研磨機、研磨機用キャリア及び研磨方法
【課題】柱状のワークの端面を小さな曲率半径でも効率よく球面研磨することができる研磨機、研磨機用キャリア及び研磨方法を提供する。
【解決手段】内部に狭窄部１２２を有する貫通孔に柱状のワーク３０が挿入された研磨機用キャリアを、一方が他方に対して回転するように駆動されている上下定盤の間で自転させながら定盤に対して移動させることにより、ワーク３０を狭窄部１２２を支点として不規則に揺動させる。この揺動により、ワーク３０の端面を満遍なく定盤と擦り合わせることができ、これにより端面を球面に研磨することができる。
【解決手段】内部に狭窄部１２２を有する貫通孔に柱状のワーク３０が挿入された研磨機用キャリアを、一方が他方に対して回転するように駆動されている上下定盤の間で自転させながら定盤に対して移動させることにより、ワーク３０を狭窄部１２２を支点として不規則に揺動させる。この揺動により、ワーク３０の端面を満遍なく定盤と擦り合わせることができ、これにより端面を球面に研磨することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子等を球面研磨するための研磨機、研磨機用キャリア及びそれらを用いた研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来よりレンズ等の光学素子を球面研磨するための研磨機としてオスカー式研磨機が知られている。図１３にオスカー式研磨機５０の主要部の概略構成を示す。オスカー式研磨機５０はレンズ等のワーク５１が上面に固定される固定皿５２と、固定皿５２に対向して配置される研磨皿５３とを備える。固定皿５２は下面中央から下方に突出する回転軸５２１を中心に回転する。研磨皿５３の下面は所定の曲率を有しており、その面には研磨パッド５４が取り付けられている。研磨皿５３の上方には先端が水平面（紙面に垂直な面）内で揺動する揺動アーム５５が配置され、その先端からカンザシ５６と呼ばれる棒材が垂下している。研磨皿５３はカンザシ５６の下端に傾動自在に支持される。
【０００３】
このようなオスカー式研磨機５０を用いて球面研磨を行う際には、ワーク５１を固定皿５２にワックス等で固定した後、ワーク５１と研磨パッド５４の間に研磨剤を供給しながら、固定皿５２の回転によってワーク５１を回転させるとともに、揺動アーム５５の揺動によって研磨皿５３を往復運動させる。これにより、ワーク５１の上面全体が球面に研磨される。
【０００４】
図１３では固定皿５２に一つのワーク５１を固定する例を示したが、図１４に示すように固定皿５７に小型レンズ等の複数のワーク５８を固定してもよい。これにより複数のワーク５８を一度に球面研磨することができる。
【０００５】
球面研磨するための研磨機はオスカー式研磨機以外にも提案されている。特許文献１に記載の研磨機は、回転可能な円板状の砥石の上に球状のワークを置き、そのワークを上方からホルダで覆いながら砥石を回転させることで、ワークを転がして球面研磨を行う。
特許文献２に記載の研磨機では、上下定盤の間に複数の貫通孔を有するキャリアを配置し、各貫通孔に孔の高さよりも大きい球状のワークを入れる。それらを上下定盤で押さえつつ、上下定盤を互いに反対方向に回転させるとともにキャリアを遊星運動させることで、ワーク全面を球面研磨する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平6-31608号公報
【特許文献２】特開2002-326154号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、半導体励起固体レーザ素子の端面にレーザ共振器のミラーの機能を持たせることが行われており、例えば、レーザ素子の一方の端面と、他方の端面側に配置した凹面ミラーとでレーザ共振器を形成することが提案されている。さらに、より小型、高効率、低価格を目指して、レーザ素子又はレーザ素子と非線形光学素子を接合したものの両端面に球面加工を施し、それらの球面でレーザ共振器を形成したモノリシックレーザ素子と呼ばれるレーザ素子も提案されている。通常、モノリシックレーザ素子は長さ1〜2mm程度の柱状のものであり、その柱の軸はレーザ結晶の結晶軸と一致させる。
【０００８】
このような小型のレーザ素子の端面を小さな曲率半径（例えば数mm程度の曲率半径）で効率よく球面研磨することは従来の研磨機では容易ではない。オスカー式研磨機ではワーク端面を小さな曲率半径で研磨するためにはその曲率半径に対応した下面を有する研磨皿を用いなければならず、そのような研磨皿では一度に研磨することができるワークの個数が限られる。
オスカー式研磨機ではワックスによりワークを固定皿に固定する場合にも問題が生じる。柱状のレーザ素子を立てた状態で固定皿にワックスで固定する場合、多数のレーザ素子をその結晶軸が所定の方向を向くように精度よく固定することは容易ではない。また、ワークがワックス中において固定皿から浮いたような状態で固定された場合、研磨後のワークの長さに誤差が生ずる。
【０００９】
特許文献１、２に記載の研磨機は球状のワークの全面を球面研磨するものであり、レーザ素子のように結晶軸の方向を管理しながらその端面を球面研磨する用途には用いることができない。
【００１０】
本発明は以上のような課題を解決するために成されたものであり、その目的は、柱状のワークの端面を小さな曲率半径でも効率よく球面研磨することができる研磨機、研磨機用キャリア及び研磨方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために成された本発明に係る研磨機用キャリアは、
柱状のワークを挿入するための１又は複数の貫通孔を有し、対向して配置された、それぞれの対向面を平行にした状態で一方が他方に対して回転するように駆動される上下定盤の間で自転しながら該定盤に対して移動する研磨機用キャリアであって、
前記貫通孔の内部に、挿入されたワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有し、前記運動の間に該貫通孔に挿入されたワークが該狭窄部を支点として揺動することにより該ワークの端面が球面研磨されるものであることを特徴とする。
【００１２】
また、上記課題を解決するために成された本発明に係る研磨機は、
a)対向して配置された、それぞれの対向面が平行である上下定盤と、
