顕微鏡対物レンズ
【課題】十分な色収差の補正がされ、且つ、十分な視野範囲で、諸収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】顕微鏡対物レンズＯＬは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有し、第１レンズ群Ｇ１は、負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分Ｌ１と、少なくとも１つ以上の正の屈折力を有する接合レンズ成分ＣＬ１１とを有し、第２レンズ群Ｇ２は、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面Ｄを有する回折光学素子ＧＤと、少なくとも１つ以上の接合レンズ成分ＣＬ２１とを有し、第３レンズ群Ｇ３は、少なくとも１つ以上の色補正レンズ成分ＣＬ３１を有し、且つ、当該第３レンズ群Ｇ３の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されて構成される。
【解決手段】顕微鏡対物レンズＯＬは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有し、第１レンズ群Ｇ１は、負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分Ｌ１と、少なくとも１つ以上の正の屈折力を有する接合レンズ成分ＣＬ１１とを有し、第２レンズ群Ｇ２は、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面Ｄを有する回折光学素子ＧＤと、少なくとも１つ以上の接合レンズ成分ＣＬ２１とを有し、第３レンズ群Ｇ３は、少なくとも１つ以上の色補正レンズ成分ＣＬ３１を有し、且つ、当該第３レンズ群Ｇ３の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されて構成される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の顕微鏡対物レンズは、諸収差の中でも色収差を良好に補正するために多数の接合レンズを必要とし、また、２次スペクトルを補正するのに異常分散ガラスを用いる必要があったため、高価にならざるを得なかった。近年、高倍率・高開口数で、接合レンズや異常分散ガラスを多用することなく諸収差、特に２次スペクトルまで含めた色収差を補正できる回折光学素子（ＤＯＥ）を用いたレンズ系が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−３３１８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような回折光学素子を用いたレンズ系では、回折光学素子で色収差を補正できても、高倍率・高開口数では高画角でのコマ収差の補正が困難となり、視野周辺部での像性能が低いという課題があった。
【０００４】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、２次スペクトルまで含めて十分な色収差の補正がされ、且つ、十分な視野範囲で、諸収差が良好に補正され、さらに、長作動距離を有する顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するために、本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、第１レンズ群は、最も物体側に位置し負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分と、少なくとも１つ以上の、合成で正の屈折力を有する接合レンズ成分とを有し、第２レンズ群は、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面を有する回折光学素子と、少なくとも１つ以上の接合レンズ成分とを有し、第３レンズ群は、少なくとも１つ以上の合成で負の屈折力を有する色補正レンズ成分を有し、且つ、当該第３レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されて構成されている。そして、第１レンズ群に設けられた正レンズ成分の負の屈折力を有する面の曲率半径をＲとし、当該負の屈折力を有する面の物体側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１、像側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ２とし、負の屈折力を有する面の頂点から物体までの光軸上の距離をｄ０としたとき、次式
｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜ ＜ ０．０１
の条件を満足し、全系の焦点距離をｆとし、回折光学面を通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さをｈとしたとき、次式
０．０５ ＜ ｜ｈ／ｆ｜
の条件を満足するように構成される。但し、軸外物点から発する光束の主光線は、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数（ＮＡ）の光線と第１レンズ群内の適宜の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群内の適宜の面との交点で制限したとき、当該光束の中心光線とする。
【０００６】
このような顕微鏡対物レンズは、全系の焦点距離をｆとし、第１レンズ群と第２レンズ群との合成焦点距離をｆ１２としたとき、次式
１．５ ≦ ｜ｆ１２／ｆ｜ ≦ ４
の条件を満足し、全系の焦点距離をｆとし、第３レンズ群の焦点距離をｆ３としたとき、次式
１ ≦ ｜ｆ３／ｆ｜ ≦ ３．５
の条件を満足することが好ましい。
【０００７】
また、このような顕微鏡対物レンズは、全系の焦点距離をｆとし、第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
５ ≦ ｜ｆ２／ｆ｜
の条件を満足することが好ましい。
【０００８】
また、このような顕微鏡対物レンズは、回折光学素子における回折光学面の回折格子溝の数をＮとし、当該回折光学面の有効半径をＨとしたとき、次式
２ ≦ Ｎ／Ｈ ≦ １０
の条件を満足することが好ましい。但し、有効半径Ｈは、軸上物点から射出される最大開口数の光線及び、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第１レンズ群内の適宜の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群内の適宜の面との交点で制限したときに決まる当該光束の最外側の光線で決定される。
【０００９】
さらに、このような顕微鏡対物レンズは、回折光学素子中の２つの回折素子要素のうち、屈折率が低くアッベ数が小さい方の回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ１、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、回折光学素子中の２つの回折素子要素のうち、屈折率が高くアッベ数が大きい方の回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ２、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式
ｎｄ１ ≦ １．５４
０．０１４５ ≦ ｎＦ１−ｎＣ１
１．５５ ≦ ｎｄ２
ｎＦ２−ｎＣ２ ≦ ０．０１３
の条件を満足することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る顕微鏡対物レンズを以上のように構成すると、十分な色収差の補正がされ、且つ、視野が十分な範囲での諸収差が良好に補正され、さらに、長作動距離を有する顕微鏡対物レンズを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１を用いて、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズの構成について説明する。この顕微鏡対物レンズＯＬは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。
【００１２】
このような顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体からの発散光束を平行光束へと近づけるためのレンズ群であり、そのため、負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分（例えば、図１における正メニスカスレンズＬ１）と、正レンズと負レンズとを接合してなる少なくとも１つ以上の色消しレンズ成分（図１における接合レンズＣＬ１１）とを有して構成される。なお、正レンズ成分は、単レンズで構成しても良いし、接合レンズで構成しても良い。ここで、正レンズ成分に含まれる負の屈折力を有するレンズ面（例えば、図１における第１面）の曲率半径をＲとし、当該レンズ面の物体側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１、像側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ２とし、物体から当該レンズ面（例えば、図１における最も物体側にあるレンズ面である第１面）の頂点までの光軸上の距離をｄ０としたとき、次の条件式（１）を満足する。
【００１３】
｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜ ＜ ０．０１ （１）
【００１４】
この条件式（１）は、第１レンズ群Ｇ１に設けられた上述の正レンズ成分に含まれる前記負の屈折力を有するレンズ面の屈折力を規定するものであり、この条件式（１）の上限値を上回ると、ペッツバール和の補正が困難となり、高画角までの像面平坦性を確保することが困難になる。さらに十分に長い作動距離を確保できなくなる。なお、さらに好ましくは、条件式（１）の上限値を０．００８とすれば、ペッツバール和の補正をより良好とできる。
【００１５】
また、第２レンズ群Ｇ２は、第１レンズ群Ｇ１から出射した略平行光束を受けて、球面収差や色収差を補正するためのレンズ群であり、特に色収差を補正するために、回折光学素子ＧＤが設けられている。回折光学素子ＧＤは、１ｍｍあたり数本から数百本の細かい溝状またはスリット状の格子構造が同心円状に形成された回折光学面Ｄを備え、この回折光学面Ｄに入射した光を格子ピッチ（回折格子溝の間隔）と入射光の波長によって定まる方向へ回折する性質を有している。また、回折光学素子ＧＤ（回折光学面Ｄ）は、負の分散値（本願の実施例ではアッベ数＝−３．４５３）を有し、分散が大きく、また異常分散性（本願の実施例では部分分散比（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）＝０．２９５６）が強いため、強力な色収差補正能力を有している。光学ガラスのアッベ数は、通常３０〜８０程度であるが、回折光学素子のアッベ数は負の値を持っている。換言すると、回折光学素子ＧＤの回折光学面Ｄは分散特性が通常のガラス（屈折光学素子）とは逆で光の波長が短くなるに伴い屈折率が小さくなり、長い波長の光ほど大きく曲がる性質を有している。そのため、通常の屈折光学素子と組み合わせることにより、大きな色消し効果が得られる。したがって回折光学素子ＧＤを利用することで、色収差を良好に補正することが可能になる。
【００１６】
本実施の形態における回折光学素子ＧＤは、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素（例えば、図１の場合、光学部材Ｌ６，Ｌ７）を接合し、その接合面に回折格子溝を設けて回折光学面Ｄを構成している、いわゆる「密着複層型回折光学素子」である。そのため、この回折光学素子は、ｇ線からＣ線を含む広波長域において回折効率を高くすることができる。したがって、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは広波長域において利用することが可能となる。なお、回折効率は、透過型の回折光学素子において１次回折光を利用する場合、入射強度Ｉ０と一次回折光の強度Ｉ１との割合η（＝Ｉ１／Ｉ０×１００［％］）を示す。
【００１７】
また、密着複層型回折光学素子は、回折格子溝が形成された２つの回折素子要素をこの回折格子溝同士が対向するように近接配置してなるいわゆる分離複層型回折光学素子に比べて製造工程を簡素化することができるため、量産効率がよく、また光線の入射角に対する回折効率が良いという長所を備えている。したがって、密着複層型回折光学素子を利用した本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬでは、製造が容易となり、また回折効率も良くなる。
【００１８】
ここで、この顕微鏡対物レンズＯＬの全系の焦点距離をｆとし、回折光学面Ｄ（図１における第１０面）を通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さをｈとしたとき、この回折光学素子ＧＤは、次の条件式（２）を満足する位置に配置される。
【００１９】
０．０５ ＜ ｜ｈ／ｆ｜ （２）
【００２０】
但し、この図１の顕微鏡レンズＯＬにおいて、軸外物点から発する光束の主光線を、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第１レンズ群Ｇ１内のレンズＬ１の物体側の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群Ｇ３内のレンズＬ１２の像側の面との交点で制限し、軸外光束を決め、当該軸外光束の中心光線として決めている。
【００２１】
回折光学素子ＧＤを、この条件式（２）を満足する位置に配置することにより、この回折光学素子ＧＤの色収差補正能力を、軸上色収差の補正だけでなく倍率色収差の補正にも効果を持たせることができる。なお、この回折光学素子ＧＤの回折格子溝の最小ピッチが小さくなってしまわないように、１次の色消しをこの第２レンズ群Ｇ２の屈折レンズで、ある程度行う必要がある。そのため、この第２レンズ群Ｇ２には、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズ成分（例えば、図１における接合レンズ成分ＣＬ２１）を少なくとも１つ以上設けることが必要である。
