電子デバイス製造設備内において、基板キャリアを搬送するための方法及び装置
【課題】
電子デバイスの製造設備内で基板キャリアを搬送するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】
キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求を受信し２０５、少なくともこの搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て２０７、第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び２０９、第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶ２１１ステップを含む。
電子デバイスの製造設備内で基板キャリアを搬送するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】
キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求を受信し２０５、少なくともこの搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て２０７、第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び２０９、第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶ２１１ステップを含む。
【発明の詳細な説明】
【関連出願との相互参照】
【０００１】
本出願は、２００４年２月２８日に出願された米国仮特許出願（番号６０／５４８，５７４）から優先権主張するものである。上掲の特許出願の内容は本明細書中において全体的に引用され、組み込まれる。
【０００２】
本出願は、各々が本明細書において全体的に参照され組み込まれるところの、以下の共通に譲渡され、同時に出願継続中の米国出願に関係するものである。
２００５年２月２５日に出願され、「基板キャリア・ハンドラの改善された動作のための方法及び装置」と題される米国特許出願（アトニー・ドケット番号：９１４０）。
２００５年２月２５日に出願され、「材料制御システム・インターフェースのための方法及び装置」と題される米国特許出願（アトニー・ドケット番号：９１４１）。
２００５年２月２５日に出願され、「電子デバイス製造システムのモニタリング及び制御のための方法及び装置」と題された米国特許出願（アトニー・ドケット番号：９１４４）。
２００３年８月２８日に出願され、「基板キャリアを輸送するためのシステム」と題された米国特許出願（番号：１０／６５０，３１０）（アトニー・ドケット番号：６９００）。
２００４年１月２６日に出願され、「基板キャリアを輸送するための方法及び装置」と題された米国特許出願（番号：１０／７６４，９８２。アトニー・ドケット番号：７１６３）。
２００３年８月２８日に出願され、「移動コンベヤから直接、基板キャリアを取り出す基板キャリア・ハンドラ」と題される米国特許出願（番号：１０／６５０，４８０）（アトニー・ドケット番号：７６７６）。
２００４年１１月１２日に出願され、「コンベア・ベルトの曲がりを許容する分離型（BREAK-AWAY）位置決めコンベア・マウント」と題された米国特許出願（番号：１０／９８７，９５５）（アトニー・ドケット番号：８６１１）。
【発明の分野】
【０００３】
本発明は、主に電子デバイスの製造に関し、より詳細には電子デバイスの製造設備内で基板キャリアを搬送するための方法及び装置に関するものである。
【背景】
【０００４】
電子デバイス製造設備は、製造の間、設備の中を基板キャリアを搬送するための従来のシステムを含む。しかしながら、そのような従来のシステムはキャリアを非効率的に搬送している。従って、電子デバイス製造設備の中で基板キャリアを搬送するための改善された方法及び装置が望まれる。
【発明の概要】
【０００５】
本発明の第一の特徴において、電子デバイス製造のための第一の方法が提供される。この第一の方法は、（１）キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求を受信し、（２）少なくともこの搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、（３）第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び、（４）第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶステップを含む。
【０００６】
本発明の第二の特徴において、第二の方法が提供される。この第二の方法は、（１）各々が基板キャリアを受け取るようにした複数の基板ローディング・ステーションを設け、（２）各々が基板キャリアを支持するようにした複数のキャリア支持体を含み、基板ローディング・ステーション間で基板キャリアを輸送するようにした配達システムを設け、（３）基板ローディング・ステーション間で基板キャリアの輸送を制御するための制御システムを設け、（４）第１の基板ローディング・ステーションへの搬送命令を送るために制御システムを用い、（５）制御システムが第１の基板ローディング・ステーションからの搬送のためにキャリア支持体を割り当てることができないならば、搬送を取り消すために第１の基板ローディング・ステーションへ命令を送るように制御システムを用い、（６）１つ以上のキャリア支持体の遅延及び状態のうちの少なくとも一つが変化した後、前記第１の基板ローディング・ステーションへ前記搬送命令を再送信するために前記制御システムを用いるステップを含む。
【０００７】
本発明の第三の特徴において、電子デバイス製造のための装置が提供される。この装置は、（１）キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含む電子デバイス製造設備内の、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、（２）少なくとも搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、（３）第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び、（４）第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶようにした電子デバイス製造設備の制御システムを含む。
【０００８】
本発明の第四の特徴において、電子デバイス製造のためのシステムが提供される。このシステムは、（１）電子デバイス製造設備内の複数の基板ローディング・ステーションと、（２）結合された複数のキャリア支持体を有し、設備内でキャリアを運ぶコンベア・システムと、（３）前記複数の基板ローディング・ステーションおよび前記コンベア・システムに結合された制御システムを含む。この制御システムは、(ａ) 第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、(ｂ) 少なくとも搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、（ｃ）第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び、(ｄ) 第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶようになっている。多くの他の特徴は本発明のこれらの、および、他の特徴によって、もたらされる。
本発明の他の特徴は以下の詳細な説明、添付の請求の範囲、および添付図面から十分に、より明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の一実施例による、電子デバイス製造設備の一部分内において、単一ループを形成するバンド（ｂａｎｄ）（若しくはリボンｒｉｂｂｏｎ）を含む例示的なコンベヤ・システムの概略平面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、本発明の一実施例による、例示的な連続移動するコンベヤ・システム内に含まれる制御システムのブロック図である。
【図２】図２は、本発明の一実施例による、設備の中の基板キャリアを転送するための方法を図示するものである。
【図３】図３は、本発明の一実施例による、設備内での基板キャリアを搬送するときのキャリア支持体を割り当てるための第一の例示的な方法を図示するものである。
【図４】図４は、本発明の一実施例による、設備の中で基板キャリアを搬送するときのキャリア支持体を割り当てる第二の例示的方法を図示するものである。
【図５】図５は、本発明の一実施例による、稼動中の設備内で基板キャリアを搬送するための例示的な装置のブロック図である。
【図６】図６は、本発明の一実施例によってキャリア支持体がうまく割り当てられた設備内で、基板キャリアの搬送が開始されると共に行われるやりとり（ハンドシェーキング）を説明するものである。
【図７Ａ】〜
【図７Ｂ】図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の一実施例によってキャリア支持体がうまく割り当てられなかった設備内で、基板キャリアの搬送が開始されると共に行われるやりとり（ハンドシェーキング）を説明するものである。
【詳細な説明】
【００１０】
電子デバイス製造設備には、頭上の輸送システム（ＯＨＴ:overhead transportシステム）が用いられる。このシステムは、電子デバイス製造設備内で1個以上の基板キャリアを搬送するようにした移動コンベヤ・システムに接続された、複数のキャリア支持体を含むものである。更に、そのような設備は、電子デバイス製造の間、電子デバイスを処理するようにした装置を含むかもしれない。各処理装置は、処理装置と移動コンベヤ・システムとの間でキャリアを転送するようにした基板ローディング・ステーションの各々に接続されるかもしれない。更に詳細には、各処理装置は、処理装置と移動ＯＨＴシステムに接続されるキャリア支持体との間でキャリアを転送するようにした基板ローディング・ステーションのそれぞれに接続される。このようにして、キャリアは設備内を搬送され得る。
【００１１】
本発明は、設備内でキャリアを搬送するためのキャリア支持体を割り当てるための方法及び装置を提供するものである。本発明の特徴は、特に単一の、若しくは、小さいロット・サイズの基板キャリアに、特に効果的である。本明細書において用いられるように、「小さいロット・サイズの」基板キャリア、若しくは、「小さいロット」のキャリアには、典型的には１３枚、または３５枚の基板を保持する従来の「大きいロット・サイズ」のキャリアよりも少ない基板を保持するようにしたキャリアを意味するものである。一例として、小さいロット・サイズのキャリアは、５枚またはそれ未満の基板を保持するようにしたものであるかもしれない。いくつかの実施例において、他の小さいロット・サイズのキャリアが用いられるかもしれない（例えば、小さいロット・サイズのキャリアは、１枚、２枚、３枚、４枚、若しくは５枚以上の基板を保持するが、大きいロット・サイズのキャリアの枚数よりも少ないものである。）。一般に、小さいロット・サイズのキャリアの各々は、電子デバイス等の製造設備内において、人間によるキャリアの輸送を実行可能とするために、より少ない基板を保持するかもしれない。
【００１２】
少なくとも搬送のために時間が短縮され、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、キャリア支持体を割り当てるようにしたアルゴリズムが用いられる。このようにして、キャリアは従来の電子デバイス製造システムにおいてよりも、より効率的に設備内で搬送され得る。これにより、そのような従来のシステムに比べ、より電子デバイス製造のスループットを改善し得る。例えば、本アルゴリズムによって、第１の基板ローディング・ステーション（例えば、発送元の基板ローディング・ステーション）から第２の基板ローディング・ステーション（例えば、送り先の基板ローディング・ステーション）へ基板を転送若しくは配達する複数のキャリア支持体のうちの１つが選択されるかもしれない。本アルゴリズムによって、選択されたキャリア支持体を用いることが（例えば、設備内において）、継続中の搬送と衝突するか否かが決定される。もし、衝突するならば、本アルゴリズムによって、複数のキャリア支持体の中から別のキャリア支持体が選択され、そのようなキャリア支持体に対して同様の決定を行う。もし、アルゴリズムが、選択されたキャリア支持体を用いることが継続中の搬送と衝突しないとすると判断するならば、その選択されたキャリア支持体は、そのキャリアを第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへと搬送するために割り当てられる。
【００１３】
このようにして、本方法及び装置は、割り当てられたキャリア支持体が第１の基板ローディング・ステーションに到着したとき、第１の基板ローディング・ステーションは割り当てられたキャリア支持体を用いて移動コンベヤ・システム上にキャリアを置くように準備するとともに、割り当てられたキャリア支持体が第２の基板ローディング・ステーションに到着したときは、第２の基板ローディング・ステーションは移動コンベヤ（例えば、そこに接続された割り当てられたキャリア支持体）からキャリアを取り出す準備をするように、設備内でキャリアを搬送するためのキャリア支持体を割り当てる。このようにして、第１の基板ローディング・ステーションがキャリア支持体にキャリアを置く準備をする前に、第１の基板ローディング・ステーションに、移動コンベヤ上の割り当てられたキャリア支持体が搬送されなければならない回数は削減され得るし、かつ／または、第２の基板ローディング・ステーションが基板支持体からキャリアを取り出す準備をする前に、割り当てられたキャリア支持体が（そこに係止されたキャリアとともに）第２の基板ローディング・ステーションに搬送されなければならない回数も削減され得る。
【００１４】
本アルゴリズムは、選択されたキャリア支持体を用いることがコンベヤ・システムをアンバランスな状態にするかどうかを決定し、それに基づき、キャリア支持体を割り当てる。このようにして、本アルゴリズムは、移動コンベヤ・システムがバランスのとれた状態であり続けるように（例えば、キャリアを支持するキャリア支持体によって、いかなる部位においてもオーバーロードとならないように）、設備内でキャリアを搬送するために、キャリア支持体を割り当てる。これにより、電子デバイス制御に悪い影響を与えるかもしれない、移動コンベヤ・システムの部位における過度な負荷を減らすことはできる。結果的に、本方法及び装置は、従来の電子デバイス製造システムにおいてよりも、より効率的にキャリアを転送することができ、これにより従来のシステムに比べ、製造スループットを改善することができる。
【００１５】
以前に引用された米国特許出願であって、２００３年８月２８日に出願され、「基板キャリアを輸送するためのシステム」と題される米国特許出願（番号：１０／６５０，３１０）（アトニー・ドケット番号：６９００）は、製造設備の稼動中の間、連続的に動作状態となるよう意図された基板キャリアのためのコンベヤを含む基板キャリア輸送システム若しくは類似の配達システムを開示するものである。連続的に移動するコンベヤは、製造設備内で各基板が「滞留する」時間の合計を少なくするように、製造設備内で基板の輸送を行うように意図されたものである。
【００１６】
このように製造設備を動作させるために、コンベヤの動作している間に、コンベヤから基板キャリアを取り出し、コンベヤに基板キャリアを装填するようにした方法及び装置が提供されるべきである。以前に引用された米国特許出願であって、２００３年８月２８日に出願され、「移動コンベヤから直接、基板キャリアを取り出す基板キャリア・ハンドラ」と題される米国特許出願（番号：１０／６５０，４８０）（アトニー・ドケット番号：７６７６）は、移動コンベヤに対し、そのような装填／取り出しを実行する基板ローディング・ステーションの所にある基板キャリア・ハンドラ、または、「基板ローディング・ステーション」を開示するものである。例えば、基板ローディング・ステーション、または、基板ローディング・ステーションは垂直に移動可能な水平方向のガイド、若しくは、クレーンと、この水平方向のガイドに沿って水平方向に移動可能なエンド・エフェクタとを含む。このエンド・エフェクタを垂直方向、及び／又は、水平方向に動かすための他の構成も設けられうる。
【００１７】
基板キャリアを搬送し、基板ローディング・ステーションを通過する移動コンベヤ（「基板キャリア・コンベヤ」）から基板キャリアを取り出すために、エンド・エフェクタは、（例えば、基板キャリアの速度と水平方向にほぼ一致させることにより）基板キャリア・コンベヤによって、輸送されているときの基板キャリアの速度にほぼ一致する速度により水平方向に動く。更に、エンド・エフェクタは基板キャリアが輸送されているときの基板キャリアの近傍の位置に維持される。エンド・エフェクタは、このようにして、基板キャリアの位置と実質的に一致するとともに、基板キャリアの速度にも実質的に一致する。同様に、コンベヤの位置、及び／又は、速度はほぼ一致する。
【００１８】
エンド・エフェクタが基板キャリアの速度（及び／又は位置）にほぼ一致する間に、エンド・エフェクタが基板キャリアに接触し、基板キャリア・コンベヤから基板キャリアを取り出すようにエンド・エフェクタが持ち上げられる。同様に、基板キャリアは、装填（ローディング）の間、ほぼ一致するエンド・エフェクタ及びコンベヤの速度（及び／又は位置）によって、移動する基板キャリア・コンベヤ上に装填される。少なくとも１つの実施例において、エンド・エフェクタと基板キャリア・コンベヤとの間の基板キャリアの受け渡しは、エンド・エフェクタと基板キャリアとの間の実質的に速度ゼロ、及び／又は、加速度ゼロによって行われる。
【００１９】
以前に引用された米国特許出願であって、２００４年１月２６日に出願された、「基板キャリアを輸送するための方法及び装置」と題される米国特許出願（番号：１０／７６４，９８２）（アトニー・ドケット番号：７１６３）は、半導体デバイス製造設備の１以上の処理装置間を基板キャリアを輸送するための上述した基板キャリア搬送システム、及び／又は、基板ローディング・ステーションとともに用いられるコンベヤ・システムを記述している。このコンベヤ・システムは、半導体デバイス製造設備の少なくとも一部分内において、閉じたループを形成し、その中で基板キャリアを輸送するリボン(ribbon)（又は「バンド(band)」）を含む。１以上の実施例において、このリボンまたはバンドは、ステンレス鋼材、ポリカーボネート(polycarbonate)、複合材料（例えば、カーボン・グラファイト、ファイバーグラスなど）、鋼鉄若しくは他の補強されたポリウレタン(Polyurethane)、エポキシ・ラミネート(epoxy laminates)、ステンレス鋼材、（例えば、カーボン・ファイバー、ファイバーグラス、デュポン社から販売されているKevlar（R）、ポリエチレン、スチール・メッシュ(steel mesh)などの）繊維、若しくは、他の硬化部材から形成される。リボンの厚い部分を垂直平面内となるように、且つ、リボンの薄い部分を水平面内に位置するようにリボンを方向づけることにより、リボンは水平平面内で柔軟なものとなり、垂直平面内で硬いものとなる。このような構成により、コンベヤは安価に構成され、実現され得る。例えば、このリボンは作るのにほとんど材料を必要とせず、作成が容易で、その垂直方向の硬さ／強さによって、（水平方向に方向づけられた、ベルトタイプの従来のコンベヤ・システムに用いられるローラ若しくは他の同様な機構などの）補足の支持構造なしに様々な基板のキャリアの重さを支持することができる。更に、リボンはその弾性の柔軟性により、様々な形状に曲げたり、反らせたりし得るので、コンベヤ・システムは高度に客先の仕様に合わせられる。
【００２０】
図１Ａは、本発明の一実施例による、電子デバイス（例えば、半導体デバイス）製造設備の一部分内において、単一のループ１０５を形成するバンド（又はリボン）１０３を含む例示的なコンベヤ・システム１０１の概略平面図である。このバンド１０３は、例えば、２００４年１月２６日に出願され、「基板キャリアを輸送するための方法及び装置」と題された米国特許出願（番号：１０／７６４，９８２）（アトニー・ドケット番号：７１６３）に記載されているようなリボンの１つを含む。バンド１０３は、キャリア支持体１１０の各々を介して、バンド１０３に接続された処理装置１０９の間で基板キャリア（図１Ａには図示せず）を搬送し、（閉じた）ループ１０５を形成するために直線上の部分１１１及び曲がった部分１１３を含む。他の処理装置１０９、及び／又は、ループの構成が用いられる場合もある。
【００２１】
（２００３年８月２８日に出願され、「移動コンベヤから直接、基板キャリアを取り出す基板キャリア・ハンドラ」と題される米国特許出願（番号：１０／６５０，４８０）（アトニー・ドケット番号：７６７６）に記載されるように）、各処理装置１０９は、バンド１０３が基板ローディング・ステーション１１５の傍を通過するときに、コンベヤ・システム１０１の移動バンド１０３から基板キャリアを取り出す（アンロードする）ために、若しくは、それに基板キャリアを装填（ロード）するために、基板ローディング・ステーション１１５（例えば、「装置ステーション」）の所にある基板キャリア・ハンドラを含む。例えば、基板ローディング・ステーション１１５のエンド・エフェクタ（別個に図示せず）は、基板キャリアがバンド１０３によって輸送されているときの基板キャリアの速度に実質的に一致する速度によって水平方向に動かされ、基板キャリアが輸送されているときの基板キャリアの近傍の位置に維持され、エンド・エフェクタが基板キャリアに接触してコンベヤ・システム１０１から基板キャリアを取り出すように持ち上げられる。同様に、基板キャリアの装填の際には、基板キャリアは、実質的に一致するエンド・エフェクタ及びバンドの速度（及び／又は位置）によって移動するバンド１０３上に装填され得る。
【００２２】
各基板ローディング・ステーション１１５は、処理装置１０９への、及び／又は、処理装置１０９からの搬送のために、基板または基板キャリアが置かれる１以上のロード・ポート、若しくは、同様の場所（例えば、ドッキング／アンドッキングの動きを用いない搬送場所が用いられるかもしれないが、１以上のドッキング・ステーション）を含む。様々な基板キャリアの保存場所が、処理装置１０９での基板キャリアの溜め込み（バッファリング）のために、各基板ローディング・ステーション１１５に設けられてもよい。
【００２３】
コンベヤ・システム１０１は、バンド１０３の動作を制御するための輸送システム・コントローラ（ＴＳＣ）１１７を含む。例えば、ＴＳＣ１１７はバンド１０３の速度、または、速さ、及び／又は、状態を制御／モニタし、基板キャリアを支持／搬送するために用いられるバンドのキャリア支持体１１０を割り当て、キャリア支持体１１０の状態をモニタし、バンドのモータ／ドライブの状態をモニタし、そのような情報を各基板ローディング・ステーション１１５などへ供給する。更に、追加的に、若しくは選択的に、以下に詳細に記述されるように、ＴＳＣ１１７はキャリアを輸送するためのキャリア支持体１１０を割り付け、若しくは、割り当てるアルゴリズムを用いてもよい。同様に、各基板ローディング・ステーション１１５は、基板ローディング・ステーションの（例えば、コンベヤ・システム１０１への／コンベヤ・システム１０１からの基板キャリアの装填または取り出し、基板ローディング・ステーション１１５、および/または、基板ローディング・ステーション１１５によりサービスされる処理装置１０９の、ロード・ポートまたは保存場所への／ロード・ポートまたは保存場所からの基板キャリアの輸送などの）動作を制御するための基板ローディング・ステーションのソフトウェア（ＬＳＳ）１１９を含むかもしれない。例えば、ＬＳＳ１１９a−fは、基板ローディング・ステーションのコントローラ（例えば、図示しない、インターセプト・コントローラ）とともに動作する。ホスト／主要制御システム（ＭＣＳ）１２１は、同じ動作を行わしめるために、輸送システム・コントローラ１１７及び基板ローディング・ステーション１１５の各々の基板ローディング・ステーションのソフトウェア１１９a−fと通信する。このようにしてＴＳＣ１１７は、ベイ内で(intra-bay)、及び／又は、ベイ間で(inter-bay)、キャリアの搬送を行うために、設備内のＭＣＳ１２１、基板ローディング・ステーション、及び／又は、搬送ステーションとの間でやりとりを行う。ＴＳＣ１１７、各ＬＳＳ１１９a−f、及び／又は、ＭＣＳ１２１は、ＴＳＣ１１７、ＬＳＳ１１９a−f、及び／又は、ＭＣＳ１２１によって実行される動作のスケジューリングを制御するためのスケジューラ（図示せず）を含むかもしれない。
【００２４】
上述のシステムは、単一の基板、若しくは、実質的に２５枚より少ない基板を保持する基板キャリアなどの小さいロット・サイズの基板キャリアを搬送するに、特に好適なものである。
【００２５】
図１Ｂは、本発明の一実施例による、例示的な連続的に動くコンベヤ・システム内に含まれる制御システムのブロック図である。図１Ｂを参照すると、各処理装置１０９、ＴＳＣ１１７及びＭＣＳ１２１に対応するＬＳＳ１１９a−fは、連続的に移動するコンベヤ・システム１０１の動作を制御するようになされた制御システム１２３を形成する。本発明の一実施例に従い、制御システム１２３がどのように動作するか、より詳細には、制御システム１２３がどのようにコンベヤ・システム１０１に設備内の基板キャリアを搬送せしめるかの詳細は、図２乃至図７を参照して以下に説明される。
【００２６】
図２は、本発明の１実施例による、設備内で基板キャリアを搬送するための方法を説明するためのものである。図２を参照すると、ステップ２０３において本方法２０１は開始する。ステップ２０５において、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備内の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求が受信される。この設備は、更に、キャリアを運ぶようにしたコンベヤ・システムに接続される複数のキャリア支持体１１０を含む。更に詳細には、ＭＣＳ１２１は、第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間で識別された基板キャリアを搬送する要求を出す。ＴＳＣ１１７は、ＭＣＳ１２１からこの要求を受け取る。この要求を受信したことに応じて、ＴＳＣ１１７は第１及び／又は第２の基板ローディング・ステーションと通信する。ＴＳＣ１１７と第１及び／又は第２の基板ローディング・ステーションとの間の例示的なコミュニケーションの詳細は、図６及び図７を参照して以下に説明される。
【００２７】
