露光装置、露光装置のプログラム及びデバイス製造方法
【課題】ウエハの再度マーク探索を行う作業性が向上する露光装置、露光装置のプログラム、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】上記露光装置は、マスク、ウエハのアライメントマーク検出用のＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６の各画像から、マスク、ウエハのアライメントマークを検出する表示画面制御部１２５と、各画像の少なくとも１つより得る画像、及び、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の少なくとも１つを駆動するアライメントマーク探索操作手段である表示画面１２７を表示するコンピュータ端末１２１の表示部１２３とを有する。表示画面１２７に前記画像を、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の少なくとも１つの撮像位置に対応して組み合わせた１枚の合成撮像画像を表示する。
【解決手段】上記露光装置は、マスク、ウエハのアライメントマーク検出用のＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６の各画像から、マスク、ウエハのアライメントマークを検出する表示画面制御部１２５と、各画像の少なくとも１つより得る画像、及び、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の少なくとも１つを駆動するアライメントマーク探索操作手段である表示画面１２７を表示するコンピュータ端末１２１の表示部１２３とを有する。表示画面１２７に前記画像を、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の少なくとも１つの撮像位置に対応して組み合わせた１枚の合成撮像画像を表示する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータ端末を介して操作を行なう露光装置、その露光装置のプログラム及びその露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハ上に回路パターンを焼き付ける半導体露光装置、例えばステッパーでは、マスク（又はレチクル）と呼ばれる回路パターンの原図が描かれた透過板を用いる。
ウエハを決められた位置にセットし、照明光をマスクを通してウエハに照射することにより、マスクに描かれた回路パターンがウエハに焼き付けられる。
マスク、ウエハをセットする位置決め（アライメント）の際には、マスク、ウエハに記されたマーク（アライメントマーク）を顕微鏡で観察し、その画像をＣＣＤカメラ等により取り込み、画像処理によって位置合わせを行なう。
位置合わせの際、取り込んだ画像中に注目すべきマークが検出されなかった場合は、オペレータがマスクステージ、ウエハステージを動かす必要がある。
【０００３】
即ち、ＣＣＤカメラからの映像をモニタで見ながら、アライメントマークがＣＣＤカメラの視野に入るように、マニュアル操作でマスクステージ、ウエハステージを動かす操作が必要となる。
上記操作は、半導体露光装置に備え付けられたコンピュータ端末を用いて可能となっている。
例えば、特開平１１−２１４２８７号公報（特許文献１）では、初期のカメラ視野内においてマークの検出に失敗した場合でも、自動的なマークの再検出を可能とする技術が提案されている。
【特許文献１】特開平１１−２１４２８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術では、マニュアル操作でアライメントマークを探すときは、露光装置に備付けのコンピュータ端末の操作画面でマスクステージ、ウエハステージを操作していた。
このため、アライメントマークの探索作業を行なう場合には、オペレータは必ず露光装置の設置されている場所で作業する必要があった。
例えば、オペレータがオンラインホスト等を用いて露光装置から離れた場所から露光装置の遠隔操作を行なっていても、アライメントマークの探索作業を行なう際には、露光装置前まで移動する手間が生じ、作業効率を悪くする原因となっていた。
【０００５】
また、半導体デバイスの製造過程では、同一パターンの半導体デバイスを複数の露光装置で製造するために、レチクルを複数の露光装置で共用することがある。 その際、一度、自動アライメント処理がエラーとなったレチクル又はウエハは、頻繁にマニュアルでのアライメントマーク探索作業が必要となる傾向がある。
しかし従来技術では、自動アライメント処理がエラーになる毎に、既に手動アライメント操作を行っているレチクル又はウエハに対しても、初めからマニュアルでのアライメント探索操作を行う必要がある。このことも、作業効率を悪くする原因となっていた。
【０００６】
そこで、本発明は、マーク探索の作業効率を向上させることを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するための本発明の露光装置は、原版および基板の少なくとも一方に形成されたマークの位置を計測し、該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置であって、
該原版および該基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、
前記ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープと、
前記ステージの位置を指示するために操作される入力部と、
表示部と、
前記入力部により指示された複数の位置でそれぞれ前記撮像手段により撮像された画像を合成し、該合成された画像を前記表示部に表示させる制御部と、
を有することを特徴とする。
さらに、本発明の装置は、原版および基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、該ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープとを有し、該マークの位置を計測し、かつ該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置を操作する装置であって、
該ステージの位置を指示するために操作される入力部と、
表示部と、
前記入力部により指示された該ステージの複数の位置でそれぞれ該スコープにより撮像された画像を合成し、該合成された画像を前記表示部に表示させる制御部と、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の方法は、原版および基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、該ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープとを有し、該マークの位置を計測し、かつ該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置を操作する方法であって、
入力部から該ステージの位置を指示する情報を受け取るステップと、
該指示された該ステージの複数の位置でそれぞれ該スコープにより撮像された画像を合成するステップと、
該合成された画像を表示部に表示させるステップと、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、マーク探索の作業効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は、本発明の実施例１の露光装置の構成例、及び露光装置を管理するコンピュータ端末の構成例を示す概略構成図である。
図１に示すように、露光装置１００は、他の露光装置１１８、１１９と同様の構成であり、各々、ＬＡＮ１２０を介してコンピュータ端末１２１に接続されている。以下、代表として露光装置１００を説明する。
露光装置１００は、例えばＣＰＵ及び内部メモリのＲＡＭ等を有するコンソール制御部１１５を備える。
コンソール制御部１１５は、ＣＲＴ、液晶ディスプレイ等の表示部１０８の制御、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力部１０７からの入力認識、及びハードディスク、ＭＯ等の記憶手段である記憶装置１１６の制御を行う。
【００１１】
また、コンソール制御部１１５は、工場の情報ネットワークであるＬＡＮ１２０と接続するＬＡＮ送受信部１１７の制御、照明系制御部１０９の制御、Ａスコープ制御部１１０の制御、マスクステージ制御部１１１の制御を行う。
さらに、コンソール制御部１１５は、Ｂスコープ制御部１１２の制御、及びウエハステージ制御部１１３の制御、画像入力部１１４の制御を行う。
特に、コンソール制御部１１５は、照明系制御部１０９、Ａスコープ制御部１１０、マスクステージ制御部１１１に対しては、所定の制御コマンドを送信することによって制御し、これにより露光装置１００の制御を行なう。
尚、マスクステージ制御部１１１は、マスクステージ制御手段を構成し、ウエハステージ制御部１１３は、ウエハステージ制御手段を構成する。
【００１２】
一方、照明系制御部１０９は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けて露光光を照射する照明部１０１の制御を行なう。
Ａスコープ制御部１１０は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けてＡスコープ１０５の制御を行なう。
Ａスコープ１０５は、マスク（回路パターンマスク）のアライメント時に使用されるもので、マスクに記されたアライメントマークを観察する顕微鏡であり、その映像をビデオ信号等に変換して画像入力部１１４に送信する。
マスクステージ制御部１１１は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けてマスクステージ１０２のＸＹＺ座標系の移動制御を行ない、露光処理時のマスクの投影位置を操作する。
尚、Ａスコープ１０５は、マスクアライメント画像撮像手段を構成する。
【００１３】
Ｂスコープ制御部１１２は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けてＢスコープ１０６の制御を行なう。
Ｂスコープ１０６は、ウエハ（半導体ウエハ）のアライメント時に使用されるもので、ウエハに記されたアライメントマークを観察する顕微鏡であり、その映像をビデオ信号等に変換して画像入力部１１４に送信する。
ウエハステージ制御部１１３は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けてウエハステージ１０４のＸＹＺ座標系の移動制御を行ない、露光処理時にウエハの露光位置を操作する。
一方、投影レンズ１０３は、マスクのパターンを縮小してウエハに焼き付ける場合に必要となるもので、縮小しない場合には必ずしも必要ではない。
尚、Ｂスコープ１０６は、ウエハアライメント画像撮像手段を構成する。
【００１４】
画像入力部１１４は、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６からの映像信号を、内部の画像メモリに取り込み、コンソール制御部１１５に出力する。
ここで、コンソール制御部１１５は、アライメントの対象がマスクステージ１０２の場合はＡスコープ１０５の映像信号、ウエハステージ１０４の場合はＢスコープ１０６の映像信号を受信する。
コンソール制御部１１５は、上記映像信号を受信する際、映像信号を単位時間毎の静止画像に変換し内部メモリに読み込む。
その後、コンソール制御部１１５は、内部メモリ上の静止画像に対して露光装置１００の識別情報や撮像対象の位置情報等を付加した情報を送信データとして生成する。
さらに、コンソール制御部１１５は、送信データをＬＡＮ送受信部１１７から装置外のＬＡＮ１２０に送信する。
【００１５】
コンピュータ端末１２１は、オペレータがアライメントマークの探索操作に用いる操作端末であり、露光装置１００，１１８，１１９外部に存在し、その各々とＬＡＮ１２０で接続されている。
以下、コンピュータ端末１２１を外部コンピュータ端末１２１と記す。
外部コンピュータ端末１２１は、露光装置１００，１１８，１１９等が置かれているクリーンルーム内に存在していても、居室のようなクリーンルーム外に存在しても構わない。
外部コンピュータ端末１２１の表示画面制御部１２５は、ＣＲＴ、液晶ディスプレイ等の表示部１２３の制御を行う。
さらに、キーボード、マウス等の入力部１２２からの入力認識、ハードディスク、ＭＯ等の記憶手段である記憶装置１２６の制御を行う。
さらに、表示画面制御部１２５は、工場の情報ネットワークであるＬＡＮ１２０と接続するＬＡＮ送受信部１２４の制御、ＬＡＮ送受信部１２４が受信する露光装置１００等からのＬＡＮ送信データの解析を行う。
ここで、表示画面制御部１２５は、ＬＡＮ送信データの解析情報からアライメントマークの探索結果である探索操作画像１２７を生成し、表示部１２３に表示する。
尚、表示画面制御部１２５及び探索操作画像１２７は、マスク（回路パターンマスク）及びウエハ（半導体ウエハ）のアライメントマークを検出する手段を構成する。
【００１６】
図２は、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３に表示される探索操作画面の一例を示すイメージ図である。
表示部１２３に表示される探索操作画像１２７、即ち探索操作画面２００の上部に位置する状態表示部２０１には、探索対象である露光装置１００等を識別する装置情報を表示する装置情報表示部２０２を有する。
さらに、状態表示部２０１には、露光装置１００等がマーク探索に失敗し再探索が必要となったアライメント種別や探索により駆動対象となるステージ情報等を表示するアライメント情報表示部２０３を有する。
さらに、状態表示部２０１には、探索対象のロットやウエハやマスク等の識別情報を表示するマテリアル情報表示部２０４を有し、そしてウエハやマスク等の撮像対象の位置情報を表示する撮像位置表示部２０５を有する。
