【課題】本発明はインクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド用電気接続装置に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは、内部に形成されるインクチャンバ及び上記インクチャンバと隣接した表面に形成される電極部を含むヘッドの胴体と、上記電極部と電気的に連結されるように上記ヘッドの胴体に装着される圧電アクチュエータと、ボンディングツールにより加圧され相互高さが異なる上記電極部及び上記圧電アクチュエータに伝導性接着剤により電気的に連結される基板部と、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】封止信頼性を低下させることなく、記録素子基板と基板支持部材の接着面が従来技術よりも微細化させられるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】記録素子基板２に具備されている、基板支持部材１３と接着する突起８は、金属層９をエッチングマスクとして記録素子基板２をエッチングすることによって、記録素子基板２と同質かつ連続に形成される。したがって、突起８は、金属層９と金属層１４とが金属溶着するのに十分な平坦性を維持した状態で形成されるため、金属層９のバンプを厚くすることなく製造可能であり、安価に製造可能である。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を得ることができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１グリーンシート１０を準備する工程と、第１グリーンシート１０に第１凹部１２を形成する工程と、第１凹部１２内に第１電極１４を形成する工程と、第２グリーンシート１０を準備する工程と、第２グリーンシート１０に第２凹部１２を形成する工程と、第２凹部１２内に第２電極１４を形成する工程と、第１電極１４が形成された第１グリーンシート１０と、第２電極１４が形成された第２グリーンシート１０と、を貼り合わして、グリーンシート積層体２０を形成する工程と、グリーンシート積層体２０を焼成して、セラミックスシート積層体２０ａを形成する工程と、セラミックスシート積層体２０ａをダイシングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】絶縁性を向上させてリーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、第１電極と、前記第１電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層の前記第１電極とは反対側に形成された第２電極と、を備えた圧電素子と、を具備した液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層はペロブスカイト構造を有し、前記ペロブスカイト構造のＡサイト及び酸素サイトは、それぞれＡサイト金属及び酸素原子が抜けた空孔を有すると共に、前記空孔には水素原子を有しており、且つ、絶縁性を有する液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】 基板と流路壁部材との接合信頼性を向上させる。
【解決手段】 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する流路の壁と、を備えた流路壁部材を一方の面上の一部に備えた基板を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記流路壁部材の側外面と前記一方の面との交線の少なくとも一部に、撥液部材が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、記録媒体の先端部の衝突によりノズルプレートと接合された液室部の接合界面が剥離することを防止できる。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドは、インクを吐出するノズルプレートと、インクを供給するインク供給源に連通する複数の圧力室とを有する流路ユニットと、圧力室の容積を変化させるために配置されたアクチュエータユニットと、流路ユニットとアクチュエータユニットを支持するフレームとを有している。そして、本発明の液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートは、流路ユニットと接合され、かつ記録動作時に記録媒体に面する端部のうち、少なくとも記録媒体に対して相対的に移動する方向の端部近傍に、フレーム方向側に突出した凸部を複数連続して具備している。 （もっと読む）

【課題】優れた印刷ヘッド（特に、インク噴射面上をコーティングするポリシルセスキオキサンを有する印刷ヘッド）を提供する。
【解決手段】疎水性ポリマー材料でコーティングされたインク噴射面を有する印刷ヘッド。ポリマー材料が、ポリ（メチルシルセスキオキサン）又はポリ（フェニルシルセスキオキサン）等のポリシルセスキオキサンから成る。印刷ヘッドは、インク噴射面と接触することを必要とする様々な印刷ヘッド保守操作に適応できる。 （もっと読む）

