の形態２（図７参照）と同様に、第１移動部材４０が第２移動部材７０に当接していない状態で、固定鏡１１５は固定台２０に対して予め角度θだけ傾けられていてもよい。固定鏡１１５の回動可能範囲が広がる。表面１１５Ａの姿勢を調整可能な範囲および光Ｌ２の反射可能な角度範囲も広がる。
【００９８】
上述の実施の形態３（図８参照）と同様に、第１移動部材４１（図８参照）が固定台２０にさらに設けられていてもよい。固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢を３次元方向に調整することが可能となる。
【００９９】
上述の実施の形態４（図９参照）と同様に、第１移動部材４０は、表面１１５Ａ側から裏面１１５Ｂ側に向かって固定鏡１１５を貫通するとともに、固定鏡１１５に螺合していてもよい。この場合、雄ネジ６０（図１４参照）、第２移動部材７０および凹部１６等は、固定台２０に設けられるとよい。
【０１００】
上述の実施の形態５（図１０参照）と同様に、支持部３０は、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）と固定台２０の表面２１とを接続していてもよい。この場合、固定台２０には光Ｌ１，Ｌ２が通過する孔２３（図１０参照）が設けられる。
【０１０１】
上述の実施の形態６（図１１参照）と同様に、第１移動部材４０は裏面１１５Ｂ側から表面１１５Ａ側に向かって固定鏡１１５を貫通するとともに、固定鏡１１５に螺合していてもよい。
【０１０２】
上述の実施の形態７（図１２参照）と同様に、上述の支持部３０の代わりに支持部３０Ａが用いられ、固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０Ａは別体として形成されてもよい。支持部３０Ａは、両端部が雄ネジ状に形成され、固定鏡１１５および固定台２０にそれぞれ螺合する。
【０１０３】
上述の実施の形態８（図１３参照）と同様に、上述の支持部３０Ａの代わりに支持部３０Ｂが用いられ、支持部３０Ｂは、両端部が焼き嵌め可能な金属部材から構成されてもよい。支持部３０Ａの両端部は、固定鏡１１５および固定台２０のそれぞれ対して焼き嵌めによって固着される。
【０１０４】
［実施の形態１０］
図２０〜図２２を参照して、本実施の形態における光学面の姿勢調整機構２００Ｂについて説明する。姿勢調整機構２００Ｂは、上述の実施の形態１〜実施の形態９をさらに具現化したものである。図２０は、姿勢調整機構２００Ｂを分解して示す第１斜視図である。図２１は、姿勢調整機構２００Ｂを分解して示す第２斜視図である。図２２は、姿勢調整機構２００Ｂを示す断面図である。
【０１０５】
図２０および図２１を参照して、姿勢調整機構２００Ａは、光学部材としての固定鏡１１５（被調整部材）、固定鏡支持体１０Ａ（被調整部材支持体）、固定台２０、支持部構成体３０Ｃ、第１移動部材４０、第１移動部材４１、第２移動部材７０、第２移動部材７１、雄ネジ６０、雄ネジ６１、およびベース部材５０（図２２参照）を備える。図示上の便宜のため、ベース部材５０は図２２にのみ記載される。
【０１０６】
固定台２０は、略直方体状に形成され、表面２１および裏面２２を有している。固定台２０には、貫通孔２４、雌ネジ２５、および雌ネジ２６が設けられる。固定台２０の表面２１の略中央には、凹部２７が設けられる。凹部２７の形状は、支持部構成体３０Ｃ（詳細は後述する）の第２平板部３２の形状に対応している。第２平板部３２には雌ネジ３４（図２１参照）が形成される。第２平板部３２は凹部２７に嵌め込まれる。第２平板部３２は、貫通孔２４に挿通された雄ネジ２８（図２２参照）が雌ネジ３４に螺合することによって、固定台２０に固定される。
【０１０７】
凹部２７の中央から見て、雌ネジ２５および雌ネジ２６は相互に９０°離れて設けられている。第１移動部材４０および第１移動部材４１は、裏面２２側から表面２１側に向かって固定台２０を貫通するとともに、雌ネジ２５および雌ネジ２６にそれぞれ螺合している。第１移動部材４０および第１移動部材４１は、軸線方向に進退移動可能となっている。第１移動部材４０の先端部４２および第１移動部材４１の先端部４３は、それぞれ球面状に構成されるとよい。
【０１０８】
固定鏡１１５は、略直方体状に形成され、表面１１５Ａおよび裏面１１５Ｂを含む。表面１１５Ａが光学面を形成している。固定鏡１１５は、接着などによって次述する固定鏡支持体１０Ａの凹部１９内に取り付けられる。固定鏡支持体１０Ａも、略直方体状に形成される。固定鏡支持体１０Ａは、表面１１Ａおよび裏面１２Ａを有する。
【０１０９】
表面１１Ａの略中央には、固定鏡１１５の形状に対応した凹部１９（図２０参照）が設けられる。凹部１９には、貫通孔１７が設けられる。貫通孔１７には雄ネジ２９（図２２参照）が挿通される。雄ネジ２９は、後述する支持部構成体３０Ｃの第１平板部３１に設けられた雌ネジ３３に螺合する。当該螺合によって、固定鏡支持体１０Ａは支持部構成体３０Ｃの第１平板部３１に取り付けられる。
【０１１０】
図２１に示すように、固定鏡支持体１０Ａの裏面１２Ａには、凹部１５、凹部１６、および凹部１８が設けられる。凹部１５および凹部１６は、固定鏡支持体１０Ａの中心から見て相互に９０°離れた位置に設けられる。凹部１５および凹部１６の位置は、雌ネジ２５に螺合する第１移動部材４０および雌ネジ２６に螺合する第１移動部材４１の位置にそれぞれ対応している。凹部１８は、後述する支持部構成体３０Ｃの第１平板部３１の形状に対応している。
【０１１１】
凹部１５の長手方向の一方側の内周面に向かって、固定鏡支持体１０Ａの側面１３Ａから雌ネジ１３が貫設される。雌ネジ１３には、雄ネジ６１が螺合する。凹部１６の長手方向の一方側の内周面に向かって、固定鏡支持体１０Ａの側面１４Ａ（図２０参照）から雌ネジ１４が貫設される。雌ネジ１４には、雄ネジ６０が螺合する。雄ネジ６０の先端部６２および雄ネジ６１の先端部６３は、それぞれ球面状に形成されるとよい。
【０１１２】
第２移動部材７０は、凹部１６内に収容される。凹部１６内に収容された第２移動部材７０の端面７２には、雄ネジ６０の先端部６２が当接する。第２移動部材７０の端面７２と雄ネジ６０の先端部６２との当接状態は、接着またはコイルバネなどによって維持される。当該構成によって、第２移動部材７０は、雄ネジ６０と一体的に第１移動部材４０の移動方向に交差する方向に進退移動可能となる。
【０１１３】
第２移動部材７０は、第１移動部材４０の前進移動方向の前方に位置する。第２移動部材７０は、雄ネジ６０に押圧されることによって、凹部１６内の内壁面上を進退移動する。第２移動部材７０は、側面視台形状に形成され、第２移動部材７０の移動方向に対して傾斜する当接部７４を有している。
【０１１４】
当接部７４は、第２移動部材７０が進退移動することによって、第１移動部材４０の移動方向上における位置が変位する。当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２とが離れた状態においては、当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２との第１移動部材４０の移動方向上における間隔は、第２移動部材７０が進退移動することによって増減する。
【０１１５】
同様に、第２移動部材７１は、凹部１５内に収容される。凹部１５内に収容された第２移動部材７１の端面７３には、雄ネジ６１の先端部６３が当接する。第２移動部材７１の端面７３と雄ネジ６１の先端部６３との当接状態は、接着またはコイルバネなどによって維持される。当該構成によって、第２移動部材７１は、雄ネジ６１と一体的に第１移動部材４１の移動方向に交差する方向に進退移動可能となる。
【０１１６】
第２移動部材７１は、第１移動部材４１の前進移動方向の前方に位置する。第２移動部材７１は、雄ネジ６１に押圧されることによって、凹部１５内の内壁面上を進退移動する。第２移動部材７１は、側面視台形状に形成され、第２移動部材７１の移動方向に対して傾斜する当接部７５を有している。
【０１１７】
当接部７５は、第２移動部材７１が進退移動することによって、第１移動部材４１の移動方向上における位置が変位する。当接部７５と第１移動部材４１の先端部４３とが離れた状態においては、当接部７５と第１移動部材４１の先端部４３との第１移動部材４１の移動方向上における間隔は、第２移動部材７１が進退移動することによって増減する。
【０１１８】
図２２を参照して、支持部構成体３０Ｃは、第１平板部３１、第２平板部３２、および支持部３５から一体的に形成される。支持部３５は、第１平板部３１の中心と第２平板部３２の中心とを接続している。第１平板部３１、第２平板部３２、および支持部３５は、金属部材に対する切削加工によって、一体的に形成されることができる。支持部３５は、円柱状であっても、四角柱状であってもよい。
【０１１９】
上述のとおり、第１平板部３１に固定鏡支持体１０Ａが取り付けられる。固定鏡支持体１０Ａに固定鏡１１５が取り付けられる。固定台２０に第２平板部３２が取り付けられる。固定台２０の下端は、ベース部材５０に固定される。当該構成によって、固定鏡支持体１０Ａおよび固定鏡１１５は、支持部構成体３０Ｃを挟んで、ベース部材５０に固定された固定台２０によって片持ち梁状に揺動可能に支持される。姿勢調整機構２００Ｂの全体として見れば、支持部３５は、固定鏡１１５（表面１１５Ａ）と固定台２０の間に位置している。本実施の形態においては、固定鏡１１５および固定鏡支持体１０Ａが、実施の形態１〜９における被調整部材に対応している。
【０１２０】
（作用・効果）
図２０および図２１を参照して、固定鏡支持体１０Ａに取り付けられた固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢は、３次元方向に粗調整および微調整されることが可能である。粗調整は、第１移動部材４０および第１移動部材４１の進退移動によって行なわれる。微調整は、第２移動部材７０および第２移動部材７１の進退移動によって行なわれる。固定鏡１１５が固定鏡支持体１０Ａを挟んで支持部構成体３０Ｃに取り付けられることによって、固定鏡１１５は容易に交換されることができる。
【０１２１】
本実施の形態における姿勢調整機構２００Ｂにおいても、特開２００２−１４８１１６号公報（特許文献１）における板バネを不要としており、特許文献１に開示される発明に比べて部品点数も少なく、構成も簡素であり、その構成を得るための負担も小さい。
