【課題】 変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、前記塗布膜を１７５℃以上１８５℃以下の温度で乾燥する第１乾燥工程と、前記第１乾燥工程の後、２３０℃以上２７０℃以下の温度で乾燥する第２乾燥工程と、前記第２乾燥工程の後、第２乾燥工程の温度以上の温度で加熱して脱脂する工程と、前記脱脂する工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させる工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】酸素プラズマアッシング処理による膜ダメージを低減し、特性や品質の低下を抑制できる配線基板の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】レジストパターン１６０を介してリード電極９０及び島状のカウントマーク１２０をパターニングするパターニング工程と、パターニング工程の後、レジストパターン１６０を酸素プラズマによって剥離するアッシング工程と、を有する流路形成基板１０の製造方法であって、パターニング工程では、アッシング工程におけるレジストパターン１６０の剥離特性に基づいてカウントマーク１２０の平面形状を設定するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの剥離残りの発生の把握が容易な配線基板の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】レジストパターン１６０を介してリード電極９０及び島状のカウントマーク１２０をパターニングするパターニング工程と、パターニング工程の後、レジストパターン１６０を酸素プラズマによって剥離するアッシング工程と、を有する流路形成基板１０の製造方法であって、パターニング工程では、アッシング工程におけるレジストパターン１６０の剥離特性に基づいて、リード電極９０におけるレジストパターン１６０の剥離時間よりも、カウントマーク１２０におけるレジストパターン１６０の剥離時間を長くするように、カウントマーク１２０の平面形状を設定するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】レジスト残りを抑制し、歩留まりの向上を図ることができる配線基板の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィ工程と、ホルダ１２０を用い、レジスト１６０をマスクとしてパターン形成するドライエッチング工程と、を複数回繰り返し、多層配線構造体を形成する流路形成基板の製造方法であって、上記ドライエッチング工程において、ホルダ１２０とレジスト１６０との一部がウェハ１０１の表面に沿う方向において重複状態でパターン形成するパターン形成工程と、上記フォトリソグラフィ工程と上記ドライエッチング工程とを複数回繰り返すうち、少なくとも１回は、上記フォトリソグラフィ工程の後、上記ドライエッチング工程の前に、上記重複状態となる領域を含む領域のレジスト１６０を除去するレジスト除去工程と、を含むという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】 電気特性評価を行う際のコンタクト電極に削除しきれないとコンタクトが得られなくなる
【解決手段】 振動板上に上記圧電素子を半導体プロセスで積層して形成する際には、下電極と圧電体層と上電極を順次積層して圧電素子を形成する。このとき、下電極の一部に平面での形状が先細りとなるコンタクト電極を形成しておく。下電極のパターニング後に圧電素子の素材を塗布して焼成し、更に不要部分をエッチングで除去する。コンタクト電極は下電極の一部に平面での形状が先細りとなるように形成されているため、このコンタクト電極の上に塗布される圧電体層の素材の膜厚はその幅によって変化する。すなわち、コンタクト電極の上に積層された圧電体層の素材は幅狭となるのに従って徐々に薄くなっている。 （もっと読む）

【課題】良好な対クラック耐性を有する液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドは、ノズル孔に連通した圧力発生室を複数有する流路形成板と、前記流路形成板の上方に形成された振動板と、前記振動板の上方に、前記圧力発生室に対応して設けられた第１電極と、前記第１電極の上方に形成された圧電体層と、前記圧電体層の上方に形成された第２電極と、を備えた圧電素子と、複数の前記第１電極と接続した共通導電層と、を含み、前記第１電極は、複数の前記圧電素子の共通電極であり、前記第２電極は、前記圧電素子毎に設けられた個別電極である。 （もっと読む）