【００２２】
第３レンズ群Ｇ３は、第２レンズ群Ｇ２を出射した収斂光束を略平行光束にするレンズ群である。この第３レンズ群Ｇ３は、負の屈折力を有する色補正レンズ成分（例えば、図１における正メニスカスレンズＬ１１及び両凹レンズＬ１２からなる接合レンズ成分ＣＬ３１）を少なくとも１つ有して構成されている。さらに、この第３レンズ群Ｇ３の最も像側に配置されるレンズの像側の面（例えば、図１における第１８面）は、像側に凹形状に形成されている。第３レンズ群Ｇ３へ入射する光束は、第１レンズ群Ｇ１及び第２レンズ群Ｇ２が正の屈折力を持っているため収斂光束となっている。第３レンズ群Ｇ３は、かかる収斂光束を受け、球面収差やコマ収差の発生を抑えつつ平行光束に変換する役割を担う。第３レンズ群Ｇ３の最も像側の面は、第３レンズ群Ｇ３の負の屈折力の多くの部分を担う面であり、この面を像側に凹の面で構成することにより、収斂光線の当該最終面に対する入射角を小さく構成でき、特に高次のコマ収差等の発生を的確に抑えることが可能となる。なお、この色補正レンズ要素は、接合レンズとしてだけでなく、色収差補正能力を大きく低下させない程度の空気間隔を空けて配置した複数のレンズで構成しても良い。
【００２３】
さらに、この顕微鏡対物レンズＯＬは、全系の焦点距離をｆとし、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との合成焦点距離をｆ１２としたとき、次の条件式（３）を満足することが望ましい。
【００２４】
１．５ ≦ ｜ｆ１２／ｆ｜ ≦ ４ （３）
【００２５】
条件式（３）は、十分な作動距離を確保しながら十分な開口数を確保するための条件である。この条件式（３）の下限値を下回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第１及び第２レンズ群Ｇ１，Ｇ２の合成焦点距離ｆ１２が短くなり、開口数の確保が困難になるとともに、球面収差の補正が困難になる。反対に、条件式（３）の上限値を上回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第１及び第２レンズ群Ｇ１，Ｇ２の合成焦点距離ｆ１２が長くなり、光線の収束が十分でなくなることで全長が長くなる傾向になるとともに、高画角での諸収差や、色収差の二次スペクトルの補正が困難となる。
【００２６】
また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、全系の焦点距離をｆとし、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３としたとき、次の条件式（４）を満足することが望ましい。
【００２７】
１ ≦ ｜ｆ３／ｆ｜ ≦ ３．５ （４）
【００２８】
条件式（４）は、色による変化も含めた球面収差を良好に補正し、さらに十分な視野を確保するための条件である。この条件式（４）の下限値を下回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離ｆ３が短くなり、色毎に球面収差のばらつきが出るとともに、高次の曲がりが発生する。反対に、条件式（４）の上限値を上回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離ｆ３が長くなり、球面収差の補正が不足になるとともに、結像性能の良い十分な視野を確保することが困難となる。
【００２９】
ところで、回折光学素子ＧＤは、回折格子溝の厚さを持っているため、わずかな入射角の変化でも回折効率が大きく変化する。すなわち、回折光学面Ｄに対する入射角が大きくなると、回折効率が著しく低下し、ブレ−ズされていない次数の光線がフレアとなって表れてしまう。そこで、この顕微鏡対物レンズＯＬは、全系の焦点距離をｆとし、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２としたとき、次の条件式（５）を満足することが望ましい。
【００３０】
５ ≦ ｜ｆ２／ｆ｜ （５）
【００３１】
条件式（５）は、パワー配分を使って回折光学素子ＧＤへの入射角を制御するための条件である。この条件式（５）の下限値を下回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離ｆ２が短くなり、この第２レンズ群Ｇ２内での光線の屈折角が大きくなり、回折光学素子ＧＤへの入射角が大きくなってしまう。また、上述の条件式（３）で、全系の焦点距離ｆに対する第１及び第２レンズ群Ｇ１，Ｇ２の合成焦点距離ｆ１２の範囲を規定しているため、この条件式（５）の下限値を下回ると、第１レンズ群Ｇ１のパワーが弱くなって第１レンズ群Ｇ１から発生する収差が減り、第２レンズ群Ｇ２での収差、特に球面収差の発生が大きくなり、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との収差のバランスをとるのが困難となる。
【００３２】
また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、回折光学素子ＧＤにおける回折光学面Ｄの回折格子溝の数をＮとし、この回折光学面Ｄの有効半径をＨとしたとき、次の条件式（６）を満足することが望ましい。
【００３３】
２ ≦ Ｎ／Ｈ ≦ １０ （６）
【００３４】
但し、この図１の顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、有効半径Ｈは、軸上物点から射出される最大開口数の光線及び、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第１レンズ群Ｇ１内のレンズＬ１の物体側の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群Ｇ３内のレンズＬ１２の像側の面との交点で制限したときに決まる当該光束の最外側の光線で決定される。
【００３５】
条件式（６）は、回折光学面Ｄの回折格子溝の数Ｎと有効半径Ｈの適切な範囲を規定する条件式である。この条件式（６）の下限値を下回ると、軸上色収差はｄ線とｇ線で色消しした際に、Ｃ線とＦ線で色消し不足となる（二次スペクトル）。一方、条件式（６）の上限値を上回ると、軸上色収差はｄ線とｇ線で色消しした際に、Ｃ線とＦ線で色消し過剰となる（二次スペクトル）。また、回折光学素子ＧＤに形成された回折格子溝の最小ピッチ幅が小さくなり、製造上の精度を確保するのが困難となる。
【００３６】
さらに、この顕微鏡対物レンズＯＬは、回折光学素子ＧＤ中の２つの回折素子要素のうち、屈折率が低くアッベ数が小さい方の回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ１、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、回折光学素子中の２つの回折素子要素のうち、屈折率が高くアッベ数が大きい方の回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ２、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次の条件式（７）〜（１０）を満足することが望ましい。
【００３７】
ｎｄ１ ≦ １．５４ （７）
０．０１４５ ≦ ｎＦ１−ｎＣ１ （８）
１．５５ ≦ ｎｄ２ （９）
ｎＦ２−ｎＣ２ ≦ ０．０１３ （１０）
【００３８】
条件式（７）〜（１０）は、回折光学素子ＧＤを構成する２つの回折素子要素の材質の屈折率と、Ｆ線及びＣ線に対する分散（ｎＦ−ｎＣ）をそれぞれ規定するものである。これらの条件式を満足することで、より良い性能で異なる２つの回折素子要素を密着接合させて回折光学面Ｄを形成することができ、これにより、ｇ線からＣ線までの広波長域において９０％以上の回折効率を実現することができる。なお、このような光学材料としての樹脂の例としては、例えば特願２００４−３６７６０７号公報、特願２００５−２３７５７３号公報等に記載されている。各条件式（７）〜（１０）の上限値または下限値を超えると、本実施の形態に係る色消しレンズ系における回折光学素子ＧＤは、広波長域において９０％以上の回折効率を得ることが困難になり、密着複層型回折光学素子の利点を維持することが困難になってしまう。
【実施例】
【００３９】
以下に、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの４つの実施例を示すが、各実施例において、回折光学素子ＧＤに形成された回折光学面Ｄの位相差は、通常の屈折率と後述する非球面式（１１）とを用いて行う超高屈折率法により計算した。超高屈折率法とは、非球面形状と回折光学面の格子ピッチとの間の一定の等価関係を利用するものであり、本実施例においては、回折光学面Ｄを超高屈折率法のデータとして、すなわち、後述する非球面式（１１）及びその係数により示している。なお、本実施例では収差特性の算出対象として、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線を選んでいる。本実施例において用いられたこれらｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の波長と、各スペクトル線に対して設定した超高屈折率法の計算に用いるための屈折率の値を次の表１に示す。
【００４０】
（表１）
波長 屈折率（超高屈折率法による）
ｄ線 587.562ｎｍ 10001.0000
Ｃ線 656.273ｎｍ 11170.4255
Ｆ線 486.133ｎｍ 8274.7311
ｇ線 435.835ｎｍ 7418.6853
【００４１】
各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、高さｙにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（頂点曲率半径）をｒとし、円錐定数をκとし、ｎ次の非球面係数をＡnとしたとき、以下の式（１１）で表される。なお、以降の実施例において、「Ｅ−ｎ」は「×１０-n」を示す。
【００４２】
Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１−κ×ｙ2／ｒ2）1/2｝
＋Ａ2×ｙ2＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6＋Ａ8×ｙ8＋Ａ10×ｙ10 （１１）
【００４３】
なお、各実施例において、回折光学面が形成されたレンズ面には、表中の面番号の右側に＊印を付しており、非球面式（１１）は、この回折光学面の性能の諸元を示している。
【００４４】
また、以下の各実施例における顕微鏡対物レンズＯＬ１〜ＯＬ４は、無限遠補正型のものであり、図９に示す構成であって、表２に示す諸元を有する結像レンズＩＬとともに使用される。なお、この表２において、第１欄ｍは物体側からの各光学面の番号を、第２欄ｒは各光学面の曲率半径を、第３欄ｄは各光学面から次の光学面までの光軸上の距離を、第４欄ｎｄはｄ線に対する屈折率を、そして、第５欄νｄはアッベ数をそれぞれ示している。ここで、空気の屈折率1.00000は省略してある。この諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。
【００４５】
（表２）
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 75.043 5.10 1.62280 57.03
2 -75.043 2.00 1.74950 35.19
3 1600.580 7.50
4 50.256 5.10 1.66755 41.96
5 -84.541 1.80 1.61266 44.40
6 36.911
【００４６】
なお、この結像レンズＩＬは、物体側から順に、両凸レンズＬ２１と両凹レンズＬ２２とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズＬ２３と両凹レンズＬ２４とを接合した接合レンズから構成される。
【００４７】
［第１実施例］
上述の説明で用いた図１は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ１を示している。この顕微鏡対物レンズＯＬ１は、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ１１とから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ４と回折光学面Ｄを含み物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ形状の回折光学素子ＧＤ、及び、両凸レンズＬ９と両凹レンズＬ１０とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２１から構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と両凹レンズＬ１２とを接合した接合レンズ成分ＣＬ３１から構成される。このように、この第１実施例においては、第３レンズ群Ｇ３を構成する色補正レンズ成分ＣＬ３１は、２つのレンズを接合した接合レンズ成分として構成されている。
【００４８】
また、回折光学素子ＧＤは、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ５、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ６，Ｌ７、及び、像側に凹面を向けた平凹レンズＬ８がこの順で接合され、光学部材Ｌ６，Ｌ７の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤは、密着複層型の回折光学素子である。
【００４９】