b)前記上下定盤を一方が他方に対して回転するように駆動させるための定盤駆動機構と、
c)柱状のワークを挿入するための１又は複数の貫通孔を有し、該貫通孔の内部に、挿入されたワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有する研磨機用キャリアと、
d)前記研磨機用キャリアを前記上下定盤の間で自転させながら該定盤に対して移動させるためのキャリア駆動機構と、
を備え、前記研磨機用キャリアの運動の間に前記貫通孔に挿入されたワークが前記狭窄部を支点として揺動することにより該ワークの端面が球面研磨されるものであることを特徴とする。
【００１３】
更に、上記課題を解決するために成された本発明に係る研磨方法は、
対向して配置された、それぞれの対向面を平行にした状態で一方が他方に対して回転するように駆動されている上下定盤の間で、１又は複数の貫通孔に柱状のワークが挿入された研磨機用キャリアであって、該貫通孔の内部に、ワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有する研磨機用キャリアを自転させながら該定盤に対して移動させて、該狭窄部を支点としてワークを揺動させることにより、該ワークの端面を球面研磨することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る研磨機、研磨機用キャリア及び研磨方法によれば、内部に狭窄部を有する貫通孔に柱状のワークが挿入された研磨機用キャリアが、互いに回転する上下定盤の間で自転しながら定盤に対して複雑な運動を行うことにより、貫通孔に挿入されたワークが狭窄部を支点として不規則に揺動する。この揺動により、ワークの端面が満遍なく定盤と擦り合わされ、該端面がほぼ球面に研磨される。
【００１５】
研磨されるワーク端面の曲率半径は、狭窄部からワーク端面までの距離によりほぼ定まる。従って、その距離を小さくすることにより、小さな曲率半径の端面研磨も容易となる。そのため、１枚の研磨機用キャリアに多数の貫通孔を設け、それぞれの貫通孔に短いワークを挿入しておけば、各ワークの端面を小さい曲率半径で一度に研磨することができる。
ワークはワックス等で固定する必要がなく貫通孔に挿入するだけでよい。端面はワークの主軸を中心として球面研磨されるため、ワークのセットに神経を使う必要がなく、短時間で容易にセットすることができる。また、ワークの研磨後の長さは上下定盤間の距離により定まるため、上記のように多数のワークを一度に研磨するときでも、各ワークの長さはほぼ一定となる
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例１に係る研磨機用キャリアを説明する図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図２】狭窄部を有する貫通孔の形成方法の一例を示す図。
【図３】実施例１に係る研磨機用キャリアの分解斜視図。
【図４】実施例１に係る研磨機用キャリアを説明する図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は貫通孔付近を切り出した断面斜視図である。
【図５】貫通孔にワークを挿入した状態を説明する図であり、（ａ）はワークが直立しているときの縦断面図、（ｂ）はワークが傾斜しているときの縦断面図である。
【図６】直立したワークを傾斜させたときのワークの側面図。
【図７】貫通孔内でワークが揺動する様子を示す縦断面図。
【図８】実施例１に係る研磨機において上定盤を持ち上げた状態を示す斜視図。
【図９】実施例１に係る研磨方法を説明する図であり、（ａ）はレーザ結晶基板の斜視図、（ｂ）は切断されたレーザ結晶基板の斜視図、（ｃ）は切り出されたワークの斜視図である。
【図１０】貫通孔内でのワークの揺動を説明する図であり、（ａ）はワークが直立しているときの縦断面図、（ｂ）はワークが揺動しているときの縦断面図、（ｃ）は研磨後の縦断面図である。
【図１１】実施例２に係る研磨方法を説明する図であり、（ａ）は貼り合わせ前のレーザ結晶基板の斜視図、（ｂ）は切断されたレーザ結晶基板の斜視図、（ｃ）は研磨前のワークの側面図、（ｄ）は研磨後のワークの側面図、（ｅ）はワークを分離して形成したレーザ素子の側面図である。
【図１２】貫通孔内でのワークの揺動の変形例を説明する図であり、（ａ）はワークが揺動しているときの縦断面図、（ｂ）は研磨後の縦断面図である。
【図１３】オスカー式研磨機の主要部の概略構成を示す図。
【図１４】オスカー式研磨機の主要部の概略構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面に基づき、本発明に係る研磨機、研磨機用キャリア及び研磨方法の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１に本発明の第１の実施例に係る研磨機用キャリア１０の平面図（ａ）及び断面図（ｂ）を示す。研磨機用キャリア１０は外周にギア１１を備えた円板であり、柱状のワークを挿入するための貫通孔１２を有する。貫通孔１２の個数は任意であるが、ここでは12個とする。貫通孔１２の内部には、その開口部１２１よりも狭まっており、ワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部１２２を設ける。本実施例では狭窄部１２２は貫通孔１２の深さ方向の中央に形成する。
【００１９】
図２に、狭窄部１２２を有する貫通孔１２の形成方法の一例を示す。この例では１枚の円板を加工することにより、狭窄部１２２を有する貫通孔１２を作製する。まず所定の厚さの円板１０Ａに機械加工等で狭窄部１２２と一致する内径の貫通孔１２Ａを空け（図２（ａ））、次にその貫通孔１２Ａの両側から開口部１２１と一致する内径の座ぐり１２Ｂを加工する（図２（ｂ））。これにより、２つの座ぐり１２Ｂの底面間が狭窄部１２２となる。
【００２０】
狭窄部１２２を有する貫通孔１２は図３に示すように３枚の円板を用いて形成することもできる。この方法では、機械加工やエッチング等で狭窄部１２２と一致する内径の開口を空けた中間円板１４と、開口部１２１と一致する内径の開口を空けた２枚の外側円板１３を用意し、中間円板１４と外側円板１３の各開口の中心が一致するように中間円板１４の両面に外側円板１３を接着等で固定する。これにより、図４に示すような三層構造の研磨機用キャリア１０が得られる。この方法は精密な機械加工を必要としないため、研磨機用キャリアが薄い場合に適している。