【課題】配線部の形成にメッキ法を採用するにあたり生じ得る圧電素子の動作不良を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを噴射するノズルに連通する圧力発生室を変位させる圧電素子３００と、圧電素子３００の上に少なくとも一部が乗り上げられ、該圧電素子３００と電気的に接続されるリード電極９０と、を有するインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、リード電極９０は、第１の導電層１２１と、メッキ法により形成され、第１の導電層１２１を覆う第２の導電層１２２と、を有しており、メッキ法により第２の導電層１２２を形成する前に、リード電極９０が接続される圧電素子３００の乗り上げ面１３０ａに、導電性を有する酸化膜１３１を形成する酸化膜形成工程を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつ膜剥がれ等の問題がなく、圧電特性の劣化のない圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５上にジルコニウムからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にビスマスを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】下部電極と、上部電極の接続配線との電気的短絡を防止して、実装に適した電子部品を提供する。
【解決手段】基板１１に対して、下部電極１２と同一面２１上に仮マスク４を設け、基板１１の他の面２２から光を照射することで、第１面２１上のフォトレジスト３３を露光する。未露光のフォトレジスト３３を除去すると、下部電極１２及び仮マスク４が露出するように配置されたレジスト層３３を有するレジストパターンが形成される。このレジストパターンを用いて、焼成により絶縁性のセラミック層１３となる前駆体層１６を形成し、その後の熱処理で仮マスク４をセラミック層１３及び／又は基板１１に吸収させることで、下部電極１２よりもセラミック層１３をオーバーハングさせることができる。これによって、下部電極１２と接続配線１５との間の短絡が防止される。 （もっと読む）

【課題】デバイスの小型化や高密度化が可能な薄膜圧電体を用い、高い圧電効果を発揮して、高効率で駆動、検出が可能となる薄膜圧電体デバイスを提供する。
【解決手段】基板Ｂ１上にペロブスカイト構造の誘電体材料を成膜した薄膜圧電体２を備える薄膜圧電体デバイス１は、基板Ｂ１下側に形成される圧力室２と、圧力室２を形成する上面となる薄膜状の従動膜３と、この従動膜３の上に積層され、所定の部位に電極を備える薄膜圧電体２と、を備え、薄膜圧電体２の滑り方向の変形（ｄ１５変形モード）を用いて入力信号を変換して出力信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】電界印加時に発生する変位量の大きい非鉛系複合酸化物薄膜アクチュエータ、それを用いた液体吐出ヘッド、および、インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】チタン酸バリウム、および、チタン酸ニッケル酸ビスマスを主成分とする（１−ｘ）ＢａＴｉＯ３−ｘＢｉ（Ｎｉ０．５，Ｔｉ０．５）Ｏ３で表される複合酸化物薄膜を用い、前記複合酸化物薄膜の主成分中のｘが０＜ｘ≦０．１の範囲をとること。 （もっと読む）

