試料ホルダ及びこれに用いられる樹脂フィルム
【課題】試料が、球体や円筒体や丸頭ネジのような半球部を持つものなどの、転がり易いものであっても、その試料の蛍光Ｘ線分析を安定して精度良く行う。
【解決手段】試料ホルダ１は、球体の試料１００が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から試料１００に照射される載置部としての樹脂フィルム１１と、樹脂フィルム１１が張設されるように樹脂フィルム１１の周辺部を支持する筒状の支持体１２と、を備えている。樹脂フィルム１１には、その中央部に、試料１００の転がりを防止する転がり防止部としての凹部１１ａが形成される。
【解決手段】試料ホルダ１は、球体の試料１００が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から試料１００に照射される載置部としての樹脂フィルム１１と、樹脂フィルム１１が張設されるように樹脂フィルム１１の周辺部を支持する筒状の支持体１２と、を備えている。樹脂フィルム１１には、その中央部に、試料１００の転がりを防止する転がり防止部としての凹部１１ａが形成される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料ホルダ及びこれに用いられる樹脂フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＥＵ等からＲｏＨＳ指令など、含有物質に関する規制があり、含有物質分析の必要性が高まっている。
【０００３】
含有物質分析に用いる装置の一つに蛍光Ｘ線分析装置がある。蛍光Ｘ線分析装置には、励起Ｘ線を試料の上面に照射する上面照射方式の他に、励起Ｘ線を試料の下面に照射する下面照射方式の装置がある（下記特許文献１等）。
【０００４】
下面照射方式の蛍光Ｘ線分析装置では、例えば、下記特許文献１に開示されているように、ベース板の下方に斜め上向きにＸ線管及び検出器が配置されている。ベース板には、Ｘ線管からの励起Ｘ線及び試料からの蛍光Ｘ線を通過させるための開口である照射窓が形成されている。試料が照射窓よりも大きい場合には、試料が照射窓を跨るようにベース板上に直接に置かれた状態で、励起Ｘ線がＸ線管から照射窓を介して試料に照射され、試料からの蛍光Ｘ線が照射窓を介して検出器によって検出され、蛍光Ｘ線分析が行われる。
【０００５】
一方、下面照射方式の蛍光Ｘ線分析装置において、試料が照射窓よりも小さい場合には、筒状の支持体の底面にポリプロピレン等の樹脂フィルムを張設した構成を持つ試料ホルダが用いられる。このような試料ホルダは、市販されている。試料ホルダの樹脂フィルム上に金属やプラスチック等の試料を載置し、この試料ホルダをベース板上に置く。このとき、試料ホルダは、筒状の支持体がベース板における照射窓の周囲に位置して、試料ホルダの樹脂フィルムが照射窓を覆うように、配置される。この状態で、励起Ｘ線がＸ線管から照射窓及び樹脂フィルムを介して試料に照射され、試料からの蛍光Ｘ線が樹脂フィルム及び照射窓を介して検出器によって検出され、蛍光Ｘ線分析が行われる。その際、試料を試料ホルダの中心（すなわち、樹脂フィルムの中心）に置くとともに試料ホルダの中心を照射窓の所定位置（通常は、照射窓の中心）に一致させることと、試料の下面（実質的に、樹脂フィルムの下面）を設定基準平面（通常は、ベース板の上面を含む平面）に一致させることが、精度良く蛍光Ｘ線分析を行うために重要である。
【特許文献１】特開２０００−１６２１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、前記従来の試料ホルダは、筒状の支持体の底面に、凹凸のない樹脂フィルムを張設したものであるため、樹脂フィルムは完全な平面をなしている。したがって、試料が、球体や円筒体や丸頭ネジのような半球状の頭部を持つものなどの、転がり易い形態を持つものである場合、試料を樹脂フィルムの中心に置こうとしても、試料が樹脂フィルムの中心で安定して留まることなく、試料が転がって支持体に当接する樹脂フィルムの周辺部へ移動してその位置で安定して留まってしまう。その状態で、試料が前記照射窓の中心に位置するように試料ホルダをベース板上に置くと、筒状の支持体の影響が生じてしまうため、その試料の蛍光Ｘ線分析を精度良く行うことはできない。
【０００７】
したがって、下面照射方式の蛍光Ｘ線分析装置において用いられる前記従来の試料ホルダでは、試料が球体や円筒体や丸頭ネジのような半球部を持つものなどの、転がり易いものである場合、その試料の蛍光Ｘ線分析を安定して精度良く行うことができなかった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、試料が、球体や円筒体や丸頭ネジのような半球部を持つものなどの、転がり易いものであっても、その試料の蛍光Ｘ線分析を安定して精度良く行うことができる試料ホルダ、及びこれに用いられる樹脂フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明の第１の態様による試料ホルダは、試料を載置し、Ｘ線が下側から前記試料に照射される載置部と、前記載置部に形成された前記試料の転がりを防止する転がり防止部とを有するものである。
【００１０】
本発明の第２の態様による試料ホルダは、前記第１の態様において、前記載置部が樹脂フィルムであり、前記転がり防止部が前記樹脂フィルムの中央部に形成された凹部であるものである。
【００１１】
本発明の第３の態様による試料ホルダは、前記第２の態様において、前記樹脂フィルムが張設されるように前記樹脂フィルムの周辺部を支持する筒状の支持体を、備えたものである。
【００１２】
本発明の第４の態様による試料ホルダは、前記第３の態様において、前記支持体は、前記樹脂フィルムの前記凹部の下端が前記支持体の下端面と同一高さに位置するように、前記樹脂フィルムの周辺部を支持するものである。
【００１３】
本発明の第５の態様による試料ホルダは、前記第３又は第４の態様において、前記支持体は、互いの少なくとも一部同士が前記樹脂フィルムの周辺部を挟んで嵌合することで前記樹脂フィルムを支持するものである。
【００１４】
本発明の第６の態様による試料ホルダは、前記第１の態様において、前記載置部が板状部材であり、前記転がり防止部が前記板状部材の上面側に形成された凹部であるものである。
【００１５】
本発明の第７の態様による試料ホルダは、前記第１の態様において、前記載置部が樹脂フィルムであり、前記転がり防止部が前記樹脂フィルムの上面に付着された凸部材であるものである。
【００１６】
本発明の第８の態様による樹脂フィルムは、周辺部が支持されて張設され蛍光Ｘ線分析対象の試料が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から前記試料に照射される樹脂フィルムであって、中央部に凹部が形成されたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、試料が、球体や円筒体や丸頭ネジのような半球部を持つものなどの、転がり易いものであっても、その試料の蛍光Ｘ線分析を安定して精度良く行うことができる試料ホルダ、及びこれに用いられる樹脂フィルムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明による試料ホルダ及びこれに用いられる樹脂フィルムについて、図面を参照して説明する。
