板材の搬送システム
【課題】板材の受け渡しの際に、板材が滑ることのない板材の搬送システムを提供する。
【解決手段】第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板材１０１が受け渡される前においては、第１送出装置１０は搬送部２０と加圧部４０の流体１０４とによって板材１０１を挟むように保持しながら搬送するとともに、第２送出装置１１の搬送部２０は板材１０１と接触しないようにし、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板材１０１が受け渡された後においては、第２送出装置１１は搬送部２０と加圧部４０の流体１０４とによって板材１０１を挟むように保持しながら搬送するとともに、第１送出装置１０の搬送部２０は板材１０１と接触しないように構成されている。
【解決手段】第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板材１０１が受け渡される前においては、第１送出装置１０は搬送部２０と加圧部４０の流体１０４とによって板材１０１を挟むように保持しながら搬送するとともに、第２送出装置１１の搬送部２０は板材１０１と接触しないようにし、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板材１０１が受け渡された後においては、第２送出装置１１は搬送部２０と加圧部４０の流体１０４とによって板材１０１を挟むように保持しながら搬送するとともに、第１送出装置１０の搬送部２０は板材１０１と接触しないように構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板材を搬送する板材の搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
板材の搬送システムとしては、板材の両面を狭持部材で挟み、その狭持部材の移動によって板材を搬送するように構成されたものが提案されている（例えば、特許文献１乃至３参照）。しかしながら、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の液晶ディスプレイに使用する板ガラス（板材）の加工ラインなどでは、一方側の面に接触することなく板ガラスを搬送できる搬送システムが求められる。なぜなら、液晶ディスプレイ用の板ガラスは、一方側の面に半導体等の薄膜層が形成されるため、その面では微細な傷さえも許容できないからである（以下では、このように精密な加工が施される面を「精密面」と称す）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１２６５８３号公報
【特許文献２】特開昭５３−７１３９６号公報
【特許文献３】特開昭５５−１２９７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、出願人は、搬送する板材のうち精密面の裏側にあたる面（以下、「普通面」と称す。）を搬送用のベルトに接触させる一方、精密面には流体圧を加えるように構成された搬送システムを検討している。かかる構成によれば、板ガラスの精密面に機械類が接触することがないにもかかわらず、板ガラスを安定して搬送することができる。
【０００５】
この搬送システムでは、板材の加工を行うステージごと、あるいは同じステージ内で上記のベルトが分割されており、その境界部分では分割された前後のベルトによって板材の受け渡しが行われる。このようなシステムでは、分割されたベルトごとに搬送速度を変えることができれば、加工のサイクルタイムを短縮することができる。しかしながら、受け渡しが行われる前後のベルトの搬送速度が異なれば、受け渡しの際、板材はいずれかのベルト上を滑ることになる。仮に、板材の滑りが発生すると、板材の搬送速度を正確に制御できなくなり、むしろサイクルタイムの短縮には逆効果である。
【０００６】
そこで本発明は、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることのない板材の搬送システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある形態に係る板材の搬送システムは、第１送出装置と、第２送出装置とを備え、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ板材が受け渡される板材の搬送システムであって、前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記板材の一方の面に接触して前記板材を搬送方向へ送り出す搬送部と、前記板材の他方の面に流体による垂直方向の圧力を加え、前記板材を前記搬送部に向かって加圧することができる加圧部と、を有しており、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡される前においては、前記第１送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第２送出装置の搬送部は前記板材と接触しないようにし、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡された後においては、前記第２送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第１送出装置の搬送部は前記板材と接触しないように構成されている。
【０００８】
かかる構成によれば、第１送出装置から第２送出装置へ板材が受け渡される前においては、第２送出装置の搬送部は板材と接触せず、第１送出装置から第２送出装置へ板材が受け渡された後においては、第１送出装置の搬送部は板材と接触しないことになる。そのため、板材の受け渡しの前後において、板材が第１送出装置と第２送出装置の両方によって同時に搬送されるようなことはない。
【０００９】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記搬送部側から前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加え、前記板材を浮かすようにして前記搬送部と接触しないようにする浮揚部をさらに備えるように構成してもよい。
【００１０】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に流体による垂直方向の圧力を加えることができるように構成してもよい。
【００１１】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面との間で流体の膜が形成できるように構成してもよい。
【００１２】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に接触する支持ローラーと、該支持ローラーを前記板材へ付勢する付勢部材と、を有し、前記支持ローラーを介して前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加えることができるように構成してもよい。
【００１３】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置の搬送部は、前記第２送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されており、前記第２送出装置の搬送部は、前記第１送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されていてもよい。
【００１４】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置及び前記第２送出装置の搬送部は、全体が前記板材と接触しないように駆動するよう構成されていてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
上記のように、本発明に係る板材の搬送システムによれば、板材の受け渡しの前後において、板材が第１送出装置と第２送出装置によって同時に搬送されるようなことはない。そのため、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることはない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態に係る搬送システムの右側面図である。
【図２】図２は、図１のII−II矢視断面図である。
【図３】図３は、図１のIII−III矢視断面図である。
【図４】図４は、図１に示す加圧部の下面図である。
【図５】図５は、図１の搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した、第１送出装置と第２送出装置の境界付近の拡大右側面図である。
【図６】図６は、本発明の第２実施形態に係る搬送システムの縦断面図である。
【図７】図７は、本発明の第３実施形態に係る搬送システムの縦断面図である。
【図８】図８は、本発明の第４実施形態に係る搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した右側面図である。
【図９】図９は、本発明の第５実施形態に係る搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る実施形態について図を参照しながら説明する。以下では、全ての図面を通じて同一又は相当する要素には同じ符号を付して、重複する説明は省略する。なお、以下で説明する板材の搬送システムは、精密面と普通面を有する板ガラス（板材）を搬送することとする。
【００１８】
（第１実施形態）
はじめに、図１から図４を参照して、本発明の第１実施形態に係る搬送システム１００について説明する。ここで、図１は本実施形態に係る搬送システム１００の右側面であり（流体ガイド部６０を省略）、図２は図１のII−II矢視断面図である。図１において、紙面左から右に向かう方向が板ガラス１０１の搬送方向（以下、単に「搬送方向」と称す。）であり、図２において、紙面手前から奥に向かう方向が搬送方向である。なお、以下では「右」というときは搬送方向を向いて右をいい、「左」というときは搬送方向を向いて左をいうこととする。
