浮上搬送装置
【課題】本発明は、板状基体の形状や重量の影響を除き、板状基体に対して迅速な調芯をすることができる浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】板状の搬送面（上面１1）を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部１と、搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を搬送面に沿って移動させる第１噴出手段と、第１噴出手段によって浮上した板状基体を搬送面の中心位置Ｉ2に保つために、気体を噴出する第２噴出手段（２Ｆ1〜２Ｈ1，２Ｆ2〜２Ｈ2）とを備えた。
【解決手段】板状の搬送面（上面１1）を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部１と、搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を搬送面に沿って移動させる第１噴出手段と、第１噴出手段によって浮上した板状基体を搬送面の中心位置Ｉ2に保つために、気体を噴出する第２噴出手段（２Ｆ1〜２Ｈ1，２Ｆ2〜２Ｈ2）とを備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浮上搬送装置に係わり、より詳細には、板状基体としてウエハやガラス板などを搬送するときに、板状基体を浮上させる浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状基体を浮上させ、この状態で板状基体を搬送するシステムとして、例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板を搬送するものがある。この搬送システムを図２０に示す。この搬送システムは、移送ユニット１００と制御ユニット２００との組み合わせで構成されたものである。移送ユニット１００は、四角形状のガラス板３００を浮上させて移動方向３１０に移動させる。制御ユニット２００は、ガラス板３００を浮上させた状態で停止、静止させると共に、転換方向３１１に方向転換させる。さらに、搬送システムは、図示を省略しているが、ガラス板３００に対して各種の処理を行う処理ユニットを備えている。
【０００３】
移送ユニット１００は、ガラス板３００を直線的に移動させるために、通常、連結されて用いられる。この移送ユニット１００の一例を図２１に示す。移送ユニット１００は、基部１１０と囲い材１２０とを備えている。基部１１０には、ガラス板３００を浮上させるための気体、例えば、ガラス板３００に影響を与えない窒素ガス、アルゴンガス、乾燥空気やその他のガスを供給する供給系１１１が配管されている。
【０００４】
囲い材１２０が覆う、基部１１０の上面１１２が搬送路の搬送面であり、上面１１２には、複数の噴出孔１１３が空けられている。図２２に示すように、噴出孔１１３が上面１１２に対して傾斜して設けられ、噴出孔１１３の傾斜方向がガラス板３００の移動方向３１０の中心１１２Ａに向かって傾斜している。中心１１２Ａは、上面１１２の中心でもある。
【０００５】
また、噴出孔１１３とは別に、図２３に示すように、推進用の噴出孔１１５が、ガラス板３００の移動方向３１０と平行に並んで、かつ、上面１１２に対して傾斜して空けられている。
【０００６】
噴出孔１１３，１１５は、上面１１２から補助穴１１４，１１６に至る間に空けられている。補助穴１１４，１１６は、供給系１１１にそれぞれ通じている。補助穴１１４，１１６は、噴出孔１１３，１１５の径が小さいので、噴出孔１１３，１１５の形成に際して前もって基部１１０に空けられる、径の大きな予備的な穴である。
【０００７】
供給系１１１から供給される気体が、補助穴１１４，１１６を経て、噴出孔１１３，１１５から噴出する。噴出孔１１３，１１５からの気体の噴出方向は、上面１１２に対して斜め上方に傾斜している。かつ、移動方向３１０に対して、噴出孔１１３からの気体が直角になり、噴出孔１１５からの気体が平行になっている。このような気体の噴出が、図２４の噴出方向１１３Ａ，１１５Ａによって、平面的に表されている。
【０００８】
こうして、各噴出孔１１３，１１５から噴出方向１１３Ａ，１１５Ａに噴出された気体によって、ガラス板３００が浮上して移動方向３１０に動くと同時に、ガラス板３００の中心が上面１１２の中心１１２Ａに沿って移動するので、ガラス板３００の側面が囲い材１２０の側壁に接触することがない。つまり、各噴出孔１１３による調芯作用によって、ガラス板３００の中心が上面１１２の中心１１２Ａに移動する。ガラス板３００に対する調芯によって、ガラス板３００が囲い材１２０に対して非接触の状態で移動される。
【０００９】
制御ユニット２００は、移送ユニット１００から送られてくるガラス板３００を受け取り、このガラス板３００の停止、静止および移動方向の変更や、ガラス板３００自身の回転等を行う。制御ユニット２００は、ガラス板３００に対する停止、静止等の制御を気体の噴出によって行う。
【００１０】
このような移送ユニット１００および制御ユニット２００で構成される搬送システムと、各種の処理ユニットとを組み合わせることによって、ガラス板３００の処理システムが構築される。この搬送システムの一例が特願平３−３２８０５２号公報に示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、従来の浮上搬送装置には、以下の問題点があった。つまり、移送ユニットの噴出孔１１３は、ガラス板３００の浮上とガラス板３００に対する調芯との両方を、気体の噴出で行っている。このために、ガラス板３００が重くなると、ガラス板３００に対して噴出孔１１３による調芯作用が弱くなってくる。この結果、ガラス板３００が蛇行して、移動時間が増加したり、また、ガラス板３００が囲い材１２０に衝突するという課題が発生する。
【００１２】
本発明は、このような課題を解決し、板状基体の形状や重量の影響を除き、板状基体に対して迅速な調芯をすることができる浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１に記載の本発明は、板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部と、前記搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を前記搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる第１噴出手段と、前記第１噴出手段によって浮上した板状基体を前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴出する第２噴出手段とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
この構成によって、基部の上面に送られて来た板状基体が第１噴出手段からの気体で浮上する。同時に、板状基体は、第２噴出手段からの気体によって、基部の上面の中心方向に迅速に移動される。これによって、板状基体は、蛇行して基部の上面からはみ出すことなく、この上面の上を直線的に移動する。
【００１５】
請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の浮上搬送装置において、前記第２噴出手段は、前記搬送面上の両側に沿って配置されている２つの側方噴出部と、これらの２つの側方噴出部に気体を供給する供給系とを備え、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に気体を噴出する噴出孔を多数具備したことを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の本発明は、請求項２に記載の浮上搬送装置において、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に移動可能であることを特徴とする。
【００１７】
請求項４に記載の本発明は、請求項１に記載の浮上搬送装置において、前記第２噴出手段は、前記搬送面の中心を挟むように前記搬送面に配置されると共に前記搬送面の中心方向に気体を噴出する２つの面側噴出部と、これらの面側噴出部に気体を供給する供給系とを備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項５に記載の本発明は、請求項４に記載の浮上搬送装置において、前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出孔列を具備し、前記噴出孔列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出孔列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる多数の噴出孔を具備したことを特徴とする。
【００１９】
請求項６に記載の本発明は、請求項４に記載の浮上搬送装置において、前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出スリット列を具備し、前記噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる複数の噴出スリットを具備したことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施の形態１に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。
【図２】図１のＩ―Ｉ断面を示す断面図である。
【図３】図１のＩＩ―ＩＩ断面を示す断面図である。
【図４】気体の噴出の様子を説明するための説明図である。
【図５】噴出された気体による調芯の様子を説明するための説明図である。
【図６】実施の形態２に係わる浮上搬送装置の基部を示す断面図である。
【図７】実施の形態３に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。
【図８】図７のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。
【図９】実施の形態３に係わる噴出装置を示す斜視図である。
【図１０】実施の形態４に係わる噴出装置を示す斜視図である。
【図１１】実施の形態５に係わる基部の断面を示す断面図である。
【図１２】実施の形態６に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。
【図１３】図１２のＩＶ―ＩＶ断面を示す断面図である。
【図１４】図１２のスリットの部分を示す斜視図である。
【図１５】実施の形態７に用いられている噴出スリット構造を示す平面図である。
【図１６】図１５のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。
【図１７】図１６の溝を示す斜視図である。
【図１８】図１６の遮蔽板の断面を示す断面図である。
【図１９】図１６の遮蔽板の底面を示す底面図である。
【図２０】従来の板状基体搬送システムを示す平面図である。
【図２１】従来の移送ユニットを示す斜視図である。
【図２２】図２１のＸＩ−ＸＩ断面を示す断面図である。
【図２３】図２１のＸＩＩ−ＸＩＩ断面を示す断面図である。
【図２４】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
［実施の形態１］
次に、図１〜５を参照して、本発明の実施の形態１について述ベる。図１は、実施の形態１に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。図２は、図１のＩ―Ｉ断面を示す断面図である。図３は、図１のＩＩ―ＩＩ断面を示す断面図である。図４は、気体の噴出の様子を説明するための説明図である。図５は、噴出された気体による調芯の様子を説明するための説明図である。
【００２２】
実施の形態１では、図２１の基部１１０の代わりに、図１に示される基部１が用いられている。基部１は、移動方向３１０に対して長い長方形をしている。かつ、基部１は、上面１1が平らな板状体である。
【００２３】
基部１の上面１1の端部付近には、設定ライン１Ａ1，１Ａ2が設定されている。さらに、設定ライン１Ａ1，１Ａ2の内側には、設定ライン１Ｂ1，１Ｂ2が設定され、その内側には、設定ライン１Ｃ1，１Ｃ2が設定されている。