【００１９】
［第１の実施の形態］
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施の形態による試料ホルダ１を下面照射方式の蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図である。図１では、蛍光Ｘ線分析装置３０については、その要部のみを示している。
【００２１】
この蛍光Ｘ線分析装置３０では、チャンバ３１の内部に、斜め上向きにＸ線管３３及び検出器３４が配設されている。チャンバ３１の上部壁は、試料ホルダ１（照射窓３６よりも大きい試料の場合は当該試料）を載置するためのベース板３２となっている。チャンバ３１の側壁面には、図示しない真空ポンプに接続された排気口３５が設けられている。ベース板３２には、励起Ｘ線及び蛍光Ｘ線を通過させるための照射窓（円形開口）３６と、チャンバ３１の内部と下記カバーケース４０の内部とを連通させるための連通口３７とが開口している。Ｘ線管３３及び検出器３４は、試料１００の下部がベース板３２の上面の高さ位置Ｐと同一の高さ位置にあるとともに、水平方向において試料１００が照射窓３６の中心にあるときに、蛍光Ｘ線分析の精度が高まるように設置されている。
【００２２】
ベース板３２の上方には、側周壁が円筒形状に形成されるとともに上部端面が閉塞されたカバーケース４０が、図示しない移動機構により上下方向に移動自在に設けられている。このカバーケース４０の下端部は、外側に屈曲してフランジ４１を形成している。フランジ４１の下面には、全周に亘ってＯリング（図示せず）が取り付けられている。このため、図１に示すようにフランジ４１の下面がベース板３２の上面に押し付けられる位置までカバーケース４０が下降されると、カバーケース４０内部は、照射窓３６及び連通口３７を除いて気密に保たれる。
【００２３】
試料１００を分析する場合には、カバーケース４０を引き上げ、図１に示すように、試料１００を保持した試料ホルダ１を照射窓３６を閉塞するようにベース板２上に載置し、その後、カバーケース４０を図１に示す位置まで下降させる。連通口３７を介してチャンバ３１の内部とカバーケース４０の内部とは連なっているから、必要に応じて真空ポンプを作動させて排気口３５から排気を行うと、チャンバ３１の内部及びカバーケース４０の内部は共に真空になる。これにより、空気中の成分が一部波長の蛍光Ｘ線を吸収しその検出を妨害することを防止できる。特にリン又はイオウよりも原子量が小さな、いわゆる軽い元素では蛍光Ｘ線の吸収の影響が大きいので、分析時に真空排気することが好ましい。一方、いわゆる重い元素ではその影響が比較的軽微であるため、必ずしも真空排気を必要としない。
【００２４】
その後、Ｘ線管３３から発したＸ線を照射窓３６を通して更に試料ホルダ１の樹脂フィルム１１を介して試料１００の下面に照射し、その照射部位から放出された蛍光Ｘ線を検出器３４によって検出する。
【００２５】
次に、図１の他に図２乃至図４を参照して、本実施の形態による試料ホルダ１について、詳細に説明する。図２は、図１中のＡ−Ａ’矢視図である。ただし、図２は、試料ホルダ１及び試料１００のみを示している。図３は組立前の樹脂フィルム１１を示す図であり、図３（ａ）はその平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）中のＢ−Ｂ’線に沿った断面図である。図４は、試料ホルダ１の組立前の分解断面図である。なお、図１では断面のみを示しているが、図４では、理解を容易にするため、支持体本体１３及び押さえ部材１４については、断面の奥側の形状も合わせて示している。
【００２６】
本実施の形態による試料ホルダ１は、蛍光Ｘ線分析対象の試料１００が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から試料１００に照射される載置部としての樹脂フィルム１１と、樹脂フィルム１１が張設されるように樹脂フィルム１１の周辺部を支持する筒状の支持体１２と、を備えている。本例では、試料１００は球体となっている。
【００２７】
樹脂フィルム１１としては、例えば、厚さ数ミクロンのポリエステル、ポリプロピレン等のフィルムを用いることができる。そして、樹脂フィルム１１には、その中央部に、試料１００の転がりを防止する転がり防止部としての凹部１１ａが形成されている。本実施の形態では、凹部１１ａは、図１に示すように、試料１００に合わせた曲率を有している。勿論、凹部１１ａの形状や大きさ等は、保持しようとする試料に合わせて、その試料１００の転がりを防止するのに適するように設定する。
【００２８】
本実施の形態では、樹脂フィルム１１は、図３及び図４に示すように、組立前に、平面視で円形状に構成され、その中央部に予め凹部１１ａが形成されている。凹部１１ａの形成手法としては、樹脂フィルムに凹部を形成する種々の公知の手法を採用することができる。例えば、特開平１１−１７１１０８号公報の段落［００１０］，［００１４］〜［００２０］等に記載されている手法と同様に、ポリプロピレンやポリエチレン等の凹凸のないフラット状のフィルムをヒータで加熱した後にメインドラムと成形ドラムとの間の成形部に供給し、メインドラムと成形ドラムとによって挟んで熱成形することによって凹部１１ａを形成し、その後、個々の樹脂フィルム１１に切り分ければよい。このとき、メインドラムの外周面には凹部１１ａに対応する複数のポケット（凹部）を形成しておき、それらの各凹部の底部には真空吸引穴を形成し、各凹部内を負圧にできるようにしておく。また、成形ドラムの外周面には、メインドラムの各ポケットに対応させて空気噴射口を形成しておき、空気噴射口に圧縮空気を供給できるようにしておく。ヒータで加熱されたフラット状のフィルムが、前記成形部において、前記空気噴射口から供給された圧縮空気と前記真空吸引穴から加えられた負圧とによって、前記ポケットに密着するように成形され、これにより、前記凹部１１ａが形成される。
【００２９】
本実施の形態では、支持体１２は、第１の部材としての支持体本体１３と、第２の部材としての押さえ部材１４とから構成されている。支持体本体１３及び押さえ部材１４は、回転体として構成されており、例えば、ポリエチレン等の樹脂で構成されている。支持体本体１３は、外周にリング状突起１３ａを有する筒体として構成されている。押さえ部材１４は、内周の径が相対的に大きい上側の薄肉部１４ａと、内周の径が相対的に小さい下側の厚肉部１４ｂとを有し、それらの間に段差１４ｃが形成されている。薄肉部１４ａの内周の径は、支持体本体１３におけるリング状突起１３ａよりも下側部分が、樹脂フィルム１１を介して薄肉部１４ａの内側に嵌合するように、設定されている。薄肉部１４ａの高さは、支持体本体１３のリング状突起１３ａが樹脂フィルム１１を介して薄肉部１４ａの上端に当接したときに、支持体本体１３の下端から段差１４ｃまでの寸法が樹脂フィルム１１の厚さよりもわずかに広くなるように、設定されている。図面表記の便宜上、これにより段差１４ｃの付近に生ずるわずかな隙間は、図１では省略している。そして、本実施の形態では、図４に示すように支持体本体１３と押さえ部材１４との間に樹脂フィルム１１の周辺部を挟んで嵌合させることで、図１に示すように樹脂フィルム１１が張設されて試料ホルダ１が組み立てられている。本実施の形態では、このとき、樹脂フィルム１１の凹部１１ａの下端が支持体１２の下端面（すなわち、押さえ部材１４の下端面）と同一高さに位置するように、押さえ部材１４の厚肉部１４ｂの高さが設定されている。
