走査露光装置
【課題】 記録画像の鮮鋭度を向上させることを可能とする走査露光装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光源１２から射出された緑色（Ｇ）レーザ光８ｂは、音響光学変調素子（ＡＯＭ）２４を通過する際に強度変調され、平面ミラー２６で反射され、ポリゴンミラー２９に照射される。ポリゴンミラー２９は、時計周り方向Ｃに回転しており、Ｇレーザ光８ｂを反射するとともに、Ｇレーザ光８ｂを感光体５の主走査方向Ｘに走査露光する。ＡＯＭ２４は、ＡＯＭドライバ３２によって駆動され、トランスデューサ２４ｂは結晶体２４ａ内に超音波の音波波束を、Ｇレーザ光８ｂの伝搬方向とほぼ垂直な方向Ｐに伝搬させる。Ｇレーザ光８ｂは、音波波束を通過する際に回折され、１次回折光として射出される。音波波束３３の伝搬方向Ｐを仮想的に感光体５上へ投影した投影方向Ｐ″は、主走査方向Ｘに対してほぼ逆向きとなっており、記録画像の鮮鋭度が向上する。
【解決手段】 レーザ光源１２から射出された緑色（Ｇ）レーザ光８ｂは、音響光学変調素子（ＡＯＭ）２４を通過する際に強度変調され、平面ミラー２６で反射され、ポリゴンミラー２９に照射される。ポリゴンミラー２９は、時計周り方向Ｃに回転しており、Ｇレーザ光８ｂを反射するとともに、Ｇレーザ光８ｂを感光体５の主走査方向Ｘに走査露光する。ＡＯＭ２４は、ＡＯＭドライバ３２によって駆動され、トランスデューサ２４ｂは結晶体２４ａ内に超音波の音波波束を、Ｇレーザ光８ｂの伝搬方向とほぼ垂直な方向Ｐに伝搬させる。Ｇレーザ光８ｂは、音波波束を通過する際に回折され、１次回折光として射出される。音波波束３３の伝搬方向Ｐを仮想的に感光体５上へ投影した投影方向Ｐ″は、主走査方向Ｘに対してほぼ逆向きとなっており、記録画像の鮮鋭度が向上する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像濃度に応じて変調されたレーザ光を感光体上に走査露光する走査露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
画像データの記録を行う写真プリンタとして、レーザ光を使用するレーザプリンタが知られている。レーザプリンタでは、シート状の感光体を副走査方向に搬送しながら、これに垂直な主走査方向にレーザ光を走査露光する。感光体には、例えば銀塩感材が使用され、走査露光が行われた感光体には画像が潜像として記録され、現像されることにより画像が顕在化する。
【０００３】
このようなレーザプリンタに用いられる走査露光装置は、赤、緑、青の各色のレーザ光を発生する光源を備えており、カラー画像データに基づいて色ごとにレーザ光を変調し、変調されたレーザ光をポリゴンミラーによって主走査方向に偏向して走査露光を行うとともに、感光体を副走査方向に搬送する。
【０００４】
このような走査露光装置において、例えば、赤色レーザ光及び青色レーザ光の光源には、半導体レーザが用いられ、緑色レーザ光の光源には、半導体レーザ励起型固体レーザに２次高周波発生（ＳＨＧ：Second Harmonic Generation）素子を組み合わせて使用したＳＨＧレーザが用いられる。上記半導体レーザでは、電流を制御したり（強度変調）、デューティを制御したり（パルス幅変調）することで画像濃度に応じた変調が可能であるが、ＳＨＧレーザでは、画像濃度に応じた変調を行うために、音響光学変調素子（ＡＯＭ：Acousto-Optic Modulator）等の外部変調器を使用している（例えば、特許文献１参照）。ＡＯＭは、音響光学回折を用いた光変調器であり、レーザ光に対して垂直方向に超音波を伝搬させ、その超音波の強度を制御することで回折光の強度を変調するものである。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２８１５７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の走査露光装置では、ＡＯＭの超音波を伝搬させる方向についてはなんら考慮されておらず、記録画像は本来達し得る鮮鋭度（シャープネス）が達成されないことがあり、画質低下を招くといった問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、記録画像の鮮鋭度を向上させることを可能とする走査露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の走査露光装置は、第１レーザ光を射出する第１光源と、この第１光源から射出された前記第１レーザ光の伝搬方向とほぼ垂直な方向に超音波を通過させることによって前記第１レーザ光の強度変調を行う音響光学変調素子と、この音響光学変調素子から射出された前記第１レーザ光を偏向して被走査面上の所定方向に走査する偏向器とを備えた走査露光装置において、前記被走査面上へ仮想的に投影された前記超音波の伝搬方向が、前記偏向器による前記第１レーザ光の走査方向に対して逆向きであることを特徴とする。
【０００９】
なお、前記第１光源は、半導体レーザ励起型の固体レーザと、この固体レーザから射出されたレーザ光を波長変換する波長変換素子とからなる光源などを用いる。
【００１０】
また、前記第１レーザ光とは異なる波長の第２レーザ光を射出する第２光源が設けられており、前記偏向器によって前記被走査面上の前記所定方向に走査されることが好ましい。また、前記第２光源は、半導体レーザからなることが好ましい。
【００１１】
また、前記第２レーザ光は、前記第２光源の駆動電流を制御することによって強度変調され、前記被走査面上における前記第２レーザ光のスポット径を、前記第１レーザ光のスポット径より小さくすることが好ましい。
【００１２】
さらに、前記第２レーザ光は、前記第２光源の駆動電流を制御することによって強度変調され、前記被走査面上における前記第２レーザ光のスポット径と前記第１レーザ光のスポット径とをほぼ等しくしたまま、前記第２レーザ光を変調する画像信号パルスのデューティを、前記第１レーザ光を変調する画像信号パルスのデューティより小さくすることも好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の走査露光装置は、被走査面上へ仮想的に投影された超音波の伝搬方向が、偏向器によるレーザ光の走査方向に対してほぼ逆向きとなるようにしたので、被走査面上に走査露光される１画素分の積分光量分布が走査方向に関して狭小化され、記録画像の鮮鋭度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、レーザプリンタ２を示す概略図であり、レーザプリンタ２は、各種画像処理を行う画像処理部３、走査露光装置４、シート状の感光体５を搬送する搬送ローラ６、搬送ローラ６を駆動するモータ７などからなる。画像処理部３には、写真フイルムのフイルム画像をＣＣＤスキャナで読み取ることによって得られた画像データや、デジタルカメラの撮影での撮影によって得られた画像データが入力される。画像処理部３は、入力された画像データに対して補正等の各種画像処理を行って、記録用画像データとして走査露光装置４へ出力する。