ステップ２０７において、複数のキャリア支持体１１０のうちの１つは、少なくとも搬送のために必要な時間が短縮され、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへのキャリアの搬送を行うよう割り当てられる。例えば、ＴＳＣ１１７は、少なくとも搬送のために必要な時間が短縮され、及び／又は、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへのキャリアの搬送を行うよう、複数のキャリア支持体１１０のうちの一つを割り付ける。換言すると、制御システム１２３、若しくは、その一部分が、（１）その割り当てが係属中の搬送と衝突するか、若しくは、（２）その割り当てが受け入れられないキャリアの分配（例えば、他の部分に比べ、バンド１０３の一部分において高い密度のキャリア）となってしまうと決定するならば、ＴＳＣ１１７は異なるキャリア支持体１１０（例えば、その衝突、若しくは、不均衡を回避するようなもの）を割り当て、そのキャリアを搬送する。このようにして搬送に必要とされる時間を減らすことによって、設備、及び／又は、その設備内のコンベヤ・システム１０１の動作効率が高められる。更に、若しくは、選択的に、このようにして搬送に必要とされる時間を減少させれば、設備の製造スループットを上げることができる。
【００２８】
コンベヤ・システムのバランスを維持することによって、制御システム１２３はバンド１０３の１カ所以上の部分などの、移動コンベヤ・システム１０１の１カ所以上の部分での過負荷（オーバーローディング）を減少させることができる。移動コンベヤ・システム１０１にアンバランスな負荷（若しくは受け入れられない密度のキャリアを）の処理を要求することは、バンド１０３に過度な負荷をかけることになるかもしれない。制御システム１２３は、バンド１０３への過度な負荷が回避されるよう、キャリア支持体１１０を割り付ける。移動コンベヤ・システム１０１の１カ所以上の部分での過度な負荷を低減することによって、コンベヤ・システム１０１の信頼性は向上し、これによりコンベヤ・システム１０１の停止時間（ダウン・タイム）を減らすことができる。結果的に、制御システム１２３はより効率的にキャリアを搬送することができ、これにより従来のシステムに比べ、製造スループットを改善することができる。
【００２９】
いくつかの実施例において、少なくとも搬送に必要とされる時間が短縮され、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへのキャリアを搬送するために複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当てるアルゴリズムを用いる。搬送に必要とされる時間が減り、及び／又は、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当てるための例示的な方法の詳細は、図３及び図４を参照して以下に詳細に記載される。これらの図は、本発明の一実施例に従い、設備の中で基板キャリアを搬送する際に、キャリア支持体を割り当てるための第一及び第二の例示的な方法をそれぞれ説明するものである。
【００３０】
ステップ２０９において、キャリアは第１の基板ローディング・ステーションから運ばれる。より詳細には、制御システム１２３は第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを移動させ、割り当てられたキャリア支持体上に置く。キャリアが割り付けられたキャリア支持体上にいったん置かれると、移動コンベヤ・システム１０１は第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを搬送する。
【００３１】
ステップ２１１において、キャリアは第２の基板ローディング・ステーションへと運ばれる。より詳細には、制御システム１２３は、コンベヤ・システム１０１によってキャリアを第２の基板ローディング・ステーションの方向へ運ぶ。制御システム１２３は、キャリア支持体が第２の基板ローディング・ステーションに到着すると、キャリア支持体からキャリアを取り出し、第２のローディング・ステーションへ搬送する。
【００３２】
この後、ステップ２１３が実行される。ステップ２１３において、本方法２０１は終了する。図２の本方法２０１を用いることにより、キャリアはより効率的に搬送され、製造スループットは改善され得る。
【００３３】
図３は、本発明の一実施例により、設備内で基板キャリアを搬送する際のキャリア支持体を割り付けるための第一の例示的な方法を説明するものである。図３を参照すると、ステップ３０３において、本方法３０１は開始する。ステップ３０５において、複数のキャリア支持体のうちの１つは、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備内の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するように選択される。複数のキャリア支持体は、設備内でキャリアを運ぶようにしたコンベヤ・システムに接続されている。例えば、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションでの以前の搬送に基づき、複数のキャリア支持体のうちの１つを選択する。より詳細には、制御システム１２３は、基板ローディング・ステーションでの前の搬送のために用いられたキャリア支持体に基づいて、複数のキャリア支持体のうちの１つを選択する。しかしながら、制御システム１２３は、付加的な、及び／若しくは、異なる要素に基づき、複数のキャリア支持体のうちの１つを選択してもよい。
【００３４】
ステップ３０７において、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突しないかどうかが決定される。より詳細には、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションと第２の基板ローディング・ステーションとの間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体を用いることが、設備内の基板ローディング・ステーションの間で行われている係属中のキャリアの搬送と衝突しないかどうかを決定する。例えば、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体を用いることが、設備の基板ローディング・ステーションの間で行われる係属中の支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こすかどうかを決定する。
【００３５】
ステップ３０７において、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突すると決定されるならば、ステップ３０９が実行される。ステップ３０９において、別のキャリア支持体が複数のキャリア支持体の中から選択される。更に詳細には、制御システム１２３は複数のキャリア支持体の中から残っている１つを選択する。いくつかの実施例において、制御システム１２３は、移動コンベヤ・システム１０１上で以前に選択されたキャリア支持体から１つ上流の近傍にあるキャリア支持体を選択する。しかしながら、他の実施例においては、別のキャリア支持体が異なる方法により複数のキャリア支持体の中から選択され得る。この後、ステップ３０７が実行される。上述したように、ステップ３０７において、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かが決定される。より詳細には、制御システム１２３は、複数のキャリア支持体から選択された、別のキャリア支持体（例えば、複数のキャリア支持体の中に残る１つ）が基板ローディング・ステーション間で行われる係属中のキャリアの搬送に衝突するかどうかを決定する。
【００３６】
また、ステップ３０７において、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突しないと決定されるならば、ステップ３１１が実行される。ステップ３１１において、選択されたキャリア支持体は、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために割り当てられる。制御システム１２３は、キャリア支持体を割り当てる前に、キャリア搬送のための選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突しないと決定するので、いったん割り付けが行われると、キャリア支持体は第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアをいかなる係属中の搬送に衝突させることなく搬送する。例えば、選択されたキャリア支持体を用いてキャリア搬送を行うと、係属中の搬送に遅延、及び／又は、失敗を引き起こすようなことはない。
【００３７】
この後、ステップ３１３が実行される。ステップ３１３において、本方法３０１は終了する。
【００３８】
いくつかの実施例において、ステップ３０７に付加して、若しくは、ステップ３０７に代えて、選択されたキャリア支持体がコンベヤ・システム１０１をアンバランスな状態にするかどうかが決定される。例えば、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ基板を搬送するための選択されたキャリア支持体を用いることが、移動コンベヤ・システム１０１の１カ所以上の部分において過負荷となるであるかどうか、それにより潜在的にそのような部分に対して過度なストレスを与えていないかどうかが決定される。
【００３９】
そのような実施例において、選択されたキャリア支持体を用いることがコンベヤ・システム１０１をアンバランスな状態にすると決定されるならば、ステップ３０９が実行される。述べたように、ステップ３０９において、複数のキャリア支持体の中から別のキャリア支持体が選択され得る。
【００４０】
また、そのような実施例において、選択されたキャリア支持体を用いることがコンベヤ・システム１０１をアンバランスな状態にしないと決定されたならば、ステップ３１１が実行され得る。述べたように、ステップ３１１において、その選択されたキャリア支持体が、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために割り当てられる。
【００４１】
本方法３０１の使用によって、搬送に必要とされる時間が少なくとも短縮され、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、複数のキャリア支持体のうちの１つが第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために割り当てられる。結果として、制御システム１２３は、より効率的にキャリアを搬送せしめ、製造スループットは改善される。例えば、ＴＳＣ１１７は、次のシステムレベルの要件が満たされるように、基板ローディング・ステーション間においてキャリアを搬送するためにキャリア支持体を割り当ててもよい。（１）割り付けられたキャリア支持体が、第１の（例えば、発送元の）基板ローディング・ステーションに到着したとき、その発送元の基板ローディング・ステーションはキャリア支持体上にキャリアを置く準備があり、且つ、選択されたキャリア支持体が第２の（例えば、送り先の）基板ローディング・ステーションに到着するとき、送り先の基板ローディング・ステーションはキャリア支持体からキャリアを取り出す準備がある。（２）バンド１０３上での（例えば、バンド１０３に結合されたキャリア支持体への）キャリアの装填は、バンド１０３の速度を制御するＴＳＣ１１７の能力に影響を及ぼさない。且つ、／又は、３）バンド１０３上での（例えば、バンド１０３に結合された、割り当てられたキャリア支持体への）キャリアの装填は、バンド１０３の信頼性に影響を及ぼさない。このようにして、ＴＳＣ１１７は、（例えば、コンベヤ・システム１０１の）システム全体のスループットに悪い影響を及ぼすかもしれないような状態を回避する。例えば、ＴＳＣ１１７は、キャリア支持体が基板ローディング・ステーションに到着したとき、送り先の基板ローディング・ステーション（例えば、キャリアを受け取るであろう基板ローディング・ステーション）が、割り当てられたキャリア支持体からキャリアを取り出す準備ができておらず、これにより、送り先の基板ローディング・ステーションは、その基板ローディング・ステーションがバンド１０３からキャリアを取り出す前に、バンド１０３の完全な１回転を待たなければならないような状態を避けることができる。なぜなら、そのキャリアは、既にバンド１０３上にあり、設備内でキャリアを探知する製造実行システム（ＭＥＳ）は、そのキャリアを送り先の基板ローディング・ステーションに割り当てているからである。更に、ＴＳＣ１１７は、キャリア支持体が基板ローディング・ステーションに到着するときに、発送元の基板ローディング・ステーション（例えば、キャリアを供給する基板ローディング・ステーション）が、割り当てられるキャリア支持体上にキャリアを載置する準備ができておらず、したがって、その搬送が中断されなければならず、その後、新しいキャリア支持体が搬送のために割り当てられなければならないような状態を避けることができる。
【００４２】
追加的に、若しくは、選択的に、ＴＳＣ１１７は、バンド１０３上へのキャリアの装填が（より大きい、または、より小さい許容差が用いられるかもしれないが）、例えば、所要の速度の０．０４％の範囲内でバンド１０３の速度を制御するＴＳＣ１１７の能力に影響を及ぼさないように、キャリア支持体を割り当てる。追加的に、又は、選択的に、ＴＳＣ１１７はバンド１０３上へのキャリアの装荷がムラなく行われるように、キャリアを支持するキャリア支持体の割り当てを行う。バンド１０３上へのムラのあるキャリアの装荷は、特にバンド１０３の曲がっているところで、応力（ストレス）を生み出し、バンド１０３の信頼性に悪い影響を及ぼす。
【００４３】
図４は、本発明の一実施例に従い、設備内で基板キャリアを搬送する際のキャリア支持体の割り当てを行う第二の例示的な方法を図示するものである。図４を参照すると、ステップ４０３において本方法４０１は開始する。ステップ４０５において、複数のキャリア支持体のうちの一つが、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために選択される。例えば、制御システム１２３はこの搬送のために第１のキャリア支持体を選択する。制御システム１２３は、（１）第１の基板ローディング・ステーションに入る最後のキャリア支持体、（２）コンベヤ・システム１０１上にキャリアを載置するためのクレーンを再配置するために、（例えば、移動コンベヤ・システム１０１上からキャリアを取り出す、又は、移動コンベヤ・システム１０１上にキャリアを載置する）クレーンを使用した後、第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、（３）コンベヤ・システム１０１上の近傍のキャリア支持体間の空間、及び／又は、（４）コンベヤ・システム１０１の速度、に基づき、搬送に用いられる第１のキャリア支持体を選択する。このようにして、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションが所要のキャリアを置く準備ができると、第１の基板ローディング・ステーションに到着するであろう（例えば、第１の基板ローディング・ステーションが最も待たなくて済むこととなる）第１のキャリア支持体を選択する。
【００４４】
ステップ４０７において、選択されたキャリア支持体が利用可能であるかどうか決定される。キャリア支持体が、１）空であり、且つ、２）搬送のために割り当てられていないのであれば、そのキャリア支持体は利用可能である。キャリア支持体が、キャリアを支持していないのであれば、そのキャリア支持体は空である。制御システム１２３が、設備内の基板ローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために、キャリア支持体を既に割り当てていないのであれば、そのキャリア支持体は搬送のためには割り当てられていないのである。キャリア支持体の利用可能性は、より多くの、若しくは、より少ない数の要因、及び／又は、異なる要因に基づくかもしれない。例えば、いくつかの実施例において、キャリア支持体が装荷のために所要の基板ローディング・ステーションに到着したときに、キャリア支持体が、１）空であり、２）搬送のために割り当てられておらず、且つ、３）バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられているのであれば、そのキャリア支持体は使用可能である。バンド・ローディング・アルゴリズムは、コンベヤ・システム１０１のバランスを維持するために、制御システム１２３によって実行される。キャリアを搬送するためにキャリア支持体を用いることがコンベヤ・システム１０１をアンバランスな状態（例えば、ムラのある負荷）にしないならば、キャリア支持体はバンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられる。キャリアを支持しているキャリア支持体を用いること、若しくは、搬送のために別のキャリアを搬送するのに既に割り当てられるキャリア支持体を用いることは、設備内での１つ以上の搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こすかもしれない。従って、選択されたキャリア支持体が使用可能であること、若しくは、使用可能となるであろうことを決定することによって、制御システム１２３は、そのようなキャリア支持体を用いることが設備の基板ローディング・ステーション間で係属中の搬送と衝突しないかどうかを決定する。
【００４５】
ステップ４０７において、選択されたキャリア支持体が使用可能でないと決定されると、ステップ４０９が実行される。ステップ４０９において、制御システム１２３は、別のキャリア支持体を選択する。例えば、制御システム１２３は、以前に選択されたキャリア支持体から、次に近傍の（例えば、上流の）キャリア支持体を選択する。このようにして、制御システム１２３は、コンベヤ・システム１０１に接続された複数のキャリア支持体のうち、次のキャリア支持体へと進む。
【００４６】
ステップ４１１において、複数のキャリア支持体のうちの全てのキャリア支持体が選択され、使用不可能であるかどうか決定される。例えば、制御システム１２３は、以前に選択されたキャリア支持体（例えば、搬送のために用いられた第１のキャリア支持体）が再び選択されると決定するかもしれない。ステップ４１１において、制御システム１２３が、全てのキャリア支持体が選択されて、使用不可能であると決定されると、複数のキャリア支持体のうちのどのキャリア支持体も搬送のために使用できないこととなる。従って、ステップ４１３が実行される。ステップ４１３において、搬送を中断する命令が第１の基板ローディング・ステーションに送られる。より詳細には、キャリア支持体のどれもが搬送のために現在、使用できないので、制御システム１２３は搬送を中断する。例えば、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションと第２の基板ローディング・ステーションとの間で、後でそのキャリアを搬送する要求を出してもよい。
【００４７】
その後、ステップ４２９が実行される。ステップ４２９において、本方法４０１は終了する。
【００４８】
また、ステップ４１１において、複数のキャリア支持体の全てのキャリア支持体が選択されていないと決定されると、ステップ４０７が実行される。述べたように、ステップ４０７において、選択されたキャリア支持体が使用可能であるかどうかが決定される。より詳細には、制御システム１２３は、ステップ４０９において選択された別のキャリア支持体が使用可能かどうか決定する。このようにして、制御システム１２３は、使用可能なキャリア支持体が選択されるか、または、制御システム１２３が搬送のために使用することができるキャリア支持体がないと決定するまで、複数のキャリア支持体を順々に見る。
【００４９】
また、ステップ４０７において、選択されたキャリア支持体が使用可能であると決定されると、ステップ４１５が実行される。ステップ４１５において、第１の基板ローディング・ステーションにおいて搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられる。より詳細には、各基板ローディング・ステーション１１５（例えば、第１の基板ローディング・ステーション）は、その基板ローディング・ステーション１１５での係属中の搬送のリストを有する。各基板ローディング・ステーションでの係属中の各搬送とは、設備内での基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送の一部分（例えば、キャリアＸをキャリア支持体Ｘ上に載置すること）であるかもしれない。そのリストは、基板ローディング・ステーション１１５内に含まれるメモリの中に保存される。そのようなリストの項目は、基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送を表し、キャリア支持体指定情報及び基板ローディング・ステーションによって実行されるタスクなどのデータ（例えば、キャリアが認識されたキャリア支持体から取り出されるべきかどうか（例えば、取り上げられるか）、若しくは、識別されたキャリア支持体上に載置されるべきかどうか）を含む。制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられるキャリア支持体に対応する次のエントリー情報を探すリストを順次・チェックする。そのようなエントリー情報は、キャリアが基板ローディング・ステーションによってその上に載置されるか、又はそのキャリアが取り出される、搬送のために割り当てられた次のキャリア支持体を表す。
【００５０】
ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションにおける搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた（識別された）かどうかが決定される。より詳細には、制御システム１２３が、第１の基板ローディング・ステーションに含まれるリスト中のエントリー情報を見つけたか否かが決定される。
【００５１】
ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられると、ステップ４１９が実行される。ステップ４１９において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間の搬送のために割り当てられているのであれば、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられるキャリア支持体の両方の側の空間が受け入れ可能な状態のままであるかどうかが決定される。選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間の搬送のために割り当てられているのであれば、制御システム１２３はリストからのエントリー情報により見つけられる第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のためのキャリア支持体の両方のサイドの空間が受け入れ可能なままであるかどうか決定する。空間は、基板ローディング・ステーションでの搬送（例えば、引き上げ（pick）、若しくは、載置）のために割り当てられる近傍のキャリア支持体の間の距離を表す。選択されたキャリア支持体のための発送元の基板ローディング・ステーションとして供するかもしれない第１の基板ローディング・ステーションにおいて、キャリア支持体の両方のサイドの空間に関し受け入れられる値は、以下のように計算される。
【数１】
以上において、
BandVelocityはコンベア・システム１０１の速度である。
CarrierSupportSpacingはコンベア・システム１０１上の隣接するキャリア支持体間の距離である。
MaximumPickTimeはキャリアをキャリア支持体から取り出すために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間である。
MaximumPrepareToPlaceTimeはコンベア・システム１０１上にキャリアを載せる準備のための位置決めをするために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間である。
MaximumPlaceTimeはコンベア・システム１０１上にキャリアを載せるために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間である。
【００５２】
従って、第１の基板ローディング・ステーションが、識別されたキャリア支持体からキャリアを取り出すならば、そのようなキャリア支持体の両側の適切な空間は、１に、コンベヤ・システムの速度をコンベヤ・システム上の隣接するキャリア支持体間の距離により割ったものと、キャリア支持体からキャリアを取り出すための基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、コンベヤ・システム上のキャリアを載置する準備のための位置決めのために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間との合算値との乗算値を（例えば、整数値まで）切り上げたものを足したものに等しい。
【００５３】
また、第１の基板ローディング・ステーションが、識別されたキャリア支持体上にキャリアを載置するのであれば、そのような基板支持体の両側の適切な空間は、１に、コンベヤ・システムの速度をコンベヤ・システム上の隣接するキャリア支持体間の距離により割ったものと、キャリア支持体にキャリアを載せるための基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、コンベヤ・システム上のキャリアを載置する準備のための位置決めのために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間との合算値との乗算値を（例えば、整数値まで）切り上げたものを足したものに等しい。
【００５４】
制御システム１２３は、（例えば、ステップ４０５において）選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間での搬送のために割り当てられるのであれば、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体（例えば、第１の基板ローディング・ステーションにおいて保持された係属中の搬送のリストの中で識別されたキャリア支持体）の両側の空間が、受け入れられる範囲のものであるかどうかを決定するために、上述の許容空間値を用いる。より詳細には、制御システム１２３は、選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、少なくとも上述の許容可能な空間の値によって示されるキャリア支持体の数の分の空間だけ離れているか否かを決定する。
【００５５】
選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、許容可能な空間値によって指定される空間よりも離れていないならば、第１及び第２の基板ローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために、選択されたキャリア支持体を割り当てることは、そのような搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こし、及び／又は、第１の基板ローディング・ステーションでの識別されたキャリア支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こす。例えば、そのように選択されたクレードルを割り当てることは、バンド１０３をアンバランスな状態にし、搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こす。従って、ステップ４１９において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間での搬送のために割り当てられるならば、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能の範囲でないと決定されると、ステップ４０９が実行される。述べたように、ステップ４０９において、制御システム１２３は別のキャリア支持体を選択する。
