弁装置
【課題】 流路の開閉する弁体を開位置と閉位置に確実に設定し得るようにする。
【解決手段】 弁ブロック１１に形成された弁収容室１４内には、流入孔１２と流出孔１３とを連通させる連通開口部１５を開閉する弁体２１が設けられ、弁体２１には弁磁石２２が設けられている。空気圧シリンダ２４によって駆動用磁石３２が弁体２１に接近離反移動自在となっており、駆動用磁石３２を弁体２１に接近させると弁体２１は連通開口部１５を閉じる閉位置に移動する。駆動用磁石３２を弁体２１から離反させると弁体２１はこれに設けられた弁磁石２２が磁性体３３に吸引されて開位置を保持する。
【解決手段】 弁ブロック１１に形成された弁収容室１４内には、流入孔１２と流出孔１３とを連通させる連通開口部１５を開閉する弁体２１が設けられ、弁体２１には弁磁石２２が設けられている。空気圧シリンダ２４によって駆動用磁石３２が弁体２１に接近離反移動自在となっており、駆動用磁石３２を弁体２１に接近させると弁体２１は連通開口部１５を閉じる閉位置に移動する。駆動用磁石３２を弁体２１から離反させると弁体２１はこれに設けられた弁磁石２２が磁性体３３に吸引されて開位置を保持する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁力を用いて流路を開閉する弁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハの製造技術分野を始め、液晶基板製造技術分野や多層配線基板製造技術などの分野では、フォトレジスト液、及びアルカリ性や酸性の処理液などの薬液が使用されている。これらの薬液は、薬液貯留槽に蓄えられており、薬液貯留槽と薬液ノズルとを接続する流路に設けられた弁装置を制御することにより、その流路を介して薬液ノズルに案内され所定量ずつウエハ等に滴下されるようになっている。
【０００３】
薬液貯留槽に蓄えられた薬液を吸引し薬液ノズルに吐出するための薬液供給装置には、特許文献１に記載されるように、可撓性チューブなどの弾性部材によりポンプ室が区画形成され、その弾性部材を変形させてポンプ室内の容積を変化させることにより薬液貯留槽内の薬液を吸引し薬液ノズルに吐出する薬液ポンプを有するものがある。薬液貯留槽と薬液ポンプとを接続する薬液吸引路及び薬液ポンプと薬液ノズルとを接続する薬液吐出路のそれぞれには、特許文献２に記載されるように、ポンプ室内の容積変化に対応させて流路を開閉する弁装置が設けられている。
【特許文献１】特開平２００３−１４８３５３号公報
【特許文献２】特開平８−２８５１２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
薬液供給装置の薬液吸引路と薬液吐出路に設けられ流路を開閉する開閉弁として、磁力により弁体を開閉させる場合には、弁体内に弁磁石を組み込み、弁体により流路を閉じるときに駆動用磁石を駆動部材により弁体に接近させるようにしており、弁体が流路を開くときには駆動用磁石を弁体から離反させるようにしている。したがって、弁体により流路が開かれるときの弁体の開度は流路内の流体の圧力により設定されることになる。
【０００５】
流路内の流体の流量を正確に設定するためには、弁体を開位置と閉位置とに移動させるとともに、それぞれの位置では振動することなく安定してその位置を保持させ流路の開閉を確実にする必要がある。
【０００６】
本発明の目的は、流路を開閉させる弁体を開位置と閉位置にいずれも磁力により設定し得るようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の弁装置は、流体の流入孔と流出孔とを連通させる連通開口部を有する弁収容室が形成される弁ブロックと、前記弁収容室に組み込まれ、前記連通開口部を閉じる閉位置と開く開位置とに移動するとともに弁磁石が設けられた弁体と、前記弁磁石に駆動用磁石を接近させて前記弁体を前記開位置と前記閉位置との一方に駆動する接近位置、および前記駆動用磁石を前記弁磁石から離反させる離反位置に移動させる駆動手段と、前記弁ブロックに設けられ、前記駆動用磁石が離反位置となったときに前記弁磁石を引き寄せて前記弁体を前記開位置と前記閉位置の他方に駆動する磁性体とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明の弁装置は、前記駆動用磁石が前記弁磁石に接近したときに前記弁磁石を反発させて前記弁体を前記閉位置に駆動し、前記駆動用磁石が前記弁磁石から離反したときに前記弁磁石が前記磁性体に接近して前記弁体を開位置に駆動することを特徴とする。
【０００９】
本発明の弁装置は、前記弁体は前記弁磁石が封入される樹脂製の磁石収容体を有し、前記弁体が開閉動作する際に前記弁体室の内周面に接触する複数の突起を前記磁石収容体の外周面に設けることを特徴とする。
【００１０】
本発明の弁装置は、前記弁体は前記弁磁石が封入される樹脂製の磁石収容体と、前記弁ブロックに固定される止め付け部とを有し、前記磁石収容体と前記止め付け部とを複数の弾性支持片により連結し、前記磁石収容体と前記止め付け部との間に流体の通路を形成することを特徴とする。
【００１１】
本発明の弁装置は、前記駆動手段は先端部に前記駆動用磁石が設けられたピストンを往復動自在に駆動する空気圧シリンダであることを特徴とする。
【００１２】
本発明の弁装置は、ポンプ室内の容積を増減させることにより薬液貯留槽内の薬液を吸引し薬液ノズルに吐出する薬液ポンプに接続される流入側流路及び流出側流路のうち少なくともいずれか一方に装着することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、弁磁石が設けられた弁体に対し駆動用磁石を接近移動させて弁体を開位置または閉位置の一方に作動し、駆動用磁石を弁体に対し離反移動させたときには弁体に設けられた弁磁石が磁性体に引き寄せられて弁体を開位置または閉位置の他方に作動させるようにしたので、弁体を確実に開位置または閉位置に設定することができる。
【００１４】
本発明によれば、弁磁石を複数の突起や弾性支持片を備える磁石収容体で支持することにより、弁体を開位置と閉位置との間で安定的に移動させることができるとともに、それぞれの位置での振動発生を防止することができ、流路の開閉を安定した状態で確実に行なうことができる。弾性支持片を備える磁石収容体においては、弁体の開閉にともなって弁収容室に摺動接触することがないので、摺動接触による発塵が防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態である弁装置を示す断面図である。