【０１２２】
固定鏡１１５の姿勢（表面１１５Ａの向き）は、姿勢調整機構２００Ｂを備えるフーリエ変換分光分析装置１０００が所定の場所に設置された後、またはフーリエ変換分光分析装置１０００の起動時などに調整されるとよい。固定鏡１１５の姿勢は、干渉光を生成する際に、信号処理部１２６における検出結果に基づいて調整されてもよい。この場合、干渉光は、より精度高く生成されることが可能となる。
【０１２３】
以上、本発明に基づいた各実施の形態について説明したが、今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。たとえば、実施の形態１０も上述の実施の形態２〜８と組み合わされることが可能である。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１２４】
１０Ａ 固定鏡支持体、１１Ａ，２１，１１６Ａ 表面、１２Ａ，２２，１１５Ｂ 裏面、１３，１４，２５，２６，３３，３４ 雌ネジ、１３Ａ，１４Ａ 側面、１５，１６，１８，１９，２７ 凹部、１６Ａ 内壁面、１７，２４ 貫通孔、２０ 固定台、２３ 孔、２８，２９，６０，６１ 雄ネジ、３０，３０Ａ，３０Ｂ，３５ 支持部、３０Ｃ 支持部構成体、３１ 第１平板部、３２ 第２平板部、４０，４１ 第１移動部材、４２，４３，６２，６３ 先端部、５０ ベース部材、７０，７１ 第２移動部材、７２，７３ 端面、７４，７５ 当接部、７８ コイルバネ、１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｇ，１００Ｈ，２００Ａ，２００Ｂ 光学面の姿勢調整機構、１１０ マイケルソン干渉計、１１１ 分光光学系、１１２ 光源、１１３ コリメート光学系、１１４ ビームスプリッタ、１１５ 固定鏡（光学部材）、１１５Ａ 表面（光学面）、１１６ 移動鏡、１１７ 集光光学系、１１８ 検出器、１１９ 駆動機構、１２０ 演算部、１２１ 参照光学系、１２２ 参照光源、１２３ 光路合成鏡、１２４ 光路分離鏡、１２５ 参照検出器、１２６ 信号処理部、１３０ 出力部、１０００ フーリエ変換分光分析装置、Ａ１，Ａ２ 強度、ＡＲ１１，ＡＲ１２，ＡＲ１３，ＡＲ４０，ＡＲ６０，ＡＲ１１５，ＡＲ１１６ 矢印、Ｄ スポット、Ｅ１〜Ｅ４ 受光領域、Ｌ１，Ｌ２ 光、Ｓ 試料、Ｘ１，Ｘ２ 間隔。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部材等に形成される光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構、その光学面の姿勢調整機構を備えたマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学面は、レンズ、プリズム、またはミラーなどの光学部材に形成される。光学面に受けた光は、光学部材によって集光（導光）、反射、または透過される。光学面を有する光学部材は、たとえばフーリエ変換分光分析装置（ＦＴＩＲ：Fourier Transform Infrared Spectroscopy）に組み込まれるマイケルソン干渉計に用いられることができる。この場合、光学面の姿勢調整機構は、光学部材としての固定鏡の姿勢を調整する。固定鏡の姿勢が調整されることに伴って、光学面が所定の方向に向けられる。
【０００３】
特開２００２−１４８１１６号公報（特許文献１）は、干渉分光高度計に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、固定鏡の姿勢の粗調整及び微調整を共に自動的に行うことができると述べている。
【０００４】
姿勢調整に関する技術としては以下の４つの文献も知られる。特開２００７−９６８３０号公報（特許文献２）は、撮像素子のあおり（傾斜角度）調整装置およびそれを用いた撮影装置に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、あおり（傾斜角度）調整を行った場合に滑らかにあおり角度を調整することができると述べている。特開２００３−２１５０７１号公報（特許文献３）は、分光素子交換機を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置の分光素子取付機構に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、分光素子の取付角度を十分に高い精度で調整できると述べている。
【０００５】
特開２００３−２２８０１４号公報（特許文献４）は、走査光学装置に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、反射鏡の角度の調整が容易で信頼性の向上を図ることができると述べている。特開２００５−１１７２５３号公報（特許文献５）は、撮像装置に関する発明を開示している。同公報は、上記発明によれば、ＣＣＤ素子の光軸に対する傾きの調整を容易に精度よく行うことができると述べている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１４８１１６号公報
【特許文献２】特開２００７−９６８３０号公報
【特許文献３】特開２００３−２１５０７１号公報
【特許文献４】特開２００３−２２８０１４号公報
【特許文献５】特開２００５−１１７２５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、簡素な構成からなる、光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構、その光学面の姿勢調整機構を備えたマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のある局面に基づく光学面の姿勢調整機構は、光学面を含む被調整部材と、固定台と、所定の剛性を有し、上記被調整部材と上記固定台との間に設けられ、上記被調整部材を揺動可能に支持する支持部と、上記被調整部材および上記固定台の一方に取り付けられ、上記被調整部材および上記固定台の他方に向かって進退移動可能な第１移動部材と、を備え、上記第１移動部材が前進移動して上記被調整部材および上記固定台の上記他方を押圧することによって、上記支持部の剛性に対抗して上記被調整部材は上記支持部を中心に第１の方向に回動し、上記被調整部材および上記固定台の上記他方と上記第１移動部材とが相互に当接した状態で上記第１移動部材が後退移動することによって、上記支持部の剛性から生じる復元力により上記被調整部材は上記支持部を中心に上記第１の方向とは反対の第２の方向に回動し、上記光学面の姿勢は、上記被調整部材が上記第１の方向または上記第２の方向に回動することによって調整される。
【０００９】
好ましくは、上記被調整部材および上記固定台の上記他方は、上記第１移動部材の移動方向に交差する方向に進退移動可能な第２移動部材を含み、上記第２移動部材は、上記第２移動部材が進退移動することによって上記第１移動部材の移動方向上における位置が変位する当接部を有し、上記第１移動部材が上記当接部に当接した状態で上記第２移動部材が進退移動することによって、上記被調整部材は回動するとともに上記光学面の姿勢が調整される。
【００１０】
好ましくは、上記被調整部材、上記固定台、および上記支持部は、一体的に形成されている。
【００１１】
好ましくは、上記第１移動部材の、上記被調整部材および上記固定台の上記他方側における先端部は球面状である。
【００１２】
本発明の他の局面に基づく光学面の姿勢調整機構は、光学面を含む被調整部材と、上記被調整部材が取り付けられる被調整部材支持体と、固定台と、所定の剛性を有し、第１平板部と第２平板部と上記第１平板部および上記第２平板部の間に設けられた支持部とから一体的に形成され、上記第１平板部が上記被調整部材支持体に取り付けられ且つ上記第２平板部が上記固定台に取り付けられることによって、上記被調整部材支持体を揺動可能に支持する支持部構成体と、上記固定台に取り付けられ、上記被調整部材支持体に向かって進退移動可能な第１移動部材と、上記被調整部材支持体に設けられ、上記第１移動部材の移動方向に交差する方向に進退移動可能な第２移動部材と、を備え、上記第１移動部材が前進移動して上記被調整部材支持体を押圧することによって、上記支持部の剛性に対抗して上記被調整部材支持体は上記支持部を中心に第１の方向に回動し、上記第１移動部材が後退移動して上記上記被調整部材支持体から離れることによって、上記支持部の剛性から生じる復元力により上記被調整部材支持体は上記支持部を中心に上記第１の方向とは反対の第２の方向に回動し、上記光学面の姿勢は、上記被調整部材支持体が上記第１の方向または上記第２の方向に回動することによって調整され、さらに、上記第２移動部材は、上記第２移動部材が進退移動することによって上記第１移動部材の移動方向に進退移動する当接部を有し、上記第１移動部材が上記当接部に当接した状態で上記第２移動部材が進退移動することによって、上記被調整部材は回動するとともに上記光学面の姿勢が調整される。
【００１３】
本発明に基づくマイケルソン干渉計は、本発明のある局面または他の局面に基づく上記の光学面の姿勢調整機構と、固定鏡である上記被調整部材と、移動鏡と、光源と、上記光源が出射した光を上記被調整部材に向かう光と上記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、上記被調整部材および上記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッタと、上記干渉光を検出する検出器と、を備える。
【００１４】
本発明に基づくフーリエ変換分光分析装置は、本発明に基づく上記のマイケルソン干渉計と、上記検出器が検出した上記干渉光のスペクトルを算出する演算部と、上記演算部によって得られた上記スペクトルを出力する出力部と、を備える。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、簡素な構成からなる、光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構、その光学面の姿勢調整機構を備えたマイケルソン干渉計、およびそのマイケルソン干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態１におけるフーリエ変換分光分析装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】実施の形態１におけるマイケルソン干渉計に用いられる参照検出器の構成を示す正面図である。