【００５６】
しかしながら、選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、許容可能な空間値により指定される空間だけ離れているのであれば、第１及び第２のローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体を割り当てることによって、そのような搬送及び第１のローディング・ステーションでの識別されたキャリア支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗は引き起こされない。従って、ステップ４１９において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２のローディング・ステーション間の搬送のために割り当てられており、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能の範囲内であれば、ステップ４１５、及びその後に、ステップ４１７が実行される。述べたように、ステップ４１５において、第１の基板ローディング・ステーションにおいて搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が指定され、ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションにおいての搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた（識別された）かどうかが決定される。
【００５７】
また、ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が指定されないと決定されると、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の全体リストを順次チェックする。このようにして、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションにおける全ての係属中の搬送（例えば、そのリストに含まれる全てのエントリー情報）をチェックし、第１及び第２の基板ローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体が、第１の基板ローディング・ステーションでの全ての係属中の搬送にとって受け入れられるかどうかを決定する。より詳細には、制御システム１２３は、第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間でキャリアを搬送するため選択されたキャリア支持体を用いることが、第１の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の遅延、及び／又は、失敗をもたらさないであろうことを決定する。従って、ステップ４２１が実行される。ステップ４２１において、第２の基板ローディング・ステーションにおける搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられる（識別される）。述べたように、各基板ローディング・ステーション１１５は、その基板ローディング・ステーション１１５で係属している搬送のリストを有する。基板ローディング・ステーションでの係属中の各搬送は、設備内の基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送の一部分である。そのリストは、基板ローディング・ステーション１１５内に含まれるメモリに保持される。そのようなリストのエントリー情報は、基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送を表し、キャリア支持体の識別情報及び基板ローディング・ステーションにより実行されるべきタスク（例えば、キャリアが識別されたキャリア支持体から取り出されるべきかどうか、又は、識別されたキャリア支持体上に置かれるべきかどうか）などのデータを含む。第２の基板ローディング・ステーションにおいて、制御システム１２３は、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられうるキャリア支持体に対応する次のエントリー情報を探しながらリストを順次チェックする。この次のエントリー情報は、第２の基板ローディング・ステーションによりキャリアが載置されるか、若しくは、キャリアが取り出されるべき搬送のために割り当てられた、次のキャリア支持体を表す。
【００５８】
ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた(識別された)かどうかが決定される。より詳細には、コントロールシステム１２３が、第２の基板ローディング・ステーション内に含まれるリストにおいて、別のキャリア情報を見つけたか否かが決定される。
【００５９】
ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた（識別された）と決定されると、ステップ４２５が実行される。ステップ４２５において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送のために割り当てられているのであれば、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能な範囲であるかどうかが決定される。制御システム１２３は、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーション間の搬送のために割り当てられているのであれば、リストからのエントリー情報により識別された、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のためのキャリア支持体の両側の空間が許容できる範囲のものであるかどうかを決定する。述べたように、ここでの空間とは、一つの基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる隣接するキャリア支持体間の距離である。選択されたキャリア支持体のための送り先の基板ローリング・ステーションとして供する第２の基板ローリング・ステーションにおいて、キャリア支持体の両側の許容可能な空間の値は次のように計算される。
【数２】
以上において、MaximumPrepareToPickTimeはコンベア・システム１０１上からキャリアを取り出す準備のための位置決めをするために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間である。従って、第２の基板ローディング・ステーションが識別されたキャリア支持体からキャリアを取り出すならば、そのようなキャリア支持体の両側の適切な空間は、１に、コンベヤ・システムの速度をコンベヤ・システム上の隣接するキャリア支持体間の距離により割ったものと、キャリア支持体からキャリアを取り出すための基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、コンベヤ・システム上のキャリアの取出しの準備のための位置決めをするために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間との合算値との乗算値を（例えば、整数値まで）切り上げたものを足したものに等しい。
【００６０】
また、第２の基板ローディング・ステーションが、識別されたキャリア支持体上にキャリアを載置するのであれば、基板支持体の両側の適切な空間は、１に、コンベヤ・システムの速度をコンベヤ・システム上の隣接するキャリア支持体間の距離により割ったものと、キャリア支持体にキャリアを載せるための基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、コンベヤ・システム上のキャリアの取出しの準備のための位置決めをするために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間との合算値との乗算値を（例えば、整数値まで）切り上げたものを足したものに等しい。
【００６１】
制御システム１２３は、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間での搬送のために割り当てられているのであれば、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が、受け入れられる範囲であるかどうかを決定するために、上述の許容空間値を用いる。より詳細には、制御システム１２３は、選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、少なくとも上述の許容可能な空間の値によって示されるキャリア支持体の数の分の空間だけ離れているか否かを決定する。
【００６２】
選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、許容可能な空間値によって指定される空間よりも離れていないならば、第１及び第２の基板ローディング・ステーション間のキャリアを搬送するための選択されたキャリア支持体を割り当てることによって、そのような搬送の遅延、及び／又は、失敗が引き起こされ、及び／又は、第２の基板ローディング・ステーションにおいて、識別されたキャリア支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗が引き起こされる。従って、ステップ４２５において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間での搬送のために割り当てられているのであれば、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能の範囲でないと決定されると、ステップ４０９が実行される。述べたように、ステップ４０９において、制御システム１２３は別のキャリア支持体を選択する。
【００６３】
しかしながら、選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、許容可能な空間値により指定される空間だけ離れているのであれば、第１及び第２のローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体を割り当てることによって、そのような搬送及び第２のローディング・ステーションで識別されたキャリア支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗は引き起こされない。従って、ステップ４２５において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２のローディング・ステーション間の搬送のために割り当てられているならば、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能の範囲内であると決定されれば、ステップ４２１、及びその後に、ステップ４２３が実行される。述べたように、ステップ４２１において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が指定され（見つけられ）、ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた(識別された)かどうかが決定される。
【００６４】
また、ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が指定されないと決定されると、制御システム１２３は、第２の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の全体リストを順次チェックする。このようにして、制御システム１２３は、リストに含まれる、第２の基板ローディング・ステーションにおける全ての係属中の搬送をチェックし、第１及び第２の基板ローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体が、第２の基板ローディング・ステーションでの全ての係属中の搬送にとって受け入れられるかどうかを決定する。より詳細には、制御システム１２３は、第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間でキャリアを搬送するため選択されたキャリア支持体を用いることが、第２の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の遅延、及び／又は、失敗をもたらさないであろうことを決定する。
【００６５】
このようにして、制御システム１２３は、第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間でキャリアを搬送するため選択されたキャリア支持体を用いることが、第１および第２の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の遅延、及び／又は、失敗をもたらさないであろうことを決定する。従って、ステップ４２７が実行される。ステップ４２７において、選択されたキャリア支持体が第１および第２の基板ローディング・ステーションの間において、キャリアを搬送するために割り当てられる。第１の基板ローディング・ステーションに対応するリストは、選択されたキャリア支持体を指定すると共に、第１の基板ローディング・ステーションが選択されたキャリア支持体上にキャリアを置くであろうことを示すエントリー情報を含むよう更新される。同様に、第２の基板ローディング・ステーションに対応するリストも、選択されたキャリア支持体を指定すると共に、第２の基板ローディング・ステーションが選択されたキャリア支持体からキャリアを取り出すであろうことを示すエントリー情報を含むよう更新される。
【００６６】
この後、ステップ４２９が実行される。述べたように、ステップ４２９において、本方法４０１は終了する。本方法４０１の使用によって、搬送のために必要とされる時間が短縮されるように、及び／又は、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、複数のキャリア支持体のうちの１つが、第１の基板ローリング・ステーションから第２の基板ローリング・ステーションへ基板の搬送をするために、割り当てられる。例えば、本発明の方法及び装置では、搬送のために使用可能な第１の可能なキャリア支持体により開始することによって、および、搬送のために既に割り当てられておらず、且つ、第１及び第２の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送に衝突しない空のキャリア支持体を選択することによって、搬送のために必要な時間が短縮されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアが搬送されるために、複数のキャリア支持体のうちの１つが割り当てられる。付加的に、若しくは、選択的に、本方法及び装置は、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられ得るキャリア支持体のみを割り当てることにより、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当てる。
【００６７】
図２、図４、及び、図５を参照して、設備内で基板キャリアを搬送するときに、キャリア支持体を割り当てるための第２の例示的な方法を用いる、設備内で基板キャリアを搬送するための方法を、以下に説明する。図５は、本発明の一実施例による、動作中の設備内で基板キャリアを搬送するための例示的な装置のブロック図である。図５を参照すると、装置５０１は、バンド１１３を含む、移動するコンベヤ・システムである。本装置は（より多くの、又は、より少ない数のキャリア支持体が用いられるかもしれないが）、バンド１１３に接続され、各キャリアを支持するようにした、３３個のキャリア支持体を含む。バンド１０３は連続的なものである。例えば、バンド１０３の第１の端５０５は、「０番目」のキャリア支持体とされるバンド１０３に沿った既知の点において、バンド１０３の第２の端５０７と接続される。（０番目のキャリア支持体は、バンド１１３に沿った他の場所にあるかもしれないが）、バンド１０３の０番目のキャリア支持体は、第１及び第３３番目のキャリア支持体５０３の間にある。装置５０１は、複数の基板ローディング・ステーションに亘って１つ以上のキャリア５０９を動かす。例えば、（装置５０１は、基板ローディング・ステーション５１１−５１５の数より大きい数、若しくは、より小さい数の基板ローディング・ステーション５１１−５１５にかけて、キャリアを動かすかもしれないが）、第１番目から第３番目の基板ローディング・ステーション５１１−５１５に亘って、キャリアを運ぶ。装置５０１において、コンベヤ・システム５０１上にキャリア５０９の載置を準備するためにそれ自身を位置決めするために基板ローディング・ステーション５１１−５１５によって必要とされる最大時間、コンベヤ・システム５０１からキャリアを取り出す準備のためにそれ自身を位置決めするために基板ローディング・ステーション５１１−５１５により必要とされる最大時間、コンベヤ・システム５０１からキャリア５０９を取り出すのに必要とされる最大時間、及び、コンベヤ・システム５０１上にキャリア５０９を載置するに必要な最大時間は、各基板ローディング・ステーションについて６秒である。しかしながら、より長い時間、若しくは、より短い時間が、基板ローディング・ステーション５１１−５１５のうちの１つ以上において、それらのパラメータとして用いられる。更に、バンド１１３の速度は、矢印５１７の方向に（例えば、第１の基板ローディング・ステーション５１１から第３の基板ローディング・ステーション５１５の方向に）０．５フィート／秒である。バンド１０３上のキャリア支持体５０３の隣接するキャリア支持体５０３の空間は、２フィートである。しかしながら、より大きい値、若しくは、より小さい値が、バンドの速度、及び／又は、隣接するキャリア支持体間の空間として用いられてもよい。
【００６８】
更に、以下の搬送が継続中とすると、
【表１】
【００６９】
動作中の間、例えば、ステップ２０５の間、制御システム１２３のＴＳＣ１１７は、ＳＬＳ１からＳＬＳ２へキャリア４を運ぶために、ＭＣＳ１２１からの新しい搬送命令を受け取る。これに応じて、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に入った最後のキャリア支持体はキャリア支持体３であることを示すキャリア割当支援命令をＴＳＣ１１７へ送る。制御システム１２３のコンポーネンツと、及び／又は、１以上の基板ローディング・ステーション５１１−５１５との間のやりとり（ハンドシェーキング）の詳細は、図６及び図７を参照して以下に説明される。この後、第２の例示的な方法４０１が用いられるステップ２０７の間、以下のプロセスフローが起こる。
【００７０】
１．ステップ４０５において、上述の式を用いて、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーション（例えば、発送元の基板ローディング・ステーション）が、取出し、若しくは、載置のために既に割り当てられたキャリア支持体の両側にキャリア支持体４つ分のスペースを必要とするか否かを決定する。
【００７１】
２．ＴＳＣ１１７は、第１の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ１）は、第１の基板ローディング・ステーションに入った最後のキャリア支持体（例えば、キャリア支持体３）から、このキャリア支持体４つ分だけ空間を開けることを要すると想定する。従って、ＴＳＣ１１７は、その搬送のためにおそらく使われるであろう第１のキャリア支持体として、キャリア支持体３３からスタートする。尚、（いくつかの実施例において、キャリア支持体の間隔空けを決定するとき、0番目のキャリア支持体は数えられないかもしれないが）、０番目のキャリア支持体は、搬送のために使用されていない間は、キャリア支持体の空間あけを決定するときに、０番目のキャリア支持体は数に入れられるかもしれない。
【００７２】
３．ステップ４０７において、キャリア支持体３３は使用可能か（空か、別の搬送のために割り当てられていない、及び、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
はい
【００７３】
４．ステップ４１５−４１７において、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送のために割り当てられた第１のキャリア支持体は、キャリア支持体３０である。
【００７４】
５．ステップ４１９において、キャリア支持体３０が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体３３は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとって受け入れられるかどうか？
いいえ、なぜならば、キャリア支持体３３はキャリア支持体３０から少なくとも４つ分の空間があいていない。
【００７５】
６．ステップ４０９及び４１１の後、ステップ４０７において、キャリア支持体３２は使用可能かどうか（空か、別の搬送に割り当てられていないか、且つ、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
いいえ
【００７６】
７．ステップ４０９及び４１１の後、ステップ４０７において、キャリア支持体３１は使用可能かどうか（空か、別の搬送に割り当てられていないか、且つ、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
はい
【００７７】
８．ステップ４１５−４１７の後、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送のために割り当てられた第１のキャリア支持体は、キャリア支持体３０である。
【００７８】
９．ステップ４１９において、キャリア支持体３０が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体３１は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとっても受け入れられるかどうか？
いいえ、なぜならば、キャリア支持体３１はキャリア支持体３０から少なくとも４つ分の空間があいていない。
【００７９】
１０．ステップ４０９及び４１１の後、ステップ４０７において、キャリア支持体３０は使用可能かどうか（空か、別の搬送に割り当てられていないか、且つ、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
いいえ
【００８０】
１１．ステップ４０９及び４１１の後、ステップ４０７において、キャリア支持体２９は使用可能かどうか（空か、別の搬送に割り当てられていないか、且つ、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
はい
【００８１】
１２．ステップ４１５−４１７において、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送のために割り当てられた第１のキャリア支持体は、キャリア支持体３０である。
【００８２】
１３．ステップ４１９において、キャリア支持体３０が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２９は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとって受け入れられるかどうか？
いいえ
【００８３】
１４．この処理はTSC117がキャリア支持体２６に辿りつくまで続く。
【００８４】
１５．ステップ４１９において、キャリア支持体３０が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２６は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとって受け入れられるかどうか？
はい
【００８５】
１６．ステップ４１５−４１７において、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送のために割り当てられた、次のキャリア支持体は、キャリア支持体５である。
【００８６】
１７．ステップ４１９において、キャリア支持体５が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２６は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとって受け入れられるかどうか？
はい
【００８７】
１８．ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送に割り当てられるキャリア支持体がなくなり、キャリア支持体２６が第１の(例えば、発送元の)基板ローディング・ステーションにとって受け入れられる。
【００８８】
１９．上述の式を用いて、第２の（例えば、送り先の）基板ローディング・ステーションＳＬＳ２は取出し、または、載置のために、すでに割り当てられたキャリア支持体の両側にキャリア支持体４個分の空間を必要とする。
【００８９】
２０．ステップ４２１−４２３において、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２での搬送のために割り当てられた、第１のキャリア支持体は、キャリア支持体１２である。
【００９０】
２１．ステップ４２５において、キャリア支持体１２が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２６は第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２にとって受け入れられるかどうか？
はい
【００９１】
２２．ステップ４２１−４２３において、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２での搬送のために割り当てられた、次のキャリア支持体は、キャリア支持体１８である。
【００９２】
２３．ステップ４２５において、キャリア支持体１８が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２６は第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２にとって受け入れられるかどうか？
はい
【００９３】
２４．ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２での搬送に割り当てられたキャリア支持体がなくなり、キャリア支持体２６が第２の(例えば、送り先の)基板ローディング・ステーションにとって受け入れられる。
