透過照明ステージおよび基板検査装置
【課題】検査対象物の基板が大型化しても照明のための安定した透過範囲を広くとることができ、かつ均一でかつ照度の高い透過照明が行える透過照明ステージおよび基板検査装置を提供する
【解決手段】基板Ａを支持するよう互いに間隔をあけて並べられた複数の桟２と、桟２に支持される基板を跨ぐように設けられて、顕微鏡９を基板の上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる門型アーム６と、複数の桟の間に配置されて基板を下側から照明する照明ユニット１５と、照明ユニットを搭載した状態で桟の延在する方向へ移動させる移動台１２とを備え、照明ユニットには、桟に直交する方向にライン状に配置された複数のＬＥＤ１７からなる照明部１６が設けられている。
【解決手段】基板Ａを支持するよう互いに間隔をあけて並べられた複数の桟２と、桟２に支持される基板を跨ぐように設けられて、顕微鏡９を基板の上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる門型アーム６と、複数の桟の間に配置されて基板を下側から照明する照明ユニット１５と、照明ユニットを搭載した状態で桟の延在する方向へ移動させる移動台１２とを備え、照明ユニットには、桟に直交する方向にライン状に配置された複数のＬＥＤ１７からなる照明部１６が設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等で用いられるガラス基板等の基板を観察または検査する基板検査装置およびこの基板検査装置に用いられる透過照明ステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板検査装置では、検査対象物である基板を支持するステージ面に透明または半透明なガラス板を用いたり、または基板範囲をくり貫いたりし、ガラス板または桟に取り付けた多数の支持ピンを用いて基板を支持していた。
その際に用いられる透過照明装置としては、例えば、後述する特許文献１、特許文献２に示されるように、ガラスロッドの両側から光を入射し、ガラスロッドからレンズ作用によってライン状の光を射出させつつ、このガラスロッドを顕微鏡支持用のステージと平行となるように、顕微鏡支持用のステージに固定して、顕微鏡と同時に移動させるものが知られている。
また、特許文献３に示されるように、ハロゲンランプなどを用いた単光源の照明をＸ・Ｙステージに設置し、このＸ・Ｙステージにより、上方に配置した観察または検査用の顕微鏡などと同期させて移動させるものも知られている。
【特許文献１】特開平１１−９４７５６号公報
【特許文献２】特開２００４−１２３４１号公報
【特許文献３】特開２００２−２６７９３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、検査対象物である基板がますます大型化する傾向にあり、前述した従来技術の基板検査装置では、１枚の支持用ガラス板では設置が困難なため、ガラス板を分割させざるを得なくなってきている。このとき、照明のための透過範囲を広くとるために、分割した１枚の支持用ガラス板を大きく設定すると、そのガラス板を支えるための桟を厚くかつ太くしなければならず、透過範囲が桟によって制限されてしまう、また、ガラス板のたわみが大きくなるという問題が生じる。
【０００４】
また、その支持用ガラス板の下部を移動する透過照明を桟よりも下方に設置しなければならず、検査対象物である基板と透過照明との距離が離れてしまい、充分な照度が得られなくなる問題が生じる。
また、前記特許文献１，２で示した透過照明用のガラスロッドも長くせざるを得ず、その場合、中央付近に照明ムラが発生してしまう。また、前記特許文献３で示した単光源の照明を用いる場合でも照射距離が長くなるため、より強力な光源が必要になる。また、透過照明の大きさと移動を考慮すると、支持用ステージ全体を検査対象物の基板より大きく、かつ厚く製作せざるを得ない問題がある。
【０００５】
本発明は、上記事情を鑑みなされたもので、検査対象物の基板が大型化しても照明のための安定した透過範囲を広くとることができ、かつ均一でかつ照度の高い透過照明が行える透過照明ステージおよび基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の透過照明ステージは、検査対象となる基板を固定し、前記基板の表面に沿って移動される顕微鏡により、前記基板を観察または検査する基板検査装置に用いられる透過照明ステージであって、前記基板を支持するよう互いに間隔をあけて並べられた複数の桟と、該桟に支持される前記基板を跨ぐように設けられて、前記顕微鏡を前記基板の上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる移動機構と、前記複数の桟の間に配置されて前記基板を下側から照明する照明ユニットと、該照明ユニットを搭載した状態で前記桟の延在する方向へ移動させる移動台とを備え、前記照明ユニットには、前記桟に直交する方向にライン状に配置された複数のＬＥＤからなる照明部が設けられていることを特徴とする。
本発明の透過照明ステージによれば、複数の桟によって基板を支持するので、例え大型の基板であっても撓むことなく充分支持できる。
また、桟の間に設けた照明ユニットによって、基板を照明するので、桟の厚みにかかわらず照明ユニットを基板に近づけることができる。また、照度にかかわることなく、桟の厚みを自由に厚く設定することができる。
【０００７】
本発明では、前記基板を支持する桟の上側には前記基板を支持する透明支持板が設けられ、該透明支持板を介して前記照明部が前記基板を下側から照明することが好ましい。
透明支持板を介して基板を支持するので、基板のたわみをより抑えて支持できるからである。また、透明支持板を用いるため、照明には何ら支障が生じないからである。
なお、ここでいう「透明支持板」の「透明」とは、略１００パーセント光を透過させる狭義の意味に限られることなく、例えば、すりガラス等のような「半透明」のものを含む広義の意味で用いられる。
【０００８】
本発明では、前記移動台は前記桟の下方に配置されてその上側に前記照明ユニットを複数台前記桟に直交する方向に直列状態で搭載し、該搭載した複数台の照明ユニットの各照明部で前記基板を全幅にわたって下側からライン状に照明することが好ましい。
移動台を共通とし、この共通の移動台を介して複数の照明ユニットを移動させるため、照明ユニット１台ずつ専用の移動台によって移動させるのに比べ、部品点数を削減することができ、かつ、移動台の制御も容易になるからである。
なお、ここでいうライン状とは、複数列に配置されるものや千鳥状に配置されるものも含まれる。
【０００９】
本発明では、前記移動台を、前記顕微鏡の光軸に一致するよう、該顕微鏡と同期して移動させる移動台移動機構を備えることが好ましい。
顕微鏡が移動するとそれと同期して照明ユニットが移動するので、基板への顕微鏡による、すみやかな観察あるいは検査が行えるからである。
【００１０】
本発明では、前記移動台が、前記顕微鏡の光軸に一致するように、前記顕微鏡を移動させる前記移動機構に固定されていることが好ましい。