【図３】（Ａ）は、実施の形態１におけるマイケルソン干渉計に用いられる参照検出器が検出した干渉光の一部の強度の経時的な変化を示す図である。（Ｂ）は、実施の形態１におけるマイケルソン干渉計に用いられる参照検出器が検出した干渉光の残部の強度の経時的な変化を示す図である。
【図４】実施の形態１における光学面の姿勢調整機構を示す斜視図である。
【図５】図４中におけるＶ−Ｖ線に関する矢視断面図である。
【図６】実施の形態１における光学面の姿勢調整機構の動作を示す断面図である。
【図７】実施の形態２における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図８】実施の形態３における光学面の姿勢調整機構を示す斜視図である。
【図９】実施の形態４における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１０】実施の形態５における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１１】実施の形態６における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１２】実施の形態７における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１３】実施の形態８における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図１４】実施の形態９における光学面の姿勢調整機構を分解して示す斜視図である。
【図１５】図１４中におけるＸＶ−ＸＶ線に関する矢視断面図（組立図）である。
【図１６】図１５中におけるＸＶＩ−ＸＶＩ線に関する矢視断面図である。
【図１７】実施の形態９における光学面の姿勢調整機構の動作を示す断面図である。
【図１８】実施の形態９における光学面の姿勢調整機構の他の動作を示す断面図である。
【図１９】実施の形態９の変形例における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【図２０】実施の形態１０における光学面の姿勢調整機構を分解して示す第１斜視図である。
【図２１】実施の形態１０における光学面の姿勢調整機構を分解して示す第２斜視図である。
【図２２】実施の形態１０における光学面の姿勢調整機構を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に基づいた各実施の形態について、以下、図面を参照しながら説明する。各実施の形態の説明において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。各実施の形態の説明において、同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。特に制限が無い限り、下記に示す各実施の形態に示す構成を適宜組み合わせて用いることは、当初から予定されていることである。
【００１８】
［実施の形態１］
（フーリエ変換分光分析装置１０００・マイケルソン干渉計１１０）
図１を参照して、本実施の形態におけるフーリエ変換分光分析装置１０００について説明する。フーリエ変換分光分析装置１０００は、マイケルソン干渉計１１０、演算部１２０、および出力部１３０を備える。マイケルソン干渉計１１０は、分光光学系１１１、参照光学系１２１、および光学面の姿勢調整機構１００Ａを含む。
【００１９】
（分光光学系１１１）
分光光学系１１１は、光源１１２、コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５（光学部材）、移動鏡１１６、集光光学系１１７、検出器１１８、および駆動機構１１９を有する。
【００２０】
光源１１２は、半導体レーザ等の発光素子から構成され、赤外光等の光を出射する。光源１１２が出射した光は、参照光学系１２１（詳細は後述する）における光路合成鏡１２３に導入され、参照光源１２２（詳細は後述する）が出射した光と合成される。合成された光は光路合成鏡１２３から出射され、コリメート光学系１１３によって平行光に変換された後、ビームスプリッタ１１４に導入される。ビームスプリッタ１１４はハーフミラー等から構成される。ビームスプリッタ１１４に導入された光（入射光）は２光束に分割される。
【００２１】
分割された光の一方は固定鏡１１５に照射される。固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）に反射した光（反射光）は、反射前と略同一の光路を通過してビームスプリッタ１１４に再び照射される。分割された光の他方は移動鏡１１６に照射される。移動鏡１１６の表面１１６Ａに反射した光（反射光）は、反射前と略同一の光路を通過してビームスプリッタ１１４に再び照射される。固定鏡１１５からの反射光および移動鏡１１６からの反射光は、ビームスプリッタ１１４によって合成される（重ね合わせられる）。
【００２２】
ここで、分割された光の他方が移動鏡１１６の表面１１６Ａに反射する際、移動鏡１１６は駆動機構１１９によって平行を維持した状態で矢印ＡＲ１１６方向に往復移動している。移動鏡１１６の往復移動によって、固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との間には、光路長の差が生じる。固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光とは、ビームスプリッタ１１４に合成されることによって干渉光を形成する。
【００２３】
移動鏡１１６の位置に応じて光路長の差は連続的に変化する。光路長の差に応じて干渉光としての光の強度も連続的に変化する。光路長の差が、たとえば、コリメート光学系１１３からビームスプリッタ１１４に照射される光の波長の整数倍のとき、干渉光としての光の強度は最大となる。
【００２４】
干渉光を形成した光は試料Ｓに照射される。試料Ｓを透過した光は集光光学系１１７に集光される。集光された光は、参照光学系１２１（詳細は後述する）における光路分離鏡１２４に導入される。検出器１１８は、光路分離鏡１２４から出射された光を干渉パターン（インターフェログラム）として検出する。この干渉パターンは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等を含む演算部１２０に送られる。演算部１２０は、収集（サンプリング）した干渉パターンをアナログ形式からデジタル形式に変換し、変換後のデータをさらにフーリエ変換する。
【００２５】
フーリエ変換によって、試料Ｓを透過した光（干渉光）の波数（＝１／波長）毎の光の強度を示すスペクトル分布が算出される。フーリエ変換後のデータは、出力部１３０を通して他の機器に出力されたりディスプレイ等に表示されたりする。このスペクトル分布に基づいて、試料Ｓの特性（たとえば、材料、構造、または成分量）が分析される。
【００２６】
（参照光学系１２１）
参照光学系１２１は、コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５、移動鏡１１６、集光光学系１１７、参照光源１２２、光路合成鏡１２３、光路分離鏡１２４、参照検出器１２５、および信号処理部１２６を有している。コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５、移動鏡１１６、および集光光学系１１７は、分光光学系１１１および参照光学系１２１の双方の構成として共通している。
【００２７】
参照光源１２２は、半導体レーザ等の発光素子から構成され、赤色光等の光を出射する。上述のとおり、参照光源１２２が出射した光は光路合成鏡１２３に導入される。光路合成鏡１２３はハーフミラー等から構成される。光源１１２からの光は光路合成鏡１２３を透過する。参照光源１２２からの光は光路合成鏡１２３に反射される。
【００２８】
光源１１２からの光および参照光源１２２からの光は、光路合成鏡１２３によって合成された状態で、光路合成鏡１２３から同一光路上に出射される。光路合成鏡１２３から出射された光は、コリメート光学系１１３によって平行光に変換された後、ビームスプリッタ１１４に導入されて２光束に分割される。
【００２９】
上述のとおり、分割された光の一方は固定鏡１１５に照射され、反射光としてビームスプリッタ１１４に再び照射される。分割された光の他方は移動鏡１１６に照射され、反射光としてビームスプリッタ１１４に再び照射される。固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光とは、ビームスプリッタ１１４に合成されることによって干渉光を形成する。
【００３０】
上述のとおり、干渉光を形成した光は試料Ｓに照射される。試料Ｓを透過した光は集光光学系１１７に集光される。集光された光は、参照光学系１２１における光路分離鏡１２４に導入される。光路分離鏡１２４はハーフミラー等から構成され、光路分離鏡１２４に導入された光（入射光）は２光束に分割される。
【００３１】
光源１１２から出射され、光路合成鏡１２３、コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５、移動鏡１１６、試料Ｓ、および集光光学系１１７を通して光路分離鏡１２４に導入された光は、光路分離鏡１２４を透過する。上述のとおり、光路分離鏡１２４を透過したこの光（干渉光）は、検出器１１８によって検出される。
【００３２】
一方、参照光源１２２から出射され、光路合成鏡１２３、コリメート光学系１１３、ビームスプリッタ１１４、固定鏡１１５、移動鏡１１６、試料Ｓ、および集光光学系１１７を通して光路分離鏡１２４に導入された光は、光路分離鏡１２４に反射される。光路分離鏡１２４からの反射光（干渉光）は、４分割センサ等から構成される参照検出器１２５によって干渉パターンとして検出される。
【００３３】