【００１５】
走査露光装置４は、詳しくは後述するが、赤、緑、青の各色に対応したレーザ光８ａ〜８ｃを発振する複数のレーザ光源を備えており、画像処理部３から入力された記録用画像データに応じて変調したレーザ光を感光体５に照射するとともに、主走査方向Ｘ（図２参照）に走査露光を行う。感光体５は、シート状であり、赤色（Ｒ）レーザ光８ａに感光する赤色感光層５ａ、緑色（Ｇ）レーザ光８ｂに感光する緑色感光層５ｂ、青色（Ｂ）レーザ光８ｃに感光する青色感光層５ｃが順に支持体５ｄ上に積層されている。
【００１６】
搬送ローラ６は、モータ７によって駆動され、感光体５を主走査方向Ｘと直交する副走査方向Ｙに一定速度で搬送する。このように、感光体５は、副走査方向Ｙ（図２参照）に搬送されながら、走査露光装置４によって主走査方向Ｘに振られたレーザ光８ａ〜８ｃが照射され、１ラインずつ露光が行われる。なお、感光体５は、レーザプリンタ２によって走査露光されて、画像が潜像として各感光層５ａ〜５ｃに記録された後、現像されることにより画像が顕在化される。
【００１７】
図３は、走査露光装置４の構成を示す。走査露光装置４は、レーザ光源１１〜１３を備えている。レーザ光源１１は、例えば波長が６８０ｎｍのＲレーザ光８ａを射出するＲ半導体レーザ１４と、その射出側に配置された集光レンズ１５とからなる。同様に、レーザ光源１３は、例えば波長が４１０ｎｍのＢレーザ光８ｃを射出するＢ半導体レーザ１６と、その射出側に配置された集光レンズ１７とからなる。Ｒ半導体レーザ１４及びＢ半導体レーザ１６の発振を直接オン／オフするとともに、駆動電流を制御することで、Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃはそれぞれ変調される。
【００１８】
レーザ光源１２は、半導体レーザ１８、その射出側に配置された集光レンズ１９、及びレーザ結晶（レーザ活性媒質）２０で構成される半導体レーザ励起型固体レーザ２１と、その射出側に配置された波長変換素子としての２次高周波発生（ＳＨＧ）素子２２とを組み合わせてなるＳＨＧレーザである。半導体レーザ励起型固体レーザ２１は、例えば波長が１０６４ｎｍのレーザ光を射出する。ＳＨＧ素子２２は、半導体レーザ励起型固体レーザ２１から入射されたらレーザ光を半分の波長に変換し、波長が５３２ｎｍのＧレーザ光８ｂを射出する。
【００１９】
レーザ光源１２の射出側には、集光レンズ２３及び、詳しくは後述する、外部変調器としての音響光学変調素子（ＡＯＭ）２４が順に配置されている。レーザ光源１２から射出されたＧレーザ光８ｂは、集光レンズ２３を介してＡＯＭ２４に入射すると音響光学効果が作用して回折が生じ、強度が変調されるとともに回折光として射出される。ＡＯＭ２４から射出された回折光のうち、１次回折光以外の回折光を遮蔽する遮蔽板２５が設けられている。遮蔽板２５によって１次回折光のみが選択的にＡＯＭ２４から射出される。
【００２０】
レーザ光源１１，１３及びＡＯＭ２４の射出側には、平面ミラー２６が配置されており、レーザ光源１１，１３から射出されたＲ及びＢレーザ光８ａ，８ｃ、ＡＯＭ２４の１次回折光として射出されたＧレーザ光８ｂは、平面ミラー２６によって反射される。平面ミラー２６の射出側には、コリメータレンズ２７、シリンドリカルレンズ２８、及びポリゴンミラー（偏向器）２９が順に配置されている。
【００２１】
平面ミラー２６によって反射された各レーザ光８ａ〜８ｃは、コリメータレンズ２７及びシリンドリカルレンズ２８を介してポリゴンミラー２９の反射面上のほぼ同一位置に照射され、反射される。ポリゴンミラー２９は図中Ｃ方向（時計回り方向）にほぼ一定の角速度で回転しており、各レーザ光８ａ〜８ｃを偏向し、感光体５に対して前述の主走査方向Ｘに走査を行う。ポリゴンミラー２９の射出側には、感光体５の露光面（被走査面）上の走査速度を補正するｆθレンズ３０、及び副走査方向Ｙ（図３では紙面に垂直方向）にレンズパワーを持つ面倒れ補正用のシリンドリカルレンズ３１が配置されている。
【００２２】
ＡＯＭ２４は、図４に示すように、音響光学媒質である直方形の結晶体２４ａと、結晶体２４ａの上面に配置されたトランスデューサ２４ｂとによって構成されている。ＡＯＭ２４は、上記Ｇレーザ光８ｂが入射光として結晶体２４ａの一面から入射して、他面へ透過するように走査露光装置４内に配置されている。トランスデューサ２４ｂには、ＡＯＭドライバ３２が接続されており、ＡＯＭドライバ３２は高周波信号をトランスデューサ２４ｂへ入力する。トランスデューサ２４ｂは、入力された高周波信号に応じた周波数（数百ＭＨｚ）の超音波を生成し、この超音波を音波波束３３として結晶体２４ａ内に伝搬させる。この音波波束３３の伝搬方向は、結晶体２４ａ内の矢印Ｐで示された方向であり、Ｇレーザ光８ｂの入射方向とブラッグ条件を満たす角度で交差する。
【００２３】
結晶体２４ａ内で音波波束３３が生成された部分は、その伝搬方向Ｐに沿って屈折率が周期的に変化している。結晶体２４ａ内に入射したＧレーザ光８ｂは、音波波束３３を横切ると、音響光学効果が作用して回折が生じ、上記高周波信号の振幅に応じた強度の回折光として結晶体２４ａから射出される。前述のように、射出された回折光のうち１次回折光のみが遮蔽板２５を通過して平面ミラー２６へ向かう。従って、Ｇレーザ光８ｂは、結晶体２４ａ内で音波波束３３を横切ったときのみ１次回折光として平面ミラー２６へ射出されることとなる。
【００２４】
図５は、ＡＯＭ２４の音波波束３３の伝搬方向Ｐと、感光体５上でのＧレーザ光８ｂの主走査方向Ｘとの関係を簡易的に示した図である。音波波束３３の伝搬方向Ｐ、ポリゴンミラー２９の回転方向Ｃ、及び主走査方向Ｘは同図に示すような関係にある。同図中の矢印Ｐ′は、伝搬方向Ｐが平面ミラー２６で仮想的に反射された方向を示し、同図中の矢印Ｐ″は、この方向Ｐ′がポリゴンミラー２９で仮想的に反射され、感光体５に仮想的に投影された方向を示す。以下、伝搬方向Ｐと主走査方向Ｘとの関係を、投影方向Ｐ″と主走査方向Ｘとの関係によって表す。本実施形態では、伝搬方向Ｐの感光体５上への投影方向Ｐ″が主走査方向Ｘに対してほぼ逆向きになっている。
