【課題】コスト高を招くことなく、コンタミの侵入を防止することができる電磁弁を提供する。
【解決手段】ノズル３１の鍔部３２の鍔部端面３３に、一端が鍔部３２の外周面６１に開口するとともに他端がノズル３１の中央穴４１の内周面６２に開口する連通溝６３を鍔部３２の周方向に延設し、鍔部端面３３を電磁部端面に面接した状態で中央穴４１を外部に連通する呼吸路６７を形成可能に構成する。連通溝６３を外側直線部７１と円弧部７２と内側直線部７３で構成し、円弧部７２に第一浅溝部８２と第二深溝部８３と第三浅溝部８４と第三深溝部９１と第三浅溝部９２を順に形成する。これにより、連通溝６３に、各深溝部８１，８３，９１，１０１で構成された段部を間隔をおいて複数設ける。 （もっと読む）

【課題】利用者の利便性を高めることができる半導体製造装置及び半導体製造装置の操作画面変更方法を提供する。
【解決手段】簡易画面設定用パスワードをキーボードから入力し（Ｓ１）、パスワード認証されると簡易画面設定モードに切り替わり簡易操作設定変更画面が表示される（Ｓ２）。簡易操作画面に操作項目を追加する場合、簡易操作画面に追加したい操作項目のボタンをタッチパネルで押下して（Ｓ３）、追加する候補として選択する（Ｓ４）。この選択状態において簡易操作画面上の追加したい位置のブランクボタンを押下した後（Ｓ５）、追加ボタンを押下することで、選択状態にある操作項目の項目データにブランクボタンの設定位置の情報を関連付けて記録し画面構成データを形成する（Ｓ６）。これにより、画面構成データの項目データを自由に変更することができる。 （もっと読む）

【課題】エア抜きを容易に行うことができるエア抜きバルブを提供する。
【解決手段】圧力センサ１１のドレンポート３１に取り付けられ、オイルに混入したエアをドレンポート３１を介して排出するバルブ本体４１を備える。バルブ本体４１に、ドレンポート３１に接続される接続路８１と、接続路８１の基端に設けられた弁室１１１と、接続路８１から弁室１１１内に流入したオイルを外部に排出するエア抜き経路１６１とを形成する。接続路８１の端部開口部１２２を開閉するボール弁１２１を弁室１１１に移動自在に設け、ボール弁１２１を移動操作する操作部１３１をバルブ本体４１のねじ穴１０３に螺入する。操作部１３１の開弁操作により接続路８１内のオイルに混入したエアを、当該オイルと共に弁室１１１を介してエア抜き経路１６１から排出可能とする。 （もっと読む）

【課題】コスト高を招くこと無く、磁気効率の低下を抑えることが可能な電磁弁を提供する。
【解決手段】コア４５とヨーク４６が連設部６３で連結された金属部品３１を形成し、その外周部に合成樹脂を密着固定してボビン８１を一体形成する。金属部品３１の内側面を座繰り加工で切削し、連設部６３の切削可能部を切削してコア４５とヨーク４６を離間した間隙部７１を形成する。連設部６３の残存部を残存してコア４５とヨーク４６を連結する連結部７２を形成し、間隙部７１と連結部７２を周方向に交互に形成する。連設部６３を外周部の合成樹脂で補強し、コア４５とヨーク４６の離間距離と同軸度を連結部７２により維持する。 （もっと読む）

【課題】吸引特性のフラット領域を拡大することができる電磁弁を提供する。
【解決手段】ソレノイド１２内のヨーク２１とコア２３をガイド２４で連結し、ヨーク２１及びコア２３内側にプランジャ３１を収容する。プランジャ３１外側面及びコア２３内側面の摺接部位で磁気受渡部を構成し、コア２３でプランジャ３１を吸引して上動する。プランジャ３１先端にプランジャ一般部７１より小径の凸部を突設して段差を形成する。コア２３基端部に突出部９１を形成してコア一般部８１より小径の小径部９２を形成する。プランジャ３１吸引開始時にプランジャ一般部７１の外側面８２とコア一般部８１の内側面３３が近接又は摺接する部位で第一吸引領域８５を形成し、プランジャ３１を吸引して移動した後に、凸部７２の外側面８２と小径部９２の内側面３３が近接又は摺接を開始する部位で第二吸引領域１０１を形成する。 （もっと読む）