【００２１】
外側円板１３及び中間円板１４の材料は機械的強度や耐摩耗性、加工の容易さ等を考慮して決めればよく、例えばステンレス等の金属や、エポキシ・塩ビ等のプラスチック等を用いることができる。
本実施例では外周のギアを外側円板１３と中間円板１４のいずれにも形成することで、ギア１１側面の表面積をできる限り広くし、ギアの機械的強度や耐摩耗性を高めているが、ギアを一部の円板のみに形成することで加工コストを抑えてもよい。
【００２２】
狭窄部１２２の高さや内径は次のように設定する。図５に、貫通孔１２にワーク３０を挿入したときの縦断面図を示す。ここでは、ワーク３０は長さＬ、直径Ｄの円柱とし、狭窄部１２２は高さｔ、内径（Ｄ＋２ｄ）とする。ｄは図５（ａ）に示すように狭窄部１２２の開口の中央にワーク３０を配置したときに狭窄部１２２とワーク３０側面との間に形成される隙間の大きさである。
図６に、直立したワーク３０をその下端面の縁の或る点を支点Ｐとして傾斜させたときのワーク３０の側面図を示す。ワーク３０は、支点Ｐを通る鉛直線上に重心Ｏがあるとき（図６（ｂ））を分岐点として、それよりも傾きが小さければ直立した状態に戻ろうとし（図６（ａ））、それよりも傾きが大きければ横に倒れようとする（図６（ｃ））。ワーク３０にはこのような重力（の分力）よりも大きな摩擦力が上下定盤から与えられるが、端面全域をより満遍なく研磨するためには、ワーク３０が図６（ａ）に示す状態であることが望ましい。ワーク３０の最大傾斜は、ワーク３０の上下端が開口部により規制される場合と、ワーク３０の中央部が狭窄部１２２により規制される場合の２つの場合があり得る。いずれの場合にせよ、ワーク３０の長さＬ、径Ｄに応じて開口部１２１の長さ及び内径、又は狭窄部１２２の高さ及び内径を適切に定めることにより、ワークの最大傾斜が図６（ｂ）となるようにしておくことが望ましい。図６（ｂ）の場合、その傾斜角θは次のように計算される。
θ＝tan−１(Ｄ／Ｌ)
狭窄部１２２でワーク３０の中央部を規制する場合、この最大傾斜角θと狭窄部１２２の高さｔ、隙間ｄの関係は次のように表すことができる。
ｔ＝２ｄ／tanθ−(Ｄ／tanθ)・((１／cosθ)−１)
ｄ＝(ｔ／２)・tanθ＋(Ｄ／２)・((１／cosθ)−１)
例えば、ワーク３０の長さＬが2mm、直径Ｄが1mmであるとすると、ワーク３０及び狭窄部１２２の加工精度等を考慮してまず隙間ｄを0.15mm（２ｄ＝0.3mm）と設定し、それから狭窄部１２２の高さｔが0.36mmと決定される。同様に隙間ｄを0.15mmとする場合、狭窄部１２２の高さｔはワーク３０の長さＬが3mm、直径Ｄが1mmであれば0.74mm、ワーク３０の長さＬが5mm、直径Ｄが2mmであれば0.36mmとなる。
【００２３】
ワーク３０の最大傾斜は、図７に示すように開口部１２１により規制するようにしてもよい。これにより、研磨時に狭窄部１２２の縁に加わる力が軽減され、狭窄部１２２の早期摩耗が防止される。
【００２４】
図８に、上記研磨機用キャリア１０が上定盤２１と下定盤２２の間に配置された研磨機２０の斜視図を示す。この図は、上定盤２１を持ち上げた状態を示す。上定盤２１及び下定盤２２は中央に円形の開口を有する円板であって互いに対向している。上定盤２１の上面には各定盤の対向面（研磨面）に研磨剤を流し込むための周方向及び放射方向の流路２１１と、中央の開口の縁から中心方向に伸びる２本のフック２１２を設ける。
下定盤２２の上には研磨機用キャリア１０を載置する。図８では代表して３枚の研磨機用キャリア１０を図示したが、実際はそれ以外の研磨機用キャリア１０も下定盤２２上に回転対称に配置し、上定盤２１からの荷重が各研磨機用キャリア１０内のワーク３０に偏りなく加わるようにすることが望ましい。
【００２５】
上下定盤の外周側には内側にギアを有するリング状のインターナルギア２３を配置し、上下定盤の中心側には外側にギアを有するリング状のエクスターナルギア２４を配置する。これらのギアは研磨機用キャリア１０のギア１１に噛み合う。
エクスターナルギア２４の中心側には、上面の縁にフック２１２と係合させるための切込２５１が設けられた上定盤駆動部２５を配置する。上定盤２１はこの上定盤駆動部２５により回転駆動される。また、下定盤２２、インターナルギア２３及びエクスターナルギア２４もモータ等の駆動機構により回転駆動される。
【００２６】
以下、上記研磨機用キャリア１０及び研磨機２０を用いたレーザ素子の研磨方法について説明する。まず結晶軸方向に直交する面で切り出されたレーザ結晶基板３１（図９（ａ））をダイシングソー等で格子状に切断し（図９（ｂ））、多数の柱状のレーザ素子（ワーク３０）を切り出す。ワーク３０は一般的には円柱状であることが望ましいが、狭窄部１２２が円状であれば、図９（ｃ）に示すような角柱であってもかまわない。逆に、ワーク３０が円柱状であれば、狭窄部１２２は多角形でもかまわない。
レーザ結晶基板３１の代わりにレーザ結晶基板と非線形光学結晶基板の接合板を用い、その接合板からレーザ結晶と非線形光学結晶が接合したモノリシックレーザ素子を切り出してもよい。
【００２７】
次に、切り出されたワーク３０を図８に示した研磨機２０上の研磨機用キャリア１０の貫通孔１２に挿入し、それらの上に上定盤２１を載せる。そして、上定盤２１の流路２１１から定盤間に研磨剤を供給しつつ、上定盤２１と下定盤２２をそれぞれの対向面を平行にした状態で互いに逆方向に回転駆動させる。また、インターナルギア２３及びエクスターナルギア２４を異なる回転速度で回転させて、研磨機用キャリア１０を定盤間で自転させながら公転（遊星運動）させる。
【００２８】
このときの貫通孔１２内のワーク３０の様子を図１０に示す。貫通孔１２に挿入されたワーク３０（図１０（ａ））は、上述した上下定盤及び研磨機用キャリア１０の回転により、貫通孔１２内で狭窄部１２２を支点として不規則に揺動する（図１０（ｂ））。この揺動によりワーク３０の両端面は満遍なく上下定盤と擦れ合い、これにより端面が球面に研磨される（図１０（ｃ））。
このとき、研磨されたワーク端面の曲率半径は狭窄部１２２からその端面までの距離にほぼ一致する。本実施例では狭窄部１２２が貫通孔１２の深さ方向の中央に設けられており、かつ、キャリア１０が上下定盤間の中央に配置されているため、両端面の曲率半径は同じになる。
【実施例２】
