電極、金属微粒子の製造装置および金属微粒子の製造方法
【課題】還元された金属がデンドライト（樹枝）状に成長することなく、粒子を大量に製造する場合に、粒子が肥大化することがなく、粒状でナノサイズの金属微粒子を効率よく製造することができる金属ナノ粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】有機物分散媒を含む導電性水溶液中で、製造対象の金属からなる陽極と、互いに電気的に絶縁された白金針状電極からなる陰極を通電して、金属微粒子を製造する、金属微粒子の製造方法である。白金針状電極は、例えば、最大長さが1μm以下となるように互いに絶縁された複数の白金突起である。
【解決手段】有機物分散媒を含む導電性水溶液中で、製造対象の金属からなる陽極と、互いに電気的に絶縁された白金針状電極からなる陰極を通電して、金属微粒子を製造する、金属微粒子の製造方法である。白金針状電極は、例えば、最大長さが1μm以下となるように互いに絶縁された複数の白金突起である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅、銀、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、ルテニウム等からなる金属微粒子の製造装置および金属微粒子の製造方法に関する。特に、液相中での電気化学的な金属微粒子の製造装置および金属微粒子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ナノサイズ（粒径が１μｍ以下）の金属微粒子は、バルク材料にはない様々な特異な特性を持つことが知られている。そしてこの特性を生かした様々な工学的応用が、現在、エレクトロニクス、バイオ、エネルギー等の各分野で大いに期待されている。
【０００３】
このようなナノサイズの金属微粒子を製造する方法としては、大きく気相合成法と液相合成法の２種類の製法が知られている。ここで気相合成法とは、気相中に導入した金属蒸気から固体の金属微粒子を形成する方法であり、他方、液相合成法とは、溶液中に分散させた金属イオンを還元することにより金属微粒子を析出させる方法である。
【０００４】
また、液相合成法においては、一般にその金属イオンを還元するための還元方法として、アルコール、ポリオール、アルデヒド、ヒドラジン、水素化ホウ素ナトリウム等の還元剤を使用する方法と、電気化学的にカソード電極上で還元を行う方法とが知られている。
【０００５】
特に、電気化学的に還元を行う方法は、その還元速度を電流量によって調整することで、生成する金属微粒子の形状・サイズを容易に調整することが出来、また同じく電流量の調整により、複合（合金）微粒子の生成も容易であることから、近年大いに注目されている。
【０００６】
還元剤を使用する方法として、特許文献１では、沸点が１００℃以上となるように調整した有機溶媒中に、銅を構成元素とする化合物と還元剤と保護剤とを含む組成液を用意し、組成液を非酸化条件下で加熱することによって還元して銅ナノ粒子を形成する方法が提案されている。
【０００７】
電気化学的にカソード電極上で還元を行う方法として、非特許文献１では、界面活性剤や金属配位子を添加した水溶液中において、目的金属からなる陽極と、炭素または白金からなる陰極とを通電することにより、金属粒子を作成する方法が提案されている。
【非特許文献１】Ａ．Ｐｉｅｔｒｉｋｏｖａ ｅｔ ａｌ．， Ｍｅｔａｌｌｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｖｏｌ．２９， （１９９１）， ｐ２６２−２７２
【特許文献１】特開２００５−２８１７８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した従来の気相合成法では、一般に、ＣＶＤ、ガス中蒸発、レーザーアブレーション、スパッタリングなどにより金属蒸気が反応容器に供給されて、金属微粒子の生成が行われる。しかしながら、これら反応装置は概して高価である上、原料の使用量に対する製造量（すなわち歩留まり）が悪く、製造コストが高いという問題点があった。また、得られる金属微粒子は、粒径分布が広いという問題点もあった。
【０００９】
また、従来の電気化学的にカソード電極上で還元を行う方法では、還元されて得られた金属粒子がデンドライト（樹枝）状に成長するため、金属粒子の形状が不均一であるという問題点があった。また、粒子を大量に製造する場合に、粒子が肥大化するという問題点もあった。
【００１０】
本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたもので、ナノサイズの多数の金属突起からなるナノドット金属によるカソード電極を用いた電極と、その電極を用いて金属イオンの電気化学的還元を行うことにより、粒状でナノサイズの金属微粒子を効率よく製造することが可能な金属微粒子の製造装置および金属微粒子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
発明者は上述した従来の問題点について鋭意研究を重ねた。その結果、従来、電気化学的な液相還元方法に用いられていた板状もしくは棒状の白金等の金属からなるカソード電極に代わり、多数の白金の針状突起からなるカソード電極を用いて金属イオンの電気化学的還元を行うと、粒状でナノサイズの金属微粒子を効率よく製造することができることが判明した。そして、この時電気化学還元を行う電解溶液中に、製造対象である金属のイオンを適宜添加することで、得られる金属微粒子の生成量を制御することが出来ること、また、上記電解液中にポリビニルピロリドンやポリアクリル酸等の有機物分散媒を添加すれば、生成の粒子同士の凝集を低減できること、更に、印可する電流をパルス電流にし、さらに反応溶液およびカソード電極を超音波振動させると、得られる金属微粒子の形状均一性がより向上することが判明した。この発明は上述した研究成果によってなされたものである。
【００１２】
本発明の第１の態様にかかる電極は、陽極と、多数の互いに電気的に絶縁された白金の針状突起物の集合体からなる陰極とを有することを特徴とする。
【００１３】
この電極を、電気化学的な液相還元方法に使用することにより形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００１４】
本発明の第２の態様にかかる電極は、本発明の第１の態様にかかる電極の前記陰極の前記白金の針状突起物は、最大長さが1μm以下となるように互いに絶縁された導電性電極上に電解析出された白金であることを特徴とする。
【００１５】