移動機構と一体的に移動台およびそれに搭載される顕微鏡を移動させることができ、移動台を別の移動機構で移動させる場合に比べ、移動台を移動させるための駆動源および制御系が不要になるからである。
【００１１】
本発明では、前記移動台は前記桟と前記桟の間に個別に設けられ、前記個々の移動台をそれぞれ前記桟の延在する方向へ同時に移動させる駆動機構を備えることが好ましい。
移動台をそれぞれ個別に設けているので、桟の下方に移動台を連結するためのスペースを設ける必要がなく、桟をその下方の例えば基台に全長にわたって直接当接させた状態で固定することができ、この結果、桟の鉛直方向のたわみをなくすることができるからである。
本発明では、前記照明部を構成する前記ＬＥＤが千鳥状に配置されていることが好ましい。
ＬＥＤを多数配置することができ、幅広でかつ均一の照明が可能となるからである。
【００１２】
本発明では、前記照明部を構成する前記ＬＥＤをそれぞれ色が異なる複数種類とし、それら色が異なるＬＥＤどうしが複数列をなすよう、ライン状に配置されていることが好ましい。
基板の欠陥の種類によっては特定色の光の方が観察等し易い場合があり、観察あるいは検査しようとする欠陥にあわせて光の色を選択できるからである。
【００１３】
本発明では、前記ＬＥＤの上側に拡散板が配置されていることが好ましい。
ＬＥＤから発せられる光を拡散することができ、顕微鏡による観察等が行い易くなるからである。
【００１４】
本発明では、前記ＬＥＤの上側にマクロレンズが配置されていることが好ましい。
ＬＥＤから発せられる光を拡散あるいは集光させることができ、顕微鏡による観察等が行い易くなるからである。
【００１５】
本発明では、前記桟の上面に照明部が配置されていることが好ましい。
桟の上側の基板部分も照明することができ、より均一な照明が実現できるからである。
【００１６】
本発明では、前記桟の上面に設けられた前記照明部の上側にガラスロッドが設けられていることが好ましい。
ガラスロッドを介して、照明部から発せられる光を拡散あるいは集光させることができ、また、ガラスロッドによって基板や透明支持板を支持できるからである。
【００１７】
本発明の基板検査装置は、請求項１〜１１のいずれか１項記載の透過照明ステージを備える。
本発明の基板検査装置によれば、請求項１〜１１のいずれか１項に記載された透過照明ステージと同様な作用・効果を奏する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、平行に配置された複数の桟によって基板を支持するので、例え大型の基板であっても撓むことなく充分支持でき、また、格子状の支持部によって基板を支持する場合に比べ、照明のための透過範囲を広くとることができる。
また、桟の間に設けた照明ユニットによって、基板を照明するので、桟の厚みにかかわらず照明ユニットを基板に近づけることができ、高い照度を確保できる。また、照度にかかわることなく、桟の厚みを自由に厚く設定することができ、この点においても、基板の支持機能を増すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態に係る透過照明ステージ、及び該透過照明ステージを備える基盤板検査装置について説明する。
＜第１実施形態＞
図１〜図１０は本発明の第１実施形態を示し、図１は装置全体の概略構成を示す斜視図、図２〜図４は照明ユニットの例を示す平面図、図５、図６は照明ユニットの例を示す断面図、図７〜図９は桟に設けた照明部の例を示す斜視図、図１０は桟と照明ユニットとの関係を示す斜視図である。
図１において符号１は基台を示す。基台１には検査対象である基板Ａを支持するための桟２が、複数個互いに間隔をあけて平行に並べられている。桟２が延在する方向（図中Ｘ方向）は、例えば、検査対象である基板Ａが平面視長方形状の場合、基板Ａの長手方向である。桟２は、基板Ａおよびガラス板３を支えるのに十分な厚みと強度を有するように設定される。また、桟２は、両端を脚部２Ａによって支えられ、これにより中間部を基台１の上面から浮いた状態で支持されている。
【００２０】
桟２上には基板Ａを直接支持する複数枚の支持用のガラス板（透明支持板）３が、桟２同士の間にまたがるように固定されている。ガラス板３の短手方向の幅寸法は、桟２の離間距離とほぼ等しくなるが、該幅寸法とガラス板３の厚さは、ガラス板３の短手方向に生じるたわみを最小限に抑えるように設定されている。なお、ガラス板３の長手方向は、桟２によって支持されるので撓みは生じない。
【００２１】
６は、桟２によって支持される前記基板Ａを跨ぐように、かつ、桟２に直交して延びるように設けられた門型アームである。門型アーム６は、両端を桟２と平行に延びる門型アーム案内部７によって桟２の延在する方向（Ｘ方向）へ移動可能に案内され、かつ、図示せぬ駆動機構によって同方向の任意の位置まで移動されて、そこで停止されるようになっている。
門型アーム６のアーム部本体６Ａには、桟２と直交する方向（Ｙ方向）へ延びる案内部８が設けられ、この案内部８によって顕微鏡９が移動可能に支持されている。顕微鏡９は、顕微鏡支持フレームまたはアーム本体６Ａに設けられた図示せぬ駆動機構によって、案内部８の延びる方向（Ｙ方向）の任意の位置まで移動されて、そこで停止されるようになっている。
すなわち、門型アーム６は、顕微鏡９を基板Ａの上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向の任意の位置まで移動し、そこで停止させる移動機構を構成するものである。
【００２２】
基台１上には、前記桟２に平行に複数の案内部１１が設けられ、この案内部１１に沿って移動台１２が移動可能に支持されている。移動台１２は、前記桟２の中間部と基台１の上面との間のスペースを利用して、桟２の下側に配置されるものである。また、移動台１２は、リニアーモータあるいはボールナット機構のような移動台移動機構１４によって、顕微鏡９の光軸に一致するよう該顕微鏡９と同期しながら、桟２の延在する方向へ移動される。
【００２３】
移動台１２の上側には、複数の照明ユニット１５がそれぞれ桟２の間に位置するように、かつ、その上部がガラス板３の下面に近づくように搭載されている。照明ユニット１５は、基板を全幅にわたって下側から照明するものであって、その上側には、桟２に直交する方向（Ｙ方向）にライン状に配置された複数のＬＥＤ１７からなる照明部１６が設けられている。ＬＥＤ１７は、高い照度を得るために、互いに近接するようにかつ照明ユニット１５の両端ぎりぎりまで配置される。
【００２４】
ＬＥＤ１７の配置例としては、図２に示すようにライン状に一列に配置するものの他、図３に示すように、より高く均一で幅広の照明が可能なように千鳥状に配置するもの、あるいは図４に示すように、色の異なる複数種類のもの、例えば白色ＬＥＤ１７ａ、青色ＬＥＤ１７ｂ、赤色ＬＥＤ１７ｃどうしを、複数列をなすように配置してもよい。
さらに、図５に示すように、ＬＥＤ１７から発せられる光を広く拡散させるために、ＬＥＤ１７の上側に拡散板１８を配置してもよく、また、図６に示すように、ＬＥＤ１７から発せられる光を拡散あるいは集光させるために、ＬＥＤ１７の上側にマクロレンズ１９を配置しても良い。
【００２５】
次に、上記構成の基板検査装置の作用について説明する。