【００２４】
設定ライン１Ａ1〜１Ｃ1，１Ａ2〜１Ｃ2は、浮上用噴出孔を配置するためのものである。つまり、設定ライン１Ａ1，１Ａ2には、図２に示すように、多数の噴出孔２Ａ11，２Ａ21と多数の補助穴２Ａ12，２Ａ22とが設けられ、設定ライン１Ｂ1，１Ｂ2には、多数の噴出孔２Ｂ11，２Ｂ21と多数の補助穴２Ｂ12，２Ｂ22とがそれぞれ設けられている。さらに、設定ライン１Ｃ1，１Ｃ2には、多数の噴出孔２Ｃ11，２Ｃ21と多数の補助穴２Ｃ12，２Ｃ22とが設けられている。
【００２５】
噴出孔２Ａ11〜２Ｃ11，２Ａ21〜２Ｃ21および補助穴２Ａ12〜２Ｃ12，２Ａ22〜２Ｃ22は、図２２の噴出孔１１３および補助穴１１４とそれぞれ同じである。そして、噴出孔２Ａ11と補助穴２Ａ12、噴出孔２Ｂ11と補助穴２Ｂ12、噴出孔２Ｃ11と補助穴２Ｃ12、噴出孔２Ａ21と補助穴２Ａ22、噴出孔２Ｂ21と補助穴２Ｂ22および噴出孔２Ｃ21と補助穴２Ｃ22が、浮上用噴出部分２Ａ1，２Ｂ1，２Ｃ1，２Ａ2，２Ｂ2，２Ｃ2をそれぞれ構成する。さらに、すべての噴出孔２Ａ11，２Ｂ11，２Ｃ11，２Ａ21，２Ｂ21，２Ｃ21が、浮上用噴出孔列をそれぞれ形成する。
【００２６】
設定ライン１Ｃ1と設定ライン１Ｃ2との間には、設定ライン１Ｄ1，１Ｄ2，１Ｅ1，１Ｅ2がそれぞれ設定されている。設定ライン１Ｄ1，１Ｄ2，１Ｅ1，１Ｅ2は、移動用噴出孔を配置するためのものである。つまり、設定ライン１Ｄ1，１Ｄ2には、多数の噴出孔２Ｄ11，２Ｄ21と多数の補助穴２Ｄ12，２Ｄ22とが設けられている。設定ライン１Ｅ1，１Ｅ2には、多数の噴出孔２Ｅ11，２Ｅ21と多数の補助穴２Ｅ12，２Ｅ22とが設けられている。
【００２７】
各噴出孔２Ｅ11，２Ｅ21および各補助穴２Ｅ12，２Ｅ22は、図２３の噴出孔１１５および補助穴１１６とそれぞれ同じであり、ガラス板を移動方向３１０に送る。各噴出孔２Ｄ11，２Ｄ21および各補助穴２Ｄ12，２Ｄ22は、ガラス板を移動方向３１０と反対方向に送る。そして、噴出孔２Ｄ11と補助穴２Ｄ12、噴出孔２Ｄ21と補助穴２Ｄ22が第１移動用噴出部分２Ｄ1，２Ｄ2をそれぞれ形成し、噴出孔２Ｅ11と補助穴２Ｅ12、噴出孔２Ｅ21と補助穴２Ｅ22が第２移動用噴出部分２Ｅ1，２Ｅ2をそれぞれ形成する。
【００２８】
基部１の上面１1の一方の端部と設定ライン１Ａ1との間、および、上面１1の他方の端部と設定ライン１Ａ2との間には、設定ライン１Ｆ1，１Ｆ2がそれぞれ設定されている。設定ライン１Ａ1，１Ｂ1，１Ｃ1の各間には、設定ライン１Ｇ1，１Ｈ1がそれぞれ設定され、設定ライン１Ａ2，１Ｂ2，１Ｃ2の各間には、設定ライン１Ｇ2，１Ｈ2がそれぞれ設定されている。つまり、設定ライン１Ａ1，１Ｂ1，１Ｃ1と設定ライン１Ｆ1，１Ｇ1，１Ｈ1とが交互に配置され、同様に、設定ライン１Ａ2，１Ｂ2，１Ｃ2と設定ライン１Ｆ2，１Ｇ2，１Ｈ2とが交互に配置されている。この結果、設定ライン１Ｆ1，１Ｇ1，１Ｈ1が一定間隔で配置され、同じく、設定ライン１Ｆ2，１Ｇ2，１Ｈ2が一定間隔で配置されることになる。
【００２９】
設定ライン１Ｆ1，１Ｆ2には、図３に示すように、多数の噴出孔２Ｆ11，２Ｆ21と多数の補助穴２Ｆ12，２Ｆ22とが設けられている。各噴出孔２Ｆ11，２Ｆ21が、基部１の上面１1に対して上方向に、かつ、上面１1の中心１2に向けて気体を噴出する。
【００３０】
設定ライン１Ｆ1に位置する噴出孔２Ｆ11と補助穴２Ｆ12とが、ガラス板３００の調芯をするための調芯用噴出部分２Ｆ1を構成する。図４に示すように、調芯用噴出部分２Ｆ1の噴出孔２Ｆ11が、ガラス板３００の側壁３０１に向けて、噴出方向θ１で気体を噴出する。このときの気体の噴出方向θ１は、浮上用噴出部分２Ａ1の噴出孔２Ａ11が噴出する気体の噴出方向がθ２であるとき、次のように設定されている。なお、噴出方向θ１，θ２は、上面１1を基準にした角度である。
【００３１】
０（ゼロ）＜噴出方向θ１＜噴出方向θ２
噴出方向θ１，θ２のこのような設定によって、気体の噴出で発生する力がガラス板３００に働く。つまり、噴出方向θ１に噴出された気体によって、ガラス板３００が受ける力Ｗ1は、上面１1と平行な力である調芯力Ｗ11と、上面１1に対して直角な力である浮上力Ｗ12とに分けられる。同じく、噴出方向θ２に噴出された気体によって、ガラス板３００が受ける力Ｗ2は、調芯力Ｗ21と浮上力Ｗ22とに分けられる。
【００３２】
噴出方向θ１が噴出方向θ２に比べて小さいので、推進力と浮上力との関係が次のようになる。
【００３３】
調芯力Ｗ21＜調芯力Ｗ11
浮上力Ｗ22＞浮上力Ｗ12
これによって、浮上用噴出部分２Ａ1の調芯力Ｗ21に比べて、調芯用噴出部分２Ｆ1の調芯力Ｗ11が大きくなるので、主に、噴出方向θ１の気体によって、ガラス板３００が上面1の中心１2に移動する。
【００３４】
設定ライン１Ｆ1と同じようにして、設定ライン１Ｆ2には、多数の噴出孔２Ｆ21と多数の補助穴２Ｆ22とが設けられている。噴出孔２Ｆ21と補助穴２Ｆ22とが調芯用噴出部分２Ｆ2を構成する。調芯用噴出部分２Ｆ2が噴出する気体の噴出方向が、調芯用噴出部分２Ｆ1からの気体の噴出方向と向かい合うように、調芯用噴出部分２Ｆ2の噴出孔21と調芯用噴出部分２Ｆ1の噴出孔２Ｆ11とが配列されている。これによって、調芯用噴出部分２Ｆ2は、調芯用噴出部分２Ｆ1と対になって、ガラス板に対する調芯を行う。
【００３５】
設定ライン１Ｇ1，１Ｇ2には、多数の噴出孔２Ｇ11，２Ｇ21と多数の補助穴２Ｇ12，２Ｇ22とが設けられている。噴出孔２Ｇ11と補助穴２Ｇ12とが調芯用噴出部分２Ｇ1を構成し、噴出孔２Ｇ21と補助穴２Ｇ22とが調芯用噴出部分２Ｇ2を構成する。調芯用噴出部分２Ｇ1，２Ｇ1は、調芯噴出部分２Ｆ1，２Ｆ2と同じであり、各噴出孔２Ｇ11，２Ｇ21が上面１1の中心１2に向けて、噴出方向θ１に気体をそれぞれ噴出する。
【００３６】
設定ライン１Ｈ1，１Ｈ2には、多数の噴出孔２Ｈ11，２Ｈ21と多数の補助穴２Ｈ12，２Ｈ22とが設けられている。噴出孔２Ｈ11と補助穴２Ｈ12とが調芯用噴出部分２Ｈ1を構成し、噴出孔２Ｈ21と補助穴２Ｈ22とが調芯用噴出部分２Ｈ2を構成する。調芯用噴出部分２Ｈ1，２Ｈ1は、調芯噴出部分２Ｆ1，２Ｆ2と同じであり、各噴出孔２Ｈ11，２Ｈ21が上面１1の中心１2に向けて、噴出方向θ１に気体をそれぞれ噴出する。
【００３７】
設定ライン１Ｆ1上の噴出孔２Ｆ11と設定ライン１Ｇ1上の噴出孔２Ｇ11と設定ライン１Ｈ1上の噴出孔２Ｈ11とが第１の面側噴出部を形成し、また、設定ライン１Ｆ2上の噴出孔２Ｆ21と設定ライン１Ｇ2上の噴出孔２Ｇ21と設定ライン１Ｈ2上の噴出孔２Ｈ21とが第２の面側噴出部を形成する。さらに、第１と第２の面側噴出部と供給系（図示を省略）とが第２噴出手段を構成する。
【００３８】
次に、この実施の形態１の動作について説明する。
【００３９】
基部１に送り込まれたガラス板３００は、浮上用噴出部分２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2から噴出される気体で浮上する。また、ガラス板３００は、第１移動用噴出部分２Ｄ1，２Ｄ2から噴出される気体で移動方向３１０に送られる。
【００４０】
同時に、ガラス板３００の側壁３０１には、このガラス板３００の幅に応じた調芯用噴出部分、例えば図５に示すように、調芯用噴出部分２Ｆ1，２Ｆ2からの気体が噴出される。噴出される気体によって、ガラス板３００が中心１2に移動し、ガラス板３００に対する調芯が行われる。
【００４１】
このように、実施の形態１によれば、浮上用噴出部分２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2、第１移動用噴出部分２Ｄ1，２Ｄ2、第２移動用噴出部分２Ｅ1，２Ｅ2とは別に、調芯用噴出部分２Ｆ1〜２Ｈ1，２Ｆ2〜２Ｈ2が設けられている。そして、調芯用噴出部分２Ｆ1〜２Ｈ1，２Ｆ2〜２Ｈ2が噴出する気体によって、ガラス板３００に対する調芯が行われるので、ガラス板３００が重くなっても、調芯用に強く噴出される気体によって、ガラス板３００に対する調芯を行うことができる。
【００４２】
また、調芯用噴出部分２Ｆ1〜２Ｈ1と調芯用噴出部分２Ｆ2〜２Ｈ2とが、上面１1の中心１2に向かって順に並んでいる。この結果、ガラス板の幅に応じて調芯用噴出部分２Ｆ1〜２Ｈ1と調芯用噴出部分２Ｆ2〜２Ｈ2との中から、最適な調芯用噴出部分を選択すれば、任意の幅のガラス板に対する調芯を行うことができる。つまり、ガラス板の搬送の後、このガラス板と幅が異なるガラス板の搬送（以下、ガラス板の混載搬送という）を可能にする。
【００４３】
[実施の形態２]
次に、図６を参照して、本発明の実施の形態２について述ベる。図６は、実施の形態２に係わる浮上搬送装置の基部を示す断面図である。
【００４４】
実施の形態２では、実施の形態１で用いられた浮上用噴出部分２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2の代わりに、図６に示す浮上用噴出部分１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2が用いられている。つまり、実施の形態２の浮上用噴出部分１１Ａ1，１１Ａ2は、多数の噴出孔１１Ａ11，１１Ａ21と多数の補助穴１１Ａ12，１１Ａ22とを備えている。各補助穴１１Ａ12，１１Ａ22は、実施の形態１の補助穴２Ａ12，２Ａ22とそれぞれ同じである。
【００４５】
各噴出孔１１Ａ11，１１Ａ21は、実施の形態１の噴出孔２Ａ11，２Ａ21と異なり、基部１０の上面１０1に対して直角方向に気体を噴出する。つまり、実施の形態２では、図５の噴出方向θ２が９０度であり、各噴出孔１１Ａ11，１１Ａ21は、ガラス板の浮上専用として用いられている。
【００４６】
浮上用噴出部分１１Ｂ1，１１Ｃ1は、多数の噴出孔１１Ｂ11，１１Ｃ11と多数の補助穴１１Ｂ12，１１Ｃ12とを備え、浮上用噴出部分１１Ｂ2，１１Ｃ2は、多数の噴出孔１１Ｂ21，１１Ｃ21と多数の補助穴１１Ｂ22，１１Ｃ22とを備えている。
【００４７】
噴出孔１１Ｂ11，１１Ｃ11および補助穴１１Ｂ12，１１Ｃ12は、噴出孔１１Ａ11および補助穴１１Ａ12とそれぞれ同じであり、噴出孔１１Ｂ21，１１Ｃ21および補助穴１１Ｂ22，１１Ｃ22は、噴出孔１１Ａ21および補助穴１１Ａ22とそれぞれ同じである。
【００４８】
また、実施の形態２では、実施の形態１と同じ第１移動用噴出部分１１Ｄ1，１１Ｄ2と第２移動用噴出部分１１Ｅ1，１１Ｅ2とを備えている。
【００４９】
さらに、実施の形態２では、図示を省略しているが、実施の形態１と同じ調芯用噴出部分を備えている。
【００５０】
こうして、実施の形態２によって、浮上用噴出部分１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2が基部１０の上面１０1に対して直角方向に気体を噴出するので、ガラス板が重くなっても、浮上用噴出部分１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2と調芯用噴出部分とによって、上面１０1の中心に沿ってガラス板を浮上させて、移動させることができる。
【００５１】
また、浮上用噴出部分１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2が基部１０の上面１０1に対して直角方向に気体を噴出するので、図４の噴出方向θ１を、
０＜θ１＜９０
のように、広範囲に設定することができる。
【００５２】
[実施の形態３］
次に、図７〜９を参照して、本発明の実施の形態３について述ベる。図７は、実施の形態３に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。図８は、図７のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。図９は、実施の形態３に係わる噴出装置を示す斜視図である。
【００５３】
実施の形態３による浮上搬送装置は、浮上によって板状基体を搬送する搬送システムの中の移送ユニットであり、基部２１、囲い材２２および側方噴出部として調芯部２３，２４を備えている。
【００５４】
