圧電振動体、圧電アクチュエータ、電子機器及び圧電振動体の製造方法
【課題】振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体、圧電アクチュエータ、電子機器及び圧電振動体の製造方法を提供すること。
【解決手段】電極が設けられる圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２が積層される補強板３３とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０であって、圧電素子３１，３２と補強板３３とは、互いに接合材により接合され、当該圧電振動体３０は、周縁における当該圧電振動体３０の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に、他の位置より多くの接合材が保持される保持領域３４を有する。
【解決手段】電極が設けられる圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２が積層される補強板３３とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０であって、圧電素子３１，３２と補強板３３とは、互いに接合材により接合され、当該圧電振動体３０は、周縁における当該圧電振動体３０の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に、他の位置より多くの接合材が保持される保持領域３４を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子と補強板とを有する圧電振動体、圧電アクチュエータ、電子機器及び圧電振動体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電振動体と、当該圧電振動体の振動によって駆動される被駆動体とを備えた圧電アクチュエータが知られている。このうち、圧電振動体は、ステンレス等の板状体である補強板に圧電素子が積層された構造を備えている。このような圧電振動体においては、圧電素子の表裏両面に形成される電極の位置、当該電極への電圧の印加状態、並びに、これら圧電素子及び補強板の形状及び寸法に応じて、圧電素子の長手方向に沿って伸縮する縦振動（縦一次振動）と、当該縦振動に直交する方向に屈曲する屈曲振動（屈曲二次振動）とを、圧電振動体に生じさせることができる。そして、圧電アクチュエータにおいては、前述の電極に電圧を印加すると、圧電振動体が振動して、被駆動体が駆動される。
【０００３】
このような圧電素子と補強板とは、はんだ或いは接着剤等の接合材により接合される。そして、これらの接合の際には、圧電素子と補強板とを、これらの積層方向に沿って立設された位置決めピン等により位置決めし、当該圧電素子及び補強板を加圧して接合する圧電振動体の製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】再公表公報ＷＯ２００４／０４３６１７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の製造方法にて、接合材として接着剤を用いて圧電振動体を製造すると、余分な接着剤が圧電素子及び補強板の周縁に漏出してしまう。一方、圧電素子と補強板とは剥離が生じない程度に密に接合させる必要がある反面、接合時に漏出しない程度に接着剤を塗布することは困難である。このような接着剤が圧電素子又は補強板の周囲にばらついて漏出すると、当該接着剤による圧電振動体の重心の変位や、当該圧電振動体の変位量の変化により、製造される個々の圧電振動体の振動特性がばらつくという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体、圧電アクチュエータ、電子機器及び圧電振動体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電振動体は、電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体であって、前記圧電素子と前記補強板とは、互いに接合材により接合され、当該圧電振動体は、周縁における当該圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に、他の位置より多くの前記接合材が保持される第１の保持領域を有することを特徴とする。
【０００８】
ここで、圧電振動体の振動としては、前述の縦振動及び屈曲振動のうち、少なくともいずれかが挙げられる。
また、圧電振動体の振動時の節とは、当該圧電振動体が振動した際に、圧電振動体における変位量が最も小さい部位（詳述すると、振幅が０となる部位）を示し、例えば、平面視略長方形状の圧電振動体が長手方向に沿って縦振動する場合には、当該圧電振動体の長手方向の中央位置となる。また、当該圧電振動体が屈曲振動する場合には、幅方向（圧電振動体を平面視した際の長手方向に直交する方向）の中心線上ではあるが、長手方向においては中心点、及び、それ以外の複数箇所となることが多い。
【０００９】
更に、当該節に応じた位置とは、圧電振動体の周縁において当該圧電振動体の振動時の変位量が最も小さい部位を示す。例えば、平面視略長方形状を有する圧電振動体が縦振動する場合には、当該節に応じた位置は、前述の節を通り、かつ、長手方向に対する直交方向に沿う直線上の周縁部位となる。当該圧電振動体が屈曲振動する場合にも、当該節に応じた位置は、前述の節を通り、かつ、幅方向に沿う直線上の周縁部位となる。
また、接合材としては、接合の際に液状を呈するものが適用される。また、接合の際に、接合材を加熱して接合しやすくしてもよい。このような接合材としては、例えば、エポキシ樹脂、嫌気性接着剤及び光硬化型接着剤の混合接着材等の合成樹脂接合材、並びに、ハンダ等の金属接合材を挙げることができる。このうち、金属接合材を接合材として用いる場合には、接合の際に加熱溶融が必要である。
【００１０】
本発明によれば、圧電素子と補強板との間から周縁に漏出した接合材は、圧電振動体の周縁における当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置である第１の保持領域に集められている。これによれば、例えば、圧電振動体の製造時において、圧電素子と補強板との間から接合材が漏出した場合でも、振動時の節に応じた位置に、より多くの接合材が保持されることとなり、当該位置とは異なる位置（例えば、振動時の振幅が最大となる腹の位置）により多くの接合材が保持されている場合に比べ、当該接合材による圧電振動体の振動への影響が低減する。
【００１１】
具体的に、当該節に応じた位置より、当該位置とは異なる位置に多くの接合材が保持されている場合には、当該接合材による圧電振動体の重心の変位等により、振幅のバランスが崩れてしまう。これに対し、振動時の節に応じた位置に、当該位置とは異なる位置より多くの接合材が保持されることで、振幅のバランスを維持することができる。
従って、製造される圧電振動体の振動特性のばらつきを抑制することができる。
【００１２】
本発明では、前記圧電素子及び前記補強板は、互いに接合される際に、当該圧電振動体の外側で、かつ、前記節に応じた位置に配置される第１の位置決め部材により位置決めされ、前記第１の保持領域は、前記第１の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間に形成されることが好ましい。
【００１３】
本発明によれば、圧電素子と補強板との接合時に、これらを第１の位置決め部材により位置決めすることにより、圧電素子と補強板との間から漏出した接合材を、当該第１の位置決め部材と圧電振動体との隙間で生じる毛細管現象により集め、当該接合材が保持される第１の保持領域を形成することができる。この際、第１の位置決め部材は、圧電振動体の外側で、かつ、当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置に配置されるので、圧電振動体の周縁における当該節に応じた位置に、他の位置より多くの接合材を確実に保持させることができる。従って、振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体を効率よく製造することができる。
【００１４】
本発明では、前記補強板は、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部を備え、前記圧電素子及び前記補強板は、互いに接合される際に、当該圧電振動体の外側で、かつ、前記突出部近傍に配置される第２の位置決め部材により位置決めされ、前記第２の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間には、前記接合材が保持される第２の保持領域が形成されることが好ましい。
【００１５】
例えば、このような突出部は、平面視略長方形状の圧電振動体では、当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における一方の端部寄りの位置に形成することができ、更には、圧電振動体の中央を中心として、点対称となる位置に形成することができる。
本発明によれば、第２の位置決め部材により、補強板と圧電素子との接合時において第１の位置決め部材によって位置決めされる方向とは異なる方向の位置決めを行うことができる。
【００１６】
ここで、このような突出部は、例えば、被駆動体に接触させて、圧電振動体の振動により当該被駆動体を駆動させるために設けられる。このような突出部が、圧電振動体がアンバランスとなる位置に設けられていると、前述の縦振動及び屈曲振動を生じさせやすくなり、当該突出部は楕円軌道を描くように振動する。しかしながら、突出部を設けたことによって生じたアンバランスが解消される位置（例えば、突出部が形成された面における当該突出部とは反対側の位置）に多くの接合材が保持されてしまうと、圧電振動体の振動時の振幅、ひいては、楕円軌道を描く突出部の振幅が小さくなり、圧電振動体の振動特性が変化する可能性がある。
【００１７】
これに対し、本発明によれば、第２の位置決め部材が配置される突出部近傍に、余分な接合材が保持される第２の保持領域を形成することができるので、圧電振動体のアンバランスを維持することができ、圧電振動体の振幅、ひいては、突出部の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、製造される圧電振動体の振動特性のばらつきを一層抑制できる。この場合、第２の位置決め部材が配置される箇所は、当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における幅方向の中心位置より突出部配置側（突出部寄りの位置）であることが好ましい。
【００１８】
なお、突出部が、平面視で当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における幅方向の中央部に形成されている場合には、第２の位置決め部材は、突出部の両側で、当該突出部から等間隔に配置されていることが好ましい。このような場合、第２の位置決め部材が配置される突出部の両側に、余分な接合材が保持される第２の保持領域を形成することができるので、圧電振動体にアンバランスをもたらさずに、所望の振動を維持させることができる。
【００１９】
本発明では、前記補強板は、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部を備え、前記突出部は、前記圧電素子と前記補強板とが接合される際に、これらを位置決めする第３の位置決め部材が挿通する孔部を有し、前記第３の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間には、前記接合材が保持される第３の保持領域が形成されることが好ましい。
【００２０】
本発明では、第３の位置決め部材により、補強板及び圧電素子の接合時の長手方向の位置決めを容易に行うことができる。
ここで、突出部は、前述のように、例えば、被駆動体に接触させて、圧電振動体の振動により当該被駆動体を駆動させるために設けられるが、当該突出部を、圧電振動体がアンバランスとなる位置に設け、当該圧電振動体に縦振動及び屈曲振動を生じさせることで、当該突出部は、楕円軌道を描くように振動する。しかしながら、圧電素子と補強板との間から漏出した余分な接合材が、当該アンバランスが解消される位置に多く保持されてしまうと、圧電振動体の振動時の振幅、ひいては、楕円軌道を描く突出部の振幅が小さくなり、圧電振動体の振動特性が変化する可能性がある。
【００２１】
これに対し、本発明によれば、突出部の孔部を挿通する第３の位置決め部材と、圧電振動体の周縁との間に、接合材が保持される第３の保持領域を形成することができる。これにより、前述の第２の位置決め部材の場合と同様に、圧電振動体のアンバランスを維持することができ、圧電振動体の振幅、ひいては、突出部の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、製造される振動特性のばらつきを一層抑制することができる。この場合、突出部及び第３の位置決め部材が配置される箇所は、当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における幅方向の中心位置より端部側（長辺側）であることが好ましい。
【００２２】
なお、突出部が、平面視で当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における幅方向の中央部に形成されている場合には、第３の位置決め部材も、上記幅方向の中央部に配置されることになる。このため、余分な接合材が保持される第３の保持領域が形成されても、圧電振動体にアンバランスをもたらさずに、所望の振動を維持させることができる。
【００２３】
また、本発明の圧電アクチュエータは、前述の圧電振動体と、当該圧電振動体の振動により駆動される被駆動体とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、前述の圧電振動体と同様の効果を奏することができ、振動特性のばらつきを抑制した駆動信頼性の高い圧電アクチュエータを構成及び製造することができる。
【００２４】
また、本発明の電子機器は、前述の圧電アクチュエータを備えることを特徴とする。
このような電子機器として、腕時計等の時計や、カメラ等を例示することができる。
本発明によれば、前述の圧電アクチュエータと同様の効果を奏することができ、これにより、動作信頼性の高い電子機器を構成及び製造することができる。
【００２５】
また、本発明の圧電振動体の製造方法は、電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、前記圧電素子及び前記補強板の少なくとも一方における他方に対向する面に、接合材を付着させる接合材付着工程と、前記圧電振動体の外側で、かつ、前記圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に第１の位置決め部材を配置して、前記圧電素子及び前記補強板を位置決めする位置決め工程と、前記圧電素子及び前記補強板を互いに接合させる接合工程と、を有することを特徴とする。
【００２６】
ここで、圧電素子及び補強板を互いに接合する接合工程としては、圧電素子及び補強板を、接合材を介して対向させた後、治具等の加圧手段により加圧することで、これらを互いに接合する方法を採用することができる。また、このほか、接合工程として、圧電素子及び補強板を、接合材を介して積層させた後、上方に配置された部材の自重により自然に加圧されることで、これらを互いに接合する方法を採用することも可能である。
また、接合工程では、接合材を加熱して接合しやすくしてもよい。なお、接合材は、接合の際に液状を呈するものが適用される。このような接合材としては、例えば、エポキシ樹脂、嫌気性接着剤及び光硬化型接着剤の混合接着材等の合成樹脂接合材、並びに、ハンダ等の金属接合材を挙げることができる。このうち、金属接合材を接合材に用いる場合には、接合の際に加熱溶融が必要である。
【００２７】
本発明によれば、圧電素子及び補強板を互いに接合する接合工程にて、これら圧電素子及び補強板の間から漏出した余分な接合材は、圧電振動体と、当該圧電振動体の外側に位置する第１の位置決め部材との隙間で生じる毛細管現象により、当該隙間に集められる。これによれば、当該圧電振動体の外側（周縁）において、第１の位置決め部材が配置されていない部分には、接合材が殆どはみ出ないことになる。この第１の位置決め部材の配置位置は、圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置であるので、当該接合材は、圧電振動体の周縁における当該節に応じた位置に多く保持される。
【００２８】
このようにして圧電素子及び補強板が接合された後に、第１の位置決め部材を圧電振動体から離間させると、圧電振動体の周縁における前述の節に応じた位置に、接合材が多く残されたままになる。このような場合、前述のように、製造された圧電振動体の振動特性に対する余分な接合材の影響を低減することができる。
【００２９】
一方、第１の位置決め部材の形状、接合材の種類、及び、圧電振動体の節の周縁の形状等によっては、第１の位置決め部材を圧電振動体から離間させると、当該圧電振動体の周縁における節に応じた位置に保持された接合材が、第１の位置決め部材に付着されたまま剥がされて、当該節に応じた位置の接合材が、圧電振動体の周縁における他の部分より少なくなる場合も生じうる。この場合であっても、当該接合材が少なくなった位置は、節に応じた位置、すなわち、圧電振動体の振幅に影響を及ぼしにくい位置であるので、当該圧電振動体の振動特性に対する余分な接合材の影響を低減することができる。
従って、振動特性のばらつきを抑制した圧電振動体を効率よく製造することができる。
【００３０】
本発明では、前記位置決め工程では、前記補強板に形成され、かつ、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部近傍に第２の位置決め部材を配置して、前記第１の位置決め部材とともに、前記圧電素子と前記補強板とを位置決めすることが好ましい。
本発明によれば、前述の圧電振動体と同様に、補強板の突出部近傍に余分な接合材を集めることができるので、当該接合材による圧電振動体の振動特性の変化を抑制することができる。
【００３１】
すなわち、圧電振動体がアンバランスとなる位置に、例えば被駆動体と接触する突出部が設けられている場合に、当該突出部近傍に第２の位置決め部材が配置されることで、当該突出部と第２の位置決め部材との間に、余分な接合材を保持させる第２の保持領域を形成することができる。これによれば、圧電振動体のアンバランスが解消される位置に余分な接合材が多く保持される場合に比べ、当該圧電振動体のアンバランスを維持することができ、圧電振動体の振幅、ひいては、突出部の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、振動特性のばらつきを一層抑制することができる圧電振動体を、効率よく製造することができる。
【００３２】
本発明では、前記位置決め工程では、前記補強板に形成され、かつ、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部が有する孔部に第３の位置決め部材を挿通させて、前記第１の位置決め部材とともに、前記圧電素子と前記補強板とを位置決めすることが好ましい。
本発明によれば、前述の圧電振動体と同様に、圧電振動体を平面視した際の突出部の位置に、当該突出部近傍の余分な接合材を集めることができるので、当該余分な接合材による圧電振動体の振動特性の変化を抑制することができる。
【００３３】
すなわち、圧電振動体がアンバランスとなる位置に、例えば被駆動体と接触する突出部が設けられている場合に、当該突出部に第３の位置決め部材が挿通する孔部を形成しておくことで、当該第３の位置決め部材と、圧電振動体の周縁との間に、余分な接合材が保持される第３の保持領域を形成することができる。これによれば、前述の第２の位置決め部材の場合と同様に、圧電振動体のアンバランスを維持することができ、圧電振動体の振幅、ひいては、突出部の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、振動特性のばらつきを一層抑制することができる圧電振動体を、効率よく製造することができる。
【００３４】
また、本発明の圧電振動体の製造方法は、電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、前記圧電素子及び前記補強板の少なくとも一方における他方に対向する面に、接合材を付着させる接合材付着工程と、前記圧電素子及び前記補強板を前記接合材により接合させる接合工程と、前記圧電素子及び前記補強板の周縁における当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置で、前記接合材を吸引する吸引工程と、を有することを特徴とする。
【００３５】
ここで、接合工程としては、前述の製造方法と同様に、圧電素子及び補強板を、接合材を介して対向させた後、治具等の加圧手段により加圧することで、これらを互いに接合する方法を採用することができるほか、圧電素子及び補強板を、接合材を介して積層させた後、上方に配置された部材の自重により自然に加圧されることで、これらを互いに接合する方法を採用することができる。
また、接合工程では、接合材を加熱して接合しやすくしてもよい。なお、接合材は、接合の際に液状を呈するものが適用される。このような接合材としては、例えば、エポキシ樹脂、嫌気性接着剤及び光硬化型接着剤の混合接着材等の合成樹脂接合材、並びに、ハンダ等の金属接合材を挙げることができる。このうち、金属接合材を接合材に用いる場合には、接合の際に加熱溶融が必要である。
【００３６】
更に、吸引工程は、接合工程と同時に実施しても、当該接合工程の後に実施してもよい。すなわち、圧電素子及び補強板を加圧（治具による加圧、及び、上方に位置する部材の自重による自然加圧を含む）することにより接合する場合には、加圧作業中に吸引工程を実施してもよく、或いは、加圧作業後に実施してもよい。
【００３７】
本発明によれば、接合工程にて漏出した余分な接合材は、圧電振動体の周縁で、かつ、当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置にて吸引されるので、当該余分な接合材のうち、吸引しきれない接合材を、当該節に応じた位置に集めることができる。これによれば、前述のように、余分な接合材による圧電振動体の振動への影響を低減することができる。従って、振動特性のばらつきを抑制した圧電振動体を効率よく製造することができる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、圧電振動体の周縁で、かつ、当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置に、当該位置とは異なる位置により多くの接合材を保持させる等、当該接合材の分布を異ならせることができる。従って、当該圧電振動体の振動に対する接合材の影響を低減することができ、製造される圧電振動体の振動特性のばらつきを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
〔１．第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態に係る時計を説明する。
〔時計の概略構成〕
図１は、本実施形態に係る時計１０を示す平面図である。
本実施形態に係る電子時計（以下、「時計」と略す場合がある）１０は、本発明の電子機器に相当し、計時手段としてのムーブメント１、通常時刻を表示する文字板２、時針３、分針４及び秒針５のほか、クロノグラフ時間を示す秒クロノグラフ針６及び分クロノグラフ針７を備えている。
時針３、分針４及び秒針５は、一般的なアナログクォーツと同様のものであり、詳しい図示を省略するが、水晶振動子が組み込まれた回路基板と、コイル、ステータ及びロータを有するステッピングモータと、駆動輪列と、電池とにより駆動される。