まず、基板Ａをガラス板３上の正規の位置にセットする。そして、事前に行ったマクロ検査による基板Ａ上の欠陥位置情報に基づき、基板Ａ上の欠陥がある位置まで、顕微鏡９を門型アーム６によって移動させる。
【００２６】
このとき、顕微鏡９の光軸と一致するように、顕微鏡９と同期して移動台１２およびその上側に搭載された照明ユニット１５が、移動台移動機構１４によって移動される。つまり、移動台移動機構１４によって、顕微鏡９の真下には、常に照明ユニット１５の照明部１６が位置することとなり、顕微鏡９による基板Ａのすみやかな観察または検査が行える。
【００２７】
また、上述した基板検査装置によれば、平行に配置された複数の桟２によって基板Ａを支持するので、例え大型の基板Ａであっても撓むことなく充分支持することができ、また、格子状の支持部によって基板を支持する場合に比べ、照明のための透過範囲を広くとることができる。
【００２８】
また、桟２の間に設けた照明ユニット１５によって、基板Ａを照明するので、桟２の厚みにかかわらず照明ユニット１５を基板Ａの下面にできるだけ近づけて配置することができ、このため、高い照度を確保できる。また、照度にかかわることなく、桟２の厚みを自由に厚く設定することができ、この点において、桟２の基板支持機能を増すことができる。
【００２９】
また、移動台１２を共通一台とし、その上側に複数の照明ユニット１５を搭載しているので、照明ユニット１台ずつ専用の移動台に搭載してそれらを個々に移動させるものに比べ、部品点数を削減することができ、かつ、移動台の制御も容易になる。
＜変形例＞
【００３０】
図７〜図９は、第１実施形態の変形例を示す。
図７に示す例は、桟２の上側に複数（図７では１個しか示していない）のＬＥＤ２０からなる照明部２１を設け、さらに照明部２１の上側に断面半円のガラスロッド２２をその円弧面２２ａが上側となるように配置したものである。
このような構成にすれば、桟２の上側の基板部分も照明することができ、より均一な照明が実現できる。また、ガラスロッド２２を介して、照明部２１から発せられる光を拡散あるいは集光させることができるため、顕微鏡の観察等が容易になる。
【００３１】
図８に示す例では、桟２の上側に複数のＬＥＤ２０からなる照明部２１を設ける点は、前記の例と同様であるが、ここでは、さらに照明部２１の上側に断面半円のガラスロッド２２を、平坦面２２ｂが上側をとなるように配置している。
この例では、前記と同様の効果が得られるほか、ガラスロッド２２の平面部２２ｂによって基板支持用のガラス板を支持することとができるため、ガラス板に対する安定した支持が行える。
【００３２】
図９に示す例は、照明部２１の上側に平板状の拡散板２３を配置している。
この例でも、前記した変形例と同様な効果を奏する。
【００３３】
図１０は、桟２の上側に複数のＬＥＤ２０からなる照明部２１を設け、かつ、桟２の上部両側をそれぞれ傾斜させて傾斜部２４を設けている。また、桟２からピン２５を上方へ向けて突出させ、このピン２５によって基板支持用のガラス板や基板を支持する。
また、桟２の間に配置される照明ユニット２６の両端も、桟２の傾斜部２４に対応させて、斜め上側に張り出した傾斜張り出し部２７を設け、その傾斜張り出し部２７の上面にもＬＥＤ１７を配置している。
【００３４】
この例では、ピン２５によって基板支持用のガラス板３や基板を支持するから、ガラス板３や基板の搬出搬入が容易になる。また、桟２の上部両側に傾斜部２４を設けており、これによって顕微鏡側からの反射光が再び顕微鏡に入射するのを防止することができる。また、照明ユニットの傾斜張り出し部２７にもＬＥＤ１７を配置しているので、桟２の上側に設けた照明部２１と相俟って、より高くかつ均一な照度の透過照明が行える。
＜第２実施形態＞
【００３５】
図１１は、本発明の第２実施形態を示す。
なお、説明の便宜上、この第２実施形態の構成要素のうち、前記第１実施形態の構成要素と同一構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。
この第２実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、移動台１２を移動台移動機構によって移動させるのではなく、門型アーム６に固定し、門型アーム６と一体的に移動させるようにした点である。
すなわち、移動台１２と門型アーム６の左右の脚部との間はそれぞれブラケット３０が設けられ（図１１では片側のブラケットしか示されていない）、このブラケット３０を介して移動台１２は門型アーム６と連結され、これにより、移動台１２は門型アーム６と一体的に移動されるようになっている。
【００３６】
この第２実施形態の基板検査装置では、前記した第１実施形態と同様な効果が得られる他、移動台１２を専用に移動させるための駆動源や制御系が不要になる利点が得られる。
＜第３実施形態＞
【００３７】
図１２は、本発明の第３実施形態を示す。
なお、説明の便宜上、この第３実施形態の構成要素のうち、前記第１実施形態の構成要素と同一構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。
この第３実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、照明ユニット１５を移動させる移動台４０を、個々の照明ユニット１５に対応して桟２と桟２の間に個別に設け、それら個々の移動台４０をそれぞれ桟２の延在する方向（桟の長手方向）へ同時に移動させる駆動機構４５を備える点である。
【００３８】
すなわち、照明ユニット１５を搭載する移動台４０は、桟２と桟２の間にそれぞれ設けられている。それら移動台４０は、基台１上の桟２と桟２の間に設けられたガイド部材４１によって、桟２の長手方向へ移動可能に支持されている。また、移動台４０は、それぞれタイミングベルト４２の所定位置に取り付けられている。タイミングベルト４２は、基台１の前後両端に設けられた駆動側ベルト軸４３と図示せぬアイドルベルト軸の間に巻回されている。
【００３９】
そして、駆動側ベルト軸４３がモータ４４によって回転されることにより、それら複数のタイミングベルト４２は、同時一体的に回転駆動され、これに伴い、移動台４０およびその上に搭載された照明ユニット１５は、それぞれ一体的に同方向へ移動される。つまり、前記タイミングベルト４２、駆動側ベルト軸４３およびモータ４４によって、個々の移動台４０を桟２の延在する方向へ同時に移動させる駆動機構４５を構成している。
桟２は、その下方を基台１に全長にわたって直接当接された状態で固定されている。なお、桟２は、１枚であっても、あるいは２枚以上に分割されたものであっても良い。
【００４０】
この第３実施形態の基板検査装置では、前記した第１実施形態と同様な効果が得られる他、以下のような効果が得られる。
移動台４０をそれぞれ個別に設けているので、桟２の下方に移動台どうしを連結するためのスペースを設ける必要がない。このため、桟２を、その下方を基台１に全長にわたって直接当接させた状態で固定することができ、桟２の鉛直方向のたわみをなくすることができる。この結果、桟２の強度（剛性）を考慮する必要がなくなり、桟２の厚みを照明ユニット１５が収まるぎりぎりの高さまで低く抑えることができる。
【００４１】