干渉光の干渉パターンは、ＣＰＵ等を含む信号処理部１２６に送られる。信号処理部１２６は、収集した干渉パターンに基づいて光路分離鏡１２４からの反射光の強度を算出する。信号処理部１２６は、光路分離鏡１２４からの反射光の強度に基づいて、演算部１２０におけるサンプリングのタイミングを示す信号を生成することができる。演算部１２０におけるサンプリングのタイミングを示す信号は、公知の手段によって生成されることができる。
【００３４】
信号処理部１２６は、光路分離鏡１２４からの反射光の強度に基づいて、２光路間における光の傾き（固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との相対的な傾き）を算出することもできる。２光路間における光の傾きは、たとえば以下のように算出される。
【００３５】
図２を参照して、４分割センサから構成される参照検出器１２５は、４つの受光領域Ｅ１〜Ｅ４を有している。受光領域Ｅ１〜Ｅ４は反時計回りに並んで相互に隣接している。受光領域Ｅ１〜Ｅ４によって構成される領域に、光路分離鏡１２４からの反射光が照射される。受光領域Ｅ１〜Ｅ４によって構成される領域の中心と、光路分離鏡１２４からの反射光のスポットＤの中心とは略一致している。
【００３６】
受光領域Ｅ１〜Ｅ４は、光路分離鏡１２４からそれぞれの領域に照射された反射光の強度を検出する。光路分離鏡１２４からの反射光の強度は、経時的に変化する位相信号として、たとえば図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示されるように検出される。
【００３７】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）の各々の横軸は、時間（単位：秒）の経過を示している。図３（Ａ）の縦軸は、受光領域Ｅ１が検出した光強度および受光領域Ｅ２が検出した光強度の和を強度Ａ１（相対値）として示している。図３（Ｂ）の縦軸は、受光領域Ｅ３が検出した光強度および受光領域Ｅ４が検出した光強度の和を強度Ａ２（相対値）として示している。
【００３８】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、強度Ａ１と強度Ａ２との間に、位相差Δが生じているとする。位相差Δに基づいて、２光路間での光の傾き（固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との相対的な傾き）が算出される。受光領域Ｅ１〜Ｅ４からなる他の組み合わせ（たとえば受光領域Ｅ１，Ｅ４と受光領域Ｅ２，Ｅ３との組合せ）によって、他の位相差Δを得ることができる。上記の位相差Δとこの他の位相差Δとに基づいて、２光路間での光の傾きの方向（ベクトル）を算出することもできる。
【００３９】
（光学面の姿勢調整機構１００Ａ）
図１を再び参照して、光学面の姿勢調整機構１００Ａは、信号処理部１２６における検出結果（固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との相対的な傾き）に基づいて、固定鏡１１５の姿勢（ビームスプリッタ１１４に対する表面１１５Ａの角度）を矢印ＡＲ１１５方向に調整する。当該調整によって、固定鏡１１５における反射光の光路が補正され、２光路間での光の傾きを無くす（若しくは減少させる）ことが可能となる。光学面の姿勢調整機構１００Ａがマイケルソン干渉計１１０内に設けられていることによって、干渉光をより精度高く生成することが可能となる。
【００４０】
以下、図４および図５を参照して、本実施の形態における光学面の姿勢調整機構１００Ａの構成について詳細に説明する。図４は、光学面の姿勢調整機構１００Ａを示す斜視図である。図５は、図４中におけるＶ−Ｖ線に関する矢視断面図である。
【００４１】
図４を参照して、光学面の姿勢調整機構１００Ａ（以下、姿勢調整機構１００Ａともいう。後述の実施の形態２〜１０においても同様とする。）は、光学部材としての固定鏡１１５（被調整部材）、固定台２０、支持部３０、第１移動部材４０、およびベース部材５０を備える。
【００４２】
固定鏡１１５は、略直方体状に形成され、表面１１５Ａおよび裏面１１５Ｂを含む。表面１１５Ａが光学面を形成している。表面１１５Ａに照射された光Ｌ１（図５参照）が表面１１５Ａに反射することによって、光Ｌ２（反射光）が得られる。
【００４３】
固定台２０も、略直方体状に形成され、表面２１および裏面２２を含む。支持部３０は、所定の剛性を有する。支持部３０は、固定鏡１１５の裏面１１５Ｂと固定台２０の表面２１との間に設けられる。図５に示すように、本実施の形態においては、固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０は一体的に形成される。固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０は、金属部材（材質はたとえばアルミニウムまたは黄銅）に対する切削加工によって、一体的に形成されることができる。
【００４４】
支持部３０は、固定鏡１１５の裏面１１５Ｂの中心と固定台２０の表面２１の中心とを接続している。支持部３０は、円柱状であっても、四角柱状であってもよい。固定台２０の下端は、ベース部材５０に固定される。当該構成によって、固定鏡１１５および支持部３０は、ベース部材５０に固定された固定台２０によって片持ち梁状に揺動可能に支持される。
【００４５】
第１移動部材４０は、たとえばネジまたはボルトなどの螺合手段から構成され、裏面２２側から表面２１側に向かって固定台２０を貫通するとともに、固定台２０に螺合している。第１移動部材４０の先端部４２は、固定鏡１１５の裏面１１５Ｂに対向し、軸線方向（図５紙面左右方向）に進退移動可能となっている。図５に示すように、第１移動部材４０の固定鏡１１５側における先端部４２は球面状に構成されるとよい。
【００４６】
フーリエ変換分光分析装置１０００、マイケルソン干渉計１１０、および光学面の姿勢調整機構１００Ａは、以上のように構成される。
【００４７】
（フーリエ変換分光分析装置１０００等の動作）
フーリエ変換分光分析装置１０００は、研究所内または開発室内などの所定の場所に設置される。フーリエ変換分光分析装置１０００が設置された後、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢が所望の角度に調整される。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢は、上記の姿勢調整機構１００Ａによって調整される。
【００４８】
また、図３（Ａ）および図３（Ｂ）を参照して上述したように、姿勢調整機構１００Ａは、信号処理部１２６（図１参照）における検出結果（固定鏡１１５からの反射光と移動鏡１１６からの反射光との相対的な傾き）に基づいて、固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢（ビームスプリッタ１１４に対する角度）を調整する。当該調整によって、固定鏡１１５における反射光の光路が補正され、２光路間での光の傾きを無くす（若しくは減少させる）ことが可能となる。干渉光は、より精度高く生成されることが可能となる。
【００４９】
以下、図６を参照して、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢を調整するための姿勢調整機構１００Ａの動作について説明する。姿勢調整機構１００Ａにおいては、第１移動部材４０が、機械的にまたは作業者によって回転方向の力を受ける。第１移動部材４０の軸方向周りの回転によって、第１移動部材４０は軸線方向（図６紙面左右方向）に進退移動する。
【００５０】
第１移動部材４０が矢印ＡＲ４０方向に前進移動する場合について説明する。この場合、第１移動部材４０の先端部４２は固定鏡１１５の裏面１１５Ｂに当接する。当該当接後、第１移動部材４０がさらに前進移動することによって、第１移動部材４０の先端部４２は固定鏡１１５の裏面１１５Ｂを押圧する。固定鏡１１５は、支持部３０の剛性に対抗して、支持部３０を中心に矢印ＡＲ１１方向（第１の方向）に回動する。光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００５１】
第１移動部材４０が（矢印ＡＲ４０とは反対方向に）後退移動する場合について説明する。第１移動部材４０が後退移動する際、第１移動部材４０の先端部４２と固定鏡１１５の裏面１１５Ｂとが相互に当接している状態では、支持部３０の剛性から生じる復元力により固定鏡１１５は支持部３０を中心に回動する。固定鏡１１５は、矢印ＡＲ１１方向とは反対方向（第２の方向）に回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度は、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００５２】
第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量に応じて固定鏡１１５の回動量（たおれ角度）が調整される。表面１１５Ａの姿勢とともに、光Ｌ２の反射角度も調整されることが可能となる。第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量は、第１移動部材４０と固定台２０との螺合によって調整されてもよく、第１移動部材４０と固定台２０との摺動（摩擦係合）によって調整されてもよい。第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量は、機械的に調整されてもよく、作業者によって調整されてもよい。
【００５３】
（作用・効果）
冒頭に説明した特開２００２−１４８１１６号公報（特許文献１）が開示する発明においては、固定鏡を保持するホルダが、弾性体からなる首部を有する支持棒を介して固定台に固定される。ホルダは、首部とは別途設けられた板ばねと圧電素子とで挟まれる。圧電素子が後退すると、板ばねの付勢力により固定鏡は下に傾く。
【００５４】
特許文献１における首部は、ゴム等の弾性体である（特許文献１の段落００１７参照）。圧電素子が後退した際に固定鏡を下に傾けるために、板ばねが用いられる。固定鏡は、板バネの付勢力によって下に傾けられる。つまり、首部がゴム等の弾性体であるため、別途板バネを用いてその付勢力によって固定鏡の角度を調整する必要がある。
【００５５】