【００１６】
この弁装置１０は樹脂製の弁ブロック１１を有しており、この弁ブロック１１には薬液が流入する流入孔１２と薬液が流出する流出孔１３とが形成されるとともにこれらの流入孔１２と流出孔１３と連通する弁収容室１４が形成されている。流入孔１２の弁収容室１４側の開口部は流入孔１２と流出孔１３とを連通させる連通開口部１５となっており、この連通開口部１５の周囲は弁座面１６となっている。弁ブロック１１には流入孔１２に薬液を供給するための配管が接続されるジョイント部１７と、流出孔１３から薬液を外部に案内するための配管が接続されるジョイント部１８が設けられており、それぞれのジョイント部１７，１８にはナットからなる継手１７ａ，１８ａがねじ結合されるようになっている。継手１７ａにより流入孔１２は薬液貯留槽などが接続される一次側流路に接続されるようになっており、継手１８ａにより流出孔１３は薬液ノズルなどが接続される二次側流路に接続されるようになっている。
【００１７】
弁ブロック１１には弁収容室１４に連通するとともに弁座面１６に対向させて取付孔１９が形成されており、この取付孔１９には樹脂製の隔壁カバー２０が組み付けられている。隔壁カバー２０は、弁ブロック１１の一部を構成しており、弁ブロック１１の取付孔１９に嵌め込まれる円筒部２０ａと弁座面１６に対向する隔壁部２０ｂとを有している。
【００１８】
弁収容室１４内には弁体２１が組み込まれており、この弁体２１は図１に示すように弁座面１６に接触して連通開口部１５を閉じる閉位置と、弁座面１６から離れて隔壁カバー２０に接触して連通開口部１５を開く開位置とに開閉移動する。弁体２１は弁磁石２２とこれが封入される樹脂製の磁石収容体２３とからなり磁石収容体２３の中に弁磁石２２を埋め込むことにより弁磁石２２は液体にさらされないようになっている。
【００１９】
弁ブロック１１には、駆動手段を構成する空気圧シリンダ２４が組み付けられており、空気圧シリンダ２４は、先端部と弁ブロック１１とにより隔壁カバー２０を挟み込むシリンダチューブ２４ａを有しており、シリンダチューブ２４ａはアルミニウム合金などの非磁性材料により形成されている。シリンダチューブ２４ａの内部にはピストンロッド２５が一体となったピストン２６が往復動自在に収容されており、ピストンロッド２５およびピストン２６はアルミニウムや樹脂などの非磁性材料により形成されている。ピストン２６のロッド側端面と空気圧シリンダ２４とにより後退用圧力室２７が形成され、シリンダチューブ２４ａの端部に固定されるカバー２８の内側はばね収容室２９となっている。ばね収容室２９には圧縮コイルばね３０が組み込まれており、ピストン２６には常時、これを前進つまり隔壁カバー２０に向かう方向のばね力が加えられている。後退用圧力室２７に連通する空気圧ポート３１がシリンダチューブ２４ａに形成されており、この空気圧ポート３１に接続される図示しない正圧源から正圧空気を後退用圧力室２７に供給することによって、ピストン２６はコイルばね３０の押圧力に抗して後退つまり隔壁カバー２０から離反させる方向に移動する。
【００２０】
なお、ピストン２６を往復動するための手段としては、ばね収容室２９を前進用圧力室としてこれに圧縮空気を供給してピストン２６を前進移動させることによってピストン２６を正圧空気により前進後退移動するようにしても良い。また、後退用圧力室２７をばね室としてばね力によりピストン２６を後退移動させるようにしても良く、その場合には正圧空気により前進移動を行う。さらには、正圧空気に代えて負圧空気によりピストン２６を駆動するようにしても良い。
【００２１】
ピストンロッド２５の先端部には永久磁石である駆動用磁石３２が装着されている。駆動用磁石３２は、ピストン２６を前進移動させることにより図１に示すように隔壁部２０ｂに接触して弁体２１の弁磁石２２に最接近する接近位置と、ピストン２６をカバー２８に接触させる後退限位置に移動させて弁磁石２２から最も離反した離反位置との間を往復動する。
【００２２】
駆動用磁石３２と弁磁石２２は、駆動用磁石３２の弁磁石２２側の領域と弁磁石２２の駆動用磁石３２側の領域とが同極性となるように、相互に同一の磁極（例えば、Ｓ極）が対向するように配置されており、弁磁石２２は駆動用磁石３２を弁体２１に接近させると駆動用磁石３２に反発し、弁体２１は連通開口部１５を図１に示すように閉じる閉位置となる。一方、駆動用磁石３２を離反位置までピストン２６により移動させると、駆動用磁石３２の磁力は弁磁石２２に対して磁力の影響が低下ないし消滅することになり、駆動用磁石３２により連通開口部１５を流体の圧力に抗して弁体２１を閉位置に保持する磁力は弁磁石２２には加えられなくなる。
【００２３】
駆動用磁石３２が離反位置となった状態のもとで弁体２１を開位置に保持するために、隔壁部２０ｂとシリンダチューブ２４ａとの間には環状の磁性体３３が取り付けられている。この磁性体３３は強磁性の材料により形成されており、弁ブロック１１に弁体２１を介して弁座面１６に対するように取り付けられ、駆動用磁石３２が離反位置となった状態のもとでは弁磁石２２の磁力によって自発磁化を形成して弁磁石２２を引き寄せて弁体２１を開位置に駆動する。駆動用磁石３２が接近位置となったときには、図１に示すように駆動用磁石３２は磁性体３３の内側に入り込むことになるが、このときには駆動用磁石３２の磁力が強く弁磁石２２に作用して弁体２１は閉位置に駆動される。
【００２４】
図２（Ａ）は図１に示す弁体２１の外観構成を示す斜視図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の正面図であり、図２（Ｃ）は図２（Ａ）の側面図である。
【００２５】
弁磁石２２が組み込まれた磁石収容体２３は、円筒状の本体部３４を有しこれの端面からは弁座面１６に接触する接触部３５が突出しており、本体部３４の前後両端部には円周方向に所定の間隔で径方向外方に突出する突起部３６が設けられている。弁体２１は、このような磁石収容体２３とこの内部に封入されて薬液などの流体が直接接触しないようになった弁磁石２２とにより形成され、弁体２１を弁収容室１４内に収容したとき、複数の突起部３６のうちいずれかが弁収容室１４の内周面に接触し、突起部３６相互間の隙間を介して薬液が流れるようになっている。
【００２６】
図１に示す弁装置１０における弁体２１は以下のように開閉作動する。後退用圧力室２７に正圧空気が供給されない状態では、図１に示すように、ピストン２６は駆動用磁石３２が隔壁部２０ｂに当接する前進限位置まで移動し、弁磁石２２に対して駆動用磁石３２の磁界が強く影響して、その反発力により弁磁石２２は閉位置に移動する。これにより、弁体２１が連通開口部１５を閉じて流入孔１２が塞がれて、流入孔１２と流出孔１３との連通が遮断される。
