撮影機能付き半導体チップ突き出し装置
【課題】新たな取扱い法に利用され得る撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の提供。
【解決手段】上面から下面まで貫通する貫通孔を有し、且つ、上面で保持テープを保持することができるように構成されている保持テープ設置台と、貫通孔を経由して、保持テープ設置台により保持される保持テープを突き上げることができる突き出しピンを有する突き出し手段と、突き出し手段を駆動する駆動手段と、保持テープ設置台の下方に配置されており、且つ、貫通孔を経由して、突き出し手段により突き上げられる保持テープ及び半導体チップの様子を撮影することができるように構成されている撮影手段とを備えている撮影機能付き半導体チップ突き出し装置を提供する。
【解決手段】上面から下面まで貫通する貫通孔を有し、且つ、上面で保持テープを保持することができるように構成されている保持テープ設置台と、貫通孔を経由して、保持テープ設置台により保持される保持テープを突き上げることができる突き出しピンを有する突き出し手段と、突き出し手段を駆動する駆動手段と、保持テープ設置台の下方に配置されており、且つ、貫通孔を経由して、突き出し手段により突き上げられる保持テープ及び半導体チップの様子を撮影することができるように構成されている撮影手段とを備えている撮影機能付き半導体チップ突き出し装置を提供する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮影機能付き半導体チップ突き出し装置に関し、特に、保持テープの上面に貼付されている半導体チップを保持テープの下から突き出し、一方で該突き出される半導体チップの姿勢及び位置を撮影することができる撮影機能付き半導体チップ突き出し装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップは、通常、ウェハに一斉生産してから保持テープに貼付け、切削処理を経た後、保持テープを引き伸ばすことによって保持テープ上で互いに所定距離おきに離間され、個片化されている。該個片化された半導体チップは、保持テープに複数片保持されており、実装する際に、保持テープから１片ずつ分離して利用される。
【０００３】
半導体チップを保持テープから分離するには、例えば特許文献１に記載されている半導体チップ突き出し装置が使用される。
【０００４】
該従来の半導体チップ突き出し装置は、図３に示されるように、半導体チップを保持した保持テープを設置する上面を有する設置台１０と、先端が設置台１０の上面より高く突出して保持テープ越しに半導体チップの中央部分を突き当てることができる突き出し手段１１と、半導体チップが突き上げられる際の位置や過程を撮影する撮影手段１２とを備えている。
【０００５】
通常、その撮影手段１２は、図３に示されるように、設置台１０及び突き出し手段１１の上方に配置されている。
【０００６】
また、半導体チップを回路基板へ搭載する方法としては、設置台１０上に回路基板をチップの箇所が下に向かうように設置しておき、突き出し手段１１により半導体チップを突き上げて上の回路基板に組み込むことで、保持テープからの分離と回路基板への組立てとが同時に行えるという方法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】台湾新型特許第３３５７８８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記従来の半導体チップ突き出し装置には撮影機能が付設されているが、該撮影手段１２は設置台１０及び突き出し手段１１の上方に配置されているため、保持テープと撮影手段１２の間の空間に回路基板を設置する必要があり、作業がしにくい、という問題がある。したがって、本発明は、上記保持テープからの分離と回路基板への組立てとが同時に行う方法において利用され得る撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的に達成すべく、本発明は、下面の方から保持テープの上面における半導体チップを上へ突き出し、一方で該半導体チップの姿勢及び位置を撮影する、撮影機能付き半導体チップ突き出し装置であって、
上面から下面まで貫通する貫通孔を有し、且つ、前記上面で前記保持テープを支持することができるように構成されている保持テープ設置台と、
前記貫通孔を経由して、前記保持テープ設置台により保持される前記保持テープを突き上げることができる突き出しピンを有する突き出し手段と、
前記突き出し手段を駆動する駆動手段と、