また、桟２を基台１に直接当接させて固定できるため、図１の脚部２Ａが不要になり、桟の前後方向の長さを検査対象物である基板Ａとほぼ同じサイズに設定することができ、結果的に、透過照明ステージの省スペース化を図ることができる。
また、基板Ａのサイズがさらに大きくなる場合でも、照明ユニット１５とタイミングベルト４２のセットを追加するだけで足り、基板Ａの大型化に対する対応が容易になる。
【００４２】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
前記各実施形態では、桟２によってガラス板３を支持し、このガラス板３によって検査対象である基板Ａを支持しているが、これに限られることなく、桟２によって直接基板Ａを支持する構成にしても良い。
【００４３】
また、前記各実施形態では、顕微鏡９を基板Ａの上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる移動機構の例として門型アーム６を用いているが、これに限られることなく、図１３に示すように、基台１に設けた一対の起立壁５０と、この起立壁５０にまたがった状態で起立壁５０の延在する方向へ移動可能なスライダ５１とを備え、スライダ５１に設けた案内部によって、顕微鏡９を起立壁５０が延在する方向と直交する方向へ移動可能に案内する移動機構５２を用いても良い。
また、前記実施形態では、基板Ａを支持するのにガラス板３を用いているが、このガラス板は、狭義の意味の「透明」ガラス板のほか、上面に凹凸のあるすりガラス板からなる半透明ガラス板も用いることができる。半透明ガラス板を用いる場合、透過照明を拡散さえる光拡散効果が得られる他、基板Ａを載せて、検査後リフトアップする場合に生じがちな静電気を軽減できる効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１実施形態の透過照明ステージを備えた基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】照明ユニットの一例を示す平面図である。
【図３】照明ユニットの他の例を示す平面図である。
【図４】照明ユニットの他の例を示す平面図である。
【図５】照明ユニットの他の例を示す断面図である。
【図６】照明ユニットの他の例を示す断面図である。
【図７】第１実施形態の変形例を示す桟の一部の斜視図である。
【図８】第１実施形態の他の変形例を示す桟の一部の斜視図である。
【図９】第１実施形態の他の変形例を示す桟の一部の斜視図である。
【図１０】第１実施形態の他の変形例を示す桟と照明ユニットとの関係を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第２実施形態の透過照明ステージを備えた基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の第３実施形態の透過照明ステージを備えた基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図１３】本発明の変形例を示す透過照明ステージを備えた基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
Ａ 基板
１ 基台
２ 桟
３ ガラス板（透明支持板）
６ 門型アーム（移動機構）
９ 顕微鏡
１２、４０ 移動台
１４ 移動台移動機構
１５，２６ 照明ユニット
１６、２１ 照明部
１７，１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、２０ ＬＥＤ
１８ 拡散板
１９ マイクロレンズ
２２ ガラスロッド
３０ ブラケット
４５ 駆動機構
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等で用いられるガラス基板等の基板を観察または検査する基板検査装置およびこの基板検査装置に用いられる透過照明ステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板検査装置では、検査対象物である基板を支持するステージ面に透明または半透明なガラス板を用いたり、または基板範囲をくり貫いたりし、ガラス板または桟に取り付けた多数の支持ピンを用いて基板を支持していた。
その際に用いられる透過照明装置としては、例えば、後述する特許文献１、特許文献２に示されるように、ガラスロッドの両側から光を入射し、ガラスロッドからレンズ作用によってライン状の光を射出させつつ、このガラスロッドを顕微鏡支持用のステージと平行となるように、顕微鏡支持用のステージに固定して、顕微鏡と同時に移動させるものが知られている。
また、特許文献３に示されるように、ハロゲンランプなどを用いた単光源の照明をＸ・Ｙステージに設置し、このＸ・Ｙステージにより、上方に配置した観察または検査用の顕微鏡などと同期させて移動させるものも知られている。
【特許文献１】特開平１１−９４７５６号公報
【特許文献２】特開２００４−１２３４１号公報
【特許文献３】特開２００２−２６７９３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、検査対象物である基板がますます大型化する傾向にあり、前述した従来技術の基板検査装置では、１枚の支持用ガラス板では設置が困難なため、ガラス板を分割させざるを得なくなってきている。このとき、照明のための透過範囲を広くとるために、分割した１枚の支持用ガラス板を大きく設定すると、そのガラス板を支えるための桟を厚くかつ太くしなければならず、透過範囲が桟によって制限されてしまう、また、ガラス板のたわみが大きくなるという問題が生じる。
【０００４】
また、その支持用ガラス板の下部を移動する透過照明を桟よりも下方に設置しなければならず、検査対象物である基板と透過照明との距離が離れてしまい、充分な照度が得られなくなる問題が生じる。
また、前記特許文献１，２で示した透過照明用のガラスロッドも長くせざるを得ず、その場合、中央付近に照明ムラが発生してしまう。また、前記特許文献３で示した単光源の照明を用いる場合でも照射距離が長くなるため、より強力な光源が必要になる。また、透過照明の大きさと移動を考慮すると、支持用ステージ全体を検査対象物の基板より大きく、かつ厚く製作せざるを得ない問題がある。
【０００５】
本発明は、上記事情を鑑みなされたもので、検査対象物の基板が大型化しても照明のための安定した透過範囲を広くとることができ、かつ均一でかつ照度の高い透過照明が行える透過照明ステージおよび基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の透過照明ステージは、検査対象となる基板を固定し、前記基板の表面に沿って移動される顕微鏡により、前記基板を観察または検査する基板検査装置に用いられる透過照明ステージであって、前記基板を支持するよう互いに間隔をあけて並べられた複数の桟と、該桟に支持される前記基板を跨ぐように設けられて、前記顕微鏡を前記基板の上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる移動機構と、前記複数の桟の間に配置されて前記基板を下側から照明する照明ユニットと、該照明ユニットを搭載した状態で前記桟の延在する方向へ移動させる移動台とを備え、前記照明ユニットには、前記桟に直交する方向にライン状に配置された複数のＬＥＤからなる照明部が設けられていることを特徴とする。
