基板収納容器
【課題】例えガスケットが長時間容器本体と蓋体との間に介在しても、容器本体にガスケットが貼り付いて蓋体の開放に支障を来たすのを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】２枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の横長に開口した正面部に着脱自在に嵌合する蓋体２０とを備え、容器本体１の正面部内に、高平滑性や耐磨耗性に優れるダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングし、蓋体２０の裏面周縁部には、容器本体１のダイヤモンドライクカーボン層１２に接触する弾性変形可能なガスケット２８を嵌合する。容器本体１の正面部内に高平滑性のダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングするので、容器本体１に蓋体２０のガスケット２８が貼り付くことがなく、蓋体２０の開放に支障を来たすのを抑制防止することができる。
【解決手段】２枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の横長に開口した正面部に着脱自在に嵌合する蓋体２０とを備え、容器本体１の正面部内に、高平滑性や耐磨耗性に優れるダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングし、蓋体２０の裏面周縁部には、容器本体１のダイヤモンドライクカーボン層１２に接触する弾性変形可能なガスケット２８を嵌合する。容器本体１の正面部内に高平滑性のダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングするので、容器本体１に蓋体２０のガスケット２８が貼り付くことがなく、蓋体２０の開放に支障を来たすのを抑制防止することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納する基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ウェーハを収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口した正面部を開閉する着脱自在の蓋体と、この蓋体に嵌合される弾性変形可能なガスケットとを備えて構成されている（特許文献１、２参照）。
ガスケットは、所定のエラストマーを含む成形材料を使用して低硬度のエンドレスに成形され、容器本体の正面部内周と蓋体の周縁部との間に介在して気密性や密封性を確保するよう機能する。
【特許文献１】特開２００６‐３０３２６１号公報
【特許文献２】特開２００５‐３５３８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、ガスケットが柔軟性、気密性、密封性を確保する観点から低硬度のエンドレスに成形されているので、ガスケットが長時間、容器本体の正面部内周と蓋体との間に介在すると、容器本体にガスケットが密着して貼り付き、蓋体の開放に支障を来たすという問題がある。
【０００４】
本発明は上記に鑑みなされたもので、例えガスケットが長時間容器本体と蓋体との間に介在しても、容器本体にガスケットが貼り付いて蓋体の開放に支障を来たすのを抑制することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口部に着脱自在の蓋体を嵌め合わせるものであって、
容器本体の開口部内に形成されるダイヤモンドライクカーボン層と、蓋体に嵌め合わされて容器本体と蓋体との間に介在し、容器本体のダイヤモンドライクカーボン層に接触する弾性変形可能なガスケットとを含んでなることを特徴としている。
【０００６】
なお、容器本体を、３枚以下の基板を収納する背の低いフロントオープンボックスタイプとしてその横長の正面部を開口部とし、この容器本体の正面部の内周にダイヤモンドライクカーボン層をコーティングすることができる。
また、容器本体の基板に対向する蓋体の裏面周縁部に、ガスケット用の取付溝を形成することができる。
【０００７】
また、容器本体の開口した正面部の周縁に形成されて外方向に張り出し、ロードポート装置の出し入れ口に対向するリムフランジと、このリムフランジの側部に穿孔される取付孔と、この取付孔に選択的に挿入される着脱自在の情報表示パッドとを備え、取付孔を、リムフランジの正面側に位置する拡径部と、この拡径部に一体形成されてリムフランジの背面側に位置する縮径部とから形成し、情報表示パッドの正面部を、リムフランジの正面に略面一に揃えるか、あるいは取付孔の拡径部内に埋没させることができる。
【０００８】
また、情報表示パッドを、取付孔の拡径部に嵌まる柱部と、この柱部から伸長して取付孔の縮径部に引っかかる弾性の係止片とから形成することができる。
【０００９】
また、容器本体の開口した正面部を開閉する蓋体を備え、この蓋体に、容器本体の正面部を閉じた蓋体を施錠する施錠機構を設け、施錠機構は、蓋体に支持されてその左右内外方向にスライド可能なスライド体と、このスライド体の先端部に回転可能に支持され、蓋体側壁の貫通孔から突出して容器本体の正面部内側の係止溝に干渉可能な係止爪と、スライド体を蓋体の左右外方向にスライドさせて係止爪を蓋体の貫通孔から突出させるバネと、スライド体の末端部側に設けられ、蓋体外部から操作ピンが挿入される操作孔とを含み、スライド体の操作孔を略円形に形成してその蓋体の左右内方向側に位置する一部を直線的な縦平坦部とし、容器本体の正面部から蓋体を取り外す場合に、スライド体の操作孔に操作ピンを挿入してスライド体を蓋体の左右内方向にスライドさせ、突出した係止爪を蓋体の貫通孔内に退没させるようにしても良い。
【００１０】
また、蓋体は、容器本体の開口した正面部に嵌め合わされて施錠機構を内蔵する筐体と、この筐体の開口した正面部を被覆する表面カバーと、この表面カバーに設けられて施錠機構のスライド体の操作孔に対向する操作口とを含み、操作口を蓋体の左右内外方向に伸びる横長に形成してその左右外方向側を拡幅部とするとともに、左右内方向側に位置する残部を狭幅部としても良い。
【００１１】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも各種のガラス基板、カバーガラス、半導体ウェーハ（φ２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍ等）、フォトマスク等が含まれる。容器本体は、透明、不透明、半透明等を特に問うものではないが、φ３００ｍｍの半導体ウェーハを２５、２６枚収納する基板収納容器よりも背が低くされる。例えば、φ３００ｍｍの半導体ウェーハからなる基板を２枚収納する場合には、６ｃｍ以下の高さとされる。
【００１２】
蓋体は、透明、不透明、半透明等を問うものではない。ダイヤモンドライクカーボン層については、複数に分割してコーティングし、この複数のダイヤモンドライクカーボン層の間に隙間を形成することができる。さらに、ガスケットは、エンドレスの線条でも良いし、そうでなくても良い。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、容器本体の開口部内に形成されるダイヤモンドライクカーボン層と、蓋体に嵌め合わされて容器本体と蓋体との間に介在し、容器本体のダイヤモンドライクカーボン層に接触する弾性変形可能なガスケットとを備えるので、例えガスケットが長時間容器本体と蓋体との間に介在しても、容器本体にガスケットが貼り付いて蓋体の開放に支障を来たすのを抑制することができるという効果がある。
