【課題】ノズル形成部材で覆われた基板上のテスト端子が露出することを防ぐことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、エネルギ発生素子（不図示）とエネルギ発生素子を駆動する駆動素子（不図示）とが設けられた基板１を有する。基板１上には、基板１上にインク吐出口（不図示）とインク流路（不図示）とを形成するノズル形成部材６が設けられている。基板１の外周領域には駆動素子を検査するためのテスト端子５が設けられている。ノズル形成部材６は、基板１のテスト端子５が形成された領域に対向する部分に、基板１とノズル形成部材６との間に空隙を成す凹部６ｂが形成されている。凹部６ｂの内部は封止材２０で封止されている。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板のインク供給口のさらなる狭ピッチ化を可能とする。
【解決手段】本体部と記録素子基板２００との間に支持部材３００を介在させる。支持部材３００には、対向する第１、第２の接合面と、一端が第１の接合面において開口し、他端が第２の接合面において開口し、第１の接合面の開口部を介して本体部のインク供給路２５０と連通したインク連通路３３０とを設ける。さらに、インク連通路３３０の第１の接合面における開口部を第２の接合面における開口部よりも外側に位置させる。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板の幅を極力抑え、且つ製造時の歩留まりも低下させないような、長尺なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】記録素子基板上において、インクを吐出するための複数のヒータを互いに一定量の隙間領域を隔てて配置された複数のヒータ群に分割し、これらヒータのそれぞれを記録信号に応じて駆動するための電気回路の少なくとも一部を上記隙間領域に配置させる。これにより、記録素子基板の幅をより狭く形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】配線基板と電気的に接続される圧電素子においてクラック等の発生が有効に防止され、圧電素子と配線基板との接続信頼性に優れたインクジェットヘッド等の液滴吐出ヘッド、その製造方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ）１２における電極バンプ１２ｂを、ノズル２ａから液滴を吐出する領域である有効吐出領域に配設された有効バンプ１２ｂ１と、吐出領域以外の非有効吐出領域に配設された、圧電素子８との電気的接続に直接的には寄与しない非有効バンプ１２ｂ２とから構成し、かつ、非有効バンプ１２ｂ２は、電気的に接続する前に、有効バンプ１２ｂ１よりも高い高さを有するとともに、非有効バンプ１２ｂ２の振動板７側との接触によって妨げられていた有効バンプ１２ｂ１の電極８ａ、８ｂとの接触が、非有効バンプ１２ｂ２自らの熱溶融による高さの減少によって可能となる高さを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】配線基板が本来備える端子を位置ズレ検知端子として機能させることで、配線基板間の配線同士の接続の位置ズレを精度良く検知し、少ない部品構成で安価に検知する。
【解決手段】配線基板の特定の接続端子１２Ａａは、他の接続端子１２Ｂａ，１２Ｃａ，１２Ｄａ，・・・と異なる形状を有し、それの隣の接続端子１２Ｂａとの間隔が部分的に小さくなる検査部分１２Ａａａを備える。配線基板の接続端子と他の配線基板の電極端子との接続状態を、検査部分１２Ａａａと接触する電極端子部１１Ｂａとの導通状態の有無により両者の接続状態の位置ズレを精度良く検査できる。 （もっと読む）

【課題】多ノズル化した液滴吐出ヘッドにおいて、液滴吐出用アクチュエータの駆動回路の時定数を小さくして、液滴吐出動作の遅れを低減する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔１６が形成されたノズル基板５と、底壁が振動板１１を形成し、液滴をノズル孔１６から吐出させる吐出室１２となる複数の凹部が形成されたキャビティ基板３と、電極を構成している複数の振動板１１にギャップを隔てて対向し、各振動板１１を駆動する複数の個別電極７が形成された電極基板２とを備え、電極基板２には、複数の個別電極７を駆動させるためのドライバＩＣ２０と、電極基板２の外部からドライバＩＣ２０へ個別電極７の駆動信号を入力する入力配線２５が設けられ、個別電極７がＩＴＯから形成され、入力配線２５が金属材料から形成されている液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】ヘッドユニット間の隙間に液体が浸入するのを防止することができる液滴吐出ヘッド、及び画像形成装置を得る。
【解決手段】図１（Ｂ）に示す２箇所の屈曲部を有する第１連結テープ１５０は、図１（Ｃ）に示されるように、ノズル面１２４Ａの隙間Ｓを塞ぎ、ノズル面１２４Ａから隙間Ｓに液体が浸入するのを防止することができる。また、直線状の第１側面テープ１５２は、図１（Ｄ）に示されるように、Ｌ字形状に折り曲げられ、流路ユニット１２４間の側面部１２４Ｃの隙間Ｓを塞ぎ、側面部１２４Ｃから流路ユニット１２４間の隙間Ｓに液体が浸入するのを防止している。さらに、フレキシブルプリント基板１１６、１１８と流路ユニット１２４の側面隙間を塞ぐことで液体が側面隙間を伝わって流路ユニット１２４間隙間Ｓに浸入するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】より有効的に制御を実現するための静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１を複数有するノズル基板３０と、各ノズル３１に合わせて設けられ、振動して液体を加圧する振動板２２を備える吐出室２１となる複数の凹部を有するキャビティ基板２０と、振動板２２と対向し、静電気力を発生させて振動板２２を振動させるための個別電極１２ａを有する電極基板１０とを少なくとも備え、個別電極１２ａを複数段で構成し、初期状態において、個別電極１２ａの１つの段と振動板２２の一部とが接触している構造とする。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータとして必要な基本特性を確保しつつ、アクチュエータの発生圧力を向上させることが可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成された固定電極と、この固定電極に所定のギャップを介して対向配置された可動電極と、前記固定電極と前記可動電極との間に静電気力を発生させて該可動電極に変位を生じさせる駆動手段とを備えた静電アクチュエータにおいて、前記固定電極の対向面に形成された第１の絶縁膜７と、前記可動電極の対向面に形成された第２の絶縁膜８とを備え、前記第１及び第２の絶縁膜の少なくとも一方を、酸化シリコンよりも比誘電率が高い誘電材料どうしを積層してなる絶縁膜の構成とする。 （もっと読む）