このように図１に示した第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ１の諸元を表３に示す。なお、この表３において、ｆは顕微鏡対物レンズＯＬ１の全系の焦点距離を、ＮＡは開口数を、βは倍率をそれぞれ示している。また、ｄ０は標本から最も物体側にある最初のレンズ（レンズＬ１）の最も物体側に位置し、負の屈折力を有するレンズ面（第１面）の頂点までの光軸上の距離を示している。ここで、この負の屈折力を有するレンズ面は、この第１実施例を含む以降の実施例において、第１面である。また、ｈは回折光学面Ｄを通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さを示し、ｆ１は第１レンズ群Ｇ１の焦点距離を示し、ｆ２は第２レンズ群Ｇ２の焦点距離を示し、ｆ１２は第１及び第２レンズ群Ｇ１，Ｇ２の合成焦点距離を示し、ｆ３は第３レンズ群Ｇ３の焦点距離を示し、Ｎは回折光学素子ＧＤにおける回折光学面Ｄの回折格子溝の数を示し、Ｈは、この回折光学面の有効半径を示す。また、前述の如く、本第１実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の物体側の面（第１面）と両凹レンズＬ１２の像側の面（第１８面）である。
【００５０】
また、第１欄ｍに示す各光学面の番号（右の＊は回折光学面として形成されているレンズ面を示す）は、図１に示した面番号１〜１８に対応している。また、第２欄ｒにおいて、曲率半径0.000は平面を示している。また、回折光学面の場合は、第２欄ｒにベースとなる非球面の基準となる球面の曲率半径を示し、超高屈折率法に用いるデータは非球面データとして諸元表内に示している。さらに、この表３には、上記条件式（１）〜（１０）に対応する値、すなわち、条件対応値も示している。これらの諸元表の説明は、以降の実施例においても同様である。
【００５１】
なお、以下の全ての諸元において掲載される曲率半径ｒ、面間隔ｄ、全系の焦点距離ｆその他長さの単位は、特記の無い場合、一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることはなく、他の適当な単位を用いることもできる。
【００５２】
（表３）
ｆ＝10.076
ＮＡ＝0.35
β＝20x
ｄ０＝25.95
ｈ＝0.54
ｆ１＝23.106
ｆ２＝52.842
ｆ１２＝16.215
ｆ３＝-12.744
Ｎ＝39
Ｈ＝9.11
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 -100.000 3.00 1.75500 52.29
2 -22.783 0.20
3 46.962 4.70 1.49782 82.52
4 -25.699 1.20 1.71736 29.52
5 -44.046 0.20
6 26.111 1.30 1.75692 31.59
7 16.131 4.10 1.49782 82.52
8 0.000 0.20 1.55690 50.17
9 0.000 0.00 10001.00000 -3.45
10* 0.000 0.20 1.52760 34.71
11 0.000 2.00 1.51680 64.12
12 316.639 0.20
13 20.449 3.80 1.49782 82.52
14 -58.825 1.40 1.72342 37.94
15 46.452 12.00
16 -35.297 2.00 1.84666 23.78
17 -9.400 1.00 1.72916 54.66
18 11.185
回折光学面データ
第１０面 κ＝1.0000 Ａ2＝-2.77779E-08 Ａ4＝5.65073E-14
Ａ6＝-2.12592E-16 Ａ8＝-1.96429E-19 Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.00029
（２）｜ｈ／ｆ｜＝ 0.05
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝ 1.61
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝ 1.27
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝ 5.24
（６）Ｎ／Ｈ＝ 4.28
（７）ｎｄ１＝ 1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝ 0.015
（９）ｎｄ２＝ 1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝ 0.011
【００５３】
なお、表３に示した条件対応値のうち、条件式（１）は、第１面の曲率半径Ｒとその前後の媒質のｄ線に対する屈折率ｎ１，ｎ２とから算出された値である。また、条件式（７），（８）は第１０面の値に相当し、条件式（９），（１０）は第８面の値に相当する。このように、第１実施例では上記条件式（１）〜（１０）は全て満たされていることが分かる。図２に、この第１実施例におけるｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。これらの収差図のうち、球面収差図は開口数ＮＡに対する収差量を示し、非点収差図及び倍率色収差は像高Ｙに対する収差量を示し、コマ収差図は、像高Ｙが１２．４ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。また、球面収差図、倍率色収差図及びコマ収差図において、実線はｄ線を示し、点線はＣ線を示し、一点鎖線はＦ線を示し、二点鎖線はｇ線を示している。さらに、非点収差図において、実線は各波長に対するサジタル像面を示し、破線は各波長に対するメリジオナル像面を示している。これらの諸収差図の説明は以降の実施例においても同様である。この図２に示す各収差図から明らかなように、第１実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
【００５４】
［第２実施例］
次に、第２実施例として、図３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ２について説明する。この図３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ２も、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、及び、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ１１から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ４と、両凹レンズＬ５と、回折光学面Ｄを含む両凸レンズ形状の回折光学素子ＧＤとを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２１、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１０と両凸レンズＬ１１と両凹レンズＬ１２とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２２で構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と両凹レンズＬ１４とを接合した接合レンズ成分ＣＬ３１から構成される。このように、この第２実施例においては、第３レンズ群Ｇ３を構成する色補正レンズ成分ＣＬ３１は、２つのレンズを接合した接合レンズ成分として構成されている。また、本第２実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と正メニスカスレンズＬ１３の物体側の面（第１８面）である。
【００５５】
また、この第２実施例に係る回折光学素子ＧＤも密着複層型の回折光学素子であって、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ６、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ７，Ｌ８、及び、像側に凸面を向けた平凸レンズＬ９がこの順で接合され、光学部材Ｌ７，Ｌ８の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。
【００５６】
この図３に示した第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ２の諸元を表４に示す。なお、表４に示す面番号は図３に示した面番号１〜２０と一致している。
【００５７】
（表４）
ｆ＝4.005
ＮＡ＝0.45
β＝50x
ｄ０＝17.83
ｈ＝0.54
ｆ１＝19.146
ｆ２＝51.432
ｆ１２＝12.025
ｆ３＝-7.889
Ｎ＝25
Ｈ＝8.25
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 -57.300 3.00 1.77250 49.62
2 -17.338 0.20
3 86.481 3.50 1.60300 65.47
4 -27.000 1.20 1.62374 47.04
5 -41.645 0.20
6 20.575 5.20 1.43385 95.25
7 -26.714 1.00 1.61340 44.27
8 14.002 5.00 1.59240 68.33
9 0.000 0.20 1.55690 50.17
10 0.000 0.00 10001.00000 -3.45
11* 0.000 0.20 1.52760 34.71
12 0.000 2.00 1.60300 65.47
13 -46.301 0.20
14 13.584 1.50 1.62374 47.04
15 7.271 6.00 1.43385 95.25
16 -16.966 1.00 1.74950 35.27
17 35.143 12.90
18 -12.687 1.70 1.80810 22.76
19 -4.450 0.80 1.60300 65.47
20 5.751
回折光学面データ
第１１面 κ＝1.0000 Ａ2＝-2.12762E-08 Ａ4＝6.05843E-14
Ａ6＝-1.82066E-16 Ａ8＝-1.96429E-19 Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.00076
（２）｜ｈ／ｆ｜＝0.14
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝3.00
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝1.97
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝12.84
（６）Ｎ／Ｈ＝3.03
（７）ｎｄ１＝1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝0.015
（９）ｎｄ２＝1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝0.011
【００５８】
なお、表４に示した条件対応値のうち、条件式（１）は、第１面の曲率半径Ｒとその前後の媒質のｄ線に対する屈折率ｎ１，ｎ２とから算出された値である。また、条件式（７），（８）は第１１面の値に相当し、条件式（９），（１０）は第９面の値に相当する。このように、第２実施例では上記条件式（１）〜（１０）は全て満たされていることが分かる。図４にこの第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ２の球面収差、非点収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。なお、この図４に示すコマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。この各収差図から明らかなように、この第２実施例でも、収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００５９】
［第３実施例］
次に、第３実施例として、図５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ３について説明する。この図５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ３も、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２、及び、両凸レンズＬ３と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ４とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ１１から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、回折光学面Ｄを含む両凸レンズ形状の回折光学素子ＧＤと両凹レンズＬ９と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１０とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２１、両凸レンズＬ１１と両凹レンズＬ１２とを接合した接合レンズＣＬ２２、及び、物体面側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１３と両凸レンズＬ１４と両凹レンズＬ１５とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２３で構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹レンズＬ１６と両凸レンズＬ１７と両凹レンズＬ１８とを接合した接合レンズ群ＣＬ３１から構成される。このように、この第３実施例においては、第３レンズ群Ｇ３を構成する色補正レンズ成分ＣＬ３１は、３つのレンズを接合した接合レンズ成分として構成されている。また、本第３実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と両凹レンズＬ１６の物体側の面（第２３面）である。
【００６０】
また、この第３実施例に係る回折光学素子ＧＤも密着複層型の回折光学素子であって、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ５、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ６，Ｌ７、及び、像側に凸面を向けた平凸レンズＬ８がこの順で接合され、光学部材Ｌ６，Ｌ７の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。
【００６１】
この図５に示した第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ３の諸元を表５に示す。なお、表５に示す面番号は図５に示した面番号１〜２６と一致している。