【００１７】
アライメント情報表示部２０３やマテリアル情報表示部２０４、撮像位置表示部２０５に表示される情報の内容は、露光装置１００等からＬＡＮ１２０経由で受信したＬＡＮ送信データに含まれる情報の解析に基づく。
即ち表示画面制御部（図１参照）１２５がその解析を実行し、その解析結果を状態表示部２０１のアライメント情報表示部２０３やマテリアル情報表示部２０４、撮像位置表示部２０５に表示するものである。
一方、撮像画像表示部２１３に表示される撮像対象の位置情報は、撮像対象が移動する毎に表示内容が更新される。
撮像画像表示部２１３には、露光装置１００等からＬＡＮ１２０経由で受信したＬＡＮ送信データに含まれる撮像画像データを表示画面制御部（図１参照）１２５が解析した撮像画像が表示される。
【００１８】
撮像画像表示部２１３には、ＬＡＮ送信データに含まれるＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６で撮影した単位時間当たりの静止画像を連続して受信し画像表示する。
このため、撮像画像表示部２１３においては、あたかもリアルタイムでマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像画像が動画像として表示されているように観察することができる。
撮像画像表示部２１３では、撮像画像の中心座標を提示する補助スケール２１４のように、ＬＡＮ送信データに含まれる撮像画像の上に他の画像を重ねて表示することができる。
【００１９】
探索操作画面２００では、撮像画像表示部２１３に表示する撮像対象位置を移動する移動操作手段を有している。
撮像対象位置の移動操作手段としては、画像インタフェイスとしての方向ボタンによるものと、移動先の位置座標を直接入力するものがある。
例えばステージ方向駆動操作部２１７にある方向ボタンを押下（クリック等）した方向に、ステージ方向駆動距離入力部２１６に設定された距離分だけ、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像対象の位置が移動する。
移動先の位置座標を直接入力する移動操作手段では、駆動位置入力部２１９に設定したＸＹ座標位置の撮像画像が撮像画像表示部２１３に表示される。
位置座標を直接入力する移動操作手段では、駆動位置入力モード切替ボタン２１８を有し、駆動位置入力モード切替ボタン２１８により絶対座標入力モード、相対座標入力モードを選択できる。
【００２０】
絶対座標入力モード時は、ステージ駆動操作ボタン２２０を押下した場合、駆動位置入力部２１９に設定した値に対応するマスクステージ１０２位置、ウエハステージ１０４位置の撮像画像が撮像画像表示部２１３に表示される。
また、駆動位置入力モード切替ボタン２１８が相対座標入力モードに設定されている際に、ステージ駆動操作ボタン２２０を押下した場合には、次の撮像画像が撮像画像表示部２１３に表示される。
即ち、現在の撮像位置から駆動位置入力部２１９に設定された値を加算したマスクステージ１０２位置、ウエハステージ１０４位置の撮像画像が撮像画像表示部２１３に表示される。
【００２１】
一方、撮像対象の移動操作であるステージ方向駆動操作部２１７又はステージ駆動操作ボタン２２０が押下された場合には、表示画面制御部１２５においてステージ駆動要求コマンドが生成される。
ステージ駆動要求コマンドは、ステージ方向駆動操作部２１７又はステージ駆動操作ボタン２２０に対応したステージ駆動量を含むコマンドであり、ＬＡＮ送受信部１２４からＬＡＮ１２０経由で露光装置１００等へ送信される。
その際、露光装置１００等は、外部コンピュータ端末１２１から送信されたステージ駆動要求コマンドをＬＡＮ送受信部１１７で受信し、ステージ駆動要求コマンドをコンソール制御部１１５へ送信する。
【００２２】
コンソール制御部１１５は、ステージ駆動要求コマンドに含まれる駆動対象ステージ情報から駆動対象のステージを判断し、ステージ駆動要求コマンドに含まれるステージ駆動量に対応したステージ実駆動コマンドを生成する。
コンソール制御部１１５は、ステージ対象に従ってマスクステージ制御部１１１又はウエハステージ制御部１１３へステージ実駆動コマンドを送信する。
マスクステージ制御部１１１又はウエハステージ制御部１１３は、ステージ実駆動コマンドを受信してマスクステージ１０２又はウエハステージ１０４を駆動する。
【００２３】
このことで、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６でのマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像位置が相対的に移動し、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６からは撮像内容の異なる映像信号が生成される。
このため、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６からの移動後の映像信号を含むＬＡＮ送信データがコンソール制御部１１５で生成され、ＬＡＮ送受信部１１７からＬＡＮ１２０経由で外部コンピュータ端末１２１へ送信される。
外部コンピュータ端末１２１では、ステージ方向駆動操作部２１７又はステージ駆動操作ボタン２２０の押下後のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の再移動時の撮像画像を含むＬＡＮ送信データを受信する。
【００２４】
外部コンピュータ端末１２１においては、上記所謂移動指示、及び再移動後のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像画像の表示までが連続して行われる。
このため外部コンピュータ端末１２１を操作するオペレータは、あたかも撮像画像表示部２１３からリアルタイムで露光装置１００等のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４を観察しているかのように感じられる。
しかも、その結果、探索開始時点で現れていなかったアライメントマークは、探索操作の結果、探索対象アライメントマーク２１５のように撮像画像表示部２１３に現れる。
以上の動作は、上述の絶対座標入力モード時、及び相対座標入力モード時の場合も同様である。
尚、探索操作画面２００の状態表示部２０１、ステージ方向操作部２１７、駆動位置入力部２１９、及びステージ駆動操作ボタン２２０は、アライメントマーク探索操作手段を構成する。
また、実施例１の場合、外部コンピュータ端末１２１の表示画面制御部１２５、及び探索操作画面２００（主に撮像画面表示部２１３）は、合成撮像画像を生成する手段を構成する。
【００２５】
図３は、アライメントマーク探索操作を行なっている間の露光装置から外部コンピュータ端末間を送信されるＬＡＮ送信データのデータ構造の一例を示すデータ概要図である。
ＬＡＮ送信データは、各々単位時間毎の情報に分かれており、ＬＡＮ送信データには、Ｔｉｍｅ２の送信データ３０４に記されるように装置情報や撮像位置等の撮像対象情報３０６を含む。
また、ＬＡＮ送信データには、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６で撮影された映像信号がコンソール制御部（図１参照）１１５で変換された静止画像３０４が含まれる。
ＬＡＮ送信データに含まれる画像は静止画像であるが、外部コンピュータ端末（１２１）３０１の操作画面において、単位時間毎のＬＡＮ送信データに含まれる静止画像情報を連続して表示する。
このことにより、オペレータはあたかも動画像が表示されているかのように感じることができる。
【００２６】
尚、コンソール制御部１１５は連続してＬＡＮ送信データを生成しＬＡＮ送受信部１１７に送信する。
しかし、外部コンピュータ端末（１２１）３０１からのステージ駆動要求がなくＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６で撮像するステージ位置が変わらない場合、コンソール制御部１１５は、次の制御を行う。
即ち、コンソール制御部１１５は、その場合は、ＬＡＮ送受信部１１７へのＬＡＮ送信データの送信を停止する。
探索操作画面２００の撮像画面表示部２１３には最後に露光装置（１００等）３００から送信されたＬＡＮ送信データに含まれる画像が表示される。
このようにコンソール制御部１１５が、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６の撮像対象の位置が変わらない場合は、ＬＡＮ（１２０）３０２へのデータ送信を中断することにより、ＬＡＮ３０２上でのデータ量を低減する。
【００２７】
図４は、探索操作画面２００のボタン表示部２０６に位置する設定画面起動ボタン２１０を押下することで起動される設定画面４００の一例を示すイメージ図である。
設定画面４００の装置情報入力部４０４には、操作画面で操作対象とする露光装置１００等を識別する情報（露光装置１００等の装置名、タイプ名）の設定が可能である。
設定画面４００の装置ネットワークアドレス入力部４０５には、ＬＡＮ１２０に接続される複数の露光装置から操作対象となる露光装置１００等を特定するネットワークアドレス情報の入力が可能である。
設定画面４００のボタン表示部４０１には、設定反映ボタン４０２と、設定キャンセルボタン４０３が表示される。
【００２８】
設定反映ボタン４０２を押下すると、装置ネットワークアドレス部４０５に入力した装置を探索対象へ切り替える処理が実行される。
即ち、装置ネットワークアドレス部４０５で入力した装置のＬＡＮ送受信部と外部コンピュータ端末１２１のＬＡＮ送受信部１２４，１１７が接続される。
図１に示すように、ＬＡＮ１２０に複数の露光装置１００、１１８、１１９が接続されている場合には、装置ネットワークアドレス部４０５の内容を変更することにより、探索画面の操作対象を容易に切り替えることができる。
上記に説明したように、露光装置１００等の外部にある外部コンピュータ端末１２１に露光装置１００等のアライメントカメラでリアルタイムに撮影している画像を表示できる。
【００２９】
また、外部コンピュータ端末１２１からマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４を操作する上述の各手段を構成することで、オンライン運用中等オペレータがクリーンルーム外から露光装置１００等を遠隔操作できる。
遠隔操作の際にアライメントマーク検索作業が生じても、オペレータが露光装置１００等まで移動する労力やクリーンスーツへの着替え等クリーンルームへ入室するための労力を省くことができ作業効率が大幅に向上する。
また、外部コンピュータ端末１２１からアライメントアシスト操作対象とする露光装置１００等を切り替える各手段を構成したため、露光装置毎にアライメントアシスト操作端末を用意する必要がなく大幅なコスト削減ができる。
【実施例２】
【００３０】
次に、本発明の実施例２を説明する。
ここでは、実施例１で記した構成例に基づいて実施例２を説明する。
尚、実施例２で記す探索操作画面２００は、実施例１で説明したように露光装置外に位置する外部コンピュータ端末１２１で表示されても良く、あるいは露光装置１００等に備わる表示部１０８に表示されても構わない。
以下の処理は、例えば、露光装置の表示部１０８側で行う場合はコンソール制御部１１５が実行し、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３側で行う場合は表示画面制御部１２５が実行する。
まず、図２に示すように、探索操作画面２００の合成撮像画像表示部２２１には、探索を開始してから撮像画像表示部２１３に表示された画像を、撮像位置に対応して組み合せた合成撮像画像２２４が表示される。
尚、外部コンピュータ端末１２１の表示画面制御部１２５、及び探索操作画面２００（主に合成撮像画像表示部２２１）は、合成撮像画像を生成する手段を構成する。
【００３１】
合成撮像画像表示部２２１には、現在、撮像画像表示部２１３で表示している範囲を示す撮像エリア枠２２５がともに表示される。
この撮像エリア枠２２５により合成撮像画像２２４と撮像画像表示部２１３の撮像位置との位置関係を容易に把握でき、既に探索済みの領域を繰り返し探索するような手間を防止することができる。
合成撮像画像表示部２２１は表示縮尺スクロールバー２２３を有しており、表示縮尺スクロールバー２２３を操作することにより、合成撮像画像表示部２２１の拡大、縮小を行うことができる。
【００３２】
表示縮尺スクロールバー２２３の操作により合成撮像画像表示部２２１を拡大表示した際、合成撮像画像表示部２２１に仮に合成撮像画像２２４の一部しか表示されなくなった場合、次の制御が可能である。
即ち、一つには、その表示が外部コンピュータ端末１２１側の場合は、入力部１２２の上下左右キー等を押下することで、入力情報に対応して合成撮像画像表示部２２１に表示する合成撮像画像２２４の位置を移動できる。
また一つには、その表示が露光装置１００等側の場合には、入力部１０７の上下左右キー等を押下することで、入力情報に対応して合成撮像画像表示部２２１に表示する合成撮像画像２２４の位置を移動できる。
【００３３】
合成撮像画像２２４における目印アイコン２２６は、探索の結果、アライメントマークの発見時に、その位置を記憶しておくための情報である。
目印アイコン２２６は、後述の目印アイコン設定画面５００を用いて合成撮像画像２２４に付加される。
合成撮像画像２２４における目印リスト２２７には、合成撮像画像２２４に付加した目印アイコン２２６のリストが表示される。
目印リスト２２７には、アライメントマークの形状種類や目印アイコン２２６を付加したマスクステージ１０２又はウエハステージ１０４の座標、コメント等の目印アイコン２２６を識別するための情報等が表示される。
尚、表示画面制御部１２５、目印アイコン２２６は、合成撮像画像に対してアライメントマーク形状、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の座標情報を付加する付加手段を構成する。
また、目印リスト２２７、及び後述する目印アイコン設定画面５００も、付加手段の構成に含まれる。
【００３４】
