【課題】ホーニングツールＢにおいて砥石１２を押し出して拡径させるロッド２の構造に工夫を凝らして、装置コストの上昇を抑えながら、砥石１２の定速拡径制御だけでなく、精度の良い定圧拡径制御も行えるようにする。
【解決手段】ロッド２を先端側のロッド本体２１と基端部材２０との２つに分割し、中間にコイルばね２３介在させて両者一体に回転するとともに、軸方向には所定量、移動可能に連結する。昇降装置３により基端部材２０を移動させて、それがコイルばね２３を介してロッド本体２１に軸方向の力を伝える間接状態と、コイルばね２３を介さず直接、ロッド本体２１に接続される直接状態（図２に示す状態）とに切換える。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの断線をより正確に検知する。
【解決手段】ワイヤソーは、複数のガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂに巻回されたワイヤＷにより形成されるワイヤ群を備え、このワイヤ群を駆動した状態で当該ワイヤ群に対してワーク２８を切断送りすることによりウエハ状に切断する。このワイヤソーは、前記ワイヤ群に対向して配置され、磁界の変化に応じた電圧を出力する磁気センサ３８と、このセンサ３８から出力される電圧に基づきワイヤＷの断線の有無を判定するコントローラとを備えている。 （もっと読む）

【課題】任意の場所で確実にかつ簡便にプラズマを発生させる装置を提供する。
【解決手段】絶縁体または誘電体により被覆されたワイヤ状の導電性部材からなる第１の電極３０とワイヤ状の導電性部材からなる第２の電極６０とを、板２０の上に略平行に配置する。第１の電極３０に電源４０によって交流電圧またはパルス電圧を印加する。すると、第１の電極３０の周りにプラズマが発生する。 （もっと読む）

【課題】厚み精度が高く、かつ切断面の平面精度の高いウエハを切り出す。
【解決手段】ワイヤソーは、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ等に巻回されたワイヤＷにより形成されるワイヤ群と、このワイヤ群を駆動する駆動モータ等と、ワーク２８を切断送りするワーク送り装置３０と、ワイヤＷにスラリを供給するスラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂとを有する。また、ワイヤＷの撓み量を検出する撓みセンサ３８と、ワーク２８をワイヤ群に対して相対的に切断送りの方向と逆方向に一旦戻して再度切断送りするワーク戻し動作を実行すべくワーク送り装置３０を制御するコントローラと、撓みセンサ３８による検出値から予め設定された安全値を減算することによりワーク戻し動作におけるワークの戻し量を求める戻し量演算手段とを備え、コントローラは、ワーク戻し動作において戻し量演算手段により求められる戻し量だけワーク２８を戻す。 （もっと読む）

【課題】ワーク切断面の平面精度を高め、さらに各切断面の面精度の均一性を向上させる。
【解決手段】ワイヤソーは、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ等に巻回されたワイヤＷにより形成されるワイヤ群と、このワイヤ群を駆動する駆動モータ２５等と、ワーク２８を切断送りするワーク送り装置３０と、ワイヤＷにスラリを供給するスラリ供給装置３６，３８とを有する。また、ワーク２８に対して冷却用の冷媒を供給する一対の冷媒供給装置４２，４４を備える。これらの冷媒供給装置４２，４４はそれぞれ、ワーク２８を挟んでワイヤ軸方向両側に配備されており、ワイヤＷの駆動方向に応じて当該駆動方向におけるワーク下流側に位置する冷媒供給装置４２，４４からのみ冷媒が供給されるようにコントローラにより制御される。 （もっと読む）

【課題】厚み精度の高いウエハを効率的に切り出す。
【解決手段】一方側のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａから繰り出されたワイヤＷがガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ等に巻回されて他方側のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａに巻き取られるワイヤソーを用いワーク２８を切断する方法であって、一方側のワイヤ繰出し・巻取り装置１０ＡからワイヤＷを繰出し、かつこのワイヤＷを他方側のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂにより巻取ることによりワイヤＷを一方向に一定速度で駆動し、この一方向駆動状態でワーク２８の切断を進める本工程に加え、この本工程の途中に実行される工程であって、ワイヤ同士が引っ付くリンキング現象の解消を促すための振動をワイヤＷに付与すべくワイヤＷの駆動状態を前記一方向駆動状態とは異なる状態に一時的に切り替えるリンキング解消用工程を有する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性及び耐摩耗性に優れたＤＬＣ膜を実現できるようにする。
【解決手段】耐熱性のダイヤモンド様薄膜は、基材の表面に形成され、硅素を含み、基材との界面における硅素濃度が、表面における硅素濃度よりも高く、基材との界面と表面との間における硅素濃度の変化が連続的である。 （もっと読む）

【課題】長期に亘り医療器具の基材表面から剥離することがない優れた密着性と、表面が劣化しにくい優れた耐摩耗性とを兼ね備えたダイヤモンド様薄膜が形成された医療器具が実現できるようにする。
【解決手段】医療器具は、医療器具本体と、医療器具本体を覆い且つ硅素を含むダイヤモンド様薄膜とを備え、ダイヤモンド様薄膜は、硅素の濃度が、ダイヤモンド様薄膜の表面において、医療器具本体との界面と比べて低くなるように連続的に変化している。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの張力を所定の目標張力に近付けるための張力調節装置を利用して巻取側のワイヤの張力のみを有効に低減しながら効率よくワークの切断を行う。
【解決手段】ワイヤソーにおいて、ワイヤＷを前進させながらワーク２８を切断する前進駆動切断工程と、ワイヤＷの駆動方向を反転させるための第１の切換工程と、ワイヤＷを後退させながらワーク２８を切断する後退駆動切断工程と、ワイヤＷの駆動方向を反転させて前記前進駆動切断工程に復帰するための第２の切換工程とを順に繰り返す。前記両切断工程では張力操作装置１８Ａ，１８Ｂを用いて巻取り側のワイヤ張力のみ下げる。このワイヤ張力の切換は両切換工程の間に行う。 （もっと読む）

【課題】十分なすくい角を確保しながらワーク外周面上に所定形状の溝を精度良く加工する。
【解決手段】溝切り工具５０であって、刃部５２とその保持部５４とを有する。刃部５２は、溝４６の目標形状に対応する形状の切刃５８を有する。さらに、この刃部５２は、内側に中空部６０を囲む中空状をなし、この中空部６０を囲む刃部内側面６２の先端に前記切刃５８のすくい面６４が形成されている。この構造により、前記すくい面６４のすくい角αは２０°以上の範囲にも設定することが可能である。 （もっと読む）