【課題】目的とする形状で且つ良好な圧電特性を示す電気機械変換素子を容易に製造する。
【解決手段】第１の電極１２上に、ＰＺＴ前駆体溶液による塗膜１７Ｂを形成して乾燥膜１５とした後に、該乾燥膜１５の特定の領域にのみ選択的に熱分解温度以上の熱を加える。そして、乾燥膜１５の熱分解された領域である非晶質領域１５Ａを残し、この非晶質領域１５Ａ以外の領域をウェットエッチングによって除去する。そして、この第１の電極１２を表面改質して撥液化し（第５工程）、ＰＺＴ前駆体溶液の液滴１７Ａを吐出して親液領域２４ＡであるＰＺＴ薄膜１７上に選択的にＰＺＴ前駆体溶液による塗膜１７Ｂを形成する（第６工程）。そしてさらに、この塗膜１７Ｂを乾燥及び熱分解する（第７工程）。そして、上記第５工程、第６工程、及び第７工程を繰り返した（第８工程）後に第９工程を経ることによって、所望の厚みの電気機械変換膜１４を作製する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を高精度に厚膜化することが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】第１の電極１２を形成する第１の工程と、白金と、該白金と全率固溶体を形成する金属元素と、の合金を主成分としてなる、パターニングされた第２の電極１４を形成する第２の工程と、第２の電極１４を疎水化する第３の工程と、酸化物を主成分とする電気機械変換膜１６の前駆体溶液の塗膜１６Ｂを形成する第４の工程と、塗膜１６Ａを、加熱により結晶化させて第１の電気機械変換膜１６_１を形成する第５の工程と、第３の工程、第４の工程、及び第５の工程を、この順に少なくとも１回以上繰り返すことによって、電気機械変換膜１６を形成する第６の工程と、電気機械変換膜１６上に第３の電極を形成する第７の工程と、を経ることによって電気機械変換素子を製造する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層のクラックを抑制することができる圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】絶縁体膜５５上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上に圧電体前駆体膜を形成し、圧電体前駆体膜を焼成することで結晶化した圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程を繰り返し行って、複数層の圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、を具備し、第１電極６０上に１層目の圧電体膜７２を形成した後、第１電極６０と圧電体膜７２とをパターニングすることにより、第１電極６０及び圧電体膜７２の側面を傾斜させる工程と、絶縁体膜５５上、第１電極６０及び１層目の圧電体膜７２の側面上、及び１層目の圧電体膜７２上に島状のランタンニッケル酸化物２００を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】膜厚にばらつきのないようにすることを可能とする電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】下地とする下地層の上に撥液性を有する機能性インクを塗布する工程と、塗布された機能性インクを乾燥させることで、その機能性インクが塗布された領域の周縁にバンクを有するコーヒーステイン形状のバンク膜５を形成する工程と、バンク膜の内側に、機能性インクとは異なる、電気機械変換膜用の機能性インク６の塗布と、その塗布された機能性インク６の焼成とを繰り返し行って電気機械変換膜７を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】従来の構造体より製造が容易な電気接点を有するプリントヘッドを製造する方法、及びプリントヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドを形成するための方法は、複数の圧電素子２０をダイヤフラム３６へ付着することと、ダイヤフラムを覆って侵入型層５０を計量分配することと、複数の圧電素子に物理的かつ電気的に接触するように侵入型層へ複数のパターン化された導電トレース８０を形成することを含むことが可能である。複数のパターン化されたトレースは、例えばフォトリソグラフィ、リフトオフプロセス、レーザアブレーション、他を用いて形成されてもよい。複数のパターン化された導電トレースと複数の圧電素子との間の電気連通は、これらの２構造体間の表面接触を介して、別個の導体を要することなく確立される。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制する。
【解決手段】本実施の形態の製造装置１０では、シリコンウェハを一枚ずつ搬送し、各シリコンウェハについて、位置調整部１６による位置調整工程、洗浄部１８による洗浄工程、成膜部２０による成膜工程、第１加熱部２２による第１の加熱工程、第２加熱部２４による第２の加熱工程、及び冷却部２６による冷却工程を、この順に繰り返し実行する。 （もっと読む）

【課題】単一配向の結晶配向性が高いセラミックス薄膜を得ることができるセラミックス前駆体薄膜の製造方法および前駆体溶液を提供する。
【解決手段】本発明に係るセラミックス前駆体薄膜の製造方法は、金属アルコキシド溶液を希釈した希釈溶液に、アモルファス粉末を混合し、金属アルコキシド系化合物を含む前駆体溶液を作製する前駆体溶液作製工程と、前記前駆体溶液を用いてゲル膜を成膜するゲル膜成膜工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に良好な圧電アクチュエータを容易に且つ低コストで作製できる圧電アクチュエータ作製方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータを形成する基板１上に、第１電極となる第１導電膜１Ａを形成し、第１導電膜１Ａ上の所望のエリアに、自己組織化による単分子膜２を形成し、単分子膜２を圧電膜の短冊形状にパターニングして第１電極膜１Ａを短冊形状に露呈させ、露呈した第１電極膜部分１Ａ１に、圧電膜材料の前駆液６をインクジェット方式で塗布し、塗布された前駆液６を圧電膜に変質させ、圧電膜化された圧電膜の上に第２電極膜を形成し、前駆液６に対して、第１電極膜１Ａが親液性で、単分子膜２が疎液性となるように、これら３者の材料を調整し、圧電膜化工程が、塗布された前駆液を乾燥し、熱分解する乾燥・熱分解工程と、熱分解された圧電膜材料を結晶化させる結晶化工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 Ｔａは耐キャビテーション層として広く使用されているが、近年はさらに耐久性に優れた耐キャビテーション層が必要となっている。
【解決手段】 配線層３に接続された発熱抵抗体２上に絶縁層４を形成し、その上に耐キャビテーション層を形成する。該耐キャビテーション層を下部保護層５、中間層６、上部保護層７によって形成することにより、耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）