本発明の透過照明ステージによれば、複数の桟によって基板を支持するので、例え大型の基板であっても撓むことなく充分支持できる。
また、桟の間に設けた照明ユニットによって、基板を照明するので、桟の厚みにかかわらず照明ユニットを基板に近づけることができる。また、照度にかかわることなく、桟の厚みを自由に厚く設定することができる。
【０００７】
本発明では、前記基板を支持する桟の上側には前記基板を支持する透明支持板が設けられ、該透明支持板を介して前記照明部が前記基板を下側から照明することが好ましい。
透明支持板を介して基板を支持するので、基板のたわみをより抑えて支持できるからである。また、透明支持板を用いるため、照明には何ら支障が生じないからである。
なお、ここでいう「透明支持板」の「透明」とは、略１００パーセント光を透過させる狭義の意味に限られることなく、例えば、すりガラス等のような「半透明」のものを含む広義の意味で用いられる。
【０００８】
本発明では、前記移動台は前記桟の下方に配置されてその上側に前記照明ユニットを複数台前記桟に直交する方向に直列状態で搭載し、該搭載した複数台の照明ユニットの各照明部で前記基板を全幅にわたって下側からライン状に照明することが好ましい。
移動台を共通とし、この共通の移動台を介して複数の照明ユニットを移動させるため、照明ユニット１台ずつ専用の移動台によって移動させるのに比べ、部品点数を削減することができ、かつ、移動台の制御も容易になるからである。
なお、ここでいうライン状とは、複数列に配置されるものや千鳥状に配置されるものも含まれる。
【０００９】
本発明では、前記移動台を、前記顕微鏡の光軸に一致するよう、該顕微鏡と同期して移動させる移動台移動機構を備えることが好ましい。
顕微鏡が移動するとそれと同期して照明ユニットが移動するので、基板への顕微鏡による、すみやかな観察あるいは検査が行えるからである。
【００１０】
本発明では、前記移動台が、前記顕微鏡の光軸に一致するように、前記顕微鏡を移動させる前記移動機構に固定されていることが好ましい。
移動機構と一体的に移動台およびそれに搭載される顕微鏡を移動させることができ、移動台を別の移動機構で移動させる場合に比べ、移動台を移動させるための駆動源および制御系が不要になるからである。
【００１１】
本発明では、前記移動台は前記桟と前記桟の間に個別に設けられ、前記個々の移動台をそれぞれ前記桟の延在する方向へ同時に移動させる駆動機構を備えることが好ましい。
移動台をそれぞれ個別に設けているので、桟の下方に移動台を連結するためのスペースを設ける必要がなく、桟をその下方の例えば基台に全長にわたって直接当接させた状態で固定することができ、この結果、桟の鉛直方向のたわみをなくすることができるからである。
本発明では、前記照明部を構成する前記ＬＥＤが千鳥状に配置されていることが好ましい。
ＬＥＤを多数配置することができ、幅広でかつ均一の照明が可能となるからである。
【００１２】
本発明では、前記照明部を構成する前記ＬＥＤをそれぞれ色が異なる複数種類とし、それら色が異なるＬＥＤどうしが複数列をなすよう、ライン状に配置されていることが好ましい。
基板の欠陥の種類によっては特定色の光の方が観察等し易い場合があり、観察あるいは検査しようとする欠陥にあわせて光の色を選択できるからである。
【００１３】
本発明では、前記ＬＥＤの上側に拡散板が配置されていることが好ましい。
ＬＥＤから発せられる光を拡散することができ、顕微鏡による観察等が行い易くなるからである。
【００１４】
本発明では、前記ＬＥＤの上側にマクロレンズが配置されていることが好ましい。
ＬＥＤから発せられる光を拡散あるいは集光させることができ、顕微鏡による観察等が行い易くなるからである。
【００１５】
本発明では、前記桟の上面に照明部が配置されていることが好ましい。
桟の上側の基板部分も照明することができ、より均一な照明が実現できるからである。
【００１６】
本発明では、前記桟の上面に設けられた前記照明部の上側にガラスロッドが設けられていることが好ましい。
ガラスロッドを介して、照明部から発せられる光を拡散あるいは集光させることができ、また、ガラスロッドによって基板や透明支持板を支持できるからである。
【００１７】
本発明の基板検査装置は、請求項１〜１１のいずれか１項記載の透過照明ステージを備える。
本発明の基板検査装置によれば、請求項１〜１１のいずれか１項に記載された透過照明ステージと同様な作用・効果を奏する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、平行に配置された複数の桟によって基板を支持するので、例え大型の基板であっても撓むことなく充分支持でき、また、格子状の支持部によって基板を支持する場合に比べ、照明のための透過範囲を広くとることができる。
また、桟の間に設けた照明ユニットによって、基板を照明するので、桟の厚みにかかわらず照明ユニットを基板に近づけることができ、高い照度を確保できる。また、照度にかかわることなく、桟の厚みを自由に厚く設定することができ、この点においても、基板の支持機能を増すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態に係る透過照明ステージ、及び該透過照明ステージを備える基盤板検査装置について説明する。
＜第１実施形態＞
図１〜図１０は本発明の第１実施形態を示し、図１は装置全体の概略構成を示す斜視図、図２〜図４は照明ユニットの例を示す平面図、図５、図６は照明ユニットの例を示す断面図、図７〜図９は桟に設けた照明部の例を示す斜視図、図１０は桟と照明ユニットとの関係を示す斜視図である。
図１において符号１は基台を示す。基台１には検査対象である基板Ａを支持するための桟２が、複数個互いに間隔をあけて平行に並べられている。桟２が延在する方向（図中Ｘ方向）は、例えば、検査対象である基板Ａが平面視長方形状の場合、基板Ａの長手方向である。桟２は、基板Ａおよびガラス板３を支えるのに十分な厚みと強度を有するように設定される。また、桟２は、両端を脚部２Ａによって支えられ、これにより中間部を基台１の上面から浮いた状態で支持されている。
【００２０】
桟２上には基板Ａを直接支持する複数枚の支持用のガラス板（透明支持板）３が、桟２同士の間にまたがるように固定されている。ガラス板３の短手方向の幅寸法は、桟２の離間距離とほぼ等しくなるが、該幅寸法とガラス板３の厚さは、ガラス板３の短手方向に生じるたわみを最小限に抑えるように設定されている。なお、ガラス板３の長手方向は、桟２によって支持されるので撓みは生じない。
【００２１】
６は、桟２によって支持される前記基板Ａを跨ぐように、かつ、桟２に直交して延びるように設けられた門型アームである。門型アーム６は、両端を桟２と平行に延びる門型アーム案内部７によって桟２の延在する方向（Ｘ方向）へ移動可能に案内され、かつ、図示せぬ駆動機構によって同方向の任意の位置まで移動されて、そこで停止されるようになっている。
門型アーム６のアーム部本体６Ａには、桟２と直交する方向（Ｙ方向）へ延びる案内部８が設けられ、この案内部８によって顕微鏡９が移動可能に支持されている。顕微鏡９は、顕微鏡支持フレームまたはアーム本体６Ａに設けられた図示せぬ駆動機構によって、案内部８の延びる方向（Ｙ方向）の任意の位置まで移動されて、そこで停止されるようになっている。