【００１４】
また、容器本体を、３枚以下の基板を収納する背の低いフロントオープンボックスタイプとしてその横長の正面部を開口部とし、この容器本体の正面部の内周にダイヤモンドライクカーボン層をコーティングすれば、ＬＳＩメーカ等で半導体ウェーハを短時間で加工処理する際に使用される容器本体の正面部内にガスケットが貼り付き、蓋体の開放に支障を来たすのを防ぐことができる。
【００１５】
さらに、容器本体の基板に対向する蓋体の裏面周縁部に、ガスケット用の取付溝を形成すれば、この取付溝内に嵌め入れるだけでガスケットを簡単にセットして位置決めすることができる。したがって、蓋体の裏面周縁部にガスケットを接着剤により接着する必要がないので、接着剤の成分に起因する基板の汚染等を有効に防ぐことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明に係る基板収納容器の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１２に示すように、２枚の半導体ウェーハＷを収納可能な容器本体１と、この容器本体１の開口した正面部に着脱自在に嵌合する蓋体２０とを備え、容器本体１の正面部内にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層１２をコーティングし、蓋体２０には、容器本体１のダイヤモンドライクカーボン層１２に接触するガスケット２８を嵌合するようにしている。
【００１７】
半導体ウェーハＷは、図３に示すように、例えば薄く丸いφ３００ｍｍのシリコンタイプからなり、周縁部に位置合わせや識別用のオリフラあるいは平面略半円形のノッチが選択的に形成される。
【００１８】
容器本体１は、図１ないし図８に示すように、成形用の金型に所定の樹脂を含む成形材料が射出されることにより、２枚の半導体ウェーハＷを整列収納する背の低いフロントオープンボックスタイプに射出成形され、開口した横長の正面部に同形の蓋体２０がエンドレスのガスケット２８を介し着脱自在に嵌合されるとともに、この蓋体２０には、容器本体１の正面部を閉塞した蓋体２０を施錠する施錠機構４０が内蔵されており、ロードポート装置２に搭載されてその出し入れ口３に正面部やリムフランジ１０を対向接触させる。
【００１９】
容器本体１を成形する成形材料の所定の樹脂としては、例えば力学的性質、耐熱性、寸法安定性等に優れるポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート等があげられる。これらの樹脂には、必要なカーボン、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、帯電防止剤、難燃剤等が選択的に添加される。
【００２０】
容器本体１の内部、具体的には相対向する両側壁の内面には、半導体ウェーハＷを水平に支持する左右一対のティース４が対設され、この一対のティース４が上下方向に間隔をおいて配列される。各ティース４は、容器本体１の前後方向に細長い板に成形され、容器本体１の背面壁寄りの末端部が先細りとされる。また、容器本体１の外周面には、容器本体１の機械的強度や剛性を高めるリブフランジ５が成形され、背面壁側のリブフランジ５が容器本体１の脱型時に突出しピンに対向する。
【００２１】
リブフランジ５は、容器本体１の背面壁と両側壁とに外側から一体成形され、変形した平面略Ｕ字形を呈する。背面壁のリブフランジ５は、例えば細長い肉厚の板形に形成され、両側部が容器本体１の背面壁両側部の略中央に水平に位置しており、中央部が容器本体１の背面壁中央部の下方に位置する。また、背面壁のリブフランジ５の両側部は、容器本体１の正面部が下方に傾かないよう金属製のバランスウェイト６が下方からそれぞれ後付けで螺着され、容器本体１の金型からの脱型時に複数の突出しピンに外側から対向するよう機能する。
【００２２】
背面壁のリブフランジ５の中央部は、略Ｗ字形に屈曲形成されて凹部を形成し、この凹部の開口が下方に向いて容器本体１のロードポート装置２に対する位置決め部７として機能する。また、各側壁のリブフランジ５は、例えば細長い肉厚の板形に形成され、前部が各側壁前部の下方に位置しており、前部以外の残部が各側壁の前部以外の残部の略中央に水平に位置して背面壁のリブフランジ５と一体化する。各側壁のリブフランジ５の前部は、略逆Ｖ字形に屈曲して凹部を形成し、この凹部の開口が下方に向いてロードポート装置２に対する位置決め部７として機能する。
【００２３】
容器本体１の天井の略中心部には、図１ないし図４等に示すように、平面略Ｙ字形を呈する複数の被取付リブ８が立設され、この複数の被取付リブ８上には、図示しない搬送機構に把持される平面略三角形あるいは多角形の吊持フランジ９が螺子等の締結具を介し着脱自在に後から螺着される。
【００２４】
容器本体１の正面部は外方向に広がるよう屈曲形成されてリムフランジ１０を形成し、このリムフランジ１０の内部両側には、蓋体２０施錠用の係止溝１１がそれぞれ上下方向に切り欠かれる。容器本体１の正面部のガスケット接触領域、換言すれば、容器本体１の正面部の内周縁には図３に示すように、高平滑性、耐磨耗性、耐腐食性、低摩擦係数、高ガスバリヤ性に優れる硬質のダイヤモンドライクカーボン層１２がバッチ処理等によりコーティングされ、このダイヤモンドライクカーボン層１２が蓋体２０のガスケット２８に弾接される。
【００２５】
ダイヤモンドライクカーボン層１２は、炭素を含有したガスがプラズマ中で原子状に分解されることにより非晶質の硬質膜に形成され、緻密なアモルファス構造により表面が滑らかで結晶粒界があるという特徴を有しており、容器本体１の剛性を考慮して１０〜５００ｎｍ程度の厚さにコーティングされる。
【００２６】
リムフランジ１０の左右に張り出した両側部には、図２、図３、図７、図８に示すように、複数の取付孔１３がそれぞれ上下方向に並べて丸く穿孔されており、この複数の取付孔１３に情報表示パッドであるインフォパッド１６が選択的に挿入され、かつロードポート装置２の検出手段（例えば、光電センサ、フォトセンサ、タッチセンサ等）に検出されることにより、半導体ウェーハＷの有無や枚数、基板収納容器のタイプ等がロードポート装置２に識別される。
【００２７】
各取付孔１３は、図８に示すように、リムフランジ１０の正面側に位置する丸い拡径部１４と、この拡径部１４に一体形成されてリムフランジ１０の背面側に位置する丸い縮径部１５とから形成される。また、インフォパッド１６は、図８に示すように、取付孔１３の拡径部１４に嵌まる円柱部１７と、この円柱部１７の背面側から伸長する一対の係止片１８とから構成される。この一対の係止片１８は、弾性やバネ性を有して円柱部１７の半径内外方向に撓み、縮径部１５の裏面側周縁に係止してインフォパッド１６の取付孔１３からの脱落を防止する。
【００２８】
蓋体２０は、図２、図４、図７、図９、図１０に示すように、容器本体１の正面部に着脱自在に嵌合され、施錠機構４０を内蔵する横長の筐体２１と、この筐体２１の開口した正面部（表面部）に螺着されて被覆する透明の表面カバー３２とを備えて構成され、容器本体１に対して図示しない蓋体開閉装置により取り付け、取り外しされる。
【００２９】