囲い材２２は、図２１の囲い材１２０と同じである。基部２１は、噴出孔２１Ａ11〜２１Ａ61と補助穴２１Ａ12〜２１Ａ62とをそれぞれ備えている浮上用噴出部分２１Ａ1〜２１Ａ6、噴出孔２１Ｂ11，２１Ｂ12と補助穴２１Ｂ12，２１Ｂ22とをそれぞれ備えている第１移動用噴出部分２１Ｂ1，２１Ｂ2、および、噴出孔２１Ｃ11，２１Ｃ12と補助穴２１Ｃ12，２１Ｃ22とをそれぞれ備えている第２移動用噴出部分２１Ｃ1，２１Ｃ2を備えている。
【００５５】
浮上用噴出部分２１Ａ1〜２１Ａ3，２１Ａ4〜２１Ａ6は、実施の形態１の浮上用噴出部分２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2とそれぞれ同じであり、第１移動用噴出部分２１Ｂ1，２１Ｂ2は、実施の形態１の第１移動用噴出部分２Ｄ1，２Ｄ2と同じである。また、第２移動用噴出部分２１Ｃ1，２１Ｃ2は、実施の形態１の第２移動用噴出部分２Ｅ1，２Ｅ2と同じである。
【００５６】
調芯部２３，２４は、駆動装置２３Ａ，２４Ａ、４つの伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂおよび４つの噴出装置２３Ｃ，２４Ｃをそれぞれ備えている。
【００５７】
伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂは、囲い材２２に空けられた貫通穴２２Ａを通り、４つの噴出装置２３Ｃ，２４Ｃを駆動装置２３Ａ，２４Ａにそれぞれ接続する。伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂは、移動方向３１０と直角な方向に、かつ、基部２１の中心に向かって、駆動装置２３Ａ，２４Ａの制御でそれぞれ伸縮する。また、伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂは、駆動装置２３Ａ，２４Ａからの気体を噴出装置２３Ｃ，２４Ｃにそれぞれ送る。
【００５８】
駆動装置２３Ａ，２４Ａは、４つの伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂをそれぞれ駆動する。つまり、駆動装置２３Ａ，２４Ａは、送られてくるガラス板３００の幅に応じて、４つの伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂを基部２１の中心に向かってそれぞれ伸縮させる。これによって、駆動装置２３Ａ，２４Ａは、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃをガラス板３００の側壁付近に位置するようにする。同時に、駆動装置２３Ａ，２４Ａは、伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂを経て、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃにそれぞれ気体を送る。
【００５９】
噴出装置２３Ｃは、図９に示すように、直方体の形状であり、ガラス板３００の送り方向に長くなっている。噴出装置２３Ｃの内部が中空である。噴出装置２３Ｃの正面２３Ｃ1、つまり、噴出装置２４Ｃと向かい合う面には、複数の噴出孔２３Ｃ2が空けられている。噴出孔２３Ｃ2は、浮上したガラス板３００の側面の下部に位置するように、正面２３Ｃ1に空けられている。かつ、噴出孔２３Ｃ2は、噴出装置２３Ｃの長手方向に一列に並んで空けられている。これによって、噴出孔２３Ｃ2は、基部２１の上面に対して水平方向に、つまり、この上面に対して傾斜角度０（ゼロ）で気体を噴出する。各噴出装置２４Ｃは、噴出装置２３Ｃとそれぞれ同じであるので、説明を省略する。
【００６０】
４つの噴出装置２３Ｃ，２４Ｃは、駆動装置２３Ａ，２４Ａから送られてくる気体を、基部２１の中心に向けて噴出孔２３Ｃ2からそれぞれ噴出する。このとき、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃは、ガラス板３００の側面の下部に気体を噴出する。この結果、実施の形態３によって、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃは、ガラス板３００の中心が基部２１の中心に位置するように、ガラス板３００を気体の噴出で動かすことができる。
【００６１】
また、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃは、浮上したガラス板３００の下部の側面に気体を噴出するので、ガラス板３００の厚さが異なっても、ガラス板３００を基部２１の中心に動かすことができる。
【００６２】
さらに、ガラス板３００の側面近くから傾斜角度０（ゼロ）で気体が噴出されるので、ガラス板３００に作用する調芯用の力を大きくすることができる。この結果、ガラス板３００の中心を短時間で基部２１の中心に移動させることができる。
【００６３】
［実施の形態４］
次に、図１０を参照して、本発明の実施の形態４について述ベる。図１０は、実施の形態４の噴出装置を示す斜視図である。
【００６４】
実施の形態４では、実施の形態３の噴出装置２３Ｃ，２４Ｃの代わりに、図１０に示す噴出装置２５が用いられている。噴出装置２５は、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃを分割型にしたものである。つまり、噴出装置２５は、上部２５Ａと下部２５Ｂとで構成されている。上部２５Ａと下部２５Ｂとは、同じ箱型の形状をしている。下部２５Ｂの開口２５Ｂ1には、四角形状の複数の切り欠き２５Ｂ2が設けられている。下部２５Ｂの開口２５Ｂ1に上部２５Ａの開口が覆うように、上部２５Ａが下部２５Ｂに取り付け可能である。上部２５Ａが下部２５Ｂに取り付けられたとき、切り欠き２５Ｂ2が噴出孔になる。
【００６５】
実施の形態４によって、噴出装置２５の内部に塵等が付着して、気体の流れが悪くなったとき、上部２５Ａと下部２５Ｂとを分離して、噴出装置２５の内部を簡単に清掃することを可能にする。つまり、実施の形態４によって、噴出装置２５に対する日常の保守点検が簡単化することを可能にする。
【００６６】
［実施の形態５］
次に、図１１を参照して、本発明の実施の形態５について述ベる。図１１は、実施の形態５に係わる基部の断面を示す断面図である。
【００６７】
実施の形態５では、次の点が実施の形態３と異なる。つまり、実施の形態３では、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃに対する気体供給が駆動装置２３Ａ，２４Ａで行われていた。実施の形態５では、基部３０から気体供給が行われている。実施の形態５の基部３０は、実施の形態３と同じように、浮上噴出部分３１Ａ1〜３１Ａ6、第１移動用噴出部分３１Ｂ1，３１Ｂ2および第２移動用噴出部分３１Ｃ1，３１Ｃ2を内部に備えている。
【００６８】
また、実施の形態５の基部３０は、供給装置３２，３３を内部に備えている。供給装置３２，３３は、基部３０の上面３０ｂに沿うように、かつ、基部３０の両側に設けられている。供給装置３２，３３は、供給系（図示を省略）から気体の供給を受ける。そして、供給装置３２，３３は、供給された気体を上方に向けて流す。
【００６９】
さらに、基部３０の上面３０Ｂに、かつ、供給装置３２，３３の上端に、噴出装置３４，３５が置かれている。噴出装置３４，３５は、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃと同じように、内部が中空の直方体である。噴出装置３４，３５が互いに向かい合う面である正面には、複数の噴出孔が噴出装置２３Ｃ，２４Ｃと同じように設けられている。このような噴出装置３４，３５は、実施の形態３の噴出装置２３Ｃ，２４Ｃと同じように、ガラス板３００の側面の下部に向けて気体を噴出する。
【００７０】
こうして、実施の形態５によって、基部３０や囲い材３０Ａの外側に気体供給をする装置を不要にすることができる。
【００７１】
［実施の形態６］
次に、図１２〜１４を参照して、本発明の実施の形態６について述ベる。図１２は、実施の形態６に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。図１３は、図１２のＩＶ―ＩＶ断面を示す断面図である。図１４は、図１２のスリットの部分を示す斜視図である。
【００７２】
実施の形態６による浮上搬送装置は、浮上によって板状基体を搬送する搬送システムの中の移送ユニットである。実施の形態６では、実施の形態１の基部１の代わりに、図１２に示す基部４０が用いられている。基部４０の上面４０1には、調芯用スリット列４１1〜４１n，４２1〜４２n、浮上用スリット列４３1〜４３n，４４1〜４４n、多数の噴出孔４５11，４５21を具備する第１移動用噴出孔列４５1，４５2、および、多数の噴出孔４５31，４５41を具備する第２移動用噴出孔列４５2，４５4が設けられている。第１移動用噴出孔列４５1，４５2と第２移動用噴出孔列４５2，４５4とは、図１の第１移動用噴出孔列２Ｄ11，２Ｄ21と第２移動用噴出孔列２Ｅ11，２Ｅ21とそれぞれ同じであるので、これらの説明を省略する。調芯用スリット列４１1〜４１nと調芯用スリット列４２1〜４２nとが面側噴出部をそれぞれ形成し、これらの２つの面側噴出部が第２噴出手段を形成する。
【００７３】
調芯用スリット列４１1〜４１nは、上面４０1の中心に向かって等間隔に並んで設けられている。調芯用スリット列４１1〜４１nは、複数の噴出スリット４１11〜４１n1をそれぞれ備える。噴出スリット４１11は、次のように形成されている。つまり、図１４に示すように、噴出スリット４１11は、基部４０の内部の補助穴４１12に設けられている。補助穴４１12は、基部４０の長手方向に延びた中空の穴であり、供給系（図示を省略）から気体の供給を受ける。基部４０の上面４０1に向かい合う補助穴４１12の部分が、三角柱の形状をしている。補助穴４１12の三角柱の部分から基部４０の上面４０1までの間に設けられたスリットが、噴出スリット４１11である。
【００７４】
噴出スリット４１11は、上面４０1に対して、角度θ３の方向に空けられている。角度θ３は、実施の形態１の噴出方向θ１と同じである。これによって、噴出スリット４１11は、上面４０1から角度θ３つまり噴出方向θ１で、かつ、上面４０1の中心に向かって、調芯用の気体を噴出する。
【００７５】
噴出スリット４１11〜４１n1の中の他のものも、噴出スリット４１11と同様である。
【００７６】
調芯用スリット列４２1〜４２nは、調芯用スリット列４１1〜４１nと同じように、上面４０1の中心向かって等間隔に並んで設けられている。調芯用スリット列４２1〜４２nは、調芯用スリット列４１1〜４１nと同じように、複数の噴出スリット４２11〜４２n1をそれぞれ備える。そして、噴出スリット４２11は、補助穴４２12〜４２n2と上面４０1との間に設けられている。噴出スリット４２11〜４２n1は、調芯用スリット列４１1〜４１nと同じように、上面４０1から角度θ３つまり噴出方向θ１に、かつ、上面４０1の中心に向かって、調芯用の気体を噴出する。
【００７７】
これらの調芯用スリット列４１1〜４１nと調芯用スリット列４２1〜４２nとによって、搬送されるガラス板の中心を基部４０の上面４０1の中心に合うようにする。
【００７８】
浮上用スリット列４３1〜４３nは、噴出スリット４３11〜４３n1と補助穴４３12〜４３n2とをそれぞれ備える。また、浮上用スリット列４４1〜４４nは、噴出スリット４４11〜４４n1と補助穴４４12〜４４n2とをそれぞれ備える。浮上用スリット列４３1〜４３nおよび浮上用スリット列４４1〜４４nは、次の点を除いて、調芯用スリット列４１1〜４１nおよび調芯用スリット列４２1〜４２nとそれぞれ同じような構造をしている。つまり、浮上用スリット列４３1〜４３nの噴出スリット４３11〜４３n1と、浮上用スリット列４４1〜４４nの噴出スリット４４11〜４４n1とが空けられている角度が、実施の形態１の噴出方向θ２と同じである。これによって、浮上用スリット列４３1〜４３n，４４1〜４４nは、実施の形態１と同じようにガラス板を浮上させる。
【００７９】
こうして、実施の形態６によれば、浮上用と調芯用とに用いられる噴出スリットが細長形状であるので、上面４０1を斜めに切る加工だけで、噴出スリットを形成することができる。また、１つの噴出スリットが複数の噴出孔に対応するので、調芯用や浮上用の気体を噴出するための構造を、少ない工数で形成することができる。