この電極を、電気化学的な液相還元方法に使用することにより形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００１６】
本発明の第３の態様にかかる電極は、本発明の第１または第２の態様にかかる電極の前記陰極の前記白金の針状突起物が、導電性電極上に電解析出された白金であり、かつ、前記針状突起物が、各々が絶縁性の樹脂により絶縁されていることを特徴とする。
【００１７】
この電極を、電気化学的な液相還元方法に使用することにより形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。また、陰極の白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金上に絶縁性の樹脂を塗布し、さらに、この樹脂を塗布した表面をエッチングすることにより、絶縁性の樹脂上に、部分的に露出させた白金であってもよい。
【００１８】
本発明の第４の態様にかかる電極は、本発明の第１から第３のいずれか１つの態様にかかる電極の前記陽極が、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、及びルテニウムの中から選択された少なくとも１種の金属であることを特徴とする。
【００１９】
本発明の第１の態様にかかる金属微粒子の製造装置は、金属の微粒子を製造する金属微粒子の製造装置であって、本発明の第１から第４のいずれか１つの態様にかかる電極の陽極または陰極を有し、該陽極と該陰極とを通電する手段を備えていることを特徴とする。
【００２０】
これにより、形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００２１】
本発明の第２の態様にかかる金属微粒子の製造装置は、本発明の第１の態様にかかる金属微粒子の製造装置において、製造対象の前記金属の金属イオンを含む導電性水溶液を有することを特徴とする。
【００２２】
これにより、得られる金属微粒子の生成量を制御することが可能である。
【００２３】
本発明の第１の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、導電性水溶液中で、製造対象の金属からなる陽極と、互いに電気的に絶縁された多数の白金の針状突起物の集合体からなる陰極とを通電して、前記金属の微粒子を製造することを特徴とする。
【００２４】
これにより、形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００２５】
本発明の第２の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１の態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記陰極の前記白金の針状突起物は、最大長さが1μm以下となるように互いに絶縁された導電性電極上に電解析出された白金であることを特徴とする。
【００２６】
これにより、形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００２７】
本発明の第３の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１または第２の態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記陰極の前記白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金であり、かつ、前記針状突起物は、各々が絶縁性の樹脂により絶縁されていることを特徴とする。
【００２８】
これにより、形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。また、陰極の白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金上に絶縁性の樹脂を塗布し、さらに、この樹脂を塗布した表面をエッチングすることにより、絶縁性の樹脂上に、部分的に露出させた白金であってもよい。
【００２９】
本発明の第４の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第３のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記導電性水溶液中には、有機物分散媒が添加されていることを特徴とする。
【００３０】
これにより、生成された粒子同士の凝集を低減することが可能である。
【００３１】
本発明の第５の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第４のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記有機物分散媒は、ポリエチレンイミン、ポリビニルピロリドン等のアミン系の高分子、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等のカルボン酸基を有する炭化水素系の高分子、及び、その関連化合物の中の少なくとも一つであることを特徴とする。
【００３２】
本発明の第６の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第５のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記通電を周波数１Ｈｚ以上のパルス電流により行うことを特徴とする。
【００３３】
これにより、形状がより均一であり、粒径のより小さい金属微粒子を生成することが可能である。
【００３４】
本発明の第７の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第６のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記通電中に前記導電性水溶液および前記陰極に超音波振動を与えることを特徴とする。
【００３５】
これにより、形状がより均一であり、粒径のより小さい金属微粒子を生成することが可能である。
【００３６】