【００１９】
搬送システム１００は、板ガラス１０１を搬送する装置である。図１に示すように、本実施形態に係る搬送システム１００は、互いに隣接して配置されている第１送出装置１０と、第２送出装置１１と、を備えている。搬送対象である板ガラス１０１は、上流側に位置する第１送出装置１０から下流側に位置する第２送出装置１１へ受け渡たされる。この第１送出装置１０と第２送出装置１１は同じ構造を有している。そこで、以下では、第１送出装置１０について詳しく説明し、第２送出装置１１については必要な範囲で説明する。図２に示すように、第１送出装置１０は、搬送部２０と、加圧部４０と、浮揚部５０と、流体ガイド部６０と、を有している。
【００２０】
搬送部２０は、板ガラス１０１を搬送方向に送り出す装置である。図１及び図２に示すように、搬送部２０は、無端ベルト２１と、ベルト受け部材２２と、左端ガイド部材２３と、右端ガイド部材２４とによって主に構成されている。
【００２１】
無端ベルト２１は、環状に形成されたベルトであって、搬送方向の前後に位置する２台の駆動プーリ２５によって駆動される。この無端ベルト２１は板ガラス１０１の普通面１０３（下面）に接触するように構成されており、板ガラス１０１に接触した駆動プーリ２５が回転駆動することで、板ガラス１０１を搬送方向に送り出すことができる。なお、本実施形態に係る無端ベルト２１は、ゴム製のゴムベルト部２６と、金属製の金属ベルト部２７によって主に構成されており、二層構造を有している。このうち、ゴムベルト部２６は、無端ベルト２１の外表面側に位置しており、板ガラス１０１に接する。また、ゴムベルト部２６の外表面には、ベルト幅方向に延びる流体排出溝２８が等間隔で形成されている。他方、金属ベルト部２７は無端ベルト２１の内表面側に位置しており、駆動プーリ２５に接する。金属ベルト部２７は、図２に示すように、ゴムベルト部２６よりもベルト幅（左右方向寸法）がわずかに大きく、右端及び左端がそれぞれゴムベルト部２６の右端及び左端よりも左右方向外側に位置している。
【００２２】
ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１を支持する部材である。ベルト受け部材２２は、搬送方向に延びる板状の形状を有している。ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１の内側に位置しており、板ガラス１０１が通過する搬送路と平行に配置されている。換言すれば、ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１を挟んで板ガラス１０１の搬送路と対向するように配置されている。ベルト受け部材２２には、無端ベルト２１に接する平面状のベルト受け面２９が形成されており、このベルト受け面２９の表面を無端ベルト２１が摺動する。このように、本実施形態のベルト受け部材２２によれば、平面状のベルト受け面２９で無端ベルト２１を支持するため、例えばローラー等で受けた場合などに発生する無端ベルト２１がベルト面と垂直方向に波打つような現象の発生を抑えることができる。よって、板ガラス１０１を安定して搬送することができる。
【００２３】
左端ガイド部材２３は、無端ベルト２１を左方への変位を抑える部材である。左端ガイド部材２３は、搬送方向に直行する方向を回転軸の方向として回転するローラーである。左端ガイド部材２３は、板ガラス１０１の搬送路に沿ってその近傍に複数配置されている。そして、左端ガイド部材２３は、無端ベルト２１の左側に位置し、金属ベルト部２７の左端を支持している。なお、本実施形態では左端ガイド部材２３はローラーであるが、左端ガイド部材２３はこのような構成に限られない。例えば、左端ガイド部材２３はローラーに代えて搬送方向に延びる板状の部材であってもよい。
【００２４】
右端ガイド部材２４は、無端ベルト２１の右方への変位を抑える部材である。右端ガイド部材２４は、搬送方向に直交する方向を回転軸の方向として回転するローラーである。右端ガイド部材２４は、左端ガイド部材２３と対をなすようにして、板ガラス１０１の搬送路の近傍に複数配置されている。そして、右端ガイド部材２４は、無端ベルト２１の右側に位置し、金属ベルト部２７の右端と接触している。さらに、右端ガイド部材２４には、ばね３０により無端ベルト２１に向かう左向きの力が加えられている。この構成により、右端ガイド部材２４は、常に無端ベルト２１に接した状態となる。右端ガイド部材２４は、以上のような構成を備えているため、無端ベルト２１を左方に押さえ込み、無端ベルト２１の右方への変位を抑えることができる。
【００２５】
加圧部４０は、板ガラス１０１に垂直方向の流体圧力を加える装置である。なお、板ガラス１０１に流体圧力を加える際に用いる流体（以下、「加圧流体」と称す。）１０４は、本実施形態では水とする。ただし、加圧流体１０４は、洗浄液であってもよく、他の液体であってもよく、空気などの気体であってもよい。加圧部４０は、板ガラス１０１を介して無端ベルト２１に対向するように搬送方向に沿って複数配置されている。ここで、図３は図１のIII−III矢視断面図であり（駆動プーリ２５を省略）、図４は加圧部４０の下面図である。図３及び図４に示すように、加圧部４０は、円柱状の流入側部材４１と、矩形板状の流出側部材４２とによって主に構成されている。
【００２６】
流入側部材４１は、加圧流体１０４の入口となる部材である。図３に示すように、流入側部材４１の内部には、流出側部材４２とは反対側の端面に開口する入口流路４３が形成されている。この入口流路４３には図示しない流体供給装置が接続されており、この入口流路４３を介して流入側部材４１の内部に加圧流体１０４が供給される。さらに、流入側部材４１の内部には、流出側部材４２側の端面に開口する流体溜４４が形成されている。この流体溜４４は、入口流路４３から流入した加圧流体１０４を一旦溜めることができる。そのため、例えば入口流路４３に供給される加圧流体１０４の圧力が変動するような場合であっても、この流体溜４４を介することにより、圧力の変動量を低減した状態で加圧流体１０４を流出側部材４２へと供給することができる。つまり、流体溜４４はダンパとして機能している。
【００２７】
流出側部材４２は、加圧流体１０４を板ガラス１０１に放出する部材である。流出側部材４２は、流入側部材４１よりも板ガラス１０１の搬送路に近い部分に位置し、流入側部材４１に連結されている。流出側部材４２の内部には、流入側部材４１側の面に開口する中間流路４５が形成されている。中間流路４５は、小径部４６と、小径部４６よりも径の大きい大径部４７とによって構成されている。これにより、流入側部材４１の流体溜４４を通過した加圧流体１０４は、小径部４６、大径部４７の順にこれらの内部を流れる。流出側部材４２には、板ガラス１０１の搬送路側に開口する放出開口部４８が形成されている。放出開口部４８は、図４に示すように、板ガラス１０１の搬送路側から見て略矩形状に形成されている。中間流路４５を通過した加圧流体１０４は、この放出開口部４８へ流入し、板ガラス１０１の精密面１０２へと放出される。なお、本実施形態に係る流出側部材４２は加圧部４０ごとにそれぞれ独立して構成されているが、これらを一体に形成してもよい。
【００２８】
上記の構成を備える加圧部４０は、搬送される板ガラス１０１との間にわずかな隙間が生じるように配置されている（図３では発明が理解されやすいように、隙間を大きく描いている）。このように配置することで、加圧部４０から放出された加圧流体１０４が、加圧部４０と板ガラス１０１の間のわずかな隙間を通って、加圧部４０の外へと流出することになる。これにより、加圧部４０と板ガラス１０１との間に加圧流体１０４の膜が生じる。そのため、加圧部４０は板ガラス１０１に接触することなく、この加圧流体１０４の圧力によって、板ガラス１０１を無端ベルト２１に向かって垂直方向に押すことができる。なお、加圧部４０による板ガラス１０１への下方の力は、加圧部４０から放出する加圧流体１０４の流量を増減させることで、調整することができる。
【００２９】
浮揚部５０は、板ガラス１０１を無端ベルト２１から浮かせ、両者が接触しないようにするための部材である。図１に示すように、浮揚部５０は、板ガラス１０１の普通面１０３側であって、無端ベルト２１の左右両側に位置し、搬送方向に沿って複数配置されている。各浮揚部５０は、入口流路５１、流体溜５２、中間流路５３、及び放出開口部５４が形成されている。これらは、それぞれ加圧部４０の入口流路４３、流体溜４４、中間流路４５、及び放出開口部４８に対応しており、同じ機能を果たす。このように、浮揚部５０は、加圧部４０に近い構造を有しており、加圧部４０と同様に、板ガラス１０１との間に流体の膜を形成し、また、板ガラス１０１の普通面１０３に垂直方向の流体圧力を加えることができる。
【００３０】
なお、加圧部４０の場合と異なり、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量は一定である。そのため、板ガラス１０１を無端ベルト２１と接触しないようにするかは浮揚部５０ではなく加圧部４０の制御による。つまり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を増やして板ガラス１０１へ加える下方の力を大きくすると、加圧部４０からの力が浮揚部５０からの力よりも大きくなり、その結果、板ガラス１０１が無端ベルト２１に押し付けられる。これに対し、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を減らして板ガラス１０１へ加える下方の力を小さくすると、加圧部４０からの力が浮揚部５０からの力よりも小さくなり、その結果、板ガラス１０１が上方に押し上げられて無端ベルト２１から離れる。
【００３１】