【００２９】
図１１は本発明の第２の実施例に係る研磨方法を説明する図である。本実施例に係る研磨方法では次のようにして作製されたワーク４０を、実施例１と同じ研磨機用キャリア１０及び研磨機２０を用いて研磨する。
【００３０】
まず２枚のレーザ結晶基板４１（図１１（ａ））をワックス等で貼り合わせて一体化する。その一体となった接合板４２を、ダイシングソー等を用いて接合面に交差する面で格子状に切断し（図１１（ｂ））、接合部４４を有する柱状のワーク４０を切り出す（図１１（ｃ））。そのワーク４０を実施例１と同様に研磨機２０にセットし、その両端面を球面研磨する（図１１（ｄ））。
【００３１】
研磨終了後、ワーク４０を研磨機用キャリア１０から取り出し、ワーク４０の接合部４４にて分離する（図１１（ｅ））。これにより、一面のみが球面研磨された被研磨物であるレーザ素子４３を得ることができる。
【００３２】
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で適宜変更が許容される。例えば、ワークの両端面を異なる曲率で研磨するために、図１２に示すように、狭窄部１２２を貫通孔１２の深さ方向の中央からずれた位置に設けてもよい。ワーク３０の端面の曲率半径は狭窄部１２２からその端面までの距離により定まるため、この例では一方の端面では曲率半径が大きく、他方の端面では小さくなる（図１２（ｂ））。またこの方法と実施例２に示した２枚の基板を貼り合わせる方法を組み合わせれば、一端面の曲率半径が異なる２種類の被研磨物を一度の研磨で作製することができる。
【００３３】
被研磨物に所定の長さのダミー部材を固定し、被研磨物とダミー部材からなる柱状のワークの端面を球面研磨してもよい。これにより被研磨物の一面の曲率半径をダミー部材の長さによって調節することができる。また、被研磨物が貫通穴内で揺動しにくいような形状、例えば扁平である場合などに、被研磨物に所定の長さのダミー部材を固定し、被研磨物とダミー部材からなるワークを貫通穴内で揺動させれば、単体では球面研磨しにくい被研磨物の一面を容易に球面研磨することができる。
【００３４】
上下定盤間での研磨機用キャリアの運動は、貫通穴内でワークを不規則に揺動させることができるものあればよく、上記した遊星運動の他にも、例えば自転させながら定盤に対して不規則に揺動させるようなものでもよい。
【００３５】
ワークの大きさに応じて研磨機用キャリアの厚さや貫通孔の径等を適宜選択すれば、レーザ素子のような小型のワークに限らず、比較的大きなワークを研磨することもできる。
【符号の説明】
【００３６】
１０…研磨機用キャリア
１１…ギア
１２…貫通孔
１２１…開口部
１２２…狭窄部
１３…外側円板
１４…中間円板
１５…外側円板
２０…研磨機
２１…上定盤
２１１…流路
２１２…フック
２２…下定盤
２３…インターナルギア
２４…エクスターナルギア
２５…上定盤駆動部
２５１…切込
３０、４０、５１、５８…ワーク
３１、４１…レーザ結晶基板
４２…接合板
４３…レーザ素子
４４…接合部
５０…オスカー式研磨機
５２…固定皿
５２１…回転軸
５３…研磨皿
５４…研磨パッド
５５…揺動アーム
５６…カンザシ
５７…固定皿
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子等を球面研磨するための研磨機、研磨機用キャリア及びそれらを用いた研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来よりレンズ等の光学素子を球面研磨するための研磨機としてオスカー式研磨機が知られている。図１３にオスカー式研磨機５０の主要部の概略構成を示す。オスカー式研磨機５０はレンズ等のワーク５１が上面に固定される固定皿５２と、固定皿５２に対向して配置される研磨皿５３とを備える。固定皿５２は下面中央から下方に突出する回転軸５２１を中心に回転する。研磨皿５３の下面は所定の曲率を有しており、その面には研磨パッド５４が取り付けられている。研磨皿５３の上方には先端が水平面（紙面に垂直な面）内で揺動する揺動アーム５５が配置され、その先端からカンザシ５６と呼ばれる棒材が垂下している。研磨皿５３はカンザシ５６の下端に傾動自在に支持される。
【０００３】
このようなオスカー式研磨機５０を用いて球面研磨を行う際には、ワーク５１を固定皿５２にワックス等で固定した後、ワーク５１と研磨パッド５４の間に研磨剤を供給しながら、固定皿５２の回転によってワーク５１を回転させるとともに、揺動アーム５５の揺動によって研磨皿５３を往復運動させる。これにより、ワーク５１の上面全体が球面に研磨される。
【０００４】
図１３では固定皿５２に一つのワーク５１を固定する例を示したが、図１４に示すように固定皿５７に小型レンズ等の複数のワーク５８を固定してもよい。これにより複数のワーク５８を一度に球面研磨することができる。
【０００５】
球面研磨するための研磨機はオスカー式研磨機以外にも提案されている。特許文献１に記載の研磨機は、回転可能な円板状の砥石の上に球状のワークを置き、そのワークを上方からホルダで覆いながら砥石を回転させることで、ワークを転がして球面研磨を行う。
特許文献２に記載の研磨機では、上下定盤の間に複数の貫通孔を有するキャリアを配置し、各貫通孔に孔の高さよりも大きい球状のワークを入れる。それらを上下定盤で押さえつつ、上下定盤を互いに反対方向に回転させるとともにキャリアを遊星運動させることで、ワーク全面を球面研磨する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平6-31608号公報
【特許文献２】特開2002-326154号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、半導体励起固体レーザ素子の端面にレーザ共振器のミラーの機能を持たせることが行われており、例えば、レーザ素子の一方の端面と、他方の端面側に配置した凹面ミラーとでレーザ共振器を形成することが提案されている。さらに、より小型、高効率、低価格を目指して、レーザ素子又はレーザ素子と非線形光学素子を接合したものの両端面に球面加工を施し、それらの球面でレーザ共振器を形成したモノリシックレーザ素子と呼ばれるレーザ素子も提案されている。通常、モノリシックレーザ素子は長さ1〜2mm程度の柱状のものであり、その柱の軸はレーザ結晶の結晶軸と一致させる。