本発明の第８の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第７のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記金属は、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、または、ルテニウムであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、ナノサイズの多数の金属突起からなるナノドット金属によるカソード電極を用いて金属イオンの電気化学的還元を行うことにより、粒状でナノサイズの金属微粒子を効率よく製造することを可能である。また、印可する電流をパルス電流にし、さらに導電性水溶液およびカソード電極を超音波振動させることにより、形状がより均一であり、粒径のより小さい金属微粒子を生成することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
この発明の一実施態様を、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施態様は説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素もしくは全要素をこれと均等なもので置換した実施態様を採用することが可能であるが、これらの実施態様も本発明の範囲に含まれる。
【００３９】
まず、本発明を適用可能な金属微粒子の製造方法を説明する。図１は、本発明を適用可能な金属微粒子の製造方法の概念図である。図１に示すように、有機物保護剤（例えば、ポリビニルピロリドン、ドデカンチオールなど）を分散させた電解質溶液（反応溶液）１０（例えば、水、ＴＨＦなど）中で、ナノサイズの白金ドット電極（以下、白金ナノドット電極と呼ぶ）からなる陰極（カソード電極）１２と、析出する対象となる金属のバルク体からなる陽極（アノード電極）１４とを通電する。
【００４０】
これにより、カソード電極１２の表面上に、有機保護剤に皮膜された対象金属の金属微粒子１６が析出される。このとき、通電する電流をパルス電流にすることにより、更に、反応溶液１０及びカソード電極１２に超音波振動を与えることにより、得られる金属微粒子の粒径がより小さく、形状が球状になる。
【００４１】
図２は、白金ナノドット電極及び白金ナノドット電極において析出される金属微粒子の概念図である。図２に示すように、白金ナノドット電極は、ナノサイズの白金突起が、絶縁性の樹脂上に、多数露出しており、露出した白金の先端部において金属微粒子が析出される。
【００４２】
上述した方法により、銅、銀、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、ルテニウム等からなる金属微粒子を製造することができる。特に、銅からなる金属微粒子（以下、銅ナノ粒子と呼ぶ）を製造することに適している。
【００４３】
次に、本発明の好適ないくつかの実施例を説明する。
【実施例１】
【００４４】
（白金針状突起電極の製造方法）
本発明においてカソード電極として使用した白金針状突起物からなる電極の製造方法を説明する。図２は、白金ナノドット電極の製造方法を説明するための図である。図３に示すように、まず、白金の板状基板の表面を絶縁性の樹脂でコーティングする（（１）参照）。次に、ナノインプリンティングにより一辺の長さが約１μｍの正方形の多数のホールからなるパターン基板を形成する（（２）参照）。ここで、（２ａ）はナノインプリンティングにより形成されたパターン基板を側面から見た図を、（２ｂ）は上面から見た図を示している。
【００４５】
次に、その基板に電気化学的めっきすることで、このホール部分に、樹枝状の白金突起を形成する（（３）参照）。最後に、この基板の表面を、再度、上述した樹脂でコーティングした後、表面を回転型自動研磨機により研磨する（（４）参照）。
【００４６】
これにより、絶縁性の樹脂上に平均径が５０ｎｍ以下の白金突起が多数露出した白金ナノドット電極を得た。
【実施例２】
【００４７】
板状白金電極を用いた場合に得られた粒子と、白金針状突起電極を用いた場合に得られる粒子との相異について、以下の銅微粒子製造実験により確認した。
【００４８】
まず支持電解質として希硫酸を少量添加した水溶液２００ｇに、有機物分散媒としてポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）を０．５ｇ製造対象の金属イオン原料として酢酸銅０．５ｇ添加して、銅イオンを含む導電性水溶液である反応溶液を作成した。続いてこの反応溶液中で、２ｃｍ四方の銅シートからなるアノード電極と、実施例１の製法によって作成した白金ナノドット基板からなるカソード電極とを、３０分間通電した。
【００４９】
この時、印可した電圧は、参照電極に対して１Ｖ、電流密度は０．１ｍＡ／ｃｍ２とした。その後、得られたコロイド溶液を、カーボン支持膜をとりつけたアルミメッシュ上に採取し、溶媒を乾燥除去した後、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、生成した粒子を観測した。またカソード電極に板状白金電極を用いた場合も同様の条件で粒子製造を実施した。上述の実験により得られた結果を表１に示す。
【００５０】
【表１】
表１により、実験結果は、白金ナノドット電極を用いた場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は４０ｎｍであった。一方、板状白金電極を用いた場合に得られた粒子の形状は棒状または樹枝状であり、粒子の平均粒径は２００ｎｍであった。したがって、白金ナノドット電極を用いた場合のほうが、形状がより均一な球状で、粒径がより小さい粒子を製造することができた。
【実施例３】
【００５１】
印可電流をパルス電流にした時の効果について、以下の実験により確認した。
【００５２】
カソード電極に実施例１の製法によって作成した白金ナノドット電極を用い、通電条件以外が実施例２と同様の条件により実験を行った。通電条件として、電圧振幅１Ｖ、電流密度（ｉｐ）０．１ｍＡ／ｃｍ２、周波数１００Ｈｚのパルス電流（ただしＴｏｆｆ＝Ｔｏｎ）を印可した。図４は、通電条件として印可したパルス電流の波形を示す図である。３０分間の通電の後に得られたコロイド溶液を、カーボン支持膜をとりつけたアルミメッシュ上に採取し、溶媒を乾燥除去した後、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、生成した粒子を観測した。上述の実験により得られた結果を表２に示す。ここで、実施例２によって得られた直流電流を印可した場合と比較した。
【００５３】
【表２】
表２により、パルス電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は３０ｎｍであった。一方、直流電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は４０ｎｍであった。したがって、パルス電流を印可した場合のほうが、粒径がより小さい粒子を製造することができた。