秒クロノグラフ針６は、後述する圧電アクチュエータ２０及び減速輪列５０により駆動され、また、分クロノグラフ針７は、図示を省略したが、当該秒クロノグラフ針６と同様の機構により駆動される。
【００４０】
〔圧電アクチュエータ及び減速輪列の構成〕
図２は、圧電アクチュエータ２０及び減速輪列５０を示す模式図である。
圧電アクチュエータ２０は、図２に示すように、電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０と、当該圧電振動体３０の振動により回転するロータ４０とを備えている。
このうち、被駆動体としてのロータ４０は、板ばね４１によって圧電振動体３０側に付勢されており、当該圧電振動体３０とロータ４０外周との間に適切な摩擦力が発生することで、圧電振動体３０の振動が効率良くロータ４０に伝達されるようになっている。なお、圧電振動体３０の構成については、後に詳述する。
【００４１】
減速輪列５０は、ロータ４０の回転を秒クロノグラフ針６に伝達する。この減速輪列５０は、歯車５１，５２により構成されている。
歯車５１は、ロータ４０と同軸に配置され、当該ロータ４０と一体となって回転する。
歯車５２は、秒クロノグラフ針６（図１参照）の回転軸に固定され、歯車５１に噛合している。このため、圧電振動体３０の駆動により生じたロータ４０の回転が、歯車５１，５２を介して減速された秒クロノグラフ針６に伝達され、当該秒クロノグラフ針６が駆動する。
【００４２】
〔圧電振動体の構成〕
図３は、圧電振動体３０を示す概要斜視図である。
圧電振動体３０は、矩形平板状を有する一対の圧電素子３１，３２（説明の便宜上、上方に位置する圧電素子を３１とし、下方に位置する圧電素子を３２とする）と、これらの圧電素子３１，３２の間に介装される平板状の補強板３３とを備え、これら圧電素子３１，３２と補強板３３とは、本実施形態では、接合材としての接着剤により互いに接合される。
【００４３】
圧電素子３１，３２の表面（それぞれ補強板３３に対向する面とは反対側の面）には、当該圧電素子３１，３２に駆動信号としての交流電圧を印加するための電極３１０，３２０が、それぞれ形成される。この電極は、ニッケル或いは金などによるめっき、スパッタ、蒸着等の方法で形成される。なお、圧電素子３１，３２の裏面（それぞれ補強板３３に対向する面）にも、図示を省略するが、表面側と同様の電極が形成され、この電極は補強板３３と重ねられ導通されている。
このような圧電素子３１，３２の材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（登録商標））、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を例示できる。
【００４４】
これら圧電素子３１，３２の寸法、並びに、圧電素子３１，３２に前述の各電極を介して印加される交流電圧の周波数（駆動周波数）は、圧電素子３１，３２に繰り返し電圧が印加された際に、当該圧電素子３１，３２に縦振動（縦一次振動）及び屈曲振動（屈曲二次振動）が同時に現れるように、適宜設定される。なお、縦振動及び屈曲振動については、後に詳述する。
【００４５】
補強板３３は、ステンレス鋼等の導電性を有する金属材料から形成されている。この補強板３３は、圧電素子３１，３２が積層される本体部３３１と、当該本体部３３１に一体的に形成された一対の突出部３３２及び腕部３３３とを備える。
このうち、本体部３３１は、平面視略長方形状を有し、当該本体部３３１の平面視の寸法は、圧電素子３１，３２と略同じとなるように設定されている。
一対の突出部３３２は、本体部３３１の短辺側の両側面（長手方向に直交する面）における一方の端部から外側に略円弧状に突出するように形成され、当該本体部３３１の中央を中心として点対称に形成されている。具体的に、各突出部３３２は、本体部３３１の対角位置にそれぞれ形成され、一方の突出部３３２が、前述のロータ４０（図２参照）に当接する。
【００４６】
腕部３３３は、本体部３３１を平面視した際に、当該本体部３３１の長手方向に沿う一方の側面の略中央に突設されている。この腕部３３３は、本体部３３１から延出する延出部３３３１と、当該延出部３３３１の延出方向先端に形成された平面視略矩形の固定部３３３２とを備えている。この固定部３３３２には、孔部３３３３が形成され、当該孔部３３３３を挿通したねじ（図示省略）が、ムーブメント１を構成する地板に固定されることにより、圧電振動体３０は当該地板に固定される。
【００４７】
ここで、圧電振動体３０の振動について説明する。
図４は、圧電振動体３０の振動時の節Ｄ１，Ｄ２を示す図である。なお、図４では、圧電振動体３０の屈曲振動時の幅方向の中心線を一点鎖線にて示す。
圧電振動体３０は、前述のように、電圧印加により縦振動及び屈曲振動を生じる。
このうち、縦振動は、圧電振動子３１、３２の表面と裏面の電極に駆動信号が印加されることにより生じるもので、圧電振動体３０を平面視した際の中央を中心として、長手方向に沿って伸縮する振動である。すなわち、圧電振動体３０は、伸長時には、当該中央を中心として外側に延出し、収縮時には、当該中央を中心として内側に収縮する。このため、当該中央を通り、かつ、圧電振動体３０の長手方向に直交する直線上の領域は、当該圧電振動体３０の縦振動時に変位が生じにくい領域となり、当該中央の位置が縦振動時の節Ｄ１となる。
【００４８】
また、屈曲振動は、前述の縦振動が引き起こされる際に、各突出部３３２が幅方向においてアンバランスに配置されていることにより引き起こされるものである。この屈曲振動は、圧電素子３１，３２の平面中心に対して点対称に、縦振動に直交する方向（長手方向に直交する方向）に沿って、当該長手方向における一方の端部側及び他方の端部側が、それぞれ互いに反対方向に変位する振動である。この変位の方向は、一方の端部側及び他方の端部側で、振動１サイクルの中で反転するようになる。このため、屈曲振動時においては、圧電振動体３０の幅方向（長手方向に対する直交方向）の中心線は、図４において一点鎖線で示す曲線となる。これら曲線の交点であり、屈曲振動時の節Ｄ１，Ｄ２（節Ｄ１は縦振動時の節を兼ねる）を通り、かつ、当該圧電振動体３０の長手方向に直交する直線上の領域は、屈曲振動時に圧電振動体３０において変位が生じにくい領域となる。
【００４９】
一方、一対の突出部３３２は、圧電振動体３０が振動した際に変位量が最も大きくなる部位であり、圧電振動体３０に屈曲振動及び縦振動を生じさせることにより、略楕円軌道Ｒ（図２参照）を描いて振動する。そして、一方の突出部３３２が、上記のように振動することにより、前述のロータ４０（図２参照）を回転させる。
なお、屈曲振動は、突出部３３２が補強板３３にアンバランスに配置されているために縦振動に誘起されて振動する場合、或いは、補強板３３上に配置された複数の電極に駆動信号を選択的に引加することにより誘起される場合に生じうる。しかしながら、本実施形態では、屈曲振動は、前者により誘起される。ただし、後者によって屈曲振動が誘起されるようにしてもよい。
【００５０】
〔圧電振動体の製造工程〕
図５は、圧電振動体３０の製造工程を示すフローチャートである。また、図６及び図７は、圧電振動体３０の製造時の状態を示す平面図及び斜視図である。具体的に、図６及び図７は、複数の位置決めピンＰ（Ｐ１，Ｐ２）により位置決めされた圧電振動体３０を示す平面図及び斜視図である。なお、図６では、圧電振動体３０の屈曲振動時の幅方向の中心線を一点鎖線にて示す。
上述した圧電振動体３０は、図５に示す工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。
このうち、接合材付着工程Ｓ１では、圧電素子３１，３２における補強板３３に対向する面に接着剤を均一に付着させる。このような接着剤は、インクジェット方式を用いて噴射したり、所定量付着させた後にへら等で延ばしたり、或いは、スクリーン印刷で付着させたりしてもよい。
【００５１】
また、接合工程Ｓ１では、接合しやすくするために接合材を加熱してもよい。
なお、接合材は、接合の際に液状を呈するものが適用される。このような接合材としては、例えば、エポキシ樹脂、嫌気性接着剤及び光硬化型接着剤の混合接着材等の合成樹脂接合材、並びに、ハンダ等の金属接合材を挙げることができる。このうち、金属接合材を接合材に用いる場合には、接合の際に加熱溶融が必要である。この接合材の性質（液状）及び材質、加熱可能性等については、以下の各実施形態及び変形例でも、同様に適用されるものである。
【００５２】
位置決め工程Ｓ２では、図６及び図７に示すように、圧電素子３１，３２の間に補強板３３を介装し、略円筒状の位置決めピン（以下、「ピン」と略す場合がある）Ｐ（Ｐ１，Ｐ２）を用いて、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３の平面位置がずれないように位置決めする。
この際、第１の位置決め部材としてのピンＰ１は、圧電振動体３０の外側で、かつ、当該圧電振動体３０の振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置で、圧電素子３１，３２及び補強板３３のそれぞれに当接するように配置される。詳述すると、ピンＰ１は、当該圧電振動体３０の縦振動時の節Ｄ１、及び、屈曲振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置にそれぞれ配置される。すなわち、ピンＰ１は、圧電振動体３０の周縁において、節Ｄ１，Ｄ２を通り、かつ、当該圧電振動体３０の長手方向に直交する直線上の位置にそれぞれ配置される。なお、ピンＰ１が当接する圧電素子３１，３２及び補強板３３の位置では、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３は略面一となっている。
【００５３】
また、ピンＰ１より小さい直径を有する第２の位置決め部材としてのピンＰ２は、圧電振動体３０の外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。具体的に、ピンＰ２は、圧電振動体３０の長手方向に直交する側面に沿い、かつ、突出部３３２近傍に、圧電素子３１，３２及び補強板３３（更には突出部３３２に）にそれぞれ当接するように配置される。このピンＰ２が当接する圧電素子３１，３２及び補強板３３の位置では、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３は略面一となっている。
なお、本実施形態では、各ピンＰ２は、突出部３３２近傍で、かつ、当該突出部３３２寄りの位置に配置されるが、これに限らず、突出部３３２の近傍であればよい。また、位置決め部材としてのピンＰの断面形状は、円状に限らず、角状などの非円形状であってもよい。
【００５４】
これらピンＰ１，Ｐ２のうち、圧電振動体３０において互いに交差する一対の側面に沿って配置されるピンＰ１，Ｐ２は、当該圧電振動体３０が載置される治具（図示省略）の載置面に沿って摺動自在に設けられている。そして、当該摺動するピンＰ１，Ｐ２が、固定されたピンＰ１，Ｐ２に向かって圧電振動体３０を押圧することで、各ピンＰ１，Ｐ２により、圧電振動体３０が位置決めされる。
【００５５】
接合工程Ｓ３では、図示しない治具により、上方に位置する圧電素子３１を下方に位置する圧電素子３２に向かって加圧して、これら圧電素子３１，３２と補強板３３とを接合する。
この際、圧電素子３１と補強板３３との間、及び、圧電素子３２と補強板３３との間からは、余分な接着剤Ｂが漏出する。このような余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０とピンＰ１，Ｐ２との隙間にて生じる毛細管現象により、当該隙間に集められる。
【００５６】
このうち、長手方向に沿う側面に漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０の周縁におけるピンＰ１に応じた位置、すなわち、圧電振動体３０の周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に集められ、これにより、当該側面における他の位置より多くの接着剤Ｂが保持される保持領域３４が、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に形成される。また、長手方向に直交する側面（幅方向に沿う側面）に漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０の周縁におけるピンＰ２に応じた位置、すなわち、突出部３３２近傍に集められ、これにより、保持領域３５が形成される。すなわち、保持領域３４，３５は、それぞれ、本発明の第１の保持領域及び第２の保持領域に相当する。
以上により、圧電振動体３０が製造される。
【００５７】
以上説明した本実施形態の時計１０によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）圧電素子３１，３２及び補強板３３の接合に際して漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０の周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に集められ、保持される保持領域３４が形成される。これによれば、当該余分な接着剤Ｂが、圧電振動体３０の周縁にばらついて保持されている場合や、当該周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置とは異なる位置（例えば、節Ｄ１，Ｄ２の中間である腹の位置）に多くの接着剤が保持される場合に比べ、当該余分な接着剤Ｂによる圧電振動体３０の振動への影響を低減することができる。従って、圧電振動体３０の振動特性のばらつきを抑制することができる。
また、このような圧電振動体３０を圧電アクチュエータ２０が備えることにより、動作信頼性の高い圧電アクチュエータ２０、ひいては、時計１０を構成することができる。
【００５８】
（２）余分な接着剤Ｂが保持される保持領域３４は、圧電振動体３０と、当該圧電振動体３０の外側で、かつ、振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置されたピンＰ１との隙間で生じる毛細管現象により、当該隙間に形成される。これによれば、当該保持領域３４を、圧電振動体の周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に簡易に形成することができる。従って、振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体３０を効率よく製造することができる。
【００５９】
なお、ピンＰ１を圧電振動体３０から離間させる際に、ピンＰ１の形状、接合材（接着剤）の種類、及び、圧電振動体３０の節の周縁の形状等によっては、ピンＰ１を圧電振動体から離間させると、当該圧電振動体３０の周縁における節に応じた位置に保持された接合材が、ピンＰ１に付着されたまま剥がされて、当該節に応じた位置の接合材が、圧電振動体３０の周縁における他の部分より少なくなる場合も生じうる。しかしながら、このような場合であっても、圧電振動体３０の周縁において接合材が少なくなった位置は、節に応じた位置、すなわち、圧電振動体３０の振幅に影響を及ぼしにくい位置である。従って、前述の場合と同様に、当該圧電振動体３０の振動特性に影響をもたらさないようにすることができ、振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体３０を製造することができる。
【００６０】
（３）ここで、突出部３３２は、圧電振動体３０にアンバランスを生じさせており、当該圧電振動体３０に縦振動及び屈曲振動を生じさせると、前述のように、突出部３３２が楕円軌道を描くように振動する。しかしながら、当該突出部３３２から離れた位置、すなわち、アンバランスが解消する位置に多くの接着剤が保持されると、突出部３３２の振幅が小さくなり、圧電振動体３０の振動特性が変化する場合がある。
これに対し、ピンＰ２を突出部３３２近傍に配置することで、当該ピンＰ２と圧電振動体３０の周縁との間、すなわち、突出部３３２近傍に、余分な接着剤Ｂが保持される保持領域３５を形成することができる。これによれば、圧電振動体３０のアンバランスを維持することができ、突出部３３２の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体３０の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、当該圧電振動体３０を簡易に、かつ、効率よく製造することができる。
【００６１】
また、このようなピンＰ２を、圧電振動体３０の長手方向に直交する幅方向に沿う側面に沿って配置することで、圧電振動体３０の長手方向の位置決めを容易に行うことができるほか、当該長手方向に沿う側面に沿って配置されるピンＰ１とともに、圧電振動体３０を確実に位置決めすることができる。
【００６２】
〔２．第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ａは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、圧電振動体３０Ａでは、余分な接着剤Ｂを更に突出部３３２に保持させる点で、当該圧電振動体３０Ａと圧電振動体３０とは相違する。なお、以降の説明では、既に説明した部分と同一または略同一である部分については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００６３】
図８は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ａの製造時の状態を示す平面図である。
本実施形態に係る時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ａを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ａは、図８に示すように、圧電素子３１，３２（圧電素子３２については図示省略）と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ａとを備え、これらが接合材としての接着剤により互いに接合された構成を有している。
【００６４】
補強板３３Ａは、前述の補強板３３と同様に、ステンレス鋼等の導電性を有する金属材料により形成されている。この補強板３３Ａは、本体部３３１と、一対の突出部３３２Ａ及び腕部３３３とを備える。このうち、一対の突出部３３２Ａには、本体部３３１寄りの位置に、平面視略円形状の孔部３３２Ａ１が形成されている。この孔部３３２Ａ１には、圧電振動体３０Ａの製造時に、補強板３３Ａを位置決めする第３の位置決め部材としてのピンＰ３が挿通する。
【００６５】
このような圧電振動体３０Ａは、前述の工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。
このうち、位置決め工程Ｓ２では、前述のピンＰ１が、圧電振動体３０での場合と同様に、圧電振動体３０Ａの周縁に沿って配置される。また、ピンＰ１より直径寸法の小さいピンＰ３が、前述の孔部３３２Ａ１を挿通する。これらピンＰ１，Ｐ３により、圧電素子３１，３２及び補強板３３Ａが位置決めされる。
そして、接合工程Ｓ３では、治具（図示省略）により、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３Ａが加圧される。これにより、圧電素子３１，３２と補強板３３Ａとの間から余分な接着剤Ｂが漏出し、圧電振動体３０ＡとピンＰ１との間に、当該余分な接着剤Ｂが保持される保持領域３４が形成される。この他、圧電振動体３０ＡとピンＰ３との隙間にも、当該接着剤Ｂが保持される第３の保持領域としての保持領域３６が形成される。
【００６６】
以上説明した本実施形態の時計によれば、前述の効果（１），（２）と同様の効果のほか、以下の効果を奏することができる。
（４）接合工程Ｓ３にて圧電素子３１，３２と補強板３３Ａとの間から漏出した接着剤Ｂは、圧電振動体３０ＡとピンＰ３との隙間にも集められる。すなわち、突出部３３２Ａ近傍の余分な接着剤Ｂを、当該突出部３３２Ａに確実に集めることができる。これによれば、前述の圧電振動体３０の場合と同様に、圧電振動体３０Ａのアンバランスが解消されずに維持することができるので、圧電振動体３０Ａの振動時に、突出部３３２Ａの振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体３０Ａの振動特性に変化が生じることを抑制することができ、当該圧電振動体３０Ａの振動特性のばらつきを一層抑制することができる。
【００６７】
また、突出部３３２Ａの孔部３３２Ａ１にピンＰ３を挿通させることで、圧電素子３１，３２及び補強板３３の長手方向の位置決めを容易に行うことができるほか、当該ピンＰ３と圧電振動体３０Ａとの間に保持領域３６を形成するので、振動特性のばらつきを抑えた圧電振動体３０Ａを、容易に製造することができる。従って、当該圧電振動体３０Ａの製造効率を向上することができる。
【００６８】
〔３．第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態の時計について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｂは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備える。しかしながら、圧電振動体３０では、当該圧電振動体３０とピンＰ１，Ｐ２との隙間で生じる毛細管現象により、余分な接着剤Ｂを集めていたのに対し、圧電振動体３０Ｂでは、当該圧電振動体３０Ｂの周縁で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置で、余分な接着剤Ｂを吸引することで保持領域３４を形成する。この点で、当該圧電振動体３０Ｂと、圧電振動体３０とは相違する。
【００６９】
図９は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｂの製造工程を示すフローチャートである。
本実施形態に係る時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｂを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ｂは、圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３とを備え、これらが互いに接合材としての接着剤により接合された構成を有している。この圧電振動体３０Ａは、図９に示すように、工程Ｓ１，Ｓ２Ａ，Ｓ３及びＳ４を経て製造される。
このうち、位置決め工程Ｓ２Ａでは、節以外の周縁部に配置された複数のピンＰにより圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決めする。
【００７０】
図１０は、当該圧電振動体３０Ｂの製造時の状態を示す平面図である。
吸引工程Ｓ４では、接合工程Ｓ３にて圧電素子３１，３２と補強板３３との間から漏出した余分な接着剤Ｂを、複数のノズルＮＺを有する吸引装置により吸引する。この際、各ノズルＮＺは、図１０に示すように、圧電振動体３０Ｂの外側で、かつ、当該圧電振動体３０Ｂの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置される。このため、ノズルＮＺにより吸引された際に、除去しきれなかった接着剤Ｂは、当該圧電振動体３０Ｂの周縁で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置にて保持及び固着され、保持領域３４が形成される。
【００７１】
なお、吸引工程Ｓ４は、接合工程Ｓ３での圧電素子３１，３２及び補強板３３に対する加圧と同時に実施してもよく、或いは、当該加圧の後に実施してもよい。また、治具等による加圧を行わずに、圧電素子３２の上方に位置する補強板３３、更には、当該補強板３３の上方に位置する圧電素子３１の自重による自然加圧を行う場合でも、これらの接合作業中に、吸引工程Ｓ４を実施するようにしてもよい。
