【課題】本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、ダミー基板上に圧電アクチュエータを形成するステップと、前記圧電アクチュエータをインクジェットヘッドのヘッドセル単位に切断するステップと、前記圧電アクチュエータと対応する位置に形成されるインクチャンバを含むインクジェットヘッド基板を設けるステップと、前記圧電アクチュエータと前記インクチャンバが互いに対応するよう、前記ダミー基板と前記インクジェットヘッド基板を接合するステップと、前記ダミー基板を除去するステップと、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】１．０×１０^―１Ａ／ｃｍ^２以上のリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法は、第１電極６０と第２電極８０とに挟持された圧電体層７０を備え、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、蒸着法により白金又はイリジウムの少なくとも１種を含む拡散抑制層６２を形成する工程を含む第１電極６０を形成する第１電極形成工程と、第１電極６０上に、チタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する圧電体層形成工程と圧電体層７０上に、第２電極８０を形成する第２電極形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電特性や誘電性の向上を図り、これらの基板面内での均一性に優れた圧電体素子、その製造方法、及び圧電体デバイスを提供する。
【解決手段】圧電体素子は、表面に酸化膜が形成された基板１と、密着層２と、下部電極層３と、（Ｎａ_ｘＫ_ｙＬｉ_ｚ）ＮｂＯ_３で表される圧電薄膜４を有し、圧電薄膜４が、擬立方晶、立方晶、正方晶、斜方晶、六方晶、単斜晶、三斜晶、もしくは斜方面体の結晶構造、または少なくとも一つの結晶構造が共存した状態を有しており、ある特定の軸に優先的に配向しており、圧電薄膜４の基板面内の格子面間隔ａと基板面外の基板法線方向の格子面間隔ｃとの結晶格子歪量ｃ／ａ、及び圧電定数、比誘電率、誘電損失のうち少なくとも一つの物理量の相対標準偏差が、ｃ／ａでは０．２％未満、圧電定数では４．３％以下、比誘電率では３．２％以下、あるいは誘電損失では１０．１％以下である。 （もっと読む）

【課題】耐電圧性が良好となる圧電体を含む、液体噴射ヘッド、圧電素子、圧電アクチュエーター及び液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】圧電体３０及び圧電体３０に電圧を印加する電極１０，２０を含む圧電アクチュエーター１０２を備えた液体噴射ヘッド６００であって、圧電体３０は、鉄酸マンガン酸ビスマスランタンであり、鉄酸マンガン酸ビスマスランタンは、鉄のモル数とマンガンのモル数との和に対するビスマスのモル数とランタンのモル数との和の比が、０．８７以上０．９４以下であり、かつ、ランタンのモル数に対するビスマスのモル数の比が、３．５７以上４．８２以下である。 （もっと読む）

【課題】リーク電流値の低い非鉛誘電体セラミックスおよびその原料となるビスマス鉄酸化物粉体を提供する。
【解決手段】そのための本発明はビスマス鉄酸化物からなる、少なくとも（Ａ）ペロブスカイト型結晶構造を有する粒子、（Ｂ）空間群Ｐｂａｍに分類される結晶構造を有する粒子、および（Ｃ）空間群Ｉ２３に分類される粒子を含有するビスマス鉄酸化物粉体。ビスマス鉄酸化物からなる誘電体セラミックスにおいて、空間群Ｐｂａｍに分類される結晶構造を有するビスマス鉄酸化物結晶が、ペロブスカイト型結晶構造を有するビスマス鉄酸化物結晶からなる結晶粒の粒界に存在する誘電体セラミックスである。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッド１の吐出チャンネル１２方向の幅を縮小し、かつ、複雑な製造工程の不要な簡素な電極取り出し構造を実現する。
【解決手段】基板表面の前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘って側壁３により離隔された複数の溝５を有し、引出電極８を当該側壁３の上面に形成した圧電体基板４と、マニホールド９を備え、圧電体基板４の表面に接合したカバープレート１１と、カバープレート１１と溝５により構成されるチャンネルのマニホールド９よりも後方端ＲＥ側の後方チャンネル１０の開口を閉塞する封止材１４を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の結晶性を向上し良好な変位特性が安定して得られる圧電素子を備えた液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の形成方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウエハー１１０の表面に第１の電極膜６０を形成する工程と、第１の電極膜上に第１の強誘電体膜７１ａを形成する工程と、この第１の強誘電体膜７１ａ上に形成したレジスト膜をマスクとして第１の強誘電体膜７１ａ及び第１の電極膜６０をエッチングする工程と、酸素プラズマアッシングによってレジスト膜を除去する第１の除去工程と、保護用レジスト膜を形成する工程と、最終的に有機剥離液で処理することによりレジスト膜及び保護用レジスト膜を除去する第２の除去工程と、残りの強誘電体膜を形成する工程と、強誘電体膜上に第２の電極膜を形成後、第２の電極膜及び強誘電体膜をパターニングして圧電素子を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、強誘電体からなる圧電素子を有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子並びに圧電材料を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、第１電極と、前記第１電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第２電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ及びＭｎを含むペロブスカイト型複合酸化物からなり、強誘電体である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、歪み量が大きい圧電素子を有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子並びに圧電材料を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０と、前記第１電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第２電極と、を備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層は、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ及びＭｎを含むペロブスカイト型複合酸化物からなり、電界誘起相転移を示す液体噴射ヘッドＩとする。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れ且つ環境への負荷が小さい圧電体層を製造することができる圧電材料の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルの金属酸化物又は金属炭酸塩の粉末を混合して仮焼成することによりナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有する複合酸化物を形成する工程と、前記ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有する複合酸化物にマンガン及びビスマスを含有する金属酸化物又は金属炭酸塩を添加して混合した後焼結することにより、ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物及びマンガン酸ビスマスを含む固溶体からなる圧電材料を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく且つ比誘電率が高い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層７０と、圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、膜厚が３μｍ以下であり、鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、（１１０）面に優先配向し、且つ、この（１１０）面に由来するＸ線の回折ピークの半値幅が０．２４°以上０．２８°以下である。 （もっと読む）

