【課題】多層構造の圧電素子の製造効率を高めつつ、信頼性の向上を図る。
【解決手段】圧力室１２とは反対側の振動板表面に形成された圧電素子１７は、互いに積層された上層圧電体３４及び下層圧電体３５からなる圧電体層３１と、この圧電体層３１に付与される電場を発生する電極層３３，３６，３７とを備える。そして、振動板１４側から、共通下電極３７、下層圧電体３５、駆動電極３３、上層圧電体３４、共通上電極３６の順にそれぞれ積層して形成する。さらに、上層圧電体を下層圧電体よりも幅広に構成する。 （もっと読む）

【課題】 複数列の記録素子または複数のアクチュエータを備えるものにおいて、フレキシブル配線板の配置を工夫することによって、生産効率の向上、装置の小型化を達成し得る記録装置を提供する。
【解決手段】 ２個のインクジェットヘッド２４は、キャリッジ２６の下壁４２に位置決め装着される。その２個のインクジェットヘッド２４からアクチュエータ側フレキシブル配線板４９はそれぞれ外側へ引き回され、キャリッジ２６の側壁に設けられる中継回路板ユニット９３に接続される。中継回路板ユニット９３は、キャリッジ側フレキシブル配線板と接続される。中継回路板ユニット９３は、駆動回路を有する一方その駆動回路の熱を放熱する放熱板を有する。２個のインクジェットヘッド２４の上方にはインクカートリッジ２２が接続される。 （もっと読む）

【課題】複数の貫通口が形成されていても配線パターンや保護膜等の形成が容易にできる基板の製造方法と基板、及び液滴吐出ヘッドの製造法と液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】複数の貫通口４２、４４、１１２を有する基板７０に対して配線パターン９０を形成する基板の製造方法であって、貫通口４２、４４、１１２に充填材料８６を埋め込んで基板７０の表面を平坦化してから配線パターン９０を形成する。 （もっと読む）

【課題】外部から圧電体への水分や水素・窒素・酸素等の侵入、及びインク等の電解質液に触れたときのアルカリイオンの圧電体への侵入などを抑制し、圧電体素子の信頼性を改善する。
【解決手段】圧電体素子３４は、振動板５２Ａを有する基板５２上に設けられており、下層電極層としての共通電極４６、圧電体４８、及び上層電極層としての信号電極５０がこの順で積層されている。信号電極５０の上には、層間絶縁層５６を介して電気伝導層７０が被覆されている。電気伝導層７０は圧電体４８の側方にも延在して層間絶縁層５６を介して圧電体４８の側部を覆っている。電気伝導層７０には、高融点金属、および、その窒化物、珪化物、または、硼化物のいずれか１つが用いられている。圧電体素子３４の上部であって、電気伝導層７０と接触する位置に圧力室８６が配設されている。 （もっと読む）

【課題】ノズルが高密度化されて、電気接続部と液体供給路との間隔が狭くなっても、液体供給路に導電性材料が流入しないようにできる液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】液滴を吐出するノズル５６と、ノズル５６と連通し、液体１１０が充填される圧力室１１５と、圧力室１１５の一部を構成する振動板４８と、振動板４８を変位させる圧電素子４６と、を有する液滴吐出ヘッド３２において、圧電素子４６が形成された基板７０上に成膜された感光性材料４０の内部に、導電性材料８６と接続させる金属膜９０を埋設する。 （もっと読む）

【課題】 高密度実装に際して低コストで電気的な信頼性を高くすること。
【解決手段】 圧電素子２４の活性部５８の周囲の隔壁を構成している隔壁層２５上に天板２６を配置し、この天板２６には、共通液室５５から圧力室５２への液体供給用の貫通孔２６１と、天板２６の上面から圧電素子２４の上部電極５７への配線接続用の貫通孔２６２と、配線接続用の貫通孔２６２に導電性材料が充填されてなり圧電素子２４の上部電極５７に接続している充填接続部３１と、充填接続部３１に連結している上部接続電極３２とが形成されている。圧電素子２４の活性部５８は、行方向及び列方向に２次元的に複数配列され、圧電素子２４の下部電極５６は、行方向の複数の活性部５８で共通に形成され、上部接続電極３２は、列方向の複数の活性部５８で共通に設けられている。また、天板２６の充填接続部３１と上部接続電極３２とが同一の導電性材料で一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 寸法精度が得られにくい積層セラミック基板と液体吐出基板の電極端子同士が確実に接合されたインクジェット記録ヘッドの提供。
【解決手段】 パッドをチップ長手の両端で不均等に配置する。チップのパッド配置は回路上・スペース上制約があるため、パッド数の少ない端には、チップ内で配線を引き回せず、チップの両端に配置しなければならない端子に限定する。 （もっと読む）