【００８０】
［実施の形態７］
次に、図１５〜１９を参照して、本発明の実施の形態７について説明する。図１５は、実施の形態７に用いられている噴出スリット構造を示す平面図である。図１６は、図１５のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。図１７は、図１６の溝を示す斜視図である。図１８は、図１６の遮蔽板の断面を示す断面図である。図１９は、図１６の遮蔽板の底面を示す底面図である。
【００８１】
実施の形態７では、実施の形態６の噴出スリットが異なる構造をしている。つまり、図１５，１６に示すように、実施の形態７の噴出スリットを形成するための噴出スリット構造５０は、遮蔽板５１、溝５２および供給穴５３によって形成される。
【００８２】
溝５２は、基部４０の上面４０1に設けられている。溝５２は、図１７に示すように、底面５２Ａを備えている。底面５２Ａは、幅がＬ１である長方形であり、基部の上面４０1に沿って長くなっている。底面５２Ａの一方の端には、この底面５２Ａと直交するように、側面５２Ｂが形成されている。側面５２Ｂの上端が上面４０1と直角に交差し、側面５２Ｂの幅が溝５２の深さになっている。底面５２Ａの他方の端には、斜面５２Ｃが形成されている。斜面５２Ｃは、上面４０1に対して角度がθ４になるように、傾斜している。斜面５２Ｃの上端は、上面４０1と交差している。このように、溝５２は、角度θ４で傾斜した斜面５２Ｃを持ち、開口の最大が幅Ｌ２である台形をしている。
【００８３】
供給穴５３は、基部４０に空けられた丸穴であり、底面５２Ａが斜面５２Ｃと交差する部分に一定間隔で設けられている。供給穴５３には、供給系（図示を省略）から気体が供給される。
【００８４】
遮蔽板５１は、溝５２内に置かれるものである。遮蔽板５１は、図１８に示すように、断面形状が台形をした板である。つまり、遮蔽板５１の側面５１Ａが溝５２の側面５２Ｂと同じ形状をしている。遮蔽板５１が溝５２に置かれたとき、側面５１Ａが側面５２Ｂに接触する。遮蔽板５１の上面５１Ｂおよび下面５１Ｃの一方の端が、側面５１Ａの上下の両端になっている。そして、上面５１Ｂおよび下面５１Ｃは、側面５１Ａに対して直角になっている。上面５１Ｂの幅が遮蔽板５１の幅Ｌ２より所定長だけ短く、同じく、下面５１Ｃの幅が遮蔽板５１の幅Ｌ１より所定長だけ短くなっている。遮蔽板５１が溝５２に置かれたとき、下面５１Ｃが溝５２の底面５２Ａに接触する。
【００８５】
上面５１Ｂおよび下面５１Ｃの他方の端間に形成される面が、斜面５１Ｄである。斜面５１Ｄは、溝５２の斜面５２Ｃと同じ形状をしている。上面５１Ｂの幅が幅Ｌ２より所定長だけ短く、下面５１Ｃの幅が幅Ｌ１より所定長だけ短くなっているので、遮蔽板５１が溝５２に置かれたとき、斜面５１Ｄが溝５２の斜面５２Ｃから離れる。このとき、斜面５１Ｄは、斜面５２Ｃと向かい合うように、かつ、斜面５２Ｃに対して一定の間隔を保つ。この結果、気体を噴出する角度がθ４である噴出スリット５０Ａが形成される。
【００８６】
遮蔽板５１の斜面５１Ｄには、スペーサ５１Ｅが設けられている。スペーサ５１Ｅの厚さは、斜面５１Ｄと斜面５２Ｃとの距離に等しい。また、スペーサ５１Ｅは、図１９に示すように、供給穴５３を覆わないように、かつ、気体の流れを良好に保つために等間隔で斜面５１Ｄに配置されている。スペーサ５１Ｅによって、遮蔽板５１が溝５２に置かれたときに、側面５１Ａが側面５２Ｂに密着する。つまり、スペーサ５１Ｅによって、遮蔽板５１を溝５２に置くだけで、位置決め等を不要にして、確実に噴出スリット５０Ａを形成することができる。
【００８７】
こうして形成された噴出スリット５０Ａは、実施の形態６と同じように、浮上用と調芯用とに用いることができる。このとき、浮上用と調芯用とでは、角度θ４を変えればよい。
【００８８】
また、噴出スリット５０Ａを形成する場合、カッター等を用いて基部４０の上面４０1に対する加工が不要になる。この結果、噴出スリット５０Ａの形成を簡単化することができ、かつ、角度θ４の設定を簡単にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
以上、説明したように、本発明は、板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部と、前記搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を前記搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる第１噴出手段と、前記第１噴出手段によって浮上した板状基体を前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴出する第２噴出手段とを備えたことを特徴とする。
【００９０】
これによって、第２噴出手段がガイド用および調芯専用として設けられているので、板状基体が重くなっても、気体の噴出による調芯のための強い力を板状基体に加えることができる。これによって、板状基体の蛇行を防いで、板状基体を基部の中心位置に迅速に移動させることができ、板状基体の非接触による搬送を可能にする。
【００９１】
本発明では、前記第２噴出手段は、前記搬送面上の両側に沿って配置されている２つの側方噴出部と、これらの２つの側方噴出部に気体を供給する供給系とを備え、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に気体を噴出する噴出孔を多数具備したことを特徴とする。また、本発明では、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に移動可能であることを特徴とする。
【００９２】
これによって、各側方噴出部として例えば管状のものを用いると、各側方噴出部を簡単な材料を用いて形成することができる。さらに、各側方噴出部を移動可能にすることによって、幅の異なる板状基体に対応することができる。
【００９３】
本発明では、前記第２噴出手段は、前記搬送面の中心を挟むように前記搬送面に配置されると共に前記搬送面の中心方向に気体を噴出する２つの面側噴出部と、これらの面側噴出部に気体を供給する供給系とを備えたことを特徴とする。また、本発明では、前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出孔列を具備し、前記噴出孔列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出孔列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる多数の噴出孔を具備したことを特徴とする。
【００９４】
これによって、第２噴出手段が搬送面に設けられているので、気体を噴出するための機構を搬送面上に設けることを不要にすることができる。また、ガラス板の幅に応じて第２噴出手段が自動的に選択されるから、任意の幅のガラス板の混載搬送を可能にする。この結果、装置が簡単になるので、装置の信頼性を向上させることができる。
【００９５】
本発明では、前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出スリット列を具備し、前記噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる複数の噴出スリットを具備したことを特徴とする。
【００９６】
これによって、１つの噴出スリットが複数の噴出孔に対応するので、第２噴出手段の形成を簡単化することができる。
【符号の説明】
【００９７】
１，１０，２１，３０，４０，１１０ 基部
１1，１０1，３０Ｂ，４０1，１１２，５１Ｂ， 上面
１2 中心
１Ａ1〜１Ｈ1，１Ａ2〜１Ｈ2 設定ライン
２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2，１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2，
２１Ａ1〜２１Ａ6，３１Ａ1〜３１Ａ6 浮上用噴出部分
２Ｄ1，２Ｄ2，１１Ｄ1，１１Ｄ2，２１Ｂ1，２１Ｂ2，３１Ｂ1，
３１Ｂ2 第１移動用噴出部分
２Ｅ1，２Ｅ2，１１Ｅ1，１１Ｅ2，２１Ｃ1，２１Ｃ2，３１Ｃ1，
３１Ｃ2 第２移動用噴出部分
２Ｆ1〜２Ｈ1，２Ｆ2〜２Ｈ2 調芯用噴出部分
２Ａ11〜２Ｈ11，２Ａ21〜２Ｈ21，１１Ａ11〜１１Ｅ11，
１１Ａ21〜１１Ｅ21，２１Ａ11〜２１Ａ61，２１Ｂ11，２１Ｃ11，
２３Ｃ2，４５11〜４５41，１１３，１１５ 噴出孔
２Ａ12〜２Ｈ12，２Ａ22〜２Ｈ22，１１Ａ12〜１１Ｅ12，
１１Ａ22〜１１Ｅ22，２１Ａ12〜２１Ａ62，２１Ｂ12，２１Ｂ22，
２１Ｃ12，２１Ｃ22，１１４，１１６，４１12〜４１n2，
４２12〜４２n2，４３12〜４３n2，４４12〜４４n2 補助穴
２２，１２０，３０Ａ 囲い材
２２Ａ 貫通穴
２３，２４ 調芯部
２３Ｃ1 正面
２３Ａ，２４Ａ 駆動装置
２３Ｂ，２４Ｂ 伸縮装置
２３Ｃ，２４Ｃ，２５，３４，３５ 噴出装置
２３Ｃ1 正面
２５Ａ 上部
２５Ｂ 下部
２５Ｂ1 開口
２５Ｂ2 切り欠き
３２，３３ 供給装置
４１1〜４１n 調芯用スリット列
４１11〜４１n1，４２11〜４２n1，４３11〜４３n1，４４11〜４４n1，
５０Ａ 噴出スリット
４２1〜４２n 調芯用スリット列
４３1〜４３n，４４1〜４４n 浮上用スリット列
４５1，４５2 第１移動用噴出孔列
４５3，４５4 第２移動用噴出孔列
５０ 噴出スリット構造
５１ 遮蔽板
５１Ａ 側面
５１Ｃ 下面
５１Ｄ 斜面
５１Ｅ スペーサ
５２ 溝
５２Ａ 底面
５２Ｂ 側面
５２Ｃ 斜面
５３ 供給穴
１３０ 加工板
１００ 移送ユニット
１１１ 供給系
１１２Ａ 中心
１１３Ａ，１１５Ａ 噴出方向
１４０ 封止板
２００ 制御ユニット
３００ ガラス板
３１０ 移動方向
３１１ 転換方向
Ｌ１，Ｌ２ 幅
Ｗ11，Ｗ21 調芯力
Ｗ12，Ｗ22 浮上力
θ１，θ２ 噴出方向
θ３，θ４ 角度
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浮上搬送装置に係わり、より詳細には、板状基体としてウエハやガラス板などを搬送するときに、板状基体を浮上させる浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状基体を浮上させ、この状態で板状基体を搬送するシステムとして、例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板を搬送するものがある。この搬送システムを図２０に示す。この搬送システムは、移送ユニット１００と制御ユニット２００との組み合わせで構成されたものである。移送ユニット１００は、四角形状のガラス板３００を浮上させて移動方向３１０に移動させる。制御ユニット２００は、ガラス板３００を浮上させた状態で停止、静止させると共に、転換方向３１１に方向転換させる。さらに、搬送システムは、図示を省略しているが、ガラス板３００に対して各種の処理を行う処理ユニットを備えている。
【０００３】
移送ユニット１００は、ガラス板３００を直線的に移動させるために、通常、連結されて用いられる。この移送ユニット１００の一例を図２１に示す。移送ユニット１００は、基部１１０と囲い材１２０とを備えている。基部１１０には、ガラス板３００を浮上させるための気体、例えば、ガラス板３００に影響を与えない窒素ガス、アルゴンガス、乾燥空気やその他のガスを供給する供給系１１１が配管されている。
【０００４】
囲い材１２０が覆う、基部１１０の上面１１２が搬送路の搬送面であり、上面１１２には、複数の噴出孔１１３が空けられている。図２２に示すように、噴出孔１１３が上面１１２に対して傾斜して設けられ、噴出孔１１３の傾斜方向がガラス板３００の移動方向３１０の中心１１２Ａに向かって傾斜している。中心１１２Ａは、上面１１２の中心でもある。
【０００５】
また、噴出孔１１３とは別に、図２３に示すように、推進用の噴出孔１１５が、ガラス板３００の移動方向３１０と平行に並んで、かつ、上面１１２に対して傾斜して空けられている。
【０００６】