【００３０】
試料１００の蛍光Ｘ線分析を行う場合には、試料１００を試料ホルダ１の樹脂フィルム１１の中央部に載置する。このとき、本実施の形態による試料ホルダ１では、試料１００が載置される載置部である樹脂フィルム１１の中央部に凹部１１ａが形成されているので、試料１００が転がり易い球体であるにも拘わらず、試料１００が凹部１１ａに係合して試料１００が樹脂フィルム１１の中央部に安定して保持される。そして、このように試料１００が保持された試料ホルダ１は、ベース板３２上に置かれる。このとき、試料ホルダ１は、図１に示すように、筒状の支持体１２がベース板３２の照射窓３６の周囲に位置して、樹脂フィルム１１がベース板３２の照射窓３６を覆うように配置され、しかも、試料ホルダ１の水平方向の中心が照射窓３６の中心と一致するように配置される。
【００３１】
このように、本実施の形態による試料ホルダ１を用いることで、試料１００を樹脂フィルム１１の中央部に安定して保持することができるとともに、試料１００をベース板３２の照射窓３６の水平方向の中心に配置することができる。また、本実施の形態による試料ホルダ１では、樹脂フィルム１１の凹部１１ａの下端が支持体１２の下端面と同一高さに位置するので、試料１００の下端が実質的に、試料１００の下部がベース板３２の上面の高さ位置Ｐと同一の高さに位置することになる。したがって、本実施の形態による試料ホルダ１を用いることで、転がり易い球体の試料１００の蛍光Ｘ線分析を、安定して精度良く行うことができる。
【００３２】
ここで、本実施の形態による試料ホルダ１と比較される比較例による試料ホルダ２０について、図５及び図６を参照して説明する。この比較例による試料ホルダ２０は、従来の試料ホルダに相当している。図５は、この比較例による試料ホルダ２０を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１に対応している。図６は、この比較例による試料ホルダ２０の組立前の分解断面図であり、図４に対応している。図５において、図１中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００３３】
この比較例による試料ホルダ２０は、凹凸のない樹脂フィルム２１と、樹脂フィルム２１が張設されるように樹脂フィルム２１の周辺部を支持する筒状の支持体２２と、を備えている。支持体２２は、支持体本体２３と、押さえ部材２４とから構成されている。支持体本体２３は、外周にリング状突起２３ａを有する筒体として構成されている。押さえ部材２４は単なる筒体として構成され、その内周の径は、支持体本体２３におけるリング状突起２３ａよりも下側部分が、樹脂フィルム１１を介して押さえ部材２４の内側に嵌合するように、設定されている。この比較例では、図６に示すように支持体本体２３と押さえ部材２４との間に樹脂フィルム２１の周辺部を挟んで嵌合させることで、図５に示すように樹脂フィルム２１が張設されて試料ホルダ２０が組み立てられている。この試料ホルダ２０では、樹脂フィルム２１は、筒状の支持体２２の底面をなすように張設されている。
【００３４】
この比較例による試料ホルダ２０では、図５に示すように、筒状の支持体２２の底面において、樹脂フィルム２１が完全な平面をなし、樹脂フィルム２１には凹部は形成されていない。したがって、球体の試料１００を樹脂フィルム２１上に載置すると、試料１００を図５中の破線で示すように樹脂フィルム２１の中心に置こうとしても、試料１００が樹脂フィルム２１の中心で安定して留まることなく、図５中の実線で示すように、試料１００が転がって支持体２２に当接する樹脂フィルム２１の周辺部へ移動してその位置で安定して留まってしまう。したがって、図５に示すように、試料ホルダ２０の中心を照射窓３６の中心と一致させたままとすれば、試料１００の蛍光Ｘ線分析の精度は著しく低下してしまう。そこで、試料ホルダ２０の水平方向の位置をずらして、試料１００が照射窓３６の中心に位置するように試料ホルダ２０をベース板上に置く。しかし、この場合には、筒状の支持体２２の影響が生じてしまうため、結局、その試料１００の蛍光Ｘ線分析を精度良く行うことはできない。
【００３５】
これに対し、本実施の形態による試料ホルダ１を用いれば、前述したように、樹脂フィルム１１の中央部に凹部１１ａが形成されていることなどによって、転がり易い球体の試料１００の蛍光Ｘ線分析を、安定して精度良く行うことができるのである。
【００３６】
なお、本実施の形態による試料ホルダ１を得るに際し、前述した例では、樹脂フィルム１１には、組立前に、凹部１１ａが予め形成されている。しかしながら、図４に示すように組み立てるときに、図３に示すような予め凹部１１ａが形成された樹脂フィルム１１に代えて、図６に示すような凹部１１ａが形成されていない樹脂フィルムを用いて、それらの組立を行い、その組立後に、樹脂フィルムの中央部に例えば押し棒で加圧することで、簡易的に、凹部１１ａを形成することが可能である。このようにして、本実施の形態による試料ホルダ１を製造することも可能である。
【００３７】
［第２の実施の形態］
【００３８】
図７は、本発明の第２の実施の形態による試料ホルダ５１を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１に対応している。図７において、図１中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００３９】
本実施の形態による試料ホルダ５１が前記第１の実施の形態による試料ホルダ１と異なる所は、球体の試料１００の代わりに、半球状の頭部１０１ａを有する丸頭ねじである試料１０１に適するように変更されている点のみである。すなわち、本実施の形態では、樹脂フィルム１１の中央部の凹部１１ａの形状及び大きさは、試料１０１の頭部１０１ａに合わせて設定され、これに伴い、押さえ部材１４の厚肉部１４ｂの高さも変更されている。
【００４０】
本実施の形態による試料ホルダ５１を用いれば、図７に示すように、頭部１０１ａを下にして試料１０１を立てた状態で安定して保持することができる。したがって、本実施の形態による丸頭ねじである試料１０１の蛍光Ｘ線分析を、安定して精度良く行うことができる。図５に示す比較例による試料ホルダ２０を用いると、樹脂フィルム２１上において頭部１０１ａを下にして試料１０１を立てようとしても、試料１０１が転がって倒れてしまい、試料１０１を樹脂フィルム２１の中央部に安定して保持することができず、試料１０１の蛍光Ｘ線分析を、安定して精度良く行うことは、不可能である。