【実施例４】
【００５４】
反応溶液およびカソード電極を超音波振動させた時の効果について、以下の実験により確認した。
【００５５】
カソード電極に実施例１の製法によって作成した白金ナノドット電極を用い、反応溶液を超音波振動装置により振動させながら、実施例２及び３と同様の条件で電気化学還元を行った。得られたコロイド溶液を、カーボン支持膜をとりつけたアルミメッシュ上に採取し、溶媒を乾燥除去した後、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、生成した粒子を観測した。上述の実験により得られた結果を表３に示す。ここで、実施例２及び３によって得られた反応溶液およびカソード電極を超音波振動しない場合と比較した。
【００５６】
【表３】
表３により、反応溶液およびカソード電極を超音波振動させたとき、直流電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は３０ｎｍであった。また、パルス電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は１０ｎｍであった。一方、反応溶液およびカソード電極を超音波振動させなかったとき、直流電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は４０ｎｍであった。また、パルス電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は３０ｎｍであった。したがって、反応溶液およびカソード電極を超音波振動させたときのほうが、粒径がより小さい粒子を製造することができた。特に、反応溶液およびカソード電極を超音波振動させながらパルス電流を印可した場合において、粒径がより小さい粒子を製造することができた。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明を適用可能な金属微粒子の製造方法の概念図である。
【図２】白金ナノドット電極及び白金ナノドット電極において析出される金属微粒子の概念図である。
【図３】白金ナノドット電極の製造方法を説明するための図である。
【図４】通電条件として印可したパルス電流の波形を示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０ 電解質溶液（反応溶液）
１２ 陰極（カソード電極）
１４ 陽極（アノード電極）
１６ 金属微粒子
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅、銀、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、ルテニウム等からなる金属微粒子の製造装置および金属微粒子の製造方法に関する。特に、液相中での電気化学的な金属微粒子の製造装置および金属微粒子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ナノサイズ（粒径が１μｍ以下）の金属微粒子は、バルク材料にはない様々な特異な特性を持つことが知られている。そしてこの特性を生かした様々な工学的応用が、現在、エレクトロニクス、バイオ、エネルギー等の各分野で大いに期待されている。
【０００３】
このようなナノサイズの金属微粒子を製造する方法としては、大きく気相合成法と液相合成法の２種類の製法が知られている。ここで気相合成法とは、気相中に導入した金属蒸気から固体の金属微粒子を形成する方法であり、他方、液相合成法とは、溶液中に分散させた金属イオンを還元することにより金属微粒子を析出させる方法である。
【０００４】
また、液相合成法においては、一般にその金属イオンを還元するための還元方法として、アルコール、ポリオール、アルデヒド、ヒドラジン、水素化ホウ素ナトリウム等の還元剤を使用する方法と、電気化学的にカソード電極上で還元を行う方法とが知られている。
【０００５】
特に、電気化学的に還元を行う方法は、その還元速度を電流量によって調整することで、生成する金属微粒子の形状・サイズを容易に調整することが出来、また同じく電流量の調整により、複合（合金）微粒子の生成も容易であることから、近年大いに注目されている。
【０００６】
還元剤を使用する方法として、特許文献１では、沸点が１００℃以上となるように調整した有機溶媒中に、銅を構成元素とする化合物と還元剤と保護剤とを含む組成液を用意し、組成液を非酸化条件下で加熱することによって還元して銅ナノ粒子を形成する方法が提案されている。
【０００７】
電気化学的にカソード電極上で還元を行う方法として、非特許文献１では、界面活性剤や金属配位子を添加した水溶液中において、目的金属からなる陽極と、炭素または白金からなる陰極とを通電することにより、金属粒子を作成する方法が提案されている。
【非特許文献１】Ａ．Ｐｉｅｔｒｉｋｏｖａ ｅｔ ａｌ．， Ｍｅｔａｌｌｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｖｏｌ．２９， （１９９１）， ｐ２６２−２７２
【特許文献１】特開２００５−２８１７８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した従来の気相合成法では、一般に、ＣＶＤ、ガス中蒸発、レーザーアブレーション、スパッタリングなどにより金属蒸気が反応容器に供給されて、金属微粒子の生成が行われる。しかしながら、これら反応装置は概して高価である上、原料の使用量に対する製造量（すなわち歩留まり）が悪く、製造コストが高いという問題点があった。また、得られる金属微粒子は、粒径分布が広いという問題点もあった。
【０００９】
また、従来の電気化学的にカソード電極上で還元を行う方法では、還元されて得られた金属粒子がデンドライト（樹枝）状に成長するため、金属粒子の形状が不均一であるという問題点があった。また、粒子を大量に製造する場合に、粒子が肥大化するという問題点もあった。
【００１０】
本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたもので、ナノサイズの多数の金属突起からなるナノドット金属によるカソード電極を用いた電極と、その電極を用いて金属イオンの電気化学的還元を行うことにより、粒状でナノサイズの金属微粒子を効率よく製造することが可能な金属微粒子の製造装置および金属微粒子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