【００２５】
図６は、ＡＯＭ２４の結晶体２４ａ内において、Ｇレーザ光８ｂを音波波束３３が通過する際の様子を示す図であり、Ｇレーザ光８ｂの伝搬方向に垂直な断面における時間的変化を示す。結晶体２４ａ内に入射したＧレーザ光８ｂは、音波波束３３に重なった部分のみが変調されて１次回折光として射出される。Ｇレーザ光８ｂが部分的に変調され始めてから全てが変調されるまでの変調開始時（ｔ０〜ｔ３）に要される時間τは、音波波束３３の伝搬速度をＶ、Ｇレーザ光８ｂのビーム径をＤとしたとき、τ＝Ｄ／Ｖの関係を満たす。また、変調終了時（ｔ４〜ｔ７）の期間も同様に、時間τが要される。
【００２６】
なお、Ｇレーザ光８ｂのビーム強度が図７に示すようなガウス分布を有するとき、ビーム径Ｄは、例えば、相対強度が１／ｅ2（ｅ：自然対数の底）での分布の広がり（標準偏差σの４倍に相当する変位）と定義される。
【００２７】
ＡＯＭ２４の結晶体２４ａ内で１つの音波波束３３により変調され、１次回折光として射出されたＧレーザ光８ｂのビーム強度は、図８に示すように時間的に変化する。ｔ０からｔ７までの経過時間が１画素当りの露光時間（１０-7〜１０-8ｓｅｃ程度）に相当し、この露光時間は画像信号パルス幅によって決定される。ビーム径Ｄが小さいほど、ビーム強度の立ち上がり及び立ち下がり時の応答時間τは短く、感光体５に投影されるビームの鮮鋭度は向上する。
【００２８】
感光体５の露光面は、ＡＯＭ２４の位置（回折点）と光学的に共役な関係となる位置に配置されているため、ＡＯＭ２４によって変調されたＧレーザ光８ｂは、ビーム形状が等しくそのまま露光面に投影され、露光面でのスポット径はビーム径Ｄにほぼ等しい。１画素分のＧレーザ光８ｂは、図９に示すように、主走査方向Ｘに走査されながら感光体５の露光面に投影される。図５で示したように、音波波束３３の伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが互いに逆向きとなっているため、露光面に投影されたＧレーザ光８ｂの１画素分の投影領域（図９でハッチングを施した領域）は、主走査方向Ｘに関する１画素分の走査幅Ｗ（ほぼ１画素当りの露光時間と主走査方向Ｘの走査速度との積）より狭くなる。これは、変調開始時（ｔ０〜ｔ３）には、Ｇレーザ光８ｂが部分的に変調され始めるとともに、変調部分が主走査方向Ｘの前方側に投影され、変調終了時（ｔ４〜ｔ７）には、変調部分が主走査方向Ｘの後方側に投影されるためである。
【００２９】
図１０は、ある特定条件下において、特定時間ごとに得られるＧレーザ光８ｂのビーム強度分布を、１画素分重ねて示したものである。図１１は、この各時間のビーム強度分布を重ね合わせて得られる１画素分の積分光量分布を示し、感光体５にはこの積分光量分布に基づいた露光が行われる。このように、レーザ光源１２から射出される１画素分のＧレーザ光８ｂは、ＡＯＭ２４での上記変調により、主走査方向Ｘに関する広がりが抑制される。
【００３０】
Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃは、それぞれＲ半導体レーザ１４及びＢ半導体レーザ１６の発振を直接オン／オフするとともに、駆動電流を制御することによって変調（直接変調）され、感光体５の露光面に投影される。露光面での各レーザ光８ａ〜８ｃのスポット径を等しくした場合、Ｇレーザ光８ｂの積分光量分布が主走査方向Ｘに関して狭小化される効果を有するのに対し、Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃは、Ｒ半導体レーザ１４及びＢ半導体レーザ１６が画像信号パルス幅に基づいてオン／オフされることで露光時間の制御が行われるので、Ｒ及びＢの積分光量分布は裾が広く、Ｇレーザ光８ｂのように狭小化されることはない。
【００３１】
このようにＲ，Ｇ，Ｂによって積分光量分布が異なると、カラー画像パターンを感光体５に露光した場合、ＧとＲ，Ｂとの間の積分光量分布の差異に起因して、現像後の色が滲むことがある。これを防止するため、走査露光装置４は、レーザ光源１１，１３に対して、強度変調あるいはパルス幅変調のいずれかを行い、Ｒ及びＢの積分光量分布を補正する。これにより色間差の低減が可能となる。
【００３２】
強度変調の場合には、図１２に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色において画像信号パルスのデューティを等しく保ったまま（Ｔ１＝Ｔ２）、直接変調されるＲレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃのビーム径Ｄ２を、音響光学変調されるＧレーザ光８ｂのビーム径Ｄ１より小さい適宜の値に設定される。これにより、主走査方向Ｘに関するＧの積分光量分布幅ｗ１と、Ｒ，Ｂの積分光量分布幅ｗ２とがほぼ等しくなるように補正される。
【００３３】
パルス幅変調の場合には、図１３に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色においてビーム径を等しく保ったまま（Ｄ１＝Ｄ２）、直接変調されるＲレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃの画像信号パルスのデューティＴ２を、音響光学変調されるＧレーザ光８ｂの画像信号パルスのデューティＴ１より小さい適宜の値に設定される。ここで、レーザ光８ａ〜８ｃの各画像信号パルスの周波数はほぼ等しくしている。これにより、主走査方向Ｘに関するＧの積分光量分布幅ｗ１と、Ｒ，Ｂの積分光量分布幅ｗ２とがほぼ等しくなるように補正される。
【００３４】
次に、図１４に示すように、音波波束３３の伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとを同方向にしたときの特性を、伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが逆方向である上記実施形態との比較例として説明する。伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘが同方向の場合、図１５に示すように、感光体５の露光面に投影されたＧレーザ光８ｂの１画素分の投影領域（図中でハッチングを施した領域）は、１画素分の走査幅Ｗとほぼ同等な広がりを有する。これは、上記実施形態とは逆に、変調開始時（ｔ０〜ｔ３）には変調部分が主走査方向の後方側に投影され、変調終了時（ｔ４〜ｔ７）には変調部分が主走査方向の前方側に投影されるためである。