【００９４】
２５．ステップ４２７において、キャリア支持体２６は、この搬送に割り当てられる。
【００９５】
２６．ステップ２０９において、キャリア支持体２６はキャリアを第１の（例えば、発送元の）基板ローディング・ステーションから運ぶ。より詳細には、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１はキャリアをキャリア支持体２６上に置き、キャリア支持体２６は、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１から、そのキャリアを運ぶ。
【００９６】
２７．ステップ２１１において、キャリア支持体２６はキャリアを第１の（例えば、送り先の）基板ローディング・ステーションから運ぶ。より詳細には、キャリア支持体２６は、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２に、そのキャリアを移動させ、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２はキャリアをキャリア支持体２６から取出す。
【００９７】
このようにして、本装置５０１は、搬送のために必要な時間を短縮するようにして、及び／又は、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、設備内でキャリアを搬送するときに、キャリア支持体を割り当てるための例示的な方法を用いることにより、同設備内で基板キャリアを搬送する。従って、制御システム１２３は、従来の電子デバイス製造システムにおいてよりも、より効率的にキャリアを搬送せしめ、これにより従来のシステムに比べ、製造スループットを改善することができる。
【００９８】
図６は、本発明の一実施例により、キャリア支持体がうまく割り当てられた設備内における基板キャリアの搬送を開始するときのやりとり（ハンドシェーキング）６０１を説明するものである。図６を参照して、設備内でキャリアの搬送を開始するために、ＭＣＳ１２１は、発送元の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ１）から、送り先の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ２）へ識別されたキャリアを搬送するために命令６０３を送る。ＴＳＣ１１７は、ＭＣＳ命令６０３に対する応答６０５を送出する。ＴＳＣ１１７は、発送元の基板ローディング・ステーションからキャリア支持体へ識別されたキャリアを搬送するよう試みる。例えば、ＴＳＣ１１７は、搬送が開始されることを示す通知６０７をＭＣＳ６０９に送り、ＭＣＳは応答６０９を返送する。
【００９９】
ＴＳＣ１１７は、キャリア支持体の割り当てが未定のまま、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１へのキャリアの搬送を行う命令６１１を送出する。例えば、ＴＳＣ１１７は、ＭＣＳ６０３から受けた命令を発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１へ転送する。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送命令６１１への応答６１３を送出する。キャリア支持体の割り当ては、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１により受信される搬送命令６１１において未定のままであるので、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は命令６１５をＴＳＣ１１７に送出して、搬送のために用いられるべきキャリア支持体の割り当てを要求する。搬送のために用いられるキャリア支持体の割り当てを要求する命令６１５は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に入る最後のキャリア支持体などの情報を含む。命令６１５は、付加的な、及び／又は、異なる情報を含むかもしれない。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に入る最後のキャリア支持体などの情報に基づいて、ＴＳＣ１１７は搬送のためにキャリア支持体を選択し、割り当てるために、上述したように、設備内で基板キャリアを搬送する際、キャリア支持体を割り当てるための例示的な方法３０１及び４０１のうちの１つを用いる。ＴＳＣ１１７は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に応答６１７を送出する。この応答６１７は、搬送のために選択され、割り当てられたキャリア支持体を指定するものである。
【０１００】
ＴＳＣ１１７は、送り先の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２に搬送命令６１９を送出する。この命令は、搬送のために選択され、割り当てられたキャリア支持体情報を含む。送り先の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２は、搬送命令６１９に応答して、ＴＳＣ１１７に応答６２１を送出する。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１から割り当てられたキャリア支持体へ特定されたキャリアを運ぶために搬送を開始する。このようにして、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、割り当てられたキャリア支持体上に特定のキャリアを載置する。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送が開始されたことを示すイベント通知６２３をＴＳＣ１１７に送出する。
【０１０１】
図６のやりとり（ハンドシェーキング）６０１は、キャリア支持体がうまく割り当てられた搬送の開始を説明するものである。対比的に、図７A及び図７Bは、本発明の一実施例に従い、キャリア支持体がうまく割り当てられなかった場合の、設備内の基板キャリアの搬送を開始するときのやりとり（ハンドシェーキング）７０１を図示するものである。図７A及び図７Bを参照すると、やりとり（ハンドシェーキング）７０１内に含まれる通信（例えば、命令、応答、通知、及び／又は、応答）６０３−６１５は、図６中のやりとり（ハンドシェーキング）６０１内のものと同様のものである。従って、ここでは詳細には記述しない。やりとり（ハンドシェーキング）６０１に対比して、やりとり（ハンドシェーキング）７０１の間は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１からＴＳＣ１１７への搬送のためのキャリア支持体を割り当てる命令６１５に応じて、ＴＳＣ１１７は、キャリア支持体の割り当てを試みるが、うまくいかない。尚、そのような状態は変則的なものである。より詳細には、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に入る最後のキャリア支持体などの情報に基づいて、ＴＳＣ１１７は、搬送のためのキャリア支持体を選択し、割り当てるために、上述したように、設備内の基板キャリアを搬送する際に、キャリア支持体を割り当てるための例示的な方法３０１及び４０１のうちの１つを用いる。しかしながら、そのような例示的な方法３０１及び４０１は、搬送のために必要な時間を少なくとも短くし、コンベヤ・システムのバランスを維持するように、発送元及び送り先の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１、ＳＬＳ２の両者にとって受け入れられるキャリア支持体を選択し、割り当てることはできない。従って、ＴＳＣ１１７は、ＴＳＣ１１７が搬送のためのキャリア支持体を割り当てることができないことを示す応答７０３を、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に送出する。更に、ＴＳＣ１１７は、搬送を取り消すために、命令７０５を発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１へ送出する。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送を取り消す命令７０５に応じて、ＴＳＣ１１７に応答７０７を送出する。
【０１０２】
発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送命令を取り消して、搬送命令の取り消しが開始されたというイベント通知７０９をＴＳＣ１１７に送る。この後、搬送命令がいったん取り消されると、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送命令の取り消しが完了したことを示す通知をＴＳＣ１１７に送る。
【０１０３】
ＴＳＣ１１７は、遅延として特定され得る時間（例えば、設定可能な遅延）の時間だけ待つ、或いは、ＴＳＣ１１７がキャリア支持体をうまく割り当てる（若しくは合理的にうまくに割り当てることが期待できる）ように、１つ以上のキャリア支持体の状態（例えば、利用可能性）が変化するのを待つ。この後、ＴＳＣ１１７は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１へ係属中のキャリア支持体の割り当て情報を有する、キャリアを搬送するために命令６１１を再送出する。やりとり（ハンドシェーキング）７０１に含まれる以下の通信（例えば、命令、応答、通知、及び／又は応答）６１３−６２３は、図６のやりとり（ハンドシェーキング）６０１におけるそれらの対応する通信と同様のものであり、ここにおいては詳細に記載しない。このようにして、制御システム１２３は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１から送り先の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２へキャリアを搬送するための命令に応じてキャリア支持体を割り当てることが、最初はできない場合でも、制御システム１２３は、後で搬送命令を再送出して、その搬送のためのキャリア支持体をうまく割り当てることができる。なお、図６及び図７に図示されたやりとり（ハンドシェーキング）は例示的なものであり、このやりとり（ハンドシェーキング）は異なる態様により起こり得る。例えば、やりとり（ハンドシェーキング）６０１及び７０１は、より多くの、若しくは、より少ない数の通信を含み得る。更に、このやりとり（ハンドシェーキング）は異なる通信６０１及び７０１を含んでもよい。
【０１０４】
このようにして、本方法及び装置では、例えば、（１）キャリアを取得するために必要な時間が短くなり、及び／又は、最短化するよう、及び／又は、（２）バンド１０３上のキャリアの分配がバンド１０３の速度を大きくばらつかせないように、キャリア搬送のためのキャリア支持体の選択が最適化される。より詳細には、キャリア転送のためのキャリア支持体を選択する前に、ＴＳＣ１１７は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に到達する最後のキャリア、および、キャリア搬送のために基板ローディング・ステーションＳＬＳ１自身（例えば、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１のクレーン）を準備するために、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１のための時間（例えば、予測される時間）、などのデータを発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１から取得する。付加的に、若しくは、選択的に、バンド１０３上へのキャリアの分配がバンド１０３の速度のばらつきをもたらさないことを確実にすることにより、本方法及び装置は、特にバンドの曲がり角のところでバンドの圧縮及び／又は拡張をもたらすストレスを生むバンド１０３上のムラのあるローディングを少なくする。
【０１０５】
上述の記述は、本発明の例示的な実施例のみを開示する。本発明の範囲内に入る上記に開示された装置及び方法の変形は、本技術分野の同業者にとって容易に明らかであろう。例えば、本方法及び装置は、搬送のために必要とされる時間が少なくとも短くなり、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ１）から第２の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ２）へキャリアを転送するために複数のキャリア支持体のうちの１つを割り付けることを説明したが、他の実施例においては、キャリア支持体はキャリア搬送を最適化する他の利点が達成されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するように割り当てられてもよい。また、本発明は、シリコン、基板、ガラス板、マスク、レチクル（ｒｅｔｉｃｕｌｅ）、ウェハなど、パターンが形成されていると、いないとに係わらず、及び／又は、そのような基板を輸送、および／または、処理するための装置と共に、利用され得る。
【０１０６】
従って、例示的な実施例に関係づけて本発明は開示されてきたが、次のクレームに定義されるように、本発明の精神及び範囲内に他の実施例も含まれることは理解されるべきである。
【関連出願との相互参照】
【０００１】
本出願は、２００４年２月２８日に出願された米国仮特許出願（番号６０／５４８，５７４）から優先権主張するものである。上掲の特許出願の内容は本明細書中において全体的に引用され、組み込まれる。
【０００２】
本出願は、各々が本明細書において全体的に参照され組み込まれるところの、以下の共通に譲渡され、同時に出願継続中の米国出願に関係するものである。
２００５年２月２５日に出願され、「基板キャリア・ハンドラの改善された動作のための方法及び装置」と題される米国特許出願（アトニー・ドケット番号：９１４０）。
２００５年２月２５日に出願され、「材料制御システム・インターフェースのための方法及び装置」と題される米国特許出願（アトニー・ドケット番号：９１４１）。
２００５年２月２５日に出願され、「電子デバイス製造システムのモニタリング及び制御のための方法及び装置」と題された米国特許出願（アトニー・ドケット番号：９１４４）。
２００３年８月２８日に出願され、「基板キャリアを輸送するためのシステム」と題された米国特許出願（番号：１０／６５０，３１０）（アトニー・ドケット番号：６９００）。
２００４年１月２６日に出願され、「基板キャリアを輸送するための方法及び装置」と題された米国特許出願（番号：１０／７６４，９８２。アトニー・ドケット番号：７１６３）。
２００３年８月２８日に出願され、「移動コンベヤから直接、基板キャリアを取り出す基板キャリア・ハンドラ」と題される米国特許出願（番号：１０／６５０，４８０）（アトニー・ドケット番号：７６７６）。
２００４年１１月１２日に出願され、「コンベア・ベルトの曲がりを許容する分離型（BREAK-AWAY）位置決めコンベア・マウント」と題された米国特許出願（番号：１０／９８７，９５５）（アトニー・ドケット番号：８６１１）。
【発明の分野】
【０００３】
本発明は、主に電子デバイスの製造に関し、より詳細には電子デバイスの製造設備内で基板キャリアを搬送するための方法及び装置に関するものである。
【背景】
【０００４】
電子デバイス製造設備は、製造の間、設備の中を基板キャリアを搬送するための従来のシステムを含む。しかしながら、そのような従来のシステムはキャリアを非効率的に搬送している。従って、電子デバイス製造設備の中で基板キャリアを搬送するための改善された方法及び装置が望まれる。
【発明の概要】
【０００５】
本発明の第一の特徴において、電子デバイス製造のための第一の方法が提供される。この第一の方法は、（１）キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求を受信し、（２）少なくともこの搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、（３）第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び、（４）第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶステップを含む。
【０００６】
本発明の第二の特徴において、第二の方法が提供される。この第二の方法は、（１）各々が基板キャリアを受け取るようにした複数の基板ローディング・ステーションを設け、（２）各々が基板キャリアを支持するようにした複数のキャリア支持体を含み、基板ローディング・ステーション間で基板キャリアを輸送するようにした配達システムを設け、（３）基板ローディング・ステーション間で基板キャリアの輸送を制御するための制御システムを設け、（４）第１の基板ローディング・ステーションへの搬送命令を送るために制御システムを用い、（５）制御システムが第１の基板ローディング・ステーションからの搬送のためにキャリア支持体を割り当てることができないならば、搬送を取り消すために第１の基板ローディング・ステーションへ命令を送るように制御システムを用い、（６）１つ以上のキャリア支持体の遅延及び状態のうちの少なくとも一つが変化した後、前記第１の基板ローディング・ステーションへ前記搬送命令を再送信するために前記制御システムを用いるステップを含む。
【０００７】
本発明の第三の特徴において、電子デバイス製造のための装置が提供される。この装置は、（１）キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含む電子デバイス製造設備内の、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、（２）少なくとも搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、（３）第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び、（４）第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶようにした電子デバイス製造設備の制御システムを含む。
【０００８】
本発明の第四の特徴において、電子デバイス製造のためのシステムが提供される。このシステムは、（１）電子デバイス製造設備内の複数の基板ローディング・ステーションと、（２）結合された複数のキャリア支持体を有し、設備内でキャリアを運ぶコンベア・システムと、（３）前記複数の基板ローディング・ステーションおよび前記コンベア・システムに結合された制御システムを含む。この制御システムは、(ａ) 第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、(ｂ) 少なくとも搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、（ｃ）第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを運び、(ｄ) 第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを運ぶようになっている。多くの他の特徴は本発明のこれらの、および、他の特徴によって、もたらされる。
本発明の他の特徴は以下の詳細な説明、添付の請求の範囲、および添付図面から十分に、より明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の一実施例による、電子デバイス製造設備の一部分内において、単一ループを形成するバンド（ｂａｎｄ）（若しくはリボンｒｉｂｂｏｎ）を含む例示的なコンベヤ・システムの概略平面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、本発明の一実施例による、例示的な連続移動するコンベヤ・システム内に含まれる制御システムのブロック図である。
【図２】図２は、本発明の一実施例による、設備の中の基板キャリアを転送するための方法を図示するものである。
【図３】図３は、本発明の一実施例による、設備内での基板キャリアを搬送するときのキャリア支持体を割り当てるための第一の例示的な方法を図示するものである。
【図４】図４は、本発明の一実施例による、設備の中で基板キャリアを搬送するときのキャリア支持体を割り当てる第二の例示的方法を図示するものである。
【図５】図５は、本発明の一実施例による、稼動中の設備内で基板キャリアを搬送するための例示的な装置のブロック図である。
【図６】図６は、本発明の一実施例によってキャリア支持体がうまく割り当てられた設備内で、基板キャリアの搬送が開始されると共に行われるやりとり（ハンドシェーキング）を説明するものである。
【図７Ａ】〜
【図７Ｂ】図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の一実施例によってキャリア支持体がうまく割り当てられなかった設備内で、基板キャリアの搬送が開始されると共に行われるやりとり（ハンドシェーキング）を説明するものである。
【詳細な説明】
【００１０】
電子デバイス製造設備には、頭上の輸送システム（ＯＨＴ:overhead transportシステム）が用いられる。このシステムは、電子デバイス製造設備内で1個以上の基板キャリアを搬送するようにした移動コンベヤ・システムに接続された、複数のキャリア支持体を含むものである。更に、そのような設備は、電子デバイス製造の間、電子デバイスを処理するようにした装置を含むかもしれない。各処理装置は、処理装置と移動コンベヤ・システムとの間でキャリアを転送するようにした基板ローディング・ステーションの各々に接続されるかもしれない。更に詳細には、各処理装置は、処理装置と移動ＯＨＴシステムに接続されるキャリア支持体との間でキャリアを転送するようにした基板ローディング・ステーションのそれぞれに接続される。このようにして、キャリアは設備内を搬送され得る。
【００１１】
本発明は、設備内でキャリアを搬送するためのキャリア支持体を割り当てるための方法及び装置を提供するものである。本発明の特徴は、特に単一の、若しくは、小さいロット・サイズの基板キャリアに、特に効果的である。本明細書において用いられるように、「小さいロット・サイズの」基板キャリア、若しくは、「小さいロット」のキャリアには、典型的には１３枚、または３５枚の基板を保持する従来の「大きいロット・サイズ」のキャリアよりも少ない基板を保持するようにしたキャリアを意味するものである。一例として、小さいロット・サイズのキャリアは、５枚またはそれ未満の基板を保持するようにしたものであるかもしれない。いくつかの実施例において、他の小さいロット・サイズのキャリアが用いられるかもしれない（例えば、小さいロット・サイズのキャリアは、１枚、２枚、３枚、４枚、若しくは５枚以上の基板を保持するが、大きいロット・サイズのキャリアの枚数よりも少ないものである。）。一般に、小さいロット・サイズのキャリアの各々は、電子デバイス等の製造設備内において、人間によるキャリアの輸送を実行可能とするために、より少ない基板を保持するかもしれない。
【００１２】
少なくとも搬送のために時間が短縮され、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、キャリア支持体を割り当てるようにしたアルゴリズムが用いられる。このようにして、キャリアは従来の電子デバイス製造システムにおいてよりも、より効率的に設備内で搬送され得る。これにより、そのような従来のシステムに比べ、より電子デバイス製造のスループットを改善し得る。例えば、本アルゴリズムによって、第１の基板ローディング・ステーション（例えば、発送元の基板ローディング・ステーション）から第２の基板ローディング・ステーション（例えば、送り先の基板ローディング・ステーション）へ基板を転送若しくは配達する複数のキャリア支持体のうちの１つが選択されるかもしれない。本アルゴリズムによって、選択されたキャリア支持体を用いることが（例えば、設備内において）、継続中の搬送と衝突するか否かが決定される。もし、衝突するならば、本アルゴリズムによって、複数のキャリア支持体の中から別のキャリア支持体が選択され、そのようなキャリア支持体に対して同様の決定を行う。もし、アルゴリズムが、選択されたキャリア支持体を用いることが継続中の搬送と衝突しないとすると判断するならば、その選択されたキャリア支持体は、そのキャリアを第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへと搬送するために割り当てられる。
【００１３】
このようにして、本方法及び装置は、割り当てられたキャリア支持体が第１の基板ローディング・ステーションに到着したとき、第１の基板ローディング・ステーションは割り当てられたキャリア支持体を用いて移動コンベヤ・システム上にキャリアを置くように準備するとともに、割り当てられたキャリア支持体が第２の基板ローディング・ステーションに到着したときは、第２の基板ローディング・ステーションは移動コンベヤ（例えば、そこに接続された割り当てられたキャリア支持体）からキャリアを取り出す準備をするように、設備内でキャリアを搬送するためのキャリア支持体を割り当てる。このようにして、第１の基板ローディング・ステーションがキャリア支持体にキャリアを置く準備をする前に、第１の基板ローディング・ステーションに、移動コンベヤ上の割り当てられたキャリア支持体が搬送されなければならない回数は削減され得るし、かつ／または、第２の基板ローディング・ステーションが基板支持体からキャリアを取り出す準備をする前に、割り当てられたキャリア支持体が（そこに係止されたキャリアとともに）第２の基板ローディング・ステーションに搬送されなければならない回数も削減され得る。
【００１４】
本アルゴリズムは、選択されたキャリア支持体を用いることがコンベヤ・システムをアンバランスな状態にするかどうかを決定し、それに基づき、キャリア支持体を割り当てる。このようにして、本アルゴリズムは、移動コンベヤ・システムがバランスのとれた状態であり続けるように（例えば、キャリアを支持するキャリア支持体によって、いかなる部位においてもオーバーロードとならないように）、設備内でキャリアを搬送するために、キャリア支持体を割り当てる。これにより、電子デバイス制御に悪い影響を与えるかもしれない、移動コンベヤ・システムの部位における過度な負荷を減らすことはできる。結果的に、本方法及び装置は、従来の電子デバイス製造システムにおいてよりも、より効率的にキャリアを転送することができ、これにより従来のシステムに比べ、製造スループットを改善することができる。
【００１５】
以前に引用された米国特許出願であって、２００３年８月２８日に出願され、「基板キャリアを輸送するためのシステム」と題される米国特許出願（番号：１０／６５０，３１０）（アトニー・ドケット番号：６９００）は、製造設備の稼動中の間、連続的に動作状態となるよう意図された基板キャリアのためのコンベヤを含む基板キャリア輸送システム若しくは類似の配達システムを開示するものである。連続的に移動するコンベヤは、製造設備内で各基板が「滞留する」時間の合計を少なくするように、製造設備内で基板の輸送を行うように意図されたものである。
【００１６】
