【課題】圧電体層の側面において、連続したリークパスが形成されにくい圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極２０と、第１電極２０の上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上に形成された第２電極４０と、を含み、圧電体層３０の側面は、第１電極２０から第２電極４０に向かう方向に沿って延びる第１の溝３５が複数形成された第１の波状面３２と、第１の波状面３２よりも第２電極４０側に設けられ、第１電極２０から第２電極４０に向かう方向に沿って延びる第２の溝３６が複数形成された第２の波状面３３と、第１の波状面３２と第２の波状面３３との境界領域３４と、を有し、第１の溝３５の第１の間隔は、第２の溝３６の第２の間隔と異なる。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１の面１６において、第１の凹部１４を有する振動板１０と、第１の凹部１４内に形成され、上面に第２の凹部２６が形成された第１電極２０と、振動板１０および第１電極２０の上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上に形成された第２電極４０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】全体厚みが１００μｍ以下であっても層間剥離を抑制でき、優れた圧電特性が得られ、しかも変位制御が容易な積層圧電体、圧電アクチュエータおよびこれを備えた印刷ヘッドを提供することである。
【解決手段】複数の圧電セラミック層１を積層した積層体と、該積層体の内部に設けられたＡｇ−Ｐｄ合金からなる内部電極２とを備え、厚みが１００μｍ以下であり、内部電極２がセラミックスからなる共材を含有し、該共材の９０％以上がＡｇ−Ｐｄ合金の粒界の３重点に存在する積層圧電体である。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の配向を容易に制御できる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上方に第１電極１０を形成する工程と、第１電極１０の上方に前駆体溶液を塗布する工程と、前駆体溶液を乾燥および脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層にマイクロ波を照射して前記前駆体層を結晶化し、圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上方に第２電極３０を形成する工程と、を含み、圧電体層２０は、鉛、ジルコニウム、チタンおよびニオブを含む酸化物である。 （もっと読む）

【課題】凹部３を構成する側壁１０の厚さが圧力室４の配列ピッチや駆動条件に影響しないようにして設計自由度を拡大させた液体噴射ヘッド１を提供する。
【解決手段】表面に凹部３からなる圧力室４を所定方向に複数配列する基体２と、凹部３の側壁１０上面に接合し、凹部３の開口端を閉塞する圧電体基板５と、圧力室４に液体を供給する液体供給室６と、圧力室４から液体を吐出する吐出孔２２と、を備え、圧電体基板５は開口端の端面の面内方向に一様に分極され、圧電体基板５の圧力室４とは反対側の表面及び圧力室４側の裏面に圧電体基板５を挟む一対の表面及び裏面駆動電極９ａ、９ｂが開口端の略中央部から凹部３の側壁１０まで延在させた。 （もっと読む）

【課題】電気−機械変換膜のクラックが発生し難い、電気−機械変換膜形成方法を提供する。
【解決手段】第１の電極４２となる基板１上に部分的に表面改質を行う工程と、この電極上にゾルゲル液５をインクジェット方式により部分的に塗布する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程を繰返し行い所望する膜厚８を得る工程により電気−機械変換膜を形成する電気−機械変換膜の形成方法において、塗布する工程内において、所望パターン領域内でゾルゲル液滴６の着弾時の隣接ドットが、レベリングにより凝集しない間隔で配置されるようにゾルゲル液を滴下する。 （もっと読む）

【課題】安定したインク吐出特性を得ることが可能な電気機械変換素子及びその製造方法、並びに、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本電気機械変換素子の製造方法は、金属からなる第１の電極を形成する第１工程と、前記第１の電極上に導電性酸化物からなる第２の電極を形成し、前記第２の電極をパターニングする第２工程と、前記第１の電極のみを表面改質させて撥水化する第３工程と、パターニングされた前記第２の電極上にインクジェット法により電気機械変換膜を形成する第４工程と、前記電気機械変換膜上に導電性酸化物からなる第３の電極を形成する第５工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液の液滴をノズルから吐出させる液滴吐出方式により、第１の電極上の所定部分に前記塗布液を選択的に塗布する塗布工程と、前記第１の電極上に塗布した塗布液の膜を乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥させた塗布液の膜を熱分解して結晶化させる結晶化工程とを有する電気機械変換膜の製造方法であって、前記塗布工程は、前記ノズルから吐出した塗布液の主液滴に付随する微小の付随液滴を前記第１の電極に到達する前に回収する回収工程を有する。 （もっと読む）