すなわち、門型アーム６は、顕微鏡９を基板Ａの上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向の任意の位置まで移動し、そこで停止させる移動機構を構成するものである。
【００２２】
基台１上には、前記桟２に平行に複数の案内部１１が設けられ、この案内部１１に沿って移動台１２が移動可能に支持されている。移動台１２は、前記桟２の中間部と基台１の上面との間のスペースを利用して、桟２の下側に配置されるものである。また、移動台１２は、リニアーモータあるいはボールナット機構のような移動台移動機構１４によって、顕微鏡９の光軸に一致するよう該顕微鏡９と同期しながら、桟２の延在する方向へ移動される。
【００２３】
移動台１２の上側には、複数の照明ユニット１５がそれぞれ桟２の間に位置するように、かつ、その上部がガラス板３の下面に近づくように搭載されている。照明ユニット１５は、基板を全幅にわたって下側から照明するものであって、その上側には、桟２に直交する方向（Ｙ方向）にライン状に配置された複数のＬＥＤ１７からなる照明部１６が設けられている。ＬＥＤ１７は、高い照度を得るために、互いに近接するようにかつ照明ユニット１５の両端ぎりぎりまで配置される。
【００２４】
ＬＥＤ１７の配置例としては、図２に示すようにライン状に一列に配置するものの他、図３に示すように、より高く均一で幅広の照明が可能なように千鳥状に配置するもの、あるいは図４に示すように、色の異なる複数種類のもの、例えば白色ＬＥＤ１７ａ、青色ＬＥＤ１７ｂ、赤色ＬＥＤ１７ｃどうしを、複数列をなすように配置してもよい。
さらに、図５に示すように、ＬＥＤ１７から発せられる光を広く拡散させるために、ＬＥＤ１７の上側に拡散板１８を配置してもよく、また、図６に示すように、ＬＥＤ１７から発せられる光を拡散あるいは集光させるために、ＬＥＤ１７の上側にマクロレンズ１９を配置しても良い。
【００２５】
次に、上記構成の基板検査装置の作用について説明する。
まず、基板Ａをガラス板３上の正規の位置にセットする。そして、事前に行ったマクロ検査による基板Ａ上の欠陥位置情報に基づき、基板Ａ上の欠陥がある位置まで、顕微鏡９を門型アーム６によって移動させる。
【００２６】
このとき、顕微鏡９の光軸と一致するように、顕微鏡９と同期して移動台１２およびその上側に搭載された照明ユニット１５が、移動台移動機構１４によって移動される。つまり、移動台移動機構１４によって、顕微鏡９の真下には、常に照明ユニット１５の照明部１６が位置することとなり、顕微鏡９による基板Ａのすみやかな観察または検査が行える。
【００２７】
また、上述した基板検査装置によれば、平行に配置された複数の桟２によって基板Ａを支持するので、例え大型の基板Ａであっても撓むことなく充分支持することができ、また、格子状の支持部によって基板を支持する場合に比べ、照明のための透過範囲を広くとることができる。
【００２８】
また、桟２の間に設けた照明ユニット１５によって、基板Ａを照明するので、桟２の厚みにかかわらず照明ユニット１５を基板Ａの下面にできるだけ近づけて配置することができ、このため、高い照度を確保できる。また、照度にかかわることなく、桟２の厚みを自由に厚く設定することができ、この点において、桟２の基板支持機能を増すことができる。
【００２９】
また、移動台１２を共通一台とし、その上側に複数の照明ユニット１５を搭載しているので、照明ユニット１台ずつ専用の移動台に搭載してそれらを個々に移動させるものに比べ、部品点数を削減することができ、かつ、移動台の制御も容易になる。
＜変形例＞
【００３０】
図７〜図９は、第１実施形態の変形例を示す。
図７に示す例は、桟２の上側に複数（図７では１個しか示していない）のＬＥＤ２０からなる照明部２１を設け、さらに照明部２１の上側に断面半円のガラスロッド２２をその円弧面２２ａが上側となるように配置したものである。
このような構成にすれば、桟２の上側の基板部分も照明することができ、より均一な照明が実現できる。また、ガラスロッド２２を介して、照明部２１から発せられる光を拡散あるいは集光させることができるため、顕微鏡の観察等が容易になる。
【００３１】
図８に示す例では、桟２の上側に複数のＬＥＤ２０からなる照明部２１を設ける点は、前記の例と同様であるが、ここでは、さらに照明部２１の上側に断面半円のガラスロッド２２を、平坦面２２ｂが上側をとなるように配置している。
この例では、前記と同様の効果が得られるほか、ガラスロッド２２の平面部２２ｂによって基板支持用のガラス板を支持することとができるため、ガラス板に対する安定した支持が行える。
【００３２】
図９に示す例は、照明部２１の上側に平板状の拡散板２３を配置している。
この例でも、前記した変形例と同様な効果を奏する。
【００３３】
図１０は、桟２の上側に複数のＬＥＤ２０からなる照明部２１を設け、かつ、桟２の上部両側をそれぞれ傾斜させて傾斜部２４を設けている。また、桟２からピン２５を上方へ向けて突出させ、このピン２５によって基板支持用のガラス板や基板を支持する。
また、桟２の間に配置される照明ユニット２６の両端も、桟２の傾斜部２４に対応させて、斜め上側に張り出した傾斜張り出し部２７を設け、その傾斜張り出し部２７の上面にもＬＥＤ１７を配置している。
【００３４】
この例では、ピン２５によって基板支持用のガラス板３や基板を支持するから、ガラス板３や基板の搬出搬入が容易になる。また、桟２の上部両側に傾斜部２４を設けており、これによって顕微鏡側からの反射光が再び顕微鏡に入射するのを防止することができる。また、照明ユニットの傾斜張り出し部２７にもＬＥＤ１７を配置しているので、桟２の上側に設けた照明部２１と相俟って、より高くかつ均一な照度の透過照明が行える。
＜第２実施形態＞
【００３５】
図１１は、本発明の第２実施形態を示す。
なお、説明の便宜上、この第２実施形態の構成要素のうち、前記第１実施形態の構成要素と同一構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。
この第２実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、移動台１２を移動台移動機構によって移動させるのではなく、門型アーム６に固定し、門型アーム６と一体的に移動させるようにした点である。
すなわち、移動台１２と門型アーム６の左右の脚部との間はそれぞれブラケット３０が設けられ（図１１では片側のブラケットしか示されていない）、このブラケット３０を介して移動台１２は門型アーム６と連結され、これにより、移動台１２は門型アーム６と一体的に移動されるようになっている。
【００３６】
この第２実施形態の基板検査装置では、前記した第１実施形態と同様な効果が得られる他、移動台１２を専用に移動させるための駆動源や制御系が不要になる利点が得られる。
＜第３実施形態＞
【００３７】
図１２は、本発明の第３実施形態を示す。
なお、説明の便宜上、この第３実施形態の構成要素のうち、前記第１実施形態の構成要素と同一構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。