筐体２１は、その内部両側に施錠機構４０用の複数の保持リブ２２がそれぞれ一体的に突出形成され、周壁の両側部には、容器本体１の係止溝１１に対向する施錠機構４０用の溝孔２３がそれぞれ切り欠かれており、各溝孔２３の内周縁付近には、施錠機構４０用の支持リブ２４が一体的に突出形成される。
【００３０】
筐体２１の裏面中央部には、横長の取付穴２５が凹み形成され、この取付穴２５には、複数の半導体ウェーハＷの前部周縁を弾性片により弾発的に保持するフロントリテーナ２６が装着される。また、筐体２１の裏面周縁部には、横長で枠形の取付溝２７が切り欠かれ、この取付溝２７には、容器本体１との間に介在する弾性のガスケット２８が嵌合される。
【００３１】
ガスケット２８は、図１１や図１２に示すように、例えば耐熱性、難燃性、耐寒性、圧縮特性に優れるシリコーンゴム、フッ素ゴム、各種の熱可塑性エラストマー（例えば、オレフィン系等）等を成形材料として弾性変形可能な横長の枠形に成形される。このガスケット２８は、蓋体２０の取付溝２７に嵌合するエンドレスで枠形の取付部２９と、この取付部２９に一体形成されて容器本体１のダイヤモンドライクカーボン層１２に圧接して変形する接触部３０とを備えて形成される。
【００３２】
ガスケット２８は、図１２に示すように、断面形が略Ｕ字形に形成されてその両自由端部の厚さと長さとが相違し、この両自由端部の内側自由端部よりも外側自由端部が長く伸長される。このガスケット２８の両自由端部は、薄肉の内側自由端部が容易に変形するよう斜めにカットされて蓋体２０の取付溝２７内に密嵌し、厚肉の外側自由端部の端面が断面略三角形に尖って接触部３０とされており、この接触部３０以外の残部が取付部２９とされる。
【００３３】
表面カバー３２は、横長の略矩形に形成され、両側部には、施錠機構４０用の操作口３３がそれぞれ略凸字形に穿孔されており、中央部と最両側部とには、蓋体開閉装置に真空吸着される正面円形の吸着領域３６がそれぞれ形成される。各操作口３３は、蓋体２０の左右内外方向に伸びる横長に形成され、左右外方向側が湾曲辺付きの拡幅部３４とされるとともに、左右内方向側に位置する残部が矩形の狭幅部３５とされており、裏面側周縁部には、施錠機構４０用の一対のガイド片３７が筐体２１の内方向に向け一体形成される。
【００３４】
施錠機構４０は、図４、図７、図９、図１０に示すように、筐体２１の内部両側に支持されて左右内外方向にスライド可能な一対のリンクプレート４１と、筐体２１の各溝孔２３に出没可能に軸支されてリンクプレート４１の先端部に連結支持され、容器本体１の係止溝１１に嵌合して干渉する揺動可能な一対の係止爪４５と、各リンクプレート４１に嵌入されて容器本体１の係止溝１１に係止爪４５を干渉させる一対のコイルバネ４７と、各リンクプレート４１の最末端部４３側に穿孔され、蓋体外部から各操作ピンが挿入される操作孔４８とを備えて構成される。
【００３５】
各リンクプレート４１は、例えば先端部が二股に分かれた略Ｙ字形の板に形成され、棒形の中央部にはコイルバネ４７用の筒体であるカラー４２がスライド可能に嵌入されており、末端部と最末端部４３とが表面カバー３２の一対のガイド片３７にスライド可能に挟持されるとともに、最末端部４３には、表面カバー３２の操作口３３に対向する正面略半楕円形の操作孔４８が穿孔される。
【００３６】
リンクプレート４１の末端部には、カラー４２のスライドや脱落を規制する略Ｕ字形のアームであるリンクアーム４４がピンを介し左右内外方向に揺動可能に嵌入軸支され、このリンクアーム４４が筐体２１の保持リブ２２にピンを介し左右内外方向に揺動可能に軸支される。
【００３７】
各係止爪４５は、変形した略Ｖ字形に屈曲形成され、屈曲部が筐体２１の支持リブ２４にピンを介し揺動可能に軸支される。この係止爪４５は、その一端部がリンクプレート４１の二股の先端部間にピンを介し揺動可能に軸支され、二股に分岐した他端部の間には、容器本体１の係止溝１１内に摺接する複数のローラ４６がピンを介し回転可能に支持される。各ローラ４６は、例えば容器本体１と同様の材料等を使用して筒形に成形される。
【００３８】
各コイルバネ４７は、リンクプレート４１の中央部に嵌通されてリンクプレート４１の幅広の先端部側とカラー４２との間に介在し、カラー４２をリンクアーム４４に圧接するとともに、筐体２１の溝孔２３から係止爪４５の他端部、すなわち複数のローラ４６を外部に突出させる。
【００３９】
各操作孔４８は、基本的には正面略楕円形に形成され、その蓋体２０の左右内方向側に位置する周縁部が上下方向に直線的な縦平坦部４９に切り欠かれており、この縦平坦部４９に操作ピンが蓋体２０の取り外し時に接触する。
【００４０】
各操作ピンは、図示しないが、細長い円柱形のピン部と、このピン部に一体成形されて半径外方向に膨出する膨出部とを備え、自動あるいは手動により操作される。この操作ピンは、ピン部が操作口３３を貫通してリンクプレート４１の操作孔４８に挿入され、膨出部が表面カバー３２の操作口３３に適切に接触・干渉して蓋体２０を支持するよう機能する。
【００４１】
上記構成において、容器本体１の複数の取付孔１３にインフォパッド１６を選択的に挿入する場合には、選択した取付孔１３にインフォパッド１６の一対の係止片１８を挿入して押圧すれば良い。すると、取付孔１３の縮径部１５の裏面側周縁に一対の係止片１８が撓みながら係止し、取付孔１３の拡径部１４にインフォパッド１６の円柱部１７が嵌合し、リムフランジ１０の正面にインフォパッド１６の正面部が面一に揃えられて整合する。
【００４２】
逆に、容器本体１の取付孔１３からインフォパッド１６を取り外す場合には、インフォパッド１６の一対の係止片１８を内方向に撓ませて縮径部１５の裏面側周縁との係止を解除し、リムフランジ１０の背面側から正面側にインフォパッド１６を押圧すれば良い。
【００４３】
また、半導体ウェーハＷを収納した容器本体１の開口した正面部を蓋体２０により閉じる場合には、容器本体１のリムフランジ１０内に蓋体２０を蓋体開閉装置により押圧して嵌合し、リムフランジ１０内にガスケット２８の接触部３０をダイヤモンドライクカーボン層１２を介して圧接・変形させ、容器本体１の各係止溝１１に蓋体２０の溝孔２３を対向させれば良い。
【００４４】
すると、圧縮されていた各コイルバネ４７の復元作用によりリンクプレート４１が保持リブ２２、ガイド片３７、リンクアーム４４に案内されつつ蓋体２０の左右外方向に水平にスライドして係止爪４５を蓋体２０の表裏方向に揺動させ、この係止爪４５の他端部が蓋体２０の溝孔２３から外部に弧を描きながら突出して回転可能な複数のローラ４６を容器本体１の係止溝１１に嵌入し、この複数のローラ４６の嵌入により、容器本体１の正面部が蓋体２０により強固に閉じられ、かつ気密性や密閉性が確保される。
【００４５】
このように施錠機構４０に負荷が作用しない場合には、容器本体１の各係止溝１１内に揺動突出した係止爪４５のローラ４６が転がり接触可能に嵌入し、容器本体１の正面部が蓋体２０により覆われることとなる。
【００４６】
これに対し、半導体ウェーハＷを収納した容器本体１の正面部から施錠状態の蓋体２０を取り外す場合には、一対のリンクプレート４１の操作孔４８に操作ピンを蓋体２０の操作口３３を介し外部からそれぞれ挿入し、各操作ピンを操作口３３の拡幅部３４から狭幅部３５方向に動かすことにより、各リンクプレート４１を蓋体２０の左右内方向にスライドさせれば良い。
【００４７】
