【課題】 流体の定量移送が可能であり、移送流体が滞留しにくく、移送力が大きく、小型化が可能であり、操作及び製造が容易であり、これら総ての性能条件を満たすマイクロポンプ、及び、このマイクロポンプを利用した流体移送デバイスを提案する。
【解決手段】 流路１と、当該流路１の上流側及び下流側に設けられる一対の弁Ｂ１，Ｂ２とを備え、上流側の弁Ｂ１は、第１の隔膜６ａにより当該流路と仕切られる第１の空間３ａと、第１の隔膜６ａの引き上げ及び押し下げを制御する制御手段４と、第１の隔膜６ａの離接により当該流路１を開閉する流路内壁面の第１の突起３ａとを備え、第１の空間３ａは突起２ａよりも下流側に及んでおり、
下流側の弁Ｂ２は、第２の隔膜６ｂにより当該流路と仕切られる第２の空間３ｂと、第２の隔膜６ｂの離接により流路１を開閉する流路内壁面の第２の突起２ｂとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流路内の送液中の気泡を抑制できる方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイスにおいて、流路を飽和蒸気圧以上の圧力に保たれ、温度、圧力の変化により溶存気体の析出が起きない条件を満足する長さを持つサブ流路を反応領域の下流に連結するか、または当該設定温度条件化では飽和蒸気圧以上の圧力を保つことが出来、かつ当該条件下における温度、圧力の変化によって溶存気体の析出が起きない試料溶液と混ざらないか、あるいは混ざりにくい溶液を試料溶液の前に流し流路内の試料溶液圧力を高めるか、あるいは流れを生じさせている上流からの圧力に対して、これと逆方向の下流側から圧力を加え試料溶液内の圧力を高めるなどの管内の流れの式を基に、メイン流路の流出口周辺の最適な液体試料送液圧力の制御方法により気泡の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 酸化物を誘電体層として持つ静電チャックを触媒化学気相成長装置に設置し、静電チャックで保持したワークへシリコン薄膜の堆積を繰り返すうちに、静電チャックの吸着力が低下し、最終的には全く基板を吸着しなくなる課題があった。
【解決手段】 静電チャックのチャック面の誘電体層を窒化珪素や酸化珪素を含有する絶縁膜で被服することにより、触媒化学気相成長装置でシリコン膜を堆積する際に生じた水素ラジカルによるチャック面へのダメージが防止できるので、繰り返しシリコン膜を堆積しても基板の吸着力が低下することなく、シリコン膜堆積時の基板温度が安定する。 （もっと読む）

【課題】触媒の担体に金属微粒子が凝集するのを阻止し、高分散状態で触媒の担体に金属微粒子が担持された触媒を製造する方法を提供すること。
【解決手段】
表面にチオール基が導入された担体に金属原子を担持させることを特徴とする触媒の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 神経伝達系を阻害する農薬の残留を迅速・簡便・安全且つ安価に検出可能な農薬検出方法、農薬検出キット、及び、農薬検出ストリップを提供する。
【解決手段】 農薬によるアセチルコリンエステラーゼの活性阻害のメカニズムを利用し、アセチルコリンエステラーゼと試料とを混合し、当該混合溶液をアセチルチオコリンに添加して反応させ、生成されたチオコリンを検出することにより、試料中の農薬を検出する。 （もっと読む）

【課題】気相反応処理装置における剥離処理の終点検出方法を提供する。
【解決手段】処理チャンバ内に配置した触媒体９に電力を供給して高温加熱し、高温加熱された触媒体９により反応ガスを分解して処理を行う際の終点検出方法において、触媒体９に定電流源１０から電力を供給する工程と、触媒体９の両端間の電位差を検出する工程と、検出された電位差の１次微分を行う工程と、得られた１次微分値に基づいて処理終点を決定する工程とを有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 試験溶液中の被検物質の高感度な検出を迅速かつ簡便に行う。
【解決手段】 被検物質の所定部位を認識する第１抗体１を固定化したテストストリップ４に対し、被検物質３と、当該被検物質３の所定部位とは異なる部位を認識する第２抗体２を標識物質５に結合させた標識第２抗体６とを展開した後、所定のシグナルを発する増感物質に被検物質の所定部位を認識する抗体を介して被検物質を結合させた増感剤７を展開する。増感剤７を構成する抗体として第１抗体１を用いることが好ましい。増感物質としては例えば発色物質を用いる。 （もっと読む）

【課題】 水溶液中において有機塩素化合物を効率的に分解処理することが可能な分解処理方法を提供する。
【解決手段】 水溶液中において、疎水性場を有する親水性ホスト化合物Ｈにより有機塩素化合物（４−ＣＢＰ）を捕捉した後、光照射することにより有機塩素化合物を分解する。親水性ホスト化合物Ｈは、例えばシクロデキストリンまたはその誘導体であり、有機塩素化合物をゲスト化合物として包接錯体を形成する。シクロデキストリンには電子供与基を導入してもよい。あるいは、水溶液中に電子供与体を加えてもよい。 （もっと読む）

【課題】気相反応処理装置における剥離処理の終点検出方法を提供する。
【解決手段】処理チャンバ内に配置した触媒体に電力を供給して高温加熱し、高温加熱された触媒体により反応ガスを分解して処理を行う際の終点検出方法において、排気ライン１７にバイパス通路２１が設けられ、このバイパス通路２１に排気ガスが流通する放電管２２が接続され、放電管２２から発生する排気ガス中に含まれる特定成分の発光スペクトルを検出し、この検出結果に基づいて処理終点を決定するようにする。 （もっと読む）

【課題】
液晶素子表示体又は有機ＥＬ素子表示体に係る部材として、好適な水蒸気バリア性を有し、且つ、液晶素子表示体又は有機ＥＬ素子表示体の製造プロセスによって水蒸気バリア性の劣化が少ない透明ガスバリア基板を提供する。
【解決手段】
下記の透明ガスバリア基板を提供する。
［１］透明樹脂基板の片面又は両面に、酸窒化ケイ素層及び窒化ケイ素層が、この順に積層されてなる透明ガスバリア基板。
［２］酸窒化ケイ素層が、ラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ法）で観測される酸素の元素比率をｘ、窒素の元素比率をｙとしたとき、０．３０≦ｘ/(ｘ＋ｙ)≦０．９０で示される条件を満たすものである、前記［１］記載の透明ガスバリア基板。 （もっと読む）