このように製造設備を動作させるために、コンベヤの動作している間に、コンベヤから基板キャリアを取り出し、コンベヤに基板キャリアを装填するようにした方法及び装置が提供されるべきである。以前に引用された米国特許出願であって、２００３年８月２８日に出願され、「移動コンベヤから直接、基板キャリアを取り出す基板キャリア・ハンドラ」と題される米国特許出願（番号：１０／６５０，４８０）（アトニー・ドケット番号：７６７６）は、移動コンベヤに対し、そのような装填／取り出しを実行する基板ローディング・ステーションの所にある基板キャリア・ハンドラ、または、「基板ローディング・ステーション」を開示するものである。例えば、基板ローディング・ステーション、または、基板ローディング・ステーションは垂直に移動可能な水平方向のガイド、若しくは、クレーンと、この水平方向のガイドに沿って水平方向に移動可能なエンド・エフェクタとを含む。このエンド・エフェクタを垂直方向、及び／又は、水平方向に動かすための他の構成も設けられうる。
【００１７】
基板キャリアを搬送し、基板ローディング・ステーションを通過する移動コンベヤ（「基板キャリア・コンベヤ」）から基板キャリアを取り出すために、エンド・エフェクタは、（例えば、基板キャリアの速度と水平方向にほぼ一致させることにより）基板キャリア・コンベヤによって、輸送されているときの基板キャリアの速度にほぼ一致する速度により水平方向に動く。更に、エンド・エフェクタは基板キャリアが輸送されているときの基板キャリアの近傍の位置に維持される。エンド・エフェクタは、このようにして、基板キャリアの位置と実質的に一致するとともに、基板キャリアの速度にも実質的に一致する。同様に、コンベヤの位置、及び／又は、速度はほぼ一致する。
【００１８】
エンド・エフェクタが基板キャリアの速度（及び／又は位置）にほぼ一致する間に、エンド・エフェクタが基板キャリアに接触し、基板キャリア・コンベヤから基板キャリアを取り出すようにエンド・エフェクタが持ち上げられる。同様に、基板キャリアは、装填（ローディング）の間、ほぼ一致するエンド・エフェクタ及びコンベヤの速度（及び／又は位置）によって、移動する基板キャリア・コンベヤ上に装填される。少なくとも１つの実施例において、エンド・エフェクタと基板キャリア・コンベヤとの間の基板キャリアの受け渡しは、エンド・エフェクタと基板キャリアとの間の実質的に速度ゼロ、及び／又は、加速度ゼロによって行われる。
【００１９】
以前に引用された米国特許出願であって、２００４年１月２６日に出願された、「基板キャリアを輸送するための方法及び装置」と題される米国特許出願（番号：１０／７６４，９８２）（アトニー・ドケット番号：７１６３）は、半導体デバイス製造設備の１以上の処理装置間を基板キャリアを輸送するための上述した基板キャリア搬送システム、及び／又は、基板ローディング・ステーションとともに用いられるコンベヤ・システムを記述している。このコンベヤ・システムは、半導体デバイス製造設備の少なくとも一部分内において、閉じたループを形成し、その中で基板キャリアを輸送するリボン(ribbon)（又は「バンド(band)」）を含む。１以上の実施例において、このリボンまたはバンドは、ステンレス鋼材、ポリカーボネート(polycarbonate)、複合材料（例えば、カーボン・グラファイト、ファイバーグラスなど）、鋼鉄若しくは他の補強されたポリウレタン(Polyurethane)、エポキシ・ラミネート(epoxy laminates)、ステンレス鋼材、（例えば、カーボン・ファイバー、ファイバーグラス、デュポン社から販売されているKevlar（R）、ポリエチレン、スチール・メッシュ(steel mesh)などの）繊維、若しくは、他の硬化部材から形成される。リボンの厚い部分を垂直平面内となるように、且つ、リボンの薄い部分を水平面内に位置するようにリボンを方向づけることにより、リボンは水平平面内で柔軟なものとなり、垂直平面内で硬いものとなる。このような構成により、コンベヤは安価に構成され、実現され得る。例えば、このリボンは作るのにほとんど材料を必要とせず、作成が容易で、その垂直方向の硬さ／強さによって、（水平方向に方向づけられた、ベルトタイプの従来のコンベヤ・システムに用いられるローラ若しくは他の同様な機構などの）補足の支持構造なしに様々な基板のキャリアの重さを支持することができる。更に、リボンはその弾性の柔軟性により、様々な形状に曲げたり、反らせたりし得るので、コンベヤ・システムは高度に客先の仕様に合わせられる。
【００２０】
図１Ａは、本発明の一実施例による、電子デバイス（例えば、半導体デバイス）製造設備の一部分内において、単一のループ１０５を形成するバンド（又はリボン）１０３を含む例示的なコンベヤ・システム１０１の概略平面図である。このバンド１０３は、例えば、２００４年１月２６日に出願され、「基板キャリアを輸送するための方法及び装置」と題された米国特許出願（番号：１０／７６４，９８２）（アトニー・ドケット番号：７１６３）に記載されているようなリボンの１つを含む。バンド１０３は、キャリア支持体１１０の各々を介して、バンド１０３に接続された処理装置１０９の間で基板キャリア（図１Ａには図示せず）を搬送し、（閉じた）ループ１０５を形成するために直線上の部分１１１及び曲がった部分１１３を含む。他の処理装置１０９、及び／又は、ループの構成が用いられる場合もある。
【００２１】
（２００３年８月２８日に出願され、「移動コンベヤから直接、基板キャリアを取り出す基板キャリア・ハンドラ」と題される米国特許出願（番号：１０／６５０，４８０）（アトニー・ドケット番号：７６７６）に記載されるように）、各処理装置１０９は、バンド１０３が基板ローディング・ステーション１１５の傍を通過するときに、コンベヤ・システム１０１の移動バンド１０３から基板キャリアを取り出す（アンロードする）ために、若しくは、それに基板キャリアを装填（ロード）するために、基板ローディング・ステーション１１５（例えば、「装置ステーション」）の所にある基板キャリア・ハンドラを含む。例えば、基板ローディング・ステーション１１５のエンド・エフェクタ（別個に図示せず）は、基板キャリアがバンド１０３によって輸送されているときの基板キャリアの速度に実質的に一致する速度によって水平方向に動かされ、基板キャリアが輸送されているときの基板キャリアの近傍の位置に維持され、エンド・エフェクタが基板キャリアに接触してコンベヤ・システム１０１から基板キャリアを取り出すように持ち上げられる。同様に、基板キャリアの装填の際には、基板キャリアは、実質的に一致するエンド・エフェクタ及びバンドの速度（及び／又は位置）によって移動するバンド１０３上に装填され得る。
【００２２】
各基板ローディング・ステーション１１５は、処理装置１０９への、及び／又は、処理装置１０９からの搬送のために、基板または基板キャリアが置かれる１以上のロード・ポート、若しくは、同様の場所（例えば、ドッキング／アンドッキングの動きを用いない搬送場所が用いられるかもしれないが、１以上のドッキング・ステーション）を含む。様々な基板キャリアの保存場所が、処理装置１０９での基板キャリアの溜め込み（バッファリング）のために、各基板ローディング・ステーション１１５に設けられてもよい。
【００２３】
コンベヤ・システム１０１は、バンド１０３の動作を制御するための輸送システム・コントローラ（ＴＳＣ）１１７を含む。例えば、ＴＳＣ１１７はバンド１０３の速度、または、速さ、及び／又は、状態を制御／モニタし、基板キャリアを支持／搬送するために用いられるバンドのキャリア支持体１１０を割り当て、キャリア支持体１１０の状態をモニタし、バンドのモータ／ドライブの状態をモニタし、そのような情報を各基板ローディング・ステーション１１５などへ供給する。更に、追加的に、若しくは選択的に、以下に詳細に記述されるように、ＴＳＣ１１７はキャリアを輸送するためのキャリア支持体１１０を割り付け、若しくは、割り当てるアルゴリズムを用いてもよい。同様に、各基板ローディング・ステーション１１５は、基板ローディング・ステーションの（例えば、コンベヤ・システム１０１への／コンベヤ・システム１０１からの基板キャリアの装填または取り出し、基板ローディング・ステーション１１５、および/または、基板ローディング・ステーション１１５によりサービスされる処理装置１０９の、ロード・ポートまたは保存場所への／ロード・ポートまたは保存場所からの基板キャリアの輸送などの）動作を制御するための基板ローディング・ステーションのソフトウェア（ＬＳＳ）１１９を含むかもしれない。例えば、ＬＳＳ１１９a−fは、基板ローディング・ステーションのコントローラ（例えば、図示しない、インターセプト・コントローラ）とともに動作する。ホスト／主要制御システム（ＭＣＳ）１２１は、同じ動作を行わしめるために、輸送システム・コントローラ１１７及び基板ローディング・ステーション１１５の各々の基板ローディング・ステーションのソフトウェア１１９a−fと通信する。このようにしてＴＳＣ１１７は、ベイ内で(intra-bay)、及び／又は、ベイ間で(inter-bay)、キャリアの搬送を行うために、設備内のＭＣＳ１２１、基板ローディング・ステーション、及び／又は、搬送ステーションとの間でやりとりを行う。ＴＳＣ１１７、各ＬＳＳ１１９a−f、及び／又は、ＭＣＳ１２１は、ＴＳＣ１１７、ＬＳＳ１１９a−f、及び／又は、ＭＣＳ１２１によって実行される動作のスケジューリングを制御するためのスケジューラ（図示せず）を含むかもしれない。
【００２４】
上述のシステムは、単一の基板、若しくは、実質的に２５枚より少ない基板を保持する基板キャリアなどの小さいロット・サイズの基板キャリアを搬送するに、特に好適なものである。
【００２５】
図１Ｂは、本発明の一実施例による、例示的な連続的に動くコンベヤ・システム内に含まれる制御システムのブロック図である。図１Ｂを参照すると、各処理装置１０９、ＴＳＣ１１７及びＭＣＳ１２１に対応するＬＳＳ１１９a−fは、連続的に移動するコンベヤ・システム１０１の動作を制御するようになされた制御システム１２３を形成する。本発明の一実施例に従い、制御システム１２３がどのように動作するか、より詳細には、制御システム１２３がどのようにコンベヤ・システム１０１に設備内の基板キャリアを搬送せしめるかの詳細は、図２乃至図７を参照して以下に説明される。
【００２６】
図２は、本発明の１実施例による、設備内で基板キャリアを搬送するための方法を説明するためのものである。図２を参照すると、ステップ２０３において本方法２０１は開始する。ステップ２０５において、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備内の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求が受信される。この設備は、更に、キャリアを運ぶようにしたコンベヤ・システムに接続される複数のキャリア支持体１１０を含む。更に詳細には、ＭＣＳ１２１は、第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間で識別された基板キャリアを搬送する要求を出す。ＴＳＣ１１７は、ＭＣＳ１２１からこの要求を受け取る。この要求を受信したことに応じて、ＴＳＣ１１７は第１及び／又は第２の基板ローディング・ステーションと通信する。ＴＳＣ１１７と第１及び／又は第２の基板ローディング・ステーションとの間の例示的なコミュニケーションの詳細は、図６及び図７を参照して以下に説明される。
【００２７】
ステップ２０７において、複数のキャリア支持体１１０のうちの１つは、少なくとも搬送のために必要な時間が短縮され、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへのキャリアの搬送を行うよう割り当てられる。例えば、ＴＳＣ１１７は、少なくとも搬送のために必要な時間が短縮され、及び／又は、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへのキャリアの搬送を行うよう、複数のキャリア支持体１１０のうちの一つを割り付ける。換言すると、制御システム１２３、若しくは、その一部分が、（１）その割り当てが係属中の搬送と衝突するか、若しくは、（２）その割り当てが受け入れられないキャリアの分配（例えば、他の部分に比べ、バンド１０３の一部分において高い密度のキャリア）となってしまうと決定するならば、ＴＳＣ１１７は異なるキャリア支持体１１０（例えば、その衝突、若しくは、不均衡を回避するようなもの）を割り当て、そのキャリアを搬送する。このようにして搬送に必要とされる時間を減らすことによって、設備、及び／又は、その設備内のコンベヤ・システム１０１の動作効率が高められる。更に、若しくは、選択的に、このようにして搬送に必要とされる時間を減少させれば、設備の製造スループットを上げることができる。
【００２８】
コンベヤ・システムのバランスを維持することによって、制御システム１２３はバンド１０３の１カ所以上の部分などの、移動コンベヤ・システム１０１の１カ所以上の部分での過負荷（オーバーローディング）を減少させることができる。移動コンベヤ・システム１０１にアンバランスな負荷（若しくは受け入れられない密度のキャリアを）の処理を要求することは、バンド１０３に過度な負荷をかけることになるかもしれない。制御システム１２３は、バンド１０３への過度な負荷が回避されるよう、キャリア支持体１１０を割り付ける。移動コンベヤ・システム１０１の１カ所以上の部分での過度な負荷を低減することによって、コンベヤ・システム１０１の信頼性は向上し、これによりコンベヤ・システム１０１の停止時間（ダウン・タイム）を減らすことができる。結果的に、制御システム１２３はより効率的にキャリアを搬送することができ、これにより従来のシステムに比べ、製造スループットを改善することができる。
【００２９】
いくつかの実施例において、少なくとも搬送に必要とされる時間が短縮され、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへのキャリアを搬送するために複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当てるアルゴリズムを用いる。搬送に必要とされる時間が減り、及び／又は、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当てるための例示的な方法の詳細は、図３及び図４を参照して以下に詳細に記載される。これらの図は、本発明の一実施例に従い、設備の中で基板キャリアを搬送する際に、キャリア支持体を割り当てるための第一及び第二の例示的な方法をそれぞれ説明するものである。
【００３０】
ステップ２０９において、キャリアは第１の基板ローディング・ステーションから運ばれる。より詳細には、制御システム１２３は第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを移動させ、割り当てられたキャリア支持体上に置く。キャリアが割り付けられたキャリア支持体上にいったん置かれると、移動コンベヤ・システム１０１は第１の基板ローディング・ステーションからキャリアを搬送する。
【００３１】
ステップ２１１において、キャリアは第２の基板ローディング・ステーションへと運ばれる。より詳細には、制御システム１２３は、コンベヤ・システム１０１によってキャリアを第２の基板ローディング・ステーションの方向へ運ぶ。制御システム１２３は、キャリア支持体が第２の基板ローディング・ステーションに到着すると、キャリア支持体からキャリアを取り出し、第２のローディング・ステーションへ搬送する。
【００３２】
この後、ステップ２１３が実行される。ステップ２１３において、本方法２０１は終了する。図２の本方法２０１を用いることにより、キャリアはより効率的に搬送され、製造スループットは改善され得る。
【００３３】
図３は、本発明の一実施例により、設備内で基板キャリアを搬送する際のキャリア支持体を割り付けるための第一の例示的な方法を説明するものである。図３を参照すると、ステップ３０３において、本方法３０１は開始する。ステップ３０５において、複数のキャリア支持体のうちの１つは、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備内の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するように選択される。複数のキャリア支持体は、設備内でキャリアを運ぶようにしたコンベヤ・システムに接続されている。例えば、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションでの以前の搬送に基づき、複数のキャリア支持体のうちの１つを選択する。より詳細には、制御システム１２３は、基板ローディング・ステーションでの前の搬送のために用いられたキャリア支持体に基づいて、複数のキャリア支持体のうちの１つを選択する。しかしながら、制御システム１２３は、付加的な、及び／若しくは、異なる要素に基づき、複数のキャリア支持体のうちの１つを選択してもよい。
【００３４】
ステップ３０７において、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突しないかどうかが決定される。より詳細には、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションと第２の基板ローディング・ステーションとの間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体を用いることが、設備内の基板ローディング・ステーションの間で行われている係属中のキャリアの搬送と衝突しないかどうかを決定する。例えば、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体を用いることが、設備の基板ローディング・ステーションの間で行われる係属中の支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こすかどうかを決定する。
【００３５】
ステップ３０７において、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突すると決定されるならば、ステップ３０９が実行される。ステップ３０９において、別のキャリア支持体が複数のキャリア支持体の中から選択される。更に詳細には、制御システム１２３は複数のキャリア支持体の中から残っている１つを選択する。いくつかの実施例において、制御システム１２３は、移動コンベヤ・システム１０１上で以前に選択されたキャリア支持体から１つ上流の近傍にあるキャリア支持体を選択する。しかしながら、他の実施例においては、別のキャリア支持体が異なる方法により複数のキャリア支持体の中から選択され得る。この後、ステップ３０７が実行される。上述したように、ステップ３０７において、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かが決定される。より詳細には、制御システム１２３は、複数のキャリア支持体から選択された、別のキャリア支持体（例えば、複数のキャリア支持体の中に残る１つ）が基板ローディング・ステーション間で行われる係属中のキャリアの搬送に衝突するかどうかを決定する。
【００３６】
また、ステップ３０７において、選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突しないと決定されるならば、ステップ３１１が実行される。ステップ３１１において、選択されたキャリア支持体は、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために割り当てられる。制御システム１２３は、キャリア支持体を割り当てる前に、キャリア搬送のための選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突しないと決定するので、いったん割り付けが行われると、キャリア支持体は第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアをいかなる係属中の搬送に衝突させることなく搬送する。例えば、選択されたキャリア支持体を用いてキャリア搬送を行うと、係属中の搬送に遅延、及び／又は、失敗を引き起こすようなことはない。
【００３７】
この後、ステップ３１３が実行される。ステップ３１３において、本方法３０１は終了する。
【００３８】
いくつかの実施例において、ステップ３０７に付加して、若しくは、ステップ３０７に代えて、選択されたキャリア支持体がコンベヤ・システム１０１をアンバランスな状態にするかどうかが決定される。例えば、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ基板を搬送するための選択されたキャリア支持体を用いることが、移動コンベヤ・システム１０１の１カ所以上の部分において過負荷となるであるかどうか、それにより潜在的にそのような部分に対して過度なストレスを与えていないかどうかが決定される。
【００３９】
そのような実施例において、選択されたキャリア支持体を用いることがコンベヤ・システム１０１をアンバランスな状態にすると決定されるならば、ステップ３０９が実行される。述べたように、ステップ３０９において、複数のキャリア支持体の中から別のキャリア支持体が選択され得る。
【００４０】
また、そのような実施例において、選択されたキャリア支持体を用いることがコンベヤ・システム１０１をアンバランスな状態にしないと決定されたならば、ステップ３１１が実行され得る。述べたように、ステップ３１１において、その選択されたキャリア支持体が、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために割り当てられる。
【００４１】
本方法３０１の使用によって、搬送に必要とされる時間が少なくとも短縮され、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、複数のキャリア支持体のうちの１つが第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために割り当てられる。結果として、制御システム１２３は、より効率的にキャリアを搬送せしめ、製造スループットは改善される。例えば、ＴＳＣ１１７は、次のシステムレベルの要件が満たされるように、基板ローディング・ステーション間においてキャリアを搬送するためにキャリア支持体を割り当ててもよい。（１）割り付けられたキャリア支持体が、第１の（例えば、発送元の）基板ローディング・ステーションに到着したとき、その発送元の基板ローディング・ステーションはキャリア支持体上にキャリアを置く準備があり、且つ、選択されたキャリア支持体が第２の（例えば、送り先の）基板ローディング・ステーションに到着するとき、送り先の基板ローディング・ステーションはキャリア支持体からキャリアを取り出す準備がある。（２）バンド１０３上での（例えば、バンド１０３に結合されたキャリア支持体への）キャリアの装填は、バンド１０３の速度を制御するＴＳＣ１１７の能力に影響を及ぼさない。且つ、／又は、３）バンド１０３上での（例えば、バンド１０３に結合された、割り当てられたキャリア支持体への）キャリアの装填は、バンド１０３の信頼性に影響を及ぼさない。このようにして、ＴＳＣ１１７は、（例えば、コンベヤ・システム１０１の）システム全体のスループットに悪い影響を及ぼすかもしれないような状態を回避する。例えば、ＴＳＣ１１７は、キャリア支持体が基板ローディング・ステーションに到着したとき、送り先の基板ローディング・ステーション（例えば、キャリアを受け取るであろう基板ローディング・ステーション）が、割り当てられたキャリア支持体からキャリアを取り出す準備ができておらず、これにより、送り先の基板ローディング・ステーションは、その基板ローディング・ステーションがバンド１０３からキャリアを取り出す前に、バンド１０３の完全な１回転を待たなければならないような状態を避けることができる。なぜなら、そのキャリアは、既にバンド１０３上にあり、設備内でキャリアを探知する製造実行システム（ＭＥＳ）は、そのキャリアを送り先の基板ローディング・ステーションに割り当てているからである。更に、ＴＳＣ１１７は、キャリア支持体が基板ローディング・ステーションに到着するときに、発送元の基板ローディング・ステーション（例えば、キャリアを供給する基板ローディング・ステーション）が、割り当てられるキャリア支持体上にキャリアを載置する準備ができておらず、したがって、その搬送が中断されなければならず、その後、新しいキャリア支持体が搬送のために割り当てられなければならないような状態を避けることができる。
【００４２】
追加的に、若しくは、選択的に、ＴＳＣ１１７は、バンド１０３上へのキャリアの装填が（より大きい、または、より小さい許容差が用いられるかもしれないが）、例えば、所要の速度の０．０４％の範囲内でバンド１０３の速度を制御するＴＳＣ１１７の能力に影響を及ぼさないように、キャリア支持体を割り当てる。追加的に、又は、選択的に、ＴＳＣ１１７はバンド１０３上へのキャリアの装荷がムラなく行われるように、キャリアを支持するキャリア支持体の割り当てを行う。バンド１０３上へのムラのあるキャリアの装荷は、特にバンド１０３の曲がっているところで、応力（ストレス）を生み出し、バンド１０３の信頼性に悪い影響を及ぼす。
【００４３】
図４は、本発明の一実施例に従い、設備内で基板キャリアを搬送する際のキャリア支持体の割り当てを行う第二の例示的な方法を図示するものである。図４を参照すると、ステップ４０３において本方法４０１は開始する。ステップ４０５において、複数のキャリア支持体のうちの一つが、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために選択される。例えば、制御システム１２３はこの搬送のために第１のキャリア支持体を選択する。制御システム１２３は、（１）第１の基板ローディング・ステーションに入る最後のキャリア支持体、（２）コンベヤ・システム１０１上にキャリアを載置するためのクレーンを再配置するために、（例えば、移動コンベヤ・システム１０１上からキャリアを取り出す、又は、移動コンベヤ・システム１０１上にキャリアを載置する）クレーンを使用した後、第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、（３）コンベヤ・システム１０１上の近傍のキャリア支持体間の空間、及び／又は、（４）コンベヤ・システム１０１の速度、に基づき、搬送に用いられる第１のキャリア支持体を選択する。このようにして、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションが所要のキャリアを置く準備ができると、第１の基板ローディング・ステーションに到着するであろう（例えば、第１の基板ローディング・ステーションが最も待たなくて済むこととなる）第１のキャリア支持体を選択する。
【００４４】