【課題】安定したインク吐出特性を得ることが可能な電気機械変換素子及びその製造方法、並びに、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本電気機械変換素子の製造方法は、導電性酸化物からなる第１の電極を形成する第１工程と、前記第１の電極上に金属からなる第２の電極を形成し、前記第２の電極をパターニングする第２工程と、前記第２の電極のみを表面改質させて撥水化する第３工程と、前記第２の電極が形成されていない前記第１の電極上にインクジェット法により電気機械変換膜を形成する第４工程と、前記電気機械変換膜上に導電性酸化物からなる第３の電極を形成する第５工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドを使用してＰＺＴ前駆体（ゾルゲル液）を塗布して電気機械変換膜を形成すると、膜厚ムラを生じ、熱処理工程における膜中のクラック発生や電気特性の不具合を生じる。
【解決手段】電極上に部分的に表面改質を行う工程と、電極上に金属複合酸化物のゾルゲル液を第１の液体吐出ヘッドから吐出させて部分的に塗布し、パターン化した電気−機械変換膜を形成する工程と、電極上にゾルゲル液とは別の液体を第２の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布する工程と、部分的に塗布されたゾルゲル液を乾燥、熱分解、結晶化する工程と、これらの工程を繰り返して所望の膜厚を得る工程とを行なう。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１積層体１２と、第１電極２０の上方に第１積層体１２と離間して形成された第２積層体１４と、第１積層体１２の側面、第２積層体１４の側面、および第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面を覆う被覆層６０と、を含み、第１積層体１２および第２積層体１４は、第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、を有し、第１電極２０は、塩素と化学反応する金属を含有し、第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面２０ａには、凸部５０および凹部の少なくとも一方が形成されている。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく、圧電特性に優れた新規な圧電材料を提供する。
【解決手段】ペロブスカイト型構造を有する圧電材料は，一般式（１）で表される。(Ｂｉ_1-xＢａ_x)（Ｆｅ_1-xＴｉ_x）Ｏ₃・・・（１）但し，０＜ｘ＜１である。ｘは、ペロブスカイト型構造のＡサイトにおけるＢａ組成であって、ＢサイトにおけるＴｉ組成である。圧電材料は、環境上問題となる鉛（Ｐｂ）を含まないため、極めて有用である。さらに、鉛フリーでありながら、良好な圧電特性、例えば充分な格子のひずみ量を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、基板１の上方に、第１電極１０を形成する工程と、基板１および第１電極１０の上方に、樹脂層４０を成膜する工程と、樹脂層４０をパターニングして、第１電極１０を露出する工程と、露出した第１電極１０を覆うように、前駆体溶液２０ａを塗布する工程と、前駆体溶液２０ａを焼成により脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層を焼成により結晶化して、圧電体層を形成する工程と、圧電体層の上方に、第２電極を形成する工程と、を含み、樹脂層４０は、前駆体溶液２０ａを脱脂するための焼成温度に対して、耐熱性を有する。 （もっと読む）