【００３５】
これにより、図１６に示すように、音波波束３３の伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが同方向の場合は、逆方向の場合と比べ、Ｇレーザ光８ｂの主走査方向Ｘに関する１画素分の積分光量分布は裾が広がる。また、図１７は、感光体５として銀塩感材を用いて１画素分の露光を行い、現像した場合の主走査方向Ｘに関する濃度分布を示す。このように、伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが逆方向の場合は、同方向の場合と比べて、濃度分布が鋭く狭小化していることが分かる。
【００３６】
また、連続した複数画素の走査露光を行ったとき（例えば３００ＤＰＩの解像度とする）、図１８に示すように、伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが逆方向の場合は、同方向の場合と比べて、画素間の光量レンジに１桁程度の差が発生する。図１９は、感光体５として銀塩感材を用いて連続した複数画素の走査露光を行い、現像した場合の記録画像の主走査方向Ｘに関する濃度分布を示す。このように、伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが逆方向の場合は、同方向の場合と比べて、コントラストが高く、鮮鋭度が向上する。
【００３７】
上記実施形態において、Ｇレーザ光８ｂを外部変調器としてのＡＯＭ２４によって音響光学変調を行い、Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃを直接変調するようにしたが、本発明はこれに限られるものではなく、Ｒレーザ光８ａ及び／又はＢレーザ光８ｃをＡＯＭを用いて音響光学変調するようにしてもよい。
【００３８】
また、上記実施形態において、Ｇレーザ光８ｂのレーザ光源１２を半導体レーザ励起型固体レーザとＳＨＧ素子とを組み合わせてなるＳＨＧレーザとし、Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃのレーザ光源１１，１３を半導体レーザとして構成したが、本発明はこれに限られるものではなく、各レーザ光８ａ〜８ｃのレーザ光源として、半導体レーザ、固体レーザ、ガスレーザ等の各種レーザ光源を用いることができる。
【００３９】
さらに、上記実施形態において、Ｒ，Ｇ，Ｂに関する３種類のレーザ光源１１〜１３を用いたが、本発明はこれに限られるものではなく、レーザ光源の数、各レーザ光の波長、及び音響光学変調するレーザ光源などは適宜変更してよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】レーザプリンタの構成を示す概略図である。
【図２】レーザ光の主走査方向及び副走査方向を示す概略図である。
【図３】走査露光装置の構成を示す平面図である。
【図４】音響光学変調素子の構成を示す概略図である。
【図５】音波波束の伝搬方向とレーザ光の主走査方向との関係を簡易的に示す平面図である。
【図６】Ｇレーザ光が音響光学変調素子の音波波束によって変調される様子を説明する図である。
【図７】ビーム径の定義を説明する強度分布図である。
【図８】１画素分のＧレーザ光のビーム強度の時間変化を示す図である。
【図９】１画素分のＧレーザ光の露光面への投影図である。
【図１０】特定時間ごとに得られるＧレーザ光のビーム強度分布を重ねて示した図である。
【図１１】１画素分のＧレーザ光の積分光量分布を示す分布図である。
【図１２】Ｒ及びＢレーザ光の強度変調を説明する図である。
【図１３】Ｒ及びＢレーザ光のパルス変調を説明する図である。
【図１４】音波波束の伝搬方向と主走査方向とを同方向にした比較例を示す平面図である。
【図１５】図１４の比較例における１画素分のＧレーザ光の露光面への投影図である。
【図１６】１画素分のＧレーザ光の積分光量分布に関する本実施形態と比較例との差異を示す分布図である。
【図１７】１画素分の濃度分布に関する本実施形態と比較例との差異を示す分布図である。
【図１８】連続した複数画素分のＧレーザ光の積分光量分布に関する本実施形態と比較例との差異を示す分布図である。
【図１９】連続した複数画素分の濃度分布に関する本実施形態と比較例との差異を示す分布図である。
【符号の説明】
【００４１】
２ レーザプリンタ
３ 画像処理部
４ 走査露光装置
５ 感光体
８ａ 赤色レーザ光（第２レーザ光）
８ｂ 緑色レーザ光（第１レーザ光）
８ｃ 青色レーザ光（第２レーザ光）
１１ レーザ光源（第２光源）
１２ レーザ光源（第１光源）
１３ レーザ光源（第２光源）
１４ 赤色半導体レーザ
１６ 青色半導体レーザ
２１ 半導体レーザ励起型固体レーザ
２２ ２次高周波発生素子（波長変換素子）
２４ 音響光学変調素子
２４ａ 結晶体
２４ｂ トランスデューサ
２９ ポリゴンミラー（偏向器）
３３ 音波波束
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像濃度に応じて変調されたレーザ光を感光体上に走査露光する走査露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
画像データの記録を行う写真プリンタとして、レーザ光を使用するレーザプリンタが知られている。レーザプリンタでは、シート状の感光体を副走査方向に搬送しながら、これに垂直な主走査方向にレーザ光を走査露光する。感光体には、例えば銀塩感材が使用され、走査露光が行われた感光体には画像が潜像として記録され、現像されることにより画像が顕在化する。
【０００３】
このようなレーザプリンタに用いられる走査露光装置は、赤、緑、青の各色のレーザ光を発生する光源を備えており、カラー画像データに基づいて色ごとにレーザ光を変調し、変調されたレーザ光をポリゴンミラーによって主走査方向に偏向して走査露光を行うとともに、感光体を副走査方向に搬送する。
【０００４】
