固体撮像装置の評価方法
【課題】固体撮像装置の水平電荷転送部起因の不良成分と、画素、垂直電荷転送部内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分とを分離することを可能とする。
【解決手段】垂直電荷転送部３１と、水平電荷転送部４１と、画素有効部水平方向の最終列の垂直電荷転送部３１Ｅに対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１Ｂに信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部５１とを備え、ホールドゲート部５１のＯＮ、ＯＮにより、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送した際に、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断することで、検出された信号電荷が水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良であるか、水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミア、ブルーミングであると判断する。
【解決手段】垂直電荷転送部３１と、水平電荷転送部４１と、画素有効部水平方向の最終列の垂直電荷転送部３１Ｅに対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１Ｂに信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部５１とを備え、ホールドゲート部５１のＯＮ、ＯＮにより、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送した際に、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断することで、検出された信号電荷が水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良であるか、水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミア、ブルーミングであると判断する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置の評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤイメージセンサでは、水平ＣＣＤレジスタ内で、取り扱い電荷量の不足、電荷の転送不良が発生した場合、１ないしはそれ以上のオプティカルブラック部のパケットに、電荷がもれこむ現象が発生する。この現象が発生すると、電荷が検出されないはずのオプティカルブラックに電荷が発生しているように見えてしまい、出力信号として誤認識される。
【０００３】
また、画素内もしくは垂直ＣＣＤレジスタ内で水平方向に混色が発生した場合も同様に、水平方向のオプティカルブラック領域のパケットに信号が発生する可能性がある。このため、両者の信号を分離することが難しかった。また、スミア成分、逆方向のブルーミング成分も同様に、オプティカルブラック領域のパケットに信号が発生する可能性がある。
【０００４】
上述の現象が同時に発生してしまうと、それが水平ＣＣＤレジスタ起因の現象なのか、それ以外に起因する現象なのか、分離が非常に難しくなる。
【０００５】
上記状態を評価する方法として、例えば、図８に示す方法がある。
【０００６】
図８に示すように、第１ステップＳ１０１の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。すなわち、垂直電荷転送部と水平電荷転送部とを駆動する。そして、第２ステップＳ１０２の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号が発生するか否かを判断する。ここで、信号が発生した「Ｙｅｓ」場合には、第３ステップＳ１０３の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるもの、画素部の水平混色、スミア、ブルーミングによるものが混ざったもの」で、検出された信号は、水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるものと、または画素部の水平混色成分、スミア、ブルーミング等によるものとが混合したものと判断することができる。一方、信号が発生しない「Ｎｏ」場合には、上記各成分は発生していないと判断することができる。上記各判断結果を得て、測定を終了する。
【０００７】
また、従来の固体撮像装置の評価方法として、画像欠陥を引き起こす画素信号のノイズ成分を発生原因別に分離して抽出する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。この評価方法は、固体撮像装置の出力信号に基づいて、スミアに関する第１ノイズ成分をブルーミングに関する第２ノイズ成分と分離して抽出し、評価する方法である。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−２８５８９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
解決しようとする問題点は、固体撮像装置の評価において、その要因分離が難しかった、水平ＣＣＤレジスタ起因の不良成分と、画素、垂直ＣＣＤレジスタ内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分等とを容易に分離することが困難な点である。
【００１０】
本発明は、水平電荷転送部（例えば水平ＣＣＤレジスタ）起因の不良成分と、画素、垂直電荷転送部（例えば垂直ＣＣＤレジスタ）内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分等とを分離することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に係る本発明は、水平電荷転送部に起因した不良成分と水平電荷転送部以外に起因した不良成分とを分離して評価する固体撮像装置の評価方法であって、前記固体撮像装置は、入射光を受光して光電変換するセンサ部から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部と、前記信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部と、画素有効部水平方向の最終列の前記垂直電荷転送部に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部とを備え、前記ホールドゲート部をＯＦＦ状態とする工程と、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの列に信号電荷が検出されるか判断する工程と、前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する工程と、前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には、次の工程に進むことを特徴とする。
【００１２】