【００２７】
図１に示す状態から、後退用圧力室２７に正圧空気を供給すると、ピストン２６は後退つまり隔壁部２０ｂから遠ざかる方向に移動し、駆動用磁石３２が形成する磁界が弁磁石２２に及ぼす影響が弱くなる。これにより、弁磁石２２は磁性体３３に引き付けられるようになり、弁体２１が連通開口部１５から離れて流入孔１２と流出孔１３とが連通状態となる。
【００２８】
後退用圧力室２７に対する正圧空気の供給を停止して後退用圧力室２７内の空気を排出すると、弁体２１は閉位置に移動して、上述のように流入孔１２と流出孔１３の連通を遮断させる。このように、後退用圧力室２７に対する正圧空気の供給と排出とを行うことにより、連通開口部１５の開閉操作を行うことができる。このとき、一定容積の弁収容室１４に配置された弁体２１をその外部に配置される駆動用磁石３２を近づけたり遠ざけたりすることによって連通開口部１５の開閉を行うので、連通開口部１５の開閉前後で弁収容室１４の内部容積が変化することがなく、ダイヤフラム式のバルブのように連通開口部を閉じた後に流体が流動することがなく、弁体２１の開閉時に流路内に流体が流れることが防止される。弁収容室１４の内周面に摺接する突起部３６によって弁体２１が往復動自在に支持されるので、弁体２１の移動は安定しており、開位置及び閉位置のそれぞれにおいて安定してその位置を保持することができる。また、弁収容室１４内はほぼ円柱形状となっており、安定した流れを形成することができ、薬液を滞留させることはない。
【００２９】
図３は本発明の他の実施の形態である弁装置が装着された薬液供給装置を示す断面図であり、図４は図３に示す薬液吐出路に接続される弁装置を拡大して示す断面図である。なお、図１及び図２に示す部材と共通する部材には同一の符合を付して重複した説明を省略する。
【００３０】
図３に示す薬液供給装置３８は、可撓性チューブ３９を径方向に膨張収縮させてポンプ室４０内の容積を変化させることにより薬液貯留槽４１内の薬液を吸引し薬液ノズル４２に吐出する薬液ポンプ４３を有しており、薬液貯留槽４１と薬液ポンプ４３とを接続する薬液吸引路４４及び薬液ポンプ４３と薬液ノズル４２とを接続する薬液吐出路４５のそれぞれには、ポンプ室４０内の容積変化に対応させて薬液吸引路４４および薬液吐出路４５を開閉する弁装置４６，４７が設けられている。図示する場合には、薬液吸引路４４に設けられる弁装置４６の流体流出側のジョイント部１８は可撓性チューブ３９の流入側に連通し、薬液吐出路４５に設けられる弁装置４７の流体流入側のジョイント部１７は可撓性チューブ３９の流出側に連通している。
【００３１】
この可撓性チューブ３９は、ジョイント部１８に嵌合される流入側の固定端部５３と、ジョイント部１７に嵌合される流出側の固定端部５４とを有し、両方の固定端部５３，５４の間は弾性変形部５５となっており、弾性変形部５５の内部は上述のポンプ室４０となっている。ポンプ室４０の容積を変化させるために、可撓性チューブ３９の外部にはベローズ５６が配置されている。ベローズ５６は、固定端部５３を挟み込むようにしてジョイント部１８に固定される流入側の固定ディスク５７と、固定端部５４を挟み込むようにしてジョイント部１７に固定される流出側の固定ディスク５８と、固定ディスク５７に連結される大径ベローズ部５９及び固定ディスク５８に連結される小径ベローズ部６０の間に配置される作動ディスク６１とを有している。
【００３２】
大径ベローズ部５９及び小径ベローズ部６０を軸方向に変形させてポンプ室４０の容積を変化させるために、可撓性チューブ３９とベローズ５６との間には非圧縮性媒体６２が封入されており、作動ディスク６１にはポンプ駆動機構６３が取り付けられている。このポンプ駆動機構６３はモータ６４により駆動されるボールねじ６５と、このボールねじ６５にねじ結合され作動ディスク６１に係合するボールナット６６とを有している。非圧縮性媒体６２の容積は一定となっているので、モータ６４を駆動して作動ディスク６１を固定ディスク５７に向けて移動させると可撓性チューブ３９の弾性変形部５５が収縮してポンプ室４０の容積が収縮し、作動ディスク６１を固定ディスク５８に向けて移動させると弾性変形部５５が膨張してポンプ室４０の容積が膨張する。
【００３３】
次に、弁装置４６，４７を有する薬液供給装置３８によるポンプ動作について説明すると、まず、弁装置４６の後退用圧力室２７に空気圧ポート３１から正圧空気を供給して弁体２１を開くとともに、弁装置４７の後退用圧力室２７内の正圧空気を排出して弁体２１を閉じる。次いで、モータ６４を駆動してポンプ室４０の容積を増大させることによって、薬液貯留槽４１内の薬液を弁装置４６を介してポンプ室４０内に取り込む。その後、弁装置４７の後退用圧力室２７に正圧空気を供給して弁体２１を開くとともに、弁装置４６の後退用圧力室２７内の空気を排出して弁体２１を閉じる。次いで、モータ６４を駆動してポンプ室４０の容積を減少させることによって、ポンプ室４０内の薬液を弁装置４７を介して薬液ノズル４２に供給する。
【００３４】
ここで、それぞれの弁装置４６，４７は、従来のダイヤフラム式のバルブのように閉弁後にバブル内の容積が変化して薬液がバルブ外に押し流されてしまうことがないので、薬液供給装置３８は高精度で薬液を吐出させることができる。これらの弁装置４６，４７が装着された薬液供給装置３８は、薬液の吸引量及び吐出量のそれぞれがポンプ室４０の変化量によって行われるため、モータ６４の駆動を制御することにより、所定量の薬液を吸引し薬液ノズル４２に吐出することができる。
【００３５】
所定量の薬液を供給し終えた後は、それぞれの弁装置４６，４７の弁体２１は閉じられるが、その前に、弁装置４７の弁体２１を開き弁装置４６の弁体２１を閉じた状態のもとで、モータ６４を駆動してポンプ室４０の容積を増大させることによって、薬液ノズル４２内に残留した薬液をポンプ室４０に向けてサックバックさせることができる。サックバック動作後、弁装置４７の後退用圧力室２７への正圧空気の供給を停止して弁体２１を閉じることにより、薬液ノズル４２内に残留した薬液の液垂れを防止することができる。このとき、弁体２１により薬液吐出路４５を閉じるようにすることで、従来のダイヤフラム式のバルブのように閉弁後にバブル内の容積が変化して薬液がバルブ外に押し流されてしまうことがないので、サックバック量も正確に管理することができ、薬液供給装置３８の吐出精度を向上させることができる。
【００３６】