特許文献１によると、板バネを用いるために、板バネおよびこの板バネを固定するネジが準備される。さらに、ネジが取り付けられる固定台にはネジ孔が複数加工される必要がある。特許文献１における姿勢調整機構においては、部品点数も多く、構成も複雑であり、その構成を得るための負担も大きい。
【００５６】
本実施の形態における姿勢調整機構１００Ａにおいては、第１移動部材４０が固定鏡１１５に当接した状態で後退移動する場合には、支持部３０の剛性から生じる復元力によって固定鏡１１５は回動することができる。姿勢調整機構１００Ａは、特許文献１における板バネを不要としており、特許文献１に開示される発明に比べて部品点数も少なく、構成も簡素であり、その構成を得るための負担も小さい。
【００５７】
固定鏡１１５の姿勢（表面１１５Ａの向き）は、フーリエ変換分光分析装置１０００が所定の場所に設置された後、またはフーリエ変換分光分析装置１０００の起動時などに調整されるとよい。固定鏡１１５の姿勢は、干渉光を生成する際に、信号処理部１２６における検出結果に基づいて調整されてもよい。この場合、干渉光は、より精度高く生成されることが可能となる。
【００５８】
［実施の形態２］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、第１移動部材４０が固定鏡１１５に当接していない状態では、固定鏡１１５と固定台２０とが略平行な位置関係となっている（図５参照）。
【００５９】
図７を参照して、固定鏡１１５の回動可能な範囲を広げる観点から、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｂのように、固定鏡１１５は固定台２０に対して予め角度θだけ傾けられていてもよい。第１移動部材４０が固定鏡１１５に当接していない状態で、固定鏡１１５が固定台２０に対して角度θだけ傾いていると、固定鏡１１５の回動可能範囲もその分（時計回り方向に）広がる。表面１１５Ａの姿勢を調整可能な範囲および光Ｌ２の反射可能な角度範囲も、角度θの分だけ図７紙面左斜め上方向に拡大することが可能となる。
【００６０】
［実施の形態３］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、固定鏡１１５に対して進退移動する部材として、第１移動部材４０が固定台２０に設けられる（図５参照）。
【００６１】
図８を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｃのように、第１移動部材４１が固定台２０にさらに設けられていてもよい。第１移動部材４０と第１移動部材４１とは、支持部３０から見て相互に９０°離れた位置に設けられるとよい。第１移動部材４１の固定鏡１１５側における先端部４３も、球面状に構成されるとよい。第１移動部材４０および第１移動部材４１を用いて固定鏡１１５を押圧することによって、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢を３次元方向に調整することが可能となる。
【００６２】
［実施の形態４］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、第１移動部材４０が、裏面２２側から表面２１側に向かって固定台２０を貫通するとともに、固定台２０に螺合している（図５参照）。
【００６３】
図９を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｄのように、第１移動部材４０は、表面１１５Ａ側から裏面１１５Ｂ側に向かって固定鏡１１５を貫通するとともに、固定鏡１１５に螺合していてもよい。第１移動部材４０の先端部４２は、固定台２０の表面２１に対向し、軸線方向（図９紙面左右方向）に進退移動可能となっている。図９に示すように、支持部３０は、固定鏡１１５および固定台２０の下方側同士を接続していてもよい。
【００６４】
第１移動部材４０が矢印ＡＲ４０方向に前進移動する場合について説明する。この場合、第１移動部材４０の先端部４２は固定台２０の表面２１に当接する。当該当接後、第１移動部材４０がさらに前進移動することによって、第１移動部材４０の先端部４２は固定台２０の表面２１を押圧する。固定鏡１１５は、支持部３０の剛性に対抗して、支持部３０を中心に矢印ＡＲ１１方向（第１の方向）に回動する。光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００６５】
第１移動部材４０が（矢印ＡＲ４０とは反対方向に）後退移動する場合について説明する。第１移動部材４０が後退移動する際、第１移動部材４０の先端部４２と固定台２０の表面２１とが相互に当接している状態では、支持部３０の剛性から生じる復元力により固定鏡１１５は支持部３０を中心に回動する。固定鏡１１５は、矢印ＡＲ１１方向とは反対方向（第２の方向）に回動する。光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００６６】
第１移動部材４０の固定鏡１１５に対する押し込み量に応じて固定鏡１１５の回動量（たおれ角度）が調整される。表面１１５Ａの姿勢とともに、光Ｌ２の反射角度も調整されることが可能となる。第１移動部材４０の固定鏡１１５に対する押し込み量は、第１移動部材４０と固定鏡１１５との螺合によって調整されてもよく、第１移動部材４０と固定鏡１１５との摺動（摩擦係合）によって調整されてもよい。第１移動部材４０の固定鏡１１５に対する押し込み量は、機械的に調整されてもよく、作業者によって調整されてもよい。
【００６７】
［実施の形態５］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、支持部３０は、固定鏡１１５の裏面１１５Ｂと固定台２０の表面２１とを接続している（図５参照）。第１移動部材４０の先端部４２は固定鏡１１５の裏面１１５Ｂに対向し、第１移動部材４０は裏面１１５Ｂに当接可能に構成されている。
【００６８】
図１０を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｅのように、支持部３０は、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）と固定台２０の表面２１とを接続していてもよい。この場合、固定台２０には光Ｌ１，Ｌ２が通過する孔２３が設けられる。第１移動部材４０の先端部４２は固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）に対向し、第１移動部材４０は表面１１５Ａに当接可能に構成される。当該構成によっても、第１移動部材４０の進退移動によって固定鏡１１５の回動量が調整される。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢は調整され、光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も調整されることができる。
【００６９】
［実施の形態６］
上述の実施の形態５の姿勢調整機構１００Ｅにおいては、第１移動部材４０が裏面２２側から表面２１側に向かって固定台２０を貫通するとともに、固定台２０に螺合している（図５参照）。
【００７０】
図１１を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｆのように、第１移動部材４０は裏面１１５Ｂ側から表面１１５Ａ側に向かって固定鏡１１５を貫通するとともに、固定鏡１１５に螺合していてもよい。当該構成によっても、上述の実施の形態４（図９参照）と同様にして、第１移動部材４０の進退移動によって固定鏡１１５の回動量が調整される。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢は調整され、光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も調整されることができる。
【００７１】
［実施の形態７］
上述の実施の形態１の姿勢調整機構１００Ａにおいては、固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０は一体的に形成される（図５参照）。
【００７２】
図１２を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｇでは、上述の支持部３０の代わりに支持部３０Ａが用いられる。固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０Ａは別体として形成される。本実施の形態における支持部３０Ａは、所定の剛性を有し、両端部が雄ネジ状に形成される。支持部３０Ａの両端部は、固定鏡１１５および固定台２０にそれぞれ螺合している。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用効果を得ることができる。さらに、固定鏡１１５が容易に交換されることも可能となる。
【００７３】
［実施の形態８］
上述の実施の形態７の姿勢調整機構１００Ｇにおいては、支持部３０Ａの両端部が固定鏡１１５および固定台２０にそれぞれ螺合している。（図１２参照）。
【００７４】
図１３を参照して、本実施の形態における姿勢調整機構１００Ｈでは、上述の支持部３０Ａの代わりに支持部３０Ｂが用いられる。支持部３０Ｂは、両端部が焼き嵌め可能な金属部材から構成される。支持部３０Ａの両端部は、固定鏡１１５および固定台２０のそれぞれ対して焼き嵌めによって固着される。当該構成によっても、上述の実施の形態１と同様の作用効果を得ることができる。
【００７５】
［実施の形態９］
図１４〜図１６を参照して、本実施の形態における光学面の姿勢調整機構２００Ａについて説明する。ここでは、上述の実施の形態１における姿勢調整機構１００Ａとの相違点について説明する。
【００７６】
図１４は、姿勢調整機構２００Ａを分解して示す斜視図である。図１５は、図１４中におけるＸＶ−ＸＶ線に関する矢視断面図である。図１５では、図１４とは異なり、組立てられた状態の姿勢調整機構２００Ａの断面図が示されている。図１６は、図１５中におけるＸＶＩ−ＸＶＩ線に関する矢視断面図である。
【００７７】