請求項１に係る本発明では、ホールドゲート部をＯＦＦ状態として、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送することから、ホールドゲート部には、水平方向後ろ１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の信号（画素、垂直電荷転送部内の水平混色成分、スミア成分、逆方向のブルーミング成分（読み出しゲート側ではなくチャネルストップ側のブルーミング）等を含む）がホールドゲート部でせき止められる。その際、有効部水平方向最終列の信号はせき止められずに水平電荷転送部へ転送させる。この状態で水平電荷転送部を駆動し、水平方向後ろ１ビット目に信号が表れれば、画素内混色、スミア等の成分はホールド電極でせき止められているため、水平電荷転送部起因の現象と判断することができる。
【００１３】
請求項２に係る本発明は、水平電荷転送部に起因した不良成分と水平電荷転送部以外に起因した不良成分とを分離して評価する固体撮像装置の評価方法であって、前記固体撮像装置は、入射光を受光して光電変換するセンサ部から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部と、前記信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部と、画素有効部水平方向の最終列の前記垂直電荷転送部に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部とを備え、前記ホールドゲート部をＯＮ状態とする工程と、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電荷が検出されるか判断する工程と、前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する工程と、前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には、次の工程に進むことを特徴とする。
【００１４】
請求項２に係る本発明では、ホールドゲート部をＯＮ状態として、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。すなわち、垂直電荷転送部と水平電荷転送部とを駆動することから、水平方向後ろ１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に発生する信号は、水平電荷転送部以外に起因するもの（画素内もしくは垂直電荷転送部内での水平混色成分、スミア、逆方向のブルーミング（読み出しゲート側ではなくチャネルストップ側のブルーミング）等の成分）と判断することができる。また、上記信号からスミア、逆方向のブルーミング成分を差し引くことができれば、純粋な水平方向混色量を求めることも可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る本発明によれば、固体撮像装置の評価において、その要因分離が難しかった、水平電荷転送部に起因の不良成分を容易に抽出することが可能となるという利点がある。
【００１６】
請求項２に係る本発明によれば、固体撮像装置の評価において、その要因分離が難しかった、水平電荷転送部以外に起因する、画素、垂直電荷転送部内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分等を容易に抽出することが可能となる。また、この分離を利用することにより、画素、垂直電荷転送部内の純粋な水平混色成分を抽出することができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の一実施の形態（第１実施例および第２実施例）を、図１のフローチャートおよび、図２〜図４の概略レイアウト図によって説明する。
【００１８】
本発明の固体撮像装置の評価方法は、水平電荷転送部４１に起因した不良成分と水平電荷転送部４１以外に起因した不良成分とを分離して評価する。まず、図２に示すように、固体撮像装置１は、入射光を受光して光電変換するセンサ部２１から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部３１を備えている。また、この信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部４１を備えている。さらに、画素有効部水平方向の最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１（３１Ｂ）に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部５１とを備えている。
【００１９】
このような固体撮像装置１において、図１に示すように、第１実施例では以下のように評価を行う。まず、「測定開始」により測定を始める。そして、第１ステップＳ１の「ホールドゲートをＯＦＦ」で、ホールドゲート部５１をＯＦＦ状態とする工程を行う。
【００２０】
次に、第２ステップＳ２の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。
【００２１】
次に、第３ステップＳ３の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか否かを判断する。
【００２２】
上記第３ステップＳ３の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出された「Ｙｅｓ」場合には、第４ステップＳ４の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるもの」で、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する。また、上記第３ステップＳ３の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出されない「Ｎｏ」場合には、次の工程（ステップ）に進む。
【００２３】
上記第１実施例を、図３のフローチャートを用いて詳細に説明する。
【００２４】
図３に示すように、「測定開始」により測定を始める。そして、第１ステップＳ１の「ホールドゲートをＯＦＦ」で、ホールドゲート部５１をＯＦＦ状態とする工程を行う。
【００２５】
次に、第２ステップＳ２の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。この第２ステップＳ２では、まず、ステップＳ２１の「垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。ここでは、ホールドゲートが無いライン、すなわち、画素有効部の垂直電荷転送部の信号を水平電荷転送部に転送する。またホールドゲートがあるライン、すなわち、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の信号は水平電荷転送部に転送されない。
【００２６】
そして、ステップＳ２２の「転送終了」で、上記信号電荷の転送を停止する。
【００２７】
次に、ステップＳ２３の「水平転送（出力回路部で信号電荷を検出」で、水平電荷転送部を転送された信号電荷を出力回路部で検出する。ここでは、ホールドゲートがあるライン、すなわち、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の画素部の水平混色、スミア、ブルーミング等の成分が水平電荷転送部に存在しない状態で、信号電荷が水平転送される。
【００２８】
そして、ステップＳ２４の「転送終了」で、上記水平方向への信号電荷の転送を停止する。
【００２９】
その後、前記図１によって説明したように、第３ステップＳ３の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか否かを判断する。
【００３０】