【００４１】
［第３の実施の形態］
【００４２】
図８は、本発明の第３の実施の形態による試料ホルダ６１を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１に対応している。図９は、試料ホルダ６１の組立前の分解断面図であり、図４に対応している。図８及び図９において、図１及び図４中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００４３】
本実施の形態による試料ホルダ６１が前記第１の実施の形態による試料ホルダ１と異なる所は、押さえ部材１４に代えて、上側の内周の径が徐々に大きくなるように側壁が傾斜した押さえ部材６４が用いられている点のみである。
【００４４】
本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。また、本実施の形態による試料ホルダ６１では、前記第１の実施の形態による試料ホルダ１と比べて、支持体本体１３と押さえ部材６４との間に挟持される樹脂フィルム１１の領域が少なくなるので、樹脂フィルム１１の交換等に際して、支持体本体１３と試料ホルダ６１との嵌合を外して分解し易くなるという利点も得られる。
【００４５】
［第４の実施の形態］
【００４６】
図１０は、本発明の第４の実施の形態による試料ホルダ７１を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１に対応している。図１０において、図１中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００４７】
本実施の形態による試料ホルダ７１は、蛍光Ｘ線分析対象の試料１００が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から試料１００に照射される載置部としての板状部材７２で構成され、、板状部材７２の中央部の上面側には、試料１００の転がりを防止する転がり防止部としての凹部７２ａが形成されている。板状部材７２は、例えば、ポリエチレン等の樹脂で構成することができる。
【００４８】
本実施の形態による試料ホルダ７１によっても、板状部材７２の上面側に凹部７２ａが形成されているので、試料１００が転がり易い球体であるにも拘わらず、試料１００が凹部７２ａに係合して試料１００が板状部材７２の中央部に安定して保持される。したがって、本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。
【００４９】
［第５の実施の形態］
【００５０】
図１１は、本発明の第５の実施の形態による試料ホルダ８１を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１及び図５に対応している。図１１において、図１及び図５中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００５１】
本実施の形態による試料ホルダ８１が前述した図５に示す比較例による試料ホルダ２０と異なる所は、樹脂フィルム２１の上面に、試料１００の転がりを防止する転がり防止部として、凸部材（樹脂フィルム２１の上面に対して凸をなす部材）であるリング部材８２が規制物質の含有のない接着剤等により付着されている点のみである。リング部材８２は、例えば、ポリエチレン等の樹脂で構成することができる。
【００５２】
本実施の形態による試料ホルダ８１によっても、樹脂フィルム２１の上面にリング部材８２が付着されているので、試料１００が転がり易い球体であるにも拘わらず、試料１００がリング部材８２に係合して試料１００が樹脂フィルム２１の中央部に安定して保持される。したがって、本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。
【００５３】
なお、転がり防止部として、樹脂フィルム２１の上面に、試料１００の転がりを防止する転がり防止部として、リング部材８２に代えて、平面視で１２０゜ずつの３箇所において凸部材を離散的に付着してもよい。
【００５４】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではない。例えば、試料は円筒体などでもよく、その場合には、図１中の凹部１１ａの形状及び大きさは、その試料の形状及び大きさに合わせて適宜変更すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第１の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図２】図２は、図１中のＡ−Ａ’矢視図である。
【図３】図１に示す試料ホルダにおいて使用される組立前の樹脂フィルムを示す図である。
【図４】図１に示す試料ホルダの組立前の分解断面図である。
【図５】比較例による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図６】図５に示す試料ホルダの組立前の分解断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図９】図８に示す試料ホルダの組立前の分解断面図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１，５１，６１，７１，８１ 試料ホルダ
１１ 樹脂フィルム
１１ａ 凹部
１２ 筒状の支持体
１３ 支持体本体
１４ 押さえ部材
３０ 蛍光Ｘ線分析装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料ホルダ及びこれに用いられる樹脂フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＥＵ等からＲｏＨＳ指令など、含有物質に関する規制があり、含有物質分析の必要性が高まっている。
【０００３】
含有物質分析に用いる装置の一つに蛍光Ｘ線分析装置がある。蛍光Ｘ線分析装置には、励起Ｘ線を試料の上面に照射する上面照射方式の他に、励起Ｘ線を試料の下面に照射する下面照射方式の装置がある（下記特許文献１等）。
【０００４】
下面照射方式の蛍光Ｘ線分析装置では、例えば、下記特許文献１に開示されているように、ベース板の下方に斜め上向きにＸ線管及び検出器が配置されている。ベース板には、Ｘ線管からの励起Ｘ線及び試料からの蛍光Ｘ線を通過させるための開口である照射窓が形成されている。試料が照射窓よりも大きい場合には、試料が照射窓を跨るようにベース板上に直接に置かれた状態で、励起Ｘ線がＸ線管から照射窓を介して試料に照射され、試料からの蛍光Ｘ線が照射窓を介して検出器によって検出され、蛍光Ｘ線分析が行われる。
【０００５】