図１４および図１５を参照して、姿勢調整機構２００Ａにおいては、固定鏡１１５が第２移動部材７０を含む。第２移動部材７０は、固定台２０に形成された凹部１６内に収容される。凹部１６は、固定台２０が裏面１１５Ｂから表面１１５Ａに向かって所定の深さで直方体状にくり抜かれることによって形成される。凹部１６の長手方向の一方側（図１４紙面上方側）の内周面に向かって、固定鏡１１５の側面１４Ａから雌ネジ１４が貫設される。雌ネジ１４には雄ネジ６０が螺合する。
【００７８】
図１６を参照して、第２移動部材７０は、側面視台形状に形成される。第２移動部材７０の端面７２には、雌ネジ１４に螺合する雄ネジ６０の先端部６２が当接する。第２移動部材７０の端面７２と雄ネジ６０の先端部６２との当接状態は、コイルバネ７８の付勢力によって維持される。当該構成によって、第２移動部材７０は、雄ネジ６０と一体的に、第１移動部材４０の移動方向（図１６紙面左右方向）に交差する方向（図１６紙面上下方向）に進退移動可能となる。
【００７９】
コイルバネ７８は必要に応じて設けられるとよい。第２移動部材７０の端面７２と雄ネジ６０の先端部６２との当接状態は、たとえば接着などの手段によって維持されてもよい。
【００８０】
第２移動部材７０は、第１移動部材４０の前進移動方向の前方に位置する。第２移動部材７０は、雄ネジ６０に押圧されることによって、凹部１６内の内壁面１６Ａ上を図１６紙面上下方向に進退移動する。第２移動部材７０は、第２移動部材７０の移動方向に対して傾斜する当接部７４を有している。
【００８１】
当接部７４は、第２移動部材７０が進退移動することによって、第１移動部材４０の移動方向上における位置が変位する。当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２とが離れた状態においては、当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２との第１移動部材４０の移動方向上における間隔は、第２移動部材７０が進退移動することによって増減する。
【００８２】
（動作）
姿勢調整機構２００Ａにおいては、固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢がまず大まかに調整され（以下、粗調整という）、その後必要に応じて細かく調整される（以下、微調整という）。
【００８３】
図１７を参照して、粗調整の際は、第１移動部材４０が機械的にまたは作業者によって回転方向の力を受ける。第１移動部材４０は、矢印ＡＲ４０方向に前進移動する。第１移動部材４０の先端部４２は、第２移動部材７０の当接部７４に当接する。この際、第２移動部材７０は雄ネジ６０とコイルバネ７８とによって挟まれている。第２移動部材７０は、第１移動部材４０の先端部４２に当接されても図１７紙面上下方向には移動しない。
【００８４】
第１移動部材４０の先端部４２が当接部７４に当接した状態においては、第１移動部材４０の先端部４２と凹部１６の内壁面１６Ａとは間隔Ｘ１を空けている。第１移動部材４０がさらに前進移動することによって、第１移動部材４０は第２移動部材７０を押圧する。第２移動部材７０は凹部１６の内壁面１６Ａを押圧し、内壁面１６Ａに対する第２移動部材７０の押圧によって、固定鏡１１５は回動する。
【００８５】
この際、固定鏡１１５は、支持部３０の剛性に対抗して、支持部３０を中心に矢印ＡＲ１２方向（第１の方向：図１７紙面奥行き方向）に回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ１が反射することによって得られる光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度も、固定鏡１１５の移動量に合わせて変化する。
【００８６】
第１移動部材４０が後退移動する際、第１移動部材４０の先端部４２と第２移動部材７０の当接部７４とが相互に当接した状態では、支持部３０の剛性から生じる復元力により固定鏡１１５は支持部３０を中心に回動する。固定鏡１１５は、矢印ＡＲ１２方向とは反対方向（第２の方向）に回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度は、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００８７】
以上のようにして、第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量に応じて固定鏡１１５の回動量（たおれ角度）が粗調整される。粗調整の後、必要に応じて微調整が行なわれる。固定鏡１１５の表面１１５Ａが粗調整によって所望の姿勢を呈している場合、微調整は行なわれなくてもよい。
【００８８】
図１８を参照して、微調整の際は、雄ネジ６０が機械的にまたは作業者によって回転方向の力を受ける。雄ネジ６０の軸方向周りの回転によって、雄ネジ６０および第２移動部材７０は、矢印ＡＲ６０方向（図１８紙面上下方向）に進退移動する。この際、第２移動部材７０の当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２との当接状態が維持されながら、第２移動部材７０の当接部７４は第１移動部材４０の先端部４２に対して滑り移動する。
【００８９】
第２移動部材７０が前進移動する際、第２移動部材７０の端面７２側の部分（肉厚の部分）が、第１移動部材４０の先端部４２と凹部１６の内壁面１６Ａとの間に押し込まれる。第１移動部材４０の先端部４２と凹部１６の内壁面１６Ａとの間隔（間隔Ｘ２）は徐々に広がる。
【００９０】
この際、第１移動部材４０は固定台２０に対して固定（螺合）されている。凹部１６の内壁面１６Ａは、第２移動部材７０を通して第１移動部材４０の先端部４２に押圧される。当該押圧によって、固定鏡１１５は、支持部３０の剛性に対抗して、支持部３０を中心に矢印ＡＲ１３方向（第１の方向：図１８紙面奥行き方向）にさらに回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ１が反射することによって得られる光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度は、固定鏡１１５の移動量に合わせて変化する。
【００９１】
第２移動部材７０が後退移動する際、第１移動部材４０の先端部４２と第２移動部材７０の当接部７４とが相互に当接した状態では、支持部３０の剛性から生じる復元力により固定鏡１１５は支持部３０を中心に回動する。固定鏡１１５は、矢印ＡＲ１３方向とは反対方向（第２の方向）に回動する。固定鏡１１５の表面１１５Ａの姿勢、および光Ｌ２（反射光）の表面１１５Ａに対する反射角度は、固定鏡１１５の回動量に合わせて変化する。
【００９２】
ここで、粗調整においては、第１移動部材４０の進退移動方向と表面１１５Ａの回動方向とは略同じ向きである。第１移動部材４０の移動量が、表面１１５Ａの姿勢の調整に直接反映される。一方、微調整においては、第２移動部材７０の進退移動方向と表面１１５Ａの回動方向とは略直交する関係にある。第２移動部材７０の移動量は、当接部７４の傾斜を通して表面１１５Ａの姿勢の調整に反映される。
【００９３】
第１移動部材４０と第２移動部材７０とが同一の量だけ移動した場合、第１移動部材４０の移動による固定鏡１１５の回動量は、第２移動部材７０に移動による固定鏡１１５の回動量に比べて多い。当該構成によって、第１移動部材４０の固定台２０に対する押し込み量と、第２移動部材７０および雄ネジ６０の固定鏡１１５に対する押し込み量とに応じて、表面１１５Ａに対する粗調整および微調整がそれぞれ行なわれることができる。
【００９４】
（作用・効果）
姿勢調整機構２００Ａによれば、上述の実施の形態１における作用および効果に加え、表面１１５Ａに対する微調整を行なうことが可能となる。姿勢調整機構２００Ａがマイケルソン干渉計１１０（図１参照）内に設けられていることによって、干渉光をより精度高く生成することが可能となる。
【００９５】
［実施の形態９の変形例］
上述の実施の形態９の姿勢調整機構２００Ａにおいては、直方体状にくり抜かれた凹部１６内に収容される第２移動部材７０が、側面視台形状に形成される（図１６参照）。当接部７４は、第２移動部材７０が進退移動することによって、第１移動部材４０の移動方向上における位置が変位する。当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２とが離れた状態においては、当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２との第１移動部材４０の移動方向上における間隔は、第２移動部材７０が進退移動することによって増減する。
【００９６】
図１９を参照して、凹部１６の内壁面１６Ａが傾斜し、第２移動部材７０は直方体状に構成されてもよい。当該構成によっても、当接部７４は、第２移動部材７０が進退移動することによって、第１移動部材４０の移動方向上における位置が変位する。当該構成によっても、上述の実施の形態９と同様の作用および効果を得ることが可能となる。
【００９７】
上述の実施の形態９は、上述の実施の形態２〜８と組み合わされることが可能である。たとえば、上述の実施の形態２（図７参照）と同様に、第１移動部材４０が第２移動部材７０に当接していない状態で、固定鏡１１５は固定台２０に対して予め角度θだけ傾けられていてもよい。固定鏡１１５の回動可能範囲が広がる。表面１１５Ａの姿勢を調整可能な範囲および光Ｌ２の反射可能な角度範囲も広がる。
【００９８】
上述の実施の形態３（図８参照）と同様に、第１移動部材４１（図８参照）が固定台２０にさらに設けられていてもよい。固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢を３次元方向に調整することが可能となる。
【００９９】
上述の実施の形態４（図９参照）と同様に、第１移動部材４０は、表面１１５Ａ側から裏面１１５Ｂ側に向かって固定鏡１１５を貫通するとともに、固定鏡１１５に螺合していてもよい。この場合、雄ネジ６０（図１４参照）、第２移動部材７０および凹部１６等は、固定台２０に設けられるとよい。
【０１００】
上述の実施の形態５（図１０参照）と同様に、支持部３０は、固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）と固定台２０の表面２１とを接続していてもよい。この場合、固定台２０には光Ｌ１，Ｌ２が通過する孔２３（図１０参照）が設けられる。