図５は本発明の他の実施の形態である弁装置を示す断面図であり、図６は図５に示す弁体の外観構成を示す斜視図である。なお、図５において図１に示される部材と共通する部材には同一の符合を付して重複した説明を省略する。
【００３７】
図５に示す弁体２１の磁石収容体６８の形状は、図１に示す磁石収容体２３の形状と相違しており、磁石収容体６８は、弁磁石２２を収容する円柱状の本体部６９と、本体部６９よりも大径となっており弁ブロックに固定される環状の止め付け部７１とを有しており、本体部６９の先端には接触部７０が突出して設けられ、本体部６９と止め付け部７１は複数の弾性支持片７２により連結されており、弾性支持片７２の相互間には流体の通路が形成されている。図５に示す弁ブロック７３は止め付け部７１が装着される環状溝が形成される第１ブロック７４と、隔壁カバー２０が一体として形成される第２ブロック７５とを組み合わせることにより構成されている。
【００３８】
このような磁石収容体６８を備える弁体２１は、接触部７０が連通開口部１５に対向するとともに、止め付け部７１がブロック７４，７５に挟み込まれて弁収容室１４内に組み込まれている。この弁体２１は、その開閉動作に際して、弁収容室１４の内周面に摺動接触することがなく、弁磁石２２は複数の弾性支持片７２により往復動自在に支持されるので、摺動接触にともなう発塵を防止することができる。なお、薬液は、図６に矢印で示すように、弾性支持片７２の間の通路を通って流出孔１３に流出する。
【００３９】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、磁性体３３は、駆動用磁石３２が隔壁部２０ｂから遠ざかったときに弁磁石２２が吸引されて連通開口部１５を開くことができる位置であれば空気圧シリンダ２４の先端部に限られることなく、弁ブロック１１やブロック７５の内部など任意の位置に配置することができ、弁磁石２２を引き付けることができれば、その形状も環状のものに限られず、その個数も任意である。磁性体３３としては強磁性材料に代えて、常磁性材料を用いることもできる。さらに、流出孔１３の開口部を連通開口部としてこれを弁体２１により開閉するようにしても良く、駆動用磁石３２を弁体２１に接近させたときに開くようにし離反させたときに磁性体３３により弁体を閉じるようにしても良い。駆動用磁石３２を接近位置および離反位置に移動させる駆動手段としては、空気圧シリンダ２４のような空気圧を用いるものに限られることなく、例えば、モータなどを用いて駆動するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施の形態である弁装置を示す断面図である。
【図２】（Ａ）は弁体の外観構成を示す斜視図であり、（Ｂ）は図２（Ａ）の正面図であり、（Ｃ）は図２（Ａ）の側面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態である弁装置が装着された薬液供給装置を示す断面図である。
【図４】図３に示す薬液吐出路に接続される弁装置を拡大して示す断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である弁装置を示す断面図である。
【図６】図５に示す弁体の外観構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０ 弁装置
１１ 弁ブロック
１２ 流入孔
１３ 流出孔
１４ 弁収容室
１５ 連通開口部
１６ 弁座面
１７，１８ ジョイント部
１９ 取付孔
２０ 隔壁カバー
２１ 弁体
２２ 弁磁石
２３ 磁石収容体
２４ 空気圧シリンダ
２５ ピストンロッド
２６ ピストン
２７ 後退用圧力室
２８ カバー
２９ ばね収容室
３０ コイルばね
３１ 空気圧ポート
３２ 駆動用磁石
３３ 磁性体
３４ 本体部
３５ 接触部
３６ 突起部
３８ 薬液供給装置
３９ 可撓性チューブ
４０ ポンプ室
４１ 薬液貯留槽
４２ 薬液ノズル
４３ 薬液ポンプ
４４ 薬液吸引路
４５ 薬液吐出路
４６，４７ 弁装置
５３，５４ 固定端部
５５ 弾性変形部
５６ ベローズ
５７，５８ 固定ディスク
５９ 大径ベローズ部
６０ 小径ベローズ部
６１ 作動ディスク
６２ 非圧縮性媒体
６７ 磁石弁
６８ 磁石収容体
６９ 本体部
７０ 接触部
７１ 止め付け部
７２ 弾性支持片
７３ 弁ブロック
７４ 第１ブロック
７５ 第２ブロック
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁力を用いて流路を開閉する弁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハの製造技術分野を始め、液晶基板製造技術分野や多層配線基板製造技術などの分野では、フォトレジスト液、及びアルカリ性や酸性の処理液などの薬液が使用されている。これらの薬液は、薬液貯留槽に蓄えられており、薬液貯留槽と薬液ノズルとを接続する流路に設けられた弁装置を制御することにより、その流路を介して薬液ノズルに案内され所定量ずつウエハ等に滴下されるようになっている。
【０００３】
薬液貯留槽に蓄えられた薬液を吸引し薬液ノズルに吐出するための薬液供給装置には、特許文献１に記載されるように、可撓性チューブなどの弾性部材によりポンプ室が区画形成され、その弾性部材を変形させてポンプ室内の容積を変化させることにより薬液貯留槽内の薬液を吸引し薬液ノズルに吐出する薬液ポンプを有するものがある。薬液貯留槽と薬液ポンプとを接続する薬液吸引路及び薬液ポンプと薬液ノズルとを接続する薬液吐出路のそれぞれには、特許文献２に記載されるように、ポンプ室内の容積変化に対応させて流路を開閉する弁装置が設けられている。
【特許文献１】特開平２００３−１４８３５３号公報
【特許文献２】特開平８−２８５１２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
薬液供給装置の薬液吸引路と薬液吐出路に設けられ流路を開閉する開閉弁として、磁力により弁体を開閉させる場合には、弁体内に弁磁石を組み込み、弁体により流路を閉じるときに駆動用磁石を駆動部材により弁体に接近させるようにしており、弁体が流路を開くときには駆動用磁石を弁体から離反させるようにしている。したがって、弁体により流路が開かれるときの弁体の開度は流路内の流体の圧力により設定されることになる。
【０００５】
流路内の流体の流量を正確に設定するためには、弁体を開位置と閉位置とに移動させるとともに、それぞれの位置では振動することなく安定してその位置を保持させ流路の開閉を確実にする必要がある。
【０００６】