流体ガイド部６０は、板ガラス１０１の両面に垂直方向の流体圧力を加えて板ガラス１０１の縦揺れを抑える装置である。この流体ガイド部６０は、６つの流路管６１によって構成されている。これら６つの流路管６１は、板ガラス１０１の左右両端近傍であって精密面１０２側及び普通面１０３側と、これらよりの左右方向中央側であって普通面１０３側に配置されている。そして、これらの流路管６１は、板ガラス１０１の搬送方向に延びるように配置されている。また、流路管６１のうち板ガラス１０１に対向する部分には、所定の間隔をおいて噴射口６２が複数形成されている。さらに、各流路管６１の内部には加圧流体である水が流れており、その加圧流体の圧力を上げると噴射口６２から板ガラス１０１に向かって垂直方向に加圧流体が噴射される。よって、流体ガイド部６０によれば、板ガラス１０１に機械類が触れることなく、その両面に加圧流体による垂直方向の圧力を加えることができ、板ガラス１０１の縦揺れを防止することができる。また、本実施形態に係る流体ガイド部６０は加圧流体を用いているため、板ガラス１０１に異物が付着するのを防止する役割も果たしている。
【００３２】
以上が、第１送出装置１０の各構成要素の説明である。第１送出装置１０は、以上のような構成要素を備えており、搬送部２０の無端ベルト２１と加圧部４０の加圧流体１０４とによって板ガラス１０１を挟むように保持しながら搬送方向へ搬送することができる。また、第１送出装置１０は、上述したように、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を調整することで、板ガラス１０１を無端ベルト２１に押し付けたり、無端ベルト２１と接触しないようにしたりすることができる。そして、第２送出装置１１も第１送出装置１０と同じ構成を有していることは上述したとおりであり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を調整することで、板ガラス１０１を無端ベルト２１に押し付けたり、無端ベルト２１と接触しないようにしたりすることができる。
【００３３】
次に、図５を参照して、本実施形態に係る搬送システム１００の動作について説明する。図５は、第１送出装置１０と第２送出装置１１の境界付近の拡大右側面図であり、搬送システム１００が板ガラス１０１を搬送する動作を示している。搬送システム１００では、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１を受け渡しできるように構成されていることは上述したとおりである。
【００３４】
まず、図５の上段の図に示すように、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置１１は板ガラス１０１のうち第２送出装置１１内に位置する部分を浮かせ、無端ベルト２１と接触しないようにしている。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置１０の搬送部２０のみによって搬送される。
【００３５】
続いて、図５の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置１０と第２送出装置１１の境界に達すると、板ガラス１０１は第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡される（図５の中段の図は、板ガラス１０１は第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡される直前の状態を示している。図８の中段の図及び図９の中段の図も同様である）。図５の中段の図では、板ガラス１０１を支持している部分が少ないようにも見えるが、実際には板ガラス１０１の左右両端部等を流体ガイド部６０が支持しているため、自重によって撓むようなことはない。なお、板ガラス１０１が第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡されるタイミングは上記のような場合に限られない。例えば、板ガラス１０１の重心位置が第1送出装置１０内や第２送出装置１１内にあるときに板ガラス１０１を第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡すようにしてもよい。
【００３６】
続いて、図５の下段の図に示すように、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置１０は板ガラス１０１のうち第１送出装置１０内に位置する部分を浮かせ、無端ベルト２１から離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置１１の搬送部２０のみによって搬送される。
【００３７】
以上のように、本実施形態に係る搬送システム１００によれば、板ガラス１０１を第１送出装置１０から第２送出装置１１に受け渡す際、板ガラス１０１が両装置の無端ベルト２１に同時に接することはないため、仮に第１送出装置１０の無端ベルト２１と第２送出装置１１の無端ベルトの搬送速度が異なっていたとしても、板ガラス１０１がいずれかの装置上を滑るようなことはない。なお、本実施形態では、板ガラス１０１を受け渡す際、板ガラス１０１の一部を浮かすことになるため、板ガラス１０１は部分的に湾曲する。そのため、板ガラス１０１がある程度撓む場合には本実施形態の搬送方法は有効である。例えば、板ガラス１０１の厚みが１mm以下程度あれば、本実施形態に係る搬送システム１００は有効である。
【００３８】
なお、第１送出装置１０及び第２送出装置１１の搬送速度はそれぞれ一定である必要はない。例えば、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡される際には、両者の搬送速度を同じにし、板ガラス１０１が第２送出装置１１へ受け渡された後に第２送出装置１１の搬送速度を大きくしても良い。この場合、第２送出装置１１の搬送速度を大きくしたとき、板ガラス１０１の一部が第１送出装置１０の内側に残っていたとしても、その部分が第１送出装置１０上を滑るようなことはない。
【００３９】
また、以上では、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量が一定であり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量が可変である場合について説明したが、このような構成に限られない。例えば、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量を可変とするとともに、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を一定とし、浮揚部５０側の調整によって板ガラス１０１を無端ベルト２１と接触させるか否かを制御できるように構成してもよい。
【００４０】
（第２実施形態）
次に、図６を参照して、本発明の第２実施形態に係る搬送システム２００について説明する。図６は、第２実施形態に係る搬送システム２００を構成する第１送出装置２１０（第２送出装置２１１）の断面図であって、第１実施形態の図３に対応する図である。図６に示すように、本実施形態に係る搬送システム２００は、図３に示す浮揚部５０に代えて浮揚部２５０を備えている点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。本実施形態の浮揚部２５０は、いわゆるジェットノズルであって、先端からは高圧の加圧流体１０４が板ガラス１０１の普通面１０３に向かって垂直に噴射されるように構成されている。これにより板ガラス１０１は上方への力が加えられて上方に押し上げられ、無端ベルト２１から離す。本実施形態によれば、浮揚部２５０としてジェットノズルを採用しているため、浮揚部２５０と板ガラス１０１の距離が比較的大きな場合であっても、板ガラス１０１に上方への力を加えることができる。そのため、浮揚部２５０と板ガラス１０１との距離の設定を広い範囲で行うことができる。
【００４１】
（第３実施形態）
次に、図７を参照して、本発明の第３実施形態に係る搬送システム３００について説明する。図７は、第２実施形態に係る搬送システム３００を構成する第１送出装置３１０（第２送出装置３１１）の断面図であって、第１実施形態の図３に対応する図である。図７に示すように、本実施形態に係る搬送システム３００は、図３に示す浮揚部５０に代えて浮揚部３５０を備えている点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。本実施形態の浮揚部３５０は、板ガラス１０１に接触する支持ローラー３５１と、左右方向を回転軸としてこの支持ローラーを回転可能に保持する保持部材３５２と、この保持部材３５２を介して支持ローラー３５１を板ガラス１０１の普通面１０３へ垂直方向に付勢する付勢部材３５３によって主に構成されている。本実施形態の構成によれば、加圧流体１０４（図１等参照）を用いなくとも、板ガラス１０１に上方への力を加え、板ガラス１０１を浮かすようにして搬送部２０と接触しないようにすることができる。
【００４２】
（第４実施形態）
次に、図８を参照して、本発明の第４実施形態に係る搬送システム４００について説明する。図８は、第４実施形態に係る搬送システム４００の板ガラス１０１を搬送する動作を示した右側面図である。図８に示すように、本実施形態に係る搬送システム４００は、板ガラス１０１を押し上げるための浮揚部５０（図１等参照）を備えておらず、第１送出装置４１０及び第２送出装置４１１が変位する点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。具体的には次のとおりである。
【００４３】
本実施形態に係る搬送システム４００では、第１送出装置４１０は下流側が下方になるよう傾斜可能に構成されており、第１送出装置４１１は上流側が下方になるよう傾斜可能に構成されている。より具体的には、第１送出装置４１０の下流側の駆動プーリ２５Bが上流側の駆動プーリ２５Aを支点にして元の水平位置よりも下方に移動可能に構成されており、第２送出装置４１１の上流側の駆動プーリ２５Cが下流側の駆動プーリ２５Dを支点にして元の水平位置よりも下方に移動可能に構成されている。なお、駆動プーリ２５B、Cを上下させる手段は特に限定されてないが、例えばエアシリンダ等のアクチュエータを用いて駆動プーリ２５B、Cを支持している部材を上下するように構成してもよい。
【００４４】