ステップ４０７において、選択されたキャリア支持体が利用可能であるかどうか決定される。キャリア支持体が、１）空であり、且つ、２）搬送のために割り当てられていないのであれば、そのキャリア支持体は利用可能である。キャリア支持体が、キャリアを支持していないのであれば、そのキャリア支持体は空である。制御システム１２３が、設備内の基板ローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために、キャリア支持体を既に割り当てていないのであれば、そのキャリア支持体は搬送のためには割り当てられていないのである。キャリア支持体の利用可能性は、より多くの、若しくは、より少ない数の要因、及び／又は、異なる要因に基づくかもしれない。例えば、いくつかの実施例において、キャリア支持体が装荷のために所要の基板ローディング・ステーションに到着したときに、キャリア支持体が、１）空であり、２）搬送のために割り当てられておらず、且つ、３）バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられているのであれば、そのキャリア支持体は使用可能である。バンド・ローディング・アルゴリズムは、コンベヤ・システム１０１のバランスを維持するために、制御システム１２３によって実行される。キャリアを搬送するためにキャリア支持体を用いることがコンベヤ・システム１０１をアンバランスな状態（例えば、ムラのある負荷）にしないならば、キャリア支持体はバンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられる。キャリアを支持しているキャリア支持体を用いること、若しくは、搬送のために別のキャリアを搬送するのに既に割り当てられるキャリア支持体を用いることは、設備内での１つ以上の搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こすかもしれない。従って、選択されたキャリア支持体が使用可能であること、若しくは、使用可能となるであろうことを決定することによって、制御システム１２３は、そのようなキャリア支持体を用いることが設備の基板ローディング・ステーション間で係属中の搬送と衝突しないかどうかを決定する。
【００４５】
ステップ４０７において、選択されたキャリア支持体が使用可能でないと決定されると、ステップ４０９が実行される。ステップ４０９において、制御システム１２３は、別のキャリア支持体を選択する。例えば、制御システム１２３は、以前に選択されたキャリア支持体から、次に近傍の（例えば、上流の）キャリア支持体を選択する。このようにして、制御システム１２３は、コンベヤ・システム１０１に接続された複数のキャリア支持体のうち、次のキャリア支持体へと進む。
【００４６】
ステップ４１１において、複数のキャリア支持体のうちの全てのキャリア支持体が選択され、使用不可能であるかどうか決定される。例えば、制御システム１２３は、以前に選択されたキャリア支持体（例えば、搬送のために用いられた第１のキャリア支持体）が再び選択されると決定するかもしれない。ステップ４１１において、制御システム１２３が、全てのキャリア支持体が選択されて、使用不可能であると決定されると、複数のキャリア支持体のうちのどのキャリア支持体も搬送のために使用できないこととなる。従って、ステップ４１３が実行される。ステップ４１３において、搬送を中断する命令が第１の基板ローディング・ステーションに送られる。より詳細には、キャリア支持体のどれもが搬送のために現在、使用できないので、制御システム１２３は搬送を中断する。例えば、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションと第２の基板ローディング・ステーションとの間で、後でそのキャリアを搬送する要求を出してもよい。
【００４７】
その後、ステップ４２９が実行される。ステップ４２９において、本方法４０１は終了する。
【００４８】
また、ステップ４１１において、複数のキャリア支持体の全てのキャリア支持体が選択されていないと決定されると、ステップ４０７が実行される。述べたように、ステップ４０７において、選択されたキャリア支持体が使用可能であるかどうかが決定される。より詳細には、制御システム１２３は、ステップ４０９において選択された別のキャリア支持体が使用可能かどうか決定する。このようにして、制御システム１２３は、使用可能なキャリア支持体が選択されるか、または、制御システム１２３が搬送のために使用することができるキャリア支持体がないと決定するまで、複数のキャリア支持体を順々に見る。
【００４９】
また、ステップ４０７において、選択されたキャリア支持体が使用可能であると決定されると、ステップ４１５が実行される。ステップ４１５において、第１の基板ローディング・ステーションにおいて搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられる。より詳細には、各基板ローディング・ステーション１１５（例えば、第１の基板ローディング・ステーション）は、その基板ローディング・ステーション１１５での係属中の搬送のリストを有する。各基板ローディング・ステーションでの係属中の各搬送とは、設備内での基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送の一部分（例えば、キャリアＸをキャリア支持体Ｘ上に載置すること）であるかもしれない。そのリストは、基板ローディング・ステーション１１５内に含まれるメモリの中に保存される。そのようなリストの項目は、基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送を表し、キャリア支持体指定情報及び基板ローディング・ステーションによって実行されるタスクなどのデータ（例えば、キャリアが認識されたキャリア支持体から取り出されるべきかどうか（例えば、取り上げられるか）、若しくは、識別されたキャリア支持体上に載置されるべきかどうか）を含む。制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられるキャリア支持体に対応する次のエントリー情報を探すリストを順次・チェックする。そのようなエントリー情報は、キャリアが基板ローディング・ステーションによってその上に載置されるか、又はそのキャリアが取り出される、搬送のために割り当てられた次のキャリア支持体を表す。
【００５０】
ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションにおける搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた（識別された）かどうかが決定される。より詳細には、制御システム１２３が、第１の基板ローディング・ステーションに含まれるリスト中のエントリー情報を見つけたか否かが決定される。
【００５１】
ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられると、ステップ４１９が実行される。ステップ４１９において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間の搬送のために割り当てられているのであれば、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられるキャリア支持体の両方の側の空間が受け入れ可能な状態のままであるかどうかが決定される。選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間の搬送のために割り当てられているのであれば、制御システム１２３はリストからのエントリー情報により見つけられる第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のためのキャリア支持体の両方のサイドの空間が受け入れ可能なままであるかどうか決定する。空間は、基板ローディング・ステーションでの搬送（例えば、引き上げ（pick）、若しくは、載置）のために割り当てられる近傍のキャリア支持体の間の距離を表す。選択されたキャリア支持体のための発送元の基板ローディング・ステーションとして供するかもしれない第１の基板ローディング・ステーションにおいて、キャリア支持体の両方のサイドの空間に関し受け入れられる値は、以下のように計算される。
【数１】
以上において、
BandVelocityはコンベア・システム１０１の速度である。
CarrierSupportSpacingはコンベア・システム１０１上の隣接するキャリア支持体間の距離である。
MaximumPickTimeはキャリアをキャリア支持体から取り出すために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間である。
MaximumPrepareToPlaceTimeはコンベア・システム１０１上にキャリアを載せる準備のための位置決めをするために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間である。
MaximumPlaceTimeはコンベア・システム１０１上にキャリアを載せるために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間である。
【００５２】
従って、第１の基板ローディング・ステーションが、識別されたキャリア支持体からキャリアを取り出すならば、そのようなキャリア支持体の両側の適切な空間は、１に、コンベヤ・システムの速度をコンベヤ・システム上の隣接するキャリア支持体間の距離により割ったものと、キャリア支持体からキャリアを取り出すための基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、コンベヤ・システム上のキャリアを載置する準備のための位置決めのために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間との合算値との乗算値を（例えば、整数値まで）切り上げたものを足したものに等しい。
【００５３】
また、第１の基板ローディング・ステーションが、識別されたキャリア支持体上にキャリアを載置するのであれば、そのような基板支持体の両側の適切な空間は、１に、コンベヤ・システムの速度をコンベヤ・システム上の隣接するキャリア支持体間の距離により割ったものと、キャリア支持体にキャリアを載せるための基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、コンベヤ・システム上のキャリアを載置する準備のための位置決めのために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間との合算値との乗算値を（例えば、整数値まで）切り上げたものを足したものに等しい。
【００５４】
制御システム１２３は、（例えば、ステップ４０５において）選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間での搬送のために割り当てられるのであれば、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体（例えば、第１の基板ローディング・ステーションにおいて保持された係属中の搬送のリストの中で識別されたキャリア支持体）の両側の空間が、受け入れられる範囲のものであるかどうかを決定するために、上述の許容空間値を用いる。より詳細には、制御システム１２３は、選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、少なくとも上述の許容可能な空間の値によって示されるキャリア支持体の数の分の空間だけ離れているか否かを決定する。
【００５５】
選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、許容可能な空間値によって指定される空間よりも離れていないならば、第１及び第２の基板ローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために、選択されたキャリア支持体を割り当てることは、そのような搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こし、及び／又は、第１の基板ローディング・ステーションでの識別されたキャリア支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こす。例えば、そのように選択されたクレードルを割り当てることは、バンド１０３をアンバランスな状態にし、搬送の遅延、及び／又は、失敗を引き起こす。従って、ステップ４１９において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間での搬送のために割り当てられるならば、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能の範囲でないと決定されると、ステップ４０９が実行される。述べたように、ステップ４０９において、制御システム１２３は別のキャリア支持体を選択する。
【００５６】
しかしながら、選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、許容可能な空間値により指定される空間だけ離れているのであれば、第１及び第２のローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体を割り当てることによって、そのような搬送及び第１のローディング・ステーションでの識別されたキャリア支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗は引き起こされない。従って、ステップ４１９において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２のローディング・ステーション間の搬送のために割り当てられており、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能の範囲内であれば、ステップ４１５、及びその後に、ステップ４１７が実行される。述べたように、ステップ４１５において、第１の基板ローディング・ステーションにおいて搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が指定され、ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションにおいての搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた（識別された）かどうかが決定される。
【００５７】
また、ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が指定されないと決定されると、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の全体リストを順次チェックする。このようにして、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーションにおける全ての係属中の搬送（例えば、そのリストに含まれる全てのエントリー情報）をチェックし、第１及び第２の基板ローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体が、第１の基板ローディング・ステーションでの全ての係属中の搬送にとって受け入れられるかどうかを決定する。より詳細には、制御システム１２３は、第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間でキャリアを搬送するため選択されたキャリア支持体を用いることが、第１の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の遅延、及び／又は、失敗をもたらさないであろうことを決定する。従って、ステップ４２１が実行される。ステップ４２１において、第２の基板ローディング・ステーションにおける搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられる（識別される）。述べたように、各基板ローディング・ステーション１１５は、その基板ローディング・ステーション１１５で係属している搬送のリストを有する。基板ローディング・ステーションでの係属中の各搬送は、設備内の基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送の一部分である。そのリストは、基板ローディング・ステーション１１５内に含まれるメモリに保持される。そのようなリストのエントリー情報は、基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送を表し、キャリア支持体の識別情報及び基板ローディング・ステーションにより実行されるべきタスク（例えば、キャリアが識別されたキャリア支持体から取り出されるべきかどうか、又は、識別されたキャリア支持体上に置かれるべきかどうか）などのデータを含む。第２の基板ローディング・ステーションにおいて、制御システム１２３は、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられうるキャリア支持体に対応する次のエントリー情報を探しながらリストを順次チェックする。この次のエントリー情報は、第２の基板ローディング・ステーションによりキャリアが載置されるか、若しくは、キャリアが取り出されるべき搬送のために割り当てられた、次のキャリア支持体を表す。
【００５８】
ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた(識別された)かどうかが決定される。より詳細には、コントロールシステム１２３が、第２の基板ローディング・ステーション内に含まれるリストにおいて、別のキャリア情報を見つけたか否かが決定される。
【００５９】
ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた（識別された）と決定されると、ステップ４２５が実行される。ステップ４２５において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送のために割り当てられているのであれば、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能な範囲であるかどうかが決定される。制御システム１２３は、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーション間の搬送のために割り当てられているのであれば、リストからのエントリー情報により識別された、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のためのキャリア支持体の両側の空間が許容できる範囲のものであるかどうかを決定する。述べたように、ここでの空間とは、一つの基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる隣接するキャリア支持体間の距離である。選択されたキャリア支持体のための送り先の基板ローリング・ステーションとして供する第２の基板ローリング・ステーションにおいて、キャリア支持体の両側の許容可能な空間の値は次のように計算される。
【数２】
以上において、MaximumPrepareToPickTimeはコンベア・システム１０１上からキャリアを取り出す準備のための位置決めをするために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間である。従って、第２の基板ローディング・ステーションが識別されたキャリア支持体からキャリアを取り出すならば、そのようなキャリア支持体の両側の適切な空間は、１に、コンベヤ・システムの速度をコンベヤ・システム上の隣接するキャリア支持体間の距離により割ったものと、キャリア支持体からキャリアを取り出すための基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、コンベヤ・システム上のキャリアの取出しの準備のための位置決めをするために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間との合算値との乗算値を（例えば、整数値まで）切り上げたものを足したものに等しい。
【００６０】
また、第２の基板ローディング・ステーションが、識別されたキャリア支持体上にキャリアを載置するのであれば、基板支持体の両側の適切な空間は、１に、コンベヤ・システムの速度をコンベヤ・システム上の隣接するキャリア支持体間の距離により割ったものと、キャリア支持体にキャリアを載せるための基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、コンベヤ・システム上のキャリアの取出しの準備のための位置決めをするために、基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間との合算値との乗算値を（例えば、整数値まで）切り上げたものを足したものに等しい。
【００６１】
制御システム１２３は、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間での搬送のために割り当てられているのであれば、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が、受け入れられる範囲であるかどうかを決定するために、上述の許容空間値を用いる。より詳細には、制御システム１２３は、選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、少なくとも上述の許容可能な空間の値によって示されるキャリア支持体の数の分の空間だけ離れているか否かを決定する。
【００６２】
選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、許容可能な空間値によって指定される空間よりも離れていないならば、第１及び第２の基板ローディング・ステーション間のキャリアを搬送するための選択されたキャリア支持体を割り当てることによって、そのような搬送の遅延、及び／又は、失敗が引き起こされ、及び／又は、第２の基板ローディング・ステーションにおいて、識別されたキャリア支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗が引き起こされる。従って、ステップ４２５において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間での搬送のために割り当てられているのであれば、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能の範囲でないと決定されると、ステップ４０９が実行される。述べたように、ステップ４０９において、制御システム１２３は別のキャリア支持体を選択する。
【００６３】
しかしながら、選択されたキャリア支持体が、識別されたキャリア支持体から、許容可能な空間値により指定される空間だけ離れているのであれば、第１及び第２のローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体を割り当てることによって、そのような搬送及び第２のローディング・ステーションで識別されたキャリア支持体の搬送の遅延、及び／又は、失敗は引き起こされない。従って、ステップ４２５において、選択されたキャリア支持体が第１及び第２のローディング・ステーション間の搬送のために割り当てられているならば、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために識別されたキャリア支持体の両側の空間が許容可能の範囲内であると決定されれば、ステップ４２１、及びその後に、ステップ４２３が実行される。述べたように、ステップ４２１において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が指定され（見つけられ）、ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が見つけられた(識別された)かどうかが決定される。
【００６４】
また、ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションでの搬送のために割り当てられる次のキャリア支持体が指定されないと決定されると、制御システム１２３は、第２の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の全体リストを順次チェックする。このようにして、制御システム１２３は、リストに含まれる、第２の基板ローディング・ステーションにおける全ての係属中の搬送をチェックし、第１及び第２の基板ローディング・ステーション間でキャリアを搬送するために選択されたキャリア支持体が、第２の基板ローディング・ステーションでの全ての係属中の搬送にとって受け入れられるかどうかを決定する。より詳細には、制御システム１２３は、第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間でキャリアを搬送するため選択されたキャリア支持体を用いることが、第２の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の遅延、及び／又は、失敗をもたらさないであろうことを決定する。
【００６５】
このようにして、制御システム１２３は、第１及び第２の基板ローディング・ステーションの間でキャリアを搬送するため選択されたキャリア支持体を用いることが、第１および第２の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送の遅延、及び／又は、失敗をもたらさないであろうことを決定する。従って、ステップ４２７が実行される。ステップ４２７において、選択されたキャリア支持体が第１および第２の基板ローディング・ステーションの間において、キャリアを搬送するために割り当てられる。第１の基板ローディング・ステーションに対応するリストは、選択されたキャリア支持体を指定すると共に、第１の基板ローディング・ステーションが選択されたキャリア支持体上にキャリアを置くであろうことを示すエントリー情報を含むよう更新される。同様に、第２の基板ローディング・ステーションに対応するリストも、選択されたキャリア支持体を指定すると共に、第２の基板ローディング・ステーションが選択されたキャリア支持体からキャリアを取り出すであろうことを示すエントリー情報を含むよう更新される。
【００６６】
この後、ステップ４２９が実行される。述べたように、ステップ４２９において、本方法４０１は終了する。本方法４０１の使用によって、搬送のために必要とされる時間が短縮されるように、及び／又は、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、複数のキャリア支持体のうちの１つが、第１の基板ローリング・ステーションから第２の基板ローリング・ステーションへ基板の搬送をするために、割り当てられる。例えば、本発明の方法及び装置では、搬送のために使用可能な第１の可能なキャリア支持体により開始することによって、および、搬送のために既に割り当てられておらず、且つ、第１及び第２の基板ローディング・ステーションでの係属中の搬送に衝突しない空のキャリア支持体を選択することによって、搬送のために必要な時間が短縮されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアが搬送されるために、複数のキャリア支持体のうちの１つが割り当てられる。付加的に、若しくは、選択的に、本方法及び装置は、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられ得るキャリア支持体のみを割り当てることにより、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するために、複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当てる。