このような走査露光装置において、例えば、赤色レーザ光及び青色レーザ光の光源には、半導体レーザが用いられ、緑色レーザ光の光源には、半導体レーザ励起型固体レーザに２次高周波発生（ＳＨＧ：Second Harmonic Generation）素子を組み合わせて使用したＳＨＧレーザが用いられる。上記半導体レーザでは、電流を制御したり（強度変調）、デューティを制御したり（パルス幅変調）することで画像濃度に応じた変調が可能であるが、ＳＨＧレーザでは、画像濃度に応じた変調を行うために、音響光学変調素子（ＡＯＭ：Acousto-Optic Modulator）等の外部変調器を使用している（例えば、特許文献１参照）。ＡＯＭは、音響光学回折を用いた光変調器であり、レーザ光に対して垂直方向に超音波を伝搬させ、その超音波の強度を制御することで回折光の強度を変調するものである。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２８１５７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の走査露光装置では、ＡＯＭの超音波を伝搬させる方向についてはなんら考慮されておらず、記録画像は本来達し得る鮮鋭度（シャープネス）が達成されないことがあり、画質低下を招くといった問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、記録画像の鮮鋭度を向上させることを可能とする走査露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の走査露光装置は、第１レーザ光を射出する第１光源と、この第１光源から射出された前記第１レーザ光の伝搬方向とほぼ垂直な方向に超音波を通過させることによって前記第１レーザ光の強度変調を行う音響光学変調素子と、この音響光学変調素子から射出された前記第１レーザ光を偏向して被走査面上の所定方向に走査する偏向器とを備えた走査露光装置において、前記被走査面上へ仮想的に投影された前記超音波の伝搬方向が、前記偏向器による前記第１レーザ光の走査方向に対して逆向きであることを特徴とする。
【０００９】
なお、前記第１光源は、半導体レーザ励起型の固体レーザと、この固体レーザから射出されたレーザ光を波長変換する波長変換素子とからなる光源などを用いる。
【００１０】
また、前記第１レーザ光とは異なる波長の第２レーザ光を射出する第２光源が設けられており、前記偏向器によって前記被走査面上の前記所定方向に走査されることが好ましい。また、前記第２光源は、半導体レーザからなることが好ましい。
【００１１】
また、前記第２レーザ光は、前記第２光源の駆動電流を制御することによって強度変調され、前記被走査面上における前記第２レーザ光のスポット径を、前記第１レーザ光のスポット径より小さくすることが好ましい。
【００１２】
さらに、前記第２レーザ光は、前記第２光源の駆動電流を制御することによって強度変調され、前記被走査面上における前記第２レーザ光のスポット径と前記第１レーザ光のスポット径とをほぼ等しくしたまま、前記第２レーザ光を変調する画像信号パルスのデューティを、前記第１レーザ光を変調する画像信号パルスのデューティより小さくすることも好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の走査露光装置は、被走査面上へ仮想的に投影された超音波の伝搬方向が、偏向器によるレーザ光の走査方向に対してほぼ逆向きとなるようにしたので、被走査面上に走査露光される１画素分の積分光量分布が走査方向に関して狭小化され、記録画像の鮮鋭度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、レーザプリンタ２を示す概略図であり、レーザプリンタ２は、各種画像処理を行う画像処理部３、走査露光装置４、シート状の感光体５を搬送する搬送ローラ６、搬送ローラ６を駆動するモータ７などからなる。画像処理部３には、写真フイルムのフイルム画像をＣＣＤスキャナで読み取ることによって得られた画像データや、デジタルカメラの撮影での撮影によって得られた画像データが入力される。画像処理部３は、入力された画像データに対して補正等の各種画像処理を行って、記録用画像データとして走査露光装置４へ出力する。
【００１５】
走査露光装置４は、詳しくは後述するが、赤、緑、青の各色に対応したレーザ光８ａ〜８ｃを発振する複数のレーザ光源を備えており、画像処理部３から入力された記録用画像データに応じて変調したレーザ光を感光体５に照射するとともに、主走査方向Ｘ（図２参照）に走査露光を行う。感光体５は、シート状であり、赤色（Ｒ）レーザ光８ａに感光する赤色感光層５ａ、緑色（Ｇ）レーザ光８ｂに感光する緑色感光層５ｂ、青色（Ｂ）レーザ光８ｃに感光する青色感光層５ｃが順に支持体５ｄ上に積層されている。
【００１６】
搬送ローラ６は、モータ７によって駆動され、感光体５を主走査方向Ｘと直交する副走査方向Ｙに一定速度で搬送する。このように、感光体５は、副走査方向Ｙ（図２参照）に搬送されながら、走査露光装置４によって主走査方向Ｘに振られたレーザ光８ａ〜８ｃが照射され、１ラインずつ露光が行われる。なお、感光体５は、レーザプリンタ２によって走査露光されて、画像が潜像として各感光層５ａ〜５ｃに記録された後、現像されることにより画像が顕在化される。
【００１７】
図３は、走査露光装置４の構成を示す。走査露光装置４は、レーザ光源１１〜１３を備えている。レーザ光源１１は、例えば波長が６８０ｎｍのＲレーザ光８ａを射出するＲ半導体レーザ１４と、その射出側に配置された集光レンズ１５とからなる。同様に、レーザ光源１３は、例えば波長が４１０ｎｍのＢレーザ光８ｃを射出するＢ半導体レーザ１６と、その射出側に配置された集光レンズ１７とからなる。Ｒ半導体レーザ１４及びＢ半導体レーザ１６の発振を直接オン／オフするとともに、駆動電流を制御することで、Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃはそれぞれ変調される。
【００１８】
レーザ光源１２は、半導体レーザ１８、その射出側に配置された集光レンズ１９、及びレーザ結晶（レーザ活性媒質）２０で構成される半導体レーザ励起型固体レーザ２１と、その射出側に配置された波長変換素子としての２次高周波発生（ＳＨＧ）素子２２とを組み合わせてなるＳＨＧレーザである。半導体レーザ励起型固体レーザ２１は、例えば波長が１０６４ｎｍのレーザ光を射出する。ＳＨＧ素子２２は、半導体レーザ励起型固体レーザ２１から入射されたらレーザ光を半分の波長に変換し、波長が５３２ｎｍのＧレーザ光８ｂを射出する。
【００１９】