以上のように構成された搬送システム４００によれば、次のようにして第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へと板ガラス１０１が受け渡される。まず、図８の上段の図に示すように、第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置４１１の上流側の駆動プーリ２５Cを下げ、第２送出装置４１１内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置４１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置４１０の搬送部２０のみによって搬送される。
【００４５】
続いて、図８の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置４１０と第２送出装置４１１の境界に達すると、搬送システム４００は、板ガラス１０１は第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ受け渡される。
【００４６】
続いて、図８の下段の図に示すように、第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置４１０の下流側の駆動プーリ２５Bを下げ、第１送出装置４１０内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置４１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置４１１の搬送部２０のみによって搬送される。
【００４７】
以上のように、本実施形態に係る搬送システム４００によれば、第１実施形態に係る搬送システム１００と同様に、第１送出装置４１０の無端ベルト２１と第２送出装置４１１の無端ベルトの搬送速度が異なっていたとしても、板ガラス１０１が滑るようなことはない。なお、第１実施形態では板ガラス１０１がある程度撓む場合には有効であると説明したが、本実施形態では板ガラス１０１を撓ませるようなことはないため、例えば厚みが１mm以上の比較的厚みのある歪みにくい板ガラスを搬送する場合には本実施形態に係る搬送システム４００が有効である。
【００４８】
（第５実施形態）
次に、図９を参照して、本発明の第５実施形態に係る搬送システム５００について説明する。図９は、第５実施形態に係る搬送システム５００が板ガラス１０１を搬送する動作を示した右側面図である。図９に示すように、本実施形態に係る搬送システム４００は、第１送出装置５１０及び第２送出装置５１１が一方の端部のみならず全体が上下に移動する点で第４実施形態に係る搬送システム４００と構成が異なる。
【００４９】
本実施形態に係る搬送システム５００の第１送出装置５１０及び第２送出装置５１１は、無端ベルト２１全体が元の位置よりも下方に移動可能に構成されている。より具体的には、各無端ベルト２１の両端の駆動プーリ２５A、B、C、Dが同時に下方に移動できるように構成されている。駆動プーリ２５A、B、C、Dを上下させる手段は特に限定されてないが、例えばエアシリンダ等のアクチュエータを用いて前後の駆動プーリ２５A、B、C、Dを支持している部材を上下するように構成してもよい。
【００５０】
以上のように構成された搬送システム５００によれば、次のようにして第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へと板ガラス１０１が受け渡される。まず、第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置５１１の両側の駆動プーリ２５C、Dを下げ、第２送出装置５１１内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置５１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置５１０の搬送部２０のみによって搬送される。
【００５１】
続いて、図９の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置５１０と第２送出装置５１１の境界に達すると、搬送システム５００は、板ガラス１０１は第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ受け渡される。
【００５２】
続いて、図９の下段の図に示すように、第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置５１０の両側の駆動プーリ２５A、Bを下げ、第１送出装置５１０内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置５１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置５１１の搬送部２０のみによって搬送される。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について図を参照して説明したが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。なお、以上では、搬送される板ガラス１０１が精密面１０２と普通面１０３を有する場合について説明したが、例えば、搬送する板ガラス１０１の両面が普通面であってもよい。このような場合でも、板ガラスの表面を清浄に保つべきことに変わりなく、本発明に係る板材の搬送システムは有効である。
【００５４】
また、以上では搬送システムが、板ガラスを搬送する場合について説明したが、仮にある装置が板ガラス以外の板材を搬送するものであったとしても、そのことをもって、その装置が本発明に含まれなくなる理由にはなりえない。
【００５５】
また、以上では、搬送システムが環状の無端ベルト２１を用いる場合について説明したが、例えば無端ベルト２１に代えて環状型以外のベルトを用いても良い。
【００５６】
また、以上では、搬送システムが板材（板ガラス１０１）を水平にした状態で搬送する場合について説明したが、板材を鉛直にした状態で搬送するように構成されていてもよい。つまり、例えば、搬送システムが、図２や図３に示す構成を反時計回りに９０°回転させたような構成であっても良い。
【００５７】
また、以上では、板ガラスを浮かせる搬送システム１００、２００、３００と第１送出装置及び第２送出装置自体を変位させる搬送システム４００、５００について説明したが、これらを合わせても良い。つまり、板ガラスを浮かせるとともに、第１送出装置及び第２送出装置を変位させることができる搬送システムとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明に係る板材の搬送システムによれば、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることがないため、板材の搬送システムの技術分野において有益である。
【符号の説明】
【００５９】
１０、２１０、３１０、４１０、５１０ 第１送出装置
１１、２１１、３１１、４１１、５１１ 第２送出装置
２０ 搬送部
２１ 無端ベルト（ベルト）
４０ 加圧部
５０ 浮揚部
１００、２００、３００、４００、５００ 搬送システム
１０１ 板ガラス（板材）
１０４ 加圧流体（流体）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板材を搬送する板材の搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
板材の搬送システムとしては、板材の両面を狭持部材で挟み、その狭持部材の移動によって板材を搬送するように構成されたものが提案されている（例えば、特許文献１乃至３参照）。しかしながら、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の液晶ディスプレイに使用する板ガラス（板材）の加工ラインなどでは、一方側の面に接触することなく板ガラスを搬送できる搬送システムが求められる。なぜなら、液晶ディスプレイ用の板ガラスは、一方側の面に半導体等の薄膜層が形成されるため、その面では微細な傷さえも許容できないからである（以下では、このように精密な加工が施される面を「精密面」と称す）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１２６５８３号公報
【特許文献２】特開昭５３−７１３９６号公報
【特許文献３】特開昭５５−１２９７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、出願人は、搬送する板材のうち精密面の裏側にあたる面（以下、「普通面」と称す。）を搬送用のベルトに接触させる一方、精密面には流体圧を加えるように構成された搬送システムを検討している。かかる構成によれば、板ガラスの精密面に機械類が接触することがないにもかかわらず、板ガラスを安定して搬送することができる。
【０００５】
この搬送システムでは、板材の加工を行うステージごと、あるいは同じステージ内で上記のベルトが分割されており、その境界部分では分割された前後のベルトによって板材の受け渡しが行われる。このようなシステムでは、分割されたベルトごとに搬送速度を変えることができれば、加工のサイクルタイムを短縮することができる。しかしながら、受け渡しが行われる前後のベルトの搬送速度が異なれば、受け渡しの際、板材はいずれかのベルト上を滑ることになる。仮に、板材の滑りが発生すると、板材の搬送速度を正確に制御できなくなり、むしろサイクルタイムの短縮には逆効果である。
【０００６】