前記保持テープ設置台の下方に配置されており、且つ、前記貫通孔を経由して、前記突き出し手段により突き上げられる前記保持テープ及び半導体チップの様子を撮影することができるように構成されている撮影手段とを備えることを特徴とする撮影機能付き半導体チップ突き出し装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成により、本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置は、撮影手段が保持テープ設置台の下方に配置されており、該保持テープ上の所定の半導体チップと該保持テープ設置台の貫通孔とが上下対応するように保持テープ設置台の上面に前記保持テープを設置し、保持させた後、前記駆動手段を駆動させると、前記突き出し手段が前記保持テープの前記所定の半導体チップを持ち上げ、一方で前記撮影手段により半導体チップの姿勢及び位置を撮影することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の側面図である。
【図２】同撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の貫通孔周辺の構成を示す要部拡大図である。
【図３】従来撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら、本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の好ましい実施形態について説明する。
【００１３】
図１は該撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の側面図であり、図２は該撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の貫通孔（後述）周辺の構成を示す要部拡大図である。
【００１４】
図１に示されるように、本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置は、半導体チップ突き出し装置２に、撮影手段４が付設されて構成されているものである。
【００１５】
半導体チップ突き出し装置２は、保持フレーム２１と、保持フレーム２１に取り付けられている保持テープ設置台３１と、突き出し手段３２と、駆動手段３３とを有している。
【００１６】
撮影手段４は保持テープ設置台３１の下方にあって、保持フレーム２１から延伸する撮影手段設置座２３に固定されている。
【００１７】
保持テープ設置台３１は、上面から下面まで貫通する貫通孔３１４を有し、前記上面で半導体チップを保持する保持テープを支持できるように構成されている。
【００１８】
保持テープ設置台３１は、上面が保持テープを保持できる設置平面３１１に形成され、設置平面３１１の上面から下面まで貫通する貫通孔３１４が設けられている。更に、保持テープ設置台３１の下面には、その周縁から下方へ延伸し、下方に向けて開口するフェンス３１２が皿状に形成されている。フェンス３１２の下端縁は保持フレーム２１の支持台２２により支持されている。これらの構成により、負圧室３１０は、保持テープ設置台３１とフェンス３１２と支持台２２とにより囲まれて画成されている。この負圧室３１０は、連通された負圧生成手段（図示せず）による負圧で、保持テープ設置台３１に設けられた吸気孔（図示せず）を経由して設置平面３１１に設置された保持テープを吸着して保持することができる。
【００１９】
突き出し手段３２は、設置平面３１１と直交する所定の延伸方向３２０に沿って延伸するように形成された突き出しピン３２１と、突き出しピン３２１を支持する可動座３４とを備え、突き出しピン３２１が貫通孔３１４を経由して、保持テープ設置台３１により保持される保持テープを突き上げることができるように、負圧室３１０内に配置されている。
【００２０】
駆動手段３３は、負圧室３１０内に配置されている突き出し手段３２を上下駆動できるように構成されている。
【００２１】
撮影手段４は、撮影手段設置座２３に固定されている記録ユニット４２と、該記録ユニット４２の保持テープ設置台３１に向かっている端部に取り付けられているレンズユニット４１と、貫通孔３１４の周辺を照明する照明ユニット４３とを備えている。
【００２２】
レンズユニット４１は、両端を有する直管状の光ファイバーチューブから構成されており、一端部４１５が記録ユニット４２に取り付けられ、他端部４１４が負圧室３１０内まで延伸して貫通孔３１４の近くに配置されている管状体４１１と、該管状体４１１の他端部４１４に取り付けられているレンズヘッド４１２とを有するリギッドボアスコープであり、管状体４１１の中心軸線４１０の延伸方向と、突き出しピン３２１の延伸方向３２０とが、貫通孔３１４の上方に鋭角を挟んで交差するように配置されている。
【００２３】
レンズヘッド４１２は、図２に示されるように、視野角範囲αを有し、該視野角範囲αの中心線４１６がちょうど貫通孔３１４を通過するように構成されており、また、突き出し手段３２の上方へ移動する範囲は、該視野角範囲α内にあるように配置構成されている。
【００２４】
レンズユニット４１は、管状体４１１の中心軸線４１０が、レンズヘッド４１２の視野角範囲αの中心線４１６と３０°で交差しており、突き出しピン３２１の延伸方向３２０と２０°で交差するように配置構成されている。
【００２５】