すると、各リンクプレート４１がコイルバネ４７を圧縮しながら蓋体２０の左右内方向に水平にスライドし、係止爪４５が弧を描きながら揺動してその露出した他端部、すなわち複数のローラ４６を蓋体２０の溝孔２３内に退没させ、この係止爪４５の他端部の退没により、容器本体１の係止溝１１から複数のローラ４６が外れて容器本体１から蓋体２０を取り外すことが可能になる。
【００４８】
上記構成によれば、容器本体１の正面部内に高平滑性のダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングし、このダイヤモンドライクカーボン層１２に蓋体２０のガスケット２８を弾接させるので、例えガスケット２８が長時間、容器本体１の正面部内と蓋体２０の裏面周縁部との間に介在したとしても、容器本体１にガスケット２８が密着して貼り付くことが全くない。したがって、蓋体２０の開放に支障を来たすのを抑制防止することができる。
【００４９】
また、ガスケット２８ではなく、容器本体１の正面部内にダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングするので、ガスケット２８の着色に伴う意匠性の悪化を防止し、しかも、ガスケット２８の変形に伴うダイヤモンドライクカーボン層１２のクラックを有効に防止することができる。
【００５０】
また、取付孔１３にザグリを形成するので、インフォパッド１６の正面部を、リムフランジ１０の正面に面一に揃えたり、あるいは取付孔１３内に埋没させることができ、取付孔１３に挿入されたインフォパッド１６の正面がリムフランジ１０の正面から前方に突出することがない。したがって、インフォパッド１６の正面の突出部分が障害物となることがないので、ロードポート装置２の出し入れ口３に容器本体１の正面部やリムフランジ１０が適切に接触し、半導体製造作業の円滑化、迅速化、容易化を図ることが可能になる。
【００５１】
また、容器本体１から蓋体２０を取り外さない施錠機構４０の非操作時には、容器本体１の係止溝１１に係止爪４５がコイルバネ４７により絶えず嵌入して容器本体１の正面部やリムフランジ１０を蓋体２０により強固に閉じるので、容器本体１から蓋体２０が外れることが全くなく、蓋体２０の施錠や開閉に支障を来たすおそれがない。さらに、容器本体１の係止溝１１に係止爪４５が直接嵌入するのではなく、係止爪４５の回転可能な複数のローラ４６が嵌入して摺接するので、容器本体１と係止爪４５との擦れによりパーティクルが発生して半導体ウェーハＷを汚染させるおそれがない。
【００５２】
次に、図１３ないし図１５は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、２５枚あるいは２６枚の半導体ウェーハＷを整列収納する容器本体１Ａの正面部の内周縁に、高平滑性、耐磨耗性、耐腐食性、低摩擦係数、高ガスバリヤ性に優れる硬質のダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングし、このダイヤモンドライクカーボン層１２に蓋体２０Ａの裏面周縁部に嵌合したガスケット２８を弾接させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００５３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１よりも大型の容器本体１Ａに使用することができるので、汎用性の向上が期待できるのは明らかである。
【００５４】
なお、上記実施形態では容器本体１の正面部内周縁にダイヤモンドライクカーボン層１２を単にコーティングしたが、内周縁の一部にダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングしても良いし、内周縁の全部にダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングしても良い。また、円柱部１７から一対の係止片１８が伸長するインフォパッド１６を示したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、特に問題が生じないのであれば、インフォパッド１６を断面略凸字形に形成しても良い。さらに、一対の係止片１８ではなく、複数（３本、４本等）の係止片１８を用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体とロードポート装置を模式的に示す側面説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す正面説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す断面側面図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す平面説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す底面説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体とその蓋体を模式的に示す正面説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるリムフランジ、取付孔、インフォパッドを模式的に示す部分断面説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す分解斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の裏面を模式的に示す斜視説明図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるガスケットを模式的に示す正面説明図である。
【図１２】図１１のＸＩＩ‐ＸＩＩ線断面説明図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図１４】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における半導体ウェーハの収納状態を模式的に示す断面平面図である。
【図１５】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す断面平面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１ 容器本体
１Ａ 容器本体
１０ リムフランジ
１２ ダイヤモンドライクカーボン層
２０ 蓋体
２０Ａ 蓋体
２１ 筐体
２７ 取付溝
３２ 表面カバー
２８ ガスケット
２９ 取付部
３０ 接触部
Ｗ 半導体ウェーハ（基板）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納する基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ウェーハを収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口した正面部を開閉する着脱自在の蓋体と、この蓋体に嵌合される弾性変形可能なガスケットとを備えて構成されている（特許文献１、２参照）。
ガスケットは、所定のエラストマーを含む成形材料を使用して低硬度のエンドレスに成形され、容器本体の正面部内周と蓋体の周縁部との間に介在して気密性や密封性を確保するよう機能する。