そこで本発明は、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることのない板材の搬送システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある形態に係る板材の搬送システムは、第１送出装置と、第２送出装置とを備え、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ板材が受け渡される板材の搬送システムであって、前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記板材の一方の面に接触して前記板材を搬送方向へ送り出す搬送部と、前記板材の他方の面に流体による垂直方向の圧力を加え、前記板材を前記搬送部に向かって加圧することができる加圧部と、を有しており、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡される前においては、前記第１送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第２送出装置の搬送部は前記板材と接触しないようにし、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡された後においては、前記第２送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第１送出装置の搬送部は前記板材と接触しないように構成されている。
【０００８】
かかる構成によれば、第１送出装置から第２送出装置へ板材が受け渡される前においては、第２送出装置の搬送部は板材と接触せず、第１送出装置から第２送出装置へ板材が受け渡された後においては、第１送出装置の搬送部は板材と接触しないことになる。そのため、板材の受け渡しの前後において、板材が第１送出装置と第２送出装置の両方によって同時に搬送されるようなことはない。
【０００９】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記搬送部側から前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加え、前記板材を浮かすようにして前記搬送部と接触しないようにする浮揚部をさらに備えるように構成してもよい。
【００１０】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に流体による垂直方向の圧力を加えることができるように構成してもよい。
【００１１】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面との間で流体の膜が形成できるように構成してもよい。
【００１２】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に接触する支持ローラーと、該支持ローラーを前記板材へ付勢する付勢部材と、を有し、前記支持ローラーを介して前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加えることができるように構成してもよい。
【００１３】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置の搬送部は、前記第２送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されており、前記第２送出装置の搬送部は、前記第１送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されていてもよい。
【００１４】
また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置及び前記第２送出装置の搬送部は、全体が前記板材と接触しないように駆動するよう構成されていてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
上記のように、本発明に係る板材の搬送システムによれば、板材の受け渡しの前後において、板材が第１送出装置と第２送出装置によって同時に搬送されるようなことはない。そのため、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることはない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態に係る搬送システムの右側面図である。
【図２】図２は、図１のII−II矢視断面図である。
【図３】図３は、図１のIII−III矢視断面図である。
【図４】図４は、図１に示す加圧部の下面図である。
【図５】図５は、図１の搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した、第１送出装置と第２送出装置の境界付近の拡大右側面図である。
【図６】図６は、本発明の第２実施形態に係る搬送システムの縦断面図である。
【図７】図７は、本発明の第３実施形態に係る搬送システムの縦断面図である。
【図８】図８は、本発明の第４実施形態に係る搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した右側面図である。
【図９】図９は、本発明の第５実施形態に係る搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る実施形態について図を参照しながら説明する。以下では、全ての図面を通じて同一又は相当する要素には同じ符号を付して、重複する説明は省略する。なお、以下で説明する板材の搬送システムは、精密面と普通面を有する板ガラス（板材）を搬送することとする。
【００１８】
（第１実施形態）
はじめに、図１から図４を参照して、本発明の第１実施形態に係る搬送システム１００について説明する。ここで、図１は本実施形態に係る搬送システム１００の右側面であり（流体ガイド部６０を省略）、図２は図１のII−II矢視断面図である。図１において、紙面左から右に向かう方向が板ガラス１０１の搬送方向（以下、単に「搬送方向」と称す。）であり、図２において、紙面手前から奥に向かう方向が搬送方向である。なお、以下では「右」というときは搬送方向を向いて右をいい、「左」というときは搬送方向を向いて左をいうこととする。
【００１９】
搬送システム１００は、板ガラス１０１を搬送する装置である。図１に示すように、本実施形態に係る搬送システム１００は、互いに隣接して配置されている第１送出装置１０と、第２送出装置１１と、を備えている。搬送対象である板ガラス１０１は、上流側に位置する第１送出装置１０から下流側に位置する第２送出装置１１へ受け渡たされる。この第１送出装置１０と第２送出装置１１は同じ構造を有している。そこで、以下では、第１送出装置１０について詳しく説明し、第２送出装置１１については必要な範囲で説明する。図２に示すように、第１送出装置１０は、搬送部２０と、加圧部４０と、浮揚部５０と、流体ガイド部６０と、を有している。
【００２０】
搬送部２０は、板ガラス１０１を搬送方向に送り出す装置である。図１及び図２に示すように、搬送部２０は、無端ベルト２１と、ベルト受け部材２２と、左端ガイド部材２３と、右端ガイド部材２４とによって主に構成されている。
【００２１】
無端ベルト２１は、環状に形成されたベルトであって、搬送方向の前後に位置する２台の駆動プーリ２５によって駆動される。この無端ベルト２１は板ガラス１０１の普通面１０３（下面）に接触するように構成されており、板ガラス１０１に接触した駆動プーリ２５が回転駆動することで、板ガラス１０１を搬送方向に送り出すことができる。なお、本実施形態に係る無端ベルト２１は、ゴム製のゴムベルト部２６と、金属製の金属ベルト部２７によって主に構成されており、二層構造を有している。このうち、ゴムベルト部２６は、無端ベルト２１の外表面側に位置しており、板ガラス１０１に接する。また、ゴムベルト部２６の外表面には、ベルト幅方向に延びる流体排出溝２８が等間隔で形成されている。他方、金属ベルト部２７は無端ベルト２１の内表面側に位置しており、駆動プーリ２５に接する。金属ベルト部２７は、図２に示すように、ゴムベルト部２６よりもベルト幅（左右方向寸法）がわずかに大きく、右端及び左端がそれぞれゴムベルト部２６の右端及び左端よりも左右方向外側に位置している。
【００２２】
ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１を支持する部材である。ベルト受け部材２２は、搬送方向に延びる板状の形状を有している。ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１の内側に位置しており、板ガラス１０１が通過する搬送路と平行に配置されている。換言すれば、ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１を挟んで板ガラス１０１の搬送路と対向するように配置されている。ベルト受け部材２２には、無端ベルト２１に接する平面状のベルト受け面２９が形成されており、このベルト受け面２９の表面を無端ベルト２１が摺動する。このように、本実施形態のベルト受け部材２２によれば、平面状のベルト受け面２９で無端ベルト２１を支持するため、例えばローラー等で受けた場合などに発生する無端ベルト２１がベルト面と垂直方向に波打つような現象の発生を抑えることができる。よって、板ガラス１０１を安定して搬送することができる。
【００２３】
左端ガイド部材２３は、無端ベルト２１を左方への変位を抑える部材である。左端ガイド部材２３は、搬送方向に直行する方向を回転軸の方向として回転するローラーである。左端ガイド部材２３は、板ガラス１０１の搬送路に沿ってその近傍に複数配置されている。そして、左端ガイド部材２３は、無端ベルト２１の左側に位置し、金属ベルト部２７の左端を支持している。なお、本実施形態では左端ガイド部材２３はローラーであるが、左端ガイド部材２３はこのような構成に限られない。例えば、左端ガイド部材２３はローラーに代えて搬送方向に延びる板状の部材であってもよい。
【００２４】
右端ガイド部材２４は、無端ベルト２１の右方への変位を抑える部材である。右端ガイド部材２４は、搬送方向に直交する方向を回転軸の方向として回転するローラーである。右端ガイド部材２４は、左端ガイド部材２３と対をなすようにして、板ガラス１０１の搬送路の近傍に複数配置されている。そして、右端ガイド部材２４は、無端ベルト２１の右側に位置し、金属ベルト部２７の右端と接触している。さらに、右端ガイド部材２４には、ばね３０により無端ベルト２１に向かう左向きの力が加えられている。この構成により、右端ガイド部材２４は、常に無端ベルト２１に接した状態となる。右端ガイド部材２４は、以上のような構成を備えているため、無端ベルト２１を左方に押さえ込み、無端ベルト２１の右方への変位を抑えることができる。
【００２５】