レーザ光源１２の射出側には、集光レンズ２３及び、詳しくは後述する、外部変調器としての音響光学変調素子（ＡＯＭ）２４が順に配置されている。レーザ光源１２から射出されたＧレーザ光８ｂは、集光レンズ２３を介してＡＯＭ２４に入射すると音響光学効果が作用して回折が生じ、強度が変調されるとともに回折光として射出される。ＡＯＭ２４から射出された回折光のうち、１次回折光以外の回折光を遮蔽する遮蔽板２５が設けられている。遮蔽板２５によって１次回折光のみが選択的にＡＯＭ２４から射出される。
【００２０】
レーザ光源１１，１３及びＡＯＭ２４の射出側には、平面ミラー２６が配置されており、レーザ光源１１，１３から射出されたＲ及びＢレーザ光８ａ，８ｃ、ＡＯＭ２４の１次回折光として射出されたＧレーザ光８ｂは、平面ミラー２６によって反射される。平面ミラー２６の射出側には、コリメータレンズ２７、シリンドリカルレンズ２８、及びポリゴンミラー（偏向器）２９が順に配置されている。
【００２１】
平面ミラー２６によって反射された各レーザ光８ａ〜８ｃは、コリメータレンズ２７及びシリンドリカルレンズ２８を介してポリゴンミラー２９の反射面上のほぼ同一位置に照射され、反射される。ポリゴンミラー２９は図中Ｃ方向（時計回り方向）にほぼ一定の角速度で回転しており、各レーザ光８ａ〜８ｃを偏向し、感光体５に対して前述の主走査方向Ｘに走査を行う。ポリゴンミラー２９の射出側には、感光体５の露光面（被走査面）上の走査速度を補正するｆθレンズ３０、及び副走査方向Ｙ（図３では紙面に垂直方向）にレンズパワーを持つ面倒れ補正用のシリンドリカルレンズ３１が配置されている。
【００２２】
ＡＯＭ２４は、図４に示すように、音響光学媒質である直方形の結晶体２４ａと、結晶体２４ａの上面に配置されたトランスデューサ２４ｂとによって構成されている。ＡＯＭ２４は、上記Ｇレーザ光８ｂが入射光として結晶体２４ａの一面から入射して、他面へ透過するように走査露光装置４内に配置されている。トランスデューサ２４ｂには、ＡＯＭドライバ３２が接続されており、ＡＯＭドライバ３２は高周波信号をトランスデューサ２４ｂへ入力する。トランスデューサ２４ｂは、入力された高周波信号に応じた周波数（数百ＭＨｚ）の超音波を生成し、この超音波を音波波束３３として結晶体２４ａ内に伝搬させる。この音波波束３３の伝搬方向は、結晶体２４ａ内の矢印Ｐで示された方向であり、Ｇレーザ光８ｂの入射方向とブラッグ条件を満たす角度で交差する。
【００２３】
結晶体２４ａ内で音波波束３３が生成された部分は、その伝搬方向Ｐに沿って屈折率が周期的に変化している。結晶体２４ａ内に入射したＧレーザ光８ｂは、音波波束３３を横切ると、音響光学効果が作用して回折が生じ、上記高周波信号の振幅に応じた強度の回折光として結晶体２４ａから射出される。前述のように、射出された回折光のうち１次回折光のみが遮蔽板２５を通過して平面ミラー２６へ向かう。従って、Ｇレーザ光８ｂは、結晶体２４ａ内で音波波束３３を横切ったときのみ１次回折光として平面ミラー２６へ射出されることとなる。
【００２４】
図５は、ＡＯＭ２４の音波波束３３の伝搬方向Ｐと、感光体５上でのＧレーザ光８ｂの主走査方向Ｘとの関係を簡易的に示した図である。音波波束３３の伝搬方向Ｐ、ポリゴンミラー２９の回転方向Ｃ、及び主走査方向Ｘは同図に示すような関係にある。同図中の矢印Ｐ′は、伝搬方向Ｐが平面ミラー２６で仮想的に反射された方向を示し、同図中の矢印Ｐ″は、この方向Ｐ′がポリゴンミラー２９で仮想的に反射され、感光体５に仮想的に投影された方向を示す。以下、伝搬方向Ｐと主走査方向Ｘとの関係を、投影方向Ｐ″と主走査方向Ｘとの関係によって表す。本実施形態では、伝搬方向Ｐの感光体５上への投影方向Ｐ″が主走査方向Ｘに対してほぼ逆向きになっている。
【００２５】
図６は、ＡＯＭ２４の結晶体２４ａ内において、Ｇレーザ光８ｂを音波波束３３が通過する際の様子を示す図であり、Ｇレーザ光８ｂの伝搬方向に垂直な断面における時間的変化を示す。結晶体２４ａ内に入射したＧレーザ光８ｂは、音波波束３３に重なった部分のみが変調されて１次回折光として射出される。Ｇレーザ光８ｂが部分的に変調され始めてから全てが変調されるまでの変調開始時（ｔ０〜ｔ３）に要される時間τは、音波波束３３の伝搬速度をＶ、Ｇレーザ光８ｂのビーム径をＤとしたとき、τ＝Ｄ／Ｖの関係を満たす。また、変調終了時（ｔ４〜ｔ７）の期間も同様に、時間τが要される。
【００２６】
なお、Ｇレーザ光８ｂのビーム強度が図７に示すようなガウス分布を有するとき、ビーム径Ｄは、例えば、相対強度が１／ｅ2（ｅ：自然対数の底）での分布の広がり（標準偏差σの４倍に相当する変位）と定義される。
【００２７】
ＡＯＭ２４の結晶体２４ａ内で１つの音波波束３３により変調され、１次回折光として射出されたＧレーザ光８ｂのビーム強度は、図８に示すように時間的に変化する。ｔ０からｔ７までの経過時間が１画素当りの露光時間（１０-7〜１０-8ｓｅｃ程度）に相当し、この露光時間は画像信号パルス幅によって決定される。ビーム径Ｄが小さいほど、ビーム強度の立ち上がり及び立ち下がり時の応答時間τは短く、感光体５に投影されるビームの鮮鋭度は向上する。
【００２８】
感光体５の露光面は、ＡＯＭ２４の位置（回折点）と光学的に共役な関係となる位置に配置されているため、ＡＯＭ２４によって変調されたＧレーザ光８ｂは、ビーム形状が等しくそのまま露光面に投影され、露光面でのスポット径はビーム径Ｄにほぼ等しい。１画素分のＧレーザ光８ｂは、図９に示すように、主走査方向Ｘに走査されながら感光体５の露光面に投影される。図５で示したように、音波波束３３の伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが互いに逆向きとなっているため、露光面に投影されたＧレーザ光８ｂの１画素分の投影領域（図９でハッチングを施した領域）は、主走査方向Ｘに関する１画素分の走査幅Ｗ（ほぼ１画素当りの露光時間と主走査方向Ｘの走査速度との積）より狭くなる。これは、変調開始時（ｔ０〜ｔ３）には、Ｇレーザ光８ｂが部分的に変調され始めるとともに、変調部分が主走査方向Ｘの前方側に投影され、変調終了時（ｔ４〜ｔ７）には、変調部分が主走査方向Ｘの後方側に投影されるためである。
【００２９】
図１０は、ある特定条件下において、特定時間ごとに得られるＧレーザ光８ｂのビーム強度分布を、１画素分重ねて示したものである。図１１は、この各時間のビーム強度分布を重ね合わせて得られる１画素分の積分光量分布を示し、感光体５にはこの積分光量分布に基づいた露光が行われる。このように、レーザ光源１２から射出される１画素分のＧレーザ光８ｂは、ＡＯＭ２４での上記変調により、主走査方向Ｘに関する広がりが抑制される。
【００３０】
Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃは、それぞれＲ半導体レーザ１４及びＢ半導体レーザ１６の発振を直接オン／オフするとともに、駆動電流を制御することによって変調（直接変調）され、感光体５の露光面に投影される。露光面での各レーザ光８ａ〜８ｃのスポット径を等しくした場合、Ｇレーザ光８ｂの積分光量分布が主走査方向Ｘに関して狭小化される効果を有するのに対し、Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃは、Ｒ半導体レーザ１４及びＢ半導体レーザ１６が画像信号パルス幅に基づいてオン／オフされることで露光時間の制御が行われるので、Ｒ及びＢの積分光量分布は裾が広く、Ｇレーザ光８ｂのように狭小化されることはない。
【００３１】
このようにＲ，Ｇ，Ｂによって積分光量分布が異なると、カラー画像パターンを感光体５に露光した場合、ＧとＲ，Ｂとの間の積分光量分布の差異に起因して、現像後の色が滲むことがある。これを防止するため、走査露光装置４は、レーザ光源１１，１３に対して、強度変調あるいはパルス幅変調のいずれかを行い、Ｒ及びＢの積分光量分布を補正する。これにより色間差の低減が可能となる。
【００３２】
強度変調の場合には、図１２に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色において画像信号パルスのデューティを等しく保ったまま（Ｔ１＝Ｔ２）、直接変調されるＲレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃのビーム径Ｄ２を、音響光学変調されるＧレーザ光８ｂのビーム径Ｄ１より小さい適宜の値に設定される。これにより、主走査方向Ｘに関するＧの積分光量分布幅ｗ１と、Ｒ，Ｂの積分光量分布幅ｗ２とがほぼ等しくなるように補正される。
【００３３】
パルス幅変調の場合には、図１３に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色においてビーム径を等しく保ったまま（Ｄ１＝Ｄ２）、直接変調されるＲレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃの画像信号パルスのデューティＴ２を、音響光学変調されるＧレーザ光８ｂの画像信号パルスのデューティＴ１より小さい適宜の値に設定される。ここで、レーザ光８ａ〜８ｃの各画像信号パルスの周波数はほぼ等しくしている。これにより、主走査方向Ｘに関するＧの積分光量分布幅ｗ１と、Ｒ，Ｂの積分光量分布幅ｗ２とがほぼ等しくなるように補正される。
【００３４】
次に、図１４に示すように、音波波束３３の伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとを同方向にしたときの特性を、伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが逆方向である上記実施形態との比較例として説明する。伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘが同方向の場合、図１５に示すように、感光体５の露光面に投影されたＧレーザ光８ｂの１画素分の投影領域（図中でハッチングを施した領域）は、１画素分の走査幅Ｗとほぼ同等な広がりを有する。これは、上記実施形態とは逆に、変調開始時（ｔ０〜ｔ３）には変調部分が主走査方向の後方側に投影され、変調終了時（ｔ４〜ｔ７）には変調部分が主走査方向の前方側に投影されるためである。
【００３５】
これにより、図１６に示すように、音波波束３３の伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが同方向の場合は、逆方向の場合と比べ、Ｇレーザ光８ｂの主走査方向Ｘに関する１画素分の積分光量分布は裾が広がる。また、図１７は、感光体５として銀塩感材を用いて１画素分の露光を行い、現像した場合の主走査方向Ｘに関する濃度分布を示す。このように、伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが逆方向の場合は、同方向の場合と比べて、濃度分布が鋭く狭小化していることが分かる。
【００３６】
また、連続した複数画素の走査露光を行ったとき（例えば３００ＤＰＩの解像度とする）、図１８に示すように、伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが逆方向の場合は、同方向の場合と比べて、画素間の光量レンジに１桁程度の差が発生する。図１９は、感光体５として銀塩感材を用いて連続した複数画素の走査露光を行い、現像した場合の記録画像の主走査方向Ｘに関する濃度分布を示す。このように、伝搬方向Ｐ（投影方向Ｐ″）と主走査方向Ｘとが逆方向の場合は、同方向の場合と比べて、コントラストが高く、鮮鋭度が向上する。
【００３７】
上記実施形態において、Ｇレーザ光８ｂを外部変調器としてのＡＯＭ２４によって音響光学変調を行い、Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃを直接変調するようにしたが、本発明はこれに限られるものではなく、Ｒレーザ光８ａ及び／又はＢレーザ光８ｃをＡＯＭを用いて音響光学変調するようにしてもよい。
【００３８】
また、上記実施形態において、Ｇレーザ光８ｂのレーザ光源１２を半導体レーザ励起型固体レーザとＳＨＧ素子とを組み合わせてなるＳＨＧレーザとし、Ｒレーザ光８ａ及びＢレーザ光８ｃのレーザ光源１１，１３を半導体レーザとして構成したが、本発明はこれに限られるものではなく、各レーザ光８ａ〜８ｃのレーザ光源として、半導体レーザ、固体レーザ、ガスレーザ等の各種レーザ光源を用いることができる。
【００３９】
さらに、上記実施形態において、Ｒ，Ｇ，Ｂに関する３種類のレーザ光源１１〜１３を用いたが、本発明はこれに限られるものではなく、レーザ光源の数、各レーザ光の波長、及び音響光学変調するレーザ光源などは適宜変更してよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】レーザプリンタの構成を示す概略図である。
【図２】レーザ光の主走査方向及び副走査方向を示す概略図である。
【図３】走査露光装置の構成を示す平面図である。
【図４】音響光学変調素子の構成を示す概略図である。
【図５】音波波束の伝搬方向とレーザ光の主走査方向との関係を簡易的に示す平面図である。
【図６】Ｇレーザ光が音響光学変調素子の音波波束によって変調される様子を説明する図である。