【０１０１】
上述の実施の形態６（図１１参照）と同様に、第１移動部材４０は裏面１１５Ｂ側から表面１１５Ａ側に向かって固定鏡１１５を貫通するとともに、固定鏡１１５に螺合していてもよい。
【０１０２】
上述の実施の形態７（図１２参照）と同様に、上述の支持部３０の代わりに支持部３０Ａが用いられ、固定鏡１１５、固定台２０、および支持部３０Ａは別体として形成されてもよい。支持部３０Ａは、両端部が雄ネジ状に形成され、固定鏡１１５および固定台２０にそれぞれ螺合する。
【０１０３】
上述の実施の形態８（図１３参照）と同様に、上述の支持部３０Ａの代わりに支持部３０Ｂが用いられ、支持部３０Ｂは、両端部が焼き嵌め可能な金属部材から構成されてもよい。支持部３０Ａの両端部は、固定鏡１１５および固定台２０のそれぞれ対して焼き嵌めによって固着される。
【０１０４】
［実施の形態１０］
図２０〜図２２を参照して、本実施の形態における光学面の姿勢調整機構２００Ｂについて説明する。姿勢調整機構２００Ｂは、上述の実施の形態１〜実施の形態９をさらに具現化したものである。図２０は、姿勢調整機構２００Ｂを分解して示す第１斜視図である。図２１は、姿勢調整機構２００Ｂを分解して示す第２斜視図である。図２２は、姿勢調整機構２００Ｂを示す断面図である。
【０１０５】
図２０および図２１を参照して、姿勢調整機構２００Ａは、光学部材としての固定鏡１１５（被調整部材）、固定鏡支持体１０Ａ（被調整部材支持体）、固定台２０、支持部構成体３０Ｃ、第１移動部材４０、第１移動部材４１、第２移動部材７０、第２移動部材７１、雄ネジ６０、雄ネジ６１、およびベース部材５０（図２２参照）を備える。図示上の便宜のため、ベース部材５０は図２２にのみ記載される。
【０１０６】
固定台２０は、略直方体状に形成され、表面２１および裏面２２を有している。固定台２０には、貫通孔２４、雌ネジ２５、および雌ネジ２６が設けられる。固定台２０の表面２１の略中央には、凹部２７が設けられる。凹部２７の形状は、支持部構成体３０Ｃ（詳細は後述する）の第２平板部３２の形状に対応している。第２平板部３２には雌ネジ３４（図２１参照）が形成される。第２平板部３２は凹部２７に嵌め込まれる。第２平板部３２は、貫通孔２４に挿通された雄ネジ２８（図２２参照）が雌ネジ３４に螺合することによって、固定台２０に固定される。
【０１０７】
凹部２７の中央から見て、雌ネジ２５および雌ネジ２６は相互に９０°離れて設けられている。第１移動部材４０および第１移動部材４１は、裏面２２側から表面２１側に向かって固定台２０を貫通するとともに、雌ネジ２５および雌ネジ２６にそれぞれ螺合している。第１移動部材４０および第１移動部材４１は、軸線方向に進退移動可能となっている。第１移動部材４０の先端部４２および第１移動部材４１の先端部４３は、それぞれ球面状に構成されるとよい。
【０１０８】
固定鏡１１５は、略直方体状に形成され、表面１１５Ａおよび裏面１１５Ｂを含む。表面１１５Ａが光学面を形成している。固定鏡１１５は、接着などによって次述する固定鏡支持体１０Ａの凹部１９内に取り付けられる。固定鏡支持体１０Ａも、略直方体状に形成される。固定鏡支持体１０Ａは、表面１１Ａおよび裏面１２Ａを有する。
【０１０９】
表面１１Ａの略中央には、固定鏡１１５の形状に対応した凹部１９（図２０参照）が設けられる。凹部１９には、貫通孔１７が設けられる。貫通孔１７には雄ネジ２９（図２２参照）が挿通される。雄ネジ２９は、後述する支持部構成体３０Ｃの第１平板部３１に設けられた雌ネジ３３に螺合する。当該螺合によって、固定鏡支持体１０Ａは支持部構成体３０Ｃの第１平板部３１に取り付けられる。
【０１１０】
図２１に示すように、固定鏡支持体１０Ａの裏面１２Ａには、凹部１５、凹部１６、および凹部１８が設けられる。凹部１５および凹部１６は、固定鏡支持体１０Ａの中心から見て相互に９０°離れた位置に設けられる。凹部１５および凹部１６の位置は、雌ネジ２５に螺合する第１移動部材４０および雌ネジ２６に螺合する第１移動部材４１の位置にそれぞれ対応している。凹部１８は、後述する支持部構成体３０Ｃの第１平板部３１の形状に対応している。
【０１１１】
凹部１５の長手方向の一方側の内周面に向かって、固定鏡支持体１０Ａの側面１３Ａから雌ネジ１３が貫設される。雌ネジ１３には、雄ネジ６１が螺合する。凹部１６の長手方向の一方側の内周面に向かって、固定鏡支持体１０Ａの側面１４Ａ（図２０参照）から雌ネジ１４が貫設される。雌ネジ１４には、雄ネジ６０が螺合する。雄ネジ６０の先端部６２および雄ネジ６１の先端部６３は、それぞれ球面状に形成されるとよい。
【０１１２】
第２移動部材７０は、凹部１６内に収容される。凹部１６内に収容された第２移動部材７０の端面７２には、雄ネジ６０の先端部６２が当接する。第２移動部材７０の端面７２と雄ネジ６０の先端部６２との当接状態は、接着またはコイルバネなどによって維持される。当該構成によって、第２移動部材７０は、雄ネジ６０と一体的に第１移動部材４０の移動方向に交差する方向に進退移動可能となる。
【０１１３】
第２移動部材７０は、第１移動部材４０の前進移動方向の前方に位置する。第２移動部材７０は、雄ネジ６０に押圧されることによって、凹部１６内の内壁面上を進退移動する。第２移動部材７０は、側面視台形状に形成され、第２移動部材７０の移動方向に対して傾斜する当接部７４を有している。
【０１１４】
当接部７４は、第２移動部材７０が進退移動することによって、第１移動部材４０の移動方向上における位置が変位する。当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２とが離れた状態においては、当接部７４と第１移動部材４０の先端部４２との第１移動部材４０の移動方向上における間隔は、第２移動部材７０が進退移動することによって増減する。
【０１１５】
同様に、第２移動部材７１は、凹部１５内に収容される。凹部１５内に収容された第２移動部材７１の端面７３には、雄ネジ６１の先端部６３が当接する。第２移動部材７１の端面７３と雄ネジ６１の先端部６３との当接状態は、接着またはコイルバネなどによって維持される。当該構成によって、第２移動部材７１は、雄ネジ６１と一体的に第１移動部材４１の移動方向に交差する方向に進退移動可能となる。
【０１１６】
第２移動部材７１は、第１移動部材４１の前進移動方向の前方に位置する。第２移動部材７１は、雄ネジ６１に押圧されることによって、凹部１５内の内壁面上を進退移動する。第２移動部材７１は、側面視台形状に形成され、第２移動部材７１の移動方向に対して傾斜する当接部７５を有している。
【０１１７】
当接部７５は、第２移動部材７１が進退移動することによって、第１移動部材４１の移動方向上における位置が変位する。当接部７５と第１移動部材４１の先端部４３とが離れた状態においては、当接部７５と第１移動部材４１の先端部４３との第１移動部材４１の移動方向上における間隔は、第２移動部材７１が進退移動することによって増減する。
【０１１８】
図２２を参照して、支持部構成体３０Ｃは、第１平板部３１、第２平板部３２、および支持部３５から一体的に形成される。支持部３５は、第１平板部３１の中心と第２平板部３２の中心とを接続している。第１平板部３１、第２平板部３２、および支持部３５は、金属部材に対する切削加工によって、一体的に形成されることができる。支持部３５は、円柱状であっても、四角柱状であってもよい。
【０１１９】
上述のとおり、第１平板部３１に固定鏡支持体１０Ａが取り付けられる。固定鏡支持体１０Ａに固定鏡１１５が取り付けられる。固定台２０に第２平板部３２が取り付けられる。固定台２０の下端は、ベース部材５０に固定される。当該構成によって、固定鏡支持体１０Ａおよび固定鏡１１５は、支持部構成体３０Ｃを挟んで、ベース部材５０に固定された固定台２０によって片持ち梁状に揺動可能に支持される。姿勢調整機構２００Ｂの全体として見れば、支持部３５は、固定鏡１１５（表面１１５Ａ）と固定台２０の間に位置している。本実施の形態においては、固定鏡１１５および固定鏡支持体１０Ａが、実施の形態１〜９における被調整部材に対応している。
【０１２０】
（作用・効果）
図２０および図２１を参照して、固定鏡支持体１０Ａに取り付けられた固定鏡１１５の表面１１５Ａ（光学面）の姿勢は、３次元方向に粗調整および微調整されることが可能である。粗調整は、第１移動部材４０および第１移動部材４１の進退移動によって行なわれる。微調整は、第２移動部材７０および第２移動部材７１の進退移動によって行なわれる。固定鏡１１５が固定鏡支持体１０Ａを挟んで支持部構成体３０Ｃに取り付けられることによって、固定鏡１１５は容易に交換されることができる。
【０１２１】
本実施の形態における姿勢調整機構２００Ｂにおいても、特開２００２−１４８１１６号公報（特許文献１）における板バネを不要としており、特許文献１に開示される発明に比べて部品点数も少なく、構成も簡素であり、その構成を得るための負担も小さい。
【０１２２】
固定鏡１１５の姿勢（表面１１５Ａの向き）は、姿勢調整機構２００Ｂを備えるフーリエ変換分光分析装置１０００が所定の場所に設置された後、またはフーリエ変換分光分析装置１０００の起動時などに調整されるとよい。固定鏡１１５の姿勢は、干渉光を生成する際に、信号処理部１２６における検出結果に基づいて調整されてもよい。この場合、干渉光は、より精度高く生成されることが可能となる。
【０１２３】
以上、本発明に基づいた各実施の形態について説明したが、今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。たとえば、実施の形態１０も上述の実施の形態２〜８と組み合わされることが可能である。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１２４】