探索操作画面２００のボタン表示部２０６には、探索履歴保存ボタン２０７、目印設定画面起動ボタン２０８、目印位置反映ボタン２０９、設定画面起動ボタン２１０、探索履歴画面起動ボタン２１１が表示される。
また、探索操作画面２００のボタン表示部２０６には、操作画面終了ボタン２１２が表示される。
探索履歴保存ボタン２０７の操作時は、探索操作画面２００で行なった探索情報から探索履歴ファイル（図６参照）６００を生成し、これが記憶装置１１６又は１２６に保存される。
探索履歴ファイル６００には、第１に、ファイルの生成時刻やコメント等を含んだファイル識別情報６０１、探索対象の装置名や装置型番等の装置情報６０２を含む。
【００３５】
さらに、探索履歴ファイル６００には、第２に、探索が発生したアライメント種別や駆動対象ステージ等のアライメント情報６０３、探索対象のロット番号やウエハ番号等のマテリアル情報６０４を含む。
第３には、探索操作画面２００の合成撮像画像表示部２２１の下方に付加した目印リスト２２７の情報を含む目印情報６０５、探索操作画面２００の合成撮像画像表示部２２１の画像データである合成撮像画像情報６０６を含む。
一方、目印設定画面起動ボタン２０８の操作時は、合成撮像画像表示部２２１に図５に示す目印設定画面５００を表示する。
目印位置反映ボタン２０９の操作時は、目印リスト２２７で選択された目印の位置情報を、駆動位置入力部２１９に反映する。
目印リスト２２７に選択状態目印２２８がある状態での目印位置反映ボタン２０９の押下時は、次の処理を行う。
即ち、目印リスト２２７に選択状態目印２２８がある状態での目印位置反映ボタン２０９の押下時は、選択状態目印２２８の座標情報を駆動位置入力部２１９に反映する。
【００３６】
目印位置反映ボタン２０９を押下した後、ステージ駆動操作ボタン２２０を押下した場合、次の処理を行う。
即ち、目印位置反映ボタン２０９を押下した後、ステージ駆動操作ボタン２２０を押下した場合、撮像画像表示部２１３に目印の位置を撮像した画像を表示する。
探索履歴画面起動ボタン２１１の操作時は、過去に記憶装置１１６又は１２６に保存した探索履歴ファイル６００を読出し、その一覧である探索履歴画面７００を起動して表示部１０８又は１２３にリスト形式で表示する
尚、目印設定画面起動ボタン２０８、目印位置反映ボタン２０９、駆動位置入力部２１９、ステージ駆動操作ボタン２２０も、付加手段を構成する一要素として含まれる。
一方、探索画面終了ボタン２１２の操作時は、探索操作画面２００を終了する。
【００３７】
以下にボタン表示部２０６に含まれるボタンから起動される画面の詳細を記す。
図５は、目印設定画面起動ボタン２０８を押下することで起動される目印設定画面５００の一例を示すイメージ図である。
以下の処理は、例えば、露光装置の表示部１０８側で行う場合はコンソール制御部１１５が実行し、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３側で行う場合は表示画面制御部１２５が実行する。
まず、図５に示すように、目印設定画面５００のアライメントマーク入力部５０４は、目印アイコンとして合成撮像画像２２４に付加するアライメントマークの形状種類を指定できる。
即ちアライメントマーク入力部５０４は、幾つかのアライメントマークが選択肢として表示され、そのうち任意のアライメントマークを選択し得る手段である。
【００３８】
目印設定画面５００の目印アイコン表示部５０５は、アライメントマーク入力部５０４と連動してアライメント入力部５０４で選択されたアライメントマークに対応する画像が表示される。
目印設定画面５００のコメント入力部５０６には、目印を識別するコメント情報を入力できる。
目印設定画面５００のボタン表示部５０１には、目印付加ボタン５０２と、目印付加画面終了ボタン５０３が表示される。
目印付加ボタン５０２は、目印付加画面５００で入力したアライメントマーク情報を合成撮像画像２２４へ付加する際のインタフェイスである。
【００３９】
目印付加ボタン５０２を押下すると、一つには探索操作画面２００の撮像画像表示部２１３の中心位置に対応する合成撮像画像２２４の位置に目印アイコンが付加される。
また、一つには目印付加画面５００で設定したアライメントマークの形状種類等の情報や、目印アイコンを付加したマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の座標情報が、目印リスト２２７に追加される。
設定キャンセルボタン５０３を押下すると、目印設定画面５００での変更が無視されて目印設定画面５００が終了する。
尚、目印アイコン表示部５０５、目印付加ボタン５０２も、付加手段の構成の一要素として含まれる。
【００４０】
図７は、探索履歴画面起動ボタン２１１を押下することで起動される探索履歴画面７００の一例を示すイメージ図である。
以下の処理は、例えば、露光装置の表示部１０８側で行う場合はコンソール制御部１１５が実行し、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３側で行う場合は表示画面制御部１２５が実行する。
まず、図７に示すように、探索履歴リスト表示部７０４には、記憶装置１１６又は１２６に格納されていた探索履歴ファイル６００が一覧で表示される。 探索履歴リスト表示部７０４の１行では、1つの探索履歴ファイル６００の内容が表示されており、履歴識別情報表示部７０５には、探索履歴ファイル６００のファイル識別情報６０１が表示される。
装置情報表示部７０６には、探索履歴ファイル６００の装置情報６０２が表示され、アライメント表示部７０７には、探索履歴ファイル６００のアライメント情報６０３が表示される。
【００４１】
マテリアル情報表示部７０８には、探索履歴ファイル６００のマテリアル情報６０４が表示され、目印情報表示部７０９には、探索履歴ファイル６００の目印情報６０５が表示される。
そして合成撮像画像表示部７１０には、探索履歴ファイル６００の合成撮像画像情報６０６が縮小された画像が表示される。
探索履歴リスト表示部７０４に過去の探索履歴ファイル６００が一覧表示されていることにより、現在、探索操作画面２００で探索対象としているマスク、ウエハが過去に他の露光装置で探索された履歴等を容易に探し出せる。
探索履歴画面７００のボタン表示部７０１には、履歴読み込みボタン７０２と、履歴画面終了ボタン７０３が表示される。
履歴読み込みボタン７０２は、探索履歴リスト表示部７０４で選択された履歴項目７１１を探索操作画面２００に読み込む際のインタフェイスである。
履歴画面終了ボタン７０３は、探索履歴画面７００を終了する際のインタフェイスである。
【００４２】
図８は、探索履歴画面７００の履歴読み込みボタン７０２を押下した後の探索操作画面の一例を示すイメージ図である。
以下の処理は、例えば、露光装置の表示部１０８側で行う場合はコンソール制御部１１５が実行し、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３側で行う場合は表示画面制御部１２５が実行する。
まず、図８に示すように、探索履歴が読み込まれた後の探索操作画面８００において合成撮像画像表示切替えタブ８０８で探索履歴を表示するタブへ切り替えると、合成撮像画像表示部８０９に次の情報が表示される。
即ち合成撮像画像表示部８０９には、探索履歴画面７００で選択した選択状態履歴７１１に含まれる合成撮像画像８１０と目印アイコン８１１、目印リスト８１３が表示される。
【００４３】
また、合成撮像画像表示部８０９には、リアルタイムの画像を表示する撮像画像表示部８０４の撮像範囲が撮像エリア枠８１２で示される。
探索操作画面８００では、撮像画像表示部８０４に表示されるＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６が撮影するリアルタイムな画像と、合成撮像画像表示部８０９に表示される過去の合成探索画像８１０とが同時に表示される。
このことにより、過去の探索履歴を参照しながら探索を行なうことができ、同じ位置を繰り返し探索するような手間を省くことができる。
また、探索履歴に含まれる目印アイコンの位置を撮像画像表示部８０４へ表示する場合には、次の手順で可能となる。
即ち合成撮像画像表示切替えタブ８０８で履歴タブを選択し、目印リスト８１３から選択状態目印８１４のように該当目印を選択した状態で、目印位置反映ボタン８０２を押下する。
【００４４】
すると、選択状態目印８１４に含まれるマーク座標が、駆動位置入力部８０６に反映される。
また、駆動位置入力部８０６に選択状態目印８１４の位置情報が設定されている状態でステージ駆動操作ボタン８０７を押下すると、撮像画像表示部８０４に次の情報が表示される。
即ち過去に設定した目印アイコンのマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の位置を撮像したＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６の撮像画像が撮像画像表示部８０４に表示される。
以上のように外部コンピュータ端末や露光装置の表示部１０８、１２３に、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６の撮影画像と、マスクステージ位置又はウエハステージ位置を組み合わせた合成撮像画像とを同時に表示できる。
【００４５】
これにより、探索経路と表示され撮像画像の位置関係を同時に把握することができ、繰り返し同じ場所を探索するような操作ミスを低減し、作業効率を大幅に向上できる。
また、合成撮像画像やそれに付加された目印情報等を履歴として保存することが可能であり、同一の露光装置あるいは他の露光装置でアライメントマーク探索操作が行われたマスク又はウエハに対する再探索も容易である。
即ち、再び手動でのアライメントマーク探索操作が生じた場合、一から探索を行うのではなくアライメントマークを発見した際の履歴情報を参照しながら探索操作を行うことができ、この観点からも作業効率を大幅に向上できる。
【００４６】
（露光装置のプログラムの実施例）
次に、本発明の露光装置のプログラムの実施例を説明する。
まず、ステップ９０１では、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３に図２に示す探索操作画面２００を表示する。
次いでステップ９０２では、各露光装置１００、１１８、１１９からＬＡＮ１２０経由で受信したＬＡＮ送信データに含まれる情報を解析する。
次いでステップ９０３では、ＬＡＮ送信データの各解析の結果を、探索操作画面２００内の状態表示部２０１の各表示部に表示し、かつ撮像画像表示部２１３に表示する。
例えば、各解析の結果に基づいて、状態表示部２０１の各表示部に、各露光装置１００、１１８、１１９の装置情報、アライメント情報、マテリアル情報、撮像位置情報を順次に表示していく。
また、撮像画像表示部２１３にも、同時に、各露光装置１００、１１８、１１９のＡ、Ｂスコープ１０５，１０６が撮影した撮影画像を順次に表示していく。
【００４７】
一方、次いでステップ９０４では、探索操作画面２００の合成撮像画像表示部２２１には、探索を開始してから撮像画像表示部２１３に表示された画像を、撮像位置に対応して組み合せた合成撮像画像２２４を表示する。
即ち露光装置１００等から得られる画像情報を、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の少なくとも１つの撮像位置に対応して組み合わせた１枚の合成撮像画像を生成し同時に合成撮像画像表示部２２１に表示する。
合成撮像画像表示部２２１では、現在、撮像画像表示部２１３で表示している範囲を示す撮像エリア枠２２５により合成撮像画像２２４と撮像画像表示部２１３の撮影画像との関係を容易に把握できる。
さらに、表示縮尺スクロールバー２２３を操作することにより、合成撮像画像表示部２２１の拡大、縮小を行うことができる。
【００４８】
表示縮尺スクロールバー２２３の操作により表示上の不都合があった場合は入力部１２２の上下左右キー等を押下することで、入力情報に対応して合成撮像画像表示部２２１に表示する合成撮像画像２２４の位置を移動できる。
一方、合成撮像画像２２４における目印アイコン２２６は、探索の結果、アライメントマークの発見時に、その位置を記憶しておくための情報である。
ステップ９０５では、目印アイコン２２６を、目印アイコン設定画面５００を用いて合成撮像画像２２４に付加する。
さらに、合成撮像画像２２４における目印リスト２２７に、合成撮像画像２２４に付加した目印アイコン２２６のリストを表示する。
さらに、合成撮像画像２２４に対してマスク及びウエハのアライメントマークの少なくとも１つの形状情報と、マスクステージ１０２及びウエハステージ１０４の少なくとも１つの座標を含んだ座標情報とを付加する。
【００４９】
次いでステップ９０６では、各解析の結果からアライメントマークの探索に失敗した露光装置があるか否かを判定する。
アライメントマークの探索に失敗した露光装置が存在しない場合は、本プログラムを終了する。
しかし、アライメントマークの探索に失敗した露光装置が存在する場合は、次のステップ９０７以降の処理に移る。
即ちステップ９０７では、状態表示部２０１の各表示部にアライメントマーク探索に失敗した露光装置の上記各情報を表示するか、もしくはアライメントマーク探索に失敗した露光装置の上記各情報を表示した状態を継続する。
アライメント情報表示部２０３には、マーク探索に失敗し再探索が必要となったアライメント種別や探索により駆動対象となるステージ情報を表示する。
また、撮像画像表示部２１３には、マーク探索に失敗した露光装置のＡ、Ｂスコープ１０５，１０６が撮影した撮影画像を同時に表示する。
【００５０】
アライメントマークの探索に失敗した露光装置が存在する場合、次いでステップ９０８以降の処理を行う。
即ち、ステップ９０８では、探索操作画面２００内のボタン表示部２０６、ステージ方向駆動操作部２１７、駆動位置入力モード切替えボタン２１８等の操作の有無を認識する。
ステップ９０８で、一つに、例えば、ステージ方向駆動距離入力部２１６に移動距離の設定がされた後、ステージ方向駆動操作部２１７の方向ボタンの操作を認識した場合は、次の処理を行う。