記録ユニット４２はＣＣＤカメラを有し、レンズユニット４１から取り込んだ映像を電子信号に変換して記録することができる。
【００２６】
照明ユニット４３は、記録ユニット４２の隣りに配置された光源部４３１を有し、該光源部４３１から、管状体４１１の光ファイバーを経由して光軸がレンズユニット４１の視野角範囲αの中心線４１６と合致する光が発せられ、貫通孔３１４の周辺を照明するように構成されている。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
上記構成により、本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置は、該保持テープ上の所定の半導体チップと該保持テープ設置台の貫通孔とが上下対応するように、保持テープ設置台の上面に前記保持テープを設置し、保持させた後、前記駆動手段を駆動させると、前記突き出し手段が前記保持テープの前記所定の半導体チップを持ち上げ、一方で前記撮影手段により半導体チップの姿勢及び位置を撮影することができる。
【符号の説明】
【００２８】
２ 半導体チップ突き出し装置
２１ 保持フレーム
２２ 支持台
２３ 撮影手段設置座
３１ 保持テープ設置台
３１０ 負圧室
３１１ 設置平面
３１２ フェンス
３１４ 貫通孔
３２ 突き出し手段
３２０ 突き出しピンの延伸方向
３２１ 突き出しピン
３３ 駆動手段
３４ 可動座
４ 撮影手段
４１ レンズユニット
４１０ 管状体の中心軸線
４１２ レンズヘッド
４１４ 管状体の他端部
４１５ 管状体の一端部
４１６ 中心線
４２ 記録ユニット
４３ 照明ユニット
４３１ 光源部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮影機能付き半導体チップ突き出し装置に関し、特に、保持テープの上面に貼付されている半導体チップを保持テープの下から突き出し、一方で該突き出される半導体チップの姿勢及び位置を撮影することができる撮影機能付き半導体チップ突き出し装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップは、通常、ウェハに一斉生産してから保持テープに貼付け、切削処理を経た後、保持テープを引き伸ばすことによって保持テープ上で互いに所定距離おきに離間され、個片化されている。該個片化された半導体チップは、保持テープに複数片保持されており、実装する際に、保持テープから１片ずつ分離して利用される。
【０００３】
半導体チップを保持テープから分離するには、例えば特許文献１に記載されている半導体チップ突き出し装置が使用される。
【０００４】
該従来の半導体チップ突き出し装置は、図３に示されるように、半導体チップを保持した保持テープを設置する上面を有する設置台１０と、先端が設置台１０の上面より高く突出して保持テープ越しに半導体チップの中央部分を突き当てることができる突き出し手段１１と、半導体チップが突き上げられる際の位置や過程を撮影する撮影手段１２とを備えている。
【０００５】
通常、その撮影手段１２は、図３に示されるように、設置台１０及び突き出し手段１１の上方に配置されている。
【０００６】
また、半導体チップを回路基板へ搭載する方法としては、設置台１０上に回路基板をチップの箇所が下に向かうように設置しておき、突き出し手段１１により半導体チップを突き上げて上の回路基板に組み込むことで、保持テープからの分離と回路基板への組立てとが同時に行えるという方法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】台湾新型特許第３３５７８８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記従来の半導体チップ突き出し装置には撮影機能が付設されているが、該撮影手段１２は設置台１０及び突き出し手段１１の上方に配置されているため、保持テープと撮影手段１２の間の空間に回路基板を設置する必要があり、作業がしにくい、という問題がある。したがって、本発明は、上記保持テープからの分離と回路基板への組立てとが同時に行う方法において利用され得る撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的に達成すべく、本発明は、下面の方から保持テープの上面における半導体チップを上へ突き出し、一方で該半導体チップの姿勢及び位置を撮影する、撮影機能付き半導体チップ突き出し装置であって、
上面から下面まで貫通する貫通孔を有し、且つ、前記上面で前記保持テープを支持することができるように構成されている保持テープ設置台と、
前記貫通孔を経由して、前記保持テープ設置台により保持される前記保持テープを突き上げることができる突き出しピンを有する突き出し手段と、
前記突き出し手段を駆動する駆動手段と、