上記第３ステップＳ３の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出された「Ｙｅｓ」場合には、第４ステップＳ４の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるもの」で、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する。また、上記第３ステップＳ３の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出されない「Ｎｏ」場合には、「水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良は発生せず」と判断して、次の工程（ステップ）に進む。
【００３１】
上記第１実施例では、図４に示すように、垂直電荷転送部３１を転送されてきた信号電荷のうち、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）を転送されてきた信号電荷は水平電荷転送部４１に転送され、水平電荷転送部４１によって出力側に水平転送される。一方、垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１（３１Ｂ）を転送されてきた信号電荷はホールドゲート５１によってせき止められ、水平電荷転送部４１に転送されない。この状態で水平電荷転送部４１を駆動し、水平方向後ろ１ビット目に信号が表れれば、画素内混色、スミア等の成分はホールド電極でせき止められているため、水平電荷転送部４１起因の現象と判断することができる。
【００３２】
次に、第２実施例では以下のように評価を行う。まず、図１に示すように、第５ステップＳ５の「ホールドゲートをＯＮ」で、ホールドゲート部５１をＯＮ状態とする工程を行う。
【００３３】
次に、第６ステップＳ６の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。
【００３４】
次に、第７ステップＳ７の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか否かを判断する。
【００３５】
上記第７ステップＳ７の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出された「Ｙｅｓ」場合には、第８ステップＳ８の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の信号（画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミング）」で、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良ではなく、画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する。また、上記第７ステップＳ７の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出されない「Ｎｏ」場合には、「測定終了」に進み、測定を終了する。
【００３６】
上記第２実施例を、図５のフローチャートを用いて詳細に説明する。
【００３７】
図５に示すように、「測定開始」により測定を始める。そして、第５ステップＳ５の「ホールドゲートをＯＮ」で、ホールドゲート部５１をＯＮ状態とする工程を行う。
【００３８】
次に、第６ステップＳ６の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。この第６ステップＳ６では、まず、ステップＳ６１の「垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。ここでは、ホールドゲートがあるライン、すなわち、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の信号を水平電荷転送部に転送する。またホールドゲートが無いライン、すなわち、画素有効部の垂直電荷転送部の信号電荷は先に水平電荷転送部に転送済みとなっている。
【００３９】
そして、ステップＳ６２の「転送終了」で、上記信号電荷の転送を停止する。
【００４０】
次に、ステップＳ６３の「水平転送（出力回路部で信号電荷を検出」で、水平電荷転送部を転送された信号電荷を出力回路部で検出する。ここでは、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の信号には、画素部の水平混色、スミア、ブルーミング等の成分が現れる。
【００４１】
そして、ステップＳ６４の「転送終了」で、上記水平方向への信号電荷の転送を停止する。
【００４２】
その後、前記図１によって説明したように、第７ステップＳ７の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか否かを判断する。
【００４３】
上記第７ステップＳ７の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出された「Ｙｅｓ」場合には、第８ステップＳ８の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるもの」で、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する。また、上記第７ステップＳ７の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出されない「Ｎｏ」場合には、「画素部の水平混色、スミア、ブルーミング等は発生せず」と判断して、次の工程（ステップ）に進む。
【００４４】
上記第２実施例では、図６に示すように、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）を転送されてきた信号電荷は水平電荷転送部４１に転送され、また水平電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１（３１Ｂ）の信号電荷もホールドゲート５１によってせき止められず、水平電荷転送部４１に転送される。この状態では、水平方向後ろ１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１Ｂに発生する信号は、水平電荷転送部４１以外に起因するもの（画素内もしくは垂直電荷転送部内での水平混色成分、スミア、逆方向のブルーミング（読み出しゲート側ではなくチャネルストップ側のブルーミング）等の成分）と判断することができる。また、上記信号からスミア、逆方向のブルーミング成分を差し引くことができれば、純粋な水平方向混色量を求めることも可能となる。
【００４５】
本発明の固体撮像装置の評価方法では、上記図１によって説明したように、第１実施例の評価を行った後、第２実施例の評価を行うが第２実施例の評価を先に行い、その後に第１実施例の評価を行うことも可能である。すなわち、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する際、まず画素有効部水平方向最終列の信号電荷をホールドゲートでせき止め、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの列の信号電荷はせき止めずに、水平電荷転送部へ信号電荷を転送させることも可能である。この場合、まず水平電荷転送部以外に起因する成分（画素、垂直ＣＣＤレジスタ内水平混色、スミア、逆ブルーミング等の成分）が検出され、続いて、水平電荷転送部起因の成分が検出される。要するに検出される成分の順番が逆になるだけである。また、第１実施例のみ、第２実施例のみの評価を行うだけでもよい。いずれの場合も、各実施例で得られる効果を有する。
【００４６】
次に、上記評価方法を行う際の水平、垂直クロックのタイミングを図７のタイミングチャートによって説明する。