噴出孔１１３，１１５は、上面１１２から補助穴１１４，１１６に至る間に空けられている。補助穴１１４，１１６は、供給系１１１にそれぞれ通じている。補助穴１１４，１１６は、噴出孔１１３，１１５の径が小さいので、噴出孔１１３，１１５の形成に際して前もって基部１１０に空けられる、径の大きな予備的な穴である。
【０００７】
供給系１１１から供給される気体が、補助穴１１４，１１６を経て、噴出孔１１３，１１５から噴出する。噴出孔１１３，１１５からの気体の噴出方向は、上面１１２に対して斜め上方に傾斜している。かつ、移動方向３１０に対して、噴出孔１１３からの気体が直角になり、噴出孔１１５からの気体が平行になっている。このような気体の噴出が、図２４の噴出方向１１３Ａ，１１５Ａによって、平面的に表されている。
【０００８】
こうして、各噴出孔１１３，１１５から噴出方向１１３Ａ，１１５Ａに噴出された気体によって、ガラス板３００が浮上して移動方向３１０に動くと同時に、ガラス板３００の中心が上面１１２の中心１１２Ａに沿って移動するので、ガラス板３００の側面が囲い材１２０の側壁に接触することがない。つまり、各噴出孔１１３による調芯作用によって、ガラス板３００の中心が上面１１２の中心１１２Ａに移動する。ガラス板３００に対する調芯によって、ガラス板３００が囲い材１２０に対して非接触の状態で移動される。
【０００９】
制御ユニット２００は、移送ユニット１００から送られてくるガラス板３００を受け取り、このガラス板３００の停止、静止および移動方向の変更や、ガラス板３００自身の回転等を行う。制御ユニット２００は、ガラス板３００に対する停止、静止等の制御を気体の噴出によって行う。
【００１０】
このような移送ユニット１００および制御ユニット２００で構成される搬送システムと、各種の処理ユニットとを組み合わせることによって、ガラス板３００の処理システムが構築される。この搬送システムの一例が特願平３−３２８０５２号公報に示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、従来の浮上搬送装置には、以下の問題点があった。つまり、移送ユニットの噴出孔１１３は、ガラス板３００の浮上とガラス板３００に対する調芯との両方を、気体の噴出で行っている。このために、ガラス板３００が重くなると、ガラス板３００に対して噴出孔１１３による調芯作用が弱くなってくる。この結果、ガラス板３００が蛇行して、移動時間が増加したり、また、ガラス板３００が囲い材１２０に衝突するという課題が発生する。
【００１２】
本発明は、このような課題を解決し、板状基体の形状や重量の影響を除き、板状基体に対して迅速な調芯をすることができる浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１に記載の本発明は、板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部と、前記搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を前記搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる第１噴出手段と、前記第１噴出手段によって浮上した板状基体を前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴出する第２噴出手段とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
この構成によって、基部の上面に送られて来た板状基体が第１噴出手段からの気体で浮上する。同時に、板状基体は、第２噴出手段からの気体によって、基部の上面の中心方向に迅速に移動される。これによって、板状基体は、蛇行して基部の上面からはみ出すことなく、この上面の上を直線的に移動する。
【００１５】
請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の浮上搬送装置において、前記第２噴出手段は、前記搬送面上の両側に沿って配置されている２つの側方噴出部と、これらの２つの側方噴出部に気体を供給する供給系とを備え、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に気体を噴出する噴出孔を多数具備したことを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の本発明は、請求項２に記載の浮上搬送装置において、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に移動可能であることを特徴とする。
【００１７】
請求項４に記載の本発明は、請求項１に記載の浮上搬送装置において、前記第２噴出手段は、前記搬送面の中心を挟むように前記搬送面に配置されると共に前記搬送面の中心方向に気体を噴出する２つの面側噴出部と、これらの面側噴出部に気体を供給する供給系とを備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項５に記載の本発明は、請求項４に記載の浮上搬送装置において、前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出孔列を具備し、前記噴出孔列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出孔列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる多数の噴出孔を具備したことを特徴とする。
【００１９】
請求項６に記載の本発明は、請求項４に記載の浮上搬送装置において、前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出スリット列を具備し、前記噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる複数の噴出スリットを具備したことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施の形態１に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。
【図２】図１のＩ―Ｉ断面を示す断面図である。
【図３】図１のＩＩ―ＩＩ断面を示す断面図である。
【図４】気体の噴出の様子を説明するための説明図である。
【図５】噴出された気体による調芯の様子を説明するための説明図である。
【図６】実施の形態２に係わる浮上搬送装置の基部を示す断面図である。
【図７】実施の形態３に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。
【図８】図７のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。
【図９】実施の形態３に係わる噴出装置を示す斜視図である。
【図１０】実施の形態４に係わる噴出装置を示す斜視図である。
【図１１】実施の形態５に係わる基部の断面を示す断面図である。
【図１２】実施の形態６に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。
【図１３】図１２のＩＶ―ＩＶ断面を示す断面図である。
【図１４】図１２のスリットの部分を示す斜視図である。
【図１５】実施の形態７に用いられている噴出スリット構造を示す平面図である。
【図１６】図１５のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。
【図１７】図１６の溝を示す斜視図である。
【図１８】図１６の遮蔽板の断面を示す断面図である。
【図１９】図１６の遮蔽板の底面を示す底面図である。
【図２０】従来の板状基体搬送システムを示す平面図である。
【図２１】従来の移送ユニットを示す斜視図である。
【図２２】図２１のＸＩ−ＸＩ断面を示す断面図である。
【図２３】図２１のＸＩＩ−ＸＩＩ断面を示す断面図である。
【図２４】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
［実施の形態１］
次に、図１〜５を参照して、本発明の実施の形態１について述ベる。図１は、実施の形態１に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。図２は、図１のＩ―Ｉ断面を示す断面図である。図３は、図１のＩＩ―ＩＩ断面を示す断面図である。図４は、気体の噴出の様子を説明するための説明図である。図５は、噴出された気体による調芯の様子を説明するための説明図である。
【００２２】
実施の形態１では、図２１の基部１１０の代わりに、図１に示される基部１が用いられている。基部１は、移動方向３１０に対して長い長方形をしている。かつ、基部１は、上面１1が平らな板状体である。
【００２３】
基部１の上面１1の端部付近には、設定ライン１Ａ1，１Ａ2が設定されている。さらに、設定ライン１Ａ1，１Ａ2の内側には、設定ライン１Ｂ1，１Ｂ2が設定され、その内側には、設定ライン１Ｃ1，１Ｃ2が設定されている。
【００２４】
設定ライン１Ａ1〜１Ｃ1，１Ａ2〜１Ｃ2は、浮上用噴出孔を配置するためのものである。つまり、設定ライン１Ａ1，１Ａ2には、図２に示すように、多数の噴出孔２Ａ11，２Ａ21と多数の補助穴２Ａ12，２Ａ22とが設けられ、設定ライン１Ｂ1，１Ｂ2には、多数の噴出孔２Ｂ11，２Ｂ21と多数の補助穴２Ｂ12，２Ｂ22とがそれぞれ設けられている。さらに、設定ライン１Ｃ1，１Ｃ2には、多数の噴出孔２Ｃ11，２Ｃ21と多数の補助穴２Ｃ12，２Ｃ22とが設けられている。
【００２５】
噴出孔２Ａ11〜２Ｃ11，２Ａ21〜２Ｃ21および補助穴２Ａ12〜２Ｃ12，２Ａ22〜２Ｃ22は、図２２の噴出孔１１３および補助穴１１４とそれぞれ同じである。そして、噴出孔２Ａ11と補助穴２Ａ12、噴出孔２Ｂ11と補助穴２Ｂ12、噴出孔２Ｃ11と補助穴２Ｃ12、噴出孔２Ａ21と補助穴２Ａ22、噴出孔２Ｂ21と補助穴２Ｂ22および噴出孔２Ｃ21と補助穴２Ｃ22が、浮上用噴出部分２Ａ1，２Ｂ1，２Ｃ1，２Ａ2，２Ｂ2，２Ｃ2をそれぞれ構成する。さらに、すべての噴出孔２Ａ11，２Ｂ11，２Ｃ11，２Ａ21，２Ｂ21，２Ｃ21が、浮上用噴出孔列をそれぞれ形成する。
【００２６】
設定ライン１Ｃ1と設定ライン１Ｃ2との間には、設定ライン１Ｄ1，１Ｄ2，１Ｅ1，１Ｅ2がそれぞれ設定されている。設定ライン１Ｄ1，１Ｄ2，１Ｅ1，１Ｅ2は、移動用噴出孔を配置するためのものである。つまり、設定ライン１Ｄ1，１Ｄ2には、多数の噴出孔２Ｄ11，２Ｄ21と多数の補助穴２Ｄ12，２Ｄ22とが設けられている。設定ライン１Ｅ1，１Ｅ2には、多数の噴出孔２Ｅ11，２Ｅ21と多数の補助穴２Ｅ12，２Ｅ22とが設けられている。
【００２７】
各噴出孔２Ｅ11，２Ｅ21および各補助穴２Ｅ12，２Ｅ22は、図２３の噴出孔１１５および補助穴１１６とそれぞれ同じであり、ガラス板を移動方向３１０に送る。各噴出孔２Ｄ11，２Ｄ21および各補助穴２Ｄ12，２Ｄ22は、ガラス板を移動方向３１０と反対方向に送る。そして、噴出孔２Ｄ11と補助穴２Ｄ12、噴出孔２Ｄ21と補助穴２Ｄ22が第１移動用噴出部分２Ｄ1，２Ｄ2をそれぞれ形成し、噴出孔２Ｅ11と補助穴２Ｅ12、噴出孔２Ｅ21と補助穴２Ｅ22が第２移動用噴出部分２Ｅ1，２Ｅ2をそれぞれ形成する。
【００２８】
基部１の上面１1の一方の端部と設定ライン１Ａ1との間、および、上面１1の他方の端部と設定ライン１Ａ2との間には、設定ライン１Ｆ1，１Ｆ2がそれぞれ設定されている。設定ライン１Ａ1，１Ｂ1，１Ｃ1の各間には、設定ライン１Ｇ1，１Ｈ1がそれぞれ設定され、設定ライン１Ａ2，１Ｂ2，１Ｃ2の各間には、設定ライン１Ｇ2，１Ｈ2がそれぞれ設定されている。つまり、設定ライン１Ａ1，１Ｂ1，１Ｃ1と設定ライン１Ｆ1，１Ｇ1，１Ｈ1とが交互に配置され、同様に、設定ライン１Ａ2，１Ｂ2，１Ｃ2と設定ライン１Ｆ2，１Ｇ2，１Ｈ2とが交互に配置されている。この結果、設定ライン１Ｆ1，１Ｇ1，１Ｈ1が一定間隔で配置され、同じく、設定ライン１Ｆ2，１Ｇ2，１Ｈ2が一定間隔で配置されることになる。
【００２９】
設定ライン１Ｆ1，１Ｆ2には、図３に示すように、多数の噴出孔２Ｆ11，２Ｆ21と多数の補助穴２Ｆ12，２Ｆ22とが設けられている。各噴出孔２Ｆ11，２Ｆ21が、基部１の上面１1に対して上方向に、かつ、上面１1の中心１2に向けて気体を噴出する。
【００３０】