この第３実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、照明ユニット１５を移動させる移動台４０を、個々の照明ユニット１５に対応して桟２と桟２の間に個別に設け、それら個々の移動台４０をそれぞれ桟２の延在する方向（桟の長手方向）へ同時に移動させる駆動機構４５を備える点である。
【００３８】
すなわち、照明ユニット１５を搭載する移動台４０は、桟２と桟２の間にそれぞれ設けられている。それら移動台４０は、基台１上の桟２と桟２の間に設けられたガイド部材４１によって、桟２の長手方向へ移動可能に支持されている。また、移動台４０は、それぞれタイミングベルト４２の所定位置に取り付けられている。タイミングベルト４２は、基台１の前後両端に設けられた駆動側ベルト軸４３と図示せぬアイドルベルト軸の間に巻回されている。
【００３９】
そして、駆動側ベルト軸４３がモータ４４によって回転されることにより、それら複数のタイミングベルト４２は、同時一体的に回転駆動され、これに伴い、移動台４０およびその上に搭載された照明ユニット１５は、それぞれ一体的に同方向へ移動される。つまり、前記タイミングベルト４２、駆動側ベルト軸４３およびモータ４４によって、個々の移動台４０を桟２の延在する方向へ同時に移動させる駆動機構４５を構成している。
桟２は、その下方を基台１に全長にわたって直接当接された状態で固定されている。なお、桟２は、１枚であっても、あるいは２枚以上に分割されたものであっても良い。
【００４０】
この第３実施形態の基板検査装置では、前記した第１実施形態と同様な効果が得られる他、以下のような効果が得られる。
移動台４０をそれぞれ個別に設けているので、桟２の下方に移動台どうしを連結するためのスペースを設ける必要がない。このため、桟２を、その下方を基台１に全長にわたって直接当接させた状態で固定することができ、桟２の鉛直方向のたわみをなくすることができる。この結果、桟２の強度（剛性）を考慮する必要がなくなり、桟２の厚みを照明ユニット１５が収まるぎりぎりの高さまで低く抑えることができる。
【００４１】
また、桟２を基台１に直接当接させて固定できるため、図１の脚部２Ａが不要になり、桟の前後方向の長さを検査対象物である基板Ａとほぼ同じサイズに設定することができ、結果的に、透過照明ステージの省スペース化を図ることができる。
また、基板Ａのサイズがさらに大きくなる場合でも、照明ユニット１５とタイミングベルト４２のセットを追加するだけで足り、基板Ａの大型化に対する対応が容易になる。
【００４２】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
前記各実施形態では、桟２によってガラス板３を支持し、このガラス板３によって検査対象である基板Ａを支持しているが、これに限られることなく、桟２によって直接基板Ａを支持する構成にしても良い。
【００４３】
また、前記各実施形態では、顕微鏡９を基板Ａの上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる移動機構の例として門型アーム６を用いているが、これに限られることなく、図１３に示すように、基台１に設けた一対の起立壁５０と、この起立壁５０にまたがった状態で起立壁５０の延在する方向へ移動可能なスライダ５１とを備え、スライダ５１に設けた案内部によって、顕微鏡９を起立壁５０が延在する方向と直交する方向へ移動可能に案内する移動機構５２を用いても良い。
また、前記実施形態では、基板Ａを支持するのにガラス板３を用いているが、このガラス板は、狭義の意味の「透明」ガラス板のほか、上面に凹凸のあるすりガラス板からなる半透明ガラス板も用いることができる。半透明ガラス板を用いる場合、透過照明を拡散さえる光拡散効果が得られる他、基板Ａを載せて、検査後リフトアップする場合に生じがちな静電気を軽減できる効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１実施形態の透過照明ステージを備えた基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】照明ユニットの一例を示す平面図である。
【図３】照明ユニットの他の例を示す平面図である。
【図４】照明ユニットの他の例を示す平面図である。
【図５】照明ユニットの他の例を示す断面図である。
【図６】照明ユニットの他の例を示す断面図である。
【図７】第１実施形態の変形例を示す桟の一部の斜視図である。
【図８】第１実施形態の他の変形例を示す桟の一部の斜視図である。
【図９】第１実施形態の他の変形例を示す桟の一部の斜視図である。
【図１０】第１実施形態の他の変形例を示す桟と照明ユニットとの関係を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第２実施形態の透過照明ステージを備えた基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の第３実施形態の透過照明ステージを備えた基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図１３】本発明の変形例を示す透過照明ステージを備えた基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
Ａ 基板
１ 基台
２ 桟
３ ガラス板（透明支持板）
６ 門型アーム（移動機構）
９ 顕微鏡
１２、４０ 移動台
１４ 移動台移動機構
１５，２６ 照明ユニット
１６、２１ 照明部
１７，１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、２０ ＬＥＤ
１８ 拡散板
１９ マイクロレンズ
２２ ガラスロッド
３０ ブラケット
４５ 駆動機構
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象となる基板を固定し、前記基板の表面に沿って移動される顕微鏡により、前記基板を観察または検査する基板検査装置に用いられる透過照明ステージであって、
前記基板を支持するよう互いに間隔をあけて並べられた複数の桟と、
該桟に支持される前記基板を跨ぐように設けられて、前記顕微鏡を前記基板の上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる移動機構と、
前記複数の桟の間に配置されて前記基板を下側から照明する照明ユニットと、
該照明ユニットを搭載した状態で前記桟の延在する方向へ移動させる移動台とを備え、
前記照明ユニットには、前記桟に直交する方向にライン状に配置された複数のＬＥＤからなる照明部が設けられていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項２】
請求項１記載の透過照明ステージにおいて、
前記基板を支持する桟の上側には前記基板を支持する透明支持板が設けられ、
該透明支持板を介して前記照明部が前記基板を下側から照明することを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項３】
請求項１または２記載の透過照明ステージにおいて、