発明者は上述した従来の問題点について鋭意研究を重ねた。その結果、従来、電気化学的な液相還元方法に用いられていた板状もしくは棒状の白金等の金属からなるカソード電極に代わり、多数の白金の針状突起からなるカソード電極を用いて金属イオンの電気化学的還元を行うと、粒状でナノサイズの金属微粒子を効率よく製造することができることが判明した。そして、この時電気化学還元を行う電解溶液中に、製造対象である金属のイオンを適宜添加することで、得られる金属微粒子の生成量を制御することが出来ること、また、上記電解液中にポリビニルピロリドンやポリアクリル酸等の有機物分散媒を添加すれば、生成の粒子同士の凝集を低減できること、更に、印可する電流をパルス電流にし、さらに反応溶液およびカソード電極を超音波振動させると、得られる金属微粒子の形状均一性がより向上することが判明した。この発明は上述した研究成果によってなされたものである。
【００１２】
本発明の第１の態様にかかる電極は、陽極と、多数の互いに電気的に絶縁された白金の針状突起物の集合体からなる陰極とを有することを特徴とする。
【００１３】
この電極を、電気化学的な液相還元方法に使用することにより形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００１４】
本発明の第２の態様にかかる電極は、本発明の第１の態様にかかる電極の前記陰極の前記白金の針状突起物は、最大長さが1μm以下となるように互いに絶縁された導電性電極上に電解析出された白金であることを特徴とする。
【００１５】
この電極を、電気化学的な液相還元方法に使用することにより形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００１６】
本発明の第３の態様にかかる電極は、本発明の第１または第２の態様にかかる電極の前記陰極の前記白金の針状突起物が、導電性電極上に電解析出された白金であり、かつ、前記針状突起物が、各々が絶縁性の樹脂により絶縁されていることを特徴とする。
【００１７】
この電極を、電気化学的な液相還元方法に使用することにより形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。また、陰極の白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金上に絶縁性の樹脂を塗布し、さらに、この樹脂を塗布した表面をエッチングすることにより、絶縁性の樹脂上に、部分的に露出させた白金であってもよい。
【００１８】
本発明の第４の態様にかかる電極は、本発明の第１から第３のいずれか１つの態様にかかる電極の前記陽極が、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、及びルテニウムの中から選択された少なくとも１種の金属であることを特徴とする。
【００１９】
本発明の第１の態様にかかる金属微粒子の製造装置は、金属の微粒子を製造する金属微粒子の製造装置であって、本発明の第１から第４のいずれか１つの態様にかかる電極の陽極または陰極を有し、該陽極と該陰極とを通電する手段を備えていることを特徴とする。
【００２０】
これにより、形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００２１】
本発明の第２の態様にかかる金属微粒子の製造装置は、本発明の第１の態様にかかる金属微粒子の製造装置において、製造対象の前記金属の金属イオンを含む導電性水溶液を有することを特徴とする。
【００２２】
これにより、得られる金属微粒子の生成量を制御することが可能である。
【００２３】
本発明の第１の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、導電性水溶液中で、製造対象の金属からなる陽極と、互いに電気的に絶縁された多数の白金の針状突起物の集合体からなる陰極とを通電して、前記金属の微粒子を製造することを特徴とする。
【００２４】
これにより、形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００２５】
本発明の第２の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１の態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記陰極の前記白金の針状突起物は、最大長さが1μm以下となるように互いに絶縁された導電性電極上に電解析出された白金であることを特徴とする。
【００２６】
これにより、形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。
【００２７】
本発明の第３の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１または第２の態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記陰極の前記白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金であり、かつ、前記針状突起物は、各々が絶縁性の樹脂により絶縁されていることを特徴とする。
【００２８】
これにより、形状が均一である粒状のナノサイズの金属微粒子を、効率よく製造することが可能である。また、陰極の白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金上に絶縁性の樹脂を塗布し、さらに、この樹脂を塗布した表面をエッチングすることにより、絶縁性の樹脂上に、部分的に露出させた白金であってもよい。
【００２９】
本発明の第４の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第３のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記導電性水溶液中には、有機物分散媒が添加されていることを特徴とする。
【００３０】
これにより、生成された粒子同士の凝集を低減することが可能である。
【００３１】
本発明の第５の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第４のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記有機物分散媒は、ポリエチレンイミン、ポリビニルピロリドン等のアミン系の高分子、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等のカルボン酸基を有する炭化水素系の高分子、及び、その関連化合物の中の少なくとも一つであることを特徴とする。