【００６７】
図２、図４、及び、図５を参照して、設備内で基板キャリアを搬送するときに、キャリア支持体を割り当てるための第２の例示的な方法を用いる、設備内で基板キャリアを搬送するための方法を、以下に説明する。図５は、本発明の一実施例による、動作中の設備内で基板キャリアを搬送するための例示的な装置のブロック図である。図５を参照すると、装置５０１は、バンド１１３を含む、移動するコンベヤ・システムである。本装置は（より多くの、又は、より少ない数のキャリア支持体が用いられるかもしれないが）、バンド１１３に接続され、各キャリアを支持するようにした、３３個のキャリア支持体を含む。バンド１０３は連続的なものである。例えば、バンド１０３の第１の端５０５は、「０番目」のキャリア支持体とされるバンド１０３に沿った既知の点において、バンド１０３の第２の端５０７と接続される。（０番目のキャリア支持体は、バンド１１３に沿った他の場所にあるかもしれないが）、バンド１０３の０番目のキャリア支持体は、第１及び第３３番目のキャリア支持体５０３の間にある。装置５０１は、複数の基板ローディング・ステーションに亘って１つ以上のキャリア５０９を動かす。例えば、（装置５０１は、基板ローディング・ステーション５１１−５１５の数より大きい数、若しくは、より小さい数の基板ローディング・ステーション５１１−５１５にかけて、キャリアを動かすかもしれないが）、第１番目から第３番目の基板ローディング・ステーション５１１−５１５に亘って、キャリアを運ぶ。装置５０１において、コンベヤ・システム５０１上にキャリア５０９の載置を準備するためにそれ自身を位置決めするために基板ローディング・ステーション５１１−５１５によって必要とされる最大時間、コンベヤ・システム５０１からキャリアを取り出す準備のためにそれ自身を位置決めするために基板ローディング・ステーション５１１−５１５により必要とされる最大時間、コンベヤ・システム５０１からキャリア５０９を取り出すのに必要とされる最大時間、及び、コンベヤ・システム５０１上にキャリア５０９を載置するに必要な最大時間は、各基板ローディング・ステーションについて６秒である。しかしながら、より長い時間、若しくは、より短い時間が、基板ローディング・ステーション５１１−５１５のうちの１つ以上において、それらのパラメータとして用いられる。更に、バンド１１３の速度は、矢印５１７の方向に（例えば、第１の基板ローディング・ステーション５１１から第３の基板ローディング・ステーション５１５の方向に）０．５フィート／秒である。バンド１０３上のキャリア支持体５０３の隣接するキャリア支持体５０３の空間は、２フィートである。しかしながら、より大きい値、若しくは、より小さい値が、バンドの速度、及び／又は、隣接するキャリア支持体間の空間として用いられてもよい。
【００６８】
更に、以下の搬送が継続中とすると、
【表１】
【００６９】
動作中の間、例えば、ステップ２０５の間、制御システム１２３のＴＳＣ１１７は、ＳＬＳ１からＳＬＳ２へキャリア４を運ぶために、ＭＣＳ１２１からの新しい搬送命令を受け取る。これに応じて、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に入った最後のキャリア支持体はキャリア支持体３であることを示すキャリア割当支援命令をＴＳＣ１１７へ送る。制御システム１２３のコンポーネンツと、及び／又は、１以上の基板ローディング・ステーション５１１−５１５との間のやりとり（ハンドシェーキング）の詳細は、図６及び図７を参照して以下に説明される。この後、第２の例示的な方法４０１が用いられるステップ２０７の間、以下のプロセスフローが起こる。
【００７０】
１．ステップ４０５において、上述の式を用いて、制御システム１２３は、第１の基板ローディング・ステーション（例えば、発送元の基板ローディング・ステーション）が、取出し、若しくは、載置のために既に割り当てられたキャリア支持体の両側にキャリア支持体４つ分のスペースを必要とするか否かを決定する。
【００７１】
２．ＴＳＣ１１７は、第１の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ１）は、第１の基板ローディング・ステーションに入った最後のキャリア支持体（例えば、キャリア支持体３）から、このキャリア支持体４つ分だけ空間を開けることを要すると想定する。従って、ＴＳＣ１１７は、その搬送のためにおそらく使われるであろう第１のキャリア支持体として、キャリア支持体３３からスタートする。尚、（いくつかの実施例において、キャリア支持体の間隔空けを決定するとき、0番目のキャリア支持体は数えられないかもしれないが）、０番目のキャリア支持体は、搬送のために使用されていない間は、キャリア支持体の空間あけを決定するときに、０番目のキャリア支持体は数に入れられるかもしれない。
【００７２】
３．ステップ４０７において、キャリア支持体３３は使用可能か（空か、別の搬送のために割り当てられていない、及び、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
はい
【００７３】
４．ステップ４１５−４１７において、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送のために割り当てられた第１のキャリア支持体は、キャリア支持体３０である。
【００７４】
５．ステップ４１９において、キャリア支持体３０が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体３３は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとって受け入れられるかどうか？
いいえ、なぜならば、キャリア支持体３３はキャリア支持体３０から少なくとも４つ分の空間があいていない。
【００７５】
６．ステップ４０９及び４１１の後、ステップ４０７において、キャリア支持体３２は使用可能かどうか（空か、別の搬送に割り当てられていないか、且つ、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
いいえ
【００７６】
７．ステップ４０９及び４１１の後、ステップ４０７において、キャリア支持体３１は使用可能かどうか（空か、別の搬送に割り当てられていないか、且つ、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
はい
【００７７】
８．ステップ４１５−４１７の後、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送のために割り当てられた第１のキャリア支持体は、キャリア支持体３０である。
【００７８】
９．ステップ４１９において、キャリア支持体３０が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体３１は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとっても受け入れられるかどうか？
いいえ、なぜならば、キャリア支持体３１はキャリア支持体３０から少なくとも４つ分の空間があいていない。
【００７９】
１０．ステップ４０９及び４１１の後、ステップ４０７において、キャリア支持体３０は使用可能かどうか（空か、別の搬送に割り当てられていないか、且つ、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
いいえ
【００８０】
１１．ステップ４０９及び４１１の後、ステップ４０７において、キャリア支持体２９は使用可能かどうか（空か、別の搬送に割り当てられていないか、且つ、バンド・ローディング・アルゴリズムに受け入れられるか）？
はい
【００８１】
１２．ステップ４１５−４１７において、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送のために割り当てられた第１のキャリア支持体は、キャリア支持体３０である。
【００８２】
１３．ステップ４１９において、キャリア支持体３０が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２９は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとって受け入れられるかどうか？
いいえ
【００８３】
１４．この処理はTSC117がキャリア支持体２６に辿りつくまで続く。
【００８４】
１５．ステップ４１９において、キャリア支持体３０が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２６は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとって受け入れられるかどうか？
はい
【００８５】
１６．ステップ４１５−４１７において、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送のために割り当てられた、次のキャリア支持体は、キャリア支持体５である。
【００８６】
１７．ステップ４１９において、キャリア支持体５が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２６は第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１にとって受け入れられるかどうか？
はい
【００８７】
１８．ステップ４１７において、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１での搬送に割り当てられるキャリア支持体がなくなり、キャリア支持体２６が第１の(例えば、発送元の)基板ローディング・ステーションにとって受け入れられる。
【００８８】
１９．上述の式を用いて、第２の（例えば、送り先の）基板ローディング・ステーションＳＬＳ２は取出し、または、載置のために、すでに割り当てられたキャリア支持体の両側にキャリア支持体４個分の空間を必要とする。
【００８９】
２０．ステップ４２１−４２３において、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２での搬送のために割り当てられた、第１のキャリア支持体は、キャリア支持体１２である。
【００９０】
２１．ステップ４２５において、キャリア支持体１２が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２６は第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２にとって受け入れられるかどうか？
はい
【００９１】
２２．ステップ４２１−４２３において、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２での搬送のために割り当てられた、次のキャリア支持体は、キャリア支持体１８である。
【００９２】
２３．ステップ４２５において、キャリア支持体１８が搬送のために割り当てられたとして、キャリア支持体２６は第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２にとって受け入れられるかどうか？
はい
【００９３】
２４．ステップ４２３において、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２での搬送に割り当てられたキャリア支持体がなくなり、キャリア支持体２６が第２の(例えば、送り先の)基板ローディング・ステーションにとって受け入れられる。
【００９４】
２５．ステップ４２７において、キャリア支持体２６は、この搬送に割り当てられる。
【００９５】
２６．ステップ２０９において、キャリア支持体２６はキャリアを第１の（例えば、発送元の）基板ローディング・ステーションから運ぶ。より詳細には、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１はキャリアをキャリア支持体２６上に置き、キャリア支持体２６は、第１の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１から、そのキャリアを運ぶ。
【００９６】
２７．ステップ２１１において、キャリア支持体２６はキャリアを第１の（例えば、送り先の）基板ローディング・ステーションから運ぶ。より詳細には、キャリア支持体２６は、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２に、そのキャリアを移動させ、第２の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２はキャリアをキャリア支持体２６から取出す。
【００９７】
このようにして、本装置５０１は、搬送のために必要な時間を短縮するようにして、及び／又は、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、設備内でキャリアを搬送するときに、キャリア支持体を割り当てるための例示的な方法を用いることにより、同設備内で基板キャリアを搬送する。従って、制御システム１２３は、従来の電子デバイス製造システムにおいてよりも、より効率的にキャリアを搬送せしめ、これにより従来のシステムに比べ、製造スループットを改善することができる。
【００９８】
図６は、本発明の一実施例により、キャリア支持体がうまく割り当てられた設備内における基板キャリアの搬送を開始するときのやりとり（ハンドシェーキング）６０１を説明するものである。図６を参照して、設備内でキャリアの搬送を開始するために、ＭＣＳ１２１は、発送元の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ１）から、送り先の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ２）へ識別されたキャリアを搬送するために命令６０３を送る。ＴＳＣ１１７は、ＭＣＳ命令６０３に対する応答６０５を送出する。ＴＳＣ１１７は、発送元の基板ローディング・ステーションからキャリア支持体へ識別されたキャリアを搬送するよう試みる。例えば、ＴＳＣ１１７は、搬送が開始されることを示す通知６０７をＭＣＳ６０９に送り、ＭＣＳは応答６０９を返送する。
【００９９】
ＴＳＣ１１７は、キャリア支持体の割り当てが未定のまま、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１へのキャリアの搬送を行う命令６１１を送出する。例えば、ＴＳＣ１１７は、ＭＣＳ６０３から受けた命令を発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１へ転送する。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送命令６１１への応答６１３を送出する。キャリア支持体の割り当ては、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１により受信される搬送命令６１１において未定のままであるので、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は命令６１５をＴＳＣ１１７に送出して、搬送のために用いられるべきキャリア支持体の割り当てを要求する。搬送のために用いられるキャリア支持体の割り当てを要求する命令６１５は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に入る最後のキャリア支持体などの情報を含む。命令６１５は、付加的な、及び／又は、異なる情報を含むかもしれない。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に入る最後のキャリア支持体などの情報に基づいて、ＴＳＣ１１７は搬送のためにキャリア支持体を選択し、割り当てるために、上述したように、設備内で基板キャリアを搬送する際、キャリア支持体を割り当てるための例示的な方法３０１及び４０１のうちの１つを用いる。ＴＳＣ１１７は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に応答６１７を送出する。この応答６１７は、搬送のために選択され、割り当てられたキャリア支持体を指定するものである。
【０１００】
ＴＳＣ１１７は、送り先の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２に搬送命令６１９を送出する。この命令は、搬送のために選択され、割り当てられたキャリア支持体情報を含む。送り先の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２は、搬送命令６１９に応答して、ＴＳＣ１１７に応答６２１を送出する。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１から割り当てられたキャリア支持体へ特定されたキャリアを運ぶために搬送を開始する。このようにして、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、割り当てられたキャリア支持体上に特定のキャリアを載置する。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送が開始されたことを示すイベント通知６２３をＴＳＣ１１７に送出する。
【０１０１】
図６のやりとり（ハンドシェーキング）６０１は、キャリア支持体がうまく割り当てられた搬送の開始を説明するものである。対比的に、図７A及び図７Bは、本発明の一実施例に従い、キャリア支持体がうまく割り当てられなかった場合の、設備内の基板キャリアの搬送を開始するときのやりとり（ハンドシェーキング）７０１を図示するものである。図７A及び図７Bを参照すると、やりとり（ハンドシェーキング）７０１内に含まれる通信（例えば、命令、応答、通知、及び／又は、応答）６０３−６１５は、図６中のやりとり（ハンドシェーキング）６０１内のものと同様のものである。従って、ここでは詳細には記述しない。やりとり（ハンドシェーキング）６０１に対比して、やりとり（ハンドシェーキング）７０１の間は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１からＴＳＣ１１７への搬送のためのキャリア支持体を割り当てる命令６１５に応じて、ＴＳＣ１１７は、キャリア支持体の割り当てを試みるが、うまくいかない。尚、そのような状態は変則的なものである。より詳細には、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に入る最後のキャリア支持体などの情報に基づいて、ＴＳＣ１１７は、搬送のためのキャリア支持体を選択し、割り当てるために、上述したように、設備内の基板キャリアを搬送する際に、キャリア支持体を割り当てるための例示的な方法３０１及び４０１のうちの１つを用いる。しかしながら、そのような例示的な方法３０１及び４０１は、搬送のために必要な時間を少なくとも短くし、コンベヤ・システムのバランスを維持するように、発送元及び送り先の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１、ＳＬＳ２の両者にとって受け入れられるキャリア支持体を選択し、割り当てることはできない。従って、ＴＳＣ１１７は、ＴＳＣ１１７が搬送のためのキャリア支持体を割り当てることができないことを示す応答７０３を、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に送出する。更に、ＴＳＣ１１７は、搬送を取り消すために、命令７０５を発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１へ送出する。発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送を取り消す命令７０５に応じて、ＴＳＣ１１７に応答７０７を送出する。
【０１０２】
発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送命令を取り消して、搬送命令の取り消しが開始されたというイベント通知７０９をＴＳＣ１１７に送る。この後、搬送命令がいったん取り消されると、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１は、搬送命令の取り消しが完了したことを示す通知をＴＳＣ１１７に送る。
【０１０３】
ＴＳＣ１１７は、遅延として特定され得る時間（例えば、設定可能な遅延）の時間だけ待つ、或いは、ＴＳＣ１１７がキャリア支持体をうまく割り当てる（若しくは合理的にうまくに割り当てることが期待できる）ように、１つ以上のキャリア支持体の状態（例えば、利用可能性）が変化するのを待つ。この後、ＴＳＣ１１７は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１へ係属中のキャリア支持体の割り当て情報を有する、キャリアを搬送するために命令６１１を再送出する。やりとり（ハンドシェーキング）７０１に含まれる以下の通信（例えば、命令、応答、通知、及び／又は応答）６１３−６２３は、図６のやりとり（ハンドシェーキング）６０１におけるそれらの対応する通信と同様のものであり、ここにおいては詳細に記載しない。このようにして、制御システム１２３は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１から送り先の基板ローディング・ステーションＳＬＳ２へキャリアを搬送するための命令に応じてキャリア支持体を割り当てることが、最初はできない場合でも、制御システム１２３は、後で搬送命令を再送出して、その搬送のためのキャリア支持体をうまく割り当てることができる。なお、図６及び図７に図示されたやりとり（ハンドシェーキング）は例示的なものであり、このやりとり（ハンドシェーキング）は異なる態様により起こり得る。例えば、やりとり（ハンドシェーキング）６０１及び７０１は、より多くの、若しくは、より少ない数の通信を含み得る。更に、このやりとり（ハンドシェーキング）は異なる通信６０１及び７０１を含んでもよい。
【０１０４】
このようにして、本方法及び装置では、例えば、（１）キャリアを取得するために必要な時間が短くなり、及び／又は、最短化するよう、及び／又は、（２）バンド１０３上のキャリアの分配がバンド１０３の速度を大きくばらつかせないように、キャリア搬送のためのキャリア支持体の選択が最適化される。より詳細には、キャリア転送のためのキャリア支持体を選択する前に、ＴＳＣ１１７は、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１に到達する最後のキャリア、および、キャリア搬送のために基板ローディング・ステーションＳＬＳ１自身（例えば、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１のクレーン）を準備するために、発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１のための時間（例えば、予測される時間）、などのデータを発送元の基板ローディング・ステーションＳＬＳ１から取得する。付加的に、若しくは、選択的に、バンド１０３上へのキャリアの分配がバンド１０３の速度のばらつきをもたらさないことを確実にすることにより、本方法及び装置は、特にバンドの曲がり角のところでバンドの圧縮及び／又は拡張をもたらすストレスを生むバンド１０３上のムラのあるローディングを少なくする。
【０１０５】
上述の記述は、本発明の例示的な実施例のみを開示する。本発明の範囲内に入る上記に開示された装置及び方法の変形は、本技術分野の同業者にとって容易に明らかであろう。例えば、本方法及び装置は、搬送のために必要とされる時間が少なくとも短くなり、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、第１の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ１）から第２の基板ローディング・ステーション（例えば、ＳＬＳ２）へキャリアを転送するために複数のキャリア支持体のうちの１つを割り付けることを説明したが、他の実施例においては、キャリア支持体はキャリア搬送を最適化する他の利点が達成されるように、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送するように割り当てられてもよい。また、本発明は、シリコン、基板、ガラス板、マスク、レチクル（ｒｅｔｉｃｕｌｅ）、ウェハなど、パターンが形成されていると、いないとに係わらず、及び／又は、そのような基板を輸送、および／または、処理するための装置と共に、利用され得る。
【０１０６】
従って、例示的な実施例に関係づけて本発明は開示されてきたが、次のクレームに定義されるように、本発明の精神及び範囲内に他の実施例も含まれることは理解されるべきである。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求を受信し、
少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記キャリアを運び、
前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを運ぶステップを含む、電子デバイス製造方法。
【請求項２】
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当てるステップは、
前記複数のキャリア支持体のうちの１つを選択し、
選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断する
ステップを含む請求項１の方法。
【請求項３】
係属中の搬送との衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項２の方法。
【請求項４】
係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するステップを更に含む請求項２の方法。
【請求項５】
他の選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、
係属中の搬送と衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへのキャリアの搬送するために前記選択された別のキャリア支持体を割り当てる
ステップを更に含む請求項４の方法。
【請求項６】
前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断するステップを更に含む請求項２の方法。
【請求項７】
係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアを搬送するために前記選択されたキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項６の方法。
【請求項８】
係属中の搬送との衝突があり、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するステップを更に含む請求項７の方法。
【請求項９】
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、
