【課題】故障が抑制され、長寿命であり、かつ酸窒化処理工程の処理効率を維持しつつ、排ガスをモニターすることができるガス検出装置およびそれを備えた酸窒化処理設備を提供する。
【解決手段】半導体の製造に用いる酸窒化処理設備１のガス検出装置３０において、排ガスを希釈するための希釈用ガスを搬送する希釈用ガス流路３３、および処理炉１０から排出された排ガスと希釈用ガスとを混合して混合ガスを生成する混合ガス流路３５を設ける。これにより、希釈用ガスにより排ガスを希釈して、窒素酸化物を検出するセンサ部３６に一定時間に導入される窒素酸化物や硝酸ガスの量を低減し、ガス検出装置の故障を抑制し、長寿命化を図り、かつ酸窒化処理工程の処理効率を維持しつつ、排ガスのモニターを可能にする。 （もっと読む）

【課題】被処理物の処理速度を高めて処理効率を向上させることができるベルト搬送式熱処理装置を提供する。
【解決手段】無端のメッシュベルト２は、第１ローラ２１と第２ローラ２２との間を略水平に延びる往路部分２０Ａを有している。この往路部分２０Ａに沿って、被処理物を載置して投入する投入部４と、被処理物を加熱処理する炉３とを設けている。また、炉３の下方に、往路部分２０Ａの末端からベルト走行方向が下方に転向された復路部分２０Ｂを有している。この復路部分２０Ｂに沿って、メッシュベルト２を駆動する駆動ユニット５と、メッシュベルト２を冷却する冷却ユニット６とを設けている。冷却ユニット６を、駆動ユニット５よりもベルト走行方向上流側に配置している。 （もっと読む）

【課題】搬送全工程の所要時間を短縮することができる搬送ロボット装置を提供する。
【解決手段】制御装置と、この制御装置とのハンドシェイクにより指示されるコマンドに対応した処理を実行可能であって、現コマンドの実行中に並行して次のコマンドを読み込み、これを、現コマンドに引き続いて実行する搬送ロボットとを備えた搬送ロボット装置とする。この場合、現コマンドの実行中に並行して次のコマンドが読み込まれ、その後実行される、という過程が順次行われることにより、一度のハンドシェイクで複数コマンドを連続して実行することができる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板等の基板全体を処理温度まで迅速に加熱することができる基板の熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理炉２の炉口６からプロセスチューブ４内に搬入・搬出されるボート７に保持されたガラス基板Ｗの中央部と、プロセスチューブ４の外側に配置されたヒータ５による輻射熱を断熱する遮熱板１３ａとの間に、輻射熱を吸収する吸熱フィン１４を配置する。 （もっと読む）

【課題】ウェットガスからドライガスへの切換を迅速に行うことができ、使用ガス量を抑制することができ、更には被処理物の出し入れに伴う熱ロスを小さくすることができる加熱炉を提供する。
【解決手段】被処理物Ｗを加圧しつつ熱処理を行なうことができる加熱炉Ｈ。下面に開口部１４を有する加熱室１と、この加熱室１の開口部１４とほぼ同じ大きさの開放面２ｂを有する有底形状を呈しており、その底部２ｃが前記開口部１４から加熱室内部に突出するように加熱室内に配設された金属チャンバー２と、前記加熱室１の上方に配設されており、前記金属チャンバー２内の被処理物Ｗを加圧することができる加圧機構３と、前記被処理物Ｗを載置するテーブル４と、このテーブル４の下方に配設されており、前記加熱室１の開口部１４を閉止し得る断熱プラグ５と、前記テーブル４及び断熱プラグ５を昇降させる昇降装置６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の板状の被処理物を同時に冷却することが可能であり、各被処理物を迅速かつ均一に冷却することができる冷却装置を提供する。
【解決手段】加熱処理された被処理物Ｓを冷却用エアの吹き付けによって冷却する装置Ｃ。少なくとも１枚の板状の被処理物Ｓを立った状態で保持することができる保持具１と、この保持具１に保持された被処理物Ｓの面内方向とほぼ平行な方向に冷却用エアを供給するエア供給手段２と、前記被処理物Ｓの面内方向と冷却用エアの供給方向とのなす角度が所定の範囲内で変化するように前記保持具１を揺動させる揺動機構３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】炉内の清掃作業等の煩雑な後処理の追加やランニングコストの増加を招くことなく、開口部の開放時に低温の雰囲気の流入によるシャッタの内側面への昇華物の付着を抑制でき、処理基板の汚損を未然に防止できるようにする。
【解決手段】複数のシャッタ部材２のそれぞれの背面に、ヒータ４を装着した。ヒータ４は、ヒータ素線４１が埋設又は取り付けられた絶縁板４２の両面をマイカ等の耐熱性を有する絶縁材料４３，４４で被覆して構成されている。ヒータ４は、シャッタ部材２の背面に、例えばネジ止めされる。ヒータ４は、例えば１５０℃程度の温度以上に発熱する容量があればよい。 （もっと読む）

【課題】 熱処理容器内の全域を素早く均一な温度に昇温することができ、熱処理容器内に収納された複数枚の処理基板の全てに対して均一な熱処理を短時間で行うことができるようにする。
【解決手段】縦型炉装置１０は、第１のヒータ２の内側面２１、収納部１２の内側面１３、隔壁１４、第２のヒータ３の外側面３１を、平面視において互いに相似形である正方形状に形成し、互いの中心位置を一致させて備えている。ボート４は、収納部１２内の第１のヒータ２及び第２のヒータ３からの距離が互いに等しい４箇所のそれぞれで、処理基板Ｗの主面を内側面１３及び隔壁１４の外側面に平行にして処理基板Ｗを１０枚ずつ搭載している。処理基板Ｗは、第１のヒータ２が発生する熱によって外側面の全面を略均一に加熱され、第２のヒータ３が発生する熱によって内側面の全面を略均一に加熱される。 （もっと読む）

【課題】ワークへの煤などの付着および当該ワークの黒色化を抑制することができ、かつ従来よりも低ランニングコストでワークの焼入れを行なうことができる、焼入れ方法を提供する。
【解決手段】窒素ガスおよびメタノールを炉本体２１内に供給し、メタノールを熱分解して、３．５〜６体積％一酸化炭素ガスと０．０２〜０．１体積％二酸化炭素ガスとを含み、カーボンポテンシャルが０．４〜０．５％である雰囲気ガスを生成する。
また、炉本体２１内へのワーク４１が入ったバスケット４２の装入時から、炉本体２１内の温度が７００℃を超えるまでの間、炉本体２１内へのメタノールの供給を停止して、メタノールから生成される一酸化炭素ガスのブードア反応による煤および二酸化炭素ガスの発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 被処理物の外周部の冷却性能を維持しつつ、被処理物の中央部の冷却性能を高めることができる冷却装置を提供する。
【解決手段】 排気管４の下端に排気フード５を接続し、この排気フード５の下端に開口した取込口５ｄ１から、ガラス基板２が放熱する熱気Ａとともにガラス基板２の外周部より外側の外気Ｂ１を取り込んで、ガラス基板２の外周部を冷却する。また、排気フード５にガラス基板２の中央部へ外気Ｂ２を供給するための給気管６を取り付け、この給気管６の下端に開口した給気口６ｃ１から供給される外気Ｂ２によりガラス基板２の中央部を冷却する。 （もっと読む）