【図７】ビーム径の定義を説明する強度分布図である。
【図８】１画素分のＧレーザ光のビーム強度の時間変化を示す図である。
【図９】１画素分のＧレーザ光の露光面への投影図である。
【図１０】特定時間ごとに得られるＧレーザ光のビーム強度分布を重ねて示した図である。
【図１１】１画素分のＧレーザ光の積分光量分布を示す分布図である。
【図１２】Ｒ及びＢレーザ光の強度変調を説明する図である。
【図１３】Ｒ及びＢレーザ光のパルス変調を説明する図である。
【図１４】音波波束の伝搬方向と主走査方向とを同方向にした比較例を示す平面図である。
【図１５】図１４の比較例における１画素分のＧレーザ光の露光面への投影図である。
【図１６】１画素分のＧレーザ光の積分光量分布に関する本実施形態と比較例との差異を示す分布図である。
【図１７】１画素分の濃度分布に関する本実施形態と比較例との差異を示す分布図である。
【図１８】連続した複数画素分のＧレーザ光の積分光量分布に関する本実施形態と比較例との差異を示す分布図である。
【図１９】連続した複数画素分の濃度分布に関する本実施形態と比較例との差異を示す分布図である。
【符号の説明】
【００４１】
２ レーザプリンタ
３ 画像処理部
４ 走査露光装置
５ 感光体
８ａ 赤色レーザ光（第２レーザ光）
８ｂ 緑色レーザ光（第１レーザ光）
８ｃ 青色レーザ光（第２レーザ光）
１１ レーザ光源（第２光源）
１２ レーザ光源（第１光源）
１３ レーザ光源（第２光源）
１４ 赤色半導体レーザ
１６ 青色半導体レーザ
２１ 半導体レーザ励起型固体レーザ
２２ ２次高周波発生素子（波長変換素子）
２４ 音響光学変調素子
２４ａ 結晶体
２４ｂ トランスデューサ
２９ ポリゴンミラー（偏向器）
３３ 音波波束
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１レーザ光を射出する第１光源と、この第１光源から射出された前記第１レーザ光の伝搬方向とほぼ垂直な方向に超音波を通過させることによって前記第１レーザ光の強度変調を行う音響光学変調素子と、この音響光学変調素子から射出された前記第１レーザ光を偏向して被走査面上の所定方向に走査する偏向器とを備えた走査露光装置において、
前記被走査面上へ仮想的に投影された前記超音波の伝搬方向が、前記偏向器による前記第１レーザ光の走査方向に対して逆向きであることを特徴とする走査露光装置。
【請求項２】
前記第１光源は、半導体レーザ励起型の固体レーザと、この固体レーザから射出されたレーザ光を波長変換する波長変換素子とからなることを特徴とする請求項１記載の走査露光装置。
【請求項３】
前記第１レーザ光とは異なる波長の第２レーザ光を射出する第２光源が設けられており、前記偏向器によって前記被走査面上の前記所定方向に走査されることを特徴とする請求項１又は２記載の走査露光装置。
【請求項４】
前記第２光源は、半導体レーザからなることを特徴とする請求項３記載の走査露光装置。
【請求項５】
前記第２レーザ光は、前記第２光源の駆動電流を制御することによって強度変調され、前記被走査面上における前記第２レーザ光のスポット径を、前記第１レーザ光のスポット径より小さくしたことを特徴とする請求項３又は４記載の走査露光装置。
【請求項６】
前記第２レーザ光は、前記第２光源の駆動電流を制御することによって強度変調され、前記被走査面上における前記第２レーザ光のスポット径と前記第１レーザ光のスポット径とをほぼ等しくしたまま、前記第２レーザ光を変調する画像信号パルスのデューティを、前記第１レーザ光を変調する画像信号パルスのデューティより小さくしたことを特徴とする請求項３又は４記載の走査露光装置。
【請求項１】
第１レーザ光を射出する第１光源と、この第１光源から射出された前記第１レーザ光の伝搬方向とほぼ垂直な方向に超音波を通過させることによって前記第１レーザ光の強度変調を行う音響光学変調素子と、この音響光学変調素子から射出された前記第１レーザ光を偏向して被走査面上の所定方向に走査する偏向器とを備えた走査露光装置において、
前記被走査面上へ仮想的に投影された前記超音波の伝搬方向が、前記偏向器による前記第１レーザ光の走査方向に対して逆向きであることを特徴とする走査露光装置。
【請求項２】
前記第１光源は、半導体レーザ励起型の固体レーザと、この固体レーザから射出されたレーザ光を波長変換する波長変換素子とからなることを特徴とする請求項１記載の走査露光装置。
【請求項３】
前記第１レーザ光とは異なる波長の第２レーザ光を射出する第２光源が設けられており、前記偏向器によって前記被走査面上の前記所定方向に走査されることを特徴とする請求項１又は２記載の走査露光装置。
【請求項４】
前記第２光源は、半導体レーザからなることを特徴とする請求項３記載の走査露光装置。
【請求項５】
前記第２レーザ光は、前記第２光源の駆動電流を制御することによって強度変調され、前記被走査面上における前記第２レーザ光のスポット径を、前記第１レーザ光のスポット径より小さくしたことを特徴とする請求項３又は４記載の走査露光装置。
【請求項６】
前記第２レーザ光は、前記第２光源の駆動電流を制御することによって強度変調され、前記被走査面上における前記第２レーザ光のスポット径と前記第１レーザ光のスポット径とをほぼ等しくしたまま、前記第２レーザ光を変調する画像信号パルスのデューティを、前記第１レーザ光を変調する画像信号パルスのデューティより小さくしたことを特徴とする請求項３又は４記載の走査露光装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【公開番号】特開２００６−５３４３８（Ｐ２００６−５３４３８Ａ）
【公開日】平成１８年２月２３日（２００６．２．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２３６０８６（Ｐ２００４−２３６０８６）
【出願日】平成１６年８月１３日（２００４．８．１３）
【出願人】（０００００５２０１）富士写真フイルム株式会社 (7,609)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年２月２３日（２００６．２．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年８月１３日（２００４．８．１３）
【出願人】（０００００５２０１）富士写真フイルム株式会社 (7,609)
【Ｆターム（参考）】
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