【課題】小型化により全体的なコストを低減できる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０と、圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と前記圧力発生室１２内の液体に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター３００とを備えたアクチュエーターユニット２００と、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通する連通路１６が設けられた連通板１５と、アクチュエーターユニット２００が内部に配設されるように連通板と接合される枠体４０Ａであり、圧力発生室に供給する液体を貯留しておくマニホールド１００をアクチュエーターユニットと形成する第１のケース部材４０と、第１のケース部材４０に接合され、外部からマニホールド１００に液体を送る導入路４２が形成された第２のケース部材４１とを有する。 （もっと読む）

【課題】 共通液室の面積を大きくすることなくダンパー室による圧力変動の減衰効果を高め、さらに、ダンパー室内の気体を共通液室内の液体と接触させつつ両者の混合を抑制可能な、液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】 インクジェットヘッド３は、複数のノズル４５と、複数のノズル４５にそれぞれ連通した複数の圧力室４３と、複数の圧力室４３と共通に連通するマニホールド４１が形成された流路ユニット３１と、複数の圧力室４３内のインクに選択的に圧力を付与する圧電アクチュエータ３２とを備えている。流路ユニット３１は、さらに、マニホールド４１の上方に配置された第１ダンパー室４７と、マニホールド４１と第１ダンパー室４７を上下に仕切る仕切り壁２８ａを有し、仕切り壁２８ａには、マニホールド４１と第１ダンパー室４７とを連通させる連通孔２８ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制する。
【解決手段】本実施の形態の製造装置１０では、シリコンウェハを一枚ずつ搬送し、各シリコンウェハについて、位置調整部１６による位置調整工程、洗浄部１８による洗浄工程、成膜部２０による成膜工程、第１加熱部２２による第１の加熱工程、第２加熱部２４による第２の加熱工程、及び冷却部２６による冷却工程を、この順に繰り返し実行する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流抵抗が緩和された吐出口が設けられ、かつ十分な強度を有する吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口が配列方向に沿って複数設けられた吐出口部材を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、光硬化性樹脂を含有する樹脂層が設けられた基板を用意する工程と、前記樹脂層を露光する露光処理である、第１の露光処理及び第２の露光処理を行う露光工程と、前記第１の露光処理及び第２の露光処理を行った樹脂層から前記吐出口を形成する工程と、を有し、前記第１の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角と、前記第２の露光処理によって形成される吐出口の側壁の前記基板に対する傾斜角とが異なることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高密度ヘッドでは圧電柱の傾きやフレキシブル配線基板の配線電極ピッチの誤差が発生すると短絡等の不良が発生する。
【解決手段】圧電部材１２には複数の圧電柱１１２が形成され、ＦＰＣ１５には圧電柱１１２（駆動柱１２Ａ）の電極２３に接続される配線電極（パターン）１１６が設けられ、配線電極１１６は、接合部分１１７が、先端部側（圧電柱１１２の先端側）の圧電柱配列方向における幅Ｗ１を圧電柱１１２の根元部側の幅Ｗ２よりも広くし（Ｗ１＞Ｗ２）、根元側から先端側に向かって次第に広がる形状に形成している。 （もっと読む）