設定ライン１Ｆ1に位置する噴出孔２Ｆ11と補助穴２Ｆ12とが、ガラス板３００の調芯をするための調芯用噴出部分２Ｆ1を構成する。図４に示すように、調芯用噴出部分２Ｆ1の噴出孔２Ｆ11が、ガラス板３００の側壁３０１に向けて、噴出方向θ１で気体を噴出する。このときの気体の噴出方向θ１は、浮上用噴出部分２Ａ1の噴出孔２Ａ11が噴出する気体の噴出方向がθ２であるとき、次のように設定されている。なお、噴出方向θ１，θ２は、上面１1を基準にした角度である。
【００３１】
０（ゼロ）＜噴出方向θ１＜噴出方向θ２
噴出方向θ１，θ２のこのような設定によって、気体の噴出で発生する力がガラス板３００に働く。つまり、噴出方向θ１に噴出された気体によって、ガラス板３００が受ける力Ｗ1は、上面１1と平行な力である調芯力Ｗ11と、上面１1に対して直角な力である浮上力Ｗ12とに分けられる。同じく、噴出方向θ２に噴出された気体によって、ガラス板３００が受ける力Ｗ2は、調芯力Ｗ21と浮上力Ｗ22とに分けられる。
【００３２】
噴出方向θ１が噴出方向θ２に比べて小さいので、推進力と浮上力との関係が次のようになる。
【００３３】
調芯力Ｗ21＜調芯力Ｗ11
浮上力Ｗ22＞浮上力Ｗ12
これによって、浮上用噴出部分２Ａ1の調芯力Ｗ21に比べて、調芯用噴出部分２Ｆ1の調芯力Ｗ11が大きくなるので、主に、噴出方向θ１の気体によって、ガラス板３００が上面1の中心１2に移動する。
【００３４】
設定ライン１Ｆ1と同じようにして、設定ライン１Ｆ2には、多数の噴出孔２Ｆ21と多数の補助穴２Ｆ22とが設けられている。噴出孔２Ｆ21と補助穴２Ｆ22とが調芯用噴出部分２Ｆ2を構成する。調芯用噴出部分２Ｆ2が噴出する気体の噴出方向が、調芯用噴出部分２Ｆ1からの気体の噴出方向と向かい合うように、調芯用噴出部分２Ｆ2の噴出孔21と調芯用噴出部分２Ｆ1の噴出孔２Ｆ11とが配列されている。これによって、調芯用噴出部分２Ｆ2は、調芯用噴出部分２Ｆ1と対になって、ガラス板に対する調芯を行う。
【００３５】
設定ライン１Ｇ1，１Ｇ2には、多数の噴出孔２Ｇ11，２Ｇ21と多数の補助穴２Ｇ12，２Ｇ22とが設けられている。噴出孔２Ｇ11と補助穴２Ｇ12とが調芯用噴出部分２Ｇ1を構成し、噴出孔２Ｇ21と補助穴２Ｇ22とが調芯用噴出部分２Ｇ2を構成する。調芯用噴出部分２Ｇ1，２Ｇ1は、調芯噴出部分２Ｆ1，２Ｆ2と同じであり、各噴出孔２Ｇ11，２Ｇ21が上面１1の中心１2に向けて、噴出方向θ１に気体をそれぞれ噴出する。
【００３６】
設定ライン１Ｈ1，１Ｈ2には、多数の噴出孔２Ｈ11，２Ｈ21と多数の補助穴２Ｈ12，２Ｈ22とが設けられている。噴出孔２Ｈ11と補助穴２Ｈ12とが調芯用噴出部分２Ｈ1を構成し、噴出孔２Ｈ21と補助穴２Ｈ22とが調芯用噴出部分２Ｈ2を構成する。調芯用噴出部分２Ｈ1，２Ｈ1は、調芯噴出部分２Ｆ1，２Ｆ2と同じであり、各噴出孔２Ｈ11，２Ｈ21が上面１1の中心１2に向けて、噴出方向θ１に気体をそれぞれ噴出する。
【００３７】
設定ライン１Ｆ1上の噴出孔２Ｆ11と設定ライン１Ｇ1上の噴出孔２Ｇ11と設定ライン１Ｈ1上の噴出孔２Ｈ11とが第１の面側噴出部を形成し、また、設定ライン１Ｆ2上の噴出孔２Ｆ21と設定ライン１Ｇ2上の噴出孔２Ｇ21と設定ライン１Ｈ2上の噴出孔２Ｈ21とが第２の面側噴出部を形成する。さらに、第１と第２の面側噴出部と供給系（図示を省略）とが第２噴出手段を構成する。
【００３８】
次に、この実施の形態１の動作について説明する。
【００３９】
基部１に送り込まれたガラス板３００は、浮上用噴出部分２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2から噴出される気体で浮上する。また、ガラス板３００は、第１移動用噴出部分２Ｄ1，２Ｄ2から噴出される気体で移動方向３１０に送られる。
【００４０】
同時に、ガラス板３００の側壁３０１には、このガラス板３００の幅に応じた調芯用噴出部分、例えば図５に示すように、調芯用噴出部分２Ｆ1，２Ｆ2からの気体が噴出される。噴出される気体によって、ガラス板３００が中心１2に移動し、ガラス板３００に対する調芯が行われる。
【００４１】
このように、実施の形態１によれば、浮上用噴出部分２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2、第１移動用噴出部分２Ｄ1，２Ｄ2、第２移動用噴出部分２Ｅ1，２Ｅ2とは別に、調芯用噴出部分２Ｆ1〜２Ｈ1，２Ｆ2〜２Ｈ2が設けられている。そして、調芯用噴出部分２Ｆ1〜２Ｈ1，２Ｆ2〜２Ｈ2が噴出する気体によって、ガラス板３００に対する調芯が行われるので、ガラス板３００が重くなっても、調芯用に強く噴出される気体によって、ガラス板３００に対する調芯を行うことができる。
【００４２】
また、調芯用噴出部分２Ｆ1〜２Ｈ1と調芯用噴出部分２Ｆ2〜２Ｈ2とが、上面１1の中心１2に向かって順に並んでいる。この結果、ガラス板の幅に応じて調芯用噴出部分２Ｆ1〜２Ｈ1と調芯用噴出部分２Ｆ2〜２Ｈ2との中から、最適な調芯用噴出部分を選択すれば、任意の幅のガラス板に対する調芯を行うことができる。つまり、ガラス板の搬送の後、このガラス板と幅が異なるガラス板の搬送（以下、ガラス板の混載搬送という）を可能にする。
【００４３】
[実施の形態２]
次に、図６を参照して、本発明の実施の形態２について述ベる。図６は、実施の形態２に係わる浮上搬送装置の基部を示す断面図である。
【００４４】
実施の形態２では、実施の形態１で用いられた浮上用噴出部分２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2の代わりに、図６に示す浮上用噴出部分１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2が用いられている。つまり、実施の形態２の浮上用噴出部分１１Ａ1，１１Ａ2は、多数の噴出孔１１Ａ11，１１Ａ21と多数の補助穴１１Ａ12，１１Ａ22とを備えている。各補助穴１１Ａ12，１１Ａ22は、実施の形態１の補助穴２Ａ12，２Ａ22とそれぞれ同じである。
【００４５】
各噴出孔１１Ａ11，１１Ａ21は、実施の形態１の噴出孔２Ａ11，２Ａ21と異なり、基部１０の上面１０1に対して直角方向に気体を噴出する。つまり、実施の形態２では、図５の噴出方向θ２が９０度であり、各噴出孔１１Ａ11，１１Ａ21は、ガラス板の浮上専用として用いられている。
【００４６】
浮上用噴出部分１１Ｂ1，１１Ｃ1は、多数の噴出孔１１Ｂ11，１１Ｃ11と多数の補助穴１１Ｂ12，１１Ｃ12とを備え、浮上用噴出部分１１Ｂ2，１１Ｃ2は、多数の噴出孔１１Ｂ21，１１Ｃ21と多数の補助穴１１Ｂ22，１１Ｃ22とを備えている。
【００４７】
噴出孔１１Ｂ11，１１Ｃ11および補助穴１１Ｂ12，１１Ｃ12は、噴出孔１１Ａ11および補助穴１１Ａ12とそれぞれ同じであり、噴出孔１１Ｂ21，１１Ｃ21および補助穴１１Ｂ22，１１Ｃ22は、噴出孔１１Ａ21および補助穴１１Ａ22とそれぞれ同じである。
【００４８】
また、実施の形態２では、実施の形態１と同じ第１移動用噴出部分１１Ｄ1，１１Ｄ2と第２移動用噴出部分１１Ｅ1，１１Ｅ2とを備えている。
【００４９】
さらに、実施の形態２では、図示を省略しているが、実施の形態１と同じ調芯用噴出部分を備えている。
【００５０】
こうして、実施の形態２によって、浮上用噴出部分１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2が基部１０の上面１０1に対して直角方向に気体を噴出するので、ガラス板が重くなっても、浮上用噴出部分１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2と調芯用噴出部分とによって、上面１０1の中心に沿ってガラス板を浮上させて、移動させることができる。
【００５１】
また、浮上用噴出部分１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2が基部１０の上面１０1に対して直角方向に気体を噴出するので、図４の噴出方向θ１を、
０＜θ１＜９０
のように、広範囲に設定することができる。
【００５２】
[実施の形態３］
次に、図７〜９を参照して、本発明の実施の形態３について述ベる。図７は、実施の形態３に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。図８は、図７のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。図９は、実施の形態３に係わる噴出装置を示す斜視図である。
【００５３】
実施の形態３による浮上搬送装置は、浮上によって板状基体を搬送する搬送システムの中の移送ユニットであり、基部２１、囲い材２２および側方噴出部として調芯部２３，２４を備えている。
【００５４】
囲い材２２は、図２１の囲い材１２０と同じである。基部２１は、噴出孔２１Ａ11〜２１Ａ61と補助穴２１Ａ12〜２１Ａ62とをそれぞれ備えている浮上用噴出部分２１Ａ1〜２１Ａ6、噴出孔２１Ｂ11，２１Ｂ12と補助穴２１Ｂ12，２１Ｂ22とをそれぞれ備えている第１移動用噴出部分２１Ｂ1，２１Ｂ2、および、噴出孔２１Ｃ11，２１Ｃ12と補助穴２１Ｃ12，２１Ｃ22とをそれぞれ備えている第２移動用噴出部分２１Ｃ1，２１Ｃ2を備えている。
【００５５】
浮上用噴出部分２１Ａ1〜２１Ａ3，２１Ａ4〜２１Ａ6は、実施の形態１の浮上用噴出部分２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2とそれぞれ同じであり、第１移動用噴出部分２１Ｂ1，２１Ｂ2は、実施の形態１の第１移動用噴出部分２Ｄ1，２Ｄ2と同じである。また、第２移動用噴出部分２１Ｃ1，２１Ｃ2は、実施の形態１の第２移動用噴出部分２Ｅ1，２Ｅ2と同じである。
【００５６】
調芯部２３，２４は、駆動装置２３Ａ，２４Ａ、４つの伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂおよび４つの噴出装置２３Ｃ，２４Ｃをそれぞれ備えている。
【００５７】
伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂは、囲い材２２に空けられた貫通穴２２Ａを通り、４つの噴出装置２３Ｃ，２４Ｃを駆動装置２３Ａ，２４Ａにそれぞれ接続する。伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂは、移動方向３１０と直角な方向に、かつ、基部２１の中心に向かって、駆動装置２３Ａ，２４Ａの制御でそれぞれ伸縮する。また、伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂは、駆動装置２３Ａ，２４Ａからの気体を噴出装置２３Ｃ，２４Ｃにそれぞれ送る。
【００５８】
駆動装置２３Ａ，２４Ａは、４つの伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂをそれぞれ駆動する。つまり、駆動装置２３Ａ，２４Ａは、送られてくるガラス板３００の幅に応じて、４つの伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂを基部２１の中心に向かってそれぞれ伸縮させる。これによって、駆動装置２３Ａ，２４Ａは、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃをガラス板３００の側壁付近に位置するようにする。同時に、駆動装置２３Ａ，２４Ａは、伸縮装置２３Ｂ，２４Ｂを経て、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃにそれぞれ気体を送る。
【００５９】
噴出装置２３Ｃは、図９に示すように、直方体の形状であり、ガラス板３００の送り方向に長くなっている。噴出装置２３Ｃの内部が中空である。噴出装置２３Ｃの正面２３Ｃ1、つまり、噴出装置２４Ｃと向かい合う面には、複数の噴出孔２３Ｃ2が空けられている。噴出孔２３Ｃ2は、浮上したガラス板３００の側面の下部に位置するように、正面２３Ｃ1に空けられている。かつ、噴出孔２３Ｃ2は、噴出装置２３Ｃの長手方向に一列に並んで空けられている。これによって、噴出孔２３Ｃ2は、基部２１の上面に対して水平方向に、つまり、この上面に対して傾斜角度０（ゼロ）で気体を噴出する。各噴出装置２４Ｃは、噴出装置２３Ｃとそれぞれ同じであるので、説明を省略する。