加圧部４０は、板ガラス１０１に垂直方向の流体圧力を加える装置である。なお、板ガラス１０１に流体圧力を加える際に用いる流体（以下、「加圧流体」と称す。）１０４は、本実施形態では水とする。ただし、加圧流体１０４は、洗浄液であってもよく、他の液体であってもよく、空気などの気体であってもよい。加圧部４０は、板ガラス１０１を介して無端ベルト２１に対向するように搬送方向に沿って複数配置されている。ここで、図３は図１のIII−III矢視断面図であり（駆動プーリ２５を省略）、図４は加圧部４０の下面図である。図３及び図４に示すように、加圧部４０は、円柱状の流入側部材４１と、矩形板状の流出側部材４２とによって主に構成されている。
【００２６】
流入側部材４１は、加圧流体１０４の入口となる部材である。図３に示すように、流入側部材４１の内部には、流出側部材４２とは反対側の端面に開口する入口流路４３が形成されている。この入口流路４３には図示しない流体供給装置が接続されており、この入口流路４３を介して流入側部材４１の内部に加圧流体１０４が供給される。さらに、流入側部材４１の内部には、流出側部材４２側の端面に開口する流体溜４４が形成されている。この流体溜４４は、入口流路４３から流入した加圧流体１０４を一旦溜めることができる。そのため、例えば入口流路４３に供給される加圧流体１０４の圧力が変動するような場合であっても、この流体溜４４を介することにより、圧力の変動量を低減した状態で加圧流体１０４を流出側部材４２へと供給することができる。つまり、流体溜４４はダンパとして機能している。
【００２７】
流出側部材４２は、加圧流体１０４を板ガラス１０１に放出する部材である。流出側部材４２は、流入側部材４１よりも板ガラス１０１の搬送路に近い部分に位置し、流入側部材４１に連結されている。流出側部材４２の内部には、流入側部材４１側の面に開口する中間流路４５が形成されている。中間流路４５は、小径部４６と、小径部４６よりも径の大きい大径部４７とによって構成されている。これにより、流入側部材４１の流体溜４４を通過した加圧流体１０４は、小径部４６、大径部４７の順にこれらの内部を流れる。流出側部材４２には、板ガラス１０１の搬送路側に開口する放出開口部４８が形成されている。放出開口部４８は、図４に示すように、板ガラス１０１の搬送路側から見て略矩形状に形成されている。中間流路４５を通過した加圧流体１０４は、この放出開口部４８へ流入し、板ガラス１０１の精密面１０２へと放出される。なお、本実施形態に係る流出側部材４２は加圧部４０ごとにそれぞれ独立して構成されているが、これらを一体に形成してもよい。
【００２８】
上記の構成を備える加圧部４０は、搬送される板ガラス１０１との間にわずかな隙間が生じるように配置されている（図３では発明が理解されやすいように、隙間を大きく描いている）。このように配置することで、加圧部４０から放出された加圧流体１０４が、加圧部４０と板ガラス１０１の間のわずかな隙間を通って、加圧部４０の外へと流出することになる。これにより、加圧部４０と板ガラス１０１との間に加圧流体１０４の膜が生じる。そのため、加圧部４０は板ガラス１０１に接触することなく、この加圧流体１０４の圧力によって、板ガラス１０１を無端ベルト２１に向かって垂直方向に押すことができる。なお、加圧部４０による板ガラス１０１への下方の力は、加圧部４０から放出する加圧流体１０４の流量を増減させることで、調整することができる。
【００２９】
浮揚部５０は、板ガラス１０１を無端ベルト２１から浮かせ、両者が接触しないようにするための部材である。図１に示すように、浮揚部５０は、板ガラス１０１の普通面１０３側であって、無端ベルト２１の左右両側に位置し、搬送方向に沿って複数配置されている。各浮揚部５０は、入口流路５１、流体溜５２、中間流路５３、及び放出開口部５４が形成されている。これらは、それぞれ加圧部４０の入口流路４３、流体溜４４、中間流路４５、及び放出開口部４８に対応しており、同じ機能を果たす。このように、浮揚部５０は、加圧部４０に近い構造を有しており、加圧部４０と同様に、板ガラス１０１との間に流体の膜を形成し、また、板ガラス１０１の普通面１０３に垂直方向の流体圧力を加えることができる。
【００３０】
なお、加圧部４０の場合と異なり、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量は一定である。そのため、板ガラス１０１を無端ベルト２１と接触しないようにするかは浮揚部５０ではなく加圧部４０の制御による。つまり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を増やして板ガラス１０１へ加える下方の力を大きくすると、加圧部４０からの力が浮揚部５０からの力よりも大きくなり、その結果、板ガラス１０１が無端ベルト２１に押し付けられる。これに対し、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を減らして板ガラス１０１へ加える下方の力を小さくすると、加圧部４０からの力が浮揚部５０からの力よりも小さくなり、その結果、板ガラス１０１が上方に押し上げられて無端ベルト２１から離れる。
【００３１】
流体ガイド部６０は、板ガラス１０１の両面に垂直方向の流体圧力を加えて板ガラス１０１の縦揺れを抑える装置である。この流体ガイド部６０は、６つの流路管６１によって構成されている。これら６つの流路管６１は、板ガラス１０１の左右両端近傍であって精密面１０２側及び普通面１０３側と、これらよりの左右方向中央側であって普通面１０３側に配置されている。そして、これらの流路管６１は、板ガラス１０１の搬送方向に延びるように配置されている。また、流路管６１のうち板ガラス１０１に対向する部分には、所定の間隔をおいて噴射口６２が複数形成されている。さらに、各流路管６１の内部には加圧流体である水が流れており、その加圧流体の圧力を上げると噴射口６２から板ガラス１０１に向かって垂直方向に加圧流体が噴射される。よって、流体ガイド部６０によれば、板ガラス１０１に機械類が触れることなく、その両面に加圧流体による垂直方向の圧力を加えることができ、板ガラス１０１の縦揺れを防止することができる。また、本実施形態に係る流体ガイド部６０は加圧流体を用いているため、板ガラス１０１に異物が付着するのを防止する役割も果たしている。
【００３２】
以上が、第１送出装置１０の各構成要素の説明である。第１送出装置１０は、以上のような構成要素を備えており、搬送部２０の無端ベルト２１と加圧部４０の加圧流体１０４とによって板ガラス１０１を挟むように保持しながら搬送方向へ搬送することができる。また、第１送出装置１０は、上述したように、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を調整することで、板ガラス１０１を無端ベルト２１に押し付けたり、無端ベルト２１と接触しないようにしたりすることができる。そして、第２送出装置１１も第１送出装置１０と同じ構成を有していることは上述したとおりであり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を調整することで、板ガラス１０１を無端ベルト２１に押し付けたり、無端ベルト２１と接触しないようにしたりすることができる。
【００３３】
次に、図５を参照して、本実施形態に係る搬送システム１００の動作について説明する。図５は、第１送出装置１０と第２送出装置１１の境界付近の拡大右側面図であり、搬送システム１００が板ガラス１０１を搬送する動作を示している。搬送システム１００では、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１を受け渡しできるように構成されていることは上述したとおりである。
【００３４】
まず、図５の上段の図に示すように、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置１１は板ガラス１０１のうち第２送出装置１１内に位置する部分を浮かせ、無端ベルト２１と接触しないようにしている。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置１０の搬送部２０のみによって搬送される。
【００３５】
続いて、図５の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置１０と第２送出装置１１の境界に達すると、板ガラス１０１は第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡される（図５の中段の図は、板ガラス１０１は第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡される直前の状態を示している。図８の中段の図及び図９の中段の図も同様である）。図５の中段の図では、板ガラス１０１を支持している部分が少ないようにも見えるが、実際には板ガラス１０１の左右両端部等を流体ガイド部６０が支持しているため、自重によって撓むようなことはない。なお、板ガラス１０１が第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡されるタイミングは上記のような場合に限られない。例えば、板ガラス１０１の重心位置が第1送出装置１０内や第２送出装置１１内にあるときに板ガラス１０１を第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡すようにしてもよい。
【００３６】
続いて、図５の下段の図に示すように、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置１０は板ガラス１０１のうち第１送出装置１０内に位置する部分を浮かせ、無端ベルト２１から離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置１１の搬送部２０のみによって搬送される。
【００３７】
以上のように、本実施形態に係る搬送システム１００によれば、板ガラス１０１を第１送出装置１０から第２送出装置１１に受け渡す際、板ガラス１０１が両装置の無端ベルト２１に同時に接することはないため、仮に第１送出装置１０の無端ベルト２１と第２送出装置１１の無端ベルトの搬送速度が異なっていたとしても、板ガラス１０１がいずれかの装置上を滑るようなことはない。なお、本実施形態では、板ガラス１０１を受け渡す際、板ガラス１０１の一部を浮かすことになるため、板ガラス１０１は部分的に湾曲する。そのため、板ガラス１０１がある程度撓む場合には本実施形態の搬送方法は有効である。例えば、板ガラス１０１の厚みが１mm以下程度あれば、本実施形態に係る搬送システム１００は有効である。