係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項８の方法。
【請求項１０】
係属中の搬送は、基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送を含む請求項２の方法。
【請求項１１】
前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断することは、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置する準備のために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つと、
を含む第１のパラメータ群と、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出す準備のために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる
最大時間のうちの少なくとも１つと
を含む第２のパラメータ群のうちの少なくとも１つに基づいて行われる請求項２の方法。
【請求項１２】
キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含む電子デバイス製造設備内の、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、
少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、前記コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、前記第１の基板ローディング・ステーションから
前記第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記キャリアを運び、
前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを運ぶ
ようにした電子デバイス製造設備の制御システムを含む電子デバイス製造装置。
【請求項１３】
前記制御システムは、更に、
前記複数のキャリア支持体のうちの１つを選択し、
前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断する
ようにした請求項１２の装置。
【請求項１４】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送との衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項１３の装置。
【請求項１５】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項１３の装置。
【請求項１６】
前記制御システムは、更に、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、
係属中の搬送と衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションか前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアの搬送するために前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項１５の装置。
【請求項１７】
前記制御システムは、更に、前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断するようにした請求項１３の装置。
【請求項１８】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアを搬送するために前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項１７の装置。
【請求項１９】
前記制御システムは、係属中の搬送との衝突がなく、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項７の装置。
【請求項２０】
前記制御システムは、更に、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、
係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てる
ようにした請求項８の装置。
【請求項２１】
係属中の搬送は、基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送を含む請求項１３の方法。
【請求項２２】
前記制御システムは、更に、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置する準備のために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つと、
を含む第１のパラメータ群と、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出す準備のために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つとを含む第２のパラメータ群のうちの少なくとも１つに基づいて、前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断するようにした請求項１３の装置。
【請求項２３】
電子デバイス製造設備内の複数の基板ローディング・ステーションと、
結合された複数のキャリア支持体を有し、前記設備内でキャリアを運ぶコンベア・システムと、
前記複数の基板ローディング・ステーションおよび前記コンベア・システムに結合され、
第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、
少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、前記コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記キャリアを運び、
前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを運ぶ
ようにした制御システムと
を含む電子デバイス製造設備システム。
【請求項２４】
前記制御システムは、更に、
前記複数のキャリア支持体のうちの１つを選択し、
前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断するようにした請求項２３のシステム。
【請求項２５】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送との衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項２４のシステム。
【請求項２６】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項２４のシステム。
【請求項２７】
前記制御システムは、更に、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、
係属中の搬送と衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項２６のシステム。
【請求項２８】
前記制御システムは、更に、前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断するようにした請求項２４のシステム。
【請求項２９】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項２８のシステム。
【請求項３０】
前記制御システムは、係属中の搬送との衝突があるか、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項２９のシステム。
【請求項３１】
前記制御システムは、更に、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、
係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項３０のシステム。
【請求項３２】
係属中の搬送は、基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送を含む請求項２４のシステム。
【請求項３３】
前記制御システムは、更に、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置する準備のために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つと、
を含む第１のパラメータ群と、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出す準備のために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つとを含む第２のパラメータ群のうちの少なくとも１つに基づいて、前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断するようにした請求項２４のシステム。
【請求項３４】
各々が基板キャリアを受け取るようにした複数の基板ローディング・ステーションを設け、
各々が基板キャリアを支持するようにした複数のキャリア支持体を含み、前記基板ローディング・ステーション間で基板キャリアを輸送するようにした配達システムを設け、
前記基板ローディング・ステーション間で基板キャリアの輸送を制御するための制御システムを設け、
第１の基板ローディング・ステーションへの搬送命令を送るために前記制御システムを用い、
前記制御システムが前記第１の基板ローディング・ステーションからの搬送のためにキャリア支持体を割り当てることができないならば、前記搬送を取り消すために前記第１の基板ローディング・ステーションへ命令を送るように前記制御システムを用い、
１つ以上のキャリア支持体の遅延及び状態のうちの少なくとも１つが変化した後、前記第１の基板ローディング・ステーションへ前記搬送命令を再送信するために前記制御システムを用いるステップを含む方法。
【請求項３５】
再送信された搬送命令に応じて、
前記第１の基板ローディング・ステーションからの搬送のために、キャリア支持体を割り当て、
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記キャリアを運び、
第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアを運ぶ
ステップを更に含む請求項３４の方法。
【請求項１】
キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含むと共に、複数の基板ローディング・ステーションを含む電子デバイス製造設備の第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへキャリアを搬送する要求を受信し、
少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記キャリアを運び、
前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを運ぶステップを含む、電子デバイス製造方法。
【請求項２】
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当てるステップは、
前記複数のキャリア支持体のうちの１つを選択し、
選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断する
ステップを含む請求項１の方法。
【請求項３】
係属中の搬送との衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項２の方法。
【請求項４】
係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するステップを更に含む請求項２の方法。
【請求項５】
他の選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、
係属中の搬送と衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへのキャリアの搬送するために前記選択された別のキャリア支持体を割り当てる
ステップを更に含む請求項４の方法。
【請求項６】
前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断するステップを更に含む請求項２の方法。
【請求項７】
係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアを搬送するために前記選択されたキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項６の方法。
【請求項８】
係属中の搬送との衝突があり、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するステップを更に含む請求項７の方法。
【請求項９】
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、
係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるステップを更に含む請求項８の方法。
【請求項１０】
係属中の搬送は、基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送を含む請求項２の方法。
【請求項１１】
前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断することは、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置する準備のために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つと、
を含む第１のパラメータ群と、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出す準備のために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる
最大時間のうちの少なくとも１つと
を含む第２のパラメータ群のうちの少なくとも１つに基づいて行われる請求項２の方法。
【請求項１２】
キャリアを運ぶコンベヤ・システムに結合された複数のキャリア支持体を含む電子デバイス製造設備内の、第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、
少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、前記コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、前記第１の基板ローディング・ステーションから
前記第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記キャリアを運び、
前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを運ぶ
ようにした電子デバイス製造設備の制御システムを含む電子デバイス製造装置。
【請求項１３】
前記制御システムは、更に、
前記複数のキャリア支持体のうちの１つを選択し、
前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断する
ようにした請求項１２の装置。
【請求項１４】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送との衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項１３の装置。
【請求項１５】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項１３の装置。
【請求項１６】
前記制御システムは、更に、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、
係属中の搬送と衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションか前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアの搬送するために前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項１５の装置。
【請求項１７】
前記制御システムは、更に、前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断するようにした請求項１３の装置。
【請求項１８】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアを搬送するために前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項１７の装置。
【請求項１９】
前記制御システムは、係属中の搬送との衝突がなく、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項７の装置。
【請求項２０】
前記制御システムは、更に、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、
係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てる
ようにした請求項８の装置。
【請求項２１】
係属中の搬送は、基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送を含む請求項１３の方法。
【請求項２２】
前記制御システムは、更に、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置する準備のために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つと、
を含む第１のパラメータ群と、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出す準備のために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つとを含む第２のパラメータ群のうちの少なくとも１つに基づいて、前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断するようにした請求項１３の装置。
【請求項２３】
電子デバイス製造設備内の複数の基板ローディング・ステーションと、
結合された複数のキャリア支持体を有し、前記設備内でキャリアを運ぶコンベア・システムと、
前記複数の基板ローディング・ステーションおよび前記コンベア・システムに結合され、
第１の基板ローディング・ステーションから第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアの搬送をするための要求を受信し、
少なくとも前記搬送のために必要とされる時間が短くなり、且つ、前記コンベヤ・システムのバランスが維持されるように、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、キャリアを搬送するために、前記複数のキャリア支持体のうちの１つを割り当て、
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記キャリアを運び、
前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを運ぶ
ようにした制御システムと
を含む電子デバイス製造設備システム。
【請求項２４】
前記制御システムは、更に、
前記複数のキャリア支持体のうちの１つを選択し、
前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送に衝突するか否かを判断するようにした請求項２３のシステム。
【請求項２５】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送との衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項２４のシステム。
【請求項２６】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突があれば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項２４のシステム。
【請求項２７】
前記制御システムは、更に、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突しないかどうか判断し、
係属中の搬送と衝突がなければ、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項２６のシステム。
【請求項２８】
前記制御システムは、更に、前記選択されたキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断するようにした請求項２４のシステム。
【請求項２９】
前記制御システムは、更に、係属中の搬送と衝突がなく、且つ、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアを搬送するために、前記選択されたキャリア支持体を割り当てるようにした請求項２８のシステム。
【請求項３０】
前記制御システムは、係属中の搬送との衝突があるか、又は、前記選択されたキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするならば、前記複数のキャリア支持体のうちの別のキャリア支持体を選択するようにした請求項２９のシステム。
【請求項３１】
前記制御システムは、更に、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否か判断し、
前記選択された別のキャリア支持体を用いることが、前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にするか否かを判断し、
係属中の搬送との衝突がなく、且つ、前記選択された別のキャリア支持体が前記コンベヤ・システムをアンバランスな状態にしないのであれば、前記第１の基板ローディング・ステーションから前記第２の基板ローディング・ステーションへ、前記キャリアの搬送するために、前記選択された別のキャリア支持体を割り当てるようにした請求項３０のシステム。
【請求項３２】
係属中の搬送は、基板ローディング・ステーション間のキャリアの搬送を含む請求項２４のシステム。
【請求項３３】
前記制御システムは、更に、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算された前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置する準備のために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第１の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つと、
を含む第１のパラメータ群と、
前記コンベヤ・システムに結合された隣接するキャリア支持体間の離間距離によって割り算される前記コンベヤ・システムの速度と、
前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出す準備のために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間と、
前記コンベヤ・システム上にキャリアを載置するために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間、及び、前記コンベヤ・システムからキャリアを取り出すために、前記第２の基板ローディング・ステーションにより必要とされる最大時間のうちの少なくとも１つとを含む第２のパラメータ群のうちの少なくとも１つに基づいて、前記選択されたキャリア支持体を用いることが係属中の搬送と衝突するか否かを判断するようにした請求項２４のシステム。
【請求項３４】
各々が基板キャリアを受け取るようにした複数の基板ローディング・ステーションを設け、
各々が基板キャリアを支持するようにした複数のキャリア支持体を含み、前記基板ローディング・ステーション間で基板キャリアを輸送するようにした配達システムを設け、
前記基板ローディング・ステーション間で基板キャリアの輸送を制御するための制御システムを設け、
第１の基板ローディング・ステーションへの搬送命令を送るために前記制御システムを用い、
前記制御システムが前記第１の基板ローディング・ステーションからの搬送のためにキャリア支持体を割り当てることができないならば、前記搬送を取り消すために前記第１の基板ローディング・ステーションへ命令を送るように前記制御システムを用い、
１つ以上のキャリア支持体の遅延及び状態のうちの少なくとも１つが変化した後、前記第１の基板ローディング・ステーションへ前記搬送命令を再送信するために前記制御システムを用いるステップを含む方法。
【請求項３５】
再送信された搬送命令に応じて、
前記第１の基板ローディング・ステーションからの搬送のために、キャリア支持体を割り当て、
前記第１の基板ローディング・ステーションから前記キャリアを運び、
第２の基板ローディング・ステーションへの前記キャリアを運ぶ
ステップを更に含む請求項３４の方法。
【図１Ａ】
【図１Ｂ】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図１Ｂ】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【公開番号】特開２０１１−１１９７４９（Ｐ２０１１−１１９７４９Ａ）
【公開日】平成２３年６月１６日（２０１１．６．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−５３４１（Ｐ２０１１−５３４１）
【出願日】平成２３年１月１３日（２０１１．１．１３）
【分割の表示】特願２００５−５２４６８（Ｐ２００５−５２４６８）の分割
【原出願日】平成１７年２月２８日（２００５．２．２８）
【出願人】（３９００４０６６０）アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月１６日（２０１１．６．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１月１３日（２０１１．１．１３）
【分割の表示】特願２００５−５２４６８（Ｐ２００５−５２４６８）の分割
【原出願日】平成１７年２月２８日（２００５．２．２８）
【出願人】（３９００４０６６０）アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
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