【課題】 電極対をＹ方向に複数段に配置して成る静電偏向器を用いて、リボン状のイオンビームのＹ方向における複数位置での進行角を補正する方法を提供する。
【解決手段】 リボン状のイオンビーム２の経路に、当該経路をＸ方向において挟む電極対３２をＹ方向に複数段に配置して成る静電偏向器３０を設けておく。そして、静電偏向器３０の下流側近傍において、各電極対３２間を通過したイオンビーム２のＺ方向からの角度である進行角をそれぞれ測定し、その進行角を所定の角度に補正するのに必要な各電極対３２に印加する直流電圧をそれぞれ求め、その直流電圧を各電極対３２にそれぞれ印加する。 （もっと読む）

【課題】ビームラインを曲げることなく、かつ不所望なＸ方向の集束作用を抑えつつ、イオンビームのＹ方向における軌道状態を制御することができる偏向電磁石を提供する。
【解決手段】この偏向電磁石１０は、Ｙ方向に長いリボン状のイオンビーム２のビーム経路を挟んでＸ方向において相対向していてイオンビーム２のＹ方向の半分以上ずつをカバーする第１磁極対２０および第２磁極対３０と、両磁極対２０、３０のギャップに互いに逆向きの磁界Ｂ₁ 、Ｂ₂ を発生させるコイル４４〜４７とを備えている。かつ両磁極対２０、３０を構成する各磁極２２、３２のイオンビーム進行方向Ｚにおける長さＬ₁ 、Ｌ₂ を、Ｙ方向においてビーム経路の中心から外側に離れるに従って大きくしている。 （もっと読む）

【課題】 注入位置でのリボン状イオンビームのＹ方向におけるビーム電流密度分布の均一性を高めることができるイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 このイオン注入装置は、リボン状のイオンビーム４を発生させるイオン源２内に原料ガス３４を導入するものであってＹ方向に配列された複数のガス導入部３８と、それから導入する原料ガス３４の流量を調節する複数の流量調節器３６とを備えている。更に、イオンビーム４のＹ方向におけるビーム電流密度分布を測定するビーム測定器４６と、それによる測定情報に基づいて各流量調節器３６を制御して、注入位置でのイオンビーム４のＹ方向におけるビーム電流密度分布を均一化する制御装置５０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームと中性粒子とを分離するイオンビーム偏向器とターゲットとの間において、イオンビームの空間電荷効果によるＹ方向の発散を補償して、イオンビームの輸送効率を高める。
【解決手段】 このイオン注入装置は、Ｘ方向に走査されたイオンビーム４を磁界によって曲げ戻して平行ビーム化してリボン状の形をしているイオンビーム４を導出するビーム平行化器１４を備えている。ビーム平行化器１４は、イオンビーム４を磁界によって偏向させてイオンビーム４と中性粒子とを分離するイオンビーム偏向器を兼ねている。このビーム平行化器１４の出口近傍に、イオンビーム４が通過する空間を挟んでＹ方向において相対向して配置された複数の電極を有していて、イオンビーム４をＹ方向において絞る電界レンズ３０を設けている。 （もっと読む）

【課題】 リボン状のイオンビームを曲げる分析電磁石であって、出射時のイオンビームの形態の乱れを小さく抑えることができる分析電磁石とその関連技術を提供する。
【解決手段】 この分析電磁石２００は、第１主コイル２０６、第２主コイル２１２、三つの第１副コイル２１８、三つの第２副コイル２２４、ヨーク２３０および一組の磁極２３２を備えている。両主コイル２０６、２１２は、それぞれ、リボン状のイオンビーム５０のＹ方向の一方側の半分以上ずつをカバーする本体部２０８、２１４を有する鞍型のコイルであって、互いに協働してイオンビーム５０をＸ方向に曲げる主磁界を発生させる。各副コイル２１８、２２４は、それぞれ、各主コイル２０６、２１２の外側に位置する本体部を有する鞍型のコイルであって、主磁界の補正を行う副磁界を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 分析電磁石および分析スリットを備えるイオン注入装置において、空間電荷の影響によってイオンビームの焦点が分析スリットの位置からずれるのを防止する。
【解決手段】 このイオン注入装置は、イオンビーム２０の運動量分析を行う分析電磁石３０および分析スリット４０を備えている。イオン源１０と分析電磁石３０との間および分析電磁石３０と分析スリット４０との間に、電界レンズ７０および８０をそれぞれ設けている。両電界レンズ７０、８０は、互いに協働して、イオンビーム２０の焦点２２の位置を分析スリット４０の位置に合わせる補正を行う。 （もっと読む）

【課題】 イオン源が分割構造の電極を有していても、ターゲットに対して均一性の良い処理を施すことができるイオンビーム照射装置を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム照射装置は、イオンビームを引き出すイオン源と、それから引き出されたイオンビームの照射領域内でターゲット１４をｙ軸に沿う方向に移動させるターゲット駆動装置とを備えている。そして、イオン源の電極８を、ｙ軸に直交するｘ軸に沿う方向において複数の電極片８２に分割して構成し、かつ各分割部２２をｙ軸に対して斜めに配置している。 （もっと読む）

【課題】 電界放出型電子源を用いて、イオンビームの空間電荷を効率良く中和して、空間電荷によるイオンビームの発散を効果的に抑制することができる装置を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム照射装置は、イオンビーム２の経路の近傍に設けられていて電子１２を放出する電界放出型電子源１０を備えている。電界放出型電子源１０は、それから放出するときの電子１２の、イオンビーム２の進行方向に平行な方向からの角度である入射角度が、−１５度から＋４５度（イオンビーム２の内向きが＋、外向きが−）の範囲内の角度を成す向きに配置されている。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構造で、リボン状のイオンビームの歪みを小さくすることができる分析電磁石を提供する。
【解決手段】 この分析電磁石４０は、平面形状が湾曲した磁極８０を、イオンビーム２の進行方向に沿って三つの部分磁極８１〜８３に分割している。そして、イオンビーム２の入口から数えて１番目および３番目の部分磁極８１および８３のギャップを、上記湾曲の外側に向けて広げている。２番目の部分磁極８２のギャップを、上記湾曲の内側に向けて広げている。 （もっと読む）

【課題】 幅が広く、ビーム電流が大きく、かつ幅方向におけるビーム電流分布の均一性の良いイオンビームを発生させることができ、しかもカソードの寿命を長くすることができるイオン源を提供する。
【解決手段】 このイオン源２ａは、Ｘ方向に伸びたイオン引出し口８を有するプラズマ生成容器６と、当該容器６内にＸ方向に沿う磁界１６を発生させる磁石１４と、プラズマ生成容器６のＸ方向の両側に配置されていて、当該容器６内におけるプラズマ１０の生成およびプラズマ１０全体の密度の増減に用いられる傍熱型カソード２０と、プラズマ生成容器６内にＸ方向に沿って並設されていて、当該容器６内におけるプラズマ１０の生成およびプラズマ１０の密度分布の制御に用いられる複数のフィラメントカソード３２とを備えている。 （もっと読む）