即ち、方向ボタンを押下した方向にその設定後の移動距離分だけ今回該当のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像対象の位置を移動させるステージ駆動要求コマンドを生成し該当する露光装置へ送信する。
【００５１】
ステップ９０８で、一つに、例えば、駆動位置入力モード切替ボタン２１８での絶対座標入力モード選択後、駆動位置入力部２１９に駆動位置の入力、ステージ駆動操作ボタン２２０の操作を認識した場合は、次の処理を行う。
即ち、駆動位置（ＸＹの駆動位置）の入力分の移動距離分だけ今回該当のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像対象の位置を移動させるステージ駆動要求コマンドを生成し該当する露光装置へ送信する。
このようにしてステージ駆動要求コマンドを今回マーク探索失敗の露光装置に送信した後の動作（ステップ）は、露光装置側の処理であり、詳しくは実施例１において既に説明しているため、ここではその説明は省略する。
次いでステップ９０９では、今回マーク探索失敗の露光装置からのＬＡＮ送信データから再移動後の撮影画像を撮像画像表示部２１３に表示する。
また、ステップ９０９に続いては、上記ステップ９０４の処理をも含む。詳しくは上述と同様であり、ここでの説明は省略する。
【００５２】
次いでステップ９１０では、今回マーク探索失敗の露光装置からのＬＡＮ送信データを解析し、アライメントマーク探索に成功したか否かを判定する。
今回マーク探索失敗の露光装置の上記処理の後、再度のアライメントマーク探索に成功した場合は、ボタン表示部２０６の探索履歴保存ボタン２０７等の操作の有無を判定する。
ここで探索履歴保存ボタン２０７の操作を認識した場合は、探索操作画面２００で行なった探索情報から探索履歴ファイル（図６参照）６００を生成し、これを記憶装置１２６に保存する。
探索履歴ファイル６００は、検索履歴画面起動ボタン２１１の操作により画像表示することが可能である。
その場合、撮像画像表示部２１３のアライメントの撮像画像（ただしアライメントを含まない場合もある）と、前記探索履歴情報に含まれる合成撮像画像とを同時に表示する。
【００５３】
しかし、今回のアライメントマーク探索が成功しなかった場合は、ステップ９０８以降の処理を再度繰り返す。
しかる後、ステップ９１１において、次のマーク探索失敗の露光装置が存在するか否かを判定する。次のマーク探索失敗の露光装置が存在する場合は、同じくステップ９０８以降の処理に移る。
ただし次のマーク探索失敗の露光装置が存在しない場合は、ステップ９１２においてボタン表示部２０６の探索画面終了ボタン２１２等の操作の有無を判定する。
【００５４】
以上の後、探索画面終了ボタン２１２以外のボタンが操作された場合は、そのボタン操作に応じた処理に移る。その詳しくは実施例２において説明した通りである。
しかし、ステップ９１２において、探索画面終了ボタン２１２の操作を認識した場合は本プログラムを終了する。
以上本プログラムは、露光装置１００等の外にＬＡＮ１２０で接続された外部コンピュータ端末１２１から露光装置１００等のマスク、ウエハの撮像画像を見ながら双方のアライメントマークの探索操作を行うことを可能にする。
したがって、複数の露光装置を例えばオンラインホストから管理する等、オペレータが離れた場所から各露光装置を集中管理する際、アライメントマーク探索失敗でも、オペレータが出向かずに処理でき、作業効率が向上する。
【００５５】
（デバイス製造方法の実施例）
次に、図９及び図１０を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
図９は、デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
ステップＳ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップＳ２（マスク製作）では設計した回路パターンに基づいてマスク（原版またはレチクルともいう）を製作する。
ステップＳ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハ（基板ともいう）を製造する。ただし、ここではレクチルを製造しても良い。
ステップＳ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、マスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。
【００５６】
ステップＳ５（組み立て）は、後工程と呼ばれ、ステップＳ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程である。
この工程ではアッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組み立て工程を含む。
ステップＳ６（検査）では、ステップＳ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷（ステップＳ７）される。
【００５７】
図１０は、ステップ４のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。
ステップＳ１１（酸化）では、ウエハの表面を酸化させる。
ステップＳ１２（ＣＶＤ）では、ウエハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップＳ１３（電極形成）では、ウエハに電極を形成する。
ステップＳ１４（イオン打ち込み）ではウエハにイオンを打ち込む。
ステップＳ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。
ステップＳ１６（露光）では露光装置を用い、マスクの回路パターンを介してウエハを露光する。
ステップＳ１７（現像）では露光したウエハを現像する。
ステップＳ１８（エッチング）では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップＳ１９（レジスト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
これらのステップを繰り返し行うことによってウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
デバイス製造方法の実施例では、上記の露光装置を用いるため、デバイス製造に際して作業効率が向上し、デバイスの生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施例１の露光装置の構成例、及び露光装置を管理するコンピュータ端末の構成例を示す概略構成図である。
【図２】実施例１の外部コンピュータ端末の表示部に表示される探索操作画面の一例を示すイメージ図である。
【図３】実施例１のアライメントマーク探索操作時の露光装置から外部コンピュータ端末間を送信されるＬＡＮ送信データのデータ構造の一例を示すデータ概要図である。
【図４】実施例１の探索操作画面のボタン表示部に位置する設定画面起動ボタンを押下することで起動される設定画面の一例を示すイメージ図である。
【図５】本発明の実施例２の目印設定画面起動ボタンを押下することで起動される目印設定画面の一例を示すイメージ図である。
【図６】実施例２の探索操作画面で行なった探索情報から構成する探索履歴ファイルの一例を示すイメージ図である。
【図７】実施例２の探索履歴画面起動ボタンを押下することで起動される探索履歴画面の一例を示すイメージ図である。
【図８】実施例２の探索履歴画面の履歴読み込みボタンを押下した後の探索操作画面の一例を示すイメージ図である。
【図９】本発明の実施例１，２の露光装置を使用したデバイス製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図１０】図９に示すフローチャートのステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
【符号の説明】
【００５９】
１００、１１８、１１９、３００ 露光装置
１０１ 照明部
１０２ マスクステージ
１０３ 投影レンズ
１０４ ウエハステージ
１０５ Ａスコープ
１０６ Ｂスコープ
１０７ 入力部
１０８ 表示部
１０９ 照明系制御部
１１０ Ａスコープ制御部
１１１ マスクステージ制御部
１１２ Ｂスコープ制御部
１１３ ウエハステージ制御部
１１４ 画像入力部
１１５ コンソール制御部
１１６ 記憶装置
１１７ ＬＡＮ送受信部
１２０、３０２ ＬＡＮ
１２１、３０１ 外部コンピュータ端末（コンピュータ端末）
１２２ 入力部
１２３ 表示部
１２４ ＬＡＮ送受信部
１２５ 表示画面制御部
１２６ 記憶装置
１２７ 表示画面
２００ 探索操作画面
２０１ 状態表示部
２０２ 装置情報表示部
２０３ アライメント情報表示部
２０４ マテリアル情報表示部
２０５ 撮像位置表示部
２０６ ボタン表示部
２０７ 探索履歴保存ボタン
２０８ 目印設定画面起動ボタン
２０９ 目印位置反映ボタン
２１０ 設定画面起動ボタン
２１１ 探索履歴画面起動ボタン
２１２ 探索画面終了ボタン
２１３ 撮影画像表示部
２１４ 補助スケール
２１５ 探索対象アライメントマーク
２１６ ステージ方向駆動距離入力部
２１７ ステージ方向駆動操作部
２１８ 駆動位置入力モード切り替えボタン
２１９ 駆動位置入力部
２２０ ステージ駆動操作ボタン
２２１ 合成撮像画像表示部
２２２ 合成撮像画像表示切り替えタブ
２２３ 表示尺度変更スクロールバー
２２４ 合成撮像画像
２２５ 撮像エリア枠
２２６ 目印アイコン
２２７ 目印リスト
２２８ 選択状態目印
３０３、３０４、３０５ ＬＡＮ転送情報
４００ 設定画面
４０１ ボタン表示部
４０２ 設定反映ボタン
４０３ 設定キャンセルボタン
４０４ 装置情報入力部
４０５ 装置ネットワークアドレス入力部
５００ 目印付加画面
５０１ ボタン表示部
５０２ 目印付加ボタン
５０３ 目印付加画面終了ボタン
５０４ アライメントマーク入力部
５０５ 目印アイコン表示部
５０６ コメント入力部
６００ 探索履歴ファイル
６０１ ファイル識別情報
６０２ 装置情報
６０３ アライメント情報
６０４ マテリアル情報
６０５ 目印情報
６０６ 合成撮像画像情報
７００ 探索履歴画面
７０１ ボタン表示部
７０２ 履歴読み込みボタン
７０３ 履歴画面終了ボタン
７０４ 探索履歴リスト表示部
７０５ 履歴識別情報表示部
７０６ 装置情報表示部
７０７ アライメント情報表示部
７０８ マテリアル情報表示部
７０９ 目印情報表示部
７１０ 合成撮像画像表示部
７１１ 選択状態履歴
８００ 探索操作画面
８０１ ボタン表示部
８０２ 目印位置反映ボタン
８０４ 撮像画像表示部
８０５ 駆動位置入力モード切り替えボタン
８０６ 駆動位置入力部
８０７ ステージ駆動操作ボタン
８０８ 合成撮像画像表示切り替えタブ
８０９ 合成撮像画像表示部
８１０ 合成撮像画像
８１１ 目印アイコン
８１２ 撮像エリア枠
８１３ 目印リアス
８１４ 選択状態目印
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータ端末を介して操作を行なう露光装置、その露光装置のプログラム及びその露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハ上に回路パターンを焼き付ける半導体露光装置、例えばステッパーでは、マスク（又はレチクル）と呼ばれる回路パターンの原図が描かれた透過板を用いる。
ウエハを決められた位置にセットし、照明光をマスクを通してウエハに照射することにより、マスクに描かれた回路パターンがウエハに焼き付けられる。
マスク、ウエハをセットする位置決め（アライメント）の際には、マスク、ウエハに記されたマーク（アライメントマーク）を顕微鏡で観察し、その画像をＣＣＤカメラ等により取り込み、画像処理によって位置合わせを行なう。
位置合わせの際、取り込んだ画像中に注目すべきマークが検出されなかった場合は、オペレータがマスクステージ、ウエハステージを動かす必要がある。
【０００３】
即ち、ＣＣＤカメラからの映像をモニタで見ながら、アライメントマークがＣＣＤカメラの視野に入るように、マニュアル操作でマスクステージ、ウエハステージを動かす操作が必要となる。
上記操作は、半導体露光装置に備え付けられたコンピュータ端末を用いて可能となっている。
例えば、特開平１１−２１４２８７号公報（特許文献１）では、初期のカメラ視野内においてマークの検出に失敗した場合でも、自動的なマークの再検出を可能とする技術が提案されている。
【特許文献１】特開平１１−２１４２８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術では、マニュアル操作でアライメントマークを探すときは、露光装置に備付けのコンピュータ端末の操作画面でマスクステージ、ウエハステージを操作していた。
このため、アライメントマークの探索作業を行なう場合には、オペレータは必ず露光装置の設置されている場所で作業する必要があった。
例えば、オペレータがオンラインホスト等を用いて露光装置から離れた場所から露光装置の遠隔操作を行なっていても、アライメントマークの探索作業を行なう際には、露光装置前まで移動する手間が生じ、作業効率を悪くする原因となっていた。
【０００５】
また、半導体デバイスの製造過程では、同一パターンの半導体デバイスを複数の露光装置で製造するために、レチクルを複数の露光装置で共用することがある。 その際、一度、自動アライメント処理がエラーとなったレチクル又はウエハは、頻繁にマニュアルでのアライメントマーク探索作業が必要となる傾向がある。
しかし従来技術では、自動アライメント処理がエラーになる毎に、既に手動アライメント操作を行っているレチクル又はウエハに対しても、初めからマニュアルでのアライメント探索操作を行う必要がある。このことも、作業効率を悪くする原因となっていた。
【０００６】
そこで、本発明は、マーク探索の作業効率を向上させることを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するための本発明の露光装置は、原版および基板の少なくとも一方に形成されたマークの位置を計測し、該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置であって、
