【課題】薄板状ワークがより薄くても、この薄板状ワークに移動力を確実に伝えて滞りなくそして蛇行なく安定して搬送することが可能である薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｗの下面に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニット２と、ガラス基板Ｗの下面に接触してワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラ３７を備え、エア浮上ユニット２は、ガラス基板Ｗの下面に向けて空気を噴出させる多数の空気噴出孔２４ａを有し、且つ、ワーク搬送方向と直交する断面形状が下方に凸の湾曲形状を成すワーク非接触支持板２４を具備し、搬送ローラ３７をワーク搬送方向と直交する方向の中央に配置して、エア浮上ユニット２のワーク非接触支持板２４から上方に突出する周縁部をガラス基板Ｗの下面に接触させてワーク搬送方向の移動力を付与する。 （もっと読む）

【課題】工程を増やすことなく、未処理基板を精度良くアライメント補正する。
【解決手段】本発明の基板搬送装置１００は、待機位置（Ａ点）に載置された一枚の未処理基板Ｗ１を、回転塗布ユニット２０（Ｂ点）へ搬送するものである。この基板搬送装置は搬送フォーク４０、シフト機構５０、昇降機構６０およびガス噴出機構７０を有する。搬送フォーク４０は未処理基板Ｗ１の裏面の両側縁部を支持する爪４２を有する。爪４２の上面に、未処理基板Ｗ１の角の搬送方向上流側に係合されるフック４４が形成されている。シフト機構５０は搬送フォーク４０を搬送方向に可逆にシフトさせる。昇降機構６０は搬送フォーク４０を昇降させる。ガス噴出機構７０は搬送フォーク４０の上面から上方へガスを噴出させる。 （もっと読む）

【課題】重合基板から剥離された被処理基板を適切に保持し、当該被処理基板の搬送又は処理を適切に行う。
【解決手段】剥離システムは、重合ウェハから剥離された被処理ウェハＷを搬送又は処理する際に、当該被処理ウェハＷを非接触状態で保持する保持部６０を有している。保持部６０の保持面６１には、気体を噴出する複数の噴出口６２と気体を吸引する複数の吸引口６３とが形成されている。複数の噴出口６２と複数の吸引口６３は、保持部６０に保持される被処理ウェハＷに対応する位置全体に亘って形成されている。剥離システムにおいて、保持部６０は、被処理ウェハＷを搬送する搬送装置、被処理ウェハＷの表裏面を反転する反転装置、重合ウェハを被処理ウェハＷと支持ウェハに剥離する剥離装置、被処理ウェハＷを洗浄する洗浄装置、被処理ウェハＷを検査する検査装置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板面積、或いは基板の厚さ寸法に拘わらず、基板面の平坦性を維持しながら搬送する。
【解決手段】上面に複数のガス噴射孔２ａと複数のガス吸引孔２ｂとが形成された下部ステージ２Ａと、前記下部ステージの上方において、該下部ステージに対向配置されると共に、下面に複数のガス噴射孔２ａとガス吸引孔２ｂとが形成された上部ステージ２Ｂと、前記下部ステージと上部ステージとに挟まれた空間に形成された基板搬送路２Ｃと、前記基板搬送路において基板Ｇの幅方向両端を保持し、基板搬送方向に搬送する基板搬送手段１０とを備え、前記下部ステージと上部ステージとにそれぞれ形成された前記ガス噴射孔同士が対向すると共に、前記ガス吸引孔同士が対向する。 （もっと読む）

