【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を長期に亘り安定かつ効率的に再生処理する。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液に酸を添加してｐＨ８〜９．５に調整した後、ＭＦ膜モジュール１で膜分離処理し、透過液を分画分子量２００〜９００のナノフィルトレーション（ＮＦ）膜モジュール２により通液温度４０〜８０℃で膜分離処理し、透過液を活性炭塔３で処理する。ＮＦ膜の通液温度を４０〜８０℃とすることにより、被処理液の粘性を下げ、操作圧力を抑えて透過液量を高める。ＮＦ膜の透過液量を高めると、ＮＦ膜の透過液側にレジスト剥離物がリークするが、このレジスト剥離物は後段の活性炭処理で除去することができ、ＴＡＡＨ純度の高い再生液を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】薬剤濃度の変動が少ない薬剤水溶液を供給することができる薬剤溶解供給装置を提供する。
【解決手段】槽３は、下部の一方の側面部に水の流入口３ａを有し、他方の側面部に水の流出口３ｂを有している。流入口３ａ及び流出口３ｂは、槽３の底部と同レベルに設けられている。流入口３ａ及び流出口３ｂには、それぞれ固形薬剤Ａの流出防止用のメッシュ４が設けられている。流入口３ａには、ポンプ２からの水が定流量弁６を介して導入可能とされている。槽３の上部には、空気の導入口３ｅが設けられ、ブロワ５からの空気が槽３内に導入可能とされている。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離液成分含有水から効率よくレジスト剥離液を回収することができるレジスト剥離液の回収方法を提供する。
【解決手段】レジスト剥離液含有水からレジスト剥離液を回収する方法において、レジスト剥離液含有水を疎水性ゼオライトよりなる吸着材４と接触させて、レジスト剥離液及び一部の水分を該吸着材に吸着させ、次いで、該吸着材から一部の水を脱着（第１脱着塔１０における第１回脱着）させ、その後、該吸着材に対しレジスト剥離液の沸点よりも温度の高い過熱水蒸気を接触させて該吸着材から該レジスト剥離液を脱着（第２脱着塔２０における第２回脱着）させ、この第２回脱着の脱着液を蒸留して該レジスト剥離液を分取して回収することを特徴とするレジスト剥離液の回収方法。 （もっと読む）

【課題】清澄な水を系外へ排出せず、全体として水を効率的に回収することの可能な脱イオン水製造システムを提供する。
【解決手段】逆浸透膜装置(23)からの濃縮水の一部をタンク(21)に循環させるための濃縮水返送管(6)と、残部を系外へ排出するための濃縮水排出管(7)と、濃縮水の水質を測定する水質測定手段(11)と、該水質測定手段による濃縮水の水質の測定値に基づき濃縮水の濃縮水返送管への循環量と濃縮水排出管への排出量とを調整する循環量制御手段(8,30)とを備える。 （もっと読む）

【課題】イオン交換装置のカラム等の容器にイオン交換樹脂を簡単に、また不純物を混入させることなく充填することができるイオン交換樹脂パッケージを提供する。
【解決手段】イオン交換樹脂を収容したバッグをアウタケース内に格納したイオン交換樹脂パッケージであって、該バッグの上下の一方に設けられた樹脂出入口及び他方に設けられた注水口と、該注水口に着脱可能に装着されたキャップと、該樹脂出入口に設けられたシールと、を備えてなるイオン交換樹脂パッケージ。樹脂出入口は、出入口本体と、該出入口本体を囲む鞘管とを有した二重管構造となっており、前記シールは該鞘管の先端面に接着され、該出入口本体の先端面には非接着となっている。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工場排水のように低分子有機化合物を主成分とする排水であっても、汚泥濃度を高く保って安定した運転を行うことができる有機性排水の処理方法を提供する。
【解決手段】有機性排水の流入する曝気槽１と、曝気槽１の汚泥を分離膜４で固液分離する有機性排水の処理方法において、該有機性排水中の全有機物に対するモノマー有機物の割合が７０％以上であり、該有機性排水に酵母エキス、魚肉エキス、牛肉エキス、野菜エキス、及び糖蜜の少なくとも１種を添加する。 （もっと読む）