本発明の目的は、流路を開閉させる弁体を開位置と閉位置にいずれも磁力により設定し得るようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の弁装置は、流体の流入孔と流出孔とを連通させる連通開口部を有する弁収容室が形成される弁ブロックと、前記弁収容室に組み込まれ、前記連通開口部を閉じる閉位置と開く開位置とに移動するとともに弁磁石が設けられた弁体と、前記弁磁石に駆動用磁石を接近させて前記弁体を前記開位置と前記閉位置との一方に駆動する接近位置、および前記駆動用磁石を前記弁磁石から離反させる離反位置に移動させる駆動手段と、前記弁ブロックに設けられ、前記駆動用磁石が離反位置となったときに前記弁磁石を引き寄せて前記弁体を前記開位置と前記閉位置の他方に駆動する磁性体とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明の弁装置は、前記駆動用磁石が前記弁磁石に接近したときに前記弁磁石を反発させて前記弁体を前記閉位置に駆動し、前記駆動用磁石が前記弁磁石から離反したときに前記弁磁石が前記磁性体に接近して前記弁体を開位置に駆動することを特徴とする。
【０００９】
本発明の弁装置は、前記弁体は前記弁磁石が封入される樹脂製の磁石収容体を有し、前記弁体が開閉動作する際に前記弁体室の内周面に接触する複数の突起を前記磁石収容体の外周面に設けることを特徴とする。
【００１０】
本発明の弁装置は、前記弁体は前記弁磁石が封入される樹脂製の磁石収容体と、前記弁ブロックに固定される止め付け部とを有し、前記磁石収容体と前記止め付け部とを複数の弾性支持片により連結し、前記磁石収容体と前記止め付け部との間に流体の通路を形成することを特徴とする。
【００１１】
本発明の弁装置は、前記駆動手段は先端部に前記駆動用磁石が設けられたピストンを往復動自在に駆動する空気圧シリンダであることを特徴とする。
【００１２】
本発明の弁装置は、ポンプ室内の容積を増減させることにより薬液貯留槽内の薬液を吸引し薬液ノズルに吐出する薬液ポンプに接続される流入側流路及び流出側流路のうち少なくともいずれか一方に装着することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、弁磁石が設けられた弁体に対し駆動用磁石を接近移動させて弁体を開位置または閉位置の一方に作動し、駆動用磁石を弁体に対し離反移動させたときには弁体に設けられた弁磁石が磁性体に引き寄せられて弁体を開位置または閉位置の他方に作動させるようにしたので、弁体を確実に開位置または閉位置に設定することができる。
【００１４】
本発明によれば、弁磁石を複数の突起や弾性支持片を備える磁石収容体で支持することにより、弁体を開位置と閉位置との間で安定的に移動させることができるとともに、それぞれの位置での振動発生を防止することができ、流路の開閉を安定した状態で確実に行なうことができる。弾性支持片を備える磁石収容体においては、弁体の開閉にともなって弁収容室に摺動接触することがないので、摺動接触による発塵が防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態である弁装置を示す断面図である。
【００１６】
この弁装置１０は樹脂製の弁ブロック１１を有しており、この弁ブロック１１には薬液が流入する流入孔１２と薬液が流出する流出孔１３とが形成されるとともにこれらの流入孔１２と流出孔１３と連通する弁収容室１４が形成されている。流入孔１２の弁収容室１４側の開口部は流入孔１２と流出孔１３とを連通させる連通開口部１５となっており、この連通開口部１５の周囲は弁座面１６となっている。弁ブロック１１には流入孔１２に薬液を供給するための配管が接続されるジョイント部１７と、流出孔１３から薬液を外部に案内するための配管が接続されるジョイント部１８が設けられており、それぞれのジョイント部１７，１８にはナットからなる継手１７ａ，１８ａがねじ結合されるようになっている。継手１７ａにより流入孔１２は薬液貯留槽などが接続される一次側流路に接続されるようになっており、継手１８ａにより流出孔１３は薬液ノズルなどが接続される二次側流路に接続されるようになっている。
【００１７】
弁ブロック１１には弁収容室１４に連通するとともに弁座面１６に対向させて取付孔１９が形成されており、この取付孔１９には樹脂製の隔壁カバー２０が組み付けられている。隔壁カバー２０は、弁ブロック１１の一部を構成しており、弁ブロック１１の取付孔１９に嵌め込まれる円筒部２０ａと弁座面１６に対向する隔壁部２０ｂとを有している。
【００１８】
弁収容室１４内には弁体２１が組み込まれており、この弁体２１は図１に示すように弁座面１６に接触して連通開口部１５を閉じる閉位置と、弁座面１６から離れて隔壁カバー２０に接触して連通開口部１５を開く開位置とに開閉移動する。弁体２１は弁磁石２２とこれが封入される樹脂製の磁石収容体２３とからなり磁石収容体２３の中に弁磁石２２を埋め込むことにより弁磁石２２は液体にさらされないようになっている。
【００１９】
弁ブロック１１には、駆動手段を構成する空気圧シリンダ２４が組み付けられており、空気圧シリンダ２４は、先端部と弁ブロック１１とにより隔壁カバー２０を挟み込むシリンダチューブ２４ａを有しており、シリンダチューブ２４ａはアルミニウム合金などの非磁性材料により形成されている。シリンダチューブ２４ａの内部にはピストンロッド２５が一体となったピストン２６が往復動自在に収容されており、ピストンロッド２５およびピストン２６はアルミニウムや樹脂などの非磁性材料により形成されている。ピストン２６のロッド側端面と空気圧シリンダ２４とにより後退用圧力室２７が形成され、シリンダチューブ２４ａの端部に固定されるカバー２８の内側はばね収容室２９となっている。ばね収容室２９には圧縮コイルばね３０が組み込まれており、ピストン２６には常時、これを前進つまり隔壁カバー２０に向かう方向のばね力が加えられている。後退用圧力室２７に連通する空気圧ポート３１がシリンダチューブ２４ａに形成されており、この空気圧ポート３１に接続される図示しない正圧源から正圧空気を後退用圧力室２７に供給することによって、ピストン２６はコイルばね３０の押圧力に抗して後退つまり隔壁カバー２０から離反させる方向に移動する。
【００２０】
なお、ピストン２６を往復動するための手段としては、ばね収容室２９を前進用圧力室としてこれに圧縮空気を供給してピストン２６を前進移動させることによってピストン２６を正圧空気により前進後退移動するようにしても良い。また、後退用圧力室２７をばね室としてばね力によりピストン２６を後退移動させるようにしても良く、その場合には正圧空気により前進移動を行う。さらには、正圧空気に代えて負圧空気によりピストン２６を駆動するようにしても良い。