【課題】パターン化した圧電素子を提供し、それを使用した液滴吐出ヘッド並びにインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】基板上に形成する圧電体素子の製造装置は、インクジェット法による機能性インクを基板上に任意のパターンで塗布する手段と、短波長レーザーによる機能性インクの脱脂手段と、長波長のレーザーによる機能性インクの加熱および結晶化手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 保護層をエネルギー発生素子毎に独立して設けると、保護層とエネルギー発生素子との間のリーク電流検査を１度で行うことができず液体吐出ヘッド用基板の製造時の検査に時間がかかる懸念がある。
【解決手段】 複数の保護層と電気的に接続し、供給口となる位置に対応する基体の上側に設けられた接続部に接続する検査用端子と、複数のエネルギー発生素子が接続される端子と、の間のリーク電流検査を行った後に、前記接続部を除去して液体吐出ヘッド用基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】高品位の印刷が可能であり、且つ、製造コストの低下及び製造時間の短縮が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁基板と、前記絶縁基板の上面に配置された枠体と、前記絶縁基板の上面において前記枠体で囲まれた内側にインク圧力室を形成する圧電部材と、前記インク圧力室に対向するノズル穴を有するノズルプレートと、前記ノズルプレートの少なくとも上面にコーティングされ、前記ノズル穴を囲む領域を含む撥インク性の第１領域と、前記第１領域よりもインクの接触角が小さい親インク性の第２領域と、含む被膜と、を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】変位低下を抑えつつ、基板と下電極との密着性が向上し、安定した駆動の行なえる圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】チタン膜６１と、チタン膜６１上に形成され、膜厚の比が１．５以下の白金膜６２とが、チタンと白金と酸素とを含むＰＺＴ前駆体膜７１とともに焼成される。チタン膜６１の膜厚を４０ｎｍ以下とすることで、ＰＺＴ前駆体膜７１との界面への焼成によるチタンの拡散を抑えることができ、酸化チタンの形成を抑えることができる。また、白金膜６２の膜厚に応じてチタン膜６１の膜厚の下限が決まる。したがって、変位低下を抑えつつ、弾性膜５０および絶縁体膜５５と下電極６０との密着性を向上でき、安定した駆動が行なえる圧電アクチュエーター３１０および圧電アクチュエーター３１０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】濃度ムラを目立ち難くできるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】一つの実施形態に係るインクジェットヘッドによれば、基板と、前記基板に対向したノズルプレートと、複数の圧電部材と、インク吐出駆動用の多数の溝部とを具備する。前記ノズルプレートに、ノズル列が複数設けられる。一つの前記ノズル列に含まれる複数のノズルと、他の前記ノズル列に含まれる複数のノズルと、によって、前記各ノズル列が延びる方向と平行になった一つの仮想ノズル列が形成される。前記圧電部材は、前記複数のノズル列にそれぞれ対向する。前記溝部は、前記複数の圧電部材にそれぞれ設けられ、且つ複数の刃物で加工される。前記仮想ノズル列中の一つの前記ノズルに対応した一つの前記溝部と、前記仮想ノズル列中の前記一つのノズルと隣接した他の一つの前記ノズルに対応した他の一つの前記溝部と、は、互いに独立した前記刃物で加工される。 （もっと読む）

【課題】クラックやアブレーションにより劣化が生じることを低減させる。
【解決手段】基板上の薄膜形成において、薄膜形成にかかるインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面の裏面に、塗布された領域よりも照射範囲を大きくしたレーザ光を照射し、そのインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面に、塗布された領域に対応した範囲にレーザ光を照射してインク滴を加熱して焼成させる。 （もっと読む）

【課題】立体形状の制約が小さくなり成形密度が高い成形体が得られるセラミック基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミック基板の製造方法は、(a) 第１のセラミックスグリーンシートの温度をガラス転移温度以上に昇温する工程と、(b) 前記工程(a)の後に前記第１のセラミックスグリーンシートの第１の主面に型を圧入する工程と、(c) 前記第１のセラミックスグリーンシートの第１の主面に前記型を圧入した状態のまま前記第１のセラミックスグリーンシートの温度をガラス転移温度未満に降温する工程と、(d) 前記工程(c)の後に前記第１のセラミックスグリーンシートと前記型とを分離する工程と、を備える。 （もっと読む）