【００３２】
本発明の第６の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第５のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記通電を周波数１Ｈｚ以上のパルス電流により行うことを特徴とする。
【００３３】
これにより、形状がより均一であり、粒径のより小さい金属微粒子を生成することが可能である。
【００３４】
本発明の第７の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第６のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記通電中に前記導電性水溶液および前記陰極に超音波振動を与えることを特徴とする。
【００３５】
これにより、形状がより均一であり、粒径のより小さい金属微粒子を生成することが可能である。
【００３６】
本発明の第８の態様にかかる金属微粒子の製造方法は、本発明の第１から第７のいずれか１つの態様にかかる金属微粒子の製造方法において、前記金属は、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、または、ルテニウムであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、ナノサイズの多数の金属突起からなるナノドット金属によるカソード電極を用いて金属イオンの電気化学的還元を行うことにより、粒状でナノサイズの金属微粒子を効率よく製造することを可能である。また、印可する電流をパルス電流にし、さらに導電性水溶液およびカソード電極を超音波振動させることにより、形状がより均一であり、粒径のより小さい金属微粒子を生成することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
この発明の一実施態様を、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施態様は説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素もしくは全要素をこれと均等なもので置換した実施態様を採用することが可能であるが、これらの実施態様も本発明の範囲に含まれる。
【００３９】
まず、本発明を適用可能な金属微粒子の製造方法を説明する。図１は、本発明を適用可能な金属微粒子の製造方法の概念図である。図１に示すように、有機物保護剤（例えば、ポリビニルピロリドン、ドデカンチオールなど）を分散させた電解質溶液（反応溶液）１０（例えば、水、ＴＨＦなど）中で、ナノサイズの白金ドット電極（以下、白金ナノドット電極と呼ぶ）からなる陰極（カソード電極）１２と、析出する対象となる金属のバルク体からなる陽極（アノード電極）１４とを通電する。
【００４０】
これにより、カソード電極１２の表面上に、有機保護剤に皮膜された対象金属の金属微粒子１６が析出される。このとき、通電する電流をパルス電流にすることにより、更に、反応溶液１０及びカソード電極１２に超音波振動を与えることにより、得られる金属微粒子の粒径がより小さく、形状が球状になる。
【００４１】
図２は、白金ナノドット電極及び白金ナノドット電極において析出される金属微粒子の概念図である。図２に示すように、白金ナノドット電極は、ナノサイズの白金突起が、絶縁性の樹脂上に、多数露出しており、露出した白金の先端部において金属微粒子が析出される。
【００４２】
上述した方法により、銅、銀、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、ルテニウム等からなる金属微粒子を製造することができる。特に、銅からなる金属微粒子（以下、銅ナノ粒子と呼ぶ）を製造することに適している。
【００４３】
次に、本発明の好適ないくつかの実施例を説明する。
【実施例１】
【００４４】
（白金針状突起電極の製造方法）
本発明においてカソード電極として使用した白金針状突起物からなる電極の製造方法を説明する。図２は、白金ナノドット電極の製造方法を説明するための図である。図３に示すように、まず、白金の板状基板の表面を絶縁性の樹脂でコーティングする（（１）参照）。次に、ナノインプリンティングにより一辺の長さが約１μｍの正方形の多数のホールからなるパターン基板を形成する（（２）参照）。ここで、（２ａ）はナノインプリンティングにより形成されたパターン基板を側面から見た図を、（２ｂ）は上面から見た図を示している。
【００４５】
次に、その基板に電気化学的めっきすることで、このホール部分に、樹枝状の白金突起を形成する（（３）参照）。最後に、この基板の表面を、再度、上述した樹脂でコーティングした後、表面を回転型自動研磨機により研磨する（（４）参照）。
【００４６】
これにより、絶縁性の樹脂上に平均径が５０ｎｍ以下の白金突起が多数露出した白金ナノドット電極を得た。
【実施例２】
【００４７】
板状白金電極を用いた場合に得られた粒子と、白金針状突起電極を用いた場合に得られる粒子との相異について、以下の銅微粒子製造実験により確認した。
【００４８】
まず支持電解質として希硫酸を少量添加した水溶液２００ｇに、有機物分散媒としてポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）を０．５ｇ製造対象の金属イオン原料として酢酸銅０．５ｇ添加して、銅イオンを含む導電性水溶液である反応溶液を作成した。続いてこの反応溶液中で、２ｃｍ四方の銅シートからなるアノード電極と、実施例１の製法によって作成した白金ナノドット基板からなるカソード電極とを、３０分間通電した。
【００４９】
この時、印可した電圧は、参照電極に対して１Ｖ、電流密度は０．１ｍＡ／ｃｍ２とした。その後、得られたコロイド溶液を、カーボン支持膜をとりつけたアルミメッシュ上に採取し、溶媒を乾燥除去した後、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、生成した粒子を観測した。またカソード電極に板状白金電極を用いた場合も同様の条件で粒子製造を実施した。上述の実験により得られた結果を表１に示す。
【００５０】
【表１】