【００４７】
図７に示すように、第１期間では、水平クロックはブランキング期間であり、垂直クロックは垂直転送期間であり、垂直電荷転送部のホールドゲートはＯＦＦ状態となっている。このとき、垂直電荷転送部のホールドゲートがＯｆｆ状態となっているため、ホールドゲートのない列の垂直電荷転送部の信号のみが水平電荷転送部に転送される。
【００４８】
第２期間では、水平クロックは水平転送期間であり、垂直クロックはＯＦＦ状態にあり、垂直電荷転送部のホールドゲートもＯＦＦ状態となっている。このとき、ホールドゲートのない列の垂直電荷転送部の信号電荷のみが出力される。（例えば、前記図１では、この期間に水平方向後段１ビットのオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号が検出された場合、水平電荷転送部に起因した不良成分と判断できる。
【００４９】
第３期間では、水平クロックはブランキング期間であり、垂直クロックはＯＦＦ状態であり、垂直電荷転送部のホールドゲートは垂直転送期間となっている。このとき、垂直電荷転送部のホールドゲートがＯｎ状態としたため、蓄積されたホールドゲートがある列の信号が、水平電荷転送部に転送される。
【００５０】
第４期間では、水平クロックは水平転送期間であり、垂直クロックはＯＦＦ状態にあり、垂直電荷転送部のホールドゲートもＯＦＦ状態となっている。このとき、ホールドゲートのある列の垂直電荷転送部の信号電荷が検出される。（例えば、前記図１では、この期間に水平方向後段１ビットのオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号が検出された場合、水平電荷転送部起因以外の不良成分（水平混色、スミア、ブルーミング成分等）と判断できる。
【００５１】
本発明の固体撮像装置の評価方法では、上記ホールドゲートは垂直電荷転送部の各ラインに備えつけられている必要はない。画素有効部の水平方向最終列、もしくは水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの列のどちらかにホールドゲートが備え付けられていれば、各成分の分離は可能である。水平方向の信号加算をするために、ホールドゲートがあるラインとないラインを１ないしはそれ以上の画素毎に設ける、汎用的な固体撮像装置であれば、画素有効部の水平方向最終列、もしくは水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの列のどちらかにホールド電極が備え付けられているような画素配置にしておくだけで、本発明の評価方法を利用できる。
【００５２】
また、以上の説明では水平方向後段側について述べたが、水平方向前段側のオプティカルブラックに信号が発生した場合でも、本発明の評価方法を利用することができる。つまり、画素有効部の水平方向最前列、もしくは水平方向前段の最終ビットのオプティカルブラックの列のどちらかにホールドゲートがついていれば、水平方向前最終ビットのオプティカルブラックの列に信号が現れた場合、本発明の評価方法を用いて、信号が水平電荷転送部起因によるものなのか、それ以外なのかを分離することができる。
【００５３】
以上説明したように、本発明の評価方法を用いることで、固体撮像装置の評価において、その要因分離が難しかった、水平電荷転送部起因の不良成分と、画素、垂直電荷転送部内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分等とを容易に分離することが可能となる。また、この評価方法を利用することにより、画素、垂直ＣＣＤ内の純粋な水平混色成分を抽出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の一実施の形態（第１実施例および第２実施例）を示したフローチャートである。
【図２】固体撮像装置の概略を示した概略レイアウト図である。
【図３】第１実施例の詳細を示したフローチャートである。
【図４】第１実施例の信号電荷の転送状態を模式的に示した概略レイアウト図である。
【図５】第２実施例の詳細を示したフローチャートである。
【図６】第２実施例の信号電荷の転送状態を模式的に示した概略レイアウト図である。
【図７】本発明の評価方法を行う際の水平、垂直クロックのタイミングを示したタイミングチャートである。
【図８】従来の評価方法を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００５５】
３１…垂直電気転送部、４１…水平電荷転送部、５１…ホールドゲート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置の評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤイメージセンサでは、水平ＣＣＤレジスタ内で、取り扱い電荷量の不足、電荷の転送不良が発生した場合、１ないしはそれ以上のオプティカルブラック部のパケットに、電荷がもれこむ現象が発生する。この現象が発生すると、電荷が検出されないはずのオプティカルブラックに電荷が発生しているように見えてしまい、出力信号として誤認識される。
【０００３】
また、画素内もしくは垂直ＣＣＤレジスタ内で水平方向に混色が発生した場合も同様に、水平方向のオプティカルブラック領域のパケットに信号が発生する可能性がある。このため、両者の信号を分離することが難しかった。また、スミア成分、逆方向のブルーミング成分も同様に、オプティカルブラック領域のパケットに信号が発生する可能性がある。
【０００４】
上述の現象が同時に発生してしまうと、それが水平ＣＣＤレジスタ起因の現象なのか、それ以外に起因する現象なのか、分離が非常に難しくなる。
【０００５】
上記状態を評価する方法として、例えば、図８に示す方法がある。
【０００６】
図８に示すように、第１ステップＳ１０１の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。すなわち、垂直電荷転送部と水平電荷転送部とを駆動する。そして、第２ステップＳ１０２の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号が発生するか否かを判断する。ここで、信号が発生した「Ｙｅｓ」場合には、第３ステップＳ１０３の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるもの、画素部の水平混色、スミア、ブルーミングによるものが混ざったもの」で、検出された信号は、水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるものと、または画素部の水平混色成分、スミア、ブルーミング等によるものとが混合したものと判断することができる。一方、信号が発生しない「Ｎｏ」場合には、上記各成分は発生していないと判断することができる。上記各判断結果を得て、測定を終了する。
【０００７】
また、従来の固体撮像装置の評価方法として、画像欠陥を引き起こす画素信号のノイズ成分を発生原因別に分離して抽出する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。この評価方法は、固体撮像装置の出力信号に基づいて、スミアに関する第１ノイズ成分をブルーミングに関する第２ノイズ成分と分離して抽出し、評価する方法である。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−２８５８９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