【課題】冷凍システムの冷却水ラインの汚れを短期間で求めることができる冷凍システムにおける冷却水ラインの汚れ評価方法を提供する。
【解決手段】圧縮機２、凝縮器３及び蒸発器５を備えた圧縮式冷凍機、又は再生器１１、凝縮器１２、蒸発器１３及び吸収器１４を有した吸収式冷凍機を有する冷凍システムにおいて、凝縮器３，１２に冷却水を循環流通させる冷却水ラインの汚れを評価する。高負荷時又は定常運転時における該冷却水ラインの洗浄前後における該冷凍システムの消費エネルギー指標値と、冷却水ラインの洗浄前後における前記蒸発器又は凝縮器の負荷をそれぞれ計測し、この計測結果に基づいて冷却水ラインの汚れを評価する。 （もっと読む）

【課題】油の吸着性能に優れると共に、不燃性に優れ、火種による着火、燃焼が防止された不燃性油吸着材を提供する。
【解決手段】少なくとも一面が無機物質で被覆されており、該無機物質の被覆層に、下記（Ｉ）又は（II）の条件を満たす穴が１つ設けられている、又は前記穴が２個以上設けられており、隣接する穴同士の間隔が３０ｍｍ以上である不燃性油吸着材。油吸着材の表面を、特定の条件を満たす穴を有する無機物質の被覆層で覆うことにより、この穴から油を円滑に吸着すると共に、無機物質の被覆層で着火、燃焼を防止することができる。
（Ｉ） 面積が２１０ｍｍ^２以下
（II） 幅が５ｍｍ以下の長尺状 （もっと読む）

【課題】塔内部におけるアニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂の逆再生が確実に防止され、再生直後でも高水質の脱イオン水を生産することができるイオン交換装置とそのための塔体を提供する。
【解決手段】再生時には、弁１２，１７を閉、弁７，１０を開とし、上部給排配管３からアルカリ溶液を供給すると共に、第３の連通配管８から酸溶液を供給する。アルカリ溶液は、集配水部材４、不活性樹脂２２、アニオン交換樹脂２１、集配水部材６、連通配管５、弁７の順に流れ、アニオン交換樹脂２１が再生される。酸溶液は、集配水部材９、不活性樹脂３２、アルカリ交換樹脂３１、集配水部材１４、下部給排配管１３の順に流れ、カチオン交換樹脂３１が再生される。再生後のリンス時には配管５、１３から給水し、配管３，８から洗浄排水を排出すると共に、弁１７を開とし、塔頂の抜出管１８からも排出し、塔頂部の薬抜きを促進させる。 （もっと読む）

【課題】開放循環式冷却水系等のカルシウム硬度の低い水系に接する銅系部材の腐食を効果的に抑制する。
【解決手段】カルシウム硬度１００ｍｇ／Ｌ ａｓ ＣａＣＯ₃未満の水系に、リン含有化合物と、カルボン酸基含有共重合体と、酸化性物質と、アゾール系銅用防食剤を添加して、該水系に接する銅系部材の腐食を抑制する。ＤＰＤ法にて試薬添加１０秒後の発色が遊離塩素濃度０．５ｍｇ／Ｌ ａｓ Ｃｌ₂以下かつ３０秒後の発色が遊離塩素濃度１ｍｇ／Ｌ ａｓ Ｃｌ₂以下に相当するように酸化性物質濃度を管理し、アゾール系銅用防食剤を、下記（１）式で算出されるアゾール系銅用防食剤必要濃度（ｍｇ／Ｌ）以上に添加する。
アゾール系銅用防食剤必要濃度（ｍｇ／Ｌ）
＝Ｐ×０．２＋Ｓ×０．４＋Ｏ×１０ （１）
Ｐ：リン含有化合物濃度（ｍｇ／Ｌ ａｓ ＰＯ₄^3-）
Ｓ：カルボン酸基含有共重合体濃度（ｍｇ／Ｌ ａｓ 固形分）
Ｏ：ＤＰＤ法の試薬添加１０秒後の発色に相当する遊離塩素濃度としての酸化性
物質濃度（ｍｇ／Ｌ ａｓ Ｃｌ₂） （もっと読む）