【００７２】
以上説明した本実施形態の時計によれば、前述の効果（１）と同様の効果がある。
すなわち、圧電素子３１，３２と補強板３３との間から漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０Ｂの周縁で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置にて吸引される。これによれば、当該余分な接着剤Ｂを圧電振動体３０Ｂの周縁から除去することができるほか、除去しきれなかった場合でも、当該接着剤Ｂを、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に集めることができる。従って、前述の圧電振動体３０と同様に、余分な接着剤Ｂによる圧電振動体３０Ｂの振動への影響を低減することができ、振動特性のばらつきを抑制した圧電振動体３０Ｂを効率よく製造することができる。
【００７３】
〔４．第４実施形態〕
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｃは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、圧電振動体３０では、当該圧電振動体３０の周縁で、かつ、ピンＰ１，Ｐ２との隙間に、余分な接着剤Ｂを保持させたのに対し、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｃでは、余分な接着剤Ｂが保持される構成を補強板に設けた点で、当該圧電振動体３０Ｃと圧電振動体３０とは相違する。
【００７４】
図１１は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｃを示す平面図である。なお、図１１においては、圧電素子３１の図示を省略している。
本実施形態の時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｃを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ｃは、図１１に示すように、圧電素子３１，３２（圧電素子３１については図示省略）と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ｃとを備え、これらが互いに接合材としての接着剤により接合された構成を有している。
【００７５】
補強板３３Ｃは、前述の補強板３３と同様に、ステンレス鋼等の導電性を有する金属材料により形成されており、本体部３３１Ｃと、当該本体部３３１Ｃに一体的に形成された突出部３３２及び腕部３３３とを備えている。
本体部３３１Ｃは、圧電素子３１，３２と平面視の寸法が略同じとなるように設定された前述の本体部３３１より僅かに小さく形成されている。この本体部３３１Ｃの周縁には、圧電振動体３０Ｃの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に、圧電素子３１，３２の外側に突出しない程度に補強板３３Ｃの外辺から、当該外辺に対する直交方向に突出した複数の突部３３１Ｃ１が形成されている。
【００７６】
このため、圧電振動体３０Ｃの製造工程Ｓ１〜Ｓ３における接合工程Ｓ３にて、当該圧電振動体３０Ｃが加圧されると、当該突部３３１Ｃ１の周縁は、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｃとの間から漏出した余分な接着剤Ｂ（図示省略）が溜まる接着剤溜まりとなる。すなわち、補強板３３Ｃの外辺と突部３３１Ｃ１の側辺とが、１８０度以内の角度を持つ窪み部となり、当該窪み部が上記接着剤溜まりとなる。この接着剤溜まりが、接着剤Ｂが圧電振動体３０Ｃの外側に漏出することを防ぐ部位となる。すなわち、これら突部３３１Ｃ１の周縁に、接着剤Ｂが保持される保持領域３４が形成される。
【００７７】
以上説明した本実施形態に係る時計によれば、前述の効果（１）と同様の効果がある。
すなわち、圧電素子３１，３２及び補強板３３Ｃの間から漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０の周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に形成された突部３３１Ｃ１周縁に集められて保持される。これによれば、当該余分な接着剤Ｂが、圧電振動体３０Ｃの周縁にばらついて保持されている場合や、当該周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置とは異なる位置に多く保持される場合に比べ、圧電振動体３０Ｃの振動に対する余分な接着剤Ｂの影響を低減することができる。従って、圧電振動体３０Ｃの振動特性のばらつきを抑制することができる。
【００７８】
また、突部３３１Ｃ１の周縁に、余分な接着剤Ｂが溜まる接着剤溜まりが形成されるので、圧電振動体３０ＣとピンＰ１との隙間に集められる接着剤Ｂが少なくなる。これによれば、圧電振動体３０ＣとピンＰ１とを容易に離間することができる。従って、圧電振動体３０Ｃの製造工程を簡略化することができる。
【００７９】
〔５．第５実施形態〕
次に本発明の第５実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｄは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、当該圧電振動体３０では、圧電素子３１，３２と本体部３３１とは略同じ寸法に形成されていたのに対し、圧電振動体３０Ｄは、漏出した接着剤ＢがピンＰ１，Ｐ２に付着しないように、本体部３３１Ｄに凹部が形成されている点において、圧電振動体３０Ｄと圧電振動体３０とは相違する。
【００８０】
図１２は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｄを示す斜視図である。
本実施形態に係る時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｄを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ｄは、図１２に示すように、圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ｄとを備え、これらが互いに接合材としての接着剤により接合された構成を有している。
補強板３３Ｄは、圧電素子３１，３２と略同じ寸法に形成された平面視略矩形の本体部３３１Ｄと、当該本体部３３１Ｄに一体的に形成される一対の突出部３３２及び腕部３３３とを備えている。
【００８１】
このうち、本体部３３１Ｄの周縁には、前述の節Ｄ２に応じた位置に、内側に略半円形状に凹んだ凹部３３１Ｄ１が形成されている。詳述すると、凹部３３１Ｄ１は、補強板３３Ｄの長手方向に直交し、かつ、節Ｄ２を通る直線上に、中心が位置するように形成されている。なお、節Ｄ１に応じた位置に凹部を形成してもよい。
また、当該本体部３３１Ｄの周縁における突出部３３２近傍には、同じく内側に略半円形状に凹んだ凹部３３１Ｄ２が形成されている。詳述すると、凹部３３１Ｄ２は、突出部３３２が形成された側面において、補強板３３Ｄの長手方向に沿い、かつ、節Ｄ２を通る直線上に中心が位置するように形成されている。なお、これに限らず、凹部３３１Ｄ２は、突出部３３２近傍で、かつ、当該突出部３３２寄りの位置に形成されていればよい。また、突出部３３２が側面の略中央に形成されている場合には、凹部は、当該突出部３３２の両側で、かつ、当該突出部３３２から等間隔に形成されていてもよい。
【００８２】
このような圧電振動体３０Ｄは、前述の工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。このうち、位置決め工程Ｓ２では、前述のように、ピンＰ１は、圧電振動体３０Ｄの外側で、かつ、当該圧電振動体３０Ｄの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置される。また、ピンＰ２は、同様に、圧電振動体３０Ｄの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。
【００８３】
接合工程Ｓ３にて、圧電振動体３０Ｄを加圧すると、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｄとの間から余分な接着剤Ｂ（図示省略）が漏出する。この余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０Ｄと、ピンＰ１，Ｐ２との隙間で生じる毛細管現象により、当該各隙間に集められる。この際、本体部３３１Ｄには、各ピンＰ１，Ｐ２に応じて凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２が形成されているので、当該各隙間に集められた接着剤Ｂは、表面張力により凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２内に保持されることとなる。このため、当該接着剤Ｂが、各ピンＰ１，Ｐ２に付着することを防ぐことができる。すなわち、当該凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２は、本発明の第１の保持領域及び第２の保持領域にそれぞれ相当する。
なお、凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２内の接着剤Ｂは、当該凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２以外の圧電振動体３０Ｄの周縁の部位に対して多く保持されることとなるが、当該部位の接着剤Ｂは、一部が凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２内に流入した結果、減量されているので、圧電振動体３０Ｄの振動には影響しない。
【００８４】
以上説明した本実施形態に係る時計によれば、前述の時計１０と同様の効果のほか、以下の効果がある。
（５）圧電振動体３０Ｄの振動時の節Ｄ２に応じて、補強板３３Ｄの周縁に凹部３３１Ｄ１を形成し、また、突出部３３２近傍に凹部３３１Ｄ２を形成したことにより、凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２内に余分な接着剤Ｂを保持させることができる。これによれば、ピンＰ１，Ｐ２に、余分な接着剤Ｂが付着することを防ぐことができ、製造時にピンＰ１，Ｐ２から圧電振動体３０Ｄを容易に剥離させることができる。従って、当該圧電振動体３０Ｄの製造工程を簡略化することができる。
【００８５】
〔６．第６実施形態〕
次に、本発明の第６実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｅは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、当該圧電振動体３０では、圧電素子３１，３２と本体部３３１とを略同じ寸法で形成したのに対し、圧電振動体３０Ｅでは、圧電素子３１，３２に対して本体部を僅かに小さく形成した点で、当該圧電振動体３０Ｅと圧電振動体３０とは相違する。
【００８６】
図１３及び図１４は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｅを示す平面図及び縦断面図である。
本実施形態に係る時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｅを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ｅは、図１３及び図１４に示すように、圧電素子３１，３２（図１３では、圧電素子３２は図示省略）と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ｅとを備え、これらが接合材としての接着剤により互いに接合された構成を有している。
【００８７】
補強板３３Ｅは、圧電素子３１，３２の形状に応じて平面視略長方形状に形成された本体部３３１Ｅと、当該本体部３３１Ｅに一体的に形成された一対の突出部３３２及び腕部３３３とを備える。
このうち、本体部３３１Ｅは、本体部３３１とは異なり、圧電素子３１，３２より僅かに小さく形成されている。このため、互いに中心位置を合わせるように、補強板３３Ｅと圧電素子３１，３２とを接合すると、図１４に示すように、圧電振動体３０Ｅにおける補強板３３Ｅの周縁に対応する位置に、凹部３８Ｅが形成される。
【００８８】
このような圧電振動体３０Ｅは、前述の工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。なお、位置決め工程Ｓ２では、前述のように、ピンＰ１は、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、当該圧電振動体３０Ｅの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置される。また、ピンＰ２は、同様に、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。
ここで、接合工程Ｓ３にて、圧電振動体３０Ｅを加圧すると、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとの間から余分な接着剤Ｂが漏出する。しかしながら、図１４に示すように、当該余分な接着剤Ｂは表面張力により凹部３８Ｅ内に保持されるため、圧電振動体３０Ｅを位置決めするピンＰ１，Ｐ２（図示省略）に付着しない。
【００８９】
以上説明した本実施形態に係る圧電振動体３０Ｆによれば、以下の効果がある。
（６）製造された圧電振動体３０ＥとピンＰ１，Ｐ２との剥離を容易に行うことができるので、当該圧電振動体３０Ｅ、ひいては、圧電アクチュエータ及び時計の製造を簡略化することができる。
ここで、前述の特許文献１に記載の製造方法では、前述のように、接合材として接着剤を用いて圧電振動体を製造すると、余分な接着剤が圧電素子及び補強板の周縁に漏出して固着する。このような場合、圧電振動体と位置決めピンとの剥離が煩雑となり、当該圧電振動体の製造効率が低下する。
【００９０】
これに対し、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｅは、電極３１０，３２０が設けられる圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２が積層される補強板３３Ｅとを有し、当該電極３１０，３２０への電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０Ｅであって、当該圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとは、互いに接合材（接着剤Ｂ）により接合され、当該圧電振動体３０Ｅの周縁には、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとの間と連通する凹部３８Ｅが形成されている。
【００９１】
これによれば、位置決め工程Ｓ２にて位置決めされた圧電振動体３０Ｅに対して、接合工程Ｓ３にて加圧した際に、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとの間から接着剤Ｂが漏出した場合でも、表面張力により、当該接着剤Ｂを凹部３８Ｅ内に保持させることができる。このため、当該圧電振動体３０Ｅに当接されるピンＰ１，Ｐ２に、当該接着剤Ｂが付着することを防ぐことができ、ピンＰ１，Ｐ２と、製造された圧電振動体３０Ｅとの剥離を容易に行うことができる。従って、圧電振動体３０Ｅ、ひいては、圧電アクチュエータ及び時計の製造を簡略化することができる。
【００９２】
ここで、これら補強板３３Ｅと圧電素子３１，３２との間で生じる剥離は、これらの周縁から生じることが多い。これに対し、圧電振動体３０Ｅの周縁に、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとの間と連通し、接着剤溜まりとなる凹部３８Ｅが形成されていることにより、当該圧電素子３１，３２と補強板３３とのそれぞれの周縁における接合強度を向上することができるので、これらの間での剥離を生じにくくすることができる。従って、圧電振動体３０Ｅの劣化を生じにくくすることができるほか、当該圧電振動体３０Ｅの動作信頼性を向上することができる。
【００９３】
（７）凹部３８Ｅは、補強板３３Ｅの寸法を圧電素子３１，３２の寸法に対して小さくすることにより形成されるので、当該凹部３８Ｅを容易に形成することができる。従って、圧電振動体３０Ｅの構成を簡略化しつつ、当該圧電振動体３０Ｅの製造工程を簡略化することができる。
【００９４】
図１５及び図１６は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｅの変形である圧電振動体３０Ｆを示す平面図及び断面図である。
なお、本実施形態では、圧電素子３１，３２に対して補強板３３Ｅを小さく形成することで、これらが接合された際に接着剤溜まりとなる凹部３８Ｅを形成したが、これに限らず、圧電素子に対して補強板を大きく形成することで凹部を形成してもよい。
例えば、図１５及び図１６に示す圧電振動体３０Ｆは、圧電素子３１，３２（図１５では、圧電素子３２は図示省略）と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ｆとを備え、これらが接合材としての接着剤により互いに接合された構成を有している。
【００９５】
補強板３３Ｆは、平面視略長方形状の本体部３３１Ｆと、当該本体部３３１Ｆに一体的に形成された一対の突出部３３２及び腕部３３３とを備える。
本体部３３１Ｆは、圧電素子３１，３２より僅かに大きく形成されている。このため、本体部３３１Ｆは、補強板３３Ｆに対する圧電素子３１，３２の積層方向に対する直交方向に、圧電素子３１，３２から突出する。この本体部３３１Ｆの突出により、圧電振動体３０Ｆには、本体部３３１Ｆにおける圧電素子３１側及び圧電素子３２側に、当該本体部３３１Ｆより凹んだ凹部３８Ｆがそれぞれ形成される。
【００９６】
このような圧電振動体３０Ｆの製造工程Ｓ１〜Ｓ３のうち、接合工程Ｓ３にて圧電振動体３０Ｆを加圧すると、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｆとの間から余分な接着剤Ｂが漏出する。しかしながら、図１６に示すように、当該余分な接着剤Ｂは、表面張力により凹部３８Ｆに保持されるため、圧電振動体３０Ｆを位置決めするピンＰ１，Ｐ２に付着しない。
【００９７】
以上説明した圧電振動体３０Ｆによれば、前述の効果（６）と同様の効果のほか、以下の効果がある。
（８）凹部３８Ｆは、補強板３３Ｆの本体部３３１Ｆを圧電素子３１，３２より大きく形成することにより形成されるので、当該凹部３８Ｆを容易に形成することができる。従って、圧電振動体３０Ｆの構成を簡略化しつつ、当該圧電振動体３０Ｆの製造工程を簡略化することができる。
【００９８】
〔７．第７実施形態〕
次に、本発明に係る第７実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｇは、前述の圧電振動体３０Ｅと同様の構成を備えるが、圧電振動体３０Ｅでは、圧電素子３１，３２より本体部３３１Ｅを小さく形成することで凹部３８Ｅを形成したが、圧電振動体３０Ｇでは、本体部を切り欠くことで凹部を形成する点で、圧電振動体３０Ｇと圧電振動体３０Ｅとは相違する。
【００９９】
図１７は、本実施形態に係る時計が備える圧電振動体３０Ｇを示す縦断面図である。
本実施形態に係る時計は、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｇを備えるほかは、前述の時計１０と同様の構成を備える。
圧電振動体３０Ｇは、図１７に示すように、圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２の間に介装される補強板３３Ｇとを備えている。
補強板３３Ｇは、本体部３３１Ｇと、当該本体部３３１Ｇに一体的に形成される一対の突出部３３２及び腕部３３３（ともに図示省略）とを備えている。
【０１００】
本体部３３１Ｇは、平面視した際の寸法が圧電素子３１，３２と略同じとなるように形成されている。この本体部３３１Ｇにおける圧電素子３１，３２に対向する各面の周縁には、傾斜部３３１Ｇ１が面押し加工により形成されている。このため、本体部３３１Ｇの周縁には、圧電素子３１，３２と接合された際に、当該圧電素子３１，３２との間に断面視略三角形状の凹部３８Ｇがそれぞれ形成される。
これら凹部３８Ｇ内には、前述の製造工程Ｓ１〜Ｓ３のうち接合工程Ｓ３にて、圧電振動体３０Ｇが加圧された際に漏出する余分な接着剤Ｂが、表面張力により保持される。このため、圧電振動体３０Ｇの外側で、かつ、振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置されることで圧電振動体３０Ｇを位置決めするピンＰ１、及び、同じく圧電振動体３０Ｇの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置されることで圧電振動体３０Ｇを位置決めするピンＰ２に、接着剤Ｂが付着しない。
以上説明した本実施形態に係る時計によれば、前述の効果（６）と同様の効果がある。
【０１０１】
図１８から図２０は、本実施形態の変形である圧電振動体３０Ｈ，３０Ｉ，３０Ｊをそれぞれ示す縦断面図である。
なお、本実施形態では、本体部３３１Ｇの周縁に傾斜部３３１Ｇ１を形成して、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｇとを組合せた際に、当該本体部３３１Ｇの周縁に凹部３８Ｇを形成したが、当該凹部を他の構成により形成してもよい。
例えば、図１８に示す圧電振動体３０Ｈのように、圧電素子３１，３２と同様の構成を有する圧電素子３１Ｈ，３２Ｈに傾斜部３１２，３２２をダイシング加工により形成し、当該圧電素子３１Ｈ，３２Ｈと補強板３３とを組み合わせることで、接着剤溜まりとなる凹部３８Ｈを形成してもよい。
【０１０２】
また、図１９に示す圧電振動体３０Ｉのように、圧電素子３１，３２と同様の構成を有する圧電素子３１Ｉ，３２Ｉにおける補強板３３に対向する面の周縁に段差部３１３，３２３を形成したり、或いは、図２０に示す圧電振動体３０Ｊのように、補強板３３Ｊの本体部３３１Ｊにおける圧電素子３１，３２に対向する面の周縁に段差部３３１Ｊ１を形成したりすることで、余分な接着剤が保持される凹部３８Ｉ，３８Ｊを形成してもよい。
これら圧電振動体３０Ｈ〜３０Ｊによっても、前述の圧電振動体３０Ｇと同様の効果がある。
【０１０３】
〔８．第８実施形態〕
次に、本発明の第８実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｋは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、当該圧電振動体３０は、漏出した余分な接着剤Ｂを当該圧電振動体３０の側面にて保持していたのに対し、圧電振動体３０Ｋは、当該余分な接着剤Ｂが、各圧電素子の表面（電極３１０，３２０が形成される実装面）に付着しづらくする構成を有している点で、当該圧電振動体３０Ｋと圧電振動体３０とは相違する。
【０１０４】
図２１は、本実施形態に係る時計が備える圧電振動体３０Ｋを示す縦断面図である。
本実施形態に係る時計は、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｋを備えるほかは、前述の時計１０と同様の構成を備えている。
この圧電振動体３０Ｋは、図２１に示すように、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋと、これらの間に介装される補強板３３とを備えている。