【課題】被処理基板を浮上させた状態で平流し搬送する基板搬送装置であって、特に、浮上搬送される前記基板の下面に帯電している電荷を除去する。
【解決手段】浮上ステージ２Ａ，２Ｃは、ガス噴射孔２ａに隣設され、前記ガス噴射孔から噴射されたガスを排気するガス抜き孔１６と、前記ガス噴射孔と前記ガス抜き孔との間に設けられ、前記基板に帯電する電荷を中和させるイオンを発生するイオン発生手段１７とを備え、前記イオン発生手段は、所定の電圧が印加されることにより放電を発生させる針電極１８と、前記針電極に所定の電圧を供給する給電ケーブル２０とを有し、前記針電極は前記ガス噴射孔の中に配置され、前記給電ケーブルは前記ガス抜き孔から前記浮上ステージ外へ引き出される。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおいて分割ステージブロックの境界（繋ぎ目）にできる段差の許容度を大きくして浮上面の高さ位置調整作業を簡便に短時間で行えるようにする。
【解決手段】浮上ステージ１０において、左端の搬入用ステージブロックＳＢ_Aには、専ら噴出口１２を多数配設した第１のラフ浮上領域Ｍ_INが搭載される。真ん中のステージブロックＳＢ_Bには、搬送方向（Ｘ方向）の両端部に専ら噴出口１２を多数配設した突き上げ浮上領域Ｍ_P，Ｍ_Qが局所的に搭載されるとともに、それらの間に噴出口１２と吸引口１４とを混在して多数配設した精密浮上領域Ｍ_CTが搭載される。また、右端の搬出用ステージブロックＳＢ_Cには、専ら噴出口１２を多数配設した第２のラフ浮上領域Ｍ_OUTが搭載される。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおける基板の浮上高や姿勢を最適化しつつ、浮上用高圧気体の消費効率を改善すること。
【解決手段】このレジスト塗布装置における浮上ステージ１０は、搬送方向において塗布領域Ｍ_CTの前後に延びる搬入領域Ｍ_INおよび搬出領域Ｍ_OUTの浮上面をそれぞれ多数の浮上エリアに区画している。これらの浮上面には多数の噴出口１２配置されている。各々の浮上エリアにおける高圧気体の噴出圧力は噴出圧力制御部により独立に可変ないしオン・オフ制御されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】基板の下面に非接触で基板を搬送し、基板を高速かつ安定的に移動させながら、基板の汚染やローラー痕の生成なく、基板の上下両面又は下面のみに処理を行う、非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板の上面と下面の両方又は下面のみに、水による洗浄処理、薬液による化学的処理、水によるリンス処理又は空気、窒素ガスといった気体による乾燥処理のいずれかの処理を行う、複数の基板処理ユニット７、８、９を備えてなる基板処理装置が、基板１の下面に向かって水、薬液、空気、窒素ガスといった流体を噴出して、基板１を浮上させ、基板１の下面に非接触でその位置を保持する、複数配置された基板浮上ユニット１０と、基板１の左右両側のエッジ部に水平方向から接触して、基板１を移動させる複数配置された搬送ローラー１２を有する基板搬送ユニットと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】一の搬送方向と該一の搬送方向と直交する搬送方向とのコーナー部においても、円滑に９０度方向転換させることが可能な非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】一の搬送方向（Ｘ方向）に沿って配された非接触搬送装置３と、一の搬送方向に対して直交する搬送方向（Ｙ方向）に配された非接触搬送装置４とのコーナー部に配される非接触搬送装置２であって、平面視直角三角形を呈すると共に、平面視直角三角形の斜辺２ｂを相対向させた一対の搬送用基板２ａ、２ａ’が直角三角形の一方の辺２ｃを一の搬送方向に向けると共に、他方の辺２ｄを搬送方向に直交する搬送方向に向けて配され、搬送用基板には、平面視直角三角形の搬送面に複数個の上昇流形成体８と複数個の吸引孔５ｎが設けられている非接触搬送装置１。 （もっと読む）

【課題】基板浮上装置において、メンテナンス性を悪化させずに基板の除電効率を高める。
【解決手段】基板浮上装置２は、基板（Ｓ）の裏面に浮上用エアを吐出するエア浮上機構を有する浮上ステージ２ａと、この浮上ステージ２ａの基板支持面に形成された収納空間２ｃと、イオン化エアを噴出す吐出孔３ａが複数設けられた筒状を呈し、収納空間２ｃに配置され基板（Ｓ）の裏面に対してイオン化エアを吹き付けるイオナイザ３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型の空気供給源からの空気の供給で板状体を適切に非接触状態で支持することができる板状体搬送装置を提供する。
【解決手段】板状体の下面に向けて空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段を、搬送方向に沿って備えられて空気供給源から供給された空気を上方に向けて噴出する空気噴出部と、空気噴出部に対して横幅方向の両側に隣接する状態で配置された一対の案内板部とを備えて構成し、一対の案内板部の一方における横幅方向の空気噴出部から離れる側の端部に突条部を備え、突条部を、搬送される板状体の下面より下方に位置する高さに案内板部の上面から上方に突出し且つ搬送方向に沿って形成する。 （もっと読む）

【課題】空気の噴流によりワークを浮上させ搬送する搬送装置において、ワークを浮上させる浮上装置がワークをほぼ均一な圧力にて傾斜させることなく浮上させるとともに、空気消費量が少ない経済的な搬送装置を提供すること。
【解決手段】
空気箱の上面の浮上させるワークを載置した天板上に前記ワークにほぼ一定の圧力で支持するエアクッション室を形成するように、前記天板の周辺部に気体を噴出する対向して空気を噴出するように形成された細長孔の開口部を設けた。 （もっと読む）

【課題】ワークを浮上させた非接触状態で搬送する両面粘着テープ剥離方法および両面粘着テープ剥離装置を提供する。
【解決手段】搬送路２の中央部分で垂直に貫通する孔１２から搬送されるウエハＷの裏面に気体を吹き付けるとともに、搬送路２の幅方向の両側で進行方向斜め中央寄りに形成された孔１３からからウエハ裏面に向けて進行方向斜め中央寄りの気体を吹き付けながらウエハＷを浮上させて搬送する過程で、ウエハＷが進路を外れる場合に外れる側の孔１３から吹き出す気体の流量を調整する。 （もっと読む）