【００６２】
（表５）
ｆ＝2.003
ＮＡ＝0.7
β＝100x
ｄ０＝8.824
ｈ＝0.84
ｆ１＝12.897
ｆ２＝117.192
ｆ１２＝7.192
ｆ３＝-6.687
Ｎ＝43
Ｈ＝10.04
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 -12.140 3.05 1.78800 47.38
2 -8.907 0.10
3 -35.273 3.65 1.49782 82.52
4 -15.323 0.10
5 37.000 5.80 1.49782 82.52
6 -19.000 1.40 1.61340 44.26
7 -28.903 0.10
8 28.628 3.00 1.60300 65.47
9 0.000 0.20 1.55690 50.17
10 0.000 0.00 10001.00000 -3.45
11* 0.000 0.20 1.52760 34.71
12 0.000 3.20 1.49782 82.52
13 -27.000 1.20 1.61340 44.27
14 17.614 5.00 1.49782 82.52
15 2747.644 0.20
16 20.683 4.70 1.49782 82.52
17 -29.639 1.00 1.67270 32.11
18 110.800 0.20
19 12.594 1.65 1.72047 34.71
20 5.909 5.30 1.49782 82.52
21 -13.696 1.00 1.61340 44.27
22 11.538 10.50
23 -7.015 0.80 1.71300 53.89
24 5.609 2.00 1.80518 25.43
25 -3.931 0.70 1.61340 44.26
26 5.858
回折光学面データ
第１１面 κ＝1.0000 Ａ2＝-2.50000E-08 Ａ4＝6.08882E-14
Ａ6＝-2.46978E-16 Ａ8＝-1.96414E-19 Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.0074
（２）｜ｈ／ｆ｜＝0.42
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝3.59
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝3.34
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝58.51
（６）Ｎ／Ｈ＝4.28
（７）ｎｄ１＝1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝0.015
（９）ｎｄ２＝1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝0.011
【００６３】
なお、表５に示した条件対応値のうち、条件式（１）は、第１面の曲率半径Ｒとその前後の媒質のｄ線に対する屈折率ｎ１，ｎ２とから算出された値である。また、条件式（７），（８）は第１１面の値に相当し、条件式（９），（１０）は第９面の値に相当する。このように、第３実施例では上記条件式（１）〜（１０）は全て満たされていることが分かる。図６にこの第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ３の球面収差、非点収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。なお、この図６に示すコマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。この各収差図から明らかなように、この第３実施例でも、収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００６４】
［第４実施例］
最後に、第４実施例として、図７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ４について説明する。この図７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ４も、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ１１から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ４と両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２１、回折光学面Ｄを含む平板形状の回折光学素子ＧＤ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１と両凸レンズＬ１２と両凹レンズＬ１３とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２２から構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と両凹レンズＬ１５とを接合した接合レンズ成分ＣＬ３１から構成される。このように、この第４実施例においては、第３レンズ群Ｇ３を構成する色補正レンズ成分ＣＬ３１は、２つのレンズを接合した接合レンズ成分として構成されている。また、本第４実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と正メニスカスレンズＬ１４の物体側の面（第２０面）である。
【００６５】
また、この第４実施例に係る回折光学素子ＧＤも密着複層型の回折光学素子であって、平板状の光学ガラスＬ７、それぞれ異なる樹脂材料から形成された平板状の２個の光学部材Ｌ８，Ｌ９、及び、平板状の光学ガラスＬ１０がこの順で接合され、光学部材Ｌ８，Ｌ９の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。
【００６６】
この図７に示した第４実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ４の諸元を表６に示す。また、表６に示す面番号は図７に示した面番号１〜２２と一致している。
【００６７】
（表６）
ｆ＝ 4.014
ＮＡ＝ 0.45
β＝50x
ｄ０＝ 17.83
ｈ＝0.48
ｆ１＝ 18.136
ｆ２＝ 74.682
ｆ１２＝11.633
ｆ３＝ -8.683
Ｎ＝61
Ｈ＝7.6
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 -57.300 3.00 1.80440 39.57
2 -17.390 0.20
3 71.472 3.50 1.60300 65.47
4 -24.538 1.20 1.62004 36.24
5 -39.899 0.20
6 30.223 5.20 1.60300 65.47
7 -19.420 1.00 1.64769 33.79
8 26.032 4.50 1.60300 65.47
9 -200.000 0.30
10 0.000 1.00 1.51680 64.12
11 0.000 0.20 1.55690 50.17
12 0.000 0.00 10001.00000 -3.45
13* 0.000 0.20 1.52760 34.71
14 0.000 1.50 1.51680 64.12
15 0.000 0.30
16 15.092 1.50 1.67003 47.25
17 7.250 6.00 1.49782 82.52
18 -14.111 1.00 1.71700 47.93
19 28.782 12.50
20 -14.824 1.80 1.80518 25.43
21 -4.550 1.85 1.60300 65.47
22 5.911
回折光学面データ
第１５面 κ＝1.0000 Ａ2＝-6.24941E-08 Ａ4＝1.04769E-13
Ａ6＝-1.68555E-16 Ａ8＝-1.96387E-19 Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.00079
（２）｜ｈ／ｆ｜＝0.12
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝2.90
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝2.16
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝18.61
（６）Ｎ／Ｈ＝8.03
（７）ｎｄ１＝1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝0.015
（９）ｎｄ２＝1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝0.011
【００６８】
なお、表６に示した条件対応値のうち、条件式（１）は、第１面の曲率半径Ｒとその前後の媒質のｄ線に対する屈折率ｎ１，ｎ２とから算出された値である。また、条件式（７），（８）は第１３面の値に相当し、条件式（９），（１０）は第１１面の値に相当する。このように、第４実施例では上記条件式（１）〜（１０）は全て満たされていることが分かる。図８にこの第４実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ４の球面収差、非点収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。なお、この図８に示すコマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。この各収差図から明らかなように、この第４実施例でも、収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】第１実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図２】上記第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図３】第２実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図４】上記第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図５】第３実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図６】上記第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図７】第４実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図８】上記第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図９】上記顕微鏡対物レンズとともに用いられる結像レンズのレンズ構成図である。
【符号の説明】
【００７０】
ＯＬ（ＯＬ１〜ＯＬ４） 顕微鏡対物レンズ
Ｇ１ 第１レンズ群 Ｇ２ 第２レンズ群 Ｇ３ 第３レンズ群
ＧＤ 回折光学素子
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の顕微鏡対物レンズは、諸収差の中でも色収差を良好に補正するために多数の接合レンズを必要とし、また、２次スペクトルを補正するのに異常分散ガラスを用いる必要があったため、高価にならざるを得なかった。近年、高倍率・高開口数で、接合レンズや異常分散ガラスを多用することなく諸収差、特に２次スペクトルまで含めた色収差を補正できる回折光学素子（ＤＯＥ）を用いたレンズ系が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−３３１８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような回折光学素子を用いたレンズ系では、回折光学素子で色収差を補正できても、高倍率・高開口数では高画角でのコマ収差の補正が困難となり、視野周辺部での像性能が低いという課題があった。
【０００４】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、２次スペクトルまで含めて十分な色収差の補正がされ、且つ、十分な視野範囲で、諸収差が良好に補正され、さらに、長作動距離を有する顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するために、本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、第１レンズ群は、最も物体側に位置し負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分と、少なくとも１つ以上の、合成で正の屈折力を有する接合レンズ成分とを有し、第２レンズ群は、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面を有する回折光学素子と、少なくとも１つ以上の接合レンズ成分とを有し、第３レンズ群は、少なくとも１つ以上の合成で負の屈折力を有する色補正レンズ成分を有し、且つ、当該第３レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されて構成されている。そして、第１レンズ群に設けられた正レンズ成分の負の屈折力を有する面の曲率半径をＲとし、当該負の屈折力を有する面の物体側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１、像側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ２とし、負の屈折力を有する面の頂点から物体までの光軸上の距離をｄ０としたとき、次式
｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜ ＜ ０．０１
の条件を満足し、全系の焦点距離をｆとし、回折光学面を通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さをｈとしたとき、次式
０．０５ ＜ ｜ｈ／ｆ｜