【特許文献１】特開２００６‐３０３２６１号公報
【特許文献２】特開２００５‐３５３８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、ガスケットが柔軟性、気密性、密封性を確保する観点から低硬度のエンドレスに成形されているので、ガスケットが長時間、容器本体の正面部内周と蓋体との間に介在すると、容器本体にガスケットが密着して貼り付き、蓋体の開放に支障を来たすという問題がある。
【０００４】
本発明は上記に鑑みなされたもので、例えガスケットが長時間容器本体と蓋体との間に介在しても、容器本体にガスケットが貼り付いて蓋体の開放に支障を来たすのを抑制することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口部に着脱自在の蓋体を嵌め合わせるものであって、
容器本体の開口部内に形成されるダイヤモンドライクカーボン層と、蓋体に嵌め合わされて容器本体と蓋体との間に介在し、容器本体のダイヤモンドライクカーボン層に接触する弾性変形可能なガスケットとを含んでなることを特徴としている。
【０００６】
なお、容器本体を、３枚以下の基板を収納する背の低いフロントオープンボックスタイプとしてその横長の正面部を開口部とし、この容器本体の正面部の内周にダイヤモンドライクカーボン層をコーティングすることができる。
また、容器本体の基板に対向する蓋体の裏面周縁部に、ガスケット用の取付溝を形成することができる。
【０００７】
また、容器本体の開口した正面部の周縁に形成されて外方向に張り出し、ロードポート装置の出し入れ口に対向するリムフランジと、このリムフランジの側部に穿孔される取付孔と、この取付孔に選択的に挿入される着脱自在の情報表示パッドとを備え、取付孔を、リムフランジの正面側に位置する拡径部と、この拡径部に一体形成されてリムフランジの背面側に位置する縮径部とから形成し、情報表示パッドの正面部を、リムフランジの正面に略面一に揃えるか、あるいは取付孔の拡径部内に埋没させることができる。
【０００８】
また、情報表示パッドを、取付孔の拡径部に嵌まる柱部と、この柱部から伸長して取付孔の縮径部に引っかかる弾性の係止片とから形成することができる。
【０００９】
また、容器本体の開口した正面部を開閉する蓋体を備え、この蓋体に、容器本体の正面部を閉じた蓋体を施錠する施錠機構を設け、施錠機構は、蓋体に支持されてその左右内外方向にスライド可能なスライド体と、このスライド体の先端部に回転可能に支持され、蓋体側壁の貫通孔から突出して容器本体の正面部内側の係止溝に干渉可能な係止爪と、スライド体を蓋体の左右外方向にスライドさせて係止爪を蓋体の貫通孔から突出させるバネと、スライド体の末端部側に設けられ、蓋体外部から操作ピンが挿入される操作孔とを含み、スライド体の操作孔を略円形に形成してその蓋体の左右内方向側に位置する一部を直線的な縦平坦部とし、容器本体の正面部から蓋体を取り外す場合に、スライド体の操作孔に操作ピンを挿入してスライド体を蓋体の左右内方向にスライドさせ、突出した係止爪を蓋体の貫通孔内に退没させるようにしても良い。
【００１０】
また、蓋体は、容器本体の開口した正面部に嵌め合わされて施錠機構を内蔵する筐体と、この筐体の開口した正面部を被覆する表面カバーと、この表面カバーに設けられて施錠機構のスライド体の操作孔に対向する操作口とを含み、操作口を蓋体の左右内外方向に伸びる横長に形成してその左右外方向側を拡幅部とするとともに、左右内方向側に位置する残部を狭幅部としても良い。
【００１１】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも各種のガラス基板、カバーガラス、半導体ウェーハ（φ２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍ等）、フォトマスク等が含まれる。容器本体は、透明、不透明、半透明等を特に問うものではないが、φ３００ｍｍの半導体ウェーハを２５、２６枚収納する基板収納容器よりも背が低くされる。例えば、φ３００ｍｍの半導体ウェーハからなる基板を２枚収納する場合には、６ｃｍ以下の高さとされる。
【００１２】
蓋体は、透明、不透明、半透明等を問うものではない。ダイヤモンドライクカーボン層については、複数に分割してコーティングし、この複数のダイヤモンドライクカーボン層の間に隙間を形成することができる。さらに、ガスケットは、エンドレスの線条でも良いし、そうでなくても良い。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、容器本体の開口部内に形成されるダイヤモンドライクカーボン層と、蓋体に嵌め合わされて容器本体と蓋体との間に介在し、容器本体のダイヤモンドライクカーボン層に接触する弾性変形可能なガスケットとを備えるので、例えガスケットが長時間容器本体と蓋体との間に介在しても、容器本体にガスケットが貼り付いて蓋体の開放に支障を来たすのを抑制することができるという効果がある。
【００１４】
また、容器本体を、３枚以下の基板を収納する背の低いフロントオープンボックスタイプとしてその横長の正面部を開口部とし、この容器本体の正面部の内周にダイヤモンドライクカーボン層をコーティングすれば、ＬＳＩメーカ等で半導体ウェーハを短時間で加工処理する際に使用される容器本体の正面部内にガスケットが貼り付き、蓋体の開放に支障を来たすのを防ぐことができる。
【００１５】
さらに、容器本体の基板に対向する蓋体の裏面周縁部に、ガスケット用の取付溝を形成すれば、この取付溝内に嵌め入れるだけでガスケットを簡単にセットして位置決めすることができる。したがって、蓋体の裏面周縁部にガスケットを接着剤により接着する必要がないので、接着剤の成分に起因する基板の汚染等を有効に防ぐことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明に係る基板収納容器の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１２に示すように、２枚の半導体ウェーハＷを収納可能な容器本体１と、この容器本体１の開口した正面部に着脱自在に嵌合する蓋体２０とを備え、容器本体１の正面部内にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層１２をコーティングし、蓋体２０には、容器本体１のダイヤモンドライクカーボン層１２に接触するガスケット２８を嵌合するようにしている。
【００１７】
半導体ウェーハＷは、図３に示すように、例えば薄く丸いφ３００ｍｍのシリコンタイプからなり、周縁部に位置合わせや識別用のオリフラあるいは平面略半円形のノッチが選択的に形成される。
【００１８】
容器本体１は、図１ないし図８に示すように、成形用の金型に所定の樹脂を含む成形材料が射出されることにより、２枚の半導体ウェーハＷを整列収納する背の低いフロントオープンボックスタイプに射出成形され、開口した横長の正面部に同形の蓋体２０がエンドレスのガスケット２８を介し着脱自在に嵌合されるとともに、この蓋体２０には、容器本体１の正面部を閉塞した蓋体２０を施錠する施錠機構４０が内蔵されており、ロードポート装置２に搭載されてその出し入れ口３に正面部やリムフランジ１０を対向接触させる。
【００１９】