【０００８】
このような小型のレーザ素子の端面を小さな曲率半径（例えば数mm程度の曲率半径）で効率よく球面研磨することは従来の研磨機では容易ではない。オスカー式研磨機ではワーク端面を小さな曲率半径で研磨するためにはその曲率半径に対応した下面を有する研磨皿を用いなければならず、そのような研磨皿では一度に研磨することができるワークの個数が限られる。
オスカー式研磨機ではワックスによりワークを固定皿に固定する場合にも問題が生じる。柱状のレーザ素子を立てた状態で固定皿にワックスで固定する場合、多数のレーザ素子をその結晶軸が所定の方向を向くように精度よく固定することは容易ではない。また、ワークがワックス中において固定皿から浮いたような状態で固定された場合、研磨後のワークの長さに誤差が生ずる。
【０００９】
特許文献１、２に記載の研磨機は球状のワークの全面を球面研磨するものであり、レーザ素子のように結晶軸の方向を管理しながらその端面を球面研磨する用途には用いることができない。
【００１０】
本発明は以上のような課題を解決するために成されたものであり、その目的は、柱状のワークの端面を小さな曲率半径でも効率よく球面研磨することができる研磨機、研磨機用キャリア及び研磨方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために成された本発明に係る研磨機用キャリアは、
柱状のワークを挿入するための１又は複数の貫通孔を有し、対向して配置された、それぞれの対向面を平行にした状態で一方が他方に対して回転するように駆動される上下定盤の間で自転しながら該定盤に対して移動する研磨機用キャリアであって、
前記貫通孔の内部に、挿入されたワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有し、前記運動の間に該貫通孔に挿入されたワークが該狭窄部を支点として揺動することにより該ワークの端面が球面研磨されるものであることを特徴とする。
【００１２】
また、上記課題を解決するために成された本発明に係る研磨機は、
a)対向して配置された、それぞれの対向面が平行である上下定盤と、
b)前記上下定盤を一方が他方に対して回転するように駆動させるための定盤駆動機構と、
c)柱状のワークを挿入するための１又は複数の貫通孔を有し、該貫通孔の内部に、挿入されたワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有する研磨機用キャリアと、
d)前記研磨機用キャリアを前記上下定盤の間で自転させながら該定盤に対して移動させるためのキャリア駆動機構と、
を備え、前記研磨機用キャリアの運動の間に前記貫通孔に挿入されたワークが前記狭窄部を支点として揺動することにより該ワークの端面が球面研磨されるものであることを特徴とする。
【００１３】
更に、上記課題を解決するために成された本発明に係る研磨方法は、
対向して配置された、それぞれの対向面を平行にした状態で一方が他方に対して回転するように駆動されている上下定盤の間で、１又は複数の貫通孔に柱状のワークが挿入された研磨機用キャリアであって、該貫通孔の内部に、ワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有する研磨機用キャリアを自転させながら該定盤に対して移動させて、該狭窄部を支点としてワークを揺動させることにより、該ワークの端面を球面研磨することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る研磨機、研磨機用キャリア及び研磨方法によれば、内部に狭窄部を有する貫通孔に柱状のワークが挿入された研磨機用キャリアが、互いに回転する上下定盤の間で自転しながら定盤に対して複雑な運動を行うことにより、貫通孔に挿入されたワークが狭窄部を支点として不規則に揺動する。この揺動により、ワークの端面が満遍なく定盤と擦り合わされ、該端面がほぼ球面に研磨される。
【００１５】
研磨されるワーク端面の曲率半径は、狭窄部からワーク端面までの距離によりほぼ定まる。従って、その距離を小さくすることにより、小さな曲率半径の端面研磨も容易となる。そのため、１枚の研磨機用キャリアに多数の貫通孔を設け、それぞれの貫通孔に短いワークを挿入しておけば、各ワークの端面を小さい曲率半径で一度に研磨することができる。
ワークはワックス等で固定する必要がなく貫通孔に挿入するだけでよい。端面はワークの主軸を中心として球面研磨されるため、ワークのセットに神経を使う必要がなく、短時間で容易にセットすることができる。また、ワークの研磨後の長さは上下定盤間の距離により定まるため、上記のように多数のワークを一度に研磨するときでも、各ワークの長さはほぼ一定となる
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例１に係る研磨機用キャリアを説明する図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図２】狭窄部を有する貫通孔の形成方法の一例を示す図。
【図３】実施例１に係る研磨機用キャリアの分解斜視図。
【図４】実施例１に係る研磨機用キャリアを説明する図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は貫通孔付近を切り出した断面斜視図である。
【図５】貫通孔にワークを挿入した状態を説明する図であり、（ａ）はワークが直立しているときの縦断面図、（ｂ）はワークが傾斜しているときの縦断面図である。
【図６】直立したワークを傾斜させたときのワークの側面図。
【図７】貫通孔内でワークが揺動する様子を示す縦断面図。
【図８】実施例１に係る研磨機において上定盤を持ち上げた状態を示す斜視図。
【図９】実施例１に係る研磨方法を説明する図であり、（ａ）はレーザ結晶基板の斜視図、（ｂ）は切断されたレーザ結晶基板の斜視図、（ｃ）は切り出されたワークの斜視図である。
【図１０】貫通孔内でのワークの揺動を説明する図であり、（ａ）はワークが直立しているときの縦断面図、（ｂ）はワークが揺動しているときの縦断面図、（ｃ）は研磨後の縦断面図である。
【図１１】実施例２に係る研磨方法を説明する図であり、（ａ）は貼り合わせ前のレーザ結晶基板の斜視図、（ｂ）は切断されたレーザ結晶基板の斜視図、（ｃ）は研磨前のワークの側面図、（ｄ）は研磨後のワークの側面図、（ｅ）はワークを分離して形成したレーザ素子の側面図である。