該原版および該基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、
前記ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープと、
前記ステージの位置を指示するために操作される入力部と、
表示部と、
前記入力部により指示された複数の位置でそれぞれ前記撮像手段により撮像された画像を合成し、該合成された画像を前記表示部に表示させる制御部と、
を有することを特徴とする。
さらに、本発明の装置は、原版および基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、該ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープとを有し、該マークの位置を計測し、かつ該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置を操作する装置であって、
該ステージの位置を指示するために操作される入力部と、
表示部と、
前記入力部により指示された該ステージの複数の位置でそれぞれ該スコープにより撮像された画像を合成し、該合成された画像を前記表示部に表示させる制御部と、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の方法は、原版および基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、該ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープとを有し、該マークの位置を計測し、かつ該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置を操作する方法であって、
入力部から該ステージの位置を指示する情報を受け取るステップと、
該指示された該ステージの複数の位置でそれぞれ該スコープにより撮像された画像を合成するステップと、
該合成された画像を表示部に表示させるステップと、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、マーク探索の作業効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は、本発明の実施例１の露光装置の構成例、及び露光装置を管理するコンピュータ端末の構成例を示す概略構成図である。
図１に示すように、露光装置１００は、他の露光装置１１８、１１９と同様の構成であり、各々、ＬＡＮ１２０を介してコンピュータ端末１２１に接続されている。以下、代表として露光装置１００を説明する。
露光装置１００は、例えばＣＰＵ及び内部メモリのＲＡＭ等を有するコンソール制御部１１５を備える。
コンソール制御部１１５は、ＣＲＴ、液晶ディスプレイ等の表示部１０８の制御、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力部１０７からの入力認識、及びハードディスク、ＭＯ等の記憶手段である記憶装置１１６の制御を行う。
【００１１】
また、コンソール制御部１１５は、工場の情報ネットワークであるＬＡＮ１２０と接続するＬＡＮ送受信部１１７の制御、照明系制御部１０９の制御、Ａスコープ制御部１１０の制御、マスクステージ制御部１１１の制御を行う。
さらに、コンソール制御部１１５は、Ｂスコープ制御部１１２の制御、及びウエハステージ制御部１１３の制御、画像入力部１１４の制御を行う。
特に、コンソール制御部１１５は、照明系制御部１０９、Ａスコープ制御部１１０、マスクステージ制御部１１１に対しては、所定の制御コマンドを送信することによって制御し、これにより露光装置１００の制御を行なう。
尚、マスクステージ制御部１１１は、マスクステージ制御手段を構成し、ウエハステージ制御部１１３は、ウエハステージ制御手段を構成する。
【００１２】
一方、照明系制御部１０９は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けて露光光を照射する照明部１０１の制御を行なう。
Ａスコープ制御部１１０は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けてＡスコープ１０５の制御を行なう。
Ａスコープ１０５は、マスク（回路パターンマスク）のアライメント時に使用されるもので、マスクに記されたアライメントマークを観察する顕微鏡であり、その映像をビデオ信号等に変換して画像入力部１１４に送信する。
マスクステージ制御部１１１は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けてマスクステージ１０２のＸＹＺ座標系の移動制御を行ない、露光処理時のマスクの投影位置を操作する。
尚、Ａスコープ１０５は、マスクアライメント画像撮像手段を構成する。
【００１３】
Ｂスコープ制御部１１２は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けてＢスコープ１０６の制御を行なう。
Ｂスコープ１０６は、ウエハ（半導体ウエハ）のアライメント時に使用されるもので、ウエハに記されたアライメントマークを観察する顕微鏡であり、その映像をビデオ信号等に変換して画像入力部１１４に送信する。
ウエハステージ制御部１１３は、コンソール制御部１１５より制御コマンドを受けてウエハステージ１０４のＸＹＺ座標系の移動制御を行ない、露光処理時にウエハの露光位置を操作する。
一方、投影レンズ１０３は、マスクのパターンを縮小してウエハに焼き付ける場合に必要となるもので、縮小しない場合には必ずしも必要ではない。
尚、Ｂスコープ１０６は、ウエハアライメント画像撮像手段を構成する。
【００１４】
画像入力部１１４は、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６からの映像信号を、内部の画像メモリに取り込み、コンソール制御部１１５に出力する。
ここで、コンソール制御部１１５は、アライメントの対象がマスクステージ１０２の場合はＡスコープ１０５の映像信号、ウエハステージ１０４の場合はＢスコープ１０６の映像信号を受信する。
コンソール制御部１１５は、上記映像信号を受信する際、映像信号を単位時間毎の静止画像に変換し内部メモリに読み込む。
その後、コンソール制御部１１５は、内部メモリ上の静止画像に対して露光装置１００の識別情報や撮像対象の位置情報等を付加した情報を送信データとして生成する。
さらに、コンソール制御部１１５は、送信データをＬＡＮ送受信部１１７から装置外のＬＡＮ１２０に送信する。
【００１５】
コンピュータ端末１２１は、オペレータがアライメントマークの探索操作に用いる操作端末であり、露光装置１００，１１８，１１９外部に存在し、その各々とＬＡＮ１２０で接続されている。
以下、コンピュータ端末１２１を外部コンピュータ端末１２１と記す。
外部コンピュータ端末１２１は、露光装置１００，１１８，１１９等が置かれているクリーンルーム内に存在していても、居室のようなクリーンルーム外に存在しても構わない。
外部コンピュータ端末１２１の表示画面制御部１２５は、ＣＲＴ、液晶ディスプレイ等の表示部１２３の制御を行う。
さらに、キーボード、マウス等の入力部１２２からの入力認識、ハードディスク、ＭＯ等の記憶手段である記憶装置１２６の制御を行う。
さらに、表示画面制御部１２５は、工場の情報ネットワークであるＬＡＮ１２０と接続するＬＡＮ送受信部１２４の制御、ＬＡＮ送受信部１２４が受信する露光装置１００等からのＬＡＮ送信データの解析を行う。
ここで、表示画面制御部１２５は、ＬＡＮ送信データの解析情報からアライメントマークの探索結果である探索操作画像１２７を生成し、表示部１２３に表示する。
尚、表示画面制御部１２５及び探索操作画像１２７は、マスク（回路パターンマスク）及びウエハ（半導体ウエハ）のアライメントマークを検出する手段を構成する。
【００１６】
図２は、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３に表示される探索操作画面の一例を示すイメージ図である。
表示部１２３に表示される探索操作画像１２７、即ち探索操作画面２００の上部に位置する状態表示部２０１には、探索対象である露光装置１００等を識別する装置情報を表示する装置情報表示部２０２を有する。
さらに、状態表示部２０１には、露光装置１００等がマーク探索に失敗し再探索が必要となったアライメント種別や探索により駆動対象となるステージ情報等を表示するアライメント情報表示部２０３を有する。
さらに、状態表示部２０１には、探索対象のロットやウエハやマスク等の識別情報を表示するマテリアル情報表示部２０４を有し、そしてウエハやマスク等の撮像対象の位置情報を表示する撮像位置表示部２０５を有する。
【００１７】
アライメント情報表示部２０３やマテリアル情報表示部２０４、撮像位置表示部２０５に表示される情報の内容は、露光装置１００等からＬＡＮ１２０経由で受信したＬＡＮ送信データに含まれる情報の解析に基づく。
即ち表示画面制御部（図１参照）１２５がその解析を実行し、その解析結果を状態表示部２０１のアライメント情報表示部２０３やマテリアル情報表示部２０４、撮像位置表示部２０５に表示するものである。
一方、撮像画像表示部２１３に表示される撮像対象の位置情報は、撮像対象が移動する毎に表示内容が更新される。
撮像画像表示部２１３には、露光装置１００等からＬＡＮ１２０経由で受信したＬＡＮ送信データに含まれる撮像画像データを表示画面制御部（図１参照）１２５が解析した撮像画像が表示される。
【００１８】
撮像画像表示部２１３には、ＬＡＮ送信データに含まれるＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６で撮影した単位時間当たりの静止画像を連続して受信し画像表示する。
このため、撮像画像表示部２１３においては、あたかもリアルタイムでマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像画像が動画像として表示されているように観察することができる。
撮像画像表示部２１３では、撮像画像の中心座標を提示する補助スケール２１４のように、ＬＡＮ送信データに含まれる撮像画像の上に他の画像を重ねて表示することができる。
【００１９】
探索操作画面２００では、撮像画像表示部２１３に表示する撮像対象位置を移動する移動操作手段を有している。
撮像対象位置の移動操作手段としては、画像インタフェイスとしての方向ボタンによるものと、移動先の位置座標を直接入力するものがある。
例えばステージ方向駆動操作部２１７にある方向ボタンを押下（クリック等）した方向に、ステージ方向駆動距離入力部２１６に設定された距離分だけ、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像対象の位置が移動する。
移動先の位置座標を直接入力する移動操作手段では、駆動位置入力部２１９に設定したＸＹ座標位置の撮像画像が撮像画像表示部２１３に表示される。
位置座標を直接入力する移動操作手段では、駆動位置入力モード切替ボタン２１８を有し、駆動位置入力モード切替ボタン２１８により絶対座標入力モード、相対座標入力モードを選択できる。
【００２０】
絶対座標入力モード時は、ステージ駆動操作ボタン２２０を押下した場合、駆動位置入力部２１９に設定した値に対応するマスクステージ１０２位置、ウエハステージ１０４位置の撮像画像が撮像画像表示部２１３に表示される。
また、駆動位置入力モード切替ボタン２１８が相対座標入力モードに設定されている際に、ステージ駆動操作ボタン２２０を押下した場合には、次の撮像画像が撮像画像表示部２１３に表示される。
即ち、現在の撮像位置から駆動位置入力部２１９に設定された値を加算したマスクステージ１０２位置、ウエハステージ１０４位置の撮像画像が撮像画像表示部２１３に表示される。
【００２１】
一方、撮像対象の移動操作であるステージ方向駆動操作部２１７又はステージ駆動操作ボタン２２０が押下された場合には、表示画面制御部１２５においてステージ駆動要求コマンドが生成される。
ステージ駆動要求コマンドは、ステージ方向駆動操作部２１７又はステージ駆動操作ボタン２２０に対応したステージ駆動量を含むコマンドであり、ＬＡＮ送受信部１２４からＬＡＮ１２０経由で露光装置１００等へ送信される。
その際、露光装置１００等は、外部コンピュータ端末１２１から送信されたステージ駆動要求コマンドをＬＡＮ送受信部１１７で受信し、ステージ駆動要求コマンドをコンソール制御部１１５へ送信する。
【００２２】
コンソール制御部１１５は、ステージ駆動要求コマンドに含まれる駆動対象ステージ情報から駆動対象のステージを判断し、ステージ駆動要求コマンドに含まれるステージ駆動量に対応したステージ実駆動コマンドを生成する。
コンソール制御部１１５は、ステージ対象に従ってマスクステージ制御部１１１又はウエハステージ制御部１１３へステージ実駆動コマンドを送信する。
マスクステージ制御部１１１又はウエハステージ制御部１１３は、ステージ実駆動コマンドを受信してマスクステージ１０２又はウエハステージ１０４を駆動する。
【００２３】
このことで、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６でのマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像位置が相対的に移動し、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６からは撮像内容の異なる映像信号が生成される。
このため、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６からの移動後の映像信号を含むＬＡＮ送信データがコンソール制御部１１５で生成され、ＬＡＮ送受信部１１７からＬＡＮ１２０経由で外部コンピュータ端末１２１へ送信される。