一方、下面照射方式の蛍光Ｘ線分析装置において、試料が照射窓よりも小さい場合には、筒状の支持体の底面にポリプロピレン等の樹脂フィルムを張設した構成を持つ試料ホルダが用いられる。このような試料ホルダは、市販されている。試料ホルダの樹脂フィルム上に金属やプラスチック等の試料を載置し、この試料ホルダをベース板上に置く。このとき、試料ホルダは、筒状の支持体がベース板における照射窓の周囲に位置して、試料ホルダの樹脂フィルムが照射窓を覆うように、配置される。この状態で、励起Ｘ線がＸ線管から照射窓及び樹脂フィルムを介して試料に照射され、試料からの蛍光Ｘ線が樹脂フィルム及び照射窓を介して検出器によって検出され、蛍光Ｘ線分析が行われる。その際、試料を試料ホルダの中心（すなわち、樹脂フィルムの中心）に置くとともに試料ホルダの中心を照射窓の所定位置（通常は、照射窓の中心）に一致させることと、試料の下面（実質的に、樹脂フィルムの下面）を設定基準平面（通常は、ベース板の上面を含む平面）に一致させることが、精度良く蛍光Ｘ線分析を行うために重要である。
【特許文献１】特開２０００−１６２１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、前記従来の試料ホルダは、筒状の支持体の底面に、凹凸のない樹脂フィルムを張設したものであるため、樹脂フィルムは完全な平面をなしている。したがって、試料が、球体や円筒体や丸頭ネジのような半球状の頭部を持つものなどの、転がり易い形態を持つものである場合、試料を樹脂フィルムの中心に置こうとしても、試料が樹脂フィルムの中心で安定して留まることなく、試料が転がって支持体に当接する樹脂フィルムの周辺部へ移動してその位置で安定して留まってしまう。その状態で、試料が前記照射窓の中心に位置するように試料ホルダをベース板上に置くと、筒状の支持体の影響が生じてしまうため、その試料の蛍光Ｘ線分析を精度良く行うことはできない。
【０００７】
したがって、下面照射方式の蛍光Ｘ線分析装置において用いられる前記従来の試料ホルダでは、試料が球体や円筒体や丸頭ネジのような半球部を持つものなどの、転がり易いものである場合、その試料の蛍光Ｘ線分析を安定して精度良く行うことができなかった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、試料が、球体や円筒体や丸頭ネジのような半球部を持つものなどの、転がり易いものであっても、その試料の蛍光Ｘ線分析を安定して精度良く行うことができる試料ホルダ、及びこれに用いられる樹脂フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明の第１の態様による試料ホルダは、試料を載置し、Ｘ線が下側から前記試料に照射される載置部と、前記載置部に形成された前記試料の転がりを防止する転がり防止部とを有するものである。
【００１０】
本発明の第２の態様による試料ホルダは、前記第１の態様において、前記載置部が樹脂フィルムであり、前記転がり防止部が前記樹脂フィルムの中央部に形成された凹部であるものである。
【００１１】
本発明の第３の態様による試料ホルダは、前記第２の態様において、前記樹脂フィルムが張設されるように前記樹脂フィルムの周辺部を支持する筒状の支持体を、備えたものである。
【００１２】
本発明の第４の態様による試料ホルダは、前記第３の態様において、前記支持体は、前記樹脂フィルムの前記凹部の下端が前記支持体の下端面と同一高さに位置するように、前記樹脂フィルムの周辺部を支持するものである。
【００１３】
本発明の第５の態様による試料ホルダは、前記第３又は第４の態様において、前記支持体は、互いの少なくとも一部同士が前記樹脂フィルムの周辺部を挟んで嵌合することで前記樹脂フィルムを支持するものである。
【００１４】
本発明の第６の態様による試料ホルダは、前記第１の態様において、前記載置部が板状部材であり、前記転がり防止部が前記板状部材の上面側に形成された凹部であるものである。
【００１５】
本発明の第７の態様による試料ホルダは、前記第１の態様において、前記載置部が樹脂フィルムであり、前記転がり防止部が前記樹脂フィルムの上面に付着された凸部材であるものである。
【００１６】
本発明の第８の態様による樹脂フィルムは、周辺部が支持されて張設され蛍光Ｘ線分析対象の試料が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から前記試料に照射される樹脂フィルムであって、中央部に凹部が形成されたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、試料が、球体や円筒体や丸頭ネジのような半球部を持つものなどの、転がり易いものであっても、その試料の蛍光Ｘ線分析を安定して精度良く行うことができる試料ホルダ、及びこれに用いられる樹脂フィルムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明による試料ホルダ及びこれに用いられる樹脂フィルムについて、図面を参照して説明する。
【００１９】
［第１の実施の形態］
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施の形態による試料ホルダ１を下面照射方式の蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図である。図１では、蛍光Ｘ線分析装置３０については、その要部のみを示している。
【００２１】
この蛍光Ｘ線分析装置３０では、チャンバ３１の内部に、斜め上向きにＸ線管３３及び検出器３４が配設されている。チャンバ３１の上部壁は、試料ホルダ１（照射窓３６よりも大きい試料の場合は当該試料）を載置するためのベース板３２となっている。チャンバ３１の側壁面には、図示しない真空ポンプに接続された排気口３５が設けられている。ベース板３２には、励起Ｘ線及び蛍光Ｘ線を通過させるための照射窓（円形開口）３６と、チャンバ３１の内部と下記カバーケース４０の内部とを連通させるための連通口３７とが開口している。Ｘ線管３３及び検出器３４は、試料１００の下部がベース板３２の上面の高さ位置Ｐと同一の高さ位置にあるとともに、水平方向において試料１００が照射窓３６の中心にあるときに、蛍光Ｘ線分析の精度が高まるように設置されている。
【００２２】
ベース板３２の上方には、側周壁が円筒形状に形成されるとともに上部端面が閉塞されたカバーケース４０が、図示しない移動機構により上下方向に移動自在に設けられている。このカバーケース４０の下端部は、外側に屈曲してフランジ４１を形成している。フランジ４１の下面には、全周に亘ってＯリング（図示せず）が取り付けられている。このため、図１に示すようにフランジ４１の下面がベース板３２の上面に押し付けられる位置までカバーケース４０が下降されると、カバーケース４０内部は、照射窓３６及び連通口３７を除いて気密に保たれる。
【００２３】
試料１００を分析する場合には、カバーケース４０を引き上げ、図１に示すように、試料１００を保持した試料ホルダ１を照射窓３６を閉塞するようにベース板２上に載置し、その後、カバーケース４０を図１に示す位置まで下降させる。連通口３７を介してチャンバ３１の内部とカバーケース４０の内部とは連なっているから、必要に応じて真空ポンプを作動させて排気口３５から排気を行うと、チャンバ３１の内部及びカバーケース４０の内部は共に真空になる。これにより、空気中の成分が一部波長の蛍光Ｘ線を吸収しその検出を妨害することを防止できる。特にリン又はイオウよりも原子量が小さな、いわゆる軽い元素では蛍光Ｘ線の吸収の影響が大きいので、分析時に真空排気することが好ましい。一方、いわゆる重い元素ではその影響が比較的軽微であるため、必ずしも真空排気を必要としない。