の条件を満足するように構成される。但し、軸外物点から発する光束の主光線は、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数（ＮＡ）の光線と第１レンズ群内の適宜の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群内の適宜の面との交点で制限したとき、当該光束の中心光線とする。
【０００６】
このような顕微鏡対物レンズは、全系の焦点距離をｆとし、第１レンズ群と第２レンズ群との合成焦点距離をｆ１２としたとき、次式
１．５ ≦ ｜ｆ１２／ｆ｜ ≦ ４
の条件を満足し、全系の焦点距離をｆとし、第３レンズ群の焦点距離をｆ３としたとき、次式
１ ≦ ｜ｆ３／ｆ｜ ≦ ３．５
の条件を満足することが好ましい。
【０００７】
また、このような顕微鏡対物レンズは、全系の焦点距離をｆとし、第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
５ ≦ ｜ｆ２／ｆ｜
の条件を満足することが好ましい。
【０００８】
また、このような顕微鏡対物レンズは、回折光学素子における回折光学面の回折格子溝の数をＮとし、当該回折光学面の有効半径をＨとしたとき、次式
２ ≦ Ｎ／Ｈ ≦ １０
の条件を満足することが好ましい。但し、有効半径Ｈは、軸上物点から射出される最大開口数の光線及び、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第１レンズ群内の適宜の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群内の適宜の面との交点で制限したときに決まる当該光束の最外側の光線で決定される。
【０００９】
さらに、このような顕微鏡対物レンズは、回折光学素子中の２つの回折素子要素のうち、屈折率が低くアッベ数が小さい方の回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ１、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、回折光学素子中の２つの回折素子要素のうち、屈折率が高くアッベ数が大きい方の回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ２、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式
ｎｄ１ ≦ １．５４
０．０１４５ ≦ ｎＦ１−ｎＣ１
１．５５ ≦ ｎｄ２
ｎＦ２−ｎＣ２ ≦ ０．０１３
の条件を満足することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る顕微鏡対物レンズを以上のように構成すると、十分な色収差の補正がされ、且つ、視野が十分な範囲での諸収差が良好に補正され、さらに、長作動距離を有する顕微鏡対物レンズを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１を用いて、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズの構成について説明する。この顕微鏡対物レンズＯＬは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。
【００１２】
このような顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体からの発散光束を平行光束へと近づけるためのレンズ群であり、そのため、負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分（例えば、図１における正メニスカスレンズＬ１）と、正レンズと負レンズとを接合してなる少なくとも１つ以上の色消しレンズ成分（図１における接合レンズＣＬ１１）とを有して構成される。なお、正レンズ成分は、単レンズで構成しても良いし、接合レンズで構成しても良い。ここで、正レンズ成分に含まれる負の屈折力を有するレンズ面（例えば、図１における第１面）の曲率半径をＲとし、当該レンズ面の物体側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１、像側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ２とし、物体から当該レンズ面（例えば、図１における最も物体側にあるレンズ面である第１面）の頂点までの光軸上の距離をｄ０としたとき、次の条件式（１）を満足する。
【００１３】
｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜ ＜ ０．０１ （１）
【００１４】
この条件式（１）は、第１レンズ群Ｇ１に設けられた上述の正レンズ成分に含まれる前記負の屈折力を有するレンズ面の屈折力を規定するものであり、この条件式（１）の上限値を上回ると、ペッツバール和の補正が困難となり、高画角までの像面平坦性を確保することが困難になる。さらに十分に長い作動距離を確保できなくなる。なお、さらに好ましくは、条件式（１）の上限値を０．００８とすれば、ペッツバール和の補正をより良好とできる。
【００１５】
また、第２レンズ群Ｇ２は、第１レンズ群Ｇ１から出射した略平行光束を受けて、球面収差や色収差を補正するためのレンズ群であり、特に色収差を補正するために、回折光学素子ＧＤが設けられている。回折光学素子ＧＤは、１ｍｍあたり数本から数百本の細かい溝状またはスリット状の格子構造が同心円状に形成された回折光学面Ｄを備え、この回折光学面Ｄに入射した光を格子ピッチ（回折格子溝の間隔）と入射光の波長によって定まる方向へ回折する性質を有している。また、回折光学素子ＧＤ（回折光学面Ｄ）は、負の分散値（本願の実施例ではアッベ数＝−３．４５３）を有し、分散が大きく、また異常分散性（本願の実施例では部分分散比（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）＝０．２９５６）が強いため、強力な色収差補正能力を有している。光学ガラスのアッベ数は、通常３０〜８０程度であるが、回折光学素子のアッベ数は負の値を持っている。換言すると、回折光学素子ＧＤの回折光学面Ｄは分散特性が通常のガラス（屈折光学素子）とは逆で光の波長が短くなるに伴い屈折率が小さくなり、長い波長の光ほど大きく曲がる性質を有している。そのため、通常の屈折光学素子と組み合わせることにより、大きな色消し効果が得られる。したがって回折光学素子ＧＤを利用することで、色収差を良好に補正することが可能になる。
【００１６】
本実施の形態における回折光学素子ＧＤは、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素（例えば、図１の場合、光学部材Ｌ６，Ｌ７）を接合し、その接合面に回折格子溝を設けて回折光学面Ｄを構成している、いわゆる「密着複層型回折光学素子」である。そのため、この回折光学素子は、ｇ線からＣ線を含む広波長域において回折効率を高くすることができる。したがって、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは広波長域において利用することが可能となる。なお、回折効率は、透過型の回折光学素子において１次回折光を利用する場合、入射強度Ｉ０と一次回折光の強度Ｉ１との割合η（＝Ｉ１／Ｉ０×１００［％］）を示す。
【００１７】
また、密着複層型回折光学素子は、回折格子溝が形成された２つの回折素子要素をこの回折格子溝同士が対向するように近接配置してなるいわゆる分離複層型回折光学素子に比べて製造工程を簡素化することができるため、量産効率がよく、また光線の入射角に対する回折効率が良いという長所を備えている。したがって、密着複層型回折光学素子を利用した本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬでは、製造が容易となり、また回折効率も良くなる。
【００１８】
ここで、この顕微鏡対物レンズＯＬの全系の焦点距離をｆとし、回折光学面Ｄ（図１における第１０面）を通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さをｈとしたとき、この回折光学素子ＧＤは、次の条件式（２）を満足する位置に配置される。
【００１９】
０．０５ ＜ ｜ｈ／ｆ｜ （２）
【００２０】
但し、この図１の顕微鏡レンズＯＬにおいて、軸外物点から発する光束の主光線を、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第１レンズ群Ｇ１内のレンズＬ１の物体側の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群Ｇ３内のレンズＬ１２の像側の面との交点で制限し、軸外光束を決め、当該軸外光束の中心光線として決めている。
【００２１】
回折光学素子ＧＤを、この条件式（２）を満足する位置に配置することにより、この回折光学素子ＧＤの色収差補正能力を、軸上色収差の補正だけでなく倍率色収差の補正にも効果を持たせることができる。なお、この回折光学素子ＧＤの回折格子溝の最小ピッチが小さくなってしまわないように、１次の色消しをこの第２レンズ群Ｇ２の屈折レンズで、ある程度行う必要がある。そのため、この第２レンズ群Ｇ２には、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズ成分（例えば、図１における接合レンズ成分ＣＬ２１）を少なくとも１つ以上設けることが必要である。
【００２２】
第３レンズ群Ｇ３は、第２レンズ群Ｇ２を出射した収斂光束を略平行光束にするレンズ群である。この第３レンズ群Ｇ３は、負の屈折力を有する色補正レンズ成分（例えば、図１における正メニスカスレンズＬ１１及び両凹レンズＬ１２からなる接合レンズ成分ＣＬ３１）を少なくとも１つ有して構成されている。さらに、この第３レンズ群Ｇ３の最も像側に配置されるレンズの像側の面（例えば、図１における第１８面）は、像側に凹形状に形成されている。第３レンズ群Ｇ３へ入射する光束は、第１レンズ群Ｇ１及び第２レンズ群Ｇ２が正の屈折力を持っているため収斂光束となっている。第３レンズ群Ｇ３は、かかる収斂光束を受け、球面収差やコマ収差の発生を抑えつつ平行光束に変換する役割を担う。第３レンズ群Ｇ３の最も像側の面は、第３レンズ群Ｇ３の負の屈折力の多くの部分を担う面であり、この面を像側に凹の面で構成することにより、収斂光線の当該最終面に対する入射角を小さく構成でき、特に高次のコマ収差等の発生を的確に抑えることが可能となる。なお、この色補正レンズ要素は、接合レンズとしてだけでなく、色収差補正能力を大きく低下させない程度の空気間隔を空けて配置した複数のレンズで構成しても良い。
【００２３】
さらに、この顕微鏡対物レンズＯＬは、全系の焦点距離をｆとし、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との合成焦点距離をｆ１２としたとき、次の条件式（３）を満足することが望ましい。
【００２４】
１．５ ≦ ｜ｆ１２／ｆ｜ ≦ ４ （３）
【００２５】
条件式（３）は、十分な作動距離を確保しながら十分な開口数を確保するための条件である。この条件式（３）の下限値を下回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第１及び第２レンズ群Ｇ１，Ｇ２の合成焦点距離ｆ１２が短くなり、開口数の確保が困難になるとともに、球面収差の補正が困難になる。反対に、条件式（３）の上限値を上回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第１及び第２レンズ群Ｇ１，Ｇ２の合成焦点距離ｆ１２が長くなり、光線の収束が十分でなくなることで全長が長くなる傾向になるとともに、高画角での諸収差や、色収差の二次スペクトルの補正が困難となる。
【００２６】
また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、全系の焦点距離をｆとし、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３としたとき、次の条件式（４）を満足することが望ましい。
【００２７】
１ ≦ ｜ｆ３／ｆ｜ ≦ ３．５ （４）
【００２８】
条件式（４）は、色による変化も含めた球面収差を良好に補正し、さらに十分な視野を確保するための条件である。この条件式（４）の下限値を下回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離ｆ３が短くなり、色毎に球面収差のばらつきが出るとともに、高次の曲がりが発生する。反対に、条件式（４）の上限値を上回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離ｆ３が長くなり、球面収差の補正が不足になるとともに、結像性能の良い十分な視野を確保することが困難となる。
【００２９】
ところで、回折光学素子ＧＤは、回折格子溝の厚さを持っているため、わずかな入射角の変化でも回折効率が大きく変化する。すなわち、回折光学面Ｄに対する入射角が大きくなると、回折効率が著しく低下し、ブレ−ズされていない次数の光線がフレアとなって表れてしまう。そこで、この顕微鏡対物レンズＯＬは、全系の焦点距離をｆとし、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２としたとき、次の条件式（５）を満足することが望ましい。
【００３０】
５ ≦ ｜ｆ２／ｆ｜ （５）
【００３１】
条件式（５）は、パワー配分を使って回折光学素子ＧＤへの入射角を制御するための条件である。この条件式（５）の下限値を下回ると、全系の焦点距離ｆに比べ、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離ｆ２が短くなり、この第２レンズ群Ｇ２内での光線の屈折角が大きくなり、回折光学素子ＧＤへの入射角が大きくなってしまう。また、上述の条件式（３）で、全系の焦点距離ｆに対する第１及び第２レンズ群Ｇ１，Ｇ２の合成焦点距離ｆ１２の範囲を規定しているため、この条件式（５）の下限値を下回ると、第１レンズ群Ｇ１のパワーが弱くなって第１レンズ群Ｇ１から発生する収差が減り、第２レンズ群Ｇ２での収差、特に球面収差の発生が大きくなり、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との収差のバランスをとるのが困難となる。
【００３２】