解決しようとする問題点は、固体撮像装置の評価において、その要因分離が難しかった、水平ＣＣＤレジスタ起因の不良成分と、画素、垂直ＣＣＤレジスタ内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分等とを容易に分離することが困難な点である。
【００１０】
本発明は、水平電荷転送部（例えば水平ＣＣＤレジスタ）起因の不良成分と、画素、垂直電荷転送部（例えば垂直ＣＣＤレジスタ）内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分等とを分離することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に係る本発明は、水平電荷転送部に起因した不良成分と水平電荷転送部以外に起因した不良成分とを分離して評価する固体撮像装置の評価方法であって、前記固体撮像装置は、入射光を受光して光電変換するセンサ部から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部と、前記信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部と、画素有効部水平方向の最終列の前記垂直電荷転送部に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部とを備え、前記ホールドゲート部をＯＦＦ状態とする工程と、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの列に信号電荷が検出されるか判断する工程と、前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する工程と、前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には、次の工程に進むことを特徴とする。
【００１２】
請求項１に係る本発明では、ホールドゲート部をＯＦＦ状態として、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送することから、ホールドゲート部には、水平方向後ろ１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の信号（画素、垂直電荷転送部内の水平混色成分、スミア成分、逆方向のブルーミング成分（読み出しゲート側ではなくチャネルストップ側のブルーミング）等を含む）がホールドゲート部でせき止められる。その際、有効部水平方向最終列の信号はせき止められずに水平電荷転送部へ転送させる。この状態で水平電荷転送部を駆動し、水平方向後ろ１ビット目に信号が表れれば、画素内混色、スミア等の成分はホールド電極でせき止められているため、水平電荷転送部起因の現象と判断することができる。
【００１３】
請求項２に係る本発明は、水平電荷転送部に起因した不良成分と水平電荷転送部以外に起因した不良成分とを分離して評価する固体撮像装置の評価方法であって、前記固体撮像装置は、入射光を受光して光電変換するセンサ部から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部と、前記信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部と、画素有効部水平方向の最終列の前記垂直電荷転送部に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部とを備え、前記ホールドゲート部をＯＮ状態とする工程と、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電荷が検出されるか判断する工程と、前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する工程と、前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には、次の工程に進むことを特徴とする。
【００１４】
請求項２に係る本発明では、ホールドゲート部をＯＮ状態として、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。すなわち、垂直電荷転送部と水平電荷転送部とを駆動することから、水平方向後ろ１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に発生する信号は、水平電荷転送部以外に起因するもの（画素内もしくは垂直電荷転送部内での水平混色成分、スミア、逆方向のブルーミング（読み出しゲート側ではなくチャネルストップ側のブルーミング）等の成分）と判断することができる。また、上記信号からスミア、逆方向のブルーミング成分を差し引くことができれば、純粋な水平方向混色量を求めることも可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る本発明によれば、固体撮像装置の評価において、その要因分離が難しかった、水平電荷転送部に起因の不良成分を容易に抽出することが可能となるという利点がある。
【００１６】
請求項２に係る本発明によれば、固体撮像装置の評価において、その要因分離が難しかった、水平電荷転送部以外に起因する、画素、垂直電荷転送部内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分等を容易に抽出することが可能となる。また、この分離を利用することにより、画素、垂直電荷転送部内の純粋な水平混色成分を抽出することができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の一実施の形態（第１実施例および第２実施例）を、図１のフローチャートおよび、図２〜図４の概略レイアウト図によって説明する。
【００１８】
本発明の固体撮像装置の評価方法は、水平電荷転送部４１に起因した不良成分と水平電荷転送部４１以外に起因した不良成分とを分離して評価する。まず、図２に示すように、固体撮像装置１は、入射光を受光して光電変換するセンサ部２１から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部３１を備えている。また、この信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部４１を備えている。さらに、画素有効部水平方向の最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１（３１Ｂ）に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部５１とを備えている。
【００１９】
このような固体撮像装置１において、図１に示すように、第１実施例では以下のように評価を行う。まず、「測定開始」により測定を始める。そして、第１ステップＳ１の「ホールドゲートをＯＦＦ」で、ホールドゲート部５１をＯＦＦ状態とする工程を行う。
【００２０】
次に、第２ステップＳ２の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。
【００２１】
次に、第３ステップＳ３の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか否かを判断する。
【００２２】
上記第３ステップＳ３の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出された「Ｙｅｓ」場合には、第４ステップＳ４の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるもの」で、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する。また、上記第３ステップＳ３の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出されない「Ｎｏ」場合には、次の工程（ステップ）に進む。