【課題】振動板部材の振動領域と圧電素子との接合信頼性を向上し、滴吐出特性の安定化を図ることができる液体吐出ヘッド用振動板部材の提供。
【解決手段】振動板部材３の振動領域３１には第１凸部３２が形成され、各液室２２の間の隔壁（液室間隔壁）１２２に対応して第２凸部３３が形成され、第１凸部３２には圧電部材４２の駆動柱１４２ａが接合され、第２凸部３３には圧電部材４２の非駆動柱１４２ｂが接合され、振動領域３１は液室間隔壁１２２と接合する液室間隔壁接合部３５よりも液室２２と反対方向に膨らんで形成されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド構成部品の多くに高い平面度が要求されて接合信頼性の確保が難しく、またヘッドが大型化する。
【解決手段】ノズル板５１とフレーム部材５５はヘッド部１Ａ〜１Ｄに共通の部材であり、フレーム部材１７は２つのヘッド部１、１間でノズル板５１と接合する第１接合部分６１と、振動板部材３と接合する第２接合部分６２とを有し、第１接合部分６１と第２接合部分６２とは段違い位置でノズル板５１及び振動板部材３と接着剤７０にて接合され、第１接合部分６１は２つのヘッド部１、２間の流路間隔壁を形成している。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートの表面に凸が形成されることを抑制できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッド１は、基材と、ノズルプレート１２と、フレーム１３と、接着剤とを具備する。ノズルプレート１２は、前記基材と対向する。フレーム１３は、前記基材とノズルプレート１２との間に介在し、ノズルプレート１２が接着される接着面４１と、接着面４１に設けられた溝４２と、を有する。前記接着剤は、接着面４１とノズルプレート１２との間に介在する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートの外周部にノズルカバーが設けられる液体吐出ヘッドにおいて、増粘インクがノズル孔を塞ぐことによって生じるインク滴の不吐出や吐出方向曲がりを防止することができる液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔により記録液の吐出が行われる液体吐出面が形成されたノズルプレートを備え、ノズルプレートの外周がノズルカバーで覆われた液体吐出ヘッドにおいて、ノズルカバーは、ノズルカバーの開口部がノズルカバーの外周部よりもノズルプレートの液体吐出面に近づくようにノズルカバーの開口部方向に傾斜を持って形成され、かつ、ノズルカバーの開口部の先端は、ノズルカバーの厚さ方向に垂直な面よりも液体吐出面に対して平行に近い傾斜面を有し、傾斜面を被覆し、傾斜面とノズルプレートの隙間を充填するように樹脂材料が埋められている。 （もっと読む）

【課題】高密度ノズル化した液滴吐出ヘッドにおいて、吐出効率及び画像品質を改善できる液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】画像形成に用いられる記録液の液滴を吐出する複数のノズルを含むノズル板と、各ノズルと連通する加圧液室を複数形成する流路板と、加圧液室の一壁面を構成するとともにダイアフラム部が配置された振動板３と、加圧液室を加圧するエネルギーを発生する圧電素子とを備えた液滴吐出ヘッドであって、ダイアフラム部５１は、圧電素子と当接してエネルギーを加圧液室に伝達するアイランド部５１ｂと、アイランド部５１ｂの周囲に、加圧液室に対応する部分の変形を容易にする第１の薄肉部５１ｃ、５１ｄと、を有し、アイランド部５１ｂには、圧電素子と当接せず、かつ、ノズルの配列方向と直交する方向に、平行に伸びるスリット状の第２の薄肉部５１ｅが設けられる。 （もっと読む）

【課題】吐出滴の良好な飛翔状態（吐出形状）を実現しつつ、ヘッドの長寿命化を達成する液体吐出ヘッドの駆動装置、液体吐出装置、インクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドのノズルに対応して設けられた吐出エネルギー発生素子を作動させる駆動信号（10）は、一記録周期中に複数回の吐出を行うための複数の吐出用パルス（11〜14）を含んでおり、これら複数の吐出用パルス（11〜14）のうち最終パルス（14）を除いた残りのパルス列（11〜13）内で先行するパルスの電圧振幅よりも、後続のパルスの電圧振幅が小さい。また、最後パルス（14）は先行滴をマージするように強く打ち出すために、先行パルス（11〜13）と比べて最も電圧振幅が大きいものとする。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板に生じる応力を軽減し、洗浄液の記録素子基板の周辺への残留を防止する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドの製造方法は以下の工程を有している。記録素子基板２を主平面４４上で、接着剤４７を介して支持部材４に接合する。電気接続部形成側面と凹部４１の側壁４５との間の第１の空間を封止材によって封止する。電気接続部非形成側面２３ｂの少なくとも一部を露出させつつ溝部４６の少なくとも一部に封止材６を充填する。第１の空間の上方にある電気接続部を封止材によって封止する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い検査を行うことができる液体噴射ヘッドの検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドの検査方法は、流路３２が形成された流路形成基板３０と、流路３２と連通するノズル穴５２を有するノズル板５０と、流路３２に圧力変化を生じさせるアクチュエーター１０と、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド１００を、ノズル板５０側から観察する工程を含み、ノズル板５０の材質は、シリコンである。 （もっと読む）