表１により、実験結果は、白金ナノドット電極を用いた場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は４０ｎｍであった。一方、板状白金電極を用いた場合に得られた粒子の形状は棒状または樹枝状であり、粒子の平均粒径は２００ｎｍであった。したがって、白金ナノドット電極を用いた場合のほうが、形状がより均一な球状で、粒径がより小さい粒子を製造することができた。
【実施例３】
【００５１】
印可電流をパルス電流にした時の効果について、以下の実験により確認した。
【００５２】
カソード電極に実施例１の製法によって作成した白金ナノドット電極を用い、通電条件以外が実施例２と同様の条件により実験を行った。通電条件として、電圧振幅１Ｖ、電流密度（ｉｐ）０．１ｍＡ／ｃｍ２、周波数１００Ｈｚのパルス電流（ただしＴｏｆｆ＝Ｔｏｎ）を印可した。図４は、通電条件として印可したパルス電流の波形を示す図である。３０分間の通電の後に得られたコロイド溶液を、カーボン支持膜をとりつけたアルミメッシュ上に採取し、溶媒を乾燥除去した後、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、生成した粒子を観測した。上述の実験により得られた結果を表２に示す。ここで、実施例２によって得られた直流電流を印可した場合と比較した。
【００５３】
【表２】
表２により、パルス電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は３０ｎｍであった。一方、直流電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は４０ｎｍであった。したがって、パルス電流を印可した場合のほうが、粒径がより小さい粒子を製造することができた。
【実施例４】
【００５４】
反応溶液およびカソード電極を超音波振動させた時の効果について、以下の実験により確認した。
【００５５】
カソード電極に実施例１の製法によって作成した白金ナノドット電極を用い、反応溶液を超音波振動装置により振動させながら、実施例２及び３と同様の条件で電気化学還元を行った。得られたコロイド溶液を、カーボン支持膜をとりつけたアルミメッシュ上に採取し、溶媒を乾燥除去した後、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、生成した粒子を観測した。上述の実験により得られた結果を表３に示す。ここで、実施例２及び３によって得られた反応溶液およびカソード電極を超音波振動しない場合と比較した。
【００５６】
【表３】
表３により、反応溶液およびカソード電極を超音波振動させたとき、直流電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は３０ｎｍであった。また、パルス電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は１０ｎｍであった。一方、反応溶液およびカソード電極を超音波振動させなかったとき、直流電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は４０ｎｍであった。また、パルス電流を印可した場合に得られた粒子の形状は球状であり、粒子の平均粒径は３０ｎｍであった。したがって、反応溶液およびカソード電極を超音波振動させたときのほうが、粒径がより小さい粒子を製造することができた。特に、反応溶液およびカソード電極を超音波振動させながらパルス電流を印可した場合において、粒径がより小さい粒子を製造することができた。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明を適用可能な金属微粒子の製造方法の概念図である。
【図２】白金ナノドット電極及び白金ナノドット電極において析出される金属微粒子の概念図である。
【図３】白金ナノドット電極の製造方法を説明するための図である。
【図４】通電条件として印可したパルス電流の波形を示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０ 電解質溶液（反応溶液）
１２ 陰極（カソード電極）
１４ 陽極（アノード電極）
１６ 金属微粒子
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極と、多数の互いに電気的に絶縁された白金の針状突起物の集合体からなる陰極とを有することを特徴とする電極。
【請求項２】
前記陰極の前記白金の針状突起物は、最大長さが、1μm以下となるように互いに絶縁された導電性電極上に電解析出された白金であることを特徴とする、請求項１に記載の電極。
【請求項３】
前記陰極の前記白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金であり、かつ、前記針状突起物は、各々が絶縁性の樹脂により絶縁されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の電極。
【請求項４】
前記陽極は、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、及びルテニウムの中から選択された少なくとも１種の金属であることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の電極。
【請求項５】
金属の微粒子を製造する金属微粒子の製造装置であって、
請求項１から４のいずれか１項に記載の電極の陽極または陰極を有し、該陽極と該陰極とを通電する手段を備えていることを特徴とする金属微粒子の製造装置。
【請求項６】
製造対象の前記金属の金属イオンを含む導電性水溶液を有することを特徴とする、請求項５に記載の金属微粒子の製造装置。
【請求項７】
導電性水溶液中で、製造対象の金属からなる陽極と、互いに電気的に絶縁された多数の白金の針状突起物の集合体からなる陰極とを通電して、前記金属の微粒子を製造することを特徴とする、金属微粒子の製造方法。
【請求項８】
前記陰極の前記白金の針状突起物は、最大長さが1μm以下となるように互いに絶縁された導電性電極上に電解析出された白金であることを特徴とする、請求項７に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項９】
前記陰極の前記白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金であり、かつ、前記針状突起物は、各々が絶縁性の樹脂により絶縁されていることを特徴とする、請求項７または８に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１０】