【００２３】
上記第１実施例を、図３のフローチャートを用いて詳細に説明する。
【００２４】
図３に示すように、「測定開始」により測定を始める。そして、第１ステップＳ１の「ホールドゲートをＯＦＦ」で、ホールドゲート部５１をＯＦＦ状態とする工程を行う。
【００２５】
次に、第２ステップＳ２の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。この第２ステップＳ２では、まず、ステップＳ２１の「垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。ここでは、ホールドゲートが無いライン、すなわち、画素有効部の垂直電荷転送部の信号を水平電荷転送部に転送する。またホールドゲートがあるライン、すなわち、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の信号は水平電荷転送部に転送されない。
【００２６】
そして、ステップＳ２２の「転送終了」で、上記信号電荷の転送を停止する。
【００２７】
次に、ステップＳ２３の「水平転送（出力回路部で信号電荷を検出」で、水平電荷転送部を転送された信号電荷を出力回路部で検出する。ここでは、ホールドゲートがあるライン、すなわち、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の画素部の水平混色、スミア、ブルーミング等の成分が水平電荷転送部に存在しない状態で、信号電荷が水平転送される。
【００２８】
そして、ステップＳ２４の「転送終了」で、上記水平方向への信号電荷の転送を停止する。
【００２９】
その後、前記図１によって説明したように、第３ステップＳ３の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか否かを判断する。
【００３０】
上記第３ステップＳ３の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出された「Ｙｅｓ」場合には、第４ステップＳ４の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるもの」で、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する。また、上記第３ステップＳ３の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出されない「Ｎｏ」場合には、「水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良は発生せず」と判断して、次の工程（ステップ）に進む。
【００３１】
上記第１実施例では、図４に示すように、垂直電荷転送部３１を転送されてきた信号電荷のうち、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）を転送されてきた信号電荷は水平電荷転送部４１に転送され、水平電荷転送部４１によって出力側に水平転送される。一方、垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１（３１Ｂ）を転送されてきた信号電荷はホールドゲート５１によってせき止められ、水平電荷転送部４１に転送されない。この状態で水平電荷転送部４１を駆動し、水平方向後ろ１ビット目に信号が表れれば、画素内混色、スミア等の成分はホールド電極でせき止められているため、水平電荷転送部４１起因の現象と判断することができる。
【００３２】
次に、第２実施例では以下のように評価を行う。まず、図１に示すように、第５ステップＳ５の「ホールドゲートをＯＮ」で、ホールドゲート部５１をＯＮ状態とする工程を行う。
【００３３】
次に、第６ステップＳ６の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。
【００３４】
次に、第７ステップＳ７の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか否かを判断する。
【００３５】
上記第７ステップＳ７の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出された「Ｙｅｓ」場合には、第８ステップＳ８の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の信号（画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミング）」で、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良ではなく、画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する。また、上記第７ステップＳ７の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出されない「Ｎｏ」場合には、「測定終了」に進み、測定を終了する。
【００３６】
上記第２実施例を、図５のフローチャートを用いて詳細に説明する。
【００３７】
図５に示すように、「測定開始」により測定を始める。そして、第５ステップＳ５の「ホールドゲートをＯＮ」で、ホールドゲート部５１をＯＮ状態とする工程を行う。
【００３８】
次に、第６ステップＳ６の「Ｖ転送／Ｈ転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。この第６ステップＳ６では、まず、ステップＳ６１の「垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送」で、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する。ここでは、ホールドゲートがあるライン、すなわち、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の信号を水平電荷転送部に転送する。またホールドゲートが無いライン、すなわち、画素有効部の垂直電荷転送部の信号電荷は先に水平電荷転送部に転送済みとなっている。
【００３９】
そして、ステップＳ６２の「転送終了」で、上記信号電荷の転送を停止する。
【００４０】
次に、ステップＳ６３の「水平転送（出力回路部で信号電荷を検出」で、水平電荷転送部を転送された信号電荷を出力回路部で検出する。ここでは、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部の信号には、画素部の水平混色、スミア、ブルーミング等の成分が現れる。
【００４１】
そして、ステップＳ６４の「転送終了」で、上記水平方向への信号電荷の転送を停止する。
【００４２】
その後、前記図１によって説明したように、第７ステップＳ７の「水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックに信号電検出されるか？」で、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか否かを判断する。
【００４３】
上記第７ステップＳ７の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出された「Ｙｅｓ」場合には、第８ステップＳ８の「検出された信号は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良によるもの」で、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する。また、上記第７ステップＳ７の信号電荷が検出されるか否かを判断する工程において、信号電荷が検出されない「Ｎｏ」場合には、「画素部の水平混色、スミア、ブルーミング等は発生せず」と判断して、次の工程（ステップ）に進む。