このうち、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋは、圧電素子３１，３２とそれぞれ同様の構成及び寸法を有するほか、当該圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの表面（補強板３３に対向する側とは反対側の面）の周縁には、傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１が面押し加工により形成されている。
【０１０５】
このような圧電振動体３０Ｋは、前述の製造工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。なお、位置決め工程Ｓ２では、前述のように、ピンＰ１は、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、当該圧電振動体３０Ｅの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置される。また、ピンＰ２は、同様に、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。
【０１０６】
ここで、接合工程Ｓ３にて、圧電振動体３０Ｋを治具Ｊ２により加圧すると、当該圧電振動体３０ＫとピンＰ１，Ｐ２との隙間で生じる毛細管現象により、当該隙間に余分な接着剤Ｂが集められ、前述の保持領域３４，３５（図２１では、ともに図示省略）が形成される。この保持領域３４，３５に保持される接着剤Ｂは、量が多い場合には、ピンＰ１，Ｐ２に沿って圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの補強板３３に対する積層方向に流れてしまう。
しかしながら、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの表面、すなわち、電極３１０，３２０が形成される実装面の周縁に傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１が形成されているので、表面張力により、当該余分な接着剤Ｂは、傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１に留まって固着される。
【０１０７】
以上説明した本実施形態に係る圧電振動体３０Ｋによれば、前述の効果（１）〜（３）と同様の効果のほか、以下の効果がある。
（９）前述の特許文献１に記載の製造方法においては、接合材として接着剤を用いて圧電振動体を製造すると、余分な接着剤が圧電素子及び補強板の周縁に漏出する。この際、当該余分な接着剤の量が多い場合には、圧電振動体の周縁及び位置決めピンに沿って当該余分な接着剤が圧電振動体の表面に付着する可能性がある。このような圧電振動体の表面には電極が形成されるので、当該接着剤が圧電振動体の表面に付着すると、電極の形成、及び、圧電振動体の振動に悪影響を及ぼすという問題がある。このため、接着剤が圧電振動体（より詳しくは圧電素子）の表面に付着しづらい構成が要望されてきた。
【０１０８】
これに対し、本実施形態の圧電振動体３０Ｋは、電極３１０，３２０が設けられる圧電素子３１Ｋ，３２Ｋと、当該圧電素子３１Ｋ，３２Ｋが積層される補強板３３とを有し、当該電極３１０，３２０への電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０Ｋであって、当該圧電素子３１Ｋ，３２Ｋと補強板３３とは、互いに接合材（接着剤Ｂ）により接合され、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの少なくとも一方における補強板３３に対向する面とは反対側の面には、中心から周縁に向かうに従って補強板３３に近接する傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１が形成されている。
【０１０９】
これによれば、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋと補強板３３との間から漏出した余分な接着剤Ｂが、ピンＰ１，Ｐ２に沿って圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの補強板３３に対する積層方向に流出した場合でも、表面張力により、当該接着剤Ｂを傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１に留まらせることができる。従って、電極３１０，３２０の実装面に接着剤Ｂが付着しないので、電極３１０，３２０の実装、及び、圧電振動体３０Ｋの振動に対する接着剤Ｂの影響を確実に低減させることができる。また、このような傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１は面押し加工により形成されるので、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋに簡易に形成することができる。
【０１１０】
〔９．第９実施形態〕
次に、本発明の第９実施形態について説明する。
前記した第８実施形態では、余分な接着剤Ｂが圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの表面に付着しないように、当該圧電素子３１Ｋ，３２Ｋに傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１を形成したが、本実施形態では、治具に凹部を形成することで、圧電素子の表面における電極の形成領域に接着剤が付着しないようにしている点で、本実施形態と第８実施形態とは相違する。
【０１１１】
図２２は、圧電振動体３０の製造に用いられる本実施形態に係る治具Ｊ２，Ｊ３を示す縦断面図である。
本実施形態に係る治具Ｊ２，Ｊ３は、前述の圧電振動体３０を製造する際（具体的には、前述の位置決め工程Ｓ２）に用いられる治具である。このうち、治具Ｊ２は、治具Ｊ３上に載置された圧電振動体３０のうち、圧電素子３１を加圧して、圧電素子３１，３２及び補強板３３を互いに接合させる。
【０１１２】
治具Ｊ３には、図２２に示すように、凹部Ｊ３１が形成されている。この凹部Ｊ３１内には、当該凹部Ｊ３１の端縁から所定の間隔を隔ててピンＰ１又はピンＰ２が立設されている。この所定の間隔は、圧電素子３２の表面（補強板３３に対向する側とは反対側の面）における周縁から、電極３２０が形成される領域（電極形成領域）までの寸法より短く設定されている。なお、ピンＰ１は、前述のように、圧電振動体３０の外側で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置され、ピンＰ２は、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。
【０１１３】
以上説明した本実施形態に係る圧電振動体及び治具Ｊ２，Ｊ３より、前述の（１）〜（３）と同様の効果を奏することができるほか、以下の効果を奏することができる。
（１０）前述の特許文献１に記載の製造方法においては、接合材として接着剤を用いて圧電振動体を製造すると、前述のように、圧電素子と補強板との間から漏出した余分な接着剤が、電極形成領域に付着する可能性がある。この場合、電極の形成、及び、圧電振動体の振動に悪影響を及ぼすという問題がある。
【０１１４】
これに対し、本実施形態に係る治具Ｊ２，Ｊ３は、電極３１０，３２０が設けられる圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２が積層される補強板３３とを有し、当該電極３１０，３２０への電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０の製造に用いられる治具であって、当該圧電振動体３０が載置される第１の治具Ｊ３と、載置された圧電振動体３０を治具Ｊ３に向かって加圧する第２の治具Ｊ２とを備え、各治具Ｊ２，Ｊ３の少なくともいずれか一方には、載置された圧電振動体３０の周縁の少なくとも一部に応じた位置に形成された凹部Ｊ３１を有する。なお、凹部Ｊ３１は、本実施形態では、治具Ｊ３に形成されている。
【０１１５】
これによれば、余分な接着剤Ｂが圧電振動体３０の側面に沿って流出した場合に、当該接着剤Ｂが凹部Ｊ３１内に流れるので、圧電素子３２の表面における電極３２０が形成される領域に付着しにくくすることができる。従って、当該余分な接着剤Ｂが、電極の形成、及び、圧電振動体の振動に対して悪影響を及ぼすことを抑制することができる。
【０１１６】
また、当該凹部Ｊ３１内には、ピンＰ１，Ｐ２が立設され、当該ピンＰ１，Ｐ２と凹部Ｊ３１の端縁とは、当該凹部Ｊ３１が形成された治具Ｊ３に当接する圧電素子３２の面（表面）における周縁から、電極３２０の形成領域までの距離より小さい間隔で離間している。
これによれば、各ピンＰ１，Ｐ２と凹部Ｊ３１の端縁との距離が、圧電素子３２の表面の周縁から電極形成領域に至る距離より短いので、当該周縁に当接するピンＰ１，Ｐ２に沿って流出した余分な接着剤Ｂが、当該電極形成領域に到達することを防ぐことができる。従って、当該余分な接着剤Ｂが、電極の形成、及び、圧電振動体の振動に対して悪影響を及ぼすことを確実に抑制することができる。
【０１１７】
図２３は、本実施形態に係る治具Ｊ２，Ｊ３の変形である治具Ｊ１，Ｊ４を示す縦断面図である。
なお、図２３に示すように、前述の凹部Ｊ３１と同様の凹部Ｊ４１を、圧電振動体３０を加圧する側の治具Ｊ４に形成してもよい。このような場合、治具Ｊ４が圧電素子３１の表面（補強板３３に対向する側とは反対側の面）に当接した際に、当該表面における電極３１０の形成領域より外側に、凹部Ｊ４１の開口端が位置していれば、当該形成領域に接着剤が付着することを確実に抑制することができる。
【０１１８】
〔１０．実施形態の変形〕
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、圧電振動体３０，３０Ａ〜３０Ｋは、電極３１０，３２０に対する電圧印加により、縦振動及び屈曲振動を行うとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、縦振動及び屈曲振動のいずれか一方を行うのみでもよい。
また、前記各実施形態では、接合材として接着剤を挙げたが、これに限らず、前述のように、はんだ等の他の接合材を採用してもよい。
【０１１９】
前記各実施形態では、接合工程Ｓ３においては、圧電素子及び補強板を、これらの積層方向に沿って治具により加圧するとしたが、本発明はこれに限らない。例えば、治具上に載置される圧電素子の上方に位置する補強板、及び、当該補強板の上方に位置する圧電素子の自重による自然加圧を行うことで、これら圧電素子及び補強板を互いに接合するようにしてもよい。
【０１２０】
前記第１及び第２実施形態では、ピンＰ１を圧電振動体３０，３０Ａの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じて、それぞれ配置したが、本発明はこれに限らない。すなわち、これら節Ｄ１，Ｄ２のいずれかに応じて位置決め部材としてのピンが配置されるのであれば、当該ピンの数は問わない。また、ピンＰ１のみを用いて圧電振動体を位置決めしてもよく、或いは、ピンＰ１と、ピンＰ２，Ｐ３とを組み合わせて位置決めしてもよい。
【０１２１】
また、前記第３実施形態では、圧電振動体３０Ｂの周縁で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に応じてノズルＮＺを配置し、当該ノズルＮＺにより、余分な接着剤Ｂを吸引するとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、圧電振動体の周縁で、かつ、少なくとも１つの節に応じて位置で余分な接着剤を吸引するのであれば、吸引する箇所及びノズルの数は、適宜設定してよい。
【０１２２】
更に、前記第４実施形態では、節Ｄ１，Ｄ２に応じた補強板３３Ｃの周縁に、それぞれ突部３３１Ｃ１を形成するとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、補強板の周縁で、かつ、少なくともいずれかの節に応じた位置に突部が形成されていれば、当該突部の数及び形状は問わない。
【０１２３】
前記第５実施形態では、節Ｄ１，Ｄ２に応じた補強板３３Ｄの周縁に、略半円形状の凹部３３１Ｄ１を形成した。しかしながら、これに限らず、当該節Ｄ１，Ｄ２の少なくともいずれかに応じた位置に、内側に凹んだ凹部が形成されていればよい。また、凹部の形状も半円形状に限らず、他の形状としてもよい。
【０１２４】
前記第６実施形態では、圧電素子３１，３２に対して、本体部３３１Ｅ，３３１Ｆを大きく又は小さく形成した。しかしながら、これに限らず、本体部の周縁における節Ｄ１，Ｄ２の少なくともいずれかに応じた位置が、圧電素子３１，３２に対して大きく又は小さく形成されていれば、当該本体部の周縁の全てが、圧電素子３１，３２の側面から突出又は没入していなくてもよい。
【０１２５】
前記第７実施形態では、圧電素子又は本体部の周縁にわたって、凹部３８Ｇ〜３８Ｊを形成するとした。しかしながら、これに限らず、本体部の周縁における節Ｄ１，Ｄ２の少なくともいずれかに応じた位置に凹部が形成されていれば、当該本体部の周縁の全てにわたって凹部が形成されていなくてもよい。
【０１２６】
前記第８実施形態では、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの周縁に、傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１を形成することで、漏出した余分な接着剤Ｂが、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの表面の電極形成領域に付着しないようにした。しかしながら、これに限らず、傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１に代えて、段差を形成するなどして、当該余分な接着剤Ｂの接着剤溜まりとなる凹部を形成してもよい。
【０１２７】
前記第９実施形態では、圧電振動体３０の下方に配置され、凹部Ｊ３１が形成された治具Ｊ３と、圧電振動体３０の上方に配置され、凹部Ｊ４１が形成された治具Ｊ４とを、それぞれ別に利用していたが、これらを組み合わせて利用してもよい。
また、当該凹部Ｊ３１，Ｊ４１の幅寸法は、圧電素子の表面における周縁から電極形成領域に至るまでの距離より短く設定されているとしたが、これに限らず、適宜設定してよい。
【０１２８】
前記各実施形態では、圧電素子の表面及び裏面に形成された電極は、当該表面の略全面、及び、当該裏面の略全面にそれぞれ形成されていたが、本発明はこれに限らない。すなわち、圧電素子に形成される電極の構成は、適宜設定することができる。
例えば、圧電素子の表面の電極は、平面中心を中心として４等分に分割された部分電極であってもよい。この場合、一方の対角方向の２つの電極に駆動信号を印加する場合と、他方の対角方向の２つの電極に駆動信号を印加する場合とで選択駆動することにより、突出部３３２の楕円運動の方向を互いに逆転させることができる。この場合の突出部は、平面視略長方形の本体部３３１の場合には、当該本体部３３１の短辺（長手方向に直交する辺）の側面に形成されているが、短辺の幅方向中央部に形成されていてもよく、更には、当該幅方向中央部から長辺側に変位した変位位置に形成されていてもよい。なお、上記部分電極は、４分割以外であってもよく、例えば、５分割であってもよい。
また、前記各実施形態では、圧電振動体の振動形態は、縦振動及び屈曲振動の両者がそれぞれ行われる場合を中心に説明したが、どちらか一方の振動形態、例えば、縦振動を行う場合にも適用できるものである。
【０１２９】
前記各実施形態では、突出部３３２，３３２Ａは、圧電振動体を平面視した際の短辺（長手方向に直交する辺）となる側面の長辺寄りの端部に形成されるとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、突出部の位置は、当該側面の中央でも、中央から長辺寄りの位置に形成されていてもよく、或いは、長辺となる側面に形成されていてもよい。
なお、突出部が、当該短辺となる側面の幅方向の中央に形成されている場合に、第２の位置決め部材としてのピンＰ２を用いる場合には、当該ピンＰ２を、突出部の両側で、かつ、当該突出部から等間隔に配置すれば、当該突出部の両側に、余分な接合材が保持される第２の保持領域を形成することができる。従って、圧電振動体にアンバランスをもたらさずに、所望の振動を維持させることができる。
また、同様に、孔部を有する突出部が当該短辺となる側面の幅方向の中央に形成されている場合に、第３の位置決め部材としてのピンＰ３を用いる場合には、余分な接合材が保持される第３の保持領域も、突出部の形成位置、すなわち、当該側面の幅方向の中央に形成することができる。従って、圧電振動体にアンバランスをもたらさずに、所望の振動を維持させることができる。
【０１３０】
前記各実施形態では、圧電振動体３０，３０Ａ〜３０Ｋのいずれかを備える圧電アクチュエータ２０は、時計１０に用いられるとしたが、本発明はこれに限らない。例えば、カメラ及びプリンタ等の電子機器に、本発明の圧電振動体及び圧電アクチュエータを適用することも可能である。
また、前記各実施形態に係る圧電振動体３０，３０Ａ〜３０Ｋで挙げた構成を、１つの圧電振動体に組み合わせて採用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る時計を示す平面図。
【図２】前記実施形態における圧電アクチュエータ及び減速輪列を示す模式図。
【図３】前記実施形態における圧電振動体を示す概要斜視図。
【図４】前記実施形態における圧電振動体の振動時の節を示す図。
【図５】前記実施形態における圧電振動体の製造工程を示すフローチャート。
【図６】前記実施形態における圧電振動体の製造時の状態を示す平面図。
【図７】前記実施形態における圧電振動体の製造時の状態を示す斜視図。
【図８】本発明の第２実施形態に係る圧電振動体の製造時の状態を示す平面図。
【図９】本発明の第３実施形態に係る圧電振動体の製造工程を示すフローチャート。
【図１０】前記実施形態における圧電振動体の製造時の状態を示す平面図。
【図１１】本発明の第４実施形態に係る圧電振動体を示す平面図。
【図１２】本発明の第５実施形態に係る圧電振動体を示す斜視図。
【図１３】本発明の第６実施形態に係る圧電振動体を示す平面図。
【図１４】前記実施形態における圧電振動体を示す縦断面図。
【図１５】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す平面図。
【図１６】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す縦断面図。
【図１７】本発明の第７実施形態に係る圧電振動体を示す縦断面図。
【図１８】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す縦断面図。
【図１９】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す縦断面図。
【図２０】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す縦断面図。
【図２１】本発明の第８実施形態に係る圧電振動体を示す縦断面図。
【図２２】本発明の第９実施形態に係る治具を示す縦断面図。
【図２３】前記実施形態の変形である治具を示す縦断面図。
【符号の説明】
【０１３２】
１０…時計（電子機器）、２０…圧電アクチュエータ、３０，３０Ａ〜３０Ｋ…圧電振動体、３１，３１Ｈ，３１Ｉ，３１Ｋ，３２，３２Ｈ，３２Ｉ,３２Ｋ…圧電素子、３３，３３Ａ，３３Ｃ〜３３Ｇ，３３Ｊ…補強板、３４…保持領域（第１の保持領域）、３５…保持領域（第２の保持領域）、３６…保持領域（第３の保持領域）、４０…ロータ（被駆動体）、３１０，３２０…電極、３３２，３３２Ａ…突出部、３３２Ａ１…孔部、３３１Ｄ１…凹部（第１の保持領域）、３３１Ｄ２…凹部（第２の保持領域）、Ｂ…接着剤、Ｄ１，Ｄ２…節、Ｐ１…ピン（第１の位置決め部材）、Ｐ２…ピン（第２の位置決め部材）、Ｐ３…ピン（第３の位置決め部材）、Ｓ１…接合材付着工程、Ｓ２，Ｓ２Ａ…位置決め工程、Ｓ３…接合工程、Ｓ４…吸引工程。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子と補強板とを有する圧電振動体、圧電アクチュエータ、電子機器及び圧電振動体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電振動体と、当該圧電振動体の振動によって駆動される被駆動体とを備えた圧電アクチュエータが知られている。このうち、圧電振動体は、ステンレス等の板状体である補強板に圧電素子が積層された構造を備えている。このような圧電振動体においては、圧電素子の表裏両面に形成される電極の位置、当該電極への電圧の印加状態、並びに、これら圧電素子及び補強板の形状及び寸法に応じて、圧電素子の長手方向に沿って伸縮する縦振動（縦一次振動）と、当該縦振動に直交する方向に屈曲する屈曲振動（屈曲二次振動）とを、圧電振動体に生じさせることができる。そして、圧電アクチュエータにおいては、前述の電極に電圧を印加すると、圧電振動体が振動して、被駆動体が駆動される。
【０００３】
このような圧電素子と補強板とは、はんだ或いは接着剤等の接合材により接合される。そして、これらの接合の際には、圧電素子と補強板とを、これらの積層方向に沿って立設された位置決めピン等により位置決めし、当該圧電素子及び補強板を加圧して接合する圧電振動体の製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】再公表公報ＷＯ２００４／０４３６１７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の製造方法にて、接合材として接着剤を用いて圧電振動体を製造すると、余分な接着剤が圧電素子及び補強板の周縁に漏出してしまう。一方、圧電素子と補強板とは剥離が生じない程度に密に接合させる必要がある反面、接合時に漏出しない程度に接着剤を塗布することは困難である。このような接着剤が圧電素子又は補強板の周囲にばらついて漏出すると、当該接着剤による圧電振動体の重心の変位や、当該圧電振動体の変位量の変化により、製造される個々の圧電振動体の振動特性がばらつくという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体、圧電アクチュエータ、電子機器及び圧電振動体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電振動体は、電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体であって、前記圧電素子と前記補強板とは、互いに接合材により接合され、当該圧電振動体は、周縁における当該圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に、他の位置より多くの前記接合材が保持される第１の保持領域を有することを特徴とする。
【０００８】
ここで、圧電振動体の振動としては、前述の縦振動及び屈曲振動のうち、少なくともいずれかが挙げられる。
また、圧電振動体の振動時の節とは、当該圧電振動体が振動した際に、圧電振動体における変位量が最も小さい部位（詳述すると、振幅が０となる部位）を示し、例えば、平面視略長方形状の圧電振動体が長手方向に沿って縦振動する場合には、当該圧電振動体の長手方向の中央位置となる。また、当該圧電振動体が屈曲振動する場合には、幅方向（圧電振動体を平面視した際の長手方向に直交する方向）の中心線上ではあるが、長手方向においては中心点、及び、それ以外の複数箇所となることが多い。
【０００９】
更に、当該節に応じた位置とは、圧電振動体の周縁において当該圧電振動体の振動時の変位量が最も小さい部位を示す。例えば、平面視略長方形状を有する圧電振動体が縦振動する場合には、当該節に応じた位置は、前述の節を通り、かつ、長手方向に対する直交方向に沿う直線上の周縁部位となる。当該圧電振動体が屈曲振動する場合にも、当該節に応じた位置は、前述の節を通り、かつ、幅方向に沿う直線上の周縁部位となる。