また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、回折光学素子ＧＤにおける回折光学面Ｄの回折格子溝の数をＮとし、この回折光学面Ｄの有効半径をＨとしたとき、次の条件式（６）を満足することが望ましい。
【００３３】
２ ≦ Ｎ／Ｈ ≦ １０ （６）
【００３４】
但し、この図１の顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、有効半径Ｈは、軸上物点から射出される最大開口数の光線及び、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第１レンズ群Ｇ１内のレンズＬ１の物体側の面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第３レンズ群Ｇ３内のレンズＬ１２の像側の面との交点で制限したときに決まる当該光束の最外側の光線で決定される。
【００３５】
条件式（６）は、回折光学面Ｄの回折格子溝の数Ｎと有効半径Ｈの適切な範囲を規定する条件式である。この条件式（６）の下限値を下回ると、軸上色収差はｄ線とｇ線で色消しした際に、Ｃ線とＦ線で色消し不足となる（二次スペクトル）。一方、条件式（６）の上限値を上回ると、軸上色収差はｄ線とｇ線で色消しした際に、Ｃ線とＦ線で色消し過剰となる（二次スペクトル）。また、回折光学素子ＧＤに形成された回折格子溝の最小ピッチ幅が小さくなり、製造上の精度を確保するのが困難となる。
【００３６】
さらに、この顕微鏡対物レンズＯＬは、回折光学素子ＧＤ中の２つの回折素子要素のうち、屈折率が低くアッベ数が小さい方の回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ１、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、回折光学素子中の２つの回折素子要素のうち、屈折率が高くアッベ数が大きい方の回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ２、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次の条件式（７）〜（１０）を満足することが望ましい。
【００３７】
ｎｄ１ ≦ １．５４ （７）
０．０１４５ ≦ ｎＦ１−ｎＣ１ （８）
１．５５ ≦ ｎｄ２ （９）
ｎＦ２−ｎＣ２ ≦ ０．０１３ （１０）
【００３８】
条件式（７）〜（１０）は、回折光学素子ＧＤを構成する２つの回折素子要素の材質の屈折率と、Ｆ線及びＣ線に対する分散（ｎＦ−ｎＣ）をそれぞれ規定するものである。これらの条件式を満足することで、より良い性能で異なる２つの回折素子要素を密着接合させて回折光学面Ｄを形成することができ、これにより、ｇ線からＣ線までの広波長域において９０％以上の回折効率を実現することができる。なお、このような光学材料としての樹脂の例としては、例えば特願２００４−３６７６０７号公報、特願２００５−２３７５７３号公報等に記載されている。各条件式（７）〜（１０）の上限値または下限値を超えると、本実施の形態に係る色消しレンズ系における回折光学素子ＧＤは、広波長域において９０％以上の回折効率を得ることが困難になり、密着複層型回折光学素子の利点を維持することが困難になってしまう。
【実施例】
【００３９】
以下に、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの４つの実施例を示すが、各実施例において、回折光学素子ＧＤに形成された回折光学面Ｄの位相差は、通常の屈折率と後述する非球面式（１１）とを用いて行う超高屈折率法により計算した。超高屈折率法とは、非球面形状と回折光学面の格子ピッチとの間の一定の等価関係を利用するものであり、本実施例においては、回折光学面Ｄを超高屈折率法のデータとして、すなわち、後述する非球面式（１１）及びその係数により示している。なお、本実施例では収差特性の算出対象として、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線を選んでいる。本実施例において用いられたこれらｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の波長と、各スペクトル線に対して設定した超高屈折率法の計算に用いるための屈折率の値を次の表１に示す。
【００４０】
（表１）
波長 屈折率（超高屈折率法による）
ｄ線 587.562ｎｍ 10001.0000
Ｃ線 656.273ｎｍ 11170.4255
Ｆ線 486.133ｎｍ 8274.7311
ｇ線 435.835ｎｍ 7418.6853
【００４１】
各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、高さｙにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（頂点曲率半径）をｒとし、円錐定数をκとし、ｎ次の非球面係数をＡnとしたとき、以下の式（１１）で表される。なお、以降の実施例において、「Ｅ−ｎ」は「×１０-n」を示す。
【００４２】
Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１−κ×ｙ2／ｒ2）1/2｝
＋Ａ2×ｙ2＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6＋Ａ8×ｙ8＋Ａ10×ｙ10 （１１）
【００４３】
なお、各実施例において、回折光学面が形成されたレンズ面には、表中の面番号の右側に＊印を付しており、非球面式（１１）は、この回折光学面の性能の諸元を示している。
【００４４】
また、以下の各実施例における顕微鏡対物レンズＯＬ１〜ＯＬ４は、無限遠補正型のものであり、図９に示す構成であって、表２に示す諸元を有する結像レンズＩＬとともに使用される。なお、この表２において、第１欄ｍは物体側からの各光学面の番号を、第２欄ｒは各光学面の曲率半径を、第３欄ｄは各光学面から次の光学面までの光軸上の距離を、第４欄ｎｄはｄ線に対する屈折率を、そして、第５欄νｄはアッベ数をそれぞれ示している。ここで、空気の屈折率1.00000は省略してある。この諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。
【００４５】
（表２）
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 75.043 5.10 1.62280 57.03
2 -75.043 2.00 1.74950 35.19
3 1600.580 7.50
4 50.256 5.10 1.66755 41.96
5 -84.541 1.80 1.61266 44.40
6 36.911
【００４６】
なお、この結像レンズＩＬは、物体側から順に、両凸レンズＬ２１と両凹レンズＬ２２とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズＬ２３と両凹レンズＬ２４とを接合した接合レンズから構成される。
【００４７】
［第１実施例］
上述の説明で用いた図１は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ１を示している。この顕微鏡対物レンズＯＬ１は、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ１１とから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ４と回折光学面Ｄを含み物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ形状の回折光学素子ＧＤ、及び、両凸レンズＬ９と両凹レンズＬ１０とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２１から構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と両凹レンズＬ１２とを接合した接合レンズ成分ＣＬ３１から構成される。このように、この第１実施例においては、第３レンズ群Ｇ３を構成する色補正レンズ成分ＣＬ３１は、２つのレンズを接合した接合レンズ成分として構成されている。
【００４８】
また、回折光学素子ＧＤは、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ５、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ６，Ｌ７、及び、像側に凹面を向けた平凹レンズＬ８がこの順で接合され、光学部材Ｌ６，Ｌ７の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤは、密着複層型の回折光学素子である。
【００４９】
このように図１に示した第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ１の諸元を表３に示す。なお、この表３において、ｆは顕微鏡対物レンズＯＬ１の全系の焦点距離を、ＮＡは開口数を、βは倍率をそれぞれ示している。また、ｄ０は標本から最も物体側にある最初のレンズ（レンズＬ１）の最も物体側に位置し、負の屈折力を有するレンズ面（第１面）の頂点までの光軸上の距離を示している。ここで、この負の屈折力を有するレンズ面は、この第１実施例を含む以降の実施例において、第１面である。また、ｈは回折光学面Ｄを通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さを示し、ｆ１は第１レンズ群Ｇ１の焦点距離を示し、ｆ２は第２レンズ群Ｇ２の焦点距離を示し、ｆ１２は第１及び第２レンズ群Ｇ１，Ｇ２の合成焦点距離を示し、ｆ３は第３レンズ群Ｇ３の焦点距離を示し、Ｎは回折光学素子ＧＤにおける回折光学面Ｄの回折格子溝の数を示し、Ｈは、この回折光学面の有効半径を示す。また、前述の如く、本第１実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の物体側の面（第１面）と両凹レンズＬ１２の像側の面（第１８面）である。
【００５０】
また、第１欄ｍに示す各光学面の番号（右の＊は回折光学面として形成されているレンズ面を示す）は、図１に示した面番号１〜１８に対応している。また、第２欄ｒにおいて、曲率半径0.000は平面を示している。また、回折光学面の場合は、第２欄ｒにベースとなる非球面の基準となる球面の曲率半径を示し、超高屈折率法に用いるデータは非球面データとして諸元表内に示している。さらに、この表３には、上記条件式（１）〜（１０）に対応する値、すなわち、条件対応値も示している。これらの諸元表の説明は、以降の実施例においても同様である。
【００５１】
なお、以下の全ての諸元において掲載される曲率半径ｒ、面間隔ｄ、全系の焦点距離ｆその他長さの単位は、特記の無い場合、一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることはなく、他の適当な単位を用いることもできる。
【００５２】
（表３）
ｆ＝10.076
ＮＡ＝0.35
β＝20x
ｄ０＝25.95
ｈ＝0.54
ｆ１＝23.106
ｆ２＝52.842
ｆ１２＝16.215
ｆ３＝-12.744
Ｎ＝39
Ｈ＝9.11
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 -100.000 3.00 1.75500 52.29
2 -22.783 0.20
3 46.962 4.70 1.49782 82.52
4 -25.699 1.20 1.71736 29.52
5 -44.046 0.20
6 26.111 1.30 1.75692 31.59
7 16.131 4.10 1.49782 82.52
8 0.000 0.20 1.55690 50.17
9 0.000 0.00 10001.00000 -3.45
10* 0.000 0.20 1.52760 34.71
11 0.000 2.00 1.51680 64.12
12 316.639 0.20
13 20.449 3.80 1.49782 82.52
14 -58.825 1.40 1.72342 37.94
15 46.452 12.00
16 -35.297 2.00 1.84666 23.78
17 -9.400 1.00 1.72916 54.66
18 11.185
回折光学面データ
第１０面 κ＝1.0000 Ａ2＝-2.77779E-08 Ａ4＝5.65073E-14
Ａ6＝-2.12592E-16 Ａ8＝-1.96429E-19 Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.00029
（２）｜ｈ／ｆ｜＝ 0.05
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝ 1.61
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝ 1.27
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝ 5.24
（６）Ｎ／Ｈ＝ 4.28
（７）ｎｄ１＝ 1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝ 0.015
（９）ｎｄ２＝ 1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝ 0.011
【００５３】
なお、表３に示した条件対応値のうち、条件式（１）は、第１面の曲率半径Ｒとその前後の媒質のｄ線に対する屈折率ｎ１，ｎ２とから算出された値である。また、条件式（７），（８）は第１０面の値に相当し、条件式（９），（１０）は第８面の値に相当する。このように、第１実施例では上記条件式（１）〜（１０）は全て満たされていることが分かる。図２に、この第１実施例におけるｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。これらの収差図のうち、球面収差図は開口数ＮＡに対する収差量を示し、非点収差図及び倍率色収差は像高Ｙに対する収差量を示し、コマ収差図は、像高Ｙが１２．４ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。また、球面収差図、倍率色収差図及びコマ収差図において、実線はｄ線を示し、点線はＣ線を示し、一点鎖線はＦ線を示し、二点鎖線はｇ線を示している。さらに、非点収差図において、実線は各波長に対するサジタル像面を示し、破線は各波長に対するメリジオナル像面を示している。これらの諸収差図の説明は以降の実施例においても同様である。この図２に示す各収差図から明らかなように、第１実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