【００４４】
上記第２実施例では、図６に示すように、画素有効部水平方向最終列の垂直電荷転送部３１（３１Ｅ）を転送されてきた信号電荷は水平電荷転送部４１に転送され、また水平電荷転送部３１（３１Ｅ）の水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１（３１Ｂ）の信号電荷もホールドゲート５１によってせき止められず、水平電荷転送部４１に転送される。この状態では、水平方向後ろ１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部３１Ｂに発生する信号は、水平電荷転送部４１以外に起因するもの（画素内もしくは垂直電荷転送部内での水平混色成分、スミア、逆方向のブルーミング（読み出しゲート側ではなくチャネルストップ側のブルーミング）等の成分）と判断することができる。また、上記信号からスミア、逆方向のブルーミング成分を差し引くことができれば、純粋な水平方向混色量を求めることも可能となる。
【００４５】
本発明の固体撮像装置の評価方法では、上記図１によって説明したように、第１実施例の評価を行った後、第２実施例の評価を行うが第２実施例の評価を先に行い、その後に第１実施例の評価を行うことも可能である。すなわち、垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する際、まず画素有効部水平方向最終列の信号電荷をホールドゲートでせき止め、水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの列の信号電荷はせき止めずに、水平電荷転送部へ信号電荷を転送させることも可能である。この場合、まず水平電荷転送部以外に起因する成分（画素、垂直ＣＣＤレジスタ内水平混色、スミア、逆ブルーミング等の成分）が検出され、続いて、水平電荷転送部起因の成分が検出される。要するに検出される成分の順番が逆になるだけである。また、第１実施例のみ、第２実施例のみの評価を行うだけでもよい。いずれの場合も、各実施例で得られる効果を有する。
【００４６】
次に、上記評価方法を行う際の水平、垂直クロックのタイミングを図７のタイミングチャートによって説明する。
【００４７】
図７に示すように、第１期間では、水平クロックはブランキング期間であり、垂直クロックは垂直転送期間であり、垂直電荷転送部のホールドゲートはＯＦＦ状態となっている。このとき、垂直電荷転送部のホールドゲートがＯｆｆ状態となっているため、ホールドゲートのない列の垂直電荷転送部の信号のみが水平電荷転送部に転送される。
【００４８】
第２期間では、水平クロックは水平転送期間であり、垂直クロックはＯＦＦ状態にあり、垂直電荷転送部のホールドゲートもＯＦＦ状態となっている。このとき、ホールドゲートのない列の垂直電荷転送部の信号電荷のみが出力される。（例えば、前記図１では、この期間に水平方向後段１ビットのオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号が検出された場合、水平電荷転送部に起因した不良成分と判断できる。
【００４９】
第３期間では、水平クロックはブランキング期間であり、垂直クロックはＯＦＦ状態であり、垂直電荷転送部のホールドゲートは垂直転送期間となっている。このとき、垂直電荷転送部のホールドゲートがＯｎ状態としたため、蓄積されたホールドゲートがある列の信号が、水平電荷転送部に転送される。
【００５０】
第４期間では、水平クロックは水平転送期間であり、垂直クロックはＯＦＦ状態にあり、垂直電荷転送部のホールドゲートもＯＦＦ状態となっている。このとき、ホールドゲートのある列の垂直電荷転送部の信号電荷が検出される。（例えば、前記図１では、この期間に水平方向後段１ビットのオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号が検出された場合、水平電荷転送部起因以外の不良成分（水平混色、スミア、ブルーミング成分等）と判断できる。
【００５１】
本発明の固体撮像装置の評価方法では、上記ホールドゲートは垂直電荷転送部の各ラインに備えつけられている必要はない。画素有効部の水平方向最終列、もしくは水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの列のどちらかにホールドゲートが備え付けられていれば、各成分の分離は可能である。水平方向の信号加算をするために、ホールドゲートがあるラインとないラインを１ないしはそれ以上の画素毎に設ける、汎用的な固体撮像装置であれば、画素有効部の水平方向最終列、もしくは水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの列のどちらかにホールド電極が備え付けられているような画素配置にしておくだけで、本発明の評価方法を利用できる。
【００５２】
また、以上の説明では水平方向後段側について述べたが、水平方向前段側のオプティカルブラックに信号が発生した場合でも、本発明の評価方法を利用することができる。つまり、画素有効部の水平方向最前列、もしくは水平方向前段の最終ビットのオプティカルブラックの列のどちらかにホールドゲートがついていれば、水平方向前最終ビットのオプティカルブラックの列に信号が現れた場合、本発明の評価方法を用いて、信号が水平電荷転送部起因によるものなのか、それ以外なのかを分離することができる。
【００５３】
以上説明したように、本発明の評価方法を用いることで、固体撮像装置の評価において、その要因分離が難しかった、水平電荷転送部起因の不良成分と、画素、垂直電荷転送部内の水平混色成分、スミア成分、逆ブルーミング成分等とを容易に分離することが可能となる。また、この評価方法を利用することにより、画素、垂直ＣＣＤ内の純粋な水平混色成分を抽出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の一実施の形態（第１実施例および第２実施例）を示したフローチャートである。
【図２】固体撮像装置の概略を示した概略レイアウト図である。
【図３】第１実施例の詳細を示したフローチャートである。
【図４】第１実施例の信号電荷の転送状態を模式的に示した概略レイアウト図である。
【図５】第２実施例の詳細を示したフローチャートである。
【図６】第２実施例の信号電荷の転送状態を模式的に示した概略レイアウト図である。
【図７】本発明の評価方法を行う際の水平、垂直クロックのタイミングを示したタイミングチャートである。
【図８】従来の評価方法を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００５５】
３１…垂直電気転送部、４１…水平電荷転送部、５１…ホールドゲート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平電荷転送部に起因した不良成分と水平電荷転送部以外に起因した不良成分とを分離して評価する固体撮像装置の評価方法であって、
前記固体撮像装置は、
入射光を受光して光電変換するセンサ部から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部と、
前記信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部と、
画素有効部水平方向の最終列の前記垂直電荷転送部に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部とを備え、