【００２４】
その後、Ｘ線管３３から発したＸ線を照射窓３６を通して更に試料ホルダ１の樹脂フィルム１１を介して試料１００の下面に照射し、その照射部位から放出された蛍光Ｘ線を検出器３４によって検出する。
【００２５】
次に、図１の他に図２乃至図４を参照して、本実施の形態による試料ホルダ１について、詳細に説明する。図２は、図１中のＡ−Ａ’矢視図である。ただし、図２は、試料ホルダ１及び試料１００のみを示している。図３は組立前の樹脂フィルム１１を示す図であり、図３（ａ）はその平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）中のＢ−Ｂ’線に沿った断面図である。図４は、試料ホルダ１の組立前の分解断面図である。なお、図１では断面のみを示しているが、図４では、理解を容易にするため、支持体本体１３及び押さえ部材１４については、断面の奥側の形状も合わせて示している。
【００２６】
本実施の形態による試料ホルダ１は、蛍光Ｘ線分析対象の試料１００が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から試料１００に照射される載置部としての樹脂フィルム１１と、樹脂フィルム１１が張設されるように樹脂フィルム１１の周辺部を支持する筒状の支持体１２と、を備えている。本例では、試料１００は球体となっている。
【００２７】
樹脂フィルム１１としては、例えば、厚さ数ミクロンのポリエステル、ポリプロピレン等のフィルムを用いることができる。そして、樹脂フィルム１１には、その中央部に、試料１００の転がりを防止する転がり防止部としての凹部１１ａが形成されている。本実施の形態では、凹部１１ａは、図１に示すように、試料１００に合わせた曲率を有している。勿論、凹部１１ａの形状や大きさ等は、保持しようとする試料に合わせて、その試料１００の転がりを防止するのに適するように設定する。
【００２８】
本実施の形態では、樹脂フィルム１１は、図３及び図４に示すように、組立前に、平面視で円形状に構成され、その中央部に予め凹部１１ａが形成されている。凹部１１ａの形成手法としては、樹脂フィルムに凹部を形成する種々の公知の手法を採用することができる。例えば、特開平１１−１７１１０８号公報の段落［００１０］，［００１４］〜［００２０］等に記載されている手法と同様に、ポリプロピレンやポリエチレン等の凹凸のないフラット状のフィルムをヒータで加熱した後にメインドラムと成形ドラムとの間の成形部に供給し、メインドラムと成形ドラムとによって挟んで熱成形することによって凹部１１ａを形成し、その後、個々の樹脂フィルム１１に切り分ければよい。このとき、メインドラムの外周面には凹部１１ａに対応する複数のポケット（凹部）を形成しておき、それらの各凹部の底部には真空吸引穴を形成し、各凹部内を負圧にできるようにしておく。また、成形ドラムの外周面には、メインドラムの各ポケットに対応させて空気噴射口を形成しておき、空気噴射口に圧縮空気を供給できるようにしておく。ヒータで加熱されたフラット状のフィルムが、前記成形部において、前記空気噴射口から供給された圧縮空気と前記真空吸引穴から加えられた負圧とによって、前記ポケットに密着するように成形され、これにより、前記凹部１１ａが形成される。
【００２９】
本実施の形態では、支持体１２は、第１の部材としての支持体本体１３と、第２の部材としての押さえ部材１４とから構成されている。支持体本体１３及び押さえ部材１４は、回転体として構成されており、例えば、ポリエチレン等の樹脂で構成されている。支持体本体１３は、外周にリング状突起１３ａを有する筒体として構成されている。押さえ部材１４は、内周の径が相対的に大きい上側の薄肉部１４ａと、内周の径が相対的に小さい下側の厚肉部１４ｂとを有し、それらの間に段差１４ｃが形成されている。薄肉部１４ａの内周の径は、支持体本体１３におけるリング状突起１３ａよりも下側部分が、樹脂フィルム１１を介して薄肉部１４ａの内側に嵌合するように、設定されている。薄肉部１４ａの高さは、支持体本体１３のリング状突起１３ａが樹脂フィルム１１を介して薄肉部１４ａの上端に当接したときに、支持体本体１３の下端から段差１４ｃまでの寸法が樹脂フィルム１１の厚さよりもわずかに広くなるように、設定されている。図面表記の便宜上、これにより段差１４ｃの付近に生ずるわずかな隙間は、図１では省略している。そして、本実施の形態では、図４に示すように支持体本体１３と押さえ部材１４との間に樹脂フィルム１１の周辺部を挟んで嵌合させることで、図１に示すように樹脂フィルム１１が張設されて試料ホルダ１が組み立てられている。本実施の形態では、このとき、樹脂フィルム１１の凹部１１ａの下端が支持体１２の下端面（すなわち、押さえ部材１４の下端面）と同一高さに位置するように、押さえ部材１４の厚肉部１４ｂの高さが設定されている。
【００３０】
試料１００の蛍光Ｘ線分析を行う場合には、試料１００を試料ホルダ１の樹脂フィルム１１の中央部に載置する。このとき、本実施の形態による試料ホルダ１では、試料１００が載置される載置部である樹脂フィルム１１の中央部に凹部１１ａが形成されているので、試料１００が転がり易い球体であるにも拘わらず、試料１００が凹部１１ａに係合して試料１００が樹脂フィルム１１の中央部に安定して保持される。そして、このように試料１００が保持された試料ホルダ１は、ベース板３２上に置かれる。このとき、試料ホルダ１は、図１に示すように、筒状の支持体１２がベース板３２の照射窓３６の周囲に位置して、樹脂フィルム１１がベース板３２の照射窓３６を覆うように配置され、しかも、試料ホルダ１の水平方向の中心が照射窓３６の中心と一致するように配置される。
【００３１】
このように、本実施の形態による試料ホルダ１を用いることで、試料１００を樹脂フィルム１１の中央部に安定して保持することができるとともに、試料１００をベース板３２の照射窓３６の水平方向の中心に配置することができる。また、本実施の形態による試料ホルダ１では、樹脂フィルム１１の凹部１１ａの下端が支持体１２の下端面と同一高さに位置するので、試料１００の下端が実質的に、試料１００の下部がベース板３２の上面の高さ位置Ｐと同一の高さに位置することになる。したがって、本実施の形態による試料ホルダ１を用いることで、転がり易い球体の試料１００の蛍光Ｘ線分析を、安定して精度良く行うことができる。
【００３２】
ここで、本実施の形態による試料ホルダ１と比較される比較例による試料ホルダ２０について、図５及び図６を参照して説明する。この比較例による試料ホルダ２０は、従来の試料ホルダに相当している。図５は、この比較例による試料ホルダ２０を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１に対応している。図６は、この比較例による試料ホルダ２０の組立前の分解断面図であり、図４に対応している。図５において、図１中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００３３】