外部コンピュータ端末１２１では、ステージ方向駆動操作部２１７又はステージ駆動操作ボタン２２０の押下後のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の再移動時の撮像画像を含むＬＡＮ送信データを受信する。
【００２４】
外部コンピュータ端末１２１においては、上記所謂移動指示、及び再移動後のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像画像の表示までが連続して行われる。
このため外部コンピュータ端末１２１を操作するオペレータは、あたかも撮像画像表示部２１３からリアルタイムで露光装置１００等のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４を観察しているかのように感じられる。
しかも、その結果、探索開始時点で現れていなかったアライメントマークは、探索操作の結果、探索対象アライメントマーク２１５のように撮像画像表示部２１３に現れる。
以上の動作は、上述の絶対座標入力モード時、及び相対座標入力モード時の場合も同様である。
尚、探索操作画面２００の状態表示部２０１、ステージ方向操作部２１７、駆動位置入力部２１９、及びステージ駆動操作ボタン２２０は、アライメントマーク探索操作手段を構成する。
また、実施例１の場合、外部コンピュータ端末１２１の表示画面制御部１２５、及び探索操作画面２００（主に撮像画面表示部２１３）は、合成撮像画像を生成する手段を構成する。
【００２５】
図３は、アライメントマーク探索操作を行なっている間の露光装置から外部コンピュータ端末間を送信されるＬＡＮ送信データのデータ構造の一例を示すデータ概要図である。
ＬＡＮ送信データは、各々単位時間毎の情報に分かれており、ＬＡＮ送信データには、Ｔｉｍｅ２の送信データ３０４に記されるように装置情報や撮像位置等の撮像対象情報３０６を含む。
また、ＬＡＮ送信データには、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６で撮影された映像信号がコンソール制御部（図１参照）１１５で変換された静止画像３０４が含まれる。
ＬＡＮ送信データに含まれる画像は静止画像であるが、外部コンピュータ端末（１２１）３０１の操作画面において、単位時間毎のＬＡＮ送信データに含まれる静止画像情報を連続して表示する。
このことにより、オペレータはあたかも動画像が表示されているかのように感じることができる。
【００２６】
尚、コンソール制御部１１５は連続してＬＡＮ送信データを生成しＬＡＮ送受信部１１７に送信する。
しかし、外部コンピュータ端末（１２１）３０１からのステージ駆動要求がなくＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６で撮像するステージ位置が変わらない場合、コンソール制御部１１５は、次の制御を行う。
即ち、コンソール制御部１１５は、その場合は、ＬＡＮ送受信部１１７へのＬＡＮ送信データの送信を停止する。
探索操作画面２００の撮像画面表示部２１３には最後に露光装置（１００等）３００から送信されたＬＡＮ送信データに含まれる画像が表示される。
このようにコンソール制御部１１５が、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６の撮像対象の位置が変わらない場合は、ＬＡＮ（１２０）３０２へのデータ送信を中断することにより、ＬＡＮ３０２上でのデータ量を低減する。
【００２７】
図４は、探索操作画面２００のボタン表示部２０６に位置する設定画面起動ボタン２１０を押下することで起動される設定画面４００の一例を示すイメージ図である。
設定画面４００の装置情報入力部４０４には、操作画面で操作対象とする露光装置１００等を識別する情報（露光装置１００等の装置名、タイプ名）の設定が可能である。
設定画面４００の装置ネットワークアドレス入力部４０５には、ＬＡＮ１２０に接続される複数の露光装置から操作対象となる露光装置１００等を特定するネットワークアドレス情報の入力が可能である。
設定画面４００のボタン表示部４０１には、設定反映ボタン４０２と、設定キャンセルボタン４０３が表示される。
【００２８】
設定反映ボタン４０２を押下すると、装置ネットワークアドレス部４０５に入力した装置を探索対象へ切り替える処理が実行される。
即ち、装置ネットワークアドレス部４０５で入力した装置のＬＡＮ送受信部と外部コンピュータ端末１２１のＬＡＮ送受信部１２４，１１７が接続される。
図１に示すように、ＬＡＮ１２０に複数の露光装置１００、１１８、１１９が接続されている場合には、装置ネットワークアドレス部４０５の内容を変更することにより、探索画面の操作対象を容易に切り替えることができる。
上記に説明したように、露光装置１００等の外部にある外部コンピュータ端末１２１に露光装置１００等のアライメントカメラでリアルタイムに撮影している画像を表示できる。
【００２９】
また、外部コンピュータ端末１２１からマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４を操作する上述の各手段を構成することで、オンライン運用中等オペレータがクリーンルーム外から露光装置１００等を遠隔操作できる。
遠隔操作の際にアライメントマーク検索作業が生じても、オペレータが露光装置１００等まで移動する労力やクリーンスーツへの着替え等クリーンルームへ入室するための労力を省くことができ作業効率が大幅に向上する。
また、外部コンピュータ端末１２１からアライメントアシスト操作対象とする露光装置１００等を切り替える各手段を構成したため、露光装置毎にアライメントアシスト操作端末を用意する必要がなく大幅なコスト削減ができる。
【実施例２】
【００３０】
次に、本発明の実施例２を説明する。
ここでは、実施例１で記した構成例に基づいて実施例２を説明する。
尚、実施例２で記す探索操作画面２００は、実施例１で説明したように露光装置外に位置する外部コンピュータ端末１２１で表示されても良く、あるいは露光装置１００等に備わる表示部１０８に表示されても構わない。
以下の処理は、例えば、露光装置の表示部１０８側で行う場合はコンソール制御部１１５が実行し、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３側で行う場合は表示画面制御部１２５が実行する。
まず、図２に示すように、探索操作画面２００の合成撮像画像表示部２２１には、探索を開始してから撮像画像表示部２１３に表示された画像を、撮像位置に対応して組み合せた合成撮像画像２２４が表示される。
尚、外部コンピュータ端末１２１の表示画面制御部１２５、及び探索操作画面２００（主に合成撮像画像表示部２２１）は、合成撮像画像を生成する手段を構成する。
【００３１】
合成撮像画像表示部２２１には、現在、撮像画像表示部２１３で表示している範囲を示す撮像エリア枠２２５がともに表示される。
この撮像エリア枠２２５により合成撮像画像２２４と撮像画像表示部２１３の撮像位置との位置関係を容易に把握でき、既に探索済みの領域を繰り返し探索するような手間を防止することができる。
合成撮像画像表示部２２１は表示縮尺スクロールバー２２３を有しており、表示縮尺スクロールバー２２３を操作することにより、合成撮像画像表示部２２１の拡大、縮小を行うことができる。
【００３２】
表示縮尺スクロールバー２２３の操作により合成撮像画像表示部２２１を拡大表示した際、合成撮像画像表示部２２１に仮に合成撮像画像２２４の一部しか表示されなくなった場合、次の制御が可能である。
即ち、一つには、その表示が外部コンピュータ端末１２１側の場合は、入力部１２２の上下左右キー等を押下することで、入力情報に対応して合成撮像画像表示部２２１に表示する合成撮像画像２２４の位置を移動できる。
また一つには、その表示が露光装置１００等側の場合には、入力部１０７の上下左右キー等を押下することで、入力情報に対応して合成撮像画像表示部２２１に表示する合成撮像画像２２４の位置を移動できる。
【００３３】
合成撮像画像２２４における目印アイコン２２６は、探索の結果、アライメントマークの発見時に、その位置を記憶しておくための情報である。
目印アイコン２２６は、後述の目印アイコン設定画面５００を用いて合成撮像画像２２４に付加される。
合成撮像画像２２４における目印リスト２２７には、合成撮像画像２２４に付加した目印アイコン２２６のリストが表示される。
目印リスト２２７には、アライメントマークの形状種類や目印アイコン２２６を付加したマスクステージ１０２又はウエハステージ１０４の座標、コメント等の目印アイコン２２６を識別するための情報等が表示される。
尚、表示画面制御部１２５、目印アイコン２２６は、合成撮像画像に対してアライメントマーク形状、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の座標情報を付加する付加手段を構成する。
また、目印リスト２２７、及び後述する目印アイコン設定画面５００も、付加手段の構成に含まれる。
【００３４】
探索操作画面２００のボタン表示部２０６には、探索履歴保存ボタン２０７、目印設定画面起動ボタン２０８、目印位置反映ボタン２０９、設定画面起動ボタン２１０、探索履歴画面起動ボタン２１１が表示される。
また、探索操作画面２００のボタン表示部２０６には、操作画面終了ボタン２１２が表示される。
探索履歴保存ボタン２０７の操作時は、探索操作画面２００で行なった探索情報から探索履歴ファイル（図６参照）６００を生成し、これが記憶装置１１６又は１２６に保存される。
探索履歴ファイル６００には、第１に、ファイルの生成時刻やコメント等を含んだファイル識別情報６０１、探索対象の装置名や装置型番等の装置情報６０２を含む。
【００３５】
さらに、探索履歴ファイル６００には、第２に、探索が発生したアライメント種別や駆動対象ステージ等のアライメント情報６０３、探索対象のロット番号やウエハ番号等のマテリアル情報６０４を含む。
第３には、探索操作画面２００の合成撮像画像表示部２２１の下方に付加した目印リスト２２７の情報を含む目印情報６０５、探索操作画面２００の合成撮像画像表示部２２１の画像データである合成撮像画像情報６０６を含む。
一方、目印設定画面起動ボタン２０８の操作時は、合成撮像画像表示部２２１に図５に示す目印設定画面５００を表示する。
目印位置反映ボタン２０９の操作時は、目印リスト２２７で選択された目印の位置情報を、駆動位置入力部２１９に反映する。
目印リスト２２７に選択状態目印２２８がある状態での目印位置反映ボタン２０９の押下時は、次の処理を行う。
即ち、目印リスト２２７に選択状態目印２２８がある状態での目印位置反映ボタン２０９の押下時は、選択状態目印２２８の座標情報を駆動位置入力部２１９に反映する。
【００３６】
目印位置反映ボタン２０９を押下した後、ステージ駆動操作ボタン２２０を押下した場合、次の処理を行う。
即ち、目印位置反映ボタン２０９を押下した後、ステージ駆動操作ボタン２２０を押下した場合、撮像画像表示部２１３に目印の位置を撮像した画像を表示する。
探索履歴画面起動ボタン２１１の操作時は、過去に記憶装置１１６又は１２６に保存した探索履歴ファイル６００を読出し、その一覧である探索履歴画面７００を起動して表示部１０８又は１２３にリスト形式で表示する
尚、目印設定画面起動ボタン２０８、目印位置反映ボタン２０９、駆動位置入力部２１９、ステージ駆動操作ボタン２２０も、付加手段を構成する一要素として含まれる。
一方、探索画面終了ボタン２１２の操作時は、探索操作画面２００を終了する。
【００３７】
以下にボタン表示部２０６に含まれるボタンから起動される画面の詳細を記す。
図５は、目印設定画面起動ボタン２０８を押下することで起動される目印設定画面５００の一例を示すイメージ図である。
以下の処理は、例えば、露光装置の表示部１０８側で行う場合はコンソール制御部１１５が実行し、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３側で行う場合は表示画面制御部１２５が実行する。
まず、図５に示すように、目印設定画面５００のアライメントマーク入力部５０４は、目印アイコンとして合成撮像画像２２４に付加するアライメントマークの形状種類を指定できる。
即ちアライメントマーク入力部５０４は、幾つかのアライメントマークが選択肢として表示され、そのうち任意のアライメントマークを選択し得る手段である。
【００３８】
目印設定画面５００の目印アイコン表示部５０５は、アライメントマーク入力部５０４と連動してアライメント入力部５０４で選択されたアライメントマークに対応する画像が表示される。
目印設定画面５００のコメント入力部５０６には、目印を識別するコメント情報を入力できる。
目印設定画面５００のボタン表示部５０１には、目印付加ボタン５０２と、目印付加画面終了ボタン５０３が表示される。
目印付加ボタン５０２は、目印付加画面５００で入力したアライメントマーク情報を合成撮像画像２２４へ付加する際のインタフェイスである。
【００３９】
目印付加ボタン５０２を押下すると、一つには探索操作画面２００の撮像画像表示部２１３の中心位置に対応する合成撮像画像２２４の位置に目印アイコンが付加される。
また、一つには目印付加画面５００で設定したアライメントマークの形状種類等の情報や、目印アイコンを付加したマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の座標情報が、目印リスト２２７に追加される。
設定キャンセルボタン５０３を押下すると、目印設定画面５００での変更が無視されて目印設定画面５００が終了する。
尚、目印アイコン表示部５０５、目印付加ボタン５０２も、付加手段の構成の一要素として含まれる。
【００４０】
図７は、探索履歴画面起動ボタン２１１を押下することで起動される探索履歴画面７００の一例を示すイメージ図である。
以下の処理は、例えば、露光装置の表示部１０８側で行う場合はコンソール制御部１１５が実行し、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３側で行う場合は表示画面制御部１２５が実行する。