また、接合材としては、接合の際に液状を呈するものが適用される。また、接合の際に、接合材を加熱して接合しやすくしてもよい。このような接合材としては、例えば、エポキシ樹脂、嫌気性接着剤及び光硬化型接着剤の混合接着材等の合成樹脂接合材、並びに、ハンダ等の金属接合材を挙げることができる。このうち、金属接合材を接合材として用いる場合には、接合の際に加熱溶融が必要である。
【００１０】
本発明によれば、圧電素子と補強板との間から周縁に漏出した接合材は、圧電振動体の周縁における当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置である第１の保持領域に集められている。これによれば、例えば、圧電振動体の製造時において、圧電素子と補強板との間から接合材が漏出した場合でも、振動時の節に応じた位置に、より多くの接合材が保持されることとなり、当該位置とは異なる位置（例えば、振動時の振幅が最大となる腹の位置）により多くの接合材が保持されている場合に比べ、当該接合材による圧電振動体の振動への影響が低減する。
【００１１】
具体的に、当該節に応じた位置より、当該位置とは異なる位置に多くの接合材が保持されている場合には、当該接合材による圧電振動体の重心の変位等により、振幅のバランスが崩れてしまう。これに対し、振動時の節に応じた位置に、当該位置とは異なる位置より多くの接合材が保持されることで、振幅のバランスを維持することができる。
従って、製造される圧電振動体の振動特性のばらつきを抑制することができる。
【００１２】
本発明では、前記圧電素子及び前記補強板は、互いに接合される際に、当該圧電振動体の外側で、かつ、前記節に応じた位置に配置される第１の位置決め部材により位置決めされ、前記第１の保持領域は、前記第１の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間に形成されることが好ましい。
【００１３】
本発明によれば、圧電素子と補強板との接合時に、これらを第１の位置決め部材により位置決めすることにより、圧電素子と補強板との間から漏出した接合材を、当該第１の位置決め部材と圧電振動体との隙間で生じる毛細管現象により集め、当該接合材が保持される第１の保持領域を形成することができる。この際、第１の位置決め部材は、圧電振動体の外側で、かつ、当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置に配置されるので、圧電振動体の周縁における当該節に応じた位置に、他の位置より多くの接合材を確実に保持させることができる。従って、振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体を効率よく製造することができる。
【００１４】
本発明では、前記補強板は、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部を備え、前記圧電素子及び前記補強板は、互いに接合される際に、当該圧電振動体の外側で、かつ、前記突出部近傍に配置される第２の位置決め部材により位置決めされ、前記第２の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間には、前記接合材が保持される第２の保持領域が形成されることが好ましい。
【００１５】
例えば、このような突出部は、平面視略長方形状の圧電振動体では、当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における一方の端部寄りの位置に形成することができ、更には、圧電振動体の中央を中心として、点対称となる位置に形成することができる。
本発明によれば、第２の位置決め部材により、補強板と圧電素子との接合時において第１の位置決め部材によって位置決めされる方向とは異なる方向の位置決めを行うことができる。
【００１６】
ここで、このような突出部は、例えば、被駆動体に接触させて、圧電振動体の振動により当該被駆動体を駆動させるために設けられる。このような突出部が、圧電振動体がアンバランスとなる位置に設けられていると、前述の縦振動及び屈曲振動を生じさせやすくなり、当該突出部は楕円軌道を描くように振動する。しかしながら、突出部を設けたことによって生じたアンバランスが解消される位置（例えば、突出部が形成された面における当該突出部とは反対側の位置）に多くの接合材が保持されてしまうと、圧電振動体の振動時の振幅、ひいては、楕円軌道を描く突出部の振幅が小さくなり、圧電振動体の振動特性が変化する可能性がある。
【００１７】
これに対し、本発明によれば、第２の位置決め部材が配置される突出部近傍に、余分な接合材が保持される第２の保持領域を形成することができるので、圧電振動体のアンバランスを維持することができ、圧電振動体の振幅、ひいては、突出部の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、製造される圧電振動体の振動特性のばらつきを一層抑制できる。この場合、第２の位置決め部材が配置される箇所は、当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における幅方向の中心位置より突出部配置側（突出部寄りの位置）であることが好ましい。
【００１８】
なお、突出部が、平面視で当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における幅方向の中央部に形成されている場合には、第２の位置決め部材は、突出部の両側で、当該突出部から等間隔に配置されていることが好ましい。このような場合、第２の位置決め部材が配置される突出部の両側に、余分な接合材が保持される第２の保持領域を形成することができるので、圧電振動体にアンバランスをもたらさずに、所望の振動を維持させることができる。
【００１９】
本発明では、前記補強板は、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部を備え、前記突出部は、前記圧電素子と前記補強板とが接合される際に、これらを位置決めする第３の位置決め部材が挿通する孔部を有し、前記第３の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間には、前記接合材が保持される第３の保持領域が形成されることが好ましい。
【００２０】
本発明では、第３の位置決め部材により、補強板及び圧電素子の接合時の長手方向の位置決めを容易に行うことができる。
ここで、突出部は、前述のように、例えば、被駆動体に接触させて、圧電振動体の振動により当該被駆動体を駆動させるために設けられるが、当該突出部を、圧電振動体がアンバランスとなる位置に設け、当該圧電振動体に縦振動及び屈曲振動を生じさせることで、当該突出部は、楕円軌道を描くように振動する。しかしながら、圧電素子と補強板との間から漏出した余分な接合材が、当該アンバランスが解消される位置に多く保持されてしまうと、圧電振動体の振動時の振幅、ひいては、楕円軌道を描く突出部の振幅が小さくなり、圧電振動体の振動特性が変化する可能性がある。
【００２１】
これに対し、本発明によれば、突出部の孔部を挿通する第３の位置決め部材と、圧電振動体の周縁との間に、接合材が保持される第３の保持領域を形成することができる。これにより、前述の第２の位置決め部材の場合と同様に、圧電振動体のアンバランスを維持することができ、圧電振動体の振幅、ひいては、突出部の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、製造される振動特性のばらつきを一層抑制することができる。この場合、突出部及び第３の位置決め部材が配置される箇所は、当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における幅方向の中心位置より端部側（長辺側）であることが好ましい。
【００２２】
なお、突出部が、平面視で当該圧電振動体の長手方向に交差する側面における幅方向の中央部に形成されている場合には、第３の位置決め部材も、上記幅方向の中央部に配置されることになる。このため、余分な接合材が保持される第３の保持領域が形成されても、圧電振動体にアンバランスをもたらさずに、所望の振動を維持させることができる。
【００２３】
また、本発明の圧電アクチュエータは、前述の圧電振動体と、当該圧電振動体の振動により駆動される被駆動体とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、前述の圧電振動体と同様の効果を奏することができ、振動特性のばらつきを抑制した駆動信頼性の高い圧電アクチュエータを構成及び製造することができる。
【００２４】
また、本発明の電子機器は、前述の圧電アクチュエータを備えることを特徴とする。
このような電子機器として、腕時計等の時計や、カメラ等を例示することができる。
本発明によれば、前述の圧電アクチュエータと同様の効果を奏することができ、これにより、動作信頼性の高い電子機器を構成及び製造することができる。
【００２５】
また、本発明の圧電振動体の製造方法は、電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、前記圧電素子及び前記補強板の少なくとも一方における他方に対向する面に、接合材を付着させる接合材付着工程と、前記圧電振動体の外側で、かつ、前記圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に第１の位置決め部材を配置して、前記圧電素子及び前記補強板を位置決めする位置決め工程と、前記圧電素子及び前記補強板を互いに接合させる接合工程と、を有することを特徴とする。
【００２６】
ここで、圧電素子及び補強板を互いに接合する接合工程としては、圧電素子及び補強板を、接合材を介して対向させた後、治具等の加圧手段により加圧することで、これらを互いに接合する方法を採用することができる。また、このほか、接合工程として、圧電素子及び補強板を、接合材を介して積層させた後、上方に配置された部材の自重により自然に加圧されることで、これらを互いに接合する方法を採用することも可能である。
また、接合工程では、接合材を加熱して接合しやすくしてもよい。なお、接合材は、接合の際に液状を呈するものが適用される。このような接合材としては、例えば、エポキシ樹脂、嫌気性接着剤及び光硬化型接着剤の混合接着材等の合成樹脂接合材、並びに、ハンダ等の金属接合材を挙げることができる。このうち、金属接合材を接合材に用いる場合には、接合の際に加熱溶融が必要である。
【００２７】
本発明によれば、圧電素子及び補強板を互いに接合する接合工程にて、これら圧電素子及び補強板の間から漏出した余分な接合材は、圧電振動体と、当該圧電振動体の外側に位置する第１の位置決め部材との隙間で生じる毛細管現象により、当該隙間に集められる。これによれば、当該圧電振動体の外側（周縁）において、第１の位置決め部材が配置されていない部分には、接合材が殆どはみ出ないことになる。この第１の位置決め部材の配置位置は、圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置であるので、当該接合材は、圧電振動体の周縁における当該節に応じた位置に多く保持される。
【００２８】
このようにして圧電素子及び補強板が接合された後に、第１の位置決め部材を圧電振動体から離間させると、圧電振動体の周縁における前述の節に応じた位置に、接合材が多く残されたままになる。このような場合、前述のように、製造された圧電振動体の振動特性に対する余分な接合材の影響を低減することができる。
【００２９】
一方、第１の位置決め部材の形状、接合材の種類、及び、圧電振動体の節の周縁の形状等によっては、第１の位置決め部材を圧電振動体から離間させると、当該圧電振動体の周縁における節に応じた位置に保持された接合材が、第１の位置決め部材に付着されたまま剥がされて、当該節に応じた位置の接合材が、圧電振動体の周縁における他の部分より少なくなる場合も生じうる。この場合であっても、当該接合材が少なくなった位置は、節に応じた位置、すなわち、圧電振動体の振幅に影響を及ぼしにくい位置であるので、当該圧電振動体の振動特性に対する余分な接合材の影響を低減することができる。
従って、振動特性のばらつきを抑制した圧電振動体を効率よく製造することができる。
【００３０】
本発明では、前記位置決め工程では、前記補強板に形成され、かつ、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部近傍に第２の位置決め部材を配置して、前記第１の位置決め部材とともに、前記圧電素子と前記補強板とを位置決めすることが好ましい。
本発明によれば、前述の圧電振動体と同様に、補強板の突出部近傍に余分な接合材を集めることができるので、当該接合材による圧電振動体の振動特性の変化を抑制することができる。
【００３１】
すなわち、圧電振動体がアンバランスとなる位置に、例えば被駆動体と接触する突出部が設けられている場合に、当該突出部近傍に第２の位置決め部材が配置されることで、当該突出部と第２の位置決め部材との間に、余分な接合材を保持させる第２の保持領域を形成することができる。これによれば、圧電振動体のアンバランスが解消される位置に余分な接合材が多く保持される場合に比べ、当該圧電振動体のアンバランスを維持することができ、圧電振動体の振幅、ひいては、突出部の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、振動特性のばらつきを一層抑制することができる圧電振動体を、効率よく製造することができる。
【００３２】
本発明では、前記位置決め工程では、前記補強板に形成され、かつ、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部が有する孔部に第３の位置決め部材を挿通させて、前記第１の位置決め部材とともに、前記圧電素子と前記補強板とを位置決めすることが好ましい。
本発明によれば、前述の圧電振動体と同様に、圧電振動体を平面視した際の突出部の位置に、当該突出部近傍の余分な接合材を集めることができるので、当該余分な接合材による圧電振動体の振動特性の変化を抑制することができる。
【００３３】
すなわち、圧電振動体がアンバランスとなる位置に、例えば被駆動体と接触する突出部が設けられている場合に、当該突出部に第３の位置決め部材が挿通する孔部を形成しておくことで、当該第３の位置決め部材と、圧電振動体の周縁との間に、余分な接合材が保持される第３の保持領域を形成することができる。これによれば、前述の第２の位置決め部材の場合と同様に、圧電振動体のアンバランスを維持することができ、圧電振動体の振幅、ひいては、突出部の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、振動特性のばらつきを一層抑制することができる圧電振動体を、効率よく製造することができる。
【００３４】
また、本発明の圧電振動体の製造方法は、電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、前記圧電素子及び前記補強板の少なくとも一方における他方に対向する面に、接合材を付着させる接合材付着工程と、前記圧電素子及び前記補強板を前記接合材により接合させる接合工程と、前記圧電素子及び前記補強板の周縁における当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置で、前記接合材を吸引する吸引工程と、を有することを特徴とする。
【００３５】
ここで、接合工程としては、前述の製造方法と同様に、圧電素子及び補強板を、接合材を介して対向させた後、治具等の加圧手段により加圧することで、これらを互いに接合する方法を採用することができるほか、圧電素子及び補強板を、接合材を介して積層させた後、上方に配置された部材の自重により自然に加圧されることで、これらを互いに接合する方法を採用することができる。
また、接合工程では、接合材を加熱して接合しやすくしてもよい。なお、接合材は、接合の際に液状を呈するものが適用される。このような接合材としては、例えば、エポキシ樹脂、嫌気性接着剤及び光硬化型接着剤の混合接着材等の合成樹脂接合材、並びに、ハンダ等の金属接合材を挙げることができる。このうち、金属接合材を接合材に用いる場合には、接合の際に加熱溶融が必要である。
【００３６】
更に、吸引工程は、接合工程と同時に実施しても、当該接合工程の後に実施してもよい。すなわち、圧電素子及び補強板を加圧（治具による加圧、及び、上方に位置する部材の自重による自然加圧を含む）することにより接合する場合には、加圧作業中に吸引工程を実施してもよく、或いは、加圧作業後に実施してもよい。
【００３７】
本発明によれば、接合工程にて漏出した余分な接合材は、圧電振動体の周縁で、かつ、当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置にて吸引されるので、当該余分な接合材のうち、吸引しきれない接合材を、当該節に応じた位置に集めることができる。これによれば、前述のように、余分な接合材による圧電振動体の振動への影響を低減することができる。従って、振動特性のばらつきを抑制した圧電振動体を効率よく製造することができる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、圧電振動体の周縁で、かつ、当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置に、当該位置とは異なる位置により多くの接合材を保持させる等、当該接合材の分布を異ならせることができる。従って、当該圧電振動体の振動に対する接合材の影響を低減することができ、製造される圧電振動体の振動特性のばらつきを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
〔１．第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態に係る時計を説明する。
〔時計の概略構成〕
図１は、本実施形態に係る時計１０を示す平面図である。
本実施形態に係る電子時計（以下、「時計」と略す場合がある）１０は、本発明の電子機器に相当し、計時手段としてのムーブメント１、通常時刻を表示する文字板２、時針３、分針４及び秒針５のほか、クロノグラフ時間を示す秒クロノグラフ針６及び分クロノグラフ針７を備えている。
時針３、分針４及び秒針５は、一般的なアナログクォーツと同様のものであり、詳しい図示を省略するが、水晶振動子が組み込まれた回路基板と、コイル、ステータ及びロータを有するステッピングモータと、駆動輪列と、電池とにより駆動される。
秒クロノグラフ針６は、後述する圧電アクチュエータ２０及び減速輪列５０により駆動され、また、分クロノグラフ針７は、図示を省略したが、当該秒クロノグラフ針６と同様の機構により駆動される。
【００４０】
〔圧電アクチュエータ及び減速輪列の構成〕
図２は、圧電アクチュエータ２０及び減速輪列５０を示す模式図である。
圧電アクチュエータ２０は、図２に示すように、電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０と、当該圧電振動体３０の振動により回転するロータ４０とを備えている。
このうち、被駆動体としてのロータ４０は、板ばね４１によって圧電振動体３０側に付勢されており、当該圧電振動体３０とロータ４０外周との間に適切な摩擦力が発生することで、圧電振動体３０の振動が効率良くロータ４０に伝達されるようになっている。なお、圧電振動体３０の構成については、後に詳述する。
【００４１】
減速輪列５０は、ロータ４０の回転を秒クロノグラフ針６に伝達する。この減速輪列５０は、歯車５１，５２により構成されている。
歯車５１は、ロータ４０と同軸に配置され、当該ロータ４０と一体となって回転する。
歯車５２は、秒クロノグラフ針６（図１参照）の回転軸に固定され、歯車５１に噛合している。このため、圧電振動体３０の駆動により生じたロータ４０の回転が、歯車５１，５２を介して減速された秒クロノグラフ針６に伝達され、当該秒クロノグラフ針６が駆動する。
【００４２】
〔圧電振動体の構成〕
図３は、圧電振動体３０を示す概要斜視図である。
圧電振動体３０は、矩形平板状を有する一対の圧電素子３１，３２（説明の便宜上、上方に位置する圧電素子を３１とし、下方に位置する圧電素子を３２とする）と、これらの圧電素子３１，３２の間に介装される平板状の補強板３３とを備え、これら圧電素子３１，３２と補強板３３とは、本実施形態では、接合材としての接着剤により互いに接合される。
【００４３】
圧電素子３１，３２の表面（それぞれ補強板３３に対向する面とは反対側の面）には、当該圧電素子３１，３２に駆動信号としての交流電圧を印加するための電極３１０，３２０が、それぞれ形成される。この電極は、ニッケル或いは金などによるめっき、スパッタ、蒸着等の方法で形成される。なお、圧電素子３１，３２の裏面（それぞれ補強板３３に対向する面）にも、図示を省略するが、表面側と同様の電極が形成され、この電極は補強板３３と重ねられ導通されている。
このような圧電素子３１，３２の材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（登録商標））、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を例示できる。
【００４４】
これら圧電素子３１，３２の寸法、並びに、圧電素子３１，３２に前述の各電極を介して印加される交流電圧の周波数（駆動周波数）は、圧電素子３１，３２に繰り返し電圧が印加された際に、当該圧電素子３１，３２に縦振動（縦一次振動）及び屈曲振動（屈曲二次振動）が同時に現れるように、適宜設定される。なお、縦振動及び屈曲振動については、後に詳述する。
【００４５】
補強板３３は、ステンレス鋼等の導電性を有する金属材料から形成されている。この補強板３３は、圧電素子３１，３２が積層される本体部３３１と、当該本体部３３１に一体的に形成された一対の突出部３３２及び腕部３３３とを備える。
このうち、本体部３３１は、平面視略長方形状を有し、当該本体部３３１の平面視の寸法は、圧電素子３１，３２と略同じとなるように設定されている。
一対の突出部３３２は、本体部３３１の短辺側の両側面（長手方向に直交する面）における一方の端部から外側に略円弧状に突出するように形成され、当該本体部３３１の中央を中心として点対称に形成されている。具体的に、各突出部３３２は、本体部３３１の対角位置にそれぞれ形成され、一方の突出部３３２が、前述のロータ４０（図２参照）に当接する。
【００４６】
腕部３３３は、本体部３３１を平面視した際に、当該本体部３３１の長手方向に沿う一方の側面の略中央に突設されている。この腕部３３３は、本体部３３１から延出する延出部３３３１と、当該延出部３３３１の延出方向先端に形成された平面視略矩形の固定部３３３２とを備えている。この固定部３３３２には、孔部３３３３が形成され、当該孔部３３３３を挿通したねじ（図示省略）が、ムーブメント１を構成する地板に固定されることにより、圧電振動体３０は当該地板に固定される。
【００４７】
ここで、圧電振動体３０の振動について説明する。
図４は、圧電振動体３０の振動時の節Ｄ１，Ｄ２を示す図である。なお、図４では、圧電振動体３０の屈曲振動時の幅方向の中心線を一点鎖線にて示す。
圧電振動体３０は、前述のように、電圧印加により縦振動及び屈曲振動を生じる。
このうち、縦振動は、圧電振動子３１、３２の表面と裏面の電極に駆動信号が印加されることにより生じるもので、圧電振動体３０を平面視した際の中央を中心として、長手方向に沿って伸縮する振動である。すなわち、圧電振動体３０は、伸長時には、当該中央を中心として外側に延出し、収縮時には、当該中央を中心として内側に収縮する。このため、当該中央を通り、かつ、圧電振動体３０の長手方向に直交する直線上の領域は、当該圧電振動体３０の縦振動時に変位が生じにくい領域となり、当該中央の位置が縦振動時の節Ｄ１となる。
【００４８】