容器本体１を成形する成形材料の所定の樹脂としては、例えば力学的性質、耐熱性、寸法安定性等に優れるポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート等があげられる。これらの樹脂には、必要なカーボン、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、帯電防止剤、難燃剤等が選択的に添加される。
【００２０】
容器本体１の内部、具体的には相対向する両側壁の内面には、半導体ウェーハＷを水平に支持する左右一対のティース４が対設され、この一対のティース４が上下方向に間隔をおいて配列される。各ティース４は、容器本体１の前後方向に細長い板に成形され、容器本体１の背面壁寄りの末端部が先細りとされる。また、容器本体１の外周面には、容器本体１の機械的強度や剛性を高めるリブフランジ５が成形され、背面壁側のリブフランジ５が容器本体１の脱型時に突出しピンに対向する。
【００２１】
リブフランジ５は、容器本体１の背面壁と両側壁とに外側から一体成形され、変形した平面略Ｕ字形を呈する。背面壁のリブフランジ５は、例えば細長い肉厚の板形に形成され、両側部が容器本体１の背面壁両側部の略中央に水平に位置しており、中央部が容器本体１の背面壁中央部の下方に位置する。また、背面壁のリブフランジ５の両側部は、容器本体１の正面部が下方に傾かないよう金属製のバランスウェイト６が下方からそれぞれ後付けで螺着され、容器本体１の金型からの脱型時に複数の突出しピンに外側から対向するよう機能する。
【００２２】
背面壁のリブフランジ５の中央部は、略Ｗ字形に屈曲形成されて凹部を形成し、この凹部の開口が下方に向いて容器本体１のロードポート装置２に対する位置決め部７として機能する。また、各側壁のリブフランジ５は、例えば細長い肉厚の板形に形成され、前部が各側壁前部の下方に位置しており、前部以外の残部が各側壁の前部以外の残部の略中央に水平に位置して背面壁のリブフランジ５と一体化する。各側壁のリブフランジ５の前部は、略逆Ｖ字形に屈曲して凹部を形成し、この凹部の開口が下方に向いてロードポート装置２に対する位置決め部７として機能する。
【００２３】
容器本体１の天井の略中心部には、図１ないし図４等に示すように、平面略Ｙ字形を呈する複数の被取付リブ８が立設され、この複数の被取付リブ８上には、図示しない搬送機構に把持される平面略三角形あるいは多角形の吊持フランジ９が螺子等の締結具を介し着脱自在に後から螺着される。
【００２４】
容器本体１の正面部は外方向に広がるよう屈曲形成されてリムフランジ１０を形成し、このリムフランジ１０の内部両側には、蓋体２０施錠用の係止溝１１がそれぞれ上下方向に切り欠かれる。容器本体１の正面部のガスケット接触領域、換言すれば、容器本体１の正面部の内周縁には図３に示すように、高平滑性、耐磨耗性、耐腐食性、低摩擦係数、高ガスバリヤ性に優れる硬質のダイヤモンドライクカーボン層１２がバッチ処理等によりコーティングされ、このダイヤモンドライクカーボン層１２が蓋体２０のガスケット２８に弾接される。
【００２５】
ダイヤモンドライクカーボン層１２は、炭素を含有したガスがプラズマ中で原子状に分解されることにより非晶質の硬質膜に形成され、緻密なアモルファス構造により表面が滑らかで結晶粒界があるという特徴を有しており、容器本体１の剛性を考慮して１０〜５００ｎｍ程度の厚さにコーティングされる。
【００２６】
リムフランジ１０の左右に張り出した両側部には、図２、図３、図７、図８に示すように、複数の取付孔１３がそれぞれ上下方向に並べて丸く穿孔されており、この複数の取付孔１３に情報表示パッドであるインフォパッド１６が選択的に挿入され、かつロードポート装置２の検出手段（例えば、光電センサ、フォトセンサ、タッチセンサ等）に検出されることにより、半導体ウェーハＷの有無や枚数、基板収納容器のタイプ等がロードポート装置２に識別される。
【００２７】
各取付孔１３は、図８に示すように、リムフランジ１０の正面側に位置する丸い拡径部１４と、この拡径部１４に一体形成されてリムフランジ１０の背面側に位置する丸い縮径部１５とから形成される。また、インフォパッド１６は、図８に示すように、取付孔１３の拡径部１４に嵌まる円柱部１７と、この円柱部１７の背面側から伸長する一対の係止片１８とから構成される。この一対の係止片１８は、弾性やバネ性を有して円柱部１７の半径内外方向に撓み、縮径部１５の裏面側周縁に係止してインフォパッド１６の取付孔１３からの脱落を防止する。
【００２８】
蓋体２０は、図２、図４、図７、図９、図１０に示すように、容器本体１の正面部に着脱自在に嵌合され、施錠機構４０を内蔵する横長の筐体２１と、この筐体２１の開口した正面部（表面部）に螺着されて被覆する透明の表面カバー３２とを備えて構成され、容器本体１に対して図示しない蓋体開閉装置により取り付け、取り外しされる。
【００２９】
筐体２１は、その内部両側に施錠機構４０用の複数の保持リブ２２がそれぞれ一体的に突出形成され、周壁の両側部には、容器本体１の係止溝１１に対向する施錠機構４０用の溝孔２３がそれぞれ切り欠かれており、各溝孔２３の内周縁付近には、施錠機構４０用の支持リブ２４が一体的に突出形成される。
【００３０】
筐体２１の裏面中央部には、横長の取付穴２５が凹み形成され、この取付穴２５には、複数の半導体ウェーハＷの前部周縁を弾性片により弾発的に保持するフロントリテーナ２６が装着される。また、筐体２１の裏面周縁部には、横長で枠形の取付溝２７が切り欠かれ、この取付溝２７には、容器本体１との間に介在する弾性のガスケット２８が嵌合される。
【００３１】
ガスケット２８は、図１１や図１２に示すように、例えば耐熱性、難燃性、耐寒性、圧縮特性に優れるシリコーンゴム、フッ素ゴム、各種の熱可塑性エラストマー（例えば、オレフィン系等）等を成形材料として弾性変形可能な横長の枠形に成形される。このガスケット２８は、蓋体２０の取付溝２７に嵌合するエンドレスで枠形の取付部２９と、この取付部２９に一体形成されて容器本体１のダイヤモンドライクカーボン層１２に圧接して変形する接触部３０とを備えて形成される。
【００３２】
ガスケット２８は、図１２に示すように、断面形が略Ｕ字形に形成されてその両自由端部の厚さと長さとが相違し、この両自由端部の内側自由端部よりも外側自由端部が長く伸長される。このガスケット２８の両自由端部は、薄肉の内側自由端部が容易に変形するよう斜めにカットされて蓋体２０の取付溝２７内に密嵌し、厚肉の外側自由端部の端面が断面略三角形に尖って接触部３０とされており、この接触部３０以外の残部が取付部２９とされる。
【００３３】
表面カバー３２は、横長の略矩形に形成され、両側部には、施錠機構４０用の操作口３３がそれぞれ略凸字形に穿孔されており、中央部と最両側部とには、蓋体開閉装置に真空吸着される正面円形の吸着領域３６がそれぞれ形成される。各操作口３３は、蓋体２０の左右内外方向に伸びる横長に形成され、左右外方向側が湾曲辺付きの拡幅部３４とされるとともに、左右内方向側に位置する残部が矩形の狭幅部３５とされており、裏面側周縁部には、施錠機構４０用の一対のガイド片３７が筐体２１の内方向に向け一体形成される。
【００３４】
施錠機構４０は、図４、図７、図９、図１０に示すように、筐体２１の内部両側に支持されて左右内外方向にスライド可能な一対のリンクプレート４１と、筐体２１の各溝孔２３に出没可能に軸支されてリンクプレート４１の先端部に連結支持され、容器本体１の係止溝１１に嵌合して干渉する揺動可能な一対の係止爪４５と、各リンクプレート４１に嵌入されて容器本体１の係止溝１１に係止爪４５を干渉させる一対のコイルバネ４７と、各リンクプレート４１の最末端部４３側に穿孔され、蓋体外部から各操作ピンが挿入される操作孔４８とを備えて構成される。