【００２１】
ピストンロッド２５の先端部には永久磁石である駆動用磁石３２が装着されている。駆動用磁石３２は、ピストン２６を前進移動させることにより図１に示すように隔壁部２０ｂに接触して弁体２１の弁磁石２２に最接近する接近位置と、ピストン２６をカバー２８に接触させる後退限位置に移動させて弁磁石２２から最も離反した離反位置との間を往復動する。
【００２２】
駆動用磁石３２と弁磁石２２は、駆動用磁石３２の弁磁石２２側の領域と弁磁石２２の駆動用磁石３２側の領域とが同極性となるように、相互に同一の磁極（例えば、Ｓ極）が対向するように配置されており、弁磁石２２は駆動用磁石３２を弁体２１に接近させると駆動用磁石３２に反発し、弁体２１は連通開口部１５を図１に示すように閉じる閉位置となる。一方、駆動用磁石３２を離反位置までピストン２６により移動させると、駆動用磁石３２の磁力は弁磁石２２に対して磁力の影響が低下ないし消滅することになり、駆動用磁石３２により連通開口部１５を流体の圧力に抗して弁体２１を閉位置に保持する磁力は弁磁石２２には加えられなくなる。
【００２３】
駆動用磁石３２が離反位置となった状態のもとで弁体２１を開位置に保持するために、隔壁部２０ｂとシリンダチューブ２４ａとの間には環状の磁性体３３が取り付けられている。この磁性体３３は強磁性の材料により形成されており、弁ブロック１１に弁体２１を介して弁座面１６に対するように取り付けられ、駆動用磁石３２が離反位置となった状態のもとでは弁磁石２２の磁力によって自発磁化を形成して弁磁石２２を引き寄せて弁体２１を開位置に駆動する。駆動用磁石３２が接近位置となったときには、図１に示すように駆動用磁石３２は磁性体３３の内側に入り込むことになるが、このときには駆動用磁石３２の磁力が強く弁磁石２２に作用して弁体２１は閉位置に駆動される。
【００２４】
図２（Ａ）は図１に示す弁体２１の外観構成を示す斜視図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の正面図であり、図２（Ｃ）は図２（Ａ）の側面図である。
【００２５】
弁磁石２２が組み込まれた磁石収容体２３は、円筒状の本体部３４を有しこれの端面からは弁座面１６に接触する接触部３５が突出しており、本体部３４の前後両端部には円周方向に所定の間隔で径方向外方に突出する突起部３６が設けられている。弁体２１は、このような磁石収容体２３とこの内部に封入されて薬液などの流体が直接接触しないようになった弁磁石２２とにより形成され、弁体２１を弁収容室１４内に収容したとき、複数の突起部３６のうちいずれかが弁収容室１４の内周面に接触し、突起部３６相互間の隙間を介して薬液が流れるようになっている。
【００２６】
図１に示す弁装置１０における弁体２１は以下のように開閉作動する。後退用圧力室２７に正圧空気が供給されない状態では、図１に示すように、ピストン２６は駆動用磁石３２が隔壁部２０ｂに当接する前進限位置まで移動し、弁磁石２２に対して駆動用磁石３２の磁界が強く影響して、その反発力により弁磁石２２は閉位置に移動する。これにより、弁体２１が連通開口部１５を閉じて流入孔１２が塞がれて、流入孔１２と流出孔１３との連通が遮断される。
【００２７】
図１に示す状態から、後退用圧力室２７に正圧空気を供給すると、ピストン２６は後退つまり隔壁部２０ｂから遠ざかる方向に移動し、駆動用磁石３２が形成する磁界が弁磁石２２に及ぼす影響が弱くなる。これにより、弁磁石２２は磁性体３３に引き付けられるようになり、弁体２１が連通開口部１５から離れて流入孔１２と流出孔１３とが連通状態となる。
【００２８】
後退用圧力室２７に対する正圧空気の供給を停止して後退用圧力室２７内の空気を排出すると、弁体２１は閉位置に移動して、上述のように流入孔１２と流出孔１３の連通を遮断させる。このように、後退用圧力室２７に対する正圧空気の供給と排出とを行うことにより、連通開口部１５の開閉操作を行うことができる。このとき、一定容積の弁収容室１４に配置された弁体２１をその外部に配置される駆動用磁石３２を近づけたり遠ざけたりすることによって連通開口部１５の開閉を行うので、連通開口部１５の開閉前後で弁収容室１４の内部容積が変化することがなく、ダイヤフラム式のバルブのように連通開口部を閉じた後に流体が流動することがなく、弁体２１の開閉時に流路内に流体が流れることが防止される。弁収容室１４の内周面に摺接する突起部３６によって弁体２１が往復動自在に支持されるので、弁体２１の移動は安定しており、開位置及び閉位置のそれぞれにおいて安定してその位置を保持することができる。また、弁収容室１４内はほぼ円柱形状となっており、安定した流れを形成することができ、薬液を滞留させることはない。
【００２９】
図３は本発明の他の実施の形態である弁装置が装着された薬液供給装置を示す断面図であり、図４は図３に示す薬液吐出路に接続される弁装置を拡大して示す断面図である。なお、図１及び図２に示す部材と共通する部材には同一の符合を付して重複した説明を省略する。
【００３０】
図３に示す薬液供給装置３８は、可撓性チューブ３９を径方向に膨張収縮させてポンプ室４０内の容積を変化させることにより薬液貯留槽４１内の薬液を吸引し薬液ノズル４２に吐出する薬液ポンプ４３を有しており、薬液貯留槽４１と薬液ポンプ４３とを接続する薬液吸引路４４及び薬液ポンプ４３と薬液ノズル４２とを接続する薬液吐出路４５のそれぞれには、ポンプ室４０内の容積変化に対応させて薬液吸引路４４および薬液吐出路４５を開閉する弁装置４６，４７が設けられている。図示する場合には、薬液吸引路４４に設けられる弁装置４６の流体流出側のジョイント部１８は可撓性チューブ３９の流入側に連通し、薬液吐出路４５に設けられる弁装置４７の流体流入側のジョイント部１７は可撓性チューブ３９の流出側に連通している。
【００３１】
この可撓性チューブ３９は、ジョイント部１８に嵌合される流入側の固定端部５３と、ジョイント部１７に嵌合される流出側の固定端部５４とを有し、両方の固定端部５３，５４の間は弾性変形部５５となっており、弾性変形部５５の内部は上述のポンプ室４０となっている。ポンプ室４０の容積を変化させるために、可撓性チューブ３９の外部にはベローズ５６が配置されている。ベローズ５６は、固定端部５３を挟み込むようにしてジョイント部１８に固定される流入側の固定ディスク５７と、固定端部５４を挟み込むようにしてジョイント部１７に固定される流出側の固定ディスク５８と、固定ディスク５７に連結される大径ベローズ部５９及び固定ディスク５８に連結される小径ベローズ部６０の間に配置される作動ディスク６１とを有している。