また、屈曲振動は、前述の縦振動が引き起こされる際に、各突出部３３２が幅方向においてアンバランスに配置されていることにより引き起こされるものである。この屈曲振動は、圧電素子３１，３２の平面中心に対して点対称に、縦振動に直交する方向（長手方向に直交する方向）に沿って、当該長手方向における一方の端部側及び他方の端部側が、それぞれ互いに反対方向に変位する振動である。この変位の方向は、一方の端部側及び他方の端部側で、振動１サイクルの中で反転するようになる。このため、屈曲振動時においては、圧電振動体３０の幅方向（長手方向に対する直交方向）の中心線は、図４において一点鎖線で示す曲線となる。これら曲線の交点であり、屈曲振動時の節Ｄ１，Ｄ２（節Ｄ１は縦振動時の節を兼ねる）を通り、かつ、当該圧電振動体３０の長手方向に直交する直線上の領域は、屈曲振動時に圧電振動体３０において変位が生じにくい領域となる。
【００４９】
一方、一対の突出部３３２は、圧電振動体３０が振動した際に変位量が最も大きくなる部位であり、圧電振動体３０に屈曲振動及び縦振動を生じさせることにより、略楕円軌道Ｒ（図２参照）を描いて振動する。そして、一方の突出部３３２が、上記のように振動することにより、前述のロータ４０（図２参照）を回転させる。
なお、屈曲振動は、突出部３３２が補強板３３にアンバランスに配置されているために縦振動に誘起されて振動する場合、或いは、補強板３３上に配置された複数の電極に駆動信号を選択的に引加することにより誘起される場合に生じうる。しかしながら、本実施形態では、屈曲振動は、前者により誘起される。ただし、後者によって屈曲振動が誘起されるようにしてもよい。
【００５０】
〔圧電振動体の製造工程〕
図５は、圧電振動体３０の製造工程を示すフローチャートである。また、図６及び図７は、圧電振動体３０の製造時の状態を示す平面図及び斜視図である。具体的に、図６及び図７は、複数の位置決めピンＰ（Ｐ１，Ｐ２）により位置決めされた圧電振動体３０を示す平面図及び斜視図である。なお、図６では、圧電振動体３０の屈曲振動時の幅方向の中心線を一点鎖線にて示す。
上述した圧電振動体３０は、図５に示す工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。
このうち、接合材付着工程Ｓ１では、圧電素子３１，３２における補強板３３に対向する面に接着剤を均一に付着させる。このような接着剤は、インクジェット方式を用いて噴射したり、所定量付着させた後にへら等で延ばしたり、或いは、スクリーン印刷で付着させたりしてもよい。
【００５１】
また、接合工程Ｓ１では、接合しやすくするために接合材を加熱してもよい。
なお、接合材は、接合の際に液状を呈するものが適用される。このような接合材としては、例えば、エポキシ樹脂、嫌気性接着剤及び光硬化型接着剤の混合接着材等の合成樹脂接合材、並びに、ハンダ等の金属接合材を挙げることができる。このうち、金属接合材を接合材に用いる場合には、接合の際に加熱溶融が必要である。この接合材の性質（液状）及び材質、加熱可能性等については、以下の各実施形態及び変形例でも、同様に適用されるものである。
【００５２】
位置決め工程Ｓ２では、図６及び図７に示すように、圧電素子３１，３２の間に補強板３３を介装し、略円筒状の位置決めピン（以下、「ピン」と略す場合がある）Ｐ（Ｐ１，Ｐ２）を用いて、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３の平面位置がずれないように位置決めする。
この際、第１の位置決め部材としてのピンＰ１は、圧電振動体３０の外側で、かつ、当該圧電振動体３０の振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置で、圧電素子３１，３２及び補強板３３のそれぞれに当接するように配置される。詳述すると、ピンＰ１は、当該圧電振動体３０の縦振動時の節Ｄ１、及び、屈曲振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置にそれぞれ配置される。すなわち、ピンＰ１は、圧電振動体３０の周縁において、節Ｄ１，Ｄ２を通り、かつ、当該圧電振動体３０の長手方向に直交する直線上の位置にそれぞれ配置される。なお、ピンＰ１が当接する圧電素子３１，３２及び補強板３３の位置では、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３は略面一となっている。
【００５３】
また、ピンＰ１より小さい直径を有する第２の位置決め部材としてのピンＰ２は、圧電振動体３０の外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。具体的に、ピンＰ２は、圧電振動体３０の長手方向に直交する側面に沿い、かつ、突出部３３２近傍に、圧電素子３１，３２及び補強板３３（更には突出部３３２に）にそれぞれ当接するように配置される。このピンＰ２が当接する圧電素子３１，３２及び補強板３３の位置では、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３は略面一となっている。
なお、本実施形態では、各ピンＰ２は、突出部３３２近傍で、かつ、当該突出部３３２寄りの位置に配置されるが、これに限らず、突出部３３２の近傍であればよい。また、位置決め部材としてのピンＰの断面形状は、円状に限らず、角状などの非円形状であってもよい。
【００５４】
これらピンＰ１，Ｐ２のうち、圧電振動体３０において互いに交差する一対の側面に沿って配置されるピンＰ１，Ｐ２は、当該圧電振動体３０が載置される治具（図示省略）の載置面に沿って摺動自在に設けられている。そして、当該摺動するピンＰ１，Ｐ２が、固定されたピンＰ１，Ｐ２に向かって圧電振動体３０を押圧することで、各ピンＰ１，Ｐ２により、圧電振動体３０が位置決めされる。
【００５５】
接合工程Ｓ３では、図示しない治具により、上方に位置する圧電素子３１を下方に位置する圧電素子３２に向かって加圧して、これら圧電素子３１，３２と補強板３３とを接合する。
この際、圧電素子３１と補強板３３との間、及び、圧電素子３２と補強板３３との間からは、余分な接着剤Ｂが漏出する。このような余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０とピンＰ１，Ｐ２との隙間にて生じる毛細管現象により、当該隙間に集められる。
【００５６】
このうち、長手方向に沿う側面に漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０の周縁におけるピンＰ１に応じた位置、すなわち、圧電振動体３０の周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に集められ、これにより、当該側面における他の位置より多くの接着剤Ｂが保持される保持領域３４が、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に形成される。また、長手方向に直交する側面（幅方向に沿う側面）に漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０の周縁におけるピンＰ２に応じた位置、すなわち、突出部３３２近傍に集められ、これにより、保持領域３５が形成される。すなわち、保持領域３４，３５は、それぞれ、本発明の第１の保持領域及び第２の保持領域に相当する。
以上により、圧電振動体３０が製造される。
【００５７】
以上説明した本実施形態の時計１０によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）圧電素子３１，３２及び補強板３３の接合に際して漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０の周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に集められ、保持される保持領域３４が形成される。これによれば、当該余分な接着剤Ｂが、圧電振動体３０の周縁にばらついて保持されている場合や、当該周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置とは異なる位置（例えば、節Ｄ１，Ｄ２の中間である腹の位置）に多くの接着剤が保持される場合に比べ、当該余分な接着剤Ｂによる圧電振動体３０の振動への影響を低減することができる。従って、圧電振動体３０の振動特性のばらつきを抑制することができる。
また、このような圧電振動体３０を圧電アクチュエータ２０が備えることにより、動作信頼性の高い圧電アクチュエータ２０、ひいては、時計１０を構成することができる。
【００５８】
（２）余分な接着剤Ｂが保持される保持領域３４は、圧電振動体３０と、当該圧電振動体３０の外側で、かつ、振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置されたピンＰ１との隙間で生じる毛細管現象により、当該隙間に形成される。これによれば、当該保持領域３４を、圧電振動体の周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に簡易に形成することができる。従って、振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体３０を効率よく製造することができる。
【００５９】
なお、ピンＰ１を圧電振動体３０から離間させる際に、ピンＰ１の形状、接合材（接着剤）の種類、及び、圧電振動体３０の節の周縁の形状等によっては、ピンＰ１を圧電振動体から離間させると、当該圧電振動体３０の周縁における節に応じた位置に保持された接合材が、ピンＰ１に付着されたまま剥がされて、当該節に応じた位置の接合材が、圧電振動体３０の周縁における他の部分より少なくなる場合も生じうる。しかしながら、このような場合であっても、圧電振動体３０の周縁において接合材が少なくなった位置は、節に応じた位置、すなわち、圧電振動体３０の振幅に影響を及ぼしにくい位置である。従って、前述の場合と同様に、当該圧電振動体３０の振動特性に影響をもたらさないようにすることができ、振動特性のばらつきを抑制することができる圧電振動体３０を製造することができる。
【００６０】
（３）ここで、突出部３３２は、圧電振動体３０にアンバランスを生じさせており、当該圧電振動体３０に縦振動及び屈曲振動を生じさせると、前述のように、突出部３３２が楕円軌道を描くように振動する。しかしながら、当該突出部３３２から離れた位置、すなわち、アンバランスが解消する位置に多くの接着剤が保持されると、突出部３３２の振幅が小さくなり、圧電振動体３０の振動特性が変化する場合がある。
これに対し、ピンＰ２を突出部３３２近傍に配置することで、当該ピンＰ２と圧電振動体３０の周縁との間、すなわち、突出部３３２近傍に、余分な接着剤Ｂが保持される保持領域３５を形成することができる。これによれば、圧電振動体３０のアンバランスを維持することができ、突出部３３２の振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体３０の振動特性に変化が生じることを抑制することができ、当該圧電振動体３０を簡易に、かつ、効率よく製造することができる。
【００６１】
また、このようなピンＰ２を、圧電振動体３０の長手方向に直交する幅方向に沿う側面に沿って配置することで、圧電振動体３０の長手方向の位置決めを容易に行うことができるほか、当該長手方向に沿う側面に沿って配置されるピンＰ１とともに、圧電振動体３０を確実に位置決めすることができる。
【００６２】
〔２．第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ａは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、圧電振動体３０Ａでは、余分な接着剤Ｂを更に突出部３３２に保持させる点で、当該圧電振動体３０Ａと圧電振動体３０とは相違する。なお、以降の説明では、既に説明した部分と同一または略同一である部分については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００６３】
図８は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ａの製造時の状態を示す平面図である。
本実施形態に係る時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ａを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ａは、図８に示すように、圧電素子３１，３２（圧電素子３２については図示省略）と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ａとを備え、これらが接合材としての接着剤により互いに接合された構成を有している。
【００６４】
補強板３３Ａは、前述の補強板３３と同様に、ステンレス鋼等の導電性を有する金属材料により形成されている。この補強板３３Ａは、本体部３３１と、一対の突出部３３２Ａ及び腕部３３３とを備える。このうち、一対の突出部３３２Ａには、本体部３３１寄りの位置に、平面視略円形状の孔部３３２Ａ１が形成されている。この孔部３３２Ａ１には、圧電振動体３０Ａの製造時に、補強板３３Ａを位置決めする第３の位置決め部材としてのピンＰ３が挿通する。
【００６５】
このような圧電振動体３０Ａは、前述の工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。
このうち、位置決め工程Ｓ２では、前述のピンＰ１が、圧電振動体３０での場合と同様に、圧電振動体３０Ａの周縁に沿って配置される。また、ピンＰ１より直径寸法の小さいピンＰ３が、前述の孔部３３２Ａ１を挿通する。これらピンＰ１，Ｐ３により、圧電素子３１，３２及び補強板３３Ａが位置決めされる。
そして、接合工程Ｓ３では、治具（図示省略）により、これら圧電素子３１，３２及び補強板３３Ａが加圧される。これにより、圧電素子３１，３２と補強板３３Ａとの間から余分な接着剤Ｂが漏出し、圧電振動体３０ＡとピンＰ１との間に、当該余分な接着剤Ｂが保持される保持領域３４が形成される。この他、圧電振動体３０ＡとピンＰ３との隙間にも、当該接着剤Ｂが保持される第３の保持領域としての保持領域３６が形成される。
【００６６】
以上説明した本実施形態の時計によれば、前述の効果（１），（２）と同様の効果のほか、以下の効果を奏することができる。
（４）接合工程Ｓ３にて圧電素子３１，３２と補強板３３Ａとの間から漏出した接着剤Ｂは、圧電振動体３０ＡとピンＰ３との隙間にも集められる。すなわち、突出部３３２Ａ近傍の余分な接着剤Ｂを、当該突出部３３２Ａに確実に集めることができる。これによれば、前述の圧電振動体３０の場合と同様に、圧電振動体３０Ａのアンバランスが解消されずに維持することができるので、圧電振動体３０Ａの振動時に、突出部３３２Ａの振幅が小さくなることを抑えることができる。従って、圧電振動体３０Ａの振動特性に変化が生じることを抑制することができ、当該圧電振動体３０Ａの振動特性のばらつきを一層抑制することができる。
【００６７】
また、突出部３３２Ａの孔部３３２Ａ１にピンＰ３を挿通させることで、圧電素子３１，３２及び補強板３３の長手方向の位置決めを容易に行うことができるほか、当該ピンＰ３と圧電振動体３０Ａとの間に保持領域３６を形成するので、振動特性のばらつきを抑えた圧電振動体３０Ａを、容易に製造することができる。従って、当該圧電振動体３０Ａの製造効率を向上することができる。
【００６８】
〔３．第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態の時計について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｂは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備える。しかしながら、圧電振動体３０では、当該圧電振動体３０とピンＰ１，Ｐ２との隙間で生じる毛細管現象により、余分な接着剤Ｂを集めていたのに対し、圧電振動体３０Ｂでは、当該圧電振動体３０Ｂの周縁で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置で、余分な接着剤Ｂを吸引することで保持領域３４を形成する。この点で、当該圧電振動体３０Ｂと、圧電振動体３０とは相違する。
【００６９】
図９は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｂの製造工程を示すフローチャートである。
本実施形態に係る時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｂを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ｂは、圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３とを備え、これらが互いに接合材としての接着剤により接合された構成を有している。この圧電振動体３０Ａは、図９に示すように、工程Ｓ１，Ｓ２Ａ，Ｓ３及びＳ４を経て製造される。
このうち、位置決め工程Ｓ２Ａでは、節以外の周縁部に配置された複数のピンＰにより圧電素子３１，３２及び補強板３３を位置決めする。
【００７０】
図１０は、当該圧電振動体３０Ｂの製造時の状態を示す平面図である。
吸引工程Ｓ４では、接合工程Ｓ３にて圧電素子３１，３２と補強板３３との間から漏出した余分な接着剤Ｂを、複数のノズルＮＺを有する吸引装置により吸引する。この際、各ノズルＮＺは、図１０に示すように、圧電振動体３０Ｂの外側で、かつ、当該圧電振動体３０Ｂの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置される。このため、ノズルＮＺにより吸引された際に、除去しきれなかった接着剤Ｂは、当該圧電振動体３０Ｂの周縁で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置にて保持及び固着され、保持領域３４が形成される。
【００７１】
なお、吸引工程Ｓ４は、接合工程Ｓ３での圧電素子３１，３２及び補強板３３に対する加圧と同時に実施してもよく、或いは、当該加圧の後に実施してもよい。また、治具等による加圧を行わずに、圧電素子３２の上方に位置する補強板３３、更には、当該補強板３３の上方に位置する圧電素子３１の自重による自然加圧を行う場合でも、これらの接合作業中に、吸引工程Ｓ４を実施するようにしてもよい。
【００７２】
以上説明した本実施形態の時計によれば、前述の効果（１）と同様の効果がある。
すなわち、圧電素子３１，３２と補強板３３との間から漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０Ｂの周縁で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置にて吸引される。これによれば、当該余分な接着剤Ｂを圧電振動体３０Ｂの周縁から除去することができるほか、除去しきれなかった場合でも、当該接着剤Ｂを、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に集めることができる。従って、前述の圧電振動体３０と同様に、余分な接着剤Ｂによる圧電振動体３０Ｂの振動への影響を低減することができ、振動特性のばらつきを抑制した圧電振動体３０Ｂを効率よく製造することができる。
【００７３】
〔４．第４実施形態〕
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｃは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、圧電振動体３０では、当該圧電振動体３０の周縁で、かつ、ピンＰ１，Ｐ２との隙間に、余分な接着剤Ｂを保持させたのに対し、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｃでは、余分な接着剤Ｂが保持される構成を補強板に設けた点で、当該圧電振動体３０Ｃと圧電振動体３０とは相違する。
【００７４】
図１１は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｃを示す平面図である。なお、図１１においては、圧電素子３１の図示を省略している。
本実施形態の時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｃを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ｃは、図１１に示すように、圧電素子３１，３２（圧電素子３１については図示省略）と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ｃとを備え、これらが互いに接合材としての接着剤により接合された構成を有している。
【００７５】
補強板３３Ｃは、前述の補強板３３と同様に、ステンレス鋼等の導電性を有する金属材料により形成されており、本体部３３１Ｃと、当該本体部３３１Ｃに一体的に形成された突出部３３２及び腕部３３３とを備えている。
本体部３３１Ｃは、圧電素子３１，３２と平面視の寸法が略同じとなるように設定された前述の本体部３３１より僅かに小さく形成されている。この本体部３３１Ｃの周縁には、圧電振動体３０Ｃの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に、圧電素子３１，３２の外側に突出しない程度に補強板３３Ｃの外辺から、当該外辺に対する直交方向に突出した複数の突部３３１Ｃ１が形成されている。
【００７６】
このため、圧電振動体３０Ｃの製造工程Ｓ１〜Ｓ３における接合工程Ｓ３にて、当該圧電振動体３０Ｃが加圧されると、当該突部３３１Ｃ１の周縁は、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｃとの間から漏出した余分な接着剤Ｂ（図示省略）が溜まる接着剤溜まりとなる。すなわち、補強板３３Ｃの外辺と突部３３１Ｃ１の側辺とが、１８０度以内の角度を持つ窪み部となり、当該窪み部が上記接着剤溜まりとなる。この接着剤溜まりが、接着剤Ｂが圧電振動体３０Ｃの外側に漏出することを防ぐ部位となる。すなわち、これら突部３３１Ｃ１の周縁に、接着剤Ｂが保持される保持領域３４が形成される。
【００７７】
以上説明した本実施形態に係る時計によれば、前述の効果（１）と同様の効果がある。
すなわち、圧電素子３１，３２及び補強板３３Ｃの間から漏出した余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０の周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に形成された突部３３１Ｃ１周縁に集められて保持される。これによれば、当該余分な接着剤Ｂが、圧電振動体３０Ｃの周縁にばらついて保持されている場合や、当該周縁における節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置とは異なる位置に多く保持される場合に比べ、圧電振動体３０Ｃの振動に対する余分な接着剤Ｂの影響を低減することができる。従って、圧電振動体３０Ｃの振動特性のばらつきを抑制することができる。
【００７８】
また、突部３３１Ｃ１の周縁に、余分な接着剤Ｂが溜まる接着剤溜まりが形成されるので、圧電振動体３０ＣとピンＰ１との隙間に集められる接着剤Ｂが少なくなる。これによれば、圧電振動体３０ＣとピンＰ１とを容易に離間することができる。従って、圧電振動体３０Ｃの製造工程を簡略化することができる。
【００７９】
〔５．第５実施形態〕
次に本発明の第５実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｄは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、当該圧電振動体３０では、圧電素子３１，３２と本体部３３１とは略同じ寸法に形成されていたのに対し、圧電振動体３０Ｄは、漏出した接着剤ＢがピンＰ１，Ｐ２に付着しないように、本体部３３１Ｄに凹部が形成されている点において、圧電振動体３０Ｄと圧電振動体３０とは相違する。