前記保持テープ設置台の下方に配置されており、且つ、前記貫通孔を経由して、前記突き出し手段により突き上げられる前記保持テープ及び半導体チップの様子を撮影することができるように構成されている撮影手段とを備えることを特徴とする撮影機能付き半導体チップ突き出し装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成により、本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置は、撮影手段が保持テープ設置台の下方に配置されており、該保持テープ上の所定の半導体チップと該保持テープ設置台の貫通孔とが上下対応するように保持テープ設置台の上面に前記保持テープを設置し、保持させた後、前記駆動手段を駆動させると、前記突き出し手段が前記保持テープの前記所定の半導体チップを持ち上げ、一方で前記撮影手段により半導体チップの姿勢及び位置を撮影することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の側面図である。
【図２】同撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の貫通孔周辺の構成を示す要部拡大図である。
【図３】従来撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら、本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の好ましい実施形態について説明する。
【００１３】
図１は該撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の側面図であり、図２は該撮影機能付き半導体チップ突き出し装置の貫通孔（後述）周辺の構成を示す要部拡大図である。
【００１４】
図１に示されるように、本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置は、半導体チップ突き出し装置２に、撮影手段４が付設されて構成されているものである。
【００１５】
半導体チップ突き出し装置２は、保持フレーム２１と、保持フレーム２１に取り付けられている保持テープ設置台３１と、突き出し手段３２と、駆動手段３３とを有している。
【００１６】
撮影手段４は保持テープ設置台３１の下方にあって、保持フレーム２１から延伸する撮影手段設置座２３に固定されている。
【００１７】
保持テープ設置台３１は、上面から下面まで貫通する貫通孔３１４を有し、前記上面で半導体チップを保持する保持テープを支持できるように構成されている。
【００１８】
保持テープ設置台３１は、上面が保持テープを保持できる設置平面３１１に形成され、設置平面３１１の上面から下面まで貫通する貫通孔３１４が設けられている。更に、保持テープ設置台３１の下面には、その周縁から下方へ延伸し、下方に向けて開口するフェンス３１２が皿状に形成されている。フェンス３１２の下端縁は保持フレーム２１の支持台２２により支持されている。これらの構成により、負圧室３１０は、保持テープ設置台３１とフェンス３１２と支持台２２とにより囲まれて画成されている。この負圧室３１０は、連通された負圧生成手段（図示せず）による負圧で、保持テープ設置台３１に設けられた吸気孔（図示せず）を経由して設置平面３１１に設置された保持テープを吸着して保持することができる。
【００１９】
突き出し手段３２は、設置平面３１１と直交する所定の延伸方向３２０に沿って延伸するように形成された突き出しピン３２１と、突き出しピン３２１を支持する可動座３４とを備え、突き出しピン３２１が貫通孔３１４を経由して、保持テープ設置台３１により保持される保持テープを突き上げることができるように、負圧室３１０内に配置されている。
【００２０】
駆動手段３３は、負圧室３１０内に配置されている突き出し手段３２を上下駆動できるように構成されている。
【００２１】
撮影手段４は、撮影手段設置座２３に固定されている記録ユニット４２と、該記録ユニット４２の保持テープ設置台３１に向かっている端部に取り付けられているレンズユニット４１と、貫通孔３１４の周辺を照明する照明ユニット４３とを備えている。
【００２２】
レンズユニット４１は、両端を有する直管状の光ファイバーチューブから構成されており、一端部４１５が記録ユニット４２に取り付けられ、他端部４１４が負圧室３１０内まで延伸して貫通孔３１４の近くに配置されている管状体４１１と、該管状体４１１の他端部４１４に取り付けられているレンズヘッド４１２とを有するリギッドボアスコープであり、管状体４１１の中心軸線４１０の延伸方向と、突き出しピン３２１の延伸方向３２０とが、貫通孔３１４の上方に鋭角を挟んで交差するように配置されている。
【００２３】
レンズヘッド４１２は、図２に示されるように、視野角範囲αを有し、該視野角範囲αの中心線４１６がちょうど貫通孔３１４を通過するように構成されており、また、突き出し手段３２の上方へ移動する範囲は、該視野角範囲α内にあるように配置構成されている。
【００２４】
レンズユニット４１は、管状体４１１の中心軸線４１０が、レンズヘッド４１２の視野角範囲αの中心線４１６と３０°で交差しており、突き出しピン３２１の延伸方向３２０と２０°で交差するように配置構成されている。