【課題】 機械的振動が付加される場合においても、電気接続部の信頼性を確保する。
【解決手段】第１の電極と第２の電極が接続される電気接続部を備え、前記電気接続部は少なくともＧａ金属を含む合金で構成され、前記合金は３０℃未満の融点であることを特徴とする電気配線構造を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】印刷領域全体にわたってノズルを配置するとともに、高解像度を実現できるインクジェットヘッドを得る。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１１は、基板１２、共通液室１４、枠部材１３、第１から第３の駆動素子列２１、２２、２３、第１から第３のノズル列３１、３２、３３、を具備する。第１の駆動素子列２１の一部は、第２の駆動素子列２２の一部とオーバラップし、この領域において、第１のノズル列３１と、第２のノズル列３２とが千鳥状に配置する。第２の駆動素子列２２の一部は、第３の駆動素子列２３の一部とオーバラップし、この領域において、第２のノズル列３２と第３のノズル列３３とが千鳥状に配置する。第３の駆動素子列２３の一部は、第１の駆動素子列２１の一部とオーバラップし、この領域において、第３のノズル列３３と第１のノズル列３１とが千鳥状に配置する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化及びヘッドの小型化を可能とした液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド７４のヘッドチップを構成する積層流路板１００では、圧力室プレート１４に設けられた振動板３０の上面部分に圧電素子３２を形成し、圧電素子３２を駆動する駆動ＩＣ４２は、流路プレート１２の下面１２Ｂに形成する。また、圧力室プレート１４及び流路プレート１２を貫通する貫通孔４４を形成し、貫通孔４４に導電ペースト４８を充填して圧電素子３２と駆動ＩＣ４２を電気的に接続する。このように、圧電素子３２及び駆動ＩＣ４２を異なる面に形成することで、圧電素子と駆動回路を同一面に形成する構成に比べて、ノズルの高密度化とヘッドの小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の形成が基板材料に依存することなくガラス基板にも適用でき、静電アクチュエータの発生圧力を向上させるとともに、低コストのもとで静電アクチュエータの駆動の安定性および駆動耐久性の向上を図る。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、前記個別電極５と前記振動板６との間に静電気力を発生させて該振動板６に変位を生じさせる駆動手段とを備えた静電アクチュエータにおいて、前記固定電極および前記可動電極の対向面の一方または両方に設けられた絶縁膜７と、この絶縁膜７上に設けられた表面保護膜８とを備え、前記表面保護膜８がセラミックス系硬質膜または炭素系硬質膜からなるものとする。 （もっと読む）

【課題】吐出性能に悪影響を与えることなく、液体吐出基板の裏面と支持部材の表面との間の隙間や電極部分などを完全にシーリングする。
【解決手段】第１のシーリング樹脂５１０は、支持部材２００における液体供給口２１０の両最端部分近傍を囲むように、“コの字型”に塗布されている。そして、液体吐出基板４００が、第１のシーリング樹脂５１０の上から搭載され、支持部材２００の電極パッド２２０と電気的に接合されている。さらに、支持部材２００上の液体吐出基板４００の全周に第２のシーリング樹脂５２０が塗布されている。 （もっと読む）

【課題】電極間に電圧を印加するための電送系の構成を簡素化するとともに、噴射ノズルからの液滴噴射時に、非噴射ノズルからも液滴が噴射されてしまうのを防止することが可能な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッド１の圧電アクチュエータ３は、複数の圧力室１４を覆う圧電層３１と、複数の圧力室１４に対応して異なる２方向にマトリックス状に配置された複数の第１電極３２及び複数の第２電極３４を備え、１列に配列された第１電極３２同士が互いに導通する一方で、１列に配列された第２電極３４同士も互いに導通している。そして、ドライバＩＣは、１列の第１電極３２に対して第１電位と第２電位の何れか一方を同時に付与するとともに、１列の第２電極３４に対して第１電位と第２電位とは異なる電位である、第３電位と第４電位の何れか一方を同時に付与する。 （もっと読む）