【課題】 ドライブＩＣによる凹凸が形成されてなる基板においても樹脂膜を面内で均一に塗布可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する事を目的とする。
【解決手段】 本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、少なくともソルベントコート時にドライブＩＣ間隙に前記被覆樹脂をディスペンサにて注入後、ドライブＩＣ上を含む基体上全面に改めて被覆樹脂を塗布することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の特性が均一化されたアクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に圧電素子の電極とは電気的に不連続で且つ圧電素子の上電極と同一層を有するテストパターン４００を形成し、圧電素子を覆う保護膜２００で覆うと共に、保護膜２００のテストパターン４００の上電極に相対向する領域を圧電素子を覆う保護膜２００に設けられる開口部と同時にエッチングすることにより検査用開口部２０４を形成し、前記テストパターン４００に検査用開口部２０４が形成されていない第１の状態で、当該テストパターン４００の上電極の電気抵抗値を測定し、テストパターン４００に検査用開口部２０４を有する保護膜２００が形成された第２の状態で、当該テストパターン４００の上電極の電気抵抗値を測定し、第１の状態の電気抵抗値と第２の電気抵抗値とに基づいて上電極のエッチング量を取得する工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータとして必要な基本特性を確保しつつ、アクチュエータの発生圧力を向上させることが可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成された固定電極と、この固定電極に所定のギャップを介して対向配置された可動電極と、前記固定電極と前記可動電極との間に静電気力を発生させて該可動電極に変位を生じさせる駆動手段とを備えた静電アクチュエータにおいて、前記固定電極の対向面に形成された第１の絶縁膜７と、前記可動電極の対向面に形成された第２の絶縁膜８とを備え、前記第１及び第２の絶縁膜の少なくとも一方が、酸化シリコンと、酸化シリコンよりも比誘電率が高い誘電材料とを積層した構成とする。 （もっと読む）

【課題】異物による目詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室と連通部１３とが設けられた流路形成基板１０と、流路形成基板１０に設けられた圧電素子と、流路形成基板１０に接着剤３５を介して接着されて、連通部１３と連通してリザーバ１００を構成するリザーバ部３１が設けられたリザーバ形成基板３０と、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０との間に設けられて、連通部１３とリザーバ部３１とを連通する貫通部５１が設けられた振動板５０と、振動板５０の貫通部５１の開口縁部に設けられて貫通部５１に連通する連通孔１９１が設けられた支持層として機能する配線層１９０とを具備し、振動板５０の貫通部５１の開口縁部及び配線層１９０の連通孔１９１の開口縁部がリザーバ部３１の内壁よりもリザーバ１００の内側に突出して設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で効率良く圧電素子及び圧電素子周辺を加熱し、安定した液滴の吐出の可能な液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電素子６０と圧電素子６０の一方の側に設けられる上部電極６４と圧電素子６０の他方の側に設けられる下部電極５８とを有する圧電素子６０と、一方の側に圧電素子６０の下部電極５８が設けられるＴＥＯＳ膜５４と、ＴＥＯＳ膜５４の他方の側に設けられるＬＯＣＯＳ膜４４と、ＴＥＯＳ膜５４とＬＯＣＯＳ膜４４との間に形成される第１の電気配線５２と、第１の電気配線５２と下部電極５８とを接続する第２の電気配線５６と、を有する圧電素子基板７１に、発熱抵抗体３７が設けられたインクジェット記録ヘッド３２とする。そして、それを備えたインクジェット記録装置１０とする。 （もっと読む）