【００３５】
各リンクプレート４１は、例えば先端部が二股に分かれた略Ｙ字形の板に形成され、棒形の中央部にはコイルバネ４７用の筒体であるカラー４２がスライド可能に嵌入されており、末端部と最末端部４３とが表面カバー３２の一対のガイド片３７にスライド可能に挟持されるとともに、最末端部４３には、表面カバー３２の操作口３３に対向する正面略半楕円形の操作孔４８が穿孔される。
【００３６】
リンクプレート４１の末端部には、カラー４２のスライドや脱落を規制する略Ｕ字形のアームであるリンクアーム４４がピンを介し左右内外方向に揺動可能に嵌入軸支され、このリンクアーム４４が筐体２１の保持リブ２２にピンを介し左右内外方向に揺動可能に軸支される。
【００３７】
各係止爪４５は、変形した略Ｖ字形に屈曲形成され、屈曲部が筐体２１の支持リブ２４にピンを介し揺動可能に軸支される。この係止爪４５は、その一端部がリンクプレート４１の二股の先端部間にピンを介し揺動可能に軸支され、二股に分岐した他端部の間には、容器本体１の係止溝１１内に摺接する複数のローラ４６がピンを介し回転可能に支持される。各ローラ４６は、例えば容器本体１と同様の材料等を使用して筒形に成形される。
【００３８】
各コイルバネ４７は、リンクプレート４１の中央部に嵌通されてリンクプレート４１の幅広の先端部側とカラー４２との間に介在し、カラー４２をリンクアーム４４に圧接するとともに、筐体２１の溝孔２３から係止爪４５の他端部、すなわち複数のローラ４６を外部に突出させる。
【００３９】
各操作孔４８は、基本的には正面略楕円形に形成され、その蓋体２０の左右内方向側に位置する周縁部が上下方向に直線的な縦平坦部４９に切り欠かれており、この縦平坦部４９に操作ピンが蓋体２０の取り外し時に接触する。
【００４０】
各操作ピンは、図示しないが、細長い円柱形のピン部と、このピン部に一体成形されて半径外方向に膨出する膨出部とを備え、自動あるいは手動により操作される。この操作ピンは、ピン部が操作口３３を貫通してリンクプレート４１の操作孔４８に挿入され、膨出部が表面カバー３２の操作口３３に適切に接触・干渉して蓋体２０を支持するよう機能する。
【００４１】
上記構成において、容器本体１の複数の取付孔１３にインフォパッド１６を選択的に挿入する場合には、選択した取付孔１３にインフォパッド１６の一対の係止片１８を挿入して押圧すれば良い。すると、取付孔１３の縮径部１５の裏面側周縁に一対の係止片１８が撓みながら係止し、取付孔１３の拡径部１４にインフォパッド１６の円柱部１７が嵌合し、リムフランジ１０の正面にインフォパッド１６の正面部が面一に揃えられて整合する。
【００４２】
逆に、容器本体１の取付孔１３からインフォパッド１６を取り外す場合には、インフォパッド１６の一対の係止片１８を内方向に撓ませて縮径部１５の裏面側周縁との係止を解除し、リムフランジ１０の背面側から正面側にインフォパッド１６を押圧すれば良い。
【００４３】
また、半導体ウェーハＷを収納した容器本体１の開口した正面部を蓋体２０により閉じる場合には、容器本体１のリムフランジ１０内に蓋体２０を蓋体開閉装置により押圧して嵌合し、リムフランジ１０内にガスケット２８の接触部３０をダイヤモンドライクカーボン層１２を介して圧接・変形させ、容器本体１の各係止溝１１に蓋体２０の溝孔２３を対向させれば良い。
【００４４】
すると、圧縮されていた各コイルバネ４７の復元作用によりリンクプレート４１が保持リブ２２、ガイド片３７、リンクアーム４４に案内されつつ蓋体２０の左右外方向に水平にスライドして係止爪４５を蓋体２０の表裏方向に揺動させ、この係止爪４５の他端部が蓋体２０の溝孔２３から外部に弧を描きながら突出して回転可能な複数のローラ４６を容器本体１の係止溝１１に嵌入し、この複数のローラ４６の嵌入により、容器本体１の正面部が蓋体２０により強固に閉じられ、かつ気密性や密閉性が確保される。
【００４５】
このように施錠機構４０に負荷が作用しない場合には、容器本体１の各係止溝１１内に揺動突出した係止爪４５のローラ４６が転がり接触可能に嵌入し、容器本体１の正面部が蓋体２０により覆われることとなる。
【００４６】
これに対し、半導体ウェーハＷを収納した容器本体１の正面部から施錠状態の蓋体２０を取り外す場合には、一対のリンクプレート４１の操作孔４８に操作ピンを蓋体２０の操作口３３を介し外部からそれぞれ挿入し、各操作ピンを操作口３３の拡幅部３４から狭幅部３５方向に動かすことにより、各リンクプレート４１を蓋体２０の左右内方向にスライドさせれば良い。
【００４７】
すると、各リンクプレート４１がコイルバネ４７を圧縮しながら蓋体２０の左右内方向に水平にスライドし、係止爪４５が弧を描きながら揺動してその露出した他端部、すなわち複数のローラ４６を蓋体２０の溝孔２３内に退没させ、この係止爪４５の他端部の退没により、容器本体１の係止溝１１から複数のローラ４６が外れて容器本体１から蓋体２０を取り外すことが可能になる。
【００４８】
上記構成によれば、容器本体１の正面部内に高平滑性のダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングし、このダイヤモンドライクカーボン層１２に蓋体２０のガスケット２８を弾接させるので、例えガスケット２８が長時間、容器本体１の正面部内と蓋体２０の裏面周縁部との間に介在したとしても、容器本体１にガスケット２８が密着して貼り付くことが全くない。したがって、蓋体２０の開放に支障を来たすのを抑制防止することができる。
【００４９】
また、ガスケット２８ではなく、容器本体１の正面部内にダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングするので、ガスケット２８の着色に伴う意匠性の悪化を防止し、しかも、ガスケット２８の変形に伴うダイヤモンドライクカーボン層１２のクラックを有効に防止することができる。
【００５０】
また、取付孔１３にザグリを形成するので、インフォパッド１６の正面部を、リムフランジ１０の正面に面一に揃えたり、あるいは取付孔１３内に埋没させることができ、取付孔１３に挿入されたインフォパッド１６の正面がリムフランジ１０の正面から前方に突出することがない。したがって、インフォパッド１６の正面の突出部分が障害物となることがないので、ロードポート装置２の出し入れ口３に容器本体１の正面部やリムフランジ１０が適切に接触し、半導体製造作業の円滑化、迅速化、容易化を図ることが可能になる。
【００５１】
また、容器本体１から蓋体２０を取り外さない施錠機構４０の非操作時には、容器本体１の係止溝１１に係止爪４５がコイルバネ４７により絶えず嵌入して容器本体１の正面部やリムフランジ１０を蓋体２０により強固に閉じるので、容器本体１から蓋体２０が外れることが全くなく、蓋体２０の施錠や開閉に支障を来たすおそれがない。さらに、容器本体１の係止溝１１に係止爪４５が直接嵌入するのではなく、係止爪４５の回転可能な複数のローラ４６が嵌入して摺接するので、容器本体１と係止爪４５との擦れによりパーティクルが発生して半導体ウェーハＷを汚染させるおそれがない。
【００５２】