【図１２】貫通孔内でのワークの揺動の変形例を説明する図であり、（ａ）はワークが揺動しているときの縦断面図、（ｂ）は研磨後の縦断面図である。
【図１３】オスカー式研磨機の主要部の概略構成を示す図。
【図１４】オスカー式研磨機の主要部の概略構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面に基づき、本発明に係る研磨機、研磨機用キャリア及び研磨方法の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１に本発明の第１の実施例に係る研磨機用キャリア１０の平面図（ａ）及び断面図（ｂ）を示す。研磨機用キャリア１０は外周にギア１１を備えた円板であり、柱状のワークを挿入するための貫通孔１２を有する。貫通孔１２の個数は任意であるが、ここでは12個とする。貫通孔１２の内部には、その開口部１２１よりも狭まっており、ワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部１２２を設ける。本実施例では狭窄部１２２は貫通孔１２の深さ方向の中央に形成する。
【００１９】
図２に、狭窄部１２２を有する貫通孔１２の形成方法の一例を示す。この例では１枚の円板を加工することにより、狭窄部１２２を有する貫通孔１２を作製する。まず所定の厚さの円板１０Ａに機械加工等で狭窄部１２２と一致する内径の貫通孔１２Ａを空け（図２（ａ））、次にその貫通孔１２Ａの両側から開口部１２１と一致する内径の座ぐり１２Ｂを加工する（図２（ｂ））。これにより、２つの座ぐり１２Ｂの底面間が狭窄部１２２となる。
【００２０】
狭窄部１２２を有する貫通孔１２は図３に示すように３枚の円板を用いて形成することもできる。この方法では、機械加工やエッチング等で狭窄部１２２と一致する内径の開口を空けた中間円板１４と、開口部１２１と一致する内径の開口を空けた２枚の外側円板１３を用意し、中間円板１４と外側円板１３の各開口の中心が一致するように中間円板１４の両面に外側円板１３を接着等で固定する。これにより、図４に示すような三層構造の研磨機用キャリア１０が得られる。この方法は精密な機械加工を必要としないため、研磨機用キャリアが薄い場合に適している。
【００２１】
外側円板１３及び中間円板１４の材料は機械的強度や耐摩耗性、加工の容易さ等を考慮して決めればよく、例えばステンレス等の金属や、エポキシ・塩ビ等のプラスチック等を用いることができる。
本実施例では外周のギアを外側円板１３と中間円板１４のいずれにも形成することで、ギア１１側面の表面積をできる限り広くし、ギアの機械的強度や耐摩耗性を高めているが、ギアを一部の円板のみに形成することで加工コストを抑えてもよい。
【００２２】
狭窄部１２２の高さや内径は次のように設定する。図５に、貫通孔１２にワーク３０を挿入したときの縦断面図を示す。ここでは、ワーク３０は長さＬ、直径Ｄの円柱とし、狭窄部１２２は高さｔ、内径（Ｄ＋２ｄ）とする。ｄは図５（ａ）に示すように狭窄部１２２の開口の中央にワーク３０を配置したときに狭窄部１２２とワーク３０側面との間に形成される隙間の大きさである。
図６に、直立したワーク３０をその下端面の縁の或る点を支点Ｐとして傾斜させたときのワーク３０の側面図を示す。ワーク３０は、支点Ｐを通る鉛直線上に重心Ｏがあるとき（図６（ｂ））を分岐点として、それよりも傾きが小さければ直立した状態に戻ろうとし（図６（ａ））、それよりも傾きが大きければ横に倒れようとする（図６（ｃ））。ワーク３０にはこのような重力（の分力）よりも大きな摩擦力が上下定盤から与えられるが、端面全域をより満遍なく研磨するためには、ワーク３０が図６（ａ）に示す状態であることが望ましい。ワーク３０の最大傾斜は、ワーク３０の上下端が開口部により規制される場合と、ワーク３０の中央部が狭窄部１２２により規制される場合の２つの場合があり得る。いずれの場合にせよ、ワーク３０の長さＬ、径Ｄに応じて開口部１２１の長さ及び内径、又は狭窄部１２２の高さ及び内径を適切に定めることにより、ワークの最大傾斜が図６（ｂ）となるようにしておくことが望ましい。図６（ｂ）の場合、その傾斜角θは次のように計算される。
θ＝tan−１(Ｄ／Ｌ)
狭窄部１２２でワーク３０の中央部を規制する場合、この最大傾斜角θと狭窄部１２２の高さｔ、隙間ｄの関係は次のように表すことができる。
ｔ＝２ｄ／tanθ−(Ｄ／tanθ)・((１／cosθ)−１)
ｄ＝(ｔ／２)・tanθ＋(Ｄ／２)・((１／cosθ)−１)
例えば、ワーク３０の長さＬが2mm、直径Ｄが1mmであるとすると、ワーク３０及び狭窄部１２２の加工精度等を考慮してまず隙間ｄを0.15mm（２ｄ＝0.3mm）と設定し、それから狭窄部１２２の高さｔが0.36mmと決定される。同様に隙間ｄを0.15mmとする場合、狭窄部１２２の高さｔはワーク３０の長さＬが3mm、直径Ｄが1mmであれば0.74mm、ワーク３０の長さＬが5mm、直径Ｄが2mmであれば0.36mmとなる。
【００２３】
ワーク３０の最大傾斜は、図７に示すように開口部１２１により規制するようにしてもよい。これにより、研磨時に狭窄部１２２の縁に加わる力が軽減され、狭窄部１２２の早期摩耗が防止される。
【００２４】
図８に、上記研磨機用キャリア１０が上定盤２１と下定盤２２の間に配置された研磨機２０の斜視図を示す。この図は、上定盤２１を持ち上げた状態を示す。上定盤２１及び下定盤２２は中央に円形の開口を有する円板であって互いに対向している。上定盤２１の上面には各定盤の対向面（研磨面）に研磨剤を流し込むための周方向及び放射方向の流路２１１と、中央の開口の縁から中心方向に伸びる２本のフック２１２を設ける。
下定盤２２の上には研磨機用キャリア１０を載置する。図８では代表して３枚の研磨機用キャリア１０を図示したが、実際はそれ以外の研磨機用キャリア１０も下定盤２２上に回転対称に配置し、上定盤２１からの荷重が各研磨機用キャリア１０内のワーク３０に偏りなく加わるようにすることが望ましい。
【００２５】
上下定盤の外周側には内側にギアを有するリング状のインターナルギア２３を配置し、上下定盤の中心側には外側にギアを有するリング状のエクスターナルギア２４を配置する。これらのギアは研磨機用キャリア１０のギア１１に噛み合う。
