【課題】スピンカップ内周面の温度調節を容易に行うことができるウエハ洗浄乾燥装置のスピンカップを提供することを目的とする。
【解決手段】ウエハを載せるチャックテーブルの周囲に配置され、ウエハ洗浄液の飛散や流出を防止するように設けられるウエハ洗浄乾燥装置のスピンカップであって、
前記スピンカップは、内側カップと外側カップからなる２重構造で構成され、
前記内側カップと外側カップとの間には隙間が形成されて、該隙間に流体が流通可能なように構成した。 （もっと読む）

【課題】ガスケット締結体としての将来のシール性を、比較的短い期間で予測することが可能な、ガスケット締結体の長期特性予測方法を提供することを目的とする。
【解決手段】内部流体を密封するために用いられるガスケット締結体において、ガスケットと、該ガスケットを挟持するガスケット挟持体とから構成された前記ガスケット締結体の将来のシール性を、有限要素解析を用いて予測計算するガスケット締結体の長期特性予測方法であって、環境条件設定手順Ｓ１と、材料条件設定手順Ｓ２と、ＦＥＡ手順Ｓ４と、を有し、環境設定手順Ｓ１において、ガスケットの材料条件を設定する際、ガスケットの圧縮特性における温度依存性を考慮するとともに、ガスケットのクリープ特性における応力依存性を考慮するように構成した。 （もっと読む）

【課題】フッ素樹脂と強化繊維とからなり、強度に優れ、表面平滑性が高く、パーティクルが発生し難い成形体、ならびにこのような成形体の原料に適した含フッ素樹脂組成物、このような成形体の製造方法を提供すること。
【解決手段】テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体からなるフッ素樹脂繊維（Ａ）および強化繊維（Ｂ）を重量比で（Ａ）：（Ｂ）＝７０〜９０：１０〜３０の割合（但し、両者の合計は１００である。）で含んでなる含フッ素樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】強度が高く、耐薬品性に優れ、半導体等に悪影響を与える成分を発生させ難いフッ素樹脂成形体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂（Ａ）および強化繊維（Ｂ）を含有する含フッ素樹脂組成物からなる有底筒状または筒状の成形体本体１と、該成形体本体１の内表面に設けられた、ポリテトラフルオロエチレンまたはテトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体から選ばれるフッ素樹脂（Ｃ）からなるフッ素樹脂層２とを備えるフッ素樹脂成形体１０。 （もっと読む）

【課題】高温での応力緩和性および気密性が共に優れたフッ素樹脂シートを提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂と充填材とを質量比で３０〜５０：７０〜５０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含んでなる圧延フッ素樹脂層またはその積層体からなる内層と、該内層の両面に形成された、フッ素樹脂と充填材とを質量比で６０〜１００：４０〜０の割合（ただし、両者の合計は１００である。）で含んでなる圧延フッ素樹脂からなる外層とからなることを特徴とするフッ素樹脂シート。 （もっと読む）

【課題】本発明では、熱可塑性樹脂フィルムへの略垂直配向カーボンナノチューブ群の転写技術を確立することを目的とする。
【解決手段】下記工程（Ｉ）〜（ＩＩＩ）を含むことを特徴とする転写体の製造方法；
工程（Ｉ）：基板１の表面に対して略垂直に形成されているＣＮＴ群２の、該基板１の表面に接していない側の先端部２ｂを、熱可塑性樹脂フィルム３により被覆し、該フィルム３を形成している熱可塑性樹脂の軟化温度以上〜溶融温度以下の温度に加熱することによって、該先端部２ｂを該フィルム３中に埋没または該フィルムに貫通させる工程、工程（ＩＩ）：該フィルム３を冷却することによって、該先端部２ｂと該フィルム３とを接着させ、該基板１と該ＣＮＴ群２と該フィルム３とが一体となった構成物１０を得る工程、および 工程（ＩＩＩ）：該構成物１０から該基板１のみを剥離することによって、該ＣＮＴ群２と該フィルム３とが一体となった転写体１１を得る工程。 （もっと読む）

【課題】ラジカルの攻撃によるシール部材の劣化を防止すると同時に、かつ電磁波（マイクロ波）の漏洩を防止することができるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】第１弁座３６と第２弁座３８とを有し、開口部２８が形成された弁箱２６と、開口部２８を閉塞したときに、第１弁座３６に接触して開口部２８をシールするシール部材４６を有する弁体３０と、を備えたゲートバルブ装置１０であって、弁体３０に、当該弁体３０が開口部２８を閉塞したときに、第２弁座３８に接触して撓み変形し、開口部２８とシール部材４６との間の空間を遮断する遮蔽部材５８を設け、常温環境下及び高温環境下において、弁体３０が開口部を閉塞している状態で遮蔽部材５８が撓み変形しており、遮蔽部材５８と第２弁座３８との接触状態を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】応力緩和性、特に高温での応力緩和性に優れた充填材入りフッ素樹脂シートを提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂と修正モース硬度が８以上の無機充填材とを、体積比でフッ素樹脂：無機充填材＝３０〜５５：７０〜４５（ただし、両者の合計は１００である。）の割合で含有することを特徴とする充填材入りフッ素樹脂シート。 （もっと読む）

【課題】溶剤による膨潤がなく、フォトレジストなどによるパターン作製に必要なマスクを用いずに、所定の個所にのみ直接描画できる凸版印刷用凸版およびその製造方法を提供する。
【解決手段】下記工程（ｉ）および（ｉｉ）を含むことを特徴とする凸版印刷用凸版の製造方法；工程（ｉ）：フッ素樹脂からなる基材１の表面１ａに、親水化処理を施すことによって、親水化処理部２０を形成する工程、および工程（ｉｉ）：該親水化処理部２０の表面２０ｓに、レーザーアブレーション（ｌａｓｅｒ ａｂｒａｓｉｏｎ）または切削加工を施すことによって、印刷画像に対応した平面形状の凹部１ｃを形成する工程。 （もっと読む）

【課題】液体アンモニアを用いた接着方法と同等の接着力を有しつつも、厳しい安全管理が要求されず、かつ低コストであり、従来の接着方法よりも高温での連続使用を可能とする、フッ素樹脂を用いた積層体を提供する。
【解決手段】無機物および／または耐熱性有機物からなる層１と樹脂を含む層４とが、少なくともケイ素原子と酸素原子との結合を有する化合物からなる多孔質体３、または樹脂４と該化合物３とからなる多孔質体を介して接着されてなることを特徴とする。 （もっと読む）