前記移動台は前記桟の下方に配置されてその上側に前記照明ユニットを複数台前記桟に直交する方向に直列状態で搭載し、
該搭載した複数台の照明ユニットの各照明部で前記基板を全幅にわたって下側からライン状に照明することを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項４】
請求項３記載の透過照明ステージにおいて、
前記移動台を、前記顕微鏡の光軸に一致するよう、該顕微鏡と同期して移動させる移動台移動機構を備えることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項５】
請求項３記載の透過照明ステージにおいて、
前記移動台が、前記顕微鏡の光軸に一致するように、前記顕微鏡を移動させる前記移動機構に固定されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項６】
請求項１または２記載の透過照明ステージにおいて、
前記移動台は前記桟と前記桟の間に個別に設けられ、前記個々の移動台をそれぞれ前記桟の延在する方向へ同時に移動させる駆動機構を備えることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記照明部を構成する前記ＬＥＤが千鳥状に配置されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記照明部を構成する前記ＬＥＤをそれぞれ色が異なる複数種類とし、それら色が異なるＬＥＤどうしが複数列をなすよう、ライン状に配置されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記ＬＥＤの上側に拡散板が配置されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記ＬＥＤの上側にマクロレンズが配置されていること特徴とする透過照明ステージ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記桟の上面に照明部が配置されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項１２】
請求項１１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記桟の上面に設けられた前記照明部の上側にガラスロッドが設けられていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項記載の透過照明ステージを備える基板検査装置。
【請求項１】
検査対象となる基板を固定し、前記基板の表面に沿って移動される顕微鏡により、前記基板を観察または検査する基板検査装置に用いられる透過照明ステージであって、
前記基板を支持するよう互いに間隔をあけて並べられた複数の桟と、
該桟に支持される前記基板を跨ぐように設けられて、前記顕微鏡を前記基板の上面に沿って互いに直交するＸ・Ｙ方向へ移動させる移動機構と、
前記複数の桟の間に配置されて前記基板を下側から照明する照明ユニットと、
該照明ユニットを搭載した状態で前記桟の延在する方向へ移動させる移動台とを備え、
前記照明ユニットには、前記桟に直交する方向にライン状に配置された複数のＬＥＤからなる照明部が設けられていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項２】
請求項１記載の透過照明ステージにおいて、
前記基板を支持する桟の上側には前記基板を支持する透明支持板が設けられ、
該透明支持板を介して前記照明部が前記基板を下側から照明することを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項３】
請求項１または２記載の透過照明ステージにおいて、
前記移動台は前記桟の下方に配置されてその上側に前記照明ユニットを複数台前記桟に直交する方向に直列状態で搭載し、
該搭載した複数台の照明ユニットの各照明部で前記基板を全幅にわたって下側からライン状に照明することを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項４】
請求項３記載の透過照明ステージにおいて、
前記移動台を、前記顕微鏡の光軸に一致するよう、該顕微鏡と同期して移動させる移動台移動機構を備えることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項５】
請求項３記載の透過照明ステージにおいて、
前記移動台が、前記顕微鏡の光軸に一致するように、前記顕微鏡を移動させる前記移動機構に固定されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項６】
請求項１または２記載の透過照明ステージにおいて、
前記移動台は前記桟と前記桟の間に個別に設けられ、前記個々の移動台をそれぞれ前記桟の延在する方向へ同時に移動させる駆動機構を備えることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記照明部を構成する前記ＬＥＤが千鳥状に配置されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記照明部を構成する前記ＬＥＤをそれぞれ色が異なる複数種類とし、それら色が異なるＬＥＤどうしが複数列をなすよう、ライン状に配置されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記ＬＥＤの上側に拡散板が配置されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記ＬＥＤの上側にマクロレンズが配置されていること特徴とする透過照明ステージ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記桟の上面に照明部が配置されていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項１２】
請求項１１項記載の透過照明ステージにおいて、
前記桟の上面に設けられた前記照明部の上側にガラスロッドが設けられていることを特徴とする透過照明ステージ。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項記載の透過照明ステージを備える基板検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００８−８２７０５（Ｐ２００８−８２７０５Ａ）
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２５９５３５（Ｐ２００６−２５９５３５）
【出願日】平成１８年９月２５日（２００６．９．２５）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月２５日（２００６．９．２５）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
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