この比較例による試料ホルダ２０は、凹凸のない樹脂フィルム２１と、樹脂フィルム２１が張設されるように樹脂フィルム２１の周辺部を支持する筒状の支持体２２と、を備えている。支持体２２は、支持体本体２３と、押さえ部材２４とから構成されている。支持体本体２３は、外周にリング状突起２３ａを有する筒体として構成されている。押さえ部材２４は単なる筒体として構成され、その内周の径は、支持体本体２３におけるリング状突起２３ａよりも下側部分が、樹脂フィルム１１を介して押さえ部材２４の内側に嵌合するように、設定されている。この比較例では、図６に示すように支持体本体２３と押さえ部材２４との間に樹脂フィルム２１の周辺部を挟んで嵌合させることで、図５に示すように樹脂フィルム２１が張設されて試料ホルダ２０が組み立てられている。この試料ホルダ２０では、樹脂フィルム２１は、筒状の支持体２２の底面をなすように張設されている。
【００３４】
この比較例による試料ホルダ２０では、図５に示すように、筒状の支持体２２の底面において、樹脂フィルム２１が完全な平面をなし、樹脂フィルム２１には凹部は形成されていない。したがって、球体の試料１００を樹脂フィルム２１上に載置すると、試料１００を図５中の破線で示すように樹脂フィルム２１の中心に置こうとしても、試料１００が樹脂フィルム２１の中心で安定して留まることなく、図５中の実線で示すように、試料１００が転がって支持体２２に当接する樹脂フィルム２１の周辺部へ移動してその位置で安定して留まってしまう。したがって、図５に示すように、試料ホルダ２０の中心を照射窓３６の中心と一致させたままとすれば、試料１００の蛍光Ｘ線分析の精度は著しく低下してしまう。そこで、試料ホルダ２０の水平方向の位置をずらして、試料１００が照射窓３６の中心に位置するように試料ホルダ２０をベース板上に置く。しかし、この場合には、筒状の支持体２２の影響が生じてしまうため、結局、その試料１００の蛍光Ｘ線分析を精度良く行うことはできない。
【００３５】
これに対し、本実施の形態による試料ホルダ１を用いれば、前述したように、樹脂フィルム１１の中央部に凹部１１ａが形成されていることなどによって、転がり易い球体の試料１００の蛍光Ｘ線分析を、安定して精度良く行うことができるのである。
【００３６】
なお、本実施の形態による試料ホルダ１を得るに際し、前述した例では、樹脂フィルム１１には、組立前に、凹部１１ａが予め形成されている。しかしながら、図４に示すように組み立てるときに、図３に示すような予め凹部１１ａが形成された樹脂フィルム１１に代えて、図６に示すような凹部１１ａが形成されていない樹脂フィルムを用いて、それらの組立を行い、その組立後に、樹脂フィルムの中央部に例えば押し棒で加圧することで、簡易的に、凹部１１ａを形成することが可能である。このようにして、本実施の形態による試料ホルダ１を製造することも可能である。
【００３７】
［第２の実施の形態］
【００３８】
図７は、本発明の第２の実施の形態による試料ホルダ５１を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１に対応している。図７において、図１中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００３９】
本実施の形態による試料ホルダ５１が前記第１の実施の形態による試料ホルダ１と異なる所は、球体の試料１００の代わりに、半球状の頭部１０１ａを有する丸頭ねじである試料１０１に適するように変更されている点のみである。すなわち、本実施の形態では、樹脂フィルム１１の中央部の凹部１１ａの形状及び大きさは、試料１０１の頭部１０１ａに合わせて設定され、これに伴い、押さえ部材１４の厚肉部１４ｂの高さも変更されている。
【００４０】
本実施の形態による試料ホルダ５１を用いれば、図７に示すように、頭部１０１ａを下にして試料１０１を立てた状態で安定して保持することができる。したがって、本実施の形態による丸頭ねじである試料１０１の蛍光Ｘ線分析を、安定して精度良く行うことができる。図５に示す比較例による試料ホルダ２０を用いると、樹脂フィルム２１上において頭部１０１ａを下にして試料１０１を立てようとしても、試料１０１が転がって倒れてしまい、試料１０１を樹脂フィルム２１の中央部に安定して保持することができず、試料１０１の蛍光Ｘ線分析を、安定して精度良く行うことは、不可能である。
【００４１】
［第３の実施の形態］
【００４２】
図８は、本発明の第３の実施の形態による試料ホルダ６１を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１に対応している。図９は、試料ホルダ６１の組立前の分解断面図であり、図４に対応している。図８及び図９において、図１及び図４中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００４３】
本実施の形態による試料ホルダ６１が前記第１の実施の形態による試料ホルダ１と異なる所は、押さえ部材１４に代えて、上側の内周の径が徐々に大きくなるように側壁が傾斜した押さえ部材６４が用いられている点のみである。
【００４４】
本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。また、本実施の形態による試料ホルダ６１では、前記第１の実施の形態による試料ホルダ１と比べて、支持体本体１３と押さえ部材６４との間に挟持される樹脂フィルム１１の領域が少なくなるので、樹脂フィルム１１の交換等に際して、支持体本体１３と試料ホルダ６１との嵌合を外して分解し易くなるという利点も得られる。
【００４５】
［第４の実施の形態］
【００４６】
図１０は、本発明の第４の実施の形態による試料ホルダ７１を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１に対応している。図１０において、図１中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００４７】
本実施の形態による試料ホルダ７１は、蛍光Ｘ線分析対象の試料１００が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から試料１００に照射される載置部としての板状部材７２で構成され、、板状部材７２の中央部の上面側には、試料１００の転がりを防止する転がり防止部としての凹部７２ａが形成されている。板状部材７２は、例えば、ポリエチレン等の樹脂で構成することができる。
【００４８】
本実施の形態による試料ホルダ７１によっても、板状部材７２の上面側に凹部７２ａが形成されているので、試料１００が転がり易い球体であるにも拘わらず、試料１００が凹部７２ａに係合して試料１００が板状部材７２の中央部に安定して保持される。したがって、本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。
【００４９】
［第５の実施の形態］
【００５０】