次に、図１３ないし図１５は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、２５枚あるいは２６枚の半導体ウェーハＷを整列収納する容器本体１Ａの正面部の内周縁に、高平滑性、耐磨耗性、耐腐食性、低摩擦係数、高ガスバリヤ性に優れる硬質のダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングし、このダイヤモンドライクカーボン層１２に蓋体２０Ａの裏面周縁部に嵌合したガスケット２８を弾接させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００５３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１よりも大型の容器本体１Ａに使用することができるので、汎用性の向上が期待できるのは明らかである。
【００５４】
なお、上記実施形態では容器本体１の正面部内周縁にダイヤモンドライクカーボン層１２を単にコーティングしたが、内周縁の一部にダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングしても良いし、内周縁の全部にダイヤモンドライクカーボン層１２をコーティングしても良い。また、円柱部１７から一対の係止片１８が伸長するインフォパッド１６を示したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、特に問題が生じないのであれば、インフォパッド１６を断面略凸字形に形成しても良い。さらに、一対の係止片１８ではなく、複数（３本、４本等）の係止片１８を用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体とロードポート装置を模式的に示す側面説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す正面説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す断面側面図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す平面説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を模式的に示す底面説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体とその蓋体を模式的に示す正面説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるリムフランジ、取付孔、インフォパッドを模式的に示す部分断面説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す分解斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の裏面を模式的に示す斜視説明図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるガスケットを模式的に示す正面説明図である。
【図１２】図１１のＸＩＩ‐ＸＩＩ線断面説明図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図１４】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における半導体ウェーハの収納状態を模式的に示す断面平面図である。
【図１５】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す断面平面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１ 容器本体
１Ａ 容器本体
１０ リムフランジ
１２ ダイヤモンドライクカーボン層
２０ 蓋体
２０Ａ 蓋体
２１ 筐体
２７ 取付溝
３２ 表面カバー
２８ ガスケット
２９ 取付部
３０ 接触部
Ｗ 半導体ウェーハ（基板）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体の開口部に着脱自在の蓋体を嵌め合わせる基板収容容器であって、
容器本体の開口部内に形成されるダイヤモンドライクカーボン層と、蓋体に嵌め合わされて容器本体と蓋体との間に介在し、容器本体のダイヤモンドライクカーボン層に接触する弾性変形可能なガスケットとを含んでなることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
容器本体を、３枚以下の基板を収納する背の低いフロントオープンボックスタイプとしてその横長の正面部を開口部とし、この容器本体の正面部の内周にダイヤモンドライクカーボン層をコーティングした請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
容器本体の基板に対向する蓋体の裏面周縁部に、ガスケット用の取付溝を形成した請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項１】
基板を収納する容器本体の開口部に着脱自在の蓋体を嵌め合わせる基板収容容器であって、
容器本体の開口部内に形成されるダイヤモンドライクカーボン層と、蓋体に嵌め合わされて容器本体と蓋体との間に介在し、容器本体のダイヤモンドライクカーボン層に接触する弾性変形可能なガスケットとを含んでなることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
容器本体を、３枚以下の基板を収納する背の低いフロントオープンボックスタイプとしてその横長の正面部を開口部とし、この容器本体の正面部の内周にダイヤモンドライクカーボン層をコーティングした請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
容器本体の基板に対向する蓋体の裏面周縁部に、ガスケット用の取付溝を形成した請求項１又は２記載の基板収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
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【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
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【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００９−２２４４６４（Ｐ２００９−２２４４６４Ａ）
【公開日】平成２１年１０月１日（２００９．１０．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−６５８８０（Ｐ２００８−６５８８０）
【出願日】平成２０年３月１４日（２００８．３．１４）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１０月１日（２００９．１０．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年３月１４日（２００８．３．１４）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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