プリントヘッドは、支持体上に配列された複数の行導体(26)と、支持体上に配列された複数の列導体(28)と、支持体上に行及び列を成して配列された複数のエジェクタ(10)とを含む。複数のエジェクタのそれぞれは、支持体上に配列された抵抗素子(20)と、複数のエジェクタのそれぞれに専用の、支持体を通る供給通路とを含む。半導体デバイス(24)が各抵抗素子と組合わさっている。該半導体デバイスは、半導体デバイスと組合わさる抵抗素子を作動させるために、複数の行導体のうちの１つ又は複数の列導体のうちの１つからの信号に対して応答する。
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【課題】液体移送ヘッドの構成を簡単にし、小型化を容易にする。
【解決手段】個別インク流路１０内には、前方の端部に複数の端部に個別電極１２を覆うように絶縁層１５が形成されているとともに、絶縁層１５の後方に隣接する領域に絶縁層１６が形成されている。個別電極１２にグランド電位が付与されたときには、絶縁層１５表面におけるインクの濡れ角が絶縁層１６表面におけるインクの濡れ角よりも大きく（限界濡れ角よりも大きく）、個別インク流路１０の絶縁層１５に対向する部分にはインクが流れ込まない。個別電極に駆動電位Ｖ_１が付与されたときには、絶縁層１５表面の個別電極１２に対応する部分におけるインクの濡れ角が、絶縁層１６におけるインクの濡れ角とほぼ等しくなり（限界濡れ角以下となり）、個別インク流路１０の絶縁層１５に対向する部分にインクが流れ込み、吐出口１０ａからインクが吐出される。 （もっと読む）

【課題】圧電体膜の所定の配向度を安定して再現性良く得ることにより、安定した高い圧電特性を備えた圧電体素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２０上に振動板膜３１、３２を成膜する工程（Ｓ１）と、振動板膜３１、３２上に下部電極３３を成膜する工程（Ｓ２）と、下部電極３３上に圧電体膜４３ａを成膜する圧電体成膜第１工程（Ｓ３）と、圧電体成膜第１工程で成膜された圧電体膜４３ａ及び下部電極３３を所定形状にパターニングする工程（Ｓ４）と、パターニングにより残された圧電体膜４３ａ上および圧電体膜が除去された振動板膜３１、３２上に更に圧電体膜を成膜し、所望の厚さの圧電膜４３を成膜する第２工程（Ｓ５）と、圧電体膜４３上に上部電極４４を形成する工程（Ｓ６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】下地との密着力が高い下電極を有するアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】基板の一方面側に設けられた下電極と該下電極上に設けられた圧電体層と該圧電体層上に設けられた上電極とからなる圧電素子を有し、前記下電極が貴金属を含有し、前記下電極を厚さ方向に二次イオン質量分析装置（ＳＩＭＳ）により測定した際に、前記下電極の前記基板側の境界で検出される酸素イオンの強度Ｚ_１と、前記下電極の前記基板側の境界で検出される前記貴金属のイオンの強度Ｚ_２との比Ｚ_１／Ｚ_２が、０．２以上である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子に直接接合したＦＰＣケーブルを折り曲げて引き出すと接合部分に負荷がかかり、信頼性が低下するおそれがある。
【解決手段】複数の圧電素子を一体的に形成した圧電素子部材４２Ａ〜４２Ｄを１つのベース部材４１に接合配置して一体的に設け、ベース部材４１には圧電素子４２Ｂ、４２Ｃの間に貫通穴４４を形成し、圧電素子部材４２Ｂ、４２Ｃに直接接合したＦＰＣケーブル４３Ｂ、４３Ｃは貫通穴４４を通じてベース部材４１の圧電素子接合側とは反対側に引き出している。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板と電気配線基板との電気的な接続部分の封止構造を改善し、画像性能および吐出動作の信頼性、生産性を向上させる。
【解決手段】電気配線基板１００１は、ノズル１１０３を露出させるデバイスホール１０２と、このデバイスホール１０２に近接する位置に設けられた補助開口１０１と、補助開口１０１とデバイスホール１０２とを仕切る堤体部１０３と、補助開口１０１内に突出されて延ばされ補助開口１０１内で記録素子基板１００３の電気接続パッド１２０７に電気的に接続されるインナーリード１１０２とを有する。インナーリード１１０２は補助開口１０１内で封止剤１１０１によって被覆される。そして、堤体部１０３は、ノズル部材１２０８の少なくとも一部を覆うようにノズル部材１２０８の積層方向に対してノズル部材１２０８に近接して配置される。 （もっと読む）