エクスターナルギア２４の中心側には、上面の縁にフック２１２と係合させるための切込２５１が設けられた上定盤駆動部２５を配置する。上定盤２１はこの上定盤駆動部２５により回転駆動される。また、下定盤２２、インターナルギア２３及びエクスターナルギア２４もモータ等の駆動機構により回転駆動される。
【００２６】
以下、上記研磨機用キャリア１０及び研磨機２０を用いたレーザ素子の研磨方法について説明する。まず結晶軸方向に直交する面で切り出されたレーザ結晶基板３１（図９（ａ））をダイシングソー等で格子状に切断し（図９（ｂ））、多数の柱状のレーザ素子（ワーク３０）を切り出す。ワーク３０は一般的には円柱状であることが望ましいが、狭窄部１２２が円状であれば、図９（ｃ）に示すような角柱であってもかまわない。逆に、ワーク３０が円柱状であれば、狭窄部１２２は多角形でもかまわない。
レーザ結晶基板３１の代わりにレーザ結晶基板と非線形光学結晶基板の接合板を用い、その接合板からレーザ結晶と非線形光学結晶が接合したモノリシックレーザ素子を切り出してもよい。
【００２７】
次に、切り出されたワーク３０を図８に示した研磨機２０上の研磨機用キャリア１０の貫通孔１２に挿入し、それらの上に上定盤２１を載せる。そして、上定盤２１の流路２１１から定盤間に研磨剤を供給しつつ、上定盤２１と下定盤２２をそれぞれの対向面を平行にした状態で互いに逆方向に回転駆動させる。また、インターナルギア２３及びエクスターナルギア２４を異なる回転速度で回転させて、研磨機用キャリア１０を定盤間で自転させながら公転（遊星運動）させる。
【００２８】
このときの貫通孔１２内のワーク３０の様子を図１０に示す。貫通孔１２に挿入されたワーク３０（図１０（ａ））は、上述した上下定盤及び研磨機用キャリア１０の回転により、貫通孔１２内で狭窄部１２２を支点として不規則に揺動する（図１０（ｂ））。この揺動によりワーク３０の両端面は満遍なく上下定盤と擦れ合い、これにより端面が球面に研磨される（図１０（ｃ））。
このとき、研磨されたワーク端面の曲率半径は狭窄部１２２からその端面までの距離にほぼ一致する。本実施例では狭窄部１２２が貫通孔１２の深さ方向の中央に設けられており、かつ、キャリア１０が上下定盤間の中央に配置されているため、両端面の曲率半径は同じになる。
【実施例２】
【００２９】
図１１は本発明の第２の実施例に係る研磨方法を説明する図である。本実施例に係る研磨方法では次のようにして作製されたワーク４０を、実施例１と同じ研磨機用キャリア１０及び研磨機２０を用いて研磨する。
【００３０】
まず２枚のレーザ結晶基板４１（図１１（ａ））をワックス等で貼り合わせて一体化する。その一体となった接合板４２を、ダイシングソー等を用いて接合面に交差する面で格子状に切断し（図１１（ｂ））、接合部４４を有する柱状のワーク４０を切り出す（図１１（ｃ））。そのワーク４０を実施例１と同様に研磨機２０にセットし、その両端面を球面研磨する（図１１（ｄ））。
【００３１】
研磨終了後、ワーク４０を研磨機用キャリア１０から取り出し、ワーク４０の接合部４４にて分離する（図１１（ｅ））。これにより、一面のみが球面研磨された被研磨物であるレーザ素子４３を得ることができる。
【００３２】
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で適宜変更が許容される。例えば、ワークの両端面を異なる曲率で研磨するために、図１２に示すように、狭窄部１２２を貫通孔１２の深さ方向の中央からずれた位置に設けてもよい。ワーク３０の端面の曲率半径は狭窄部１２２からその端面までの距離により定まるため、この例では一方の端面では曲率半径が大きく、他方の端面では小さくなる（図１２（ｂ））。またこの方法と実施例２に示した２枚の基板を貼り合わせる方法を組み合わせれば、一端面の曲率半径が異なる２種類の被研磨物を一度の研磨で作製することができる。
【００３３】
被研磨物に所定の長さのダミー部材を固定し、被研磨物とダミー部材からなる柱状のワークの端面を球面研磨してもよい。これにより被研磨物の一面の曲率半径をダミー部材の長さによって調節することができる。また、被研磨物が貫通穴内で揺動しにくいような形状、例えば扁平である場合などに、被研磨物に所定の長さのダミー部材を固定し、被研磨物とダミー部材からなるワークを貫通穴内で揺動させれば、単体では球面研磨しにくい被研磨物の一面を容易に球面研磨することができる。
【００３４】
上下定盤間での研磨機用キャリアの運動は、貫通穴内でワークを不規則に揺動させることができるものあればよく、上記した遊星運動の他にも、例えば自転させながら定盤に対して不規則に揺動させるようなものでもよい。
【００３５】
ワークの大きさに応じて研磨機用キャリアの厚さや貫通孔の径等を適宜選択すれば、レーザ素子のような小型のワークに限らず、比較的大きなワークを研磨することもできる。
【符号の説明】
【００３６】
１０…研磨機用キャリア
１１…ギア
１２…貫通孔
１２１…開口部
１２２…狭窄部
１３…外側円板
１４…中間円板
１５…外側円板
２０…研磨機
２１…上定盤
２１１…流路
２１２…フック
２２…下定盤
２３…インターナルギア
２４…エクスターナルギア
２５…上定盤駆動部
２５１…切込
３０、４０、５１、５８…ワーク
３１、４１…レーザ結晶基板
４２…接合板
４３…レーザ素子
４４…接合部
５０…オスカー式研磨機
５２…固定皿
５２１…回転軸
５３…研磨皿
５４…研磨パッド
５５…揺動アーム
５６…カンザシ
５７…固定皿
【特許請求の範囲】
【請求項１】
柱状のワークを挿入するための１又は複数の貫通孔を有し、対向して配置された、それぞれの対向面を平行にした状態で一方が他方に対して回転するように駆動される上下定盤の間で自転しながら該定盤に対して移動する研磨機用キャリアであって、
前記貫通孔の内部に、挿入されたワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有し、前記運動の間に該貫通孔に挿入されたワークが該狭窄部を支点として揺動することにより該ワークの端面が球面研磨されるものであることを特徴とする研磨機用キャリア。
【請求項２】
前記研磨機用キャリアが、
a)前記狭窄部を有する中間円板と、
b)前記中間円板の両面に固定され、前記狭窄部に対応する位置に該狭窄部よりも大きい内径の開口を有する外側円板と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の研磨機用キャリア。
【請求項３】