【００５４】
［第２実施例］
次に、第２実施例として、図３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ２について説明する。この図３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ２も、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、及び、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ１１から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ４と、両凹レンズＬ５と、回折光学面Ｄを含む両凸レンズ形状の回折光学素子ＧＤとを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２１、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１０と両凸レンズＬ１１と両凹レンズＬ１２とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２２で構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と両凹レンズＬ１４とを接合した接合レンズ成分ＣＬ３１から構成される。このように、この第２実施例においては、第３レンズ群Ｇ３を構成する色補正レンズ成分ＣＬ３１は、２つのレンズを接合した接合レンズ成分として構成されている。また、本第２実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と正メニスカスレンズＬ１３の物体側の面（第１８面）である。
【００５５】
また、この第２実施例に係る回折光学素子ＧＤも密着複層型の回折光学素子であって、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ６、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ７，Ｌ８、及び、像側に凸面を向けた平凸レンズＬ９がこの順で接合され、光学部材Ｌ７，Ｌ８の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。
【００５６】
この図３に示した第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ２の諸元を表４に示す。なお、表４に示す面番号は図３に示した面番号１〜２０と一致している。
【００５７】
（表４）
ｆ＝4.005
ＮＡ＝0.45
β＝50x
ｄ０＝17.83
ｈ＝0.54
ｆ１＝19.146
ｆ２＝51.432
ｆ１２＝12.025
ｆ３＝-7.889
Ｎ＝25
Ｈ＝8.25
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 -57.300 3.00 1.77250 49.62
2 -17.338 0.20
3 86.481 3.50 1.60300 65.47
4 -27.000 1.20 1.62374 47.04
5 -41.645 0.20
6 20.575 5.20 1.43385 95.25
7 -26.714 1.00 1.61340 44.27
8 14.002 5.00 1.59240 68.33
9 0.000 0.20 1.55690 50.17
10 0.000 0.00 10001.00000 -3.45
11* 0.000 0.20 1.52760 34.71
12 0.000 2.00 1.60300 65.47
13 -46.301 0.20
14 13.584 1.50 1.62374 47.04
15 7.271 6.00 1.43385 95.25
16 -16.966 1.00 1.74950 35.27
17 35.143 12.90
18 -12.687 1.70 1.80810 22.76
19 -4.450 0.80 1.60300 65.47
20 5.751
回折光学面データ
第１１面 κ＝1.0000 Ａ2＝-2.12762E-08 Ａ4＝6.05843E-14
Ａ6＝-1.82066E-16 Ａ8＝-1.96429E-19 Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.00076
（２）｜ｈ／ｆ｜＝0.14
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝3.00
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝1.97
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝12.84
（６）Ｎ／Ｈ＝3.03
（７）ｎｄ１＝1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝0.015
（９）ｎｄ２＝1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝0.011
【００５８】
なお、表４に示した条件対応値のうち、条件式（１）は、第１面の曲率半径Ｒとその前後の媒質のｄ線に対する屈折率ｎ１，ｎ２とから算出された値である。また、条件式（７），（８）は第１１面の値に相当し、条件式（９），（１０）は第９面の値に相当する。このように、第２実施例では上記条件式（１）〜（１０）は全て満たされていることが分かる。図４にこの第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ２の球面収差、非点収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。なお、この図４に示すコマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。この各収差図から明らかなように、この第２実施例でも、収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００５９】
［第３実施例］
次に、第３実施例として、図５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ３について説明する。この図５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ３も、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２、及び、両凸レンズＬ３と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ４とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ１１から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、回折光学面Ｄを含む両凸レンズ形状の回折光学素子ＧＤと両凹レンズＬ９と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１０とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２１、両凸レンズＬ１１と両凹レンズＬ１２とを接合した接合レンズＣＬ２２、及び、物体面側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１３と両凸レンズＬ１４と両凹レンズＬ１５とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２３で構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹レンズＬ１６と両凸レンズＬ１７と両凹レンズＬ１８とを接合した接合レンズ群ＣＬ３１から構成される。このように、この第３実施例においては、第３レンズ群Ｇ３を構成する色補正レンズ成分ＣＬ３１は、３つのレンズを接合した接合レンズ成分として構成されている。また、本第３実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と両凹レンズＬ１６の物体側の面（第２３面）である。
【００６０】
また、この第３実施例に係る回折光学素子ＧＤも密着複層型の回折光学素子であって、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ５、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ６，Ｌ７、及び、像側に凸面を向けた平凸レンズＬ８がこの順で接合され、光学部材Ｌ６，Ｌ７の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。
【００６１】
この図５に示した第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ３の諸元を表５に示す。なお、表５に示す面番号は図５に示した面番号１〜２６と一致している。
【００６２】
（表５）
ｆ＝2.003
ＮＡ＝0.7
β＝100x
ｄ０＝8.824
ｈ＝0.84
ｆ１＝12.897
ｆ２＝117.192
ｆ１２＝7.192
ｆ３＝-6.687
Ｎ＝43
Ｈ＝10.04
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 -12.140 3.05 1.78800 47.38
2 -8.907 0.10
3 -35.273 3.65 1.49782 82.52
4 -15.323 0.10
5 37.000 5.80 1.49782 82.52
6 -19.000 1.40 1.61340 44.26
7 -28.903 0.10
8 28.628 3.00 1.60300 65.47
9 0.000 0.20 1.55690 50.17
10 0.000 0.00 10001.00000 -3.45
11* 0.000 0.20 1.52760 34.71
12 0.000 3.20 1.49782 82.52
13 -27.000 1.20 1.61340 44.27
14 17.614 5.00 1.49782 82.52
15 2747.644 0.20
16 20.683 4.70 1.49782 82.52
17 -29.639 1.00 1.67270 32.11
18 110.800 0.20
19 12.594 1.65 1.72047 34.71
20 5.909 5.30 1.49782 82.52
21 -13.696 1.00 1.61340 44.27
22 11.538 10.50
23 -7.015 0.80 1.71300 53.89
24 5.609 2.00 1.80518 25.43
25 -3.931 0.70 1.61340 44.26
26 5.858
回折光学面データ
第１１面 κ＝1.0000 Ａ2＝-2.50000E-08 Ａ4＝6.08882E-14
Ａ6＝-2.46978E-16 Ａ8＝-1.96414E-19 Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.0074
（２）｜ｈ／ｆ｜＝0.42
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝3.59
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝3.34
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝58.51
（６）Ｎ／Ｈ＝4.28
（７）ｎｄ１＝1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝0.015
（９）ｎｄ２＝1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝0.011
【００６３】
なお、表５に示した条件対応値のうち、条件式（１）は、第１面の曲率半径Ｒとその前後の媒質のｄ線に対する屈折率ｎ１，ｎ２とから算出された値である。また、条件式（７），（８）は第１１面の値に相当し、条件式（９），（１０）は第９面の値に相当する。このように、第３実施例では上記条件式（１）〜（１０）は全て満たされていることが分かる。図６にこの第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ３の球面収差、非点収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。なお、この図６に示すコマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。この各収差図から明らかなように、この第３実施例でも、収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００６４】
［第４実施例］
最後に、第４実施例として、図７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ４について説明する。この図７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ４も、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ１１から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ４と両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２１、回折光学面Ｄを含む平板形状の回折光学素子ＧＤ、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１と両凸レンズＬ１２と両凹レンズＬ１３とを接合した接合レンズ成分（色消しレンズ成分）ＣＬ２２から構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と両凹レンズＬ１５とを接合した接合レンズ成分ＣＬ３１から構成される。このように、この第４実施例においては、第３レンズ群Ｇ３を構成する色補正レンズ成分ＣＬ３１は、２つのレンズを接合した接合レンズ成分として構成されている。また、本第４実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と正メニスカスレンズＬ１４の物体側の面（第２０面）である。