【００８０】
図１２は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｄを示す斜視図である。
本実施形態に係る時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｄを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ｄは、図１２に示すように、圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ｄとを備え、これらが互いに接合材としての接着剤により接合された構成を有している。
補強板３３Ｄは、圧電素子３１，３２と略同じ寸法に形成された平面視略矩形の本体部３３１Ｄと、当該本体部３３１Ｄに一体的に形成される一対の突出部３３２及び腕部３３３とを備えている。
【００８１】
このうち、本体部３３１Ｄの周縁には、前述の節Ｄ２に応じた位置に、内側に略半円形状に凹んだ凹部３３１Ｄ１が形成されている。詳述すると、凹部３３１Ｄ１は、補強板３３Ｄの長手方向に直交し、かつ、節Ｄ２を通る直線上に、中心が位置するように形成されている。なお、節Ｄ１に応じた位置に凹部を形成してもよい。
また、当該本体部３３１Ｄの周縁における突出部３３２近傍には、同じく内側に略半円形状に凹んだ凹部３３１Ｄ２が形成されている。詳述すると、凹部３３１Ｄ２は、突出部３３２が形成された側面において、補強板３３Ｄの長手方向に沿い、かつ、節Ｄ２を通る直線上に中心が位置するように形成されている。なお、これに限らず、凹部３３１Ｄ２は、突出部３３２近傍で、かつ、当該突出部３３２寄りの位置に形成されていればよい。また、突出部３３２が側面の略中央に形成されている場合には、凹部は、当該突出部３３２の両側で、かつ、当該突出部３３２から等間隔に形成されていてもよい。
【００８２】
このような圧電振動体３０Ｄは、前述の工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。このうち、位置決め工程Ｓ２では、前述のように、ピンＰ１は、圧電振動体３０Ｄの外側で、かつ、当該圧電振動体３０Ｄの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置される。また、ピンＰ２は、同様に、圧電振動体３０Ｄの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。
【００８３】
接合工程Ｓ３にて、圧電振動体３０Ｄを加圧すると、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｄとの間から余分な接着剤Ｂ（図示省略）が漏出する。この余分な接着剤Ｂは、圧電振動体３０Ｄと、ピンＰ１，Ｐ２との隙間で生じる毛細管現象により、当該各隙間に集められる。この際、本体部３３１Ｄには、各ピンＰ１，Ｐ２に応じて凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２が形成されているので、当該各隙間に集められた接着剤Ｂは、表面張力により凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２内に保持されることとなる。このため、当該接着剤Ｂが、各ピンＰ１，Ｐ２に付着することを防ぐことができる。すなわち、当該凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２は、本発明の第１の保持領域及び第２の保持領域にそれぞれ相当する。
なお、凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２内の接着剤Ｂは、当該凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２以外の圧電振動体３０Ｄの周縁の部位に対して多く保持されることとなるが、当該部位の接着剤Ｂは、一部が凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２内に流入した結果、減量されているので、圧電振動体３０Ｄの振動には影響しない。
【００８４】
以上説明した本実施形態に係る時計によれば、前述の時計１０と同様の効果のほか、以下の効果がある。
（５）圧電振動体３０Ｄの振動時の節Ｄ２に応じて、補強板３３Ｄの周縁に凹部３３１Ｄ１を形成し、また、突出部３３２近傍に凹部３３１Ｄ２を形成したことにより、凹部３３１Ｄ１，３３１Ｄ２内に余分な接着剤Ｂを保持させることができる。これによれば、ピンＰ１，Ｐ２に、余分な接着剤Ｂが付着することを防ぐことができ、製造時にピンＰ１，Ｐ２から圧電振動体３０Ｄを容易に剥離させることができる。従って、当該圧電振動体３０Ｄの製造工程を簡略化することができる。
【００８５】
〔６．第６実施形態〕
次に、本発明の第６実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｅは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、当該圧電振動体３０では、圧電素子３１，３２と本体部３３１とを略同じ寸法で形成したのに対し、圧電振動体３０Ｅでは、圧電素子３１，３２に対して本体部を僅かに小さく形成した点で、当該圧電振動体３０Ｅと圧電振動体３０とは相違する。
【００８６】
図１３及び図１４は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｅを示す平面図及び縦断面図である。
本実施形態に係る時計は、図示を省略するが、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｅを備えるほかは、時計１０と同様の構成を有する。
圧電振動体３０Ｅは、図１３及び図１４に示すように、圧電素子３１，３２（図１３では、圧電素子３２は図示省略）と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ｅとを備え、これらが接合材としての接着剤により互いに接合された構成を有している。
【００８７】
補強板３３Ｅは、圧電素子３１，３２の形状に応じて平面視略長方形状に形成された本体部３３１Ｅと、当該本体部３３１Ｅに一体的に形成された一対の突出部３３２及び腕部３３３とを備える。
このうち、本体部３３１Ｅは、本体部３３１とは異なり、圧電素子３１，３２より僅かに小さく形成されている。このため、互いに中心位置を合わせるように、補強板３３Ｅと圧電素子３１，３２とを接合すると、図１４に示すように、圧電振動体３０Ｅにおける補強板３３Ｅの周縁に対応する位置に、凹部３８Ｅが形成される。
【００８８】
このような圧電振動体３０Ｅは、前述の工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。なお、位置決め工程Ｓ２では、前述のように、ピンＰ１は、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、当該圧電振動体３０Ｅの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置される。また、ピンＰ２は、同様に、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。
ここで、接合工程Ｓ３にて、圧電振動体３０Ｅを加圧すると、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとの間から余分な接着剤Ｂが漏出する。しかしながら、図１４に示すように、当該余分な接着剤Ｂは表面張力により凹部３８Ｅ内に保持されるため、圧電振動体３０Ｅを位置決めするピンＰ１，Ｐ２（図示省略）に付着しない。
【００８９】
以上説明した本実施形態に係る圧電振動体３０Ｆによれば、以下の効果がある。
（６）製造された圧電振動体３０ＥとピンＰ１，Ｐ２との剥離を容易に行うことができるので、当該圧電振動体３０Ｅ、ひいては、圧電アクチュエータ及び時計の製造を簡略化することができる。
ここで、前述の特許文献１に記載の製造方法では、前述のように、接合材として接着剤を用いて圧電振動体を製造すると、余分な接着剤が圧電素子及び補強板の周縁に漏出して固着する。このような場合、圧電振動体と位置決めピンとの剥離が煩雑となり、当該圧電振動体の製造効率が低下する。
【００９０】
これに対し、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｅは、電極３１０，３２０が設けられる圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２が積層される補強板３３Ｅとを有し、当該電極３１０，３２０への電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０Ｅであって、当該圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとは、互いに接合材（接着剤Ｂ）により接合され、当該圧電振動体３０Ｅの周縁には、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとの間と連通する凹部３８Ｅが形成されている。
【００９１】
これによれば、位置決め工程Ｓ２にて位置決めされた圧電振動体３０Ｅに対して、接合工程Ｓ３にて加圧した際に、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとの間から接着剤Ｂが漏出した場合でも、表面張力により、当該接着剤Ｂを凹部３８Ｅ内に保持させることができる。このため、当該圧電振動体３０Ｅに当接されるピンＰ１，Ｐ２に、当該接着剤Ｂが付着することを防ぐことができ、ピンＰ１，Ｐ２と、製造された圧電振動体３０Ｅとの剥離を容易に行うことができる。従って、圧電振動体３０Ｅ、ひいては、圧電アクチュエータ及び時計の製造を簡略化することができる。
【００９２】
ここで、これら補強板３３Ｅと圧電素子３１，３２との間で生じる剥離は、これらの周縁から生じることが多い。これに対し、圧電振動体３０Ｅの周縁に、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｅとの間と連通し、接着剤溜まりとなる凹部３８Ｅが形成されていることにより、当該圧電素子３１，３２と補強板３３とのそれぞれの周縁における接合強度を向上することができるので、これらの間での剥離を生じにくくすることができる。従って、圧電振動体３０Ｅの劣化を生じにくくすることができるほか、当該圧電振動体３０Ｅの動作信頼性を向上することができる。
【００９３】
（７）凹部３８Ｅは、補強板３３Ｅの寸法を圧電素子３１，３２の寸法に対して小さくすることにより形成されるので、当該凹部３８Ｅを容易に形成することができる。従って、圧電振動体３０Ｅの構成を簡略化しつつ、当該圧電振動体３０Ｅの製造工程を簡略化することができる。
【００９４】
図１５及び図１６は、本実施形態に係る圧電振動体３０Ｅの変形である圧電振動体３０Ｆを示す平面図及び断面図である。
なお、本実施形態では、圧電素子３１，３２に対して補強板３３Ｅを小さく形成することで、これらが接合された際に接着剤溜まりとなる凹部３８Ｅを形成したが、これに限らず、圧電素子に対して補強板を大きく形成することで凹部を形成してもよい。
例えば、図１５及び図１６に示す圧電振動体３０Ｆは、圧電素子３１，３２（図１５では、圧電素子３２は図示省略）と、当該圧電素子３１，３２間に介装される補強板３３Ｆとを備え、これらが接合材としての接着剤により互いに接合された構成を有している。
【００９５】
補強板３３Ｆは、平面視略長方形状の本体部３３１Ｆと、当該本体部３３１Ｆに一体的に形成された一対の突出部３３２及び腕部３３３とを備える。
本体部３３１Ｆは、圧電素子３１，３２より僅かに大きく形成されている。このため、本体部３３１Ｆは、補強板３３Ｆに対する圧電素子３１，３２の積層方向に対する直交方向に、圧電素子３１，３２から突出する。この本体部３３１Ｆの突出により、圧電振動体３０Ｆには、本体部３３１Ｆにおける圧電素子３１側及び圧電素子３２側に、当該本体部３３１Ｆより凹んだ凹部３８Ｆがそれぞれ形成される。
【００９６】
このような圧電振動体３０Ｆの製造工程Ｓ１〜Ｓ３のうち、接合工程Ｓ３にて圧電振動体３０Ｆを加圧すると、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｆとの間から余分な接着剤Ｂが漏出する。しかしながら、図１６に示すように、当該余分な接着剤Ｂは、表面張力により凹部３８Ｆに保持されるため、圧電振動体３０Ｆを位置決めするピンＰ１，Ｐ２に付着しない。
【００９７】
以上説明した圧電振動体３０Ｆによれば、前述の効果（６）と同様の効果のほか、以下の効果がある。
（８）凹部３８Ｆは、補強板３３Ｆの本体部３３１Ｆを圧電素子３１，３２より大きく形成することにより形成されるので、当該凹部３８Ｆを容易に形成することができる。従って、圧電振動体３０Ｆの構成を簡略化しつつ、当該圧電振動体３０Ｆの製造工程を簡略化することができる。
【００９８】
〔７．第７実施形態〕
次に、本発明に係る第７実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｇは、前述の圧電振動体３０Ｅと同様の構成を備えるが、圧電振動体３０Ｅでは、圧電素子３１，３２より本体部３３１Ｅを小さく形成することで凹部３８Ｅを形成したが、圧電振動体３０Ｇでは、本体部を切り欠くことで凹部を形成する点で、圧電振動体３０Ｇと圧電振動体３０Ｅとは相違する。
【００９９】
図１７は、本実施形態に係る時計が備える圧電振動体３０Ｇを示す縦断面図である。
本実施形態に係る時計は、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｇを備えるほかは、前述の時計１０と同様の構成を備える。
圧電振動体３０Ｇは、図１７に示すように、圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２の間に介装される補強板３３Ｇとを備えている。
補強板３３Ｇは、本体部３３１Ｇと、当該本体部３３１Ｇに一体的に形成される一対の突出部３３２及び腕部３３３（ともに図示省略）とを備えている。
【０１００】
本体部３３１Ｇは、平面視した際の寸法が圧電素子３１，３２と略同じとなるように形成されている。この本体部３３１Ｇにおける圧電素子３１，３２に対向する各面の周縁には、傾斜部３３１Ｇ１が面押し加工により形成されている。このため、本体部３３１Ｇの周縁には、圧電素子３１，３２と接合された際に、当該圧電素子３１，３２との間に断面視略三角形状の凹部３８Ｇがそれぞれ形成される。
これら凹部３８Ｇ内には、前述の製造工程Ｓ１〜Ｓ３のうち接合工程Ｓ３にて、圧電振動体３０Ｇが加圧された際に漏出する余分な接着剤Ｂが、表面張力により保持される。このため、圧電振動体３０Ｇの外側で、かつ、振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置されることで圧電振動体３０Ｇを位置決めするピンＰ１、及び、同じく圧電振動体３０Ｇの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置されることで圧電振動体３０Ｇを位置決めするピンＰ２に、接着剤Ｂが付着しない。
以上説明した本実施形態に係る時計によれば、前述の効果（６）と同様の効果がある。
【０１０１】
図１８から図２０は、本実施形態の変形である圧電振動体３０Ｈ，３０Ｉ，３０Ｊをそれぞれ示す縦断面図である。
なお、本実施形態では、本体部３３１Ｇの周縁に傾斜部３３１Ｇ１を形成して、圧電素子３１，３２と補強板３３Ｇとを組合せた際に、当該本体部３３１Ｇの周縁に凹部３８Ｇを形成したが、当該凹部を他の構成により形成してもよい。
例えば、図１８に示す圧電振動体３０Ｈのように、圧電素子３１，３２と同様の構成を有する圧電素子３１Ｈ，３２Ｈに傾斜部３１２，３２２をダイシング加工により形成し、当該圧電素子３１Ｈ，３２Ｈと補強板３３とを組み合わせることで、接着剤溜まりとなる凹部３８Ｈを形成してもよい。
【０１０２】
また、図１９に示す圧電振動体３０Ｉのように、圧電素子３１，３２と同様の構成を有する圧電素子３１Ｉ，３２Ｉにおける補強板３３に対向する面の周縁に段差部３１３，３２３を形成したり、或いは、図２０に示す圧電振動体３０Ｊのように、補強板３３Ｊの本体部３３１Ｊにおける圧電素子３１，３２に対向する面の周縁に段差部３３１Ｊ１を形成したりすることで、余分な接着剤が保持される凹部３８Ｉ，３８Ｊを形成してもよい。
これら圧電振動体３０Ｈ〜３０Ｊによっても、前述の圧電振動体３０Ｇと同様の効果がある。
【０１０３】
〔８．第８実施形態〕
次に、本発明の第８実施形態について説明する。
本実施形態に係る圧電振動体３０Ｋは、前述の圧電振動体３０と同様の構成を備えるが、当該圧電振動体３０は、漏出した余分な接着剤Ｂを当該圧電振動体３０の側面にて保持していたのに対し、圧電振動体３０Ｋは、当該余分な接着剤Ｂが、各圧電素子の表面（電極３１０，３２０が形成される実装面）に付着しづらくする構成を有している点で、当該圧電振動体３０Ｋと圧電振動体３０とは相違する。
【０１０４】
図２１は、本実施形態に係る時計が備える圧電振動体３０Ｋを示す縦断面図である。
本実施形態に係る時計は、圧電振動体３０に代えて圧電振動体３０Ｋを備えるほかは、前述の時計１０と同様の構成を備えている。
この圧電振動体３０Ｋは、図２１に示すように、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋと、これらの間に介装される補強板３３とを備えている。
このうち、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋは、圧電素子３１，３２とそれぞれ同様の構成及び寸法を有するほか、当該圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの表面（補強板３３に対向する側とは反対側の面）の周縁には、傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１が面押し加工により形成されている。
【０１０５】
このような圧電振動体３０Ｋは、前述の製造工程Ｓ１〜Ｓ３を経て製造される。なお、位置決め工程Ｓ２では、前述のように、ピンＰ１は、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、当該圧電振動体３０Ｅの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置される。また、ピンＰ２は、同様に、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。
【０１０６】
ここで、接合工程Ｓ３にて、圧電振動体３０Ｋを治具Ｊ２により加圧すると、当該圧電振動体３０ＫとピンＰ１，Ｐ２との隙間で生じる毛細管現象により、当該隙間に余分な接着剤Ｂが集められ、前述の保持領域３４，３５（図２１では、ともに図示省略）が形成される。この保持領域３４，３５に保持される接着剤Ｂは、量が多い場合には、ピンＰ１，Ｐ２に沿って圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの補強板３３に対する積層方向に流れてしまう。
しかしながら、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの表面、すなわち、電極３１０，３２０が形成される実装面の周縁に傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１が形成されているので、表面張力により、当該余分な接着剤Ｂは、傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１に留まって固着される。
【０１０７】
以上説明した本実施形態に係る圧電振動体３０Ｋによれば、前述の効果（１）〜（３）と同様の効果のほか、以下の効果がある。
（９）前述の特許文献１に記載の製造方法においては、接合材として接着剤を用いて圧電振動体を製造すると、余分な接着剤が圧電素子及び補強板の周縁に漏出する。この際、当該余分な接着剤の量が多い場合には、圧電振動体の周縁及び位置決めピンに沿って当該余分な接着剤が圧電振動体の表面に付着する可能性がある。このような圧電振動体の表面には電極が形成されるので、当該接着剤が圧電振動体の表面に付着すると、電極の形成、及び、圧電振動体の振動に悪影響を及ぼすという問題がある。このため、接着剤が圧電振動体（より詳しくは圧電素子）の表面に付着しづらい構成が要望されてきた。
【０１０８】
これに対し、本実施形態の圧電振動体３０Ｋは、電極３１０，３２０が設けられる圧電素子３１Ｋ，３２Ｋと、当該圧電素子３１Ｋ，３２Ｋが積層される補強板３３とを有し、当該電極３１０，３２０への電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０Ｋであって、当該圧電素子３１Ｋ，３２Ｋと補強板３３とは、互いに接合材（接着剤Ｂ）により接合され、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの少なくとも一方における補強板３３に対向する面とは反対側の面には、中心から周縁に向かうに従って補強板３３に近接する傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１が形成されている。
【０１０９】
これによれば、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋと補強板３３との間から漏出した余分な接着剤Ｂが、ピンＰ１，Ｐ２に沿って圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの補強板３３に対する積層方向に流出した場合でも、表面張力により、当該接着剤Ｂを傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１に留まらせることができる。従って、電極３１０，３２０の実装面に接着剤Ｂが付着しないので、電極３１０，３２０の実装、及び、圧電振動体３０Ｋの振動に対する接着剤Ｂの影響を確実に低減させることができる。また、このような傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１は面押し加工により形成されるので、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋに簡易に形成することができる。
【０１１０】
〔９．第９実施形態〕
次に、本発明の第９実施形態について説明する。
前記した第８実施形態では、余分な接着剤Ｂが圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの表面に付着しないように、当該圧電素子３１Ｋ，３２Ｋに傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１を形成したが、本実施形態では、治具に凹部を形成することで、圧電素子の表面における電極の形成領域に接着剤が付着しないようにしている点で、本実施形態と第８実施形態とは相違する。
【０１１１】
図２２は、圧電振動体３０の製造に用いられる本実施形態に係る治具Ｊ２，Ｊ３を示す縦断面図である。
本実施形態に係る治具Ｊ２，Ｊ３は、前述の圧電振動体３０を製造する際（具体的には、前述の位置決め工程Ｓ２）に用いられる治具である。このうち、治具Ｊ２は、治具Ｊ３上に載置された圧電振動体３０のうち、圧電素子３１を加圧して、圧電素子３１，３２及び補強板３３を互いに接合させる。
【０１１２】
治具Ｊ３には、図２２に示すように、凹部Ｊ３１が形成されている。この凹部Ｊ３１内には、当該凹部Ｊ３１の端縁から所定の間隔を隔ててピンＰ１又はピンＰ２が立設されている。この所定の間隔は、圧電素子３２の表面（補強板３３に対向する側とは反対側の面）における周縁から、電極３２０が形成される領域（電極形成領域）までの寸法より短く設定されている。なお、ピンＰ１は、前述のように、圧電振動体３０の外側で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に配置され、ピンＰ２は、圧電振動体３０Ｅの外側で、かつ、突出部３３２近傍に配置される。
