【目的】 液量が様々に異なる分析液を分析すること、充填液に対して比重が小さい分析液を分析すること、精度の高い分注を実現すること、及び混合精度の高い化学分析を実現することができる化学分析装置を提供する。
【解決手段】 開口部を有する分析部と、その開口部よりサンプル及び試薬を供給する手段と、該サンプル及び試薬を液滴として合体・混合して被測定液とする手段と、反応中あるいは反応が終了した該被測定液の物性を計測する計測手段とを備えた化学分析装置において、該分析部に対向して配置された板状部材を有し、各々の板状部材の向かい合う面に複数の電極が設けられ、該サンプル及び試薬の液滴に対して該複数の電極より電圧を印加する機構を有する。 （もっと読む）

【課題】
マルチ電子ビーム描画装置用偏向デバイスの製造方法において、偏向電極を備えた高アスペクト比の貫通孔を基板に高精度かつ高密度に成形できるようにすること。
【解決手段】
マルチ電子ビーム描画装置用デバイスの製造方法は、シリコン基板１に貫通孔２を複数形成した後、電子ビームを偏向するための偏向電極を貫通孔２の側壁に形成する。この製造方法は、シリコン基板１の一側からドライエッチングによりほぼ垂直な側壁を有する溝部１１を形成し、シリコン基板１の他側からドライエッチングにより溝部と異なる径を有すると共にほぼ垂直な側壁を有する第２の孔部２ａを溝部１１に連通するように形成して溝部１１で形成される第１の孔部２ａと共にシリコン基板１を貫通するアスペクト比が４以上の貫通孔２を形成した後、貫通孔２の側壁に独立して対向する偏向電極を形成する方法である。 （もっと読む）

【課題】
アルカリ金属，アルカリ土類金属を効率良く除去できるキレート樹脂を用いた分析方法を提供する。
【解決手段】
水酸基を有する基材樹脂にイミノ基を介して結合されたポリアミノポリカルボン酸
（ＰＡＰＣ）型キレート官能基を持つキレート樹脂を充填した固相抽出部を用いて、測定対象試料中の金属元素を抽出し分析を行うキレート樹脂を用いた分析方法であって、測定対象試料をｐＨ３〜６の範囲となるように調整し、前記固相抽出部に対して、前記調整後の測定対象試料を通液し、前記固相抽出部を洗浄し、洗浄後の前記固相抽出部に酸水溶液を通液して捕捉された金属元素を溶出し、前記溶出した金属元素を元素分析装置によって分析することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 真空処理装置の設計、製造コストを低減し、短時間でウェハを所定温度に復帰できるウェハ温度復帰機構とウェハ温度復帰方法を提供する。
【解決手段】 ロードロック室内のステージ１３に、効率よく輻射伝熱が行われる輻射プレート１４と、高真空中でのガス伝熱が行われるギャップ１７と、高熱伝導材料１５による熱伝達と、対流による熱伝達と、沈着物の巻上げを抑制しながら大気圧に復帰するガス供給ライン２２を構成し、ロードロック室の大気開放の過程での熱伝達を複合的に作用させる。 （もっと読む）

【課題】
プラズマ処理装置の処理特性の変動を検出し、変動を抑制することのできるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】
内部側壁を絶縁処理した反応容器１と、反応容器内に配置した試料台５、アンテナ１０を備え、該アンテナにプラズマ発生用電源から高周波電力を供給して反応容器内に導入した処理ガスをプラズマ化して試料台上に載置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、プラズマ発生用電源とアンテナを含む負荷回路との間にインピーダンス整合をとるための整合器１１を備え、該整合器は、負荷回路側のインピーダンス特性を測定するセンサと、センサの測定値に応じて整合器の入力端より負荷側をみた整合到達点及び該整合到達点に至る整合動作軌跡を変更する。 （もっと読む）

【課題】
大角度ビーム傾斜時に像ずれや像分解能劣化をおこさない荷電粒子ビームカラムを提供する。
【解決手段】
収差補正器１０を含む荷電粒子ビームカラムにおいて、偏向器５１を用いてコンデンサーレンズの物点を動かすことなく、ビームの第２コンデンサーレンズ７への入射方向を制御することにより、光軸上にある対物レンズ１７の物点を動かすことなく、試料１８面に対し大角度で傾斜した収束荷電粒子線ビームを形成する。このとき、収差補正器１０によりビーム傾斜による像移動や分解能低下が防止される。 （もっと読む）

【課題】生体からの抽出サンプルには、非常に多種類の物質が混合していることがあり、それぞれの物質の量（濃度）も何桁も異なることがある。しかし、タンデム質量分析できる物質の種類は限られるため、多種類の成分を含むサンプルの分析の場合には、極微量成分の解析が困難である。
【解決手段】イオンの質量情報および保持時間を格納した内部データベースを有し、データベース内情報について分析の実施過程において自動的に補正を行いながら、質量分析もしくはタンデム質量分析を実施する。 （もっと読む）

【課題】
酸化分解反応を含むポストカラム法を用いた測定において、アミノメチルりん酸とグリホサートを共に高感度に測定する。
【解決手段】
移動相を送液する第１の送液ポンプと、移動相に試料を導入するインジェクタと、試料を分離する分離カラムと、第１の反応試薬を送液する第２の送液ポンプと、第２の反応試薬を送液する第３の送液ポンプと、前記分離カラムから溶出された試料に前記第１の反応試薬を混合する第１の混合部と、前記第１の混合部を経た溶液に前記第２の反応試薬を混合する第２の混合部と、当該第２の混合部を経た溶液を検出する検出器とを備えた液体クロマトグラフであって、前記第２の送液ポンプは、少なくともアミノメチルりん酸が前記第１の混合部を通過した後に、前記第１の反応試薬を送液する。
【効果】
アミノメチルりん酸とグリホサートを同時に高感度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比の貫通孔に偏向電極を精度及び歩留まり良くしかも偏向電極及び配線の高信頼性を有して作製できるようにすること。
【解決手段】マルチ電子ビーム描画装置用デバイスの製造方法は、基板２１にアスペクト比４以上の貫通孔２３を多数形成し、基板２１の表面及び貫通孔２３に絶縁膜２２を形成し、基板２１及び貫通孔２３の内部にレジスト３７を形成し、レジスト３７を露光及び現像して、貫通孔２３、基板２１の表面にレジストパターン３８を形成し、レジストパターン３８を利用して貫通孔２３に偏向電極用金属膜２４ａを形成すると共に偏向電極用金属膜２４ａから基板２１の表面に延びる配線用金属膜２５ａを形成し、レジストパターン３８を除去し、偏向電極用金属膜２４ａ及び配線用金属膜１５ａ上にさらに金属膜２４ｂ、２５ｂをめっきして偏向電極２４及び配線２５とする方法である。 （もっと読む）

【課題】
絶縁物試料を荷電粒子線にて観察する際に発生する帯電によって、試料表面電位が荷電粒子線照射領域面内で不均一となることで生じる電位勾配により該荷電粒子線の軌道が偏向されるビームドリフトを低減する。
【解決手段】
試料に照射する荷電粒子線のエネルギーを試料から発生する二次電子の発生効率が1以上となるように設定する。装置の構成としては、独立に電圧を印加することができ、一次荷電粒子線が通過することができる孔を具備した平板電極を試料に対向して配置し、試料を積載する試料台は独立に電圧を印加することができ、試料に対向する面は平坦化されて凹凸の無い構造とする。また、該平板電極に設けられた孔の直径Ｄと該平板電極と該試料との距離ＬはＤ/Ｌ≦１．５の関係を満たすように設定する。 （もっと読む）