図１１は、本発明の第５の実施の形態による試料ホルダ８１を蛍光Ｘ線分析装置３０において使用している状態を、模式的に示す概略断面図であり、図１及び図５に対応している。図１１において、図１及び図５中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。
【００５１】
本実施の形態による試料ホルダ８１が前述した図５に示す比較例による試料ホルダ２０と異なる所は、樹脂フィルム２１の上面に、試料１００の転がりを防止する転がり防止部として、凸部材（樹脂フィルム２１の上面に対して凸をなす部材）であるリング部材８２が規制物質の含有のない接着剤等により付着されている点のみである。リング部材８２は、例えば、ポリエチレン等の樹脂で構成することができる。
【００５２】
本実施の形態による試料ホルダ８１によっても、樹脂フィルム２１の上面にリング部材８２が付着されているので、試料１００が転がり易い球体であるにも拘わらず、試料１００がリング部材８２に係合して試料１００が樹脂フィルム２１の中央部に安定して保持される。したがって、本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。
【００５３】
なお、転がり防止部として、樹脂フィルム２１の上面に、試料１００の転がりを防止する転がり防止部として、リング部材８２に代えて、平面視で１２０゜ずつの３箇所において凸部材を離散的に付着してもよい。
【００５４】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではない。例えば、試料は円筒体などでもよく、その場合には、図１中の凹部１１ａの形状及び大きさは、その試料の形状及び大きさに合わせて適宜変更すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第１の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図２】図２は、図１中のＡ−Ａ’矢視図である。
【図３】図１に示す試料ホルダにおいて使用される組立前の樹脂フィルムを示す図である。
【図４】図１に示す試料ホルダの組立前の分解断面図である。
【図５】比較例による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図６】図５に示す試料ホルダの組立前の分解断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図９】図８に示す試料ホルダの組立前の分解断面図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施の形態による試料ホルダの使用状態を模式的に示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１，５１，６１，７１，８１ 試料ホルダ
１１ 樹脂フィルム
１１ａ 凹部
１２ 筒状の支持体
１３ 支持体本体
１４ 押さえ部材
３０ 蛍光Ｘ線分析装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置し、Ｘ線が下側から前記試料に照射される載置部と、前記載置部に形成された前記試料の転がりを防止する転がり防止部とを有することを特徴とする試料ホルダ。
【請求項２】
前記載置部が樹脂フィルムであり、前記転がり防止部が前記樹脂フィルムの中央部に形成された凹部であることを特徴とする請求項１記載の試料ホルダ。
【請求項３】
前記樹脂フィルムが張設されるように前記樹脂フィルムの周辺部を支持する筒状の支持体を、備えたことを特徴とする請求項２記載の試料ホルダ。
【請求項４】
前記支持体は、前記樹脂フィルムの前記凹部の下端が前記支持体の下端面と同一高さに位置するように、前記樹脂フィルムの周辺部を支持することを特徴とする請求項３記載の試料ホルダ。
【請求項５】
前記支持体は、互いの少なくとも一部同士が前記樹脂フィルムの周辺部を挟んで嵌合することで前記樹脂フィルムを支持する第１及び第２の部材を有することを特徴とする請求項３又は４記載の試料容器。
【請求項６】
前記載置部が板状部材であり、前記転がり防止部が前記板状部材の上面側に形成された凹部であることを特徴とする請求項１記載の試料ホルダ。
【請求項７】
前記載置部が樹脂フィルムであり、前記転がり防止部が前記樹脂フィルムの上面に付着された凸部材であることを特徴とする請求項１記載の試料ホルダ。
【請求項８】
周辺部が支持されて張設され蛍光Ｘ線分析対象の試料が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から前記試料に照射され、中央部に凹部が形成されたことを特徴とする樹脂フィルム。
【請求項１】
試料を載置し、Ｘ線が下側から前記試料に照射される載置部と、前記載置部に形成された前記試料の転がりを防止する転がり防止部とを有することを特徴とする試料ホルダ。
【請求項２】
前記載置部が樹脂フィルムであり、前記転がり防止部が前記樹脂フィルムの中央部に形成された凹部であることを特徴とする請求項１記載の試料ホルダ。
【請求項３】
前記樹脂フィルムが張設されるように前記樹脂フィルムの周辺部を支持する筒状の支持体を、備えたことを特徴とする請求項２記載の試料ホルダ。
【請求項４】
前記支持体は、前記樹脂フィルムの前記凹部の下端が前記支持体の下端面と同一高さに位置するように、前記樹脂フィルムの周辺部を支持することを特徴とする請求項３記載の試料ホルダ。
【請求項５】
前記支持体は、互いの少なくとも一部同士が前記樹脂フィルムの周辺部を挟んで嵌合することで前記樹脂フィルムを支持する第１及び第２の部材を有することを特徴とする請求項３又は４記載の試料容器。
【請求項６】
前記載置部が板状部材であり、前記転がり防止部が前記板状部材の上面側に形成された凹部であることを特徴とする請求項１記載の試料ホルダ。
【請求項７】
前記載置部が樹脂フィルムであり、前記転がり防止部が前記樹脂フィルムの上面に付着された凸部材であることを特徴とする請求項１記載の試料ホルダ。
【請求項８】
周辺部が支持されて張設され蛍光Ｘ線分析対象の試料が上側に載置されて自身を介してＸ線が下側から前記試料に照射され、中央部に凹部が形成されたことを特徴とする樹脂フィルム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００９−３００２９１（Ｐ２００９−３００２９１Ａ）
【公開日】平成２１年１２月２４日（２００９．１２．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１５６１０１（Ｐ２００８−１５６１０１）
【出願日】平成２０年６月１６日（２００８．６．１６）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１２月２４日（２００９．１２．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年６月１６日（２００８．６．１６）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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