【００６０】
４つの噴出装置２３Ｃ，２４Ｃは、駆動装置２３Ａ，２４Ａから送られてくる気体を、基部２１の中心に向けて噴出孔２３Ｃ2からそれぞれ噴出する。このとき、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃは、ガラス板３００の側面の下部に気体を噴出する。この結果、実施の形態３によって、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃは、ガラス板３００の中心が基部２１の中心に位置するように、ガラス板３００を気体の噴出で動かすことができる。
【００６１】
また、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃは、浮上したガラス板３００の下部の側面に気体を噴出するので、ガラス板３００の厚さが異なっても、ガラス板３００を基部２１の中心に動かすことができる。
【００６２】
さらに、ガラス板３００の側面近くから傾斜角度０（ゼロ）で気体が噴出されるので、ガラス板３００に作用する調芯用の力を大きくすることができる。この結果、ガラス板３００の中心を短時間で基部２１の中心に移動させることができる。
【００６３】
［実施の形態４］
次に、図１０を参照して、本発明の実施の形態４について述ベる。図１０は、実施の形態４の噴出装置を示す斜視図である。
【００６４】
実施の形態４では、実施の形態３の噴出装置２３Ｃ，２４Ｃの代わりに、図１０に示す噴出装置２５が用いられている。噴出装置２５は、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃを分割型にしたものである。つまり、噴出装置２５は、上部２５Ａと下部２５Ｂとで構成されている。上部２５Ａと下部２５Ｂとは、同じ箱型の形状をしている。下部２５Ｂの開口２５Ｂ1には、四角形状の複数の切り欠き２５Ｂ2が設けられている。下部２５Ｂの開口２５Ｂ1に上部２５Ａの開口が覆うように、上部２５Ａが下部２５Ｂに取り付け可能である。上部２５Ａが下部２５Ｂに取り付けられたとき、切り欠き２５Ｂ2が噴出孔になる。
【００６５】
実施の形態４によって、噴出装置２５の内部に塵等が付着して、気体の流れが悪くなったとき、上部２５Ａと下部２５Ｂとを分離して、噴出装置２５の内部を簡単に清掃することを可能にする。つまり、実施の形態４によって、噴出装置２５に対する日常の保守点検が簡単化することを可能にする。
【００６６】
［実施の形態５］
次に、図１１を参照して、本発明の実施の形態５について述ベる。図１１は、実施の形態５に係わる基部の断面を示す断面図である。
【００６７】
実施の形態５では、次の点が実施の形態３と異なる。つまり、実施の形態３では、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃに対する気体供給が駆動装置２３Ａ，２４Ａで行われていた。実施の形態５では、基部３０から気体供給が行われている。実施の形態５の基部３０は、実施の形態３と同じように、浮上噴出部分３１Ａ1〜３１Ａ6、第１移動用噴出部分３１Ｂ1，３１Ｂ2および第２移動用噴出部分３１Ｃ1，３１Ｃ2を内部に備えている。
【００６８】
また、実施の形態５の基部３０は、供給装置３２，３３を内部に備えている。供給装置３２，３３は、基部３０の上面３０ｂに沿うように、かつ、基部３０の両側に設けられている。供給装置３２，３３は、供給系（図示を省略）から気体の供給を受ける。そして、供給装置３２，３３は、供給された気体を上方に向けて流す。
【００６９】
さらに、基部３０の上面３０Ｂに、かつ、供給装置３２，３３の上端に、噴出装置３４，３５が置かれている。噴出装置３４，３５は、噴出装置２３Ｃ，２４Ｃと同じように、内部が中空の直方体である。噴出装置３４，３５が互いに向かい合う面である正面には、複数の噴出孔が噴出装置２３Ｃ，２４Ｃと同じように設けられている。このような噴出装置３４，３５は、実施の形態３の噴出装置２３Ｃ，２４Ｃと同じように、ガラス板３００の側面の下部に向けて気体を噴出する。
【００７０】
こうして、実施の形態５によって、基部３０や囲い材３０Ａの外側に気体供給をする装置を不要にすることができる。
【００７１】
［実施の形態６］
次に、図１２〜１４を参照して、本発明の実施の形態６について述ベる。図１２は、実施の形態６に係わる浮上搬送装置の基部を示す平面図である。図１３は、図１２のＩＶ―ＩＶ断面を示す断面図である。図１４は、図１２のスリットの部分を示す斜視図である。
【００７２】
実施の形態６による浮上搬送装置は、浮上によって板状基体を搬送する搬送システムの中の移送ユニットである。実施の形態６では、実施の形態１の基部１の代わりに、図１２に示す基部４０が用いられている。基部４０の上面４０1には、調芯用スリット列４１1〜４１n，４２1〜４２n、浮上用スリット列４３1〜４３n，４４1〜４４n、多数の噴出孔４５11，４５21を具備する第１移動用噴出孔列４５1，４５2、および、多数の噴出孔４５31，４５41を具備する第２移動用噴出孔列４５2，４５4が設けられている。第１移動用噴出孔列４５1，４５2と第２移動用噴出孔列４５2，４５4とは、図１の第１移動用噴出孔列２Ｄ11，２Ｄ21と第２移動用噴出孔列２Ｅ11，２Ｅ21とそれぞれ同じであるので、これらの説明を省略する。調芯用スリット列４１1〜４１nと調芯用スリット列４２1〜４２nとが面側噴出部をそれぞれ形成し、これらの２つの面側噴出部が第２噴出手段を形成する。
【００７３】
調芯用スリット列４１1〜４１nは、上面４０1の中心に向かって等間隔に並んで設けられている。調芯用スリット列４１1〜４１nは、複数の噴出スリット４１11〜４１n1をそれぞれ備える。噴出スリット４１11は、次のように形成されている。つまり、図１４に示すように、噴出スリット４１11は、基部４０の内部の補助穴４１12に設けられている。補助穴４１12は、基部４０の長手方向に延びた中空の穴であり、供給系（図示を省略）から気体の供給を受ける。基部４０の上面４０1に向かい合う補助穴４１12の部分が、三角柱の形状をしている。補助穴４１12の三角柱の部分から基部４０の上面４０1までの間に設けられたスリットが、噴出スリット４１11である。
【００７４】
噴出スリット４１11は、上面４０1に対して、角度θ３の方向に空けられている。角度θ３は、実施の形態１の噴出方向θ１と同じである。これによって、噴出スリット４１11は、上面４０1から角度θ３つまり噴出方向θ１で、かつ、上面４０1の中心に向かって、調芯用の気体を噴出する。
【００７５】
噴出スリット４１11〜４１n1の中の他のものも、噴出スリット４１11と同様である。
【００７６】
調芯用スリット列４２1〜４２nは、調芯用スリット列４１1〜４１nと同じように、上面４０1の中心向かって等間隔に並んで設けられている。調芯用スリット列４２1〜４２nは、調芯用スリット列４１1〜４１nと同じように、複数の噴出スリット４２11〜４２n1をそれぞれ備える。そして、噴出スリット４２11は、補助穴４２12〜４２n2と上面４０1との間に設けられている。噴出スリット４２11〜４２n1は、調芯用スリット列４１1〜４１nと同じように、上面４０1から角度θ３つまり噴出方向θ１に、かつ、上面４０1の中心に向かって、調芯用の気体を噴出する。
【００７７】
これらの調芯用スリット列４１1〜４１nと調芯用スリット列４２1〜４２nとによって、搬送されるガラス板の中心を基部４０の上面４０1の中心に合うようにする。
【００７８】
浮上用スリット列４３1〜４３nは、噴出スリット４３11〜４３n1と補助穴４３12〜４３n2とをそれぞれ備える。また、浮上用スリット列４４1〜４４nは、噴出スリット４４11〜４４n1と補助穴４４12〜４４n2とをそれぞれ備える。浮上用スリット列４３1〜４３nおよび浮上用スリット列４４1〜４４nは、次の点を除いて、調芯用スリット列４１1〜４１nおよび調芯用スリット列４２1〜４２nとそれぞれ同じような構造をしている。つまり、浮上用スリット列４３1〜４３nの噴出スリット４３11〜４３n1と、浮上用スリット列４４1〜４４nの噴出スリット４４11〜４４n1とが空けられている角度が、実施の形態１の噴出方向θ２と同じである。これによって、浮上用スリット列４３1〜４３n，４４1〜４４nは、実施の形態１と同じようにガラス板を浮上させる。
【００７９】
こうして、実施の形態６によれば、浮上用と調芯用とに用いられる噴出スリットが細長形状であるので、上面４０1を斜めに切る加工だけで、噴出スリットを形成することができる。また、１つの噴出スリットが複数の噴出孔に対応するので、調芯用や浮上用の気体を噴出するための構造を、少ない工数で形成することができる。
【００８０】
［実施の形態７］
次に、図１５〜１９を参照して、本発明の実施の形態７について説明する。図１５は、実施の形態７に用いられている噴出スリット構造を示す平面図である。図１６は、図１５のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。図１７は、図１６の溝を示す斜視図である。図１８は、図１６の遮蔽板の断面を示す断面図である。図１９は、図１６の遮蔽板の底面を示す底面図である。
【００８１】
実施の形態７では、実施の形態６の噴出スリットが異なる構造をしている。つまり、図１５，１６に示すように、実施の形態７の噴出スリットを形成するための噴出スリット構造５０は、遮蔽板５１、溝５２および供給穴５３によって形成される。
【００８２】
溝５２は、基部４０の上面４０1に設けられている。溝５２は、図１７に示すように、底面５２Ａを備えている。底面５２Ａは、幅がＬ１である長方形であり、基部の上面４０1に沿って長くなっている。底面５２Ａの一方の端には、この底面５２Ａと直交するように、側面５２Ｂが形成されている。側面５２Ｂの上端が上面４０1と直角に交差し、側面５２Ｂの幅が溝５２の深さになっている。底面５２Ａの他方の端には、斜面５２Ｃが形成されている。斜面５２Ｃは、上面４０1に対して角度がθ４になるように、傾斜している。斜面５２Ｃの上端は、上面４０1と交差している。このように、溝５２は、角度θ４で傾斜した斜面５２Ｃを持ち、開口の最大が幅Ｌ２である台形をしている。
【００８３】
供給穴５３は、基部４０に空けられた丸穴であり、底面５２Ａが斜面５２Ｃと交差する部分に一定間隔で設けられている。供給穴５３には、供給系（図示を省略）から気体が供給される。
【００８４】
遮蔽板５１は、溝５２内に置かれるものである。遮蔽板５１は、図１８に示すように、断面形状が台形をした板である。つまり、遮蔽板５１の側面５１Ａが溝５２の側面５２Ｂと同じ形状をしている。遮蔽板５１が溝５２に置かれたとき、側面５１Ａが側面５２Ｂに接触する。遮蔽板５１の上面５１Ｂおよび下面５１Ｃの一方の端が、側面５１Ａの上下の両端になっている。そして、上面５１Ｂおよび下面５１Ｃは、側面５１Ａに対して直角になっている。上面５１Ｂの幅が遮蔽板５１の幅Ｌ２より所定長だけ短く、同じく、下面５１Ｃの幅が遮蔽板５１の幅Ｌ１より所定長だけ短くなっている。遮蔽板５１が溝５２に置かれたとき、下面５１Ｃが溝５２の底面５２Ａに接触する。
【００８５】
上面５１Ｂおよび下面５１Ｃの他方の端間に形成される面が、斜面５１Ｄである。斜面５１Ｄは、溝５２の斜面５２Ｃと同じ形状をしている。上面５１Ｂの幅が幅Ｌ２より所定長だけ短く、下面５１Ｃの幅が幅Ｌ１より所定長だけ短くなっているので、遮蔽板５１が溝５２に置かれたとき、斜面５１Ｄが溝５２の斜面５２Ｃから離れる。このとき、斜面５１Ｄは、斜面５２Ｃと向かい合うように、かつ、斜面５２Ｃに対して一定の間隔を保つ。この結果、気体を噴出する角度がθ４である噴出スリット５０Ａが形成される。
【００８６】
遮蔽板５１の斜面５１Ｄには、スペーサ５１Ｅが設けられている。スペーサ５１Ｅの厚さは、斜面５１Ｄと斜面５２Ｃとの距離に等しい。また、スペーサ５１Ｅは、図１９に示すように、供給穴５３を覆わないように、かつ、気体の流れを良好に保つために等間隔で斜面５１Ｄに配置されている。スペーサ５１Ｅによって、遮蔽板５１が溝５２に置かれたときに、側面５１Ａが側面５２Ｂに密着する。つまり、スペーサ５１Ｅによって、遮蔽板５１を溝５２に置くだけで、位置決め等を不要にして、確実に噴出スリット５０Ａを形成することができる。
【００８７】
こうして形成された噴出スリット５０Ａは、実施の形態６と同じように、浮上用と調芯用とに用いることができる。このとき、浮上用と調芯用とでは、角度θ４を変えればよい。