まず、図７に示すように、探索履歴リスト表示部７０４には、記憶装置１１６又は１２６に格納されていた探索履歴ファイル６００が一覧で表示される。 探索履歴リスト表示部７０４の１行では、1つの探索履歴ファイル６００の内容が表示されており、履歴識別情報表示部７０５には、探索履歴ファイル６００のファイル識別情報６０１が表示される。
装置情報表示部７０６には、探索履歴ファイル６００の装置情報６０２が表示され、アライメント表示部７０７には、探索履歴ファイル６００のアライメント情報６０３が表示される。
【００４１】
マテリアル情報表示部７０８には、探索履歴ファイル６００のマテリアル情報６０４が表示され、目印情報表示部７０９には、探索履歴ファイル６００の目印情報６０５が表示される。
そして合成撮像画像表示部７１０には、探索履歴ファイル６００の合成撮像画像情報６０６が縮小された画像が表示される。
探索履歴リスト表示部７０４に過去の探索履歴ファイル６００が一覧表示されていることにより、現在、探索操作画面２００で探索対象としているマスク、ウエハが過去に他の露光装置で探索された履歴等を容易に探し出せる。
探索履歴画面７００のボタン表示部７０１には、履歴読み込みボタン７０２と、履歴画面終了ボタン７０３が表示される。
履歴読み込みボタン７０２は、探索履歴リスト表示部７０４で選択された履歴項目７１１を探索操作画面２００に読み込む際のインタフェイスである。
履歴画面終了ボタン７０３は、探索履歴画面７００を終了する際のインタフェイスである。
【００４２】
図８は、探索履歴画面７００の履歴読み込みボタン７０２を押下した後の探索操作画面の一例を示すイメージ図である。
以下の処理は、例えば、露光装置の表示部１０８側で行う場合はコンソール制御部１１５が実行し、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３側で行う場合は表示画面制御部１２５が実行する。
まず、図８に示すように、探索履歴が読み込まれた後の探索操作画面８００において合成撮像画像表示切替えタブ８０８で探索履歴を表示するタブへ切り替えると、合成撮像画像表示部８０９に次の情報が表示される。
即ち合成撮像画像表示部８０９には、探索履歴画面７００で選択した選択状態履歴７１１に含まれる合成撮像画像８１０と目印アイコン８１１、目印リスト８１３が表示される。
【００４３】
また、合成撮像画像表示部８０９には、リアルタイムの画像を表示する撮像画像表示部８０４の撮像範囲が撮像エリア枠８１２で示される。
探索操作画面８００では、撮像画像表示部８０４に表示されるＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６が撮影するリアルタイムな画像と、合成撮像画像表示部８０９に表示される過去の合成探索画像８１０とが同時に表示される。
このことにより、過去の探索履歴を参照しながら探索を行なうことができ、同じ位置を繰り返し探索するような手間を省くことができる。
また、探索履歴に含まれる目印アイコンの位置を撮像画像表示部８０４へ表示する場合には、次の手順で可能となる。
即ち合成撮像画像表示切替えタブ８０８で履歴タブを選択し、目印リスト８１３から選択状態目印８１４のように該当目印を選択した状態で、目印位置反映ボタン８０２を押下する。
【００４４】
すると、選択状態目印８１４に含まれるマーク座標が、駆動位置入力部８０６に反映される。
また、駆動位置入力部８０６に選択状態目印８１４の位置情報が設定されている状態でステージ駆動操作ボタン８０７を押下すると、撮像画像表示部８０４に次の情報が表示される。
即ち過去に設定した目印アイコンのマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の位置を撮像したＡスコープ１０５、Ｂスコープ１０６の撮像画像が撮像画像表示部８０４に表示される。
以上のように外部コンピュータ端末や露光装置の表示部１０８、１２３に、Ａスコープ１０５、Ｂスコープ１０６の撮影画像と、マスクステージ位置又はウエハステージ位置を組み合わせた合成撮像画像とを同時に表示できる。
【００４５】
これにより、探索経路と表示され撮像画像の位置関係を同時に把握することができ、繰り返し同じ場所を探索するような操作ミスを低減し、作業効率を大幅に向上できる。
また、合成撮像画像やそれに付加された目印情報等を履歴として保存することが可能であり、同一の露光装置あるいは他の露光装置でアライメントマーク探索操作が行われたマスク又はウエハに対する再探索も容易である。
即ち、再び手動でのアライメントマーク探索操作が生じた場合、一から探索を行うのではなくアライメントマークを発見した際の履歴情報を参照しながら探索操作を行うことができ、この観点からも作業効率を大幅に向上できる。
【００４６】
（露光装置のプログラムの実施例）
次に、本発明の露光装置のプログラムの実施例を説明する。
まず、ステップ９０１では、外部コンピュータ端末１２１の表示部１２３に図２に示す探索操作画面２００を表示する。
次いでステップ９０２では、各露光装置１００、１１８、１１９からＬＡＮ１２０経由で受信したＬＡＮ送信データに含まれる情報を解析する。
次いでステップ９０３では、ＬＡＮ送信データの各解析の結果を、探索操作画面２００内の状態表示部２０１の各表示部に表示し、かつ撮像画像表示部２１３に表示する。
例えば、各解析の結果に基づいて、状態表示部２０１の各表示部に、各露光装置１００、１１８、１１９の装置情報、アライメント情報、マテリアル情報、撮像位置情報を順次に表示していく。
また、撮像画像表示部２１３にも、同時に、各露光装置１００、１１８、１１９のＡ、Ｂスコープ１０５，１０６が撮影した撮影画像を順次に表示していく。
【００４７】
一方、次いでステップ９０４では、探索操作画面２００の合成撮像画像表示部２２１には、探索を開始してから撮像画像表示部２１３に表示された画像を、撮像位置に対応して組み合せた合成撮像画像２２４を表示する。
即ち露光装置１００等から得られる画像情報を、マスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の少なくとも１つの撮像位置に対応して組み合わせた１枚の合成撮像画像を生成し同時に合成撮像画像表示部２２１に表示する。
合成撮像画像表示部２２１では、現在、撮像画像表示部２１３で表示している範囲を示す撮像エリア枠２２５により合成撮像画像２２４と撮像画像表示部２１３の撮影画像との関係を容易に把握できる。
さらに、表示縮尺スクロールバー２２３を操作することにより、合成撮像画像表示部２２１の拡大、縮小を行うことができる。
【００４８】
表示縮尺スクロールバー２２３の操作により表示上の不都合があった場合は入力部１２２の上下左右キー等を押下することで、入力情報に対応して合成撮像画像表示部２２１に表示する合成撮像画像２２４の位置を移動できる。
一方、合成撮像画像２２４における目印アイコン２２６は、探索の結果、アライメントマークの発見時に、その位置を記憶しておくための情報である。
ステップ９０５では、目印アイコン２２６を、目印アイコン設定画面５００を用いて合成撮像画像２２４に付加する。
さらに、合成撮像画像２２４における目印リスト２２７に、合成撮像画像２２４に付加した目印アイコン２２６のリストを表示する。
さらに、合成撮像画像２２４に対してマスク及びウエハのアライメントマークの少なくとも１つの形状情報と、マスクステージ１０２及びウエハステージ１０４の少なくとも１つの座標を含んだ座標情報とを付加する。
【００４９】
次いでステップ９０６では、各解析の結果からアライメントマークの探索に失敗した露光装置があるか否かを判定する。
アライメントマークの探索に失敗した露光装置が存在しない場合は、本プログラムを終了する。
しかし、アライメントマークの探索に失敗した露光装置が存在する場合は、次のステップ９０７以降の処理に移る。
即ちステップ９０７では、状態表示部２０１の各表示部にアライメントマーク探索に失敗した露光装置の上記各情報を表示するか、もしくはアライメントマーク探索に失敗した露光装置の上記各情報を表示した状態を継続する。
アライメント情報表示部２０３には、マーク探索に失敗し再探索が必要となったアライメント種別や探索により駆動対象となるステージ情報を表示する。
また、撮像画像表示部２１３には、マーク探索に失敗した露光装置のＡ、Ｂスコープ１０５，１０６が撮影した撮影画像を同時に表示する。
【００５０】
アライメントマークの探索に失敗した露光装置が存在する場合、次いでステップ９０８以降の処理を行う。
即ち、ステップ９０８では、探索操作画面２００内のボタン表示部２０６、ステージ方向駆動操作部２１７、駆動位置入力モード切替えボタン２１８等の操作の有無を認識する。
ステップ９０８で、一つに、例えば、ステージ方向駆動距離入力部２１６に移動距離の設定がされた後、ステージ方向駆動操作部２１７の方向ボタンの操作を認識した場合は、次の処理を行う。
即ち、方向ボタンを押下した方向にその設定後の移動距離分だけ今回該当のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像対象の位置を移動させるステージ駆動要求コマンドを生成し該当する露光装置へ送信する。
【００５１】
ステップ９０８で、一つに、例えば、駆動位置入力モード切替ボタン２１８での絶対座標入力モード選択後、駆動位置入力部２１９に駆動位置の入力、ステージ駆動操作ボタン２２０の操作を認識した場合は、次の処理を行う。
即ち、駆動位置（ＸＹの駆動位置）の入力分の移動距離分だけ今回該当のマスクステージ１０２、ウエハステージ１０４の撮像対象の位置を移動させるステージ駆動要求コマンドを生成し該当する露光装置へ送信する。
このようにしてステージ駆動要求コマンドを今回マーク探索失敗の露光装置に送信した後の動作（ステップ）は、露光装置側の処理であり、詳しくは実施例１において既に説明しているため、ここではその説明は省略する。
次いでステップ９０９では、今回マーク探索失敗の露光装置からのＬＡＮ送信データから再移動後の撮影画像を撮像画像表示部２１３に表示する。
また、ステップ９０９に続いては、上記ステップ９０４の処理をも含む。詳しくは上述と同様であり、ここでの説明は省略する。
【００５２】
次いでステップ９１０では、今回マーク探索失敗の露光装置からのＬＡＮ送信データを解析し、アライメントマーク探索に成功したか否かを判定する。
今回マーク探索失敗の露光装置の上記処理の後、再度のアライメントマーク探索に成功した場合は、ボタン表示部２０６の探索履歴保存ボタン２０７等の操作の有無を判定する。
ここで探索履歴保存ボタン２０７の操作を認識した場合は、探索操作画面２００で行なった探索情報から探索履歴ファイル（図６参照）６００を生成し、これを記憶装置１２６に保存する。
探索履歴ファイル６００は、検索履歴画面起動ボタン２１１の操作により画像表示することが可能である。
その場合、撮像画像表示部２１３のアライメントの撮像画像（ただしアライメントを含まない場合もある）と、前記探索履歴情報に含まれる合成撮像画像とを同時に表示する。
【００５３】
しかし、今回のアライメントマーク探索が成功しなかった場合は、ステップ９０８以降の処理を再度繰り返す。
しかる後、ステップ９１１において、次のマーク探索失敗の露光装置が存在するか否かを判定する。次のマーク探索失敗の露光装置が存在する場合は、同じくステップ９０８以降の処理に移る。
ただし次のマーク探索失敗の露光装置が存在しない場合は、ステップ９１２においてボタン表示部２０６の探索画面終了ボタン２１２等の操作の有無を判定する。
【００５４】
以上の後、探索画面終了ボタン２１２以外のボタンが操作された場合は、そのボタン操作に応じた処理に移る。その詳しくは実施例２において説明した通りである。
しかし、ステップ９１２において、探索画面終了ボタン２１２の操作を認識した場合は本プログラムを終了する。
以上本プログラムは、露光装置１００等の外にＬＡＮ１２０で接続された外部コンピュータ端末１２１から露光装置１００等のマスク、ウエハの撮像画像を見ながら双方のアライメントマークの探索操作を行うことを可能にする。
したがって、複数の露光装置を例えばオンラインホストから管理する等、オペレータが離れた場所から各露光装置を集中管理する際、アライメントマーク探索失敗でも、オペレータが出向かずに処理でき、作業効率が向上する。
【００５５】
（デバイス製造方法の実施例）
次に、図９及び図１０を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
図９は、デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
ステップＳ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップＳ２（マスク製作）では設計した回路パターンに基づいてマスク（原版またはレチクルともいう）を製作する。
ステップＳ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハ（基板ともいう）を製造する。ただし、ここではレクチルを製造しても良い。
ステップＳ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、マスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。
【００５６】
ステップＳ５（組み立て）は、後工程と呼ばれ、ステップＳ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程である。
この工程ではアッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組み立て工程を含む。
ステップＳ６（検査）では、ステップＳ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷（ステップＳ７）される。
【００５７】
図１０は、ステップ４のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。
ステップＳ１１（酸化）では、ウエハの表面を酸化させる。
ステップＳ１２（ＣＶＤ）では、ウエハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップＳ１３（電極形成）では、ウエハに電極を形成する。
ステップＳ１４（イオン打ち込み）ではウエハにイオンを打ち込む。