前記導電性水溶液中には、有機物分散媒が添加されていることを特徴とする、請求項７から９のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１１】
前記有機物分散媒は、ポリエチレンイミン、ポリビニルピロリドン等のアミン系の高分子、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等のカルボン酸基を有する炭化水素系の高分子、及び、その関連化合物の中の少なくとも一つであることを特徴とする、請求項１０に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１２】
前記通電を周波数１Ｈｚ以上のパルス電流により行うことを特徴とする、請求項７から１１のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１３】
前記通電中に前記導電性水溶液および前記陰極に超音波振動を与えることを特徴とする、請求項７から１２のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１４】
前記金属は、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、または、ルテニウムであることを特徴とする、請求項７から１３のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１】
陽極と、多数の互いに電気的に絶縁された白金の針状突起物の集合体からなる陰極とを有することを特徴とする電極。
【請求項２】
前記陰極の前記白金の針状突起物は、最大長さが、1μm以下となるように互いに絶縁された導電性電極上に電解析出された白金であることを特徴とする、請求項１に記載の電極。
【請求項３】
前記陰極の前記白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金であり、かつ、前記針状突起物は、各々が絶縁性の樹脂により絶縁されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の電極。
【請求項４】
前記陽極は、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、及びルテニウムの中から選択された少なくとも１種の金属であることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の電極。
【請求項５】
金属の微粒子を製造する金属微粒子の製造装置であって、
請求項１から４のいずれか１項に記載の電極の陽極または陰極を有し、該陽極と該陰極とを通電する手段を備えていることを特徴とする金属微粒子の製造装置。
【請求項６】
製造対象の前記金属の金属イオンを含む導電性水溶液を有することを特徴とする、請求項５に記載の金属微粒子の製造装置。
【請求項７】
導電性水溶液中で、製造対象の金属からなる陽極と、互いに電気的に絶縁された多数の白金の針状突起物の集合体からなる陰極とを通電して、前記金属の微粒子を製造することを特徴とする、金属微粒子の製造方法。
【請求項８】
前記陰極の前記白金の針状突起物は、最大長さが1μm以下となるように互いに絶縁された導電性電極上に電解析出された白金であることを特徴とする、請求項７に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項９】
前記陰極の前記白金の針状突起物は、導電性電極上に電解析出された白金であり、かつ、前記針状突起物は、各々が絶縁性の樹脂により絶縁されていることを特徴とする、請求項７または８に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１０】
前記導電性水溶液中には、有機物分散媒が添加されていることを特徴とする、請求項７から９のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１１】
前記有機物分散媒は、ポリエチレンイミン、ポリビニルピロリドン等のアミン系の高分子、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等のカルボン酸基を有する炭化水素系の高分子、及び、その関連化合物の中の少なくとも一つであることを特徴とする、請求項１０に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１２】
前記通電を周波数１Ｈｚ以上のパルス電流により行うことを特徴とする、請求項７から１１のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１３】
前記通電中に前記導電性水溶液および前記陰極に超音波振動を与えることを特徴とする、請求項７から１２のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
【請求項１４】
前記金属は、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀、金、白金、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム、または、ルテニウムであることを特徴とする、請求項７から１３のいずれか１項に記載の金属微粒子の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００７−３２７１１７（Ｐ２００７−３２７１１７Ａ）
【公開日】平成１９年１２月２０日（２００７．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１６０４６６（Ｐ２００６−１６０４６６）
【出願日】平成１８年６月９日（２００６．６．９）
【出願人】（８９９００００６８）学校法人早稲田大学 (602)
【出願人】（０００００５２９０）古河電気工業株式会社 (4,457)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１２月２０日（２００７．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年６月９日（２００６．６．９）
【出願人】（８９９００００６８）学校法人早稲田大学 (602)
【出願人】（０００００５２９０）古河電気工業株式会社 (4,457)
【Ｆターム（参考）】
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