【００３２】
大径ベローズ部５９及び小径ベローズ部６０を軸方向に変形させてポンプ室４０の容積を変化させるために、可撓性チューブ３９とベローズ５６との間には非圧縮性媒体６２が封入されており、作動ディスク６１にはポンプ駆動機構６３が取り付けられている。このポンプ駆動機構６３はモータ６４により駆動されるボールねじ６５と、このボールねじ６５にねじ結合され作動ディスク６１に係合するボールナット６６とを有している。非圧縮性媒体６２の容積は一定となっているので、モータ６４を駆動して作動ディスク６１を固定ディスク５７に向けて移動させると可撓性チューブ３９の弾性変形部５５が収縮してポンプ室４０の容積が収縮し、作動ディスク６１を固定ディスク５８に向けて移動させると弾性変形部５５が膨張してポンプ室４０の容積が膨張する。
【００３３】
次に、弁装置４６，４７を有する薬液供給装置３８によるポンプ動作について説明すると、まず、弁装置４６の後退用圧力室２７に空気圧ポート３１から正圧空気を供給して弁体２１を開くとともに、弁装置４７の後退用圧力室２７内の正圧空気を排出して弁体２１を閉じる。次いで、モータ６４を駆動してポンプ室４０の容積を増大させることによって、薬液貯留槽４１内の薬液を弁装置４６を介してポンプ室４０内に取り込む。その後、弁装置４７の後退用圧力室２７に正圧空気を供給して弁体２１を開くとともに、弁装置４６の後退用圧力室２７内の空気を排出して弁体２１を閉じる。次いで、モータ６４を駆動してポンプ室４０の容積を減少させることによって、ポンプ室４０内の薬液を弁装置４７を介して薬液ノズル４２に供給する。
【００３４】
ここで、それぞれの弁装置４６，４７は、従来のダイヤフラム式のバルブのように閉弁後にバブル内の容積が変化して薬液がバルブ外に押し流されてしまうことがないので、薬液供給装置３８は高精度で薬液を吐出させることができる。これらの弁装置４６，４７が装着された薬液供給装置３８は、薬液の吸引量及び吐出量のそれぞれがポンプ室４０の変化量によって行われるため、モータ６４の駆動を制御することにより、所定量の薬液を吸引し薬液ノズル４２に吐出することができる。
【００３５】
所定量の薬液を供給し終えた後は、それぞれの弁装置４６，４７の弁体２１は閉じられるが、その前に、弁装置４７の弁体２１を開き弁装置４６の弁体２１を閉じた状態のもとで、モータ６４を駆動してポンプ室４０の容積を増大させることによって、薬液ノズル４２内に残留した薬液をポンプ室４０に向けてサックバックさせることができる。サックバック動作後、弁装置４７の後退用圧力室２７への正圧空気の供給を停止して弁体２１を閉じることにより、薬液ノズル４２内に残留した薬液の液垂れを防止することができる。このとき、弁体２１により薬液吐出路４５を閉じるようにすることで、従来のダイヤフラム式のバルブのように閉弁後にバブル内の容積が変化して薬液がバルブ外に押し流されてしまうことがないので、サックバック量も正確に管理することができ、薬液供給装置３８の吐出精度を向上させることができる。
【００３６】
図５は本発明の他の実施の形態である弁装置を示す断面図であり、図６は図５に示す弁体の外観構成を示す斜視図である。なお、図５において図１に示される部材と共通する部材には同一の符合を付して重複した説明を省略する。
【００３７】
図５に示す弁体２１の磁石収容体６８の形状は、図１に示す磁石収容体２３の形状と相違しており、磁石収容体６８は、弁磁石２２を収容する円柱状の本体部６９と、本体部６９よりも大径となっており弁ブロックに固定される環状の止め付け部７１とを有しており、本体部６９の先端には接触部７０が突出して設けられ、本体部６９と止め付け部７１は複数の弾性支持片７２により連結されており、弾性支持片７２の相互間には流体の通路が形成されている。図５に示す弁ブロック７３は止め付け部７１が装着される環状溝が形成される第１ブロック７４と、隔壁カバー２０が一体として形成される第２ブロック７５とを組み合わせることにより構成されている。
【００３８】
このような磁石収容体６８を備える弁体２１は、接触部７０が連通開口部１５に対向するとともに、止め付け部７１がブロック７４，７５に挟み込まれて弁収容室１４内に組み込まれている。この弁体２１は、その開閉動作に際して、弁収容室１４の内周面に摺動接触することがなく、弁磁石２２は複数の弾性支持片７２により往復動自在に支持されるので、摺動接触にともなう発塵を防止することができる。なお、薬液は、図６に矢印で示すように、弾性支持片７２の間の通路を通って流出孔１３に流出する。
【００３９】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、磁性体３３は、駆動用磁石３２が隔壁部２０ｂから遠ざかったときに弁磁石２２が吸引されて連通開口部１５を開くことができる位置であれば空気圧シリンダ２４の先端部に限られることなく、弁ブロック１１やブロック７５の内部など任意の位置に配置することができ、弁磁石２２を引き付けることができれば、その形状も環状のものに限られず、その個数も任意である。磁性体３３としては強磁性材料に代えて、常磁性材料を用いることもできる。さらに、流出孔１３の開口部を連通開口部としてこれを弁体２１により開閉するようにしても良く、駆動用磁石３２を弁体２１に接近させたときに開くようにし離反させたときに磁性体３３により弁体を閉じるようにしても良い。駆動用磁石３２を接近位置および離反位置に移動させる駆動手段としては、空気圧シリンダ２４のような空気圧を用いるものに限られることなく、例えば、モータなどを用いて駆動するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施の形態である弁装置を示す断面図である。
【図２】（Ａ）は弁体の外観構成を示す斜視図であり、（Ｂ）は図２（Ａ）の正面図であり、（Ｃ）は図２（Ａ）の側面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態である弁装置が装着された薬液供給装置を示す断面図である。
【図４】図３に示す薬液吐出路に接続される弁装置を拡大して示す断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である弁装置を示す断面図である。
【図６】図５に示す弁体の外観構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０ 弁装置
１１ 弁ブロック
１２ 流入孔
１３ 流出孔
１４ 弁収容室
１５ 連通開口部
１６ 弁座面
１７，１８ ジョイント部