【課題】保護膜と圧電体層との密着性が向上した圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、基板の上に形成された第１電極と、前記第１電極の上に形成された圧電体層と、前記圧電体層の上に形成された第２電極と、少なくとも前記圧電体層の側面を覆う保護膜と、を含み、前記圧電体層の前記側面は、前記第２電極から前記第１電極に向かう方向に沿って延びる複数の溝を有する。 （もっと読む）

【課題】電極材料の選択の自由度を大きくできる圧電素子と、その製造方法、並びに、この圧電素子を含む圧電アクチュエーター、液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子５０は、基板１の上に形成された第１電極１０と、第１電極１０の上に形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上に形成された第２電極４０と、少なくとも第１電極１０の側面を覆うように形成された樹脂層３０と、を含み、第１電極１０は、卑金属からなる金属層１１と酸化防止層１２とを有し、酸化防止層１２は、金属層１１と圧電体層２０とが接しないように、金属層１１と圧電体層２０との間に設けられる。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】チタン酸ビスマスを含み、クラックを生じにくい圧電体を有するアクチュエータ
ーおよび液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド６００は、圧電体３０および圧電体３０に電
圧を印加する電極を含む圧電アクチュエーター１０２を備えた液体噴射ヘッド６００であ
って、圧電体３０は、チタン酸ビスマスを主成分とする層、および鉄酸マンガン酸ビスマ
スランタンを主成分とする層が積層された構造を有する。 （もっと読む）

【課題】ビスマス系の複合酸化物からなる圧電体を含み、ＰＺＴよりも小さい鉛含有量で、変位量の大きいアクチュエーターおよび液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッドは、＜１１１＞に優先配向した白金電極１０および白金電極１０に接して形成された圧電体３０を有する圧電アクチュエーター１０２を備えた液体噴射ヘッド６００であって、圧電体３０は、チタン酸亜鉛酸ビスマスランタンおよびチタン酸鉛の固溶体を含み、前記圧電体は、＜１００＞に優先配向している。 （もっと読む）

【課題】配向性の良好な配向性酸化物セラミックスの製造方法を提供する。
【解決手段】酸化物結晶Ｂを含むスラリーを得る工程と、前記酸化物結晶Ｂに磁場を印加するとともに前記酸化物結晶Ｂの成形体を得る工程と、前記成形体を酸化処理して、前記酸化物結晶Ｂの一部もしくは全体とは異なる結晶系を有する酸化物結晶Ｃからなる配向性酸化物セラミックスを得る工程を有する配向性酸化物セラミックスの製造方法。（１）原料を反応、（２）酸化物結晶Ａを還元、または（３）酸化物結晶Ａを高温に保持、急冷することで得られた酸化物結晶Ｂを含むスラリーを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】ビスマス系の複合酸化物からなる圧電体を含み、耐電圧が良好なアクチュエーターおよび液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッドは、薄膜法により形成された圧電体および前記圧電体に電圧を印加する電極を含む圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体は、チタン酸亜鉛酸ビスマスランタンおよびチタン酸鉛の固溶体を含み、前記圧電体における、前記チタン酸亜鉛酸ビスマスランタンの前記チタン酸鉛に対するモル比（チタン酸亜鉛酸ビスマスランタン／チタン酸鉛）は、０．３９以上０．６１以下である。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で、流路、ノズル部の気泡排除あるいは異物詰まりのメンテナンスが可能な液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの洗浄方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル１２７と、ノズル１２７と連通し、ノズル１２７から吐出する液体を収容する圧力室１２４と、圧力室１２４を構成する壁面に設けられ、圧力室１２４内の液体を加圧する圧電体アクチュエータ１２５と、を備え、圧電体アクチュエータは、超音波発振器能を併せ持つことを特徴とする液体吐出ヘッド１２９、および、液体吐出ヘッド１２９の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】均一な形状を有する圧電アクチュエータを容易に形成することができ、駆動電圧に比べて駆動効率が良いインクジェットプリントヘッド及びインクジェットプリントヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流入されたインクをノズル４５に吐出するためにインクを貯蔵する圧力チャンバ５０と、圧力チャンバ５０に対応する外部面において圧力チャンバ５０の方向に凹溝形成される圧電アクチュエータ収容部２０と、圧電アクチュエータ収容部２０に粘度がある圧電体液が充填されて固化され、圧力チャンバ５０にインクの吐出駆動力を提供する圧電アクチュエータ２００と、を含むインクジェットプリントヘッド１００。 （もっと読む）