【課題】上部電極における応力の集中を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０を覆う圧電体層３０と、圧電体層３０の上方に形成された上部電極４０と、を含み、圧電体層３０の側面３４は、圧電体層３０の上面３２と接続し、基板１０の上面１２に対して第１角度αで傾く第１部分３５と、第１部分３５と接続し、基板１０の上面１２に対して第２角度βで傾く第２部分３６と、を有し、第２角度βは、第１角度αより小さく、上部電極４０は、少なくとも第１部分３５および第２部分３６を覆っている。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れた圧電装置を提供する。
【解決手段】圧電装置２は、圧電体１３及び圧電体１３に電圧を印加する電極１２，１４を備えた圧電素子１と、圧電素子１の印加電圧及び印加周波数を制御する駆動制御手段２０とを備え、圧電装置２の外部温度を測定する外部温度測定手段３０と、圧電装置２の外部湿度を測定する外部湿度測定手段３０と、外部温度測定手段３０及び外部湿度測定手段３０による測定結果、及びあらかじめ取得された外部温度及び外部湿度と圧電体１３上に結露が生じる露点との関係に基づいて、圧電装置２の使用環境下にて圧電体１３上に結露が生じる露点を求める露点測定手段３０と、圧電体１３の温度を、露点測定手段３０により測定された露点より高く８０℃以下の制御温度範囲内に制御する圧電体温度制御手段４０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】下部電極層の下地構造として、圧電体素子と振動板との間の密着性を確保しつつ耐熱性を向上させた耐熱密着層を備える圧電アクチュエータ、該圧電アクチュエータを備える液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板上に形成された振動板４０と、該振動板４０上に設けられ、Ｔｉ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏから選ばれる少なくとも１つの金属元素，酸素元素，炭素または窒素の元素から構成される耐熱密着層１１と、該耐熱密着層１１上に、下部電極膜５０，圧電体膜６０，上部電極膜７０がこの順番で積層されてなる圧電体素子２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電気回路基板の電子部品をミストから保護して信頼性を向上しつつ、ヘッドの小型化を図ることができる液体吐出ヘッドユニットの提供。
【解決手段】液体吐出ヘッドユニット１は、液滴を吐出するヘッド２と、ヘッド２と接続する電子部品が実装された電気回路基板３と、ヘッド２に供給するインクを収容するタンク４とを備え、ヘッド２のフレーム部材１７と電気回路基板３とタンク４とは積層構造をなして一体化され、ヘッド２のフレーム部材１７と電気回路基板３との間及び電気回路基板３とタンク４との間に空間６、７がそれぞれ設けられ、電気回路基板３の電子部品３２が空間６、７に収容されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を含む振動板の破壊に起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られる圧電型アクチュエータなどの提供。
【解決手段】ノズル開口（41）に連通する流路形成基板（30）に形成された圧力発生室（33）と、圧力発生室に対応する領域に振動板として機能する剛性調整膜(24)、上部電極（23a）、上部電極下に設けられた圧電体層(22)及び圧電体層の裏面側に設けられた固定電極(12)の積層膜からなる圧電素子（20）とを備える圧電型アクチュエータにおいて、圧力発生室側と振動室側の少なくとも一方に振動板過度変形止め部(27)を有し、駆動時には圧電素子は、過度変形止め部には接触しないようにした。 （もっと読む）

【課題】 突入電流の発生を抑制する機器を低コストにて提供することである。
【解決手段】 負荷を駆動する電圧を生成する電源回路と、電源回路から負荷へ電力を供給する供給ラインに接続され、記負荷の電位を安定させるコンデンサと、所定量より小さい電力を、コンデンサへ供給可能でかつ、コンデンサから放電可能な充電／放電回路と、所定量より大きい電力を、コンデンサへ供給可能な充電回路と、充電／放電回路と前記充電回路をそれぞれ動作させるためのスイッチ回路と、充電／放電回路の動作に基づいて情報を保持する保持回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの動きが阻害されること、及び、アクチュエータに接続される平型柔軟基板の配線が短絡したり損傷したりすることを抑制する。
【解決手段】基材５１上に、複数のランド５８を形成する。ランド５８が形成されたランド領域６０に係るランド５８及びその周囲を除く領域に、第１絶縁性エポキシ樹脂をスクリーン印刷すると共に完全硬化させて第１カバーコート６５を形成する。第１カバーコート６５の各孔６５ａ内に、第２絶縁性エポキシ樹脂をスクリーン印刷すると共に半硬化させて第２カバーコート６６を形成する。そして、個別バンプ１３６が半硬化状態の第２カバーコート６６を貫通して対向するランド５８に当接するように、アクチュエータユニット２１とＣＯＦ５０とを配置する。加熱加圧処理を施すことによって、第２カバーコート６６を完全硬化させる。 （もっと読む）