【課題】高速移動時においてもステージの位置精度を向上する。
【解決手段】パターン描画装置１では、ステージ移動機構２が、定盤１１の定盤面１２に平行に伸びるとともにそれぞれの先端部がステージ３に接続される第１シャフト２１１および第２シャフト２２１、第１シャフト２１１および第２シャフト２２１を進退させる第１シャフト進退機構２１２および第２シャフト進退機構２２２、並びに、第１シャフト進退機構２１２を回動するシャフト回動機構２３を備える。これにより、複数のリニアガイドや支持台が上下方向に積み重ねられたステージ移動機構に比べて、ステージ移動機構２の重心を低くすることができる。その結果、ステージ３の高速移動時においても、ステージ３のピッチングを防止してステージ３の移動制御における位置精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】基板が破損する可能性を低減するとともに、単位時間当たりの搬送量を高めた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】外部から受け渡された基板１１の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第１の位置から第２の位置まで延びる一対の第１及び第２の支持部２１、２２と、基板１１の下面を吸着し、第１及び第２の支持部２１、２２の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第１及び第２の吸着部３１、３２と、負圧を発生させることにより第２の位置に搬送された基板１１を非接触で保持し、第３の位置まで搬送するベルヌーイチャック４０とを備え、基板１１を第１の位置から第３の位置まで搬送する基板搬送装置１０であって、第１及び第２の支持部２１、２２は、それぞれ、基板１１に面する上端部にエアを噴出する多孔質体６６を有する。 （もっと読む）

【課題】構成を簡略化して基板の搬送を行なうことができる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】基板をＷを搬送する搬送ステージ２ａと、搬送ステージ２ａに対して基板Ｗの搬送方向に沿って設けられ、基板Ｗを載置する載置面２０１からエアを吹き出す吹出穴２０１ａを有し、搬送ステージ２ａから搬入された基板Ｗを浮上させる浮上ステージ２ｂと、を備えた基板搬送装置１において、浮上ステージ２ｂの搬送ステージ２ａ側の端部から搬送ステージ２ａ側へ延び、基板Ｗが浮上ステージ２ｂ上で浮上する高さ以上の高さで基板Ｗを支持する支持部材２２を備えた。 （もっと読む）

【課題】被搬送体が搬送路中心からずれてしまった場合の調整を行うことができる浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】その目的を達成するため、本発明の浮上搬送装置は、被搬送体の搬送経路を形成する搬送路と、被搬送体を前記搬送路に沿って浮上搬送する複数の噴射ノズルと、前記搬送路中における被搬送体の搬送方向を検出する一つ以上の検出部と、該検出部の検出結果に基づいて前記複数の噴射ノズルを独立して制御する制御部とを備え、前記ノズルの本体は、駆動モータユニットにより水平面内で回転可能となっていることから、ノズルから噴射される圧力気体の噴射方向を調整することができることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】柔らかく剛性の低い物体でも大きな変形をさせることなく浮上させることができる物体浮上装置の提供。
【解決手段】基台表面２ａに対して斜めに延びて開口する空気噴射流路４で囲った所定領域Ｘにおいて空気溜まりを形成し、基台表面２ａに対しワークを浮上させる物体浮上装置１であって、所定領域Ｘは、平面視で６角形状を有して、基台表面２ａ上を充填するように複数設けられているという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】基板などの物体の非接触ハンドリングを改善する。
【解決手段】物体を非接触でハンドリングするよう構成された装置である。この装置は、物体の方に向くよう構成されたキャリング面３を有するキャリングボディ２であって、キャリング面３が複数のトラクション部材４および複数の過圧部材５を備え、各過圧部材５が、少なくとも１つの排気口７を備え、各トラクション部材４がくぼみ部８と、くぼみ部８に配置された少なくとも２つの吸込口１４、１５とを備え、各トラクション部材４の少なくとも２つの吸込口１４、１５が、くぼみ部８にキャリング面３に実質的に平行な方向にトラクション流体流れを作り出すために、それらの間に圧力勾配を発生するよう構成されている、キャリングボディ２と、各トラクション部材４の少なくとも２つの吸込口１４、１５間の圧力勾配を制御するよう構成された圧力制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】大型のＦＰＤ等であっても、その浮上高さを高精度に維持することが可能で、プロセス工程に使用して好適な非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】流体噴出口を備え、該流体噴出口から流体を噴出することにより、表面側に表面から離れる方向へ向かう上昇旋回流を生じさせる複数の旋回流形成体２、３を基体４の搬送面に備えた非接触搬送装置１２ａであって、流体吸い込み用の複数の吸引孔５を基体４の搬送面に備えるとともに、吸引孔５と旋回流形成体２、３を基体４の幅方向Ｘ及び長手方向Ｙに沿って交互に配置し、基体４に、複数の旋回流形成体２、３と連通する平面視菱形格子状の供給溝８ｂと、複数の吸引孔５と連通する平面視菱形格子状の吸引溝８ｆとを設け、供給溝８ｂ及び吸引溝８ｆを異なる高さに配置するとともに、平面視で互い違いとなるように配置した非接触搬送装置１２ａ。 （もっと読む）