【０１１３】
以上説明した本実施形態に係る圧電振動体及び治具Ｊ２，Ｊ３より、前述の（１）〜（３）と同様の効果を奏することができるほか、以下の効果を奏することができる。
（１０）前述の特許文献１に記載の製造方法においては、接合材として接着剤を用いて圧電振動体を製造すると、前述のように、圧電素子と補強板との間から漏出した余分な接着剤が、電極形成領域に付着する可能性がある。この場合、電極の形成、及び、圧電振動体の振動に悪影響を及ぼすという問題がある。
【０１１４】
これに対し、本実施形態に係る治具Ｊ２，Ｊ３は、電極３１０，３２０が設けられる圧電素子３１，３２と、当該圧電素子３１，３２が積層される補強板３３とを有し、当該電極３１０，３２０への電圧印加に応じて振動する圧電振動体３０の製造に用いられる治具であって、当該圧電振動体３０が載置される第１の治具Ｊ３と、載置された圧電振動体３０を治具Ｊ３に向かって加圧する第２の治具Ｊ２とを備え、各治具Ｊ２，Ｊ３の少なくともいずれか一方には、載置された圧電振動体３０の周縁の少なくとも一部に応じた位置に形成された凹部Ｊ３１を有する。なお、凹部Ｊ３１は、本実施形態では、治具Ｊ３に形成されている。
【０１１５】
これによれば、余分な接着剤Ｂが圧電振動体３０の側面に沿って流出した場合に、当該接着剤Ｂが凹部Ｊ３１内に流れるので、圧電素子３２の表面における電極３２０が形成される領域に付着しにくくすることができる。従って、当該余分な接着剤Ｂが、電極の形成、及び、圧電振動体の振動に対して悪影響を及ぼすことを抑制することができる。
【０１１６】
また、当該凹部Ｊ３１内には、ピンＰ１，Ｐ２が立設され、当該ピンＰ１，Ｐ２と凹部Ｊ３１の端縁とは、当該凹部Ｊ３１が形成された治具Ｊ３に当接する圧電素子３２の面（表面）における周縁から、電極３２０の形成領域までの距離より小さい間隔で離間している。
これによれば、各ピンＰ１，Ｐ２と凹部Ｊ３１の端縁との距離が、圧電素子３２の表面の周縁から電極形成領域に至る距離より短いので、当該周縁に当接するピンＰ１，Ｐ２に沿って流出した余分な接着剤Ｂが、当該電極形成領域に到達することを防ぐことができる。従って、当該余分な接着剤Ｂが、電極の形成、及び、圧電振動体の振動に対して悪影響を及ぼすことを確実に抑制することができる。
【０１１７】
図２３は、本実施形態に係る治具Ｊ２，Ｊ３の変形である治具Ｊ１，Ｊ４を示す縦断面図である。
なお、図２３に示すように、前述の凹部Ｊ３１と同様の凹部Ｊ４１を、圧電振動体３０を加圧する側の治具Ｊ４に形成してもよい。このような場合、治具Ｊ４が圧電素子３１の表面（補強板３３に対向する側とは反対側の面）に当接した際に、当該表面における電極３１０の形成領域より外側に、凹部Ｊ４１の開口端が位置していれば、当該形成領域に接着剤が付着することを確実に抑制することができる。
【０１１８】
〔１０．実施形態の変形〕
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、圧電振動体３０，３０Ａ〜３０Ｋは、電極３１０，３２０に対する電圧印加により、縦振動及び屈曲振動を行うとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、縦振動及び屈曲振動のいずれか一方を行うのみでもよい。
また、前記各実施形態では、接合材として接着剤を挙げたが、これに限らず、前述のように、はんだ等の他の接合材を採用してもよい。
【０１１９】
前記各実施形態では、接合工程Ｓ３においては、圧電素子及び補強板を、これらの積層方向に沿って治具により加圧するとしたが、本発明はこれに限らない。例えば、治具上に載置される圧電素子の上方に位置する補強板、及び、当該補強板の上方に位置する圧電素子の自重による自然加圧を行うことで、これら圧電素子及び補強板を互いに接合するようにしてもよい。
【０１２０】
前記第１及び第２実施形態では、ピンＰ１を圧電振動体３０，３０Ａの振動時の節Ｄ１，Ｄ２に応じて、それぞれ配置したが、本発明はこれに限らない。すなわち、これら節Ｄ１，Ｄ２のいずれかに応じて位置決め部材としてのピンが配置されるのであれば、当該ピンの数は問わない。また、ピンＰ１のみを用いて圧電振動体を位置決めしてもよく、或いは、ピンＰ１と、ピンＰ２，Ｐ３とを組み合わせて位置決めしてもよい。
【０１２１】
また、前記第３実施形態では、圧電振動体３０Ｂの周縁で、かつ、節Ｄ１，Ｄ２に応じた位置に応じてノズルＮＺを配置し、当該ノズルＮＺにより、余分な接着剤Ｂを吸引するとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、圧電振動体の周縁で、かつ、少なくとも１つの節に応じて位置で余分な接着剤を吸引するのであれば、吸引する箇所及びノズルの数は、適宜設定してよい。
【０１２２】
更に、前記第４実施形態では、節Ｄ１，Ｄ２に応じた補強板３３Ｃの周縁に、それぞれ突部３３１Ｃ１を形成するとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、補強板の周縁で、かつ、少なくともいずれかの節に応じた位置に突部が形成されていれば、当該突部の数及び形状は問わない。
【０１２３】
前記第５実施形態では、節Ｄ１，Ｄ２に応じた補強板３３Ｄの周縁に、略半円形状の凹部３３１Ｄ１を形成した。しかしながら、これに限らず、当該節Ｄ１，Ｄ２の少なくともいずれかに応じた位置に、内側に凹んだ凹部が形成されていればよい。また、凹部の形状も半円形状に限らず、他の形状としてもよい。
【０１２４】
前記第６実施形態では、圧電素子３１，３２に対して、本体部３３１Ｅ，３３１Ｆを大きく又は小さく形成した。しかしながら、これに限らず、本体部の周縁における節Ｄ１，Ｄ２の少なくともいずれかに応じた位置が、圧電素子３１，３２に対して大きく又は小さく形成されていれば、当該本体部の周縁の全てが、圧電素子３１，３２の側面から突出又は没入していなくてもよい。
【０１２５】
前記第７実施形態では、圧電素子又は本体部の周縁にわたって、凹部３８Ｇ〜３８Ｊを形成するとした。しかしながら、これに限らず、本体部の周縁における節Ｄ１，Ｄ２の少なくともいずれかに応じた位置に凹部が形成されていれば、当該本体部の周縁の全てにわたって凹部が形成されていなくてもよい。
【０１２６】
前記第８実施形態では、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの周縁に、傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１を形成することで、漏出した余分な接着剤Ｂが、圧電素子３１Ｋ，３２Ｋの表面の電極形成領域に付着しないようにした。しかしながら、これに限らず、傾斜部３１Ｋ１，３２Ｋ１に代えて、段差を形成するなどして、当該余分な接着剤Ｂの接着剤溜まりとなる凹部を形成してもよい。
【０１２７】
前記第９実施形態では、圧電振動体３０の下方に配置され、凹部Ｊ３１が形成された治具Ｊ３と、圧電振動体３０の上方に配置され、凹部Ｊ４１が形成された治具Ｊ４とを、それぞれ別に利用していたが、これらを組み合わせて利用してもよい。
また、当該凹部Ｊ３１，Ｊ４１の幅寸法は、圧電素子の表面における周縁から電極形成領域に至るまでの距離より短く設定されているとしたが、これに限らず、適宜設定してよい。
【０１２８】
前記各実施形態では、圧電素子の表面及び裏面に形成された電極は、当該表面の略全面、及び、当該裏面の略全面にそれぞれ形成されていたが、本発明はこれに限らない。すなわち、圧電素子に形成される電極の構成は、適宜設定することができる。
例えば、圧電素子の表面の電極は、平面中心を中心として４等分に分割された部分電極であってもよい。この場合、一方の対角方向の２つの電極に駆動信号を印加する場合と、他方の対角方向の２つの電極に駆動信号を印加する場合とで選択駆動することにより、突出部３３２の楕円運動の方向を互いに逆転させることができる。この場合の突出部は、平面視略長方形の本体部３３１の場合には、当該本体部３３１の短辺（長手方向に直交する辺）の側面に形成されているが、短辺の幅方向中央部に形成されていてもよく、更には、当該幅方向中央部から長辺側に変位した変位位置に形成されていてもよい。なお、上記部分電極は、４分割以外であってもよく、例えば、５分割であってもよい。
また、前記各実施形態では、圧電振動体の振動形態は、縦振動及び屈曲振動の両者がそれぞれ行われる場合を中心に説明したが、どちらか一方の振動形態、例えば、縦振動を行う場合にも適用できるものである。
【０１２９】
前記各実施形態では、突出部３３２，３３２Ａは、圧電振動体を平面視した際の短辺（長手方向に直交する辺）となる側面の長辺寄りの端部に形成されるとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、突出部の位置は、当該側面の中央でも、中央から長辺寄りの位置に形成されていてもよく、或いは、長辺となる側面に形成されていてもよい。
なお、突出部が、当該短辺となる側面の幅方向の中央に形成されている場合に、第２の位置決め部材としてのピンＰ２を用いる場合には、当該ピンＰ２を、突出部の両側で、かつ、当該突出部から等間隔に配置すれば、当該突出部の両側に、余分な接合材が保持される第２の保持領域を形成することができる。従って、圧電振動体にアンバランスをもたらさずに、所望の振動を維持させることができる。
また、同様に、孔部を有する突出部が当該短辺となる側面の幅方向の中央に形成されている場合に、第３の位置決め部材としてのピンＰ３を用いる場合には、余分な接合材が保持される第３の保持領域も、突出部の形成位置、すなわち、当該側面の幅方向の中央に形成することができる。従って、圧電振動体にアンバランスをもたらさずに、所望の振動を維持させることができる。
【０１３０】
前記各実施形態では、圧電振動体３０，３０Ａ〜３０Ｋのいずれかを備える圧電アクチュエータ２０は、時計１０に用いられるとしたが、本発明はこれに限らない。例えば、カメラ及びプリンタ等の電子機器に、本発明の圧電振動体及び圧電アクチュエータを適用することも可能である。
また、前記各実施形態に係る圧電振動体３０，３０Ａ〜３０Ｋで挙げた構成を、１つの圧電振動体に組み合わせて採用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る時計を示す平面図。
【図２】前記実施形態における圧電アクチュエータ及び減速輪列を示す模式図。
【図３】前記実施形態における圧電振動体を示す概要斜視図。
【図４】前記実施形態における圧電振動体の振動時の節を示す図。
【図５】前記実施形態における圧電振動体の製造工程を示すフローチャート。
【図６】前記実施形態における圧電振動体の製造時の状態を示す平面図。
【図７】前記実施形態における圧電振動体の製造時の状態を示す斜視図。
【図８】本発明の第２実施形態に係る圧電振動体の製造時の状態を示す平面図。
【図９】本発明の第３実施形態に係る圧電振動体の製造工程を示すフローチャート。
【図１０】前記実施形態における圧電振動体の製造時の状態を示す平面図。
【図１１】本発明の第４実施形態に係る圧電振動体を示す平面図。
【図１２】本発明の第５実施形態に係る圧電振動体を示す斜視図。
【図１３】本発明の第６実施形態に係る圧電振動体を示す平面図。
【図１４】前記実施形態における圧電振動体を示す縦断面図。
【図１５】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す平面図。
【図１６】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す縦断面図。
【図１７】本発明の第７実施形態に係る圧電振動体を示す縦断面図。
【図１８】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す縦断面図。
【図１９】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す縦断面図。
【図２０】前記実施形態の変形である圧電振動体を示す縦断面図。
【図２１】本発明の第８実施形態に係る圧電振動体を示す縦断面図。
【図２２】本発明の第９実施形態に係る治具を示す縦断面図。
【図２３】前記実施形態の変形である治具を示す縦断面図。
【符号の説明】
【０１３２】
１０…時計（電子機器）、２０…圧電アクチュエータ、３０，３０Ａ〜３０Ｋ…圧電振動体、３１，３１Ｈ，３１Ｉ，３１Ｋ，３２，３２Ｈ，３２Ｉ,３２Ｋ…圧電素子、３３，３３Ａ，３３Ｃ〜３３Ｇ，３３Ｊ…補強板、３４…保持領域（第１の保持領域）、３５…保持領域（第２の保持領域）、３６…保持領域（第３の保持領域）、４０…ロータ（被駆動体）、３１０，３２０…電極、３３２，３３２Ａ…突出部、３３２Ａ１…孔部、３３１Ｄ１…凹部（第１の保持領域）、３３１Ｄ２…凹部（第２の保持領域）、Ｂ…接着剤、Ｄ１，Ｄ２…節、Ｐ１…ピン（第１の位置決め部材）、Ｐ２…ピン（第２の位置決め部材）、Ｐ３…ピン（第３の位置決め部材）、Ｓ１…接合材付着工程、Ｓ２，Ｓ２Ａ…位置決め工程、Ｓ３…接合工程、Ｓ４…吸引工程。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体であって、
前記圧電素子と前記補強板とは、互いに接合材により接合され、
当該圧電振動体は、周縁における当該圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に、他の位置より多くの前記接合材が保持される第１の保持領域を有することを特徴とする圧電振動体。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電振動体において、
前記圧電素子及び前記補強板は、互いに接合される際に、当該圧電振動体の外側で、かつ、前記節に応じた位置に配置される第１の位置決め部材により位置決めされ、
前記第１の保持領域は、前記第１の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間に形成されることを特徴とする圧電振動体。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の圧電振動体において、
前記補強板は、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部を備え、
前記圧電素子及び前記補強板は、互いに接合される際に、当該圧電振動体の外側で、かつ、前記突出部近傍に配置される第２の位置決め部材により位置決めされ、
前記第２の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間には、前記接合材が保持される第２の保持領域が形成されることを特徴とする圧電振動体。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずかに記載の圧電振動体において、
前記補強板は、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部を備え、
前記突出部は、前記圧電素子と前記補強板とが接合される際に、これらを位置決めする第３の位置決め部材が挿通する孔部を有し、
前記第３の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間には、前記接合材が保持される第３の保持領域が形成されることを特徴とする圧電振動体。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の圧電振動体と、当該圧電振動体の振動により駆動される被駆動体とを備えることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項５に記載の圧電アクチュエータを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項７】
電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、
前記圧電素子及び前記補強板の少なくとも一方における他方に対向する面に、接合材を付着させる接合材付着工程と、
前記圧電振動体の外側で、かつ、前記圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に第１の位置決め部材を配置して、前記圧電素子及び前記補強板を位置決めする位置決め工程と、
前記圧電素子及び前記補強板を互いに接合させる接合工程と、
を有することを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の圧電振動体の製造方法において、
前記位置決め工程では、前記補強板に形成され、かつ、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部近傍に第２の位置決め部材を配置して、前記第１の位置決め部材とともに、前記圧電素子と前記補強板とを位置決めすることを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載の圧電振動体の製造方法において、
前記位置決め工程では、前記補強板に形成され、かつ、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部が有する孔部に第３の位置決め部材を挿通させて、前記第１の位置決め部材とともに、前記圧電素子と前記補強板とを位置決めすることを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項１０】
電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、
前記圧電素子及び前記補強板の少なくとも一方における他方に対向する面に、接合材を付着させる接合材付着工程と、
前記圧電素子及び前記補強板を前記接合材により接合させる接合工程と、
前記圧電素子及び前記補強板の周縁における当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置で、前記接合材を吸引する吸引工程と、を有することを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項１】
電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体であって、
前記圧電素子と前記補強板とは、互いに接合材により接合され、
当該圧電振動体は、周縁における当該圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に、他の位置より多くの前記接合材が保持される第１の保持領域を有することを特徴とする圧電振動体。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電振動体において、
前記圧電素子及び前記補強板は、互いに接合される際に、当該圧電振動体の外側で、かつ、前記節に応じた位置に配置される第１の位置決め部材により位置決めされ、
前記第１の保持領域は、前記第１の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間に形成されることを特徴とする圧電振動体。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の圧電振動体において、
前記補強板は、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部を備え、
前記圧電素子及び前記補強板は、互いに接合される際に、当該圧電振動体の外側で、かつ、前記突出部近傍に配置される第２の位置決め部材により位置決めされ、
前記第２の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間には、前記接合材が保持される第２の保持領域が形成されることを特徴とする圧電振動体。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずかに記載の圧電振動体において、
前記補強板は、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部を備え、
前記突出部は、前記圧電素子と前記補強板とが接合される際に、これらを位置決めする第３の位置決め部材が挿通する孔部を有し、
前記第３の位置決め部材と、当該圧電振動体の周縁との間には、前記接合材が保持される第３の保持領域が形成されることを特徴とする圧電振動体。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の圧電振動体と、当該圧電振動体の振動により駆動される被駆動体とを備えることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項５に記載の圧電アクチュエータを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項７】
電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、
前記圧電素子及び前記補強板の少なくとも一方における他方に対向する面に、接合材を付着させる接合材付着工程と、
前記圧電振動体の外側で、かつ、前記圧電振動体の振動時の節の少なくともいずれかに応じた位置に第１の位置決め部材を配置して、前記圧電素子及び前記補強板を位置決めする位置決め工程と、
前記圧電素子及び前記補強板を互いに接合させる接合工程と、
を有することを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の圧電振動体の製造方法において、
前記位置決め工程では、前記補強板に形成され、かつ、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部近傍に第２の位置決め部材を配置して、前記第１の位置決め部材とともに、前記圧電素子と前記補強板とを位置決めすることを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載の圧電振動体の製造方法において、
前記位置決め工程では、前記補強板に形成され、かつ、接合される前記圧電素子より外側に突出する突出部が有する孔部に第３の位置決め部材を挿通させて、前記第１の位置決め部材とともに、前記圧電素子と前記補強板とを位置決めすることを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【請求項１０】
電極が設けられる圧電素子と、当該圧電素子が積層される補強板とを有し、前記電極への電圧印加に応じて振動する圧電振動体の製造方法であって、
前記圧電素子及び前記補強板の少なくとも一方における他方に対向する面に、接合材を付着させる接合材付着工程と、
前記圧電素子及び前記補強板を前記接合材により接合させる接合工程と、
前記圧電素子及び前記補強板の周縁における当該圧電振動体の振動時の節に応じた位置で、前記接合材を吸引する吸引工程と、を有することを特徴とする圧電振動体の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【公開番号】特開２０１０−１４８１８７（Ｐ２０１０−１４８１８７Ａ）
【公開日】平成２２年７月１日（２０１０．７．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−３２０５０３（Ｐ２００８−３２０５０３）
【出願日】平成２０年１２月１７日（２００８．１２．１７）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年７月１日（２０１０．７．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１２月１７日（２００８．１２．１７）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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