【課題】エア使用量を削減することができるエアマイクロシステムを提供する。
【解決手段】エアマイクロメータ１３と測定具１４の間に電磁弁４１を設ける。空気源１１に第二レギュレータ５３を介して接続されたエアセンサ５５は、通流するエアの変化を検出して電磁弁４１へ伝達する。例えばエアセンサ５５の通流量が所定値を超えた際に、その旨を電磁弁４１へ出力すると、電磁弁４１は閉弁して測定具１４へのエアの供給を遮断する。測定具１４の支持板上面にジェットノズル１０１を設け、エアセンサ５５からのエアをジェットノズル１０１の吹出口１０２からワークの下端面へ吹き付ける。測定具１４からワークが取り外されて吹出口１０２が開放されると、エアセンサ５５のエア流量が増大するので、電磁弁４１が測定ヘッドの噴出口８４へのエアの供給を遮断する。 （もっと読む）

【課題】正確な測定を安定的に行うことができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】各カメラをＸ軸、Ｙ軸に沿って初期位置から離れる方向へ移動し（Ｓ３）、各カメラでワークを上方から撮像する（Ｓ４）。各カメラ画像にワーク内縁のエッジが検出できるまで各ステップ（Ｓ３〜Ｓ６）を繰り返す。各カメラの視野内にエッジが検出できたら、視野中心から最も近いエッジの部位から内径端を検出し（Ｓ７）、内径端と視野中心とが最短になるまで各ステップ（Ｓ７〜Ｓ９）を繰り返す。最短になったら、対を成すカメラのステージの初期位置からの移動量を加算してＸ軸及びＹ軸方向での内径を算出し（Ｓ１０）、平均化して内径寸法を求める（Ｓ１１）。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを未然に防止する。
【解決手段】ウェーハマップから良品チップの位置座標を取得し（Ｓ５）、この良品チップをピックアップポイントへ移動する（Ｓ６）。現在の行の最後の良品チップの場合（Ｓ７）、ウェーハを行方向へ移動して端に位置する不良チップをピックアップポイントへ移動し（Ｓ８）、移動中に二つの不良チップが存在したか否かのチェックと、移動したチップが不良チップであるか否かを判断する（Ｓ９）。移動中に二つの不良チップが存在し、かつ移動したチップが不良チップの場合、次列へ移行した後（Ｓ１２）、ステップＳ４へ移行し、移動中に二つの不良チップが存在しない又は移動したチップが不良チップで無い場合には、ウェーハマップと実際のチップ位置とに位置ずれが生じているため、エラー処理を行って終了する（Ｓ１１）。 （もっと読む）

【課題】ゲル状物の表面に形成されたなだらかな凹凸であっても検出することができるゲル状物の表面凹凸検査方法を提供する。
【解決手段】検査位置４１に液晶パネル７１を設け、バックライト７２からの光を液晶表示部７３でマスクして縞模様の照明をシャーレ２の底面１１側から照射したり、面発光した状態の照明をマスクすることなくシャーレ２の底面１１側から照射できるように構成する。制御装置７４は、液晶パネル７１を全面発光した状態でシャーレ２の平面画像を取得して画像解析することで、シャーレ２の分離壁１３の延在方向を検出した後、検出した分離壁１３の延在方向に合わせた縞模様を液晶パネル７１に表示して、寒天３表面４での凹凸を検査する。 （もっと読む）

【課題】搬送時やキャップ装着時にネックリングに軽微な傷が付いた場合であっても、容器側に設けられたマークの検出を可能とすることができるキャップ巻締状態検査方法を提供する。
【解決手段】検査位置７１の真上にカメラ７４の光学系レンズを配設し、光学系レンズを検査位置７１に配置された容器体２の垂直中心軸４１の上方にて垂直中心軸４１と光軸７３が一致するように配置する。光学系レンズの光軸７３上方にカメラ本体７５を配置する。搬送路６１の溝部９１内に下部照明９２を配設し、容器体２内の充填液１１に真下から光を照射して拡散し、拡散光をネックリング２２の下面５１側から照らす。容器側マーク３２とキャップ側マーク３４を同時に取得し、両位置からキャップ３の巻締角度αを検出して装着状態を検査する。 （もっと読む）