１０Ａ 固定鏡支持体、１１Ａ，２１，１１６Ａ 表面、１２Ａ，２２，１１５Ｂ 裏面、１３，１４，２５，２６，３３，３４ 雌ネジ、１３Ａ，１４Ａ 側面、１５，１６，１８，１９，２７ 凹部、１６Ａ 内壁面、１７，２４ 貫通孔、２０ 固定台、２３ 孔、２８，２９，６０，６１ 雄ネジ、３０，３０Ａ，３０Ｂ，３５ 支持部、３０Ｃ 支持部構成体、３１ 第１平板部、３２ 第２平板部、４０，４１ 第１移動部材、４２，４３，６２，６３ 先端部、５０ ベース部材、７０，７１ 第２移動部材、７２，７３ 端面、７４，７５ 当接部、７８ コイルバネ、１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｇ，１００Ｈ，２００Ａ，２００Ｂ 光学面の姿勢調整機構、１１０ マイケルソン干渉計、１１１ 分光光学系、１１２ 光源、１１３ コリメート光学系、１１４ ビームスプリッタ、１１５ 固定鏡（光学部材）、１１５Ａ 表面（光学面）、１１６ 移動鏡、１１７ 集光光学系、１１８ 検出器、１１９ 駆動機構、１２０ 演算部、１２１ 参照光学系、１２２ 参照光源、１２３ 光路合成鏡、１２４ 光路分離鏡、１２５ 参照検出器、１２６ 信号処理部、１３０ 出力部、１０００ フーリエ変換分光分析装置、Ａ１，Ａ２ 強度、ＡＲ１１，ＡＲ１２，ＡＲ１３，ＡＲ４０，ＡＲ６０，ＡＲ１１５，ＡＲ１１６ 矢印、Ｄ スポット、Ｅ１〜Ｅ４ 受光領域、Ｌ１，Ｌ２ 光、Ｓ 試料、Ｘ１，Ｘ２ 間隔。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学面を含む被調整部材と、
固定台と、
所定の剛性を有し、前記被調整部材と前記固定台との間に設けられ、前記被調整部材を揺動可能に支持する支持部と、
前記被調整部材および前記固定台の一方に取り付けられ、前記被調整部材および前記固定台の他方に向かって進退移動可能な第１移動部材と、を備え、
前記第１移動部材が前進移動して前記被調整部材および前記固定台の前記他方を押圧することによって、前記支持部の剛性に対抗して前記被調整部材は前記支持部を中心に第１の方向に回動し、
前記被調整部材および前記固定台の前記他方と前記第１移動部材とが相互に当接した状態で前記第１移動部材が後退移動することによって、前記支持部の剛性から生じる復元力により前記被調整部材は前記支持部を中心に前記第１の方向とは反対の第２の方向に回動し、
前記光学面の姿勢は、前記被調整部材が前記第１の方向または前記第２の方向に回動することによって調整される、
光学面の姿勢調整機構。
【請求項２】
前記被調整部材および前記固定台の前記他方は、前記第１移動部材の移動方向に交差する方向に進退移動可能な第２移動部材を含み、
前記第２移動部材は、前記第２移動部材が進退移動することによって前記第１移動部材の移動方向上における位置が変位する当接部を有し、
前記第１移動部材が前記当接部に当接した状態で前記第２移動部材が進退移動することによって、前記被調整部材は回動するとともに前記光学面の姿勢が調整される、
請求項１に記載の光学面の姿勢調整機構。
【請求項３】
前記被調整部材、前記固定台、および前記支持部は、一体的に形成されている、
請求項１または２に記載の光学面の姿勢調整機構。
【請求項４】
前記第１移動部材の、前記被調整部材および前記固定台の前記他方側における先端部は球面状である、
請求項１から３のいずれかに記載の光学面の姿勢調整機構。
【請求項５】
光学面を含む被調整部材と、
前記被調整部材が取り付けられる被調整部材支持体と、
固定台と、
所定の剛性を有し、第１平板部と第２平板部と前記第１平板部および前記第２平板部の間に設けられた支持部とから一体的に形成され、前記第１平板部が前記被調整部材支持体に取り付けられ且つ前記第２平板部が前記固定台に取り付けられることによって、前記被調整部材支持体を揺動可能に支持する支持部構成体と、
前記固定台に取り付けられ、前記被調整部材支持体に向かって進退移動可能な第１移動部材と、
前記被調整部材支持体に設けられ、前記第１移動部材の移動方向に交差する方向に進退移動可能な第２移動部材と、を備え、
前記第１移動部材が前進移動して前記被調整部材支持体を押圧することによって、前記支持部の剛性に対抗して前記被調整部材支持体は前記支持部を中心に第１の方向に回動し、
前記第１移動部材が後退移動して前記前記被調整部材支持体から離れることによって、前記支持部の剛性から生じる復元力により前記被調整部材支持体は前記支持部を中心に前記第１の方向とは反対の第２の方向に回動し、
前記光学面の姿勢は、前記被調整部材支持体が前記第１の方向または前記第２の方向に回動することによって調整され、
さらに、
前記第２移動部材は、前記第２移動部材が進退移動することによって前記第１移動部材の移動方向に進退移動する当接部を有し、
前記第１移動部材が前記当接部に当接した状態で前記第２移動部材が進退移動することによって、前記被調整部材は回動するとともに前記光学面の姿勢が調整される、
光学面の姿勢調整機構。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の光学面の姿勢調整機構と、
固定鏡である前記被調整部材と、
移動鏡と、
光源と、
前記光源が出射した光を前記被調整部材に向かう光と前記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、前記被調整部材および前記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッタと、
前記干渉光を検出する検出器と、を備える、
マイケルソン干渉計。
【請求項７】
請求項６に記載のマイケルソン干渉計と、
前記検出器が検出した前記干渉光のスペクトルを算出する演算部と、
前記演算部によって得られた前記スペクトルを出力する出力部と、を備える、
フーリエ変換分光分析装置。
【請求項１】
光学面を含む被調整部材と、
固定台と、
所定の剛性を有し、前記被調整部材と前記固定台との間に設けられ、前記被調整部材を揺動可能に支持する支持部と、
前記被調整部材および前記固定台の一方に取り付けられ、前記被調整部材および前記固定台の他方に向かって進退移動可能な第１移動部材と、を備え、
前記第１移動部材が前進移動して前記被調整部材および前記固定台の前記他方を押圧することによって、前記支持部の剛性に対抗して前記被調整部材は前記支持部を中心に第１の方向に回動し、
前記被調整部材および前記固定台の前記他方と前記第１移動部材とが相互に当接した状態で前記第１移動部材が後退移動することによって、前記支持部の剛性から生じる復元力により前記被調整部材は前記支持部を中心に前記第１の方向とは反対の第２の方向に回動し、
前記光学面の姿勢は、前記被調整部材が前記第１の方向または前記第２の方向に回動することによって調整される、
光学面の姿勢調整機構。
【請求項２】
前記被調整部材および前記固定台の前記他方は、前記第１移動部材の移動方向に交差する方向に進退移動可能な第２移動部材を含み、
前記第２移動部材は、前記第２移動部材が進退移動することによって前記第１移動部材の移動方向上における位置が変位する当接部を有し、
前記第１移動部材が前記当接部に当接した状態で前記第２移動部材が進退移動することによって、前記被調整部材は回動するとともに前記光学面の姿勢が調整される、
請求項１に記載の光学面の姿勢調整機構。
【請求項３】
前記被調整部材、前記固定台、および前記支持部は、一体的に形成されている、
請求項１または２に記載の光学面の姿勢調整機構。
【請求項４】
前記第１移動部材の、前記被調整部材および前記固定台の前記他方側における先端部は球面状である、
請求項１から３のいずれかに記載の光学面の姿勢調整機構。
【請求項５】
光学面を含む被調整部材と、
前記被調整部材が取り付けられる被調整部材支持体と、
固定台と、
所定の剛性を有し、第１平板部と第２平板部と前記第１平板部および前記第２平板部の間に設けられた支持部とから一体的に形成され、前記第１平板部が前記被調整部材支持体に取り付けられ且つ前記第２平板部が前記固定台に取り付けられることによって、前記被調整部材支持体を揺動可能に支持する支持部構成体と、
前記固定台に取り付けられ、前記被調整部材支持体に向かって進退移動可能な第１移動部材と、
前記被調整部材支持体に設けられ、前記第１移動部材の移動方向に交差する方向に進退移動可能な第２移動部材と、を備え、
前記第１移動部材が前進移動して前記被調整部材支持体を押圧することによって、前記支持部の剛性に対抗して前記被調整部材支持体は前記支持部を中心に第１の方向に回動し、
前記第１移動部材が後退移動して前記前記被調整部材支持体から離れることによって、前記支持部の剛性から生じる復元力により前記被調整部材支持体は前記支持部を中心に前記第１の方向とは反対の第２の方向に回動し、
前記光学面の姿勢は、前記被調整部材支持体が前記第１の方向または前記第２の方向に回動することによって調整され、
さらに、
前記第２移動部材は、前記第２移動部材が進退移動することによって前記第１移動部材の移動方向に進退移動する当接部を有し、
前記第１移動部材が前記当接部に当接した状態で前記第２移動部材が進退移動することによって、前記被調整部材は回動するとともに前記光学面の姿勢が調整される、
光学面の姿勢調整機構。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の光学面の姿勢調整機構と、
固定鏡である前記被調整部材と、
移動鏡と、
光源と、
前記光源が出射した光を前記被調整部材に向かう光と前記移動鏡に向かう光とに分割するとともに、前記被調整部材および前記移動鏡の各々に反射した光を合成し干渉光として出射するビームスプリッタと、
前記干渉光を検出する検出器と、を備える、
マイケルソン干渉計。
【請求項７】
請求項６に記載のマイケルソン干渉計と、
前記検出器が検出した前記干渉光のスペクトルを算出する演算部と、
前記演算部によって得られた前記スペクトルを出力する出力部と、を備える、
フーリエ変換分光分析装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２０１２−１０３０６１（Ｐ２０１２−１０３０６１Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５０６４４（Ｐ２０１０−２５０６４４）
【出願日】平成２２年１１月９日（２０１０．１１．９）
【出願人】（０００００１２７０）コニカミノルタホールディングス株式会社 (4,463)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月９日（２０１０．１１．９）
【出願人】（０００００１２７０）コニカミノルタホールディングス株式会社 (4,463)
【Ｆターム（参考）】
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