【００２５】
記録ユニット４２はＣＣＤカメラを有し、レンズユニット４１から取り込んだ映像を電子信号に変換して記録することができる。
【００２６】
照明ユニット４３は、記録ユニット４２の隣りに配置された光源部４３１を有し、該光源部４３１から、管状体４１１の光ファイバーを経由して光軸がレンズユニット４１の視野角範囲αの中心線４１６と合致する光が発せられ、貫通孔３１４の周辺を照明するように構成されている。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
上記構成により、本発明の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置は、該保持テープ上の所定の半導体チップと該保持テープ設置台の貫通孔とが上下対応するように、保持テープ設置台の上面に前記保持テープを設置し、保持させた後、前記駆動手段を駆動させると、前記突き出し手段が前記保持テープの前記所定の半導体チップを持ち上げ、一方で前記撮影手段により半導体チップの姿勢及び位置を撮影することができる。
【符号の説明】
【００２８】
２ 半導体チップ突き出し装置
２１ 保持フレーム
２２ 支持台
２３ 撮影手段設置座
３１ 保持テープ設置台
３１０ 負圧室
３１１ 設置平面
３１２ フェンス
３１４ 貫通孔
３２ 突き出し手段
３２０ 突き出しピンの延伸方向
３２１ 突き出しピン
３３ 駆動手段
３４ 可動座
４ 撮影手段
４１ レンズユニット
４１０ 管状体の中心軸線
４１２ レンズヘッド
４１４ 管状体の他端部
４１５ 管状体の一端部
４１６ 中心線
４２ 記録ユニット
４３ 照明ユニット
４３１ 光源部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面の方から保持テープの上面における半導体チップを上へ突き出し、一方で該半導体チップの姿勢及び位置を撮影する、撮影機能付き半導体チップ突き出し装置であって、
上面から下面まで貫通する貫通孔を有し、且つ、前記上面で前記保持テープを支持することができるように構成されている保持テープ設置台と、
前記貫通孔を経由して、前記保持テープ設置台により保持される前記保持テープを突き上げることができる突き出しピンを有する突き出し手段と、
前記突き出し手段を駆動する駆動手段と、
前記保持テープ設置台の下方に配置されており、且つ、前記貫通孔を経由して、前記突き出し手段により突き上げられる前記保持テープ及び半導体チップの様子を撮影することができるように構成されている撮影手段とを備えており、
それにより、前記保持テープを、該保持テープ上の所定の半導体チップと該保持テープ設置台の貫通孔とが上下対応するように保持テープ設置台の上面に前記保持テープを設置し、保持させた後、前記駆動手段を駆動させると、前記突き出し手段が前記保持テープの前記所定の半導体チップを持ち上げ、一方で前記撮影手段により半導体チップの姿勢及び位置を撮影することができることを特徴とする撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項２】
前記撮影手段は、記録ユニットと、該記録ユニットに取り付けられているレンズユニットとを備え、
前記レンズユニットは、視野角範囲が、少なくとも一部が前記貫通孔を通過し、前記保持テープの前記突き出し手段により上方へ突き上げられる範囲を含むように、配置されていることを特徴とする撮影機能付き請求項１の半導体チップ突き出し装置。
【請求項３】
前記レンズユニットは、両端を有する直管状であって、一端が前記記録ユニットに取り付けられ、他端が前記貫通孔の近くに配置されている管状体と、該管状体の他端部に取り付けられているレンズヘッドとから構成されており、且つ、前記管状体の中心軸線の延伸方向と前記突き出しピンの延伸方向とが、前記貫通孔の上方に交差するように配置されていることを特徴とする請求項２の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項４】
前記レンズユニットのレンズヘッドは、視野角範囲における中心軸線が、ちょうど前記貫通孔を通過するように配置されていることを特徴とする請求項３の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項５】
前記管状体の中心軸線の延伸方向と、前記突き出しピンの延伸方向とは、鋭角を挟んでいることを特徴とする請求項３の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項６】
前記撮影手段は、前記貫通孔の周辺を照明する照明ユニットを更に有していることを特徴とする請求項２の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項７】
前記管状体は、光ファイバーチューブからなっていることを特徴とする請求項６の半導体チップ突き出し装置。