【００８８】
また、噴出スリット５０Ａを形成する場合、カッター等を用いて基部４０の上面４０1に対する加工が不要になる。この結果、噴出スリット５０Ａの形成を簡単化することができ、かつ、角度θ４の設定を簡単にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
以上、説明したように、本発明は、板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部と、前記搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を前記搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる第１噴出手段と、前記第１噴出手段によって浮上した板状基体を前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴出する第２噴出手段とを備えたことを特徴とする。
【００９０】
これによって、第２噴出手段がガイド用および調芯専用として設けられているので、板状基体が重くなっても、気体の噴出による調芯のための強い力を板状基体に加えることができる。これによって、板状基体の蛇行を防いで、板状基体を基部の中心位置に迅速に移動させることができ、板状基体の非接触による搬送を可能にする。
【００９１】
本発明では、前記第２噴出手段は、前記搬送面上の両側に沿って配置されている２つの側方噴出部と、これらの２つの側方噴出部に気体を供給する供給系とを備え、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に気体を噴出する噴出孔を多数具備したことを特徴とする。また、本発明では、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に移動可能であることを特徴とする。
【００９２】
これによって、各側方噴出部として例えば管状のものを用いると、各側方噴出部を簡単な材料を用いて形成することができる。さらに、各側方噴出部を移動可能にすることによって、幅の異なる板状基体に対応することができる。
【００９３】
本発明では、前記第２噴出手段は、前記搬送面の中心を挟むように前記搬送面に配置されると共に前記搬送面の中心方向に気体を噴出する２つの面側噴出部と、これらの面側噴出部に気体を供給する供給系とを備えたことを特徴とする。また、本発明では、前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出孔列を具備し、前記噴出孔列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出孔列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる多数の噴出孔を具備したことを特徴とする。
【００９４】
これによって、第２噴出手段が搬送面に設けられているので、気体を噴出するための機構を搬送面上に設けることを不要にすることができる。また、ガラス板の幅に応じて第２噴出手段が自動的に選択されるから、任意の幅のガラス板の混載搬送を可能にする。この結果、装置が簡単になるので、装置の信頼性を向上させることができる。
【００９５】
本発明では、前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出スリット列を具備し、前記噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる複数の噴出スリットを具備したことを特徴とする。
【００９６】
これによって、１つの噴出スリットが複数の噴出孔に対応するので、第２噴出手段の形成を簡単化することができる。
【符号の説明】
【００９７】
１，１０，２１，３０，４０，１１０ 基部
１1，１０1，３０Ｂ，４０1，１１２，５１Ｂ， 上面
１2 中心
１Ａ1〜１Ｈ1，１Ａ2〜１Ｈ2 設定ライン
２Ａ1〜２Ｃ1，２Ａ2〜２Ｃ2，１１Ａ1〜１１Ｃ1，１１Ａ2〜１１Ｃ2，
２１Ａ1〜２１Ａ6，３１Ａ1〜３１Ａ6 浮上用噴出部分
２Ｄ1，２Ｄ2，１１Ｄ1，１１Ｄ2，２１Ｂ1，２１Ｂ2，３１Ｂ1，
３１Ｂ2 第１移動用噴出部分
２Ｅ1，２Ｅ2，１１Ｅ1，１１Ｅ2，２１Ｃ1，２１Ｃ2，３１Ｃ1，
３１Ｃ2 第２移動用噴出部分
２Ｆ1〜２Ｈ1，２Ｆ2〜２Ｈ2 調芯用噴出部分
２Ａ11〜２Ｈ11，２Ａ21〜２Ｈ21，１１Ａ11〜１１Ｅ11，
１１Ａ21〜１１Ｅ21，２１Ａ11〜２１Ａ61，２１Ｂ11，２１Ｃ11，
２３Ｃ2，４５11〜４５41，１１３，１１５ 噴出孔
２Ａ12〜２Ｈ12，２Ａ22〜２Ｈ22，１１Ａ12〜１１Ｅ12，
１１Ａ22〜１１Ｅ22，２１Ａ12〜２１Ａ62，２１Ｂ12，２１Ｂ22，
２１Ｃ12，２１Ｃ22，１１４，１１６，４１12〜４１n2，
４２12〜４２n2，４３12〜４３n2，４４12〜４４n2 補助穴
２２，１２０，３０Ａ 囲い材
２２Ａ 貫通穴
２３，２４ 調芯部
２３Ｃ1 正面
２３Ａ，２４Ａ 駆動装置
２３Ｂ，２４Ｂ 伸縮装置
２３Ｃ，２４Ｃ，２５，３４，３５ 噴出装置
２３Ｃ1 正面
２５Ａ 上部
２５Ｂ 下部
２５Ｂ1 開口
２５Ｂ2 切り欠き
３２，３３ 供給装置
４１1〜４１n 調芯用スリット列
４１11〜４１n1，４２11〜４２n1，４３11〜４３n1，４４11〜４４n1，
５０Ａ 噴出スリット
４２1〜４２n 調芯用スリット列
４３1〜４３n，４４1〜４４n 浮上用スリット列
４５1，４５2 第１移動用噴出孔列
４５3，４５4 第２移動用噴出孔列
５０ 噴出スリット構造
５１ 遮蔽板
５１Ａ 側面
５１Ｃ 下面
５１Ｄ 斜面
５１Ｅ スペーサ
５２ 溝
５２Ａ 底面
５２Ｂ 側面
５２Ｃ 斜面
５３ 供給穴
１３０ 加工板
１００ 移送ユニット
１１１ 供給系
１１２Ａ 中心
１１３Ａ，１１５Ａ 噴出方向
１４０ 封止板
２００ 制御ユニット
３００ ガラス板
３１０ 移動方向
３１１ 転換方向
Ｌ１，Ｌ２ 幅
Ｗ11，Ｗ21 調芯力
Ｗ12，Ｗ22 浮上力
θ１，θ２ 噴出方向
θ３，θ４ 角度
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部と、
前記搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を前記搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる第１噴出手段と、
前記第１噴出手段によって浮上した板状基体を前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴出する第２噴出手段とを備えたことを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記第２噴出手段は、前記搬送面上の両側に沿って配置されている２つの側方噴出部と、これらの２つの側方噴出部に気体を供給する供給系とを備え、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に気体を噴出する噴出孔を多数具備したことを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に移動可能であることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
前記第２噴出手段は、前記搬送面の中心を挟むように前記搬送面に配置されると共に前記搬送面の中心方向に気体を噴出する２つの面側噴出部と、これらの面側噴出部に気体を供給する供給系とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項５】
前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出孔列を具備し、前記噴出孔列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出孔列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる多数の噴出孔を具備したことを特徴とする請求項４に記載の浮上搬送装置。
【請求項６】
前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出スリット列を具備し、前記噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる複数の噴出スリットを具備したことを特徴とする請求項４に記載の浮上搬送装置。
【請求項１】
板状の搬送面を具備し、この搬送面に沿って板状基体を送るための基部と、
前記搬送面から気体を噴出することによって、板状基体を前記搬送面から浮上させると共に浮上した板状基体を前記搬送面に沿って移動させる第１噴出手段と、
前記第１噴出手段によって浮上した板状基体を前記搬送面の中心位置に保つために、気体を噴出する第２噴出手段とを備えたことを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記第２噴出手段は、前記搬送面上の両側に沿って配置されている２つの側方噴出部と、これらの２つの側方噴出部に気体を供給する供給系とを備え、前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に気体を噴出する噴出孔を多数具備したことを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
前記各側方噴出部は、前記搬送面の中心方向に移動可能であることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
前記第２噴出手段は、前記搬送面の中心を挟むように前記搬送面に配置されると共に前記搬送面の中心方向に気体を噴出する２つの面側噴出部と、これらの面側噴出部に気体を供給する供給系とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項５】
前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出孔列を具備し、前記噴出孔列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出孔列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる多数の噴出孔を具備したことを特徴とする請求項４に記載の浮上搬送装置。
【請求項６】
前記各面側噴出部は、前記搬送面に沿って少なくとも１つの噴出スリット列を具備し、前記噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向かって複数列設けられ、前記各噴出スリット列は、前記搬送面の中心に向けて気体を噴出すると共に前記搬送面に沿って並んでいる複数の噴出スリットを具備したことを特徴とする請求項４に記載の浮上搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【公開番号】特開２０１０−１７３８５７（Ｐ２０１０−１７３８５７Ａ）
【公開日】平成２２年８月１２日（２０１０．８．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−５９４０２（Ｐ２０１０−５９４０２）
【出願日】平成２２年３月１６日（２０１０．３．１６）
【分割の表示】特願平１１−１８２４９２の分割
【原出願日】平成１１年６月２８日（１９９９．６．２８）
【出願人】（５９１２７７３８２）株式会社渡辺商行 (34)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年８月１２日（２０１０．８．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月１６日（２０１０．３．１６）
【分割の表示】特願平１１−１８２４９２の分割
【原出願日】平成１１年６月２８日（１９９９．６．２８）
【出願人】（５９１２７７３８２）株式会社渡辺商行 (34)
【Ｆターム（参考）】
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