ステップＳ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。
ステップＳ１６（露光）では露光装置を用い、マスクの回路パターンを介してウエハを露光する。
ステップＳ１７（現像）では露光したウエハを現像する。
ステップＳ１８（エッチング）では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップＳ１９（レジスト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
これらのステップを繰り返し行うことによってウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
デバイス製造方法の実施例では、上記の露光装置を用いるため、デバイス製造に際して作業効率が向上し、デバイスの生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施例１の露光装置の構成例、及び露光装置を管理するコンピュータ端末の構成例を示す概略構成図である。
【図２】実施例１の外部コンピュータ端末の表示部に表示される探索操作画面の一例を示すイメージ図である。
【図３】実施例１のアライメントマーク探索操作時の露光装置から外部コンピュータ端末間を送信されるＬＡＮ送信データのデータ構造の一例を示すデータ概要図である。
【図４】実施例１の探索操作画面のボタン表示部に位置する設定画面起動ボタンを押下することで起動される設定画面の一例を示すイメージ図である。
【図５】本発明の実施例２の目印設定画面起動ボタンを押下することで起動される目印設定画面の一例を示すイメージ図である。
【図６】実施例２の探索操作画面で行なった探索情報から構成する探索履歴ファイルの一例を示すイメージ図である。
【図７】実施例２の探索履歴画面起動ボタンを押下することで起動される探索履歴画面の一例を示すイメージ図である。
【図８】実施例２の探索履歴画面の履歴読み込みボタンを押下した後の探索操作画面の一例を示すイメージ図である。
【図９】本発明の実施例１，２の露光装置を使用したデバイス製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図１０】図９に示すフローチャートのステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
【符号の説明】
【００５９】
１００、１１８、１１９、３００ 露光装置
１０１ 照明部
１０２ マスクステージ
１０３ 投影レンズ
１０４ ウエハステージ
１０５ Ａスコープ
１０６ Ｂスコープ
１０７ 入力部
１０８ 表示部
１０９ 照明系制御部
１１０ Ａスコープ制御部
１１１ マスクステージ制御部
１１２ Ｂスコープ制御部
１１３ ウエハステージ制御部
１１４ 画像入力部
１１５ コンソール制御部
１１６ 記憶装置
１１７ ＬＡＮ送受信部
１２０、３０２ ＬＡＮ
１２１、３０１ 外部コンピュータ端末（コンピュータ端末）
１２２ 入力部
１２３ 表示部
１２４ ＬＡＮ送受信部
１２５ 表示画面制御部
１２６ 記憶装置
１２７ 表示画面
２００ 探索操作画面
２０１ 状態表示部
２０２ 装置情報表示部
２０３ アライメント情報表示部
２０４ マテリアル情報表示部
２０５ 撮像位置表示部
２０６ ボタン表示部
２０７ 探索履歴保存ボタン
２０８ 目印設定画面起動ボタン
２０９ 目印位置反映ボタン
２１０ 設定画面起動ボタン
２１１ 探索履歴画面起動ボタン
２１２ 探索画面終了ボタン
２１３ 撮影画像表示部
２１４ 補助スケール
２１５ 探索対象アライメントマーク
２１６ ステージ方向駆動距離入力部
２１７ ステージ方向駆動操作部
２１８ 駆動位置入力モード切り替えボタン
２１９ 駆動位置入力部
２２０ ステージ駆動操作ボタン
２２１ 合成撮像画像表示部
２２２ 合成撮像画像表示切り替えタブ
２２３ 表示尺度変更スクロールバー
２２４ 合成撮像画像
２２５ 撮像エリア枠
２２６ 目印アイコン
２２７ 目印リスト
２２８ 選択状態目印
３０３、３０４、３０５ ＬＡＮ転送情報
４００ 設定画面
４０１ ボタン表示部
４０２ 設定反映ボタン
４０３ 設定キャンセルボタン
４０４ 装置情報入力部
４０５ 装置ネットワークアドレス入力部
５００ 目印付加画面
５０１ ボタン表示部
５０２ 目印付加ボタン
５０３ 目印付加画面終了ボタン
５０４ アライメントマーク入力部
５０５ 目印アイコン表示部
５０６ コメント入力部
６００ 探索履歴ファイル
６０１ ファイル識別情報
６０２ 装置情報
６０３ アライメント情報
６０４ マテリアル情報
６０５ 目印情報
６０６ 合成撮像画像情報
７００ 探索履歴画面
７０１ ボタン表示部
７０２ 履歴読み込みボタン
７０３ 履歴画面終了ボタン
７０４ 探索履歴リスト表示部
７０５ 履歴識別情報表示部
７０６ 装置情報表示部
７０７ アライメント情報表示部
７０８ マテリアル情報表示部
７０９ 目印情報表示部
７１０ 合成撮像画像表示部
７１１ 選択状態履歴
８００ 探索操作画面
８０１ ボタン表示部
８０２ 目印位置反映ボタン
８０４ 撮像画像表示部
８０５ 駆動位置入力モード切り替えボタン
８０６ 駆動位置入力部
８０７ ステージ駆動操作ボタン
８０８ 合成撮像画像表示切り替えタブ
８０９ 合成撮像画像表示部
８１０ 合成撮像画像
８１１ 目印アイコン
８１２ 撮像エリア枠
８１３ 目印リアス
８１４ 選択状態目印
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版および基板の少なくとも一方に形成されたマークの位置を計測し、該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置であって、
該原版および該基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、
前記ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープと、
前記ステージの位置を指示するために操作される入力部と、
表示部と、
前記入力部により指示された複数の位置でそれぞれ前記撮像手段により撮像された画像を合成し、該合成された画像を前記表示部に表示させる制御部と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記表示部に、該合成された画像および該撮像された画像を表示させることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記入力部は、該合成画像中における該マークの位置を指定するために操作されることを特徴とする請求項１または２記載の露光装置。
【請求項４】
該合成画像の情報と、該指定された該マークの位置の情報とを記憶する記憶部を有することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記表示部に、該記憶された情報を特定する情報を表示させることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記入力部は、該特定する情報を指定するために操作され、前記制御部は、前記表示部に、該指定された情報に対応した該合成画像の情報と該指定された該マークの位置の情報とを表示させることを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
原版および基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、該ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープとを有し、該マークの位置を計測し、かつ該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置を操作する装置であって、
該ステージの位置を指示するために操作される入力部と、
表示部と、
前記入力部により指示された該ステージの複数の位置でそれぞれ該スコープにより撮像された画像を合成し、該合成された画像を前記表示部に表示させる制御部と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項８】
原版および基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、該ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープとを有し、該マークの位置を計測し、かつ該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置を操作する方法であって、
入力部から該ステージの位置を指示する情報を受け取るステップと、
該指示された該ステージの複数の位置でそれぞれ該スコープにより撮像された画像を合成するステップと、
該合成された画像を表示部に表示させるステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法の各ステップをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１０】
請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
該露光された基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１】
原版および基板の少なくとも一方に形成されたマークの位置を計測し、該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置であって、
該原版および該基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、
前記ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープと、
前記ステージの位置を指示するために操作される入力部と、
表示部と、
前記入力部により指示された複数の位置でそれぞれ前記撮像手段により撮像された画像を合成し、該合成された画像を前記表示部に表示させる制御部と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記表示部に、該合成された画像および該撮像された画像を表示させることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記入力部は、該合成画像中における該マークの位置を指定するために操作されることを特徴とする請求項１または２記載の露光装置。
【請求項４】
該合成画像の情報と、該指定された該マークの位置の情報とを記憶する記憶部を有することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記表示部に、該記憶された情報を特定する情報を表示させることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記入力部は、該特定する情報を指定するために操作され、前記制御部は、前記表示部に、該指定された情報に対応した該合成画像の情報と該指定された該マークの位置の情報とを表示させることを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
原版および基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、該ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープとを有し、該マークの位置を計測し、かつ該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置を操作する装置であって、
該ステージの位置を指示するために操作される入力部と、
表示部と、
前記入力部により指示された該ステージの複数の位置でそれぞれ該スコープにより撮像された画像を合成し、該合成された画像を前記表示部に表示させる制御部と、
を有することを特徴とする装置。
【請求項８】
原版および基板のいずれかを保持し、かつ移動するステージと、該ステージに保持された該原版および該基板のいずれかに形成されたマークを撮像するスコープとを有し、該マークの位置を計測し、かつ該計測された位置に基づいて該基板を露光する露光装置を操作する方法であって、
入力部から該ステージの位置を指示する情報を受け取るステップと、
該指示された該ステージの複数の位置でそれぞれ該スコープにより撮像された画像を合成するステップと、
該合成された画像を表示部に表示させるステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法の各ステップをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１０】
請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
該露光された基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００８−１４１０１８（Ｐ２００８−１４１０１８Ａ）
【公開日】平成２０年６月１９日（２００８．６．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３２６３７８（Ｐ２００６−３２６３７８）
【出願日】平成１８年１２月１日（２００６．１２．１）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年６月１９日（２００８．６．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１２月１日（２００６．１２．１）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
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