前記ホールドゲート部をＯＦＦ状態とする工程と、
垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、
前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には、次の工程に進む工程と
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の評価方法。
【請求項２】
水平電荷転送部に起因した不良成分と水平電荷転送部以外に起因した不良成分とを分離して評価する固体撮像装置の評価方法であって、
前記固体撮像装置は、
入射光を受光して光電変換するセンサ部から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部と、
前記信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部と、
画素有効部水平方向の最終列の前記垂直電荷転送部に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部とを備え、
前記ホールドゲート部をＯＮ状態とする工程と、
垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、
前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には、次の工程に進む工程と
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の評価方法。
【請求項３】
前記次の工程は、
前記ホールドゲート部をＯＮ状態とする工程と、
垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、
前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する工程とからなり、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には終了する
ことを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置の評価方法。
【請求項４】
前記次の工程は、
前記ホールドゲート部をＯＦＦ状態とする工程と、
垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、
前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する工程とからなり、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には終了する
ことを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置の評価方法。
【請求項１】
水平電荷転送部に起因した不良成分と水平電荷転送部以外に起因した不良成分とを分離して評価する固体撮像装置の評価方法であって、
前記固体撮像装置は、
入射光を受光して光電変換するセンサ部から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部と、
前記信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部と、
画素有効部水平方向の最終列の前記垂直電荷転送部に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部とを備え、
前記ホールドゲート部をＯＦＦ状態とする工程と、
垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、
前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足もしくは転送不良と判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には、次の工程に進む工程と
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の評価方法。
【請求項２】
水平電荷転送部に起因した不良成分と水平電荷転送部以外に起因した不良成分とを分離して評価する固体撮像装置の評価方法であって、
前記固体撮像装置は、
入射光を受光して光電変換するセンサ部から読み出された信号電荷が行配列方向に転送される垂直電荷転送部と、
前記信号電荷が列配列方向に転送される水平電荷転送部と、
画素有効部水平方向の最終列の前記垂直電荷転送部に対して水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に前記信号電荷を列単位で選択的に阻止するホールドゲート部とを備え、
前記ホールドゲート部をＯＮ状態とする工程と、
垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、
前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には、次の工程に進む工程と
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の評価方法。
【請求項３】
前記次の工程は、
前記ホールドゲート部をＯＮ状態とする工程と、
垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、
前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する工程とからなり、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には終了する
ことを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置の評価方法。
【請求項４】
前記次の工程は、
前記ホールドゲート部をＯＦＦ状態とする工程と、
垂直電荷転送部から水平電荷転送部へ信号電荷を転送する工程と、
前記水平方向後段１ビット目のオプティカルブラックの垂直電荷転送部に信号電荷が検出されるか判断する工程と、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出された場合には、検出された信号電荷は水平電荷転送部の取り扱い電荷量不足および転送不良以外の画素部の水平混色、スミアもしくはブルーミングの信号と判断する工程とからなり、
前記信号電荷が検出されるか判断する工程において、信号電荷が検出されない場合には終了する
ことを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置の評価方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００８−２１１３７４（Ｐ２００８−２１１３７４Ａ）
【公開日】平成２０年９月１１日（２００８．９．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−４４４４６（Ｐ２００７−４４４４６）
【出願日】平成１９年２月２３日（２００７．２．２３）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年９月１１日（２００８．９．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年２月２３日（２００７．２．２３）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
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