感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法

【課題】表面のタック性が小さく、ラミネート性等が良好で、保存安定性に優れ、露光感度が高く、現像後に優れた耐熱性等を発現し、高い表面硬度が得られる感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。
【解決手段】共重合体１ｋｇ中の重合可能な架橋性ビニル基のモル数で表されるＣ＝Ｃ密度が０．５〜３．２であり、無水マレイン酸共重合体の無水物基に対して０．１〜１．２当量の１級アミン化合物を反応させて得られる共重合体と、重合性化合物と、光重合開始剤と、を少なくとも含む感光性組成物、これを用いた感光性フィルム、永久パターン及びその形成方法である。前記共重合体が重合可能な官能基を側鎖に有するビニル単量体を少なくとも一種以上有する態様、前記１級アミン化合物が重合可能な官能基を有する態様などが好ましい。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）共重合体１ｋｇ中の重合可能な架橋性ビニル基のモル数で表されるＣ＝Ｃ密度が０．５〜３．２であり、無水マレイン酸共重合体の無水物基に対し、１級アミン化合物の１種以上をアミンの合計が０．１〜１．２当量となるよう反応させた共重合体と、（Ｂ）重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。
【請求項２】
共重合体（Ａ）が、少なくとも（ａ）無水マレイン酸と、（ｂ）芳香族ビニル単量体と、からなる共重合体の無水物基に対し、１級アミン化合物の１種以上をアミンの合計が０．１〜１．０当量となるよう反応させて得られる請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
共重合体（Ａ）が、（ａ）無水マレイン酸と、（ｂ）芳香族ビニル単量体と、（ｃ）ビニル単量体であって、該ビニル単量体のホモポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が８０℃未満であるビニル単量体と、からなる共重合体の無水物基に対し、１級アミン化合物の１種以上をアミンの合計が０．１〜１．０当量となるよう反応させて得られる請求項１から２のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項４】
共重合体（Ａ）が、重合可能な官能基を側鎖に有するビニル単量体を少なくとも１種以上有する請求項１から３のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項５】
１級アミン化合物が、下記一般式（１）で表される、重合可能な官能基を有する請求項４に記載の感光性組成物。
【化１】

ただし、前記一般式（１）中、Ｌは２価の基を表す。Ｘは重合可能な二重結合を有する基を表す。ｎは１から４の整数を表す。
【請求項６】
支持体と、該支持体上に、請求項１から６のいずれかに記載の感光性組成物が積層されてなる感光層と、を有することを特徴とする感光性フィルム。
【請求項７】
請求項１から５のいずれかに記載の感光性組成物を、基材の表面に塗布し、乾燥して感光層を形成した後、露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法。
【請求項８】
請求項６に記載の感光性フィルムを、加熱及び加圧の少なくともいずれかの下において基材の表面に積層した後、露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法。
【請求項９】
基材が、配線形成済みのプリント配線基板である請求項７から８のいずれかに記載の永久パターン形成方法。
【請求項１０】
請求項７から９のいずれかに記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とする永久パターン。
【請求項１１】
保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかである請求項１０に記載の永久パターン。

【図１】