柱状のワークの両端面を同じ曲率で研磨するために、前記狭窄部が前記貫通孔の深さ方向の中央に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨機用キャリア。
【請求項４】
柱状のワークの両端面を異なる曲率で研磨するために、前記狭窄部が前記貫通孔の深さ方向の中央からずれた位置に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨機用キャリア。
【請求項５】
a)対向して配置された、それぞれの対向面が平行である上下定盤と、
b)前記上下定盤を一方が他方に対して回転するように駆動させるための定盤駆動機構と、
c)柱状のワークを挿入するための１又は複数の貫通孔を有し、該貫通孔の内部に、挿入されたワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有する研磨機用キャリアと、
d)前記研磨機用キャリアを前記上下定盤の間で自転させながら該定盤に対して移動させるためのキャリア駆動機構と、
を備え、前記研磨機用キャリアの運動の間に、前記貫通孔に挿入されたワークが前記狭窄部を支点として揺動することにより該ワークの端面が球面研磨されるものであることを特徴とする研磨機。
【請求項６】
１又は複数の貫通孔に柱状のワークが挿入された研磨機用キャリアであって、該貫通孔の内部に、ワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有する研磨機用キャリアを、対向して配置された、それぞれの対向面を平行にした状態で一方が他方に対して回転するように駆動されている上下定盤の間で、自転させながら該定盤に対して移動させ、該狭窄部を支点としてワークを揺動させることにより、該ワークの端面を球面研磨することを特徴とする研磨方法。
【請求項７】
複数の基板を貼り合わせた接合板をその接合面に交差する面で切断することにより作製された、接合部を有する柱状のワークを前記貫通孔に挿入し、ワークに対して前記球面研磨を行った後、ワークをその接合部にて分離することにより、一面のみ球面研磨された被研磨物を形成することを特徴とする請求項６に記載の研磨方法。
【請求項１】
柱状のワークを挿入するための１又は複数の貫通孔を有し、対向して配置された、それぞれの対向面を平行にした状態で一方が他方に対して回転するように駆動される上下定盤の間で自転しながら該定盤に対して移動する研磨機用キャリアであって、
前記貫通孔の内部に、挿入されたワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有し、前記運動の間に該貫通孔に挿入されたワークが該狭窄部を支点として揺動することにより該ワークの端面が球面研磨されるものであることを特徴とする研磨機用キャリア。
【請求項２】
前記研磨機用キャリアが、
a)前記狭窄部を有する中間円板と、
b)前記中間円板の両面に固定され、前記狭窄部に対応する位置に該狭窄部よりも大きい内径の開口を有する外側円板と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の研磨機用キャリア。
【請求項３】
柱状のワークの両端面を同じ曲率で研磨するために、前記狭窄部が前記貫通孔の深さ方向の中央に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨機用キャリア。
【請求項４】
柱状のワークの両端面を異なる曲率で研磨するために、前記狭窄部が前記貫通孔の深さ方向の中央からずれた位置に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨機用キャリア。
【請求項５】
a)対向して配置された、それぞれの対向面が平行である上下定盤と、
b)前記上下定盤を一方が他方に対して回転するように駆動させるための定盤駆動機構と、
c)柱状のワークを挿入するための１又は複数の貫通孔を有し、該貫通孔の内部に、挿入されたワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有する研磨機用キャリアと、
d)前記研磨機用キャリアを前記上下定盤の間で自転させながら該定盤に対して移動させるためのキャリア駆動機構と、
を備え、前記研磨機用キャリアの運動の間に、前記貫通孔に挿入されたワークが前記狭窄部を支点として揺動することにより該ワークの端面が球面研磨されるものであることを特徴とする研磨機。
【請求項６】
１又は複数の貫通孔に柱状のワークが挿入された研磨機用キャリアであって、該貫通孔の内部に、ワークの側面との間に所定の隙間が形成されるような内径の狭窄部を有する研磨機用キャリアを、対向して配置された、それぞれの対向面を平行にした状態で一方が他方に対して回転するように駆動されている上下定盤の間で、自転させながら該定盤に対して移動させ、該狭窄部を支点としてワークを揺動させることにより、該ワークの端面を球面研磨することを特徴とする研磨方法。
【請求項７】
複数の基板を貼り合わせた接合板をその接合面に交差する面で切断することにより作製された、接合部を有する柱状のワークを前記貫通孔に挿入し、ワークに対して前記球面研磨を行った後、ワークをその接合部にて分離することにより、一面のみ球面研磨された被研磨物を形成することを特徴とする請求項６に記載の研磨方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１０−１７３０４９（Ｐ２０１０−１７３０４９Ａ）
【公開日】平成２２年８月１２日（２０１０．８．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２１３７２（Ｐ２００９−２１３７２）
【出願日】平成２１年２月２日（２００９．２．２）
【出願人】（０００００１９９３）株式会社島津製作所 (3,708)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年８月１２日（２０１０．８．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年２月２日（２００９．２．２）
【出願人】（０００００１９９３）株式会社島津製作所 (3,708)
【Ｆターム（参考）】
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