１９ 取付孔
２０ 隔壁カバー
２１ 弁体
２２ 弁磁石
２３ 磁石収容体
２４ 空気圧シリンダ
２５ ピストンロッド
２６ ピストン
２７ 後退用圧力室
２８ カバー
２９ ばね収容室
３０ コイルばね
３１ 空気圧ポート
３２ 駆動用磁石
３３ 磁性体
３４ 本体部
３５ 接触部
３６ 突起部
３８ 薬液供給装置
３９ 可撓性チューブ
４０ ポンプ室
４１ 薬液貯留槽
４２ 薬液ノズル
４３ 薬液ポンプ
４４ 薬液吸引路
４５ 薬液吐出路
４６，４７ 弁装置
５３，５４ 固定端部
５５ 弾性変形部
５６ ベローズ
５７，５８ 固定ディスク
５９ 大径ベローズ部
６０ 小径ベローズ部
６１ 作動ディスク
６２ 非圧縮性媒体
６７ 磁石弁
６８ 磁石収容体
６９ 本体部
７０ 接触部
７１ 止め付け部
７２ 弾性支持片
７３ 弁ブロック
７４ 第１ブロック
７５ 第２ブロック
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流入孔と流出孔とを連通させる連通開口部を有する弁収容室が形成される弁ブロックと、
前記弁収容室に組み込まれ、前記連通開口部を閉じる閉位置と開く開位置とに移動するとともに弁磁石が設けられた弁体と、
前記弁磁石に駆動用磁石を接近させて前記弁体を前記開位置と前記閉位置との一方に駆動する接近位置、および前記駆動用磁石を前記弁磁石から離反させる離反位置に移動させる駆動手段と、
前記弁ブロックに設けられ、前記駆動用磁石が離反位置となったときに前記弁磁石を引き寄せて前記弁体を前記開位置と前記閉位置の他方に駆動する磁性体とを有することを特徴とする弁装置。
【請求項２】
請求項１記載の弁装置において、前記駆動用磁石が前記弁磁石に接近したときに前記弁磁石を反発させて前記弁体を前記閉位置に駆動し、前記駆動用磁石が前記弁磁石から離反したときに前記弁磁石が前記磁性体に接近して前記弁体を開位置に駆動することを特徴とする弁装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の弁装置において、前記弁体は前記弁磁石が封入される樹脂製の磁石収容体を有し、前記弁体が開閉動作する際に前記弁体室の内周面に接触する複数の突起を前記磁石収容体の外周面に設けることを特徴とする弁装置。
【請求項４】
請求項１または２記載の弁装置において、前記弁体は前記弁磁石が封入される樹脂製の磁石収容体と、前記弁ブロックに固定される止め付け部とを有し、前記磁石収容体と前記止め付け部とを複数の弾性支持片により連結し、前記磁石収容体と前記止め付け部との間に流体の通路を形成することを特徴とする弁装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の弁装置において、前記駆動手段は先端部に前記駆動用磁石が設けられたピストンを往復動自在に駆動する空気圧シリンダであることを特徴とする弁装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の弁装置において、ポンプ室内の容積を増減させることにより薬液貯留槽内の薬液を吸引し薬液ノズルに吐出する薬液ポンプに接続される流入側流路及び流出側流路のうち少なくともいずれか一方に装着することを特徴とする弁装置。
【請求項１】
流体の流入孔と流出孔とを連通させる連通開口部を有する弁収容室が形成される弁ブロックと、
前記弁収容室に組み込まれ、前記連通開口部を閉じる閉位置と開く開位置とに移動するとともに弁磁石が設けられた弁体と、
前記弁磁石に駆動用磁石を接近させて前記弁体を前記開位置と前記閉位置との一方に駆動する接近位置、および前記駆動用磁石を前記弁磁石から離反させる離反位置に移動させる駆動手段と、
前記弁ブロックに設けられ、前記駆動用磁石が離反位置となったときに前記弁磁石を引き寄せて前記弁体を前記開位置と前記閉位置の他方に駆動する磁性体とを有することを特徴とする弁装置。
【請求項２】
請求項１記載の弁装置において、前記駆動用磁石が前記弁磁石に接近したときに前記弁磁石を反発させて前記弁体を前記閉位置に駆動し、前記駆動用磁石が前記弁磁石から離反したときに前記弁磁石が前記磁性体に接近して前記弁体を開位置に駆動することを特徴とする弁装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の弁装置において、前記弁体は前記弁磁石が封入される樹脂製の磁石収容体を有し、前記弁体が開閉動作する際に前記弁体室の内周面に接触する複数の突起を前記磁石収容体の外周面に設けることを特徴とする弁装置。
【請求項４】
請求項１または２記載の弁装置において、前記弁体は前記弁磁石が封入される樹脂製の磁石収容体と、前記弁ブロックに固定される止め付け部とを有し、前記磁石収容体と前記止め付け部とを複数の弾性支持片により連結し、前記磁石収容体と前記止め付け部との間に流体の通路を形成することを特徴とする弁装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の弁装置において、前記駆動手段は先端部に前記駆動用磁石が設けられたピストンを往復動自在に駆動する空気圧シリンダであることを特徴とする弁装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の弁装置において、ポンプ室内の容積を増減させることにより薬液貯留槽内の薬液を吸引し薬液ノズルに吐出する薬液ポンプに接続される流入側流路及び流出側流路のうち少なくともいずれか一方に装着することを特徴とする弁装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００６−２０７７８１（Ｐ２００６−２０７７８１Ａ）
【公開日】平成１８年８月１０日（２００６．８．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２４２７８（Ｐ２００５−２４２７８）
【出願日】平成１７年１月３１日（２００５．１．３１）
【出願人】（０００１４５６１１）株式会社コガネイ (142)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年８月１０日（２００６．８．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１月３１日（２００５．１．３１）
【出願人】（０００１４５６１１）株式会社コガネイ (142)
【Ｆターム（参考）】
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