【課題】ヘッド本体に設けられた被覆部材を保護し、駆動配線を回路基板に確実に接合させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
ノズル開口２６を有するノズルプレート２７を備えるヘッド本体２０と、ヘッド本体２０が固定されたケース部材６０とを備え、記録シートＳに対して第１方向Ｘに相対移動する記録ヘッド１０である。ヘッド本体２０には、その側面及びノズルプレート２７の周縁を被覆するカバーヘッド７０が設けられている。ケース部材７０の第１方向Ｘにおける端部６０ｂとヘッド本体２０との間に、ヘッド本体２０ごとに保護壁６５が設けられている。保護壁６５は、保護壁６５の第２方向Ｙの範囲Ｒ１がカバーヘッド７０の第２方向Ｙの範囲Ｒ２を含み、かつ第３方向Ｚにおいてノズルプレート２７よりもケース部材６０側に位置している。 （もっと読む）

【課題】ヘッド本体を構成する基板間の剥離を抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッド
ユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２６が設けられたノズルプレート２７と、ノズル
開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板２１と、ノズルプレートと流路形成
基板との間に設けられ、圧力発生室とノズル開口に連通する連通路２３ａが設けられた連
通板２３と、圧力発生室に圧力を付与してノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段
とを含むヘッド本体、及び連通板と連通板の外周部で接合されてヘッド本体が固定される
固定部材（固定板）７０を備え、固定板には、ノズル開口が露出される露出部開口７１と
、該露出部開口の周囲の少なくとも一部に形成された貫通孔とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】各吐出ノズルによる着弾位置のズレを抑制することができる。
【解決手段】ノズルプレート１５の形状検査により得られた吐出ノズル２２のノズル形状情報を取得する形状情報取得工程と、取得したノズル形状情報に基づいて、吐出ノズル２２の着弾位置を推定して想定着弾位置情報を生成する想定着弾位置情報生成工程と、機能液滴吐出ヘッド３の、ヘッドプレート２に対する設計上の位置である設計位置情報を取得する設計位置情報取得工程と、設計位置情報に、想定着弾位置情報を加味して、機能液滴吐出ヘッド３のアライメント位置情報を生成するアライメント位置情報生成工程と、アライメント位置情報に基づいて、機能液滴吐出ヘッド３をアライメントするアライメント工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制すると共に、高密度化しても小型化可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板１１１と振動板１１２ａの間が隔壁１１２ｂにより隔てられる液室１１０を有するインクジェットヘッド１００は、振動板１１２ａの隔壁１１２ｂにより隔てられている空間上に、圧電素子１２０が形成されており、共通電極１２１は、隔壁１１２ｂ上に延在し、振動板１１２ａ上に、絶縁膜１３２が積層され、開口部１３２ａを介して、個別電極１２３から共通電極１２１の一部を含む領域上に配線１４０が引き出され、絶縁膜１３２と配線１４０を含む領域との間に、配線１４０が引き出される開口部１３３ａが形成されており、配線１４０上にコンタクトホール１３４ａが形成される絶縁膜１３４が形成され、絶縁膜１３３及び１３４は、隔壁１１２ｂに隔てられる空間上の領域を除く領域にはない。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルを有するノズルプレート、前記ノズルと連通する圧力室を有するチャンバープレート、前記チャンバープレートの一側面を封止するダイアフラムプレートを積層した流路ユニットを有する液体吐出ヘッドにおいて、研磨加工時におけるチャンバープレートの平坦度精度を向上すること。
【解決手段】チャンバープレート上に圧力室用の開口１３の他に研磨加工に際しての削り代を前記開口部と同等程度にするためのダミー開口１４ａを形成した。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドの接合信頼性を向上できる製造方法の提供。
【解決手段】接着剤として使用するエポキシ接着剤は、（Ａ）水酸基を持たないエポキシ樹脂モノマー、（Ｂ）硬化剤、（Ｃ）式１で示されるシラノール基を持つシランカップリング剤（１０重量％〜３０重量％）が含まれている処方とし、エポキシ接着剤を、希釈溶剤で希釈した状態で接合する部材の一方の部材に塗布する工程と、減圧下で希釈溶剤を蒸発させる工程と、高湿度雰囲気で加湿した状態で、２つの接合する部材をエポキシ接着剤を介して接合する工程と、を行う。


（ただし、式中、Ｒ１〜Ｒ３は、炭化水酸基（炭素数１〜３）、Ｒ４は、アミノ基,グリシジル基,エポキシ基,炭化水素鎖,エーテル鎖） （もっと読む）