【課題】電体層の結晶性を向上して駆動耐久性及び信頼性を向上したアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】基板１０上に変位可能に設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００を具備し、前記上電極８０の長手方向の端部が、前記圧電素子３００の実質的な駆動部となる圧電体能動部３２０の長手方向の端部を規定していると共に、前記下電極６０及び前記圧電体層７０が、前記圧電体能動部３２０の長手方向の外側まで連続して設けられており、且つ前記圧電体層７０の前記圧電体能動部３２０の外側の領域を厚さの薄い薄膜部７１とする。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップと配線基板との位置決めが容易で位置精度が高いインクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法及びヘッドチップ実装用配線基板を提供すること。
【解決手段】圧電素子からなる駆動壁１１とチャネル１２とが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれチャネル１２の出口と入口とが配置され、前記チャネル１２内面に形成された駆動電極と電気的に接続する接続電極が後面に形成されてなるヘッドチップ１と、前記ヘッドチップ１の後面に接合され、前記接続電極と電気的に接続される配線電極３３が配列されてなる配線基板３とを有し、前記配線基板３の表面に、該配線基板３に接合された前記ヘッドチップ１の接合面の外周縁に当接するように、複数の突起３６が形成され、この突起３６によりヘッドチップ１が位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】圧電体をより良好に駆動することができる構成を備えたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、液体を吐出する吐出口１１１と、吐出口１１１に連通する個別液室１０６と、個別液室１０６に接する振動板１０７と、振動板１０７上に設けられた圧電素子を有する。圧電素子は、振動板１０７上に設けられた下電極１０２と、下電極１０２上に設けられ、長手方向に延びた形状を有する圧電体薄膜１０３と、圧電体薄膜１０３上に長手方向に沿って設けられた上電極１０４とを有する。上電極１０４は、長手方向に交わる幅方向における厚みが段階的に変化した形状を有している。 （もっと読む）

【課題】 裏面実装ヘッドにおける放熱特性のＵＰを図る。
【解決手段】 裏面電極を有する記録素子基板の裏面の保護膜に関して、放熱部材接合部の保護膜と裏面電極接合部の保護膜の膜構成が異なる構成とする。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分の影響による圧電素子の破壊やショートを防止でき、耐久性の高いインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を得る。
【解決手段】圧力室毎に圧電素子が形成されたヘッド基板２と、圧電素子に接続されたフレキシブルプリント配線板３と、を備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、フレキシブルプリント配線板を挿通させ、一方の開口部がヘッド基板の振動板が設けられた他方の面の外周部に低透湿性接着剤で接着された筒状筐体５と、前記筒状筐体内に収容された吸湿剤６と、フレキシブルプリント配線板を挿通させるスリット部９が形成され、スリット部を通してフレキシブルプリント配線板を筒状筐体の外部へ引出した状態で、筒状筐体の他方の開口部を塞ぐ蓋部材６と、を備え、スリット部とフレキシブルプリント配線板、及び、蓋部材の外周部と筒状筐体の他方の開口部が低透湿性の紫外線硬化型接着剤により接着シールされている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子群の電極と配線部材の端子とを接合する接合部の接合強度を十分に確保し、組立ての際に配線部材の剥離を防止するができる圧電素子ユニットの製造方法、圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】圧電素子群２１における固定板２２を固定する面とは反対側となる配線接続面３８に半田接合領域４０を設定すると共に、該半田接合領域４０よりも圧電素子群２１の後端側にレジスト塗布領域４２を設定し、半田接合領域４０にフレキシブルケーブルの個別配線端子を半田接合する際に、レジスト塗布領域４２に塗布したソルダーレジストを溶融させて、フレキシブルケーブルを配線接続面３８に接合した。 （もっと読む）

【課題】高い駆動電圧を印加しても配線間で短絡を生じることを有効に防止することが可能なインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】インクジェット記録装置１は、複数のノズル７と、ノズル７内の液体に圧力を加えるための圧力発生手段８と、各圧力発生手段８に印加するピーク電圧が３０［Ｖ］以上の電気パルス信号を発生させる電気パルス信号発生手段２６、２７と、各圧力発生手段８と電気パルス信号発生手段２６、２７とを接続する配線１０と、各圧力発生手段８にＧＮＤレベルを供給する接地配線１１とを有する記録ヘッド５を備え、記録ヘッド５は、隣接配線１０に印加される電圧の電位差または配線１０と接地配線１１との電位差をΔＶ［Ｖ］、隣接配線１０の間隔または配線１０と接地配線１１との間隔をｄ［ｍｍ］とした場合に、ΔＶとｄとの関係が、ΔＶ≦１００［Ｖ／ｍｍ］×ｄによって規定される。 （もっと読む）