【００３８】
なお、第１送出装置１０及び第２送出装置１１の搬送速度はそれぞれ一定である必要はない。例えば、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡される際には、両者の搬送速度を同じにし、板ガラス１０１が第２送出装置１１へ受け渡された後に第２送出装置１１の搬送速度を大きくしても良い。この場合、第２送出装置１１の搬送速度を大きくしたとき、板ガラス１０１の一部が第１送出装置１０の内側に残っていたとしても、その部分が第１送出装置１０上を滑るようなことはない。
【００３９】
また、以上では、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量が一定であり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量が可変である場合について説明したが、このような構成に限られない。例えば、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量を可変とするとともに、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を一定とし、浮揚部５０側の調整によって板ガラス１０１を無端ベルト２１と接触させるか否かを制御できるように構成してもよい。
【００４０】
（第２実施形態）
次に、図６を参照して、本発明の第２実施形態に係る搬送システム２００について説明する。図６は、第２実施形態に係る搬送システム２００を構成する第１送出装置２１０（第２送出装置２１１）の断面図であって、第１実施形態の図３に対応する図である。図６に示すように、本実施形態に係る搬送システム２００は、図３に示す浮揚部５０に代えて浮揚部２５０を備えている点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。本実施形態の浮揚部２５０は、いわゆるジェットノズルであって、先端からは高圧の加圧流体１０４が板ガラス１０１の普通面１０３に向かって垂直に噴射されるように構成されている。これにより板ガラス１０１は上方への力が加えられて上方に押し上げられ、無端ベルト２１から離す。本実施形態によれば、浮揚部２５０としてジェットノズルを採用しているため、浮揚部２５０と板ガラス１０１の距離が比較的大きな場合であっても、板ガラス１０１に上方への力を加えることができる。そのため、浮揚部２５０と板ガラス１０１との距離の設定を広い範囲で行うことができる。
【００４１】
（第３実施形態）
次に、図７を参照して、本発明の第３実施形態に係る搬送システム３００について説明する。図７は、第２実施形態に係る搬送システム３００を構成する第１送出装置３１０（第２送出装置３１１）の断面図であって、第１実施形態の図３に対応する図である。図７に示すように、本実施形態に係る搬送システム３００は、図３に示す浮揚部５０に代えて浮揚部３５０を備えている点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。本実施形態の浮揚部３５０は、板ガラス１０１に接触する支持ローラー３５１と、左右方向を回転軸としてこの支持ローラーを回転可能に保持する保持部材３５２と、この保持部材３５２を介して支持ローラー３５１を板ガラス１０１の普通面１０３へ垂直方向に付勢する付勢部材３５３によって主に構成されている。本実施形態の構成によれば、加圧流体１０４（図１等参照）を用いなくとも、板ガラス１０１に上方への力を加え、板ガラス１０１を浮かすようにして搬送部２０と接触しないようにすることができる。
【００４２】
（第４実施形態）
次に、図８を参照して、本発明の第４実施形態に係る搬送システム４００について説明する。図８は、第４実施形態に係る搬送システム４００の板ガラス１０１を搬送する動作を示した右側面図である。図８に示すように、本実施形態に係る搬送システム４００は、板ガラス１０１を押し上げるための浮揚部５０（図１等参照）を備えておらず、第１送出装置４１０及び第２送出装置４１１が変位する点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。具体的には次のとおりである。
【００４３】
本実施形態に係る搬送システム４００では、第１送出装置４１０は下流側が下方になるよう傾斜可能に構成されており、第１送出装置４１１は上流側が下方になるよう傾斜可能に構成されている。より具体的には、第１送出装置４１０の下流側の駆動プーリ２５Bが上流側の駆動プーリ２５Aを支点にして元の水平位置よりも下方に移動可能に構成されており、第２送出装置４１１の上流側の駆動プーリ２５Cが下流側の駆動プーリ２５Dを支点にして元の水平位置よりも下方に移動可能に構成されている。なお、駆動プーリ２５B、Cを上下させる手段は特に限定されてないが、例えばエアシリンダ等のアクチュエータを用いて駆動プーリ２５B、Cを支持している部材を上下するように構成してもよい。
【００４４】
以上のように構成された搬送システム４００によれば、次のようにして第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へと板ガラス１０１が受け渡される。まず、図８の上段の図に示すように、第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置４１１の上流側の駆動プーリ２５Cを下げ、第２送出装置４１１内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置４１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置４１０の搬送部２０のみによって搬送される。
【００４５】
続いて、図８の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置４１０と第２送出装置４１１の境界に達すると、搬送システム４００は、板ガラス１０１は第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ受け渡される。
【００４６】
続いて、図８の下段の図に示すように、第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置４１０の下流側の駆動プーリ２５Bを下げ、第１送出装置４１０内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置４１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置４１１の搬送部２０のみによって搬送される。
【００４７】
以上のように、本実施形態に係る搬送システム４００によれば、第１実施形態に係る搬送システム１００と同様に、第１送出装置４１０の無端ベルト２１と第２送出装置４１１の無端ベルトの搬送速度が異なっていたとしても、板ガラス１０１が滑るようなことはない。なお、第１実施形態では板ガラス１０１がある程度撓む場合には有効であると説明したが、本実施形態では板ガラス１０１を撓ませるようなことはないため、例えば厚みが１mm以上の比較的厚みのある歪みにくい板ガラスを搬送する場合には本実施形態に係る搬送システム４００が有効である。
【００４８】
（第５実施形態）
次に、図９を参照して、本発明の第５実施形態に係る搬送システム５００について説明する。図９は、第５実施形態に係る搬送システム５００が板ガラス１０１を搬送する動作を示した右側面図である。図９に示すように、本実施形態に係る搬送システム４００は、第１送出装置５１０及び第２送出装置５１１が一方の端部のみならず全体が上下に移動する点で第４実施形態に係る搬送システム４００と構成が異なる。
【００４９】
本実施形態に係る搬送システム５００の第１送出装置５１０及び第２送出装置５１１は、無端ベルト２１全体が元の位置よりも下方に移動可能に構成されている。より具体的には、各無端ベルト２１の両端の駆動プーリ２５A、B、C、Dが同時に下方に移動できるように構成されている。駆動プーリ２５A、B、C、Dを上下させる手段は特に限定されてないが、例えばエアシリンダ等のアクチュエータを用いて前後の駆動プーリ２５A、B、C、Dを支持している部材を上下するように構成してもよい。
【００５０】
以上のように構成された搬送システム５００によれば、次のようにして第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へと板ガラス１０１が受け渡される。まず、第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置５１１の両側の駆動プーリ２５C、Dを下げ、第２送出装置５１１内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置５１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置５１０の搬送部２０のみによって搬送される。
【００５１】
続いて、図９の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置５１０と第２送出装置５１１の境界に達すると、搬送システム５００は、板ガラス１０１は第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ受け渡される。
【００５２】