【課題】複数の記録素子基板が配列されたインクジェット記録ヘッドにおいて、電気的接続の信頼性を高める。
【解決手段】支持部材Ｈ１２００と、支持部材Ｈ１２００の長手方向に沿って配列された状態で支持部材Ｈ１２００に固定され、液滴を吐出するノズルと長手方向側の端部に形成されノズルからの液滴の吐出を制御する電気信号を受信する電極とを備える複数の記録素子基板Ｈ１１００と、支持部材Ｈ１２００に固定され、複数の記録素子基板Ｈ１１００を個別に露出させる複数のデバイスホールＨ１３０６と複数のデバイスホールＨ１３０６の長手方向側の周縁に形成され電気信号を電極に伝送するための電極端子とを備える電気配線部材Ｈ１３００と、電極と電極端子とを接続するワイヤーＨ１３０３と、を有し、電気配線部材Ｈ１３００は、少なくとも、長手方向で互いに隣接するデバイスホールＨ１３０６の間で途切れている。 （もっと読む）

【課題】電気的な接続部の接続信頼性を向上し、印字品位の低下を抑制する。
【解決手段】液体吐出記録ヘッド１０００は、記録素子基板１１００と、電気配線基板１３００と、これらを支持する支持プレート１２００とを有する。記録素子基板と電気配線基板との間に隙間が形成されるように、電気配線基板の開口部に記録素子基板が配置される。記録素子基板に設けられた電極１１０３と、電気配線基板に設けられた電極端子１３０２とは、隙間を渡す接続部材１３０３で電気的に接続される。記録素子基板と電気配線基板との間の隙間に第１の樹脂剤１３０４が充填され、記録素子基板の電極と電気配線基板の電極端子と接続部材とが第２の樹脂剤１３０５で封止される。第２の樹脂剤は、第１の樹脂剤の、支持プレートとは反対側の面と接する。第１の樹脂剤と支持プレートとの間に、第１の樹脂剤および第２の樹脂剤よりも弾性率の低い第３の樹脂剤１３５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の帯電を除去することにより、耐久性及び信頼性を向上させることが可能な構造とした静電アクチュエーター、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びに静電アクチュエーターの駆動方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成された個別電極１１と、個別電極１１にギャップＧを隔てて対向し、個別電極１１との間で発生させた静電気力により動作する振動板４と、ギャップＧを気密封止する封止材９と、Ｘ線を照射してギャップＧ内の雰囲気を電離させるＸ線発生装置４０とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】複数の電極層と圧電膜層とを積層した場合において、製造コストを低減しつつ、複数の電極層間を容易に接続することができ、装置に組み込んで使用しても信頼性が高い圧電膜の積層体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】正電極層１２を積層体１の積層方向に垂直な方向の一端部側に寄せて配置し、負電極層１２を他端部側に寄せて配置する。そして、積層体の一端部側及び他端部側に夫々共通電極１３を形成し、同一極性の電極層１２同士を共通電極１３と接触させて導通する。 （もっと読む）

【課題】インク及び電極の劣化を抑制できるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの保護膜形成方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、インク３１が供給されるインク室３３が形成された圧電部材３、４と、インク室３３側の圧電部材３、４の表面に形成された電極７、８と、絶縁性及びフレキシブル性を有する材料を含み、インク３１と接する領域の電極７、８の表面に形成された保護膜９とを備えている。 （もっと読む）