【課題】実パターン上のチャージアップをリアルタイムに測定する。
【解決手段】ウェハ表面にセンサ５０を貼着し、プラズマチャンバ内のステージ上に載置する。ＲＦバイアスを印加し、プラズマチャンバ内にプラズマ３５を発生させてウェハをプラズマ３５に曝す。ウェハをプラズマ３５に曝すと、電子遮蔽効果によってセンサ５０のコンタクトホール５７内にチャージアップが発生するため、上部電極５６、中間電極５５、及び下部電極５３に異なる電圧が発生する。この時、上部電極５６、中間電極５５及び下部電極５３の電圧を、抵抗素子６１，６４，６７を介して電圧計６２，６５，６８で計測し、上部電極５６、中間電極５５及び下部電極５３間における電位差を求めてモニタリングする。 （もっと読む）

【課題】低締付け力で高シール性を得ることができ、しかも、一定の締め付け荷重を加えた場合の変形量が大きいことにより、手作業でボルト締めを行った場合であってもボルト締め付けの管理を行うことが可能であるとともに、相手側のフランジ面に傷を付ける虞もないメタルガスケットを提供する。
【解決手段】周方向の開口により断面略Ｃ字状に形成された外環１２と、この外環１２の内側に嵌合状態で配置される内環１４と、から構成されるメタルガスケット１０であって、内環１４が例えば、断面四角形の多角形体から構成されているともに、この内環１４における互いに対向する一対の角部が、外環１２における開口を挟んで両側の内周面にそれぞれ配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】骨をはじめとしたリン酸カルシウムを豊富に含む生体部位に、その部位の疾患の予防薬や治療薬などの生理活性成分を、従来のリポソームよりもより選択的にデリバリーすることができる手段を提供すること、および生体内で酵素などにより容易に分解されてしまう生理活性成分をその分解から守り、有効量を標的部位に選択的にデリバリーすることができる手段を提供すること。
【解決手段】脂質に結合したポリエチレングリコール誘導体および脂質を構成成分とするリポソームであって、少なくとも一部の前記脂質に結合したポリエチレングリコール誘導体の、両末端のうち、リポソームの内相および表面からより離れた末端に、リン酸カルシウム結合部位を有する化合物が結合していることを特徴とするリン酸カルシウム結合性リポソーム。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、骨芽細胞を利用した新たな硬組織再生用デバイスの提供を目的とする。
【解決手段】
骨芽細胞と骨芽細胞によって産生されたリン酸カルシウムと非水溶性ポリマーからなる孔径１μｍ〜１４μｍの貫通孔を有するハニカム状多孔質体との複合体である、硬組織再生用デバイス。本発明に係る硬組織再生用デバイスは、関節治療、骨・軟骨疾患に対する硬組織再生治療に利用することができ、生体適合性に優れるハニカム状多孔質体を基本骨格とすることで、骨芽細胞の良好な増殖と骨再生を促すことができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセス等でのプラズマ等からの紫外光によるダメージを定量的にリアルタイムで精度良くモニタリングする。
【解決手段】チャンバ５１内のステージ５８上に載置されたウェハ５７に対してエッチング処理を行う際に、プラズマ５６から発生する紫外光ＵＶのモニタを行う場合、電圧源８７により、負のバイアス電圧（例えば、−３０Ｖ）をセンサ７０へ印加する。すると、プラズマ５６から発生した紫外光ＵＶが、センサ７０にて誘起電流として測定され、この誘導電流が電流計８８にてリアルタイムに計測される。これにより、誘導電流を紫外光ＵＶによるセンサ７０へのダメージの定量的指標としてモニタリングできる。センサ７０は、ＲＦバイアス電圧の印加されないチャンバ５１の上部に設置されているので、このセンサ７０がエッチングされたり、あるいは堆積膜で覆われ難くなる。 （もっと読む）

【課題】高精度な制御が可能で、テラヘルツ波を容易に変調することができるテラヘルツ波の強度変調方法およびテラヘルツ波の強度変調装置を提供する。
【解決手段】管状の導波路１３が、半導体で形成され、入射用光源１１からのテラヘルツ波を内部に伝播可能に設けられている。変調用光源１４が、導波路１３を形成する半導体のバンドギャップに相当する波長を含む光を、導波路１３の外側面に照射可能に設けられている。調整部１５が、変調用光源１４から照射される光の強度を変化可能に設けられている。導波路１３の内部にテラヘルツ波を伝播させ、変調用光源１４により、半導体のバンドギャップに相当する波長を含む光を導波路１３の外側面に照射する。調整部１５により、変調用光源１４から照射される光の強度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】分光装置を簡素に構築することができるテラヘルツ波発生装置の実現。
【解決手段】シグナル光源１０からのシグナル光とポンプ光源１１からのポンプ光とを無偏光ビームスプリッタ１２によって合波して合波光を生成し、ファイバーアンプにより増幅した。そして、偏光ビームスプリッタ１５によって合波光を２つの合波光Ａ、Ｂに分割し、偏光ビームスプリッタ１６により合波光Ａ、Ｂが位相整合角を成してＧａＰ結晶１７において重なるように混合した。これにより、合波光Ｂ中のポンプ光と合波光Ａ中のシグナル光との差周波混合によるテラヘルツ波と、合波光Ａ中のポンプ光と合波光Ｂ中のシグナル光との差周波混合によるテラヘルツ波が２方向に放射される。２方向に放射されるテラヘルツ波のうち、一方を参照光とすることができるので、分光装置を簡素に構築できる。 （もっと読む）

【課題】光通信や光計測等に使用される伝送用光ファイバとの接続が容易で、伝送用光ファイバ間を伝搬する光の減衰または透過率の調整を確実に行う。
【解決手段】非線形結晶が析出した結晶化領域を内部に有する結晶化光ファイバを用い、前記結晶化領域を横断して電界を印加して該結晶化領域の透過光強度を変え、前記結晶化光ファイバを通る光の強度を調整する。結晶化光ファイバは湾曲していてもよい。 （もっと読む）

【課題】家畜の肉の生産性および肉質（特に、暑熱環境などのフロンティア環境における家畜の肉の生産性および肉質）を向上できる、新規な家畜飼料用水を提供する。
【解決手段】溶存水素濃度が５０〜９００ｐｐｂ（好ましくは１５０〜９００ｐｐｂ）、酸化還元電位が−８００〜０ｍＶ（好ましくは−８００〜−１００ｍＶ）である家畜飼料用水。本発明の家畜飼料用水において、家畜は好ましくは鶏である。また本発明の家畜飼料用水は原水を電気分解して陰極側で得られた電解還元水であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 低抵抗率のコンタクトを実現した半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体装置のｐ型またはｎ型コンタクト領域となるべきシリコン部分へｐ型またはｎ型不純物をイオン注入する工程と、該イオン注入工程の後に、注入されたイオンを活性化するための熱処理を行うことなしに前記コンタクト領域表面にコンタクト用の金属の膜を形成する工程と、加熱によって前記金属を前記シリコン部分と反応させ前記金属のシリサイドを形成する工程とを含む。なお、前記注入されたイオンを前記金属の膜が形成された後の熱処理によって活性化する工程を同時に行なうことが望ましい。 （もっと読む）