続いて、図９の下段の図に示すように、第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置５１０の両側の駆動プーリ２５A、Bを下げ、第１送出装置５１０内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置５１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置５１１の搬送部２０のみによって搬送される。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について図を参照して説明したが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。なお、以上では、搬送される板ガラス１０１が精密面１０２と普通面１０３を有する場合について説明したが、例えば、搬送する板ガラス１０１の両面が普通面であってもよい。このような場合でも、板ガラスの表面を清浄に保つべきことに変わりなく、本発明に係る板材の搬送システムは有効である。
【００５４】
また、以上では搬送システムが、板ガラスを搬送する場合について説明したが、仮にある装置が板ガラス以外の板材を搬送するものであったとしても、そのことをもって、その装置が本発明に含まれなくなる理由にはなりえない。
【００５５】
また、以上では、搬送システムが環状の無端ベルト２１を用いる場合について説明したが、例えば無端ベルト２１に代えて環状型以外のベルトを用いても良い。
【００５６】
また、以上では、搬送システムが板材（板ガラス１０１）を水平にした状態で搬送する場合について説明したが、板材を鉛直にした状態で搬送するように構成されていてもよい。つまり、例えば、搬送システムが、図２や図３に示す構成を反時計回りに９０°回転させたような構成であっても良い。
【００５７】
また、以上では、板ガラスを浮かせる搬送システム１００、２００、３００と第１送出装置及び第２送出装置自体を変位させる搬送システム４００、５００について説明したが、これらを合わせても良い。つまり、板ガラスを浮かせるとともに、第１送出装置及び第２送出装置を変位させることができる搬送システムとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明に係る板材の搬送システムによれば、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることがないため、板材の搬送システムの技術分野において有益である。
【符号の説明】
【００５９】
１０、２１０、３１０、４１０、５１０ 第１送出装置
１１、２１１、３１１、４１１、５１１ 第２送出装置
２０ 搬送部
２１ 無端ベルト（ベルト）
４０ 加圧部
５０ 浮揚部
１００、２００、３００、４００、５００ 搬送システム
１０１ 板ガラス（板材）
１０４ 加圧流体（流体）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１送出装置と、第２送出装置とを備え、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ板材が受け渡される板材の搬送システムであって、
前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、
前記板材の一方の面に接触して前記板材を搬送方向へ送り出す搬送部と、
前記板材の他方の面に流体による垂直方向の圧力を加え、前記板材を前記搬送部に向かって加圧することができる加圧部と、を有しており、
前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡される前においては、前記第１送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第２送出装置の搬送部は前記板材と接触しないようにし、
前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡された後においては、前記第２送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第１送出装置の搬送部は前記板材と接触しないように構成された、板材の搬送システム。
【請求項２】
前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記搬送部側から前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加え、前記板材を浮かすようにして前記搬送部と接触しないようにする浮揚部をさらに備えている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
【請求項３】
前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に流体による垂直方向の圧力を加えることができるように構成されている、請求項２に記載の板材の搬送システム。
【請求項４】
前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面との間で流体の膜が形成できるように構成されている、請求項３に記載の板材の搬送システム。
【請求項５】
前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に接触する支持ローラーと、該支持ローラーを前記板材へ付勢する付勢部材と、を有し、前記支持ローラーを介して前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加えることができるように構成されている、請求項２に記載の板材の搬送システム。
【請求項６】
前記第１送出装置の搬送部は、前記第２送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されており、
前記第２送出装置の搬送部は、前記第１送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
【請求項７】
前記第１送出装置及び前記第２送出装置の搬送部は、全体が前記板材と接触しないように駆動するよう構成されている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
【請求項１】
第１送出装置と、第２送出装置とを備え、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ板材が受け渡される板材の搬送システムであって、
前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、
前記板材の一方の面に接触して前記板材を搬送方向へ送り出す搬送部と、
前記板材の他方の面に流体による垂直方向の圧力を加え、前記板材を前記搬送部に向かって加圧することができる加圧部と、を有しており、
前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡される前においては、前記第１送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第２送出装置の搬送部は前記板材と接触しないようにし、
前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡された後においては、前記第２送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第１送出装置の搬送部は前記板材と接触しないように構成された、板材の搬送システム。
【請求項２】
前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記搬送部側から前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加え、前記板材を浮かすようにして前記搬送部と接触しないようにする浮揚部をさらに備えている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
【請求項３】
前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に流体による垂直方向の圧力を加えることができるように構成されている、請求項２に記載の板材の搬送システム。
【請求項４】
前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面との間で流体の膜が形成できるように構成されている、請求項３に記載の板材の搬送システム。
【請求項５】
前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に接触する支持ローラーと、該支持ローラーを前記板材へ付勢する付勢部材と、を有し、前記支持ローラーを介して前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加えることができるように構成されている、請求項２に記載の板材の搬送システム。
【請求項６】
前記第１送出装置の搬送部は、前記第２送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されており、
前記第２送出装置の搬送部は、前記第１送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
【請求項７】
前記第１送出装置及び前記第２送出装置の搬送部は、全体が前記板材と接触しないように駆動するよう構成されている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１３−１０３７９７（Ｐ２０１３−１０３７９７Ａ）
【公開日】平成２５年５月３０日（２０１３．５．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４８７５３（Ｐ２０１１−２４８７５３）
【出願日】平成２３年１１月１４日（２０１１．１１．１４）
【出願人】（００００００９７４）川崎重工業株式会社 (1,710)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月３０日（２０１３．５．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月１４日（２０１１．１１．１４）
【出願人】（００００００９７４）川崎重工業株式会社 (1,710)
【Ｆターム（参考）】
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