【００６５】
また、この第４実施例に係る回折光学素子ＧＤも密着複層型の回折光学素子であって、平板状の光学ガラスＬ７、それぞれ異なる樹脂材料から形成された平板状の２個の光学部材Ｌ８，Ｌ９、及び、平板状の光学ガラスＬ１０がこの順で接合され、光学部材Ｌ８，Ｌ９の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。
【００６６】
この図７に示した第４実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ４の諸元を表６に示す。また、表６に示す面番号は図７に示した面番号１〜２２と一致している。
【００６７】
（表６）
ｆ＝ 4.014
ＮＡ＝ 0.45
β＝50x
ｄ０＝ 17.83
ｈ＝0.48
ｆ１＝ 18.136
ｆ２＝ 74.682
ｆ１２＝11.633
ｆ３＝ -8.683
Ｎ＝61
Ｈ＝7.6
ｍ ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 -57.300 3.00 1.80440 39.57
2 -17.390 0.20
3 71.472 3.50 1.60300 65.47
4 -24.538 1.20 1.62004 36.24
5 -39.899 0.20
6 30.223 5.20 1.60300 65.47
7 -19.420 1.00 1.64769 33.79
8 26.032 4.50 1.60300 65.47
9 -200.000 0.30
10 0.000 1.00 1.51680 64.12
11 0.000 0.20 1.55690 50.17
12 0.000 0.00 10001.00000 -3.45
13* 0.000 0.20 1.52760 34.71
14 0.000 1.50 1.51680 64.12
15 0.000 0.30
16 15.092 1.50 1.67003 47.25
17 7.250 6.00 1.49782 82.52
18 -14.111 1.00 1.71700 47.93
19 28.782 12.50
20 -14.824 1.80 1.80518 25.43
21 -4.550 1.85 1.60300 65.47
22 5.911
回折光学面データ
第１５面 κ＝1.0000 Ａ2＝-6.24941E-08 Ａ4＝1.04769E-13
Ａ6＝-1.68555E-16 Ａ8＝-1.96387E-19 Ａ10＝0.00000E+00
条件対応値
（１）｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜＝0.00079
（２）｜ｈ／ｆ｜＝0.12
（３）｜ｆ１２／ｆ｜＝2.90
（４）｜ｆ３／ｆ｜＝2.16
（５）｜ｆ２／ｆ｜＝18.61
（６）Ｎ／Ｈ＝8.03
（７）ｎｄ１＝1.52760
（８）ｎＦ１−ｎＣ１＝0.015
（９）ｎｄ２＝1.55690
（１０）ｎＦ２−ｎＣ２＝0.011
【００６８】
なお、表６に示した条件対応値のうち、条件式（１）は、第１面の曲率半径Ｒとその前後の媒質のｄ線に対する屈折率ｎ１，ｎ２とから算出された値である。また、条件式（７），（８）は第１３面の値に相当し、条件式（９），（１０）は第１１面の値に相当する。このように、第４実施例では上記条件式（１）〜（１０）は全て満たされていることが分かる。図８にこの第４実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ４の球面収差、非点収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。なお、この図８に示すコマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。この各収差図から明らかなように、この第４実施例でも、収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】第１実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図２】上記第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図３】第２実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図４】上記第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図５】第３実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図６】上記第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図７】第４実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図８】上記第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図９】上記顕微鏡対物レンズとともに用いられる結像レンズのレンズ構成図である。
【符号の説明】
【００７０】
ＯＬ（ＯＬ１〜ＯＬ４） 顕微鏡対物レンズ
Ｇ１ 第１レンズ群 Ｇ２ 第２レンズ群 Ｇ３ 第３レンズ群
ＧＤ 回折光学素子
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群は、最も物体側に位置し負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分と、少なくとも１つ以上の、合成で正の屈折力を有する接合レンズ成分とを有し、
前記第２レンズ群は、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面を有する回折光学素子と、少なくとも１つ以上の接合レンズ成分とを有し、
前記第３レンズ群は、少なくとも１つ以上の合成で負の屈折力を有する色補正レンズ成分を有し、且つ、当該第３レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されており、
前記第１レンズ群に設けられた前記正レンズ成分の前記負の屈折力を有する面の曲率半径をＲとし、当該負の屈折力を有する面の物体側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１、像側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ２とし、前記負の屈折力を有する面の頂点から物体までの光軸上の距離をｄ０としたとき、次式
｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜ ＜ ０．０１
の条件を満足し、
全系の焦点距離をｆとし、前記回折光学面を通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さをｈとしたとき、次式
０．０５ ＜ ｜ｈ／ｆ｜
の条件を満足するように構成された顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
全系の焦点距離をｆとし、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との合成焦点距離をｆ１２としたとき、次式
１．５ ≦ ｜ｆ１２／ｆ｜ ≦ ４
の条件を満足し、
全系の焦点距離をｆとし、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３としたとき、次式
１ ≦ ｜ｆ３／ｆ｜ ≦ ３．５
の条件を満足する請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
全系の焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
５ ≦ ｜ｆ２／ｆ｜
の条件を満足する請求項１または２に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記回折光学素子における前記回折光学面の回折格子溝の数をＮとし、当該回折光学面の有効半径をＨとしたとき、次式
２ ≦ Ｎ／Ｈ ≦ １０
の条件を満足する請求項１〜３いずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記回折光学素子中の前記２つの回折素子要素のうち、屈折率が低くアッベ数が小さい方の前記回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ１、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、前記回折光学素子中の前記２つの回折素子要素のうち、屈折率が高くアッベ数が大きい方の前記回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ２、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式
ｎｄ１ ≦ １．５４
０．０１４５ ≦ ｎＦ１−ｎＣ１
１．５５ ≦ ｎｄ２
ｎＦ２−ｎＣ２ ≦ ０．０１３
の条件を満足する請求項１〜４いずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項１】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群は、最も物体側に位置し負の屈折力を有するレンズ面を含む正レンズ成分と、少なくとも１つ以上の、合成で正の屈折力を有する接合レンズ成分とを有し、
前記第２レンズ群は、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面を有する回折光学素子と、少なくとも１つ以上の接合レンズ成分とを有し、
前記第３レンズ群は、少なくとも１つ以上の合成で負の屈折力を有する色補正レンズ成分を有し、且つ、当該第３レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されており、
前記第１レンズ群に設けられた前記正レンズ成分の前記負の屈折力を有する面の曲率半径をＲとし、当該負の屈折力を有する面の物体側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１、像側の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ２とし、前記負の屈折力を有する面の頂点から物体までの光軸上の距離をｄ０としたとき、次式
｜（ｎ２−ｎ１）／（Ｒ・ｄ０）｜ ＜ ０．０１
の条件を満足し、
全系の焦点距離をｆとし、前記回折光学面を通る最大画角に対応する光束の主光線の光軸からの高さをｈとしたとき、次式
０．０５ ＜ ｜ｈ／ｆ｜
の条件を満足するように構成された顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
全系の焦点距離をｆとし、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との合成焦点距離をｆ１２としたとき、次式
１．５ ≦ ｜ｆ１２／ｆ｜ ≦ ４
の条件を満足し、
全系の焦点距離をｆとし、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３としたとき、次式
１ ≦ ｜ｆ３／ｆ｜ ≦ ３．５
の条件を満足する請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
全系の焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
５ ≦ ｜ｆ２／ｆ｜
の条件を満足する請求項１または２に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記回折光学素子における前記回折光学面の回折格子溝の数をＮとし、当該回折光学面の有効半径をＨとしたとき、次式
２ ≦ Ｎ／Ｈ ≦ １０
の条件を満足する請求項１〜３いずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記回折光学素子中の前記２つの回折素子要素のうち、屈折率が低くアッベ数が小さい方の前記回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ１、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ１、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ１とし、前記回折光学素子中の前記２つの回折素子要素のうち、屈折率が高くアッベ数が大きい方の前記回折素子要素の材料のｄ線に対する屈折率をｎｄ２、Ｆ線に対する屈折率をｎＦ２、Ｃ線に対する屈折率をｎＣ２としたとき、次式
ｎｄ１ ≦ １．５４
０．０１４５ ≦ ｎＦ１−ｎＣ１
１．５５ ≦ ｎｄ２
ｎＦ２−ｎＣ２ ≦ ０．０１３
の条件を満足する請求項１〜４いずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１０−６６４４５（Ｐ２０１０−６６４４５Ａ）
【公開日】平成２２年３月２５日（２０１０．３．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２３１９５５（Ｐ２００８−２３１９５５）
【出願日】平成２０年９月１０日（２００８．９．１０）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年３月２５日（２０１０．３．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月１０日（２００８．９．１０）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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