【請求項８】
前記レンズユニットは、リギッドボアスコープからなっていることを特徴とする請求項７の半導体チップ突き出し装置。
【請求項９】
前記照明ユニットから発せられる光は、光軸が前記レンズユニットの視野角範囲における中心軸線と一致する光であることを特徴とする請求項６の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項１】
下面の方から保持テープの上面における半導体チップを上へ突き出し、一方で該半導体チップの姿勢及び位置を撮影する、撮影機能付き半導体チップ突き出し装置であって、
上面から下面まで貫通する貫通孔を有し、且つ、前記上面で前記保持テープを支持することができるように構成されている保持テープ設置台と、
前記貫通孔を経由して、前記保持テープ設置台により保持される前記保持テープを突き上げることができる突き出しピンを有する突き出し手段と、
前記突き出し手段を駆動する駆動手段と、
前記保持テープ設置台の下方に配置されており、且つ、前記貫通孔を経由して、前記突き出し手段により突き上げられる前記保持テープ及び半導体チップの様子を撮影することができるように構成されている撮影手段とを備えており、
それにより、前記保持テープを、該保持テープ上の所定の半導体チップと該保持テープ設置台の貫通孔とが上下対応するように保持テープ設置台の上面に前記保持テープを設置し、保持させた後、前記駆動手段を駆動させると、前記突き出し手段が前記保持テープの前記所定の半導体チップを持ち上げ、一方で前記撮影手段により半導体チップの姿勢及び位置を撮影することができることを特徴とする撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項２】
前記撮影手段は、記録ユニットと、該記録ユニットに取り付けられているレンズユニットとを備え、
前記レンズユニットは、視野角範囲が、少なくとも一部が前記貫通孔を通過し、前記保持テープの前記突き出し手段により上方へ突き上げられる範囲を含むように、配置されていることを特徴とする撮影機能付き請求項１の半導体チップ突き出し装置。
【請求項３】
前記レンズユニットは、両端を有する直管状であって、一端が前記記録ユニットに取り付けられ、他端が前記貫通孔の近くに配置されている管状体と、該管状体の他端部に取り付けられているレンズヘッドとから構成されており、且つ、前記管状体の中心軸線の延伸方向と前記突き出しピンの延伸方向とが、前記貫通孔の上方に交差するように配置されていることを特徴とする請求項２の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項４】
前記レンズユニットのレンズヘッドは、視野角範囲における中心軸線が、ちょうど前記貫通孔を通過するように配置されていることを特徴とする請求項３の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項５】
前記管状体の中心軸線の延伸方向と、前記突き出しピンの延伸方向とは、鋭角を挟んでいることを特徴とする請求項３の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項６】
前記撮影手段は、前記貫通孔の周辺を照明する照明ユニットを更に有していることを特徴とする請求項２の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【請求項７】
前記管状体は、光ファイバーチューブからなっていることを特徴とする請求項６の半導体チップ突き出し装置。
【請求項８】
前記レンズユニットは、リギッドボアスコープからなっていることを特徴とする請求項７の半導体チップ突き出し装置。
【請求項９】
前記照明ユニットから発せられる光は、光軸が前記レンズユニットの視野角範囲における中心軸線と一致する光であることを特徴とする請求項６の撮影機能付き半導体チップ突き出し装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１０−２８７８７５（Ｐ２０１０−２８７８７５Ａ）
【公開日】平成２２年１２月２４日（２０１０．１２．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２６７７６６（Ｐ２００９−２６７７６６）
【出願日】平成２１年１１月２５日（２００９．１１．２５）
【出願人】（５０８２１１０９６）由田新技股▲分▼有限公司 (12)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１２月２４日（２０１０．１２．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１１月２５日（２００９．１１．２５）
【出願人】（５０８２１１０９６）由田新技股▲分▼有限公司 (12)
【Ｆターム（参考）】
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