【課題】作業工程の短縮と、電気機械変換膜のパターン形状の質を向上させる電気機械変換膜の製造方法、並びに、これにより得られた電気機械変換膜、該電気機械変換膜を備えた電気機械変換素子、該電気機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】少なくとも所望の位置を除く基板上に撥液膜を形成し、次いで、前記所望の位置にゾルゲル液を塗布し、さらに、前記ゾルゲル液をレーザ光源よりレーザ光を照射して結晶化して電気機械変換膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電体能動部の端部における圧電体層の破壊を抑制できる圧電素子並びにそれを備える液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第１電極６０と、第２電極８０と、第１電極６０と第２電極８０との間に設けられた圧電体層７０と、第１電極６０の圧電体層７０とは反対側に設けられた振動板５０と、を備え、圧電体層７０が、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれた実質的に駆動部となる圧電体能動部３２０を具備し、振動板５０が、圧電体能動部３２０の端部において他の領域よりも厚さが厚くなっている構成とする。 （もっと読む）

【課題】配向制御層を成膜する際に全面成膜することなく必要な部分だけパターニングして成膜でき、配向制御層を薄膜化できる電気機械変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の電極４１と、配向制御層４２と、電気機械変換膜４３と、第２の電極４４とを積層して成る電気機械変換素子４０を製造する電気機械変換素子の製造方法において、第１の電極４１の表面側に配向制御層４２を形成する配向制御層形成工程で、第１の電極４１の表面側に液体吐出ヘッドのノズルを対向させるとともに、ゾルから成る配向制御層前駆体溶液を吐出することにより第１の電極４１に配向制御層前駆体溶液を塗布し、塗布した配向制御層前駆体溶液を熱処理して第１の電極４１上で結晶化するゾルゲル法により、第１の電極４１に配向制御層４２を形成する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電アクチュエーター等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電アクチュエーターは、基面を有する振動板と、前記振動板の前記基面の上に形成された第１電極と、前記振動板の前記基面の上および前記第１電極の上に形成された圧電体層層と、前記圧電体層層の上において、第１の方向に延びるように形成された第２電極と、を含み、前記第２電極は、第１の幅を有する第１の部分と、前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分とを接続する第３の部分と、を有し、前記第１電極は、前記基面の法線方向から見た平面図において前記第１電極の外周をなし、第１の方向と直交する第２の方向に延びる、第１の辺を有し、前記第２電極の前記第３の部分は、前記第１電極の前記第１の辺の上方に配置され、前記第３の部分の第３の幅は、前記第１の部分から前記第２の部分へ向かうほど狭くなる。 （もっと読む）

【課題】ダミー溝６の底面に堆積した電極材料８の電気的分離を、電極分離手段の高精度の位置合わせを行う必要が無く、チャンネルの狭ピッチ化、狭幅化に対応できる液体噴射ヘッド１の製造方法を提供する。
【解決手段】第一ベース基板２の上に圧電体基板３を接合する積層基板形成工程Ｓ１と、圧電体基板３を貫通し第一ベース基板２に達する吐出溝５とダミー溝６とを交互に並列に形成する溝形成工程Ｓ２と、吐出溝５とダミー溝６の内表面に電極材料８を堆積する電極材料堆積工程Ｓ３と、カバープレート９を接合するカバープレート接合工程Ｓ４と、第一ベース基板２の一部を除去し、電極材料８を除去する第一ベース基板除去工程Ｓ５と、第一ベース基板２に第二ベース基板１０を接合してダミー溝６の開口を閉塞する第二ベース基板接合工程Ｓ６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン化され所望の膜厚を有する電気機械変換膜を備えた電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、並びに、パターン化され所望の膜厚を有する膜を簡易に製造できる薄膜製造装置及び薄膜製造方法を提供すること。
【解決手段】基板上に撥液膜を形成する撥液膜形成手段と、レーザ光により前記撥液膜の一部を除去して所望の形状の撥液膜除去部位を形成する撥液膜除去手段と、前記基板上における前記撥液膜除去部位にゾルゲル法により機能性インクを付与する機能性インク付与手段と、前記機能性インクをレーザ光により加熱して結晶化させて所望の形状の機能性薄膜を形成する機能性インク加熱・結晶化手段と、を備え、前記撥液膜除去手段及び機能性インク加熱・結晶化手段は、照射するレーザ光が矩形であると共に前記機能性薄膜の形状と同一形状あるいは同一よりも小さい形状であり、且つ、パルス照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができる圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミックス膜形成用組成物は、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含む金属錯体混合物と、シリコーンオイルと、溶媒と、を含み、金属錯体混合物と溶媒との総量１００容量部に対してシリコーンオイルを５容量部以下含む。所定量のシリコーンオイルを含むことにより、圧電セラミックス膜を形成する際の焼成工程における熱膨張が抑制されて、圧電セラミックス膜の残留応力を低減させることができる。これにより、クラックの発生が抑制されたニオブ酸カリウムナトリウム系の圧電材料からなる圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。さらに、鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜と第２電極との密着性が向上した圧電素子を提供することを目的とする。
を提供する。
【解決手段】圧電素子３００は、第１電極６０と、第１電極上に設けられた圧電体層７０
と、圧電体層上に設けられた第２電極８０と、第２電極上に設けられた絶縁膜（保護膜）
１００とを具備し、第２電極の絶縁膜と接触する領域に、凹凸部８３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ前駆体溶液を液体吐出ヘッドから吐出させて基板に塗布するときに付随液滴を基板に付着させず電気機械変換膜を高精度に形成できる電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】ＰＺＴ前駆体溶液４９をノズル孔５４から吐出することにより白金族電極４６にＰＺＴ前駆体溶液４９を塗布する塗布工程と、塗布したＰＺＴ前駆体溶液４９を熱処理して結晶化する熱処理工程とを有する電気機械変換膜の製造方法において、塗布工程は、ノズル板５１を例えば負極、白金族電極４６を正極にして、電圧を印加する印加工程と、帯電したＰＺＴ前駆体溶液４９をノズル孔５４から吐出する吐出工程と、吐出された主液滴４９ｄを白金族電極４６に塗布する主液滴塗布工程と、付随液滴４９ｅを異極性の吸引力によりノズル板５１に吸引させて回収する回収工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れ、電気的特性に優れた電気機械変換膜の作製方法を提供する。
【解決手段】基板１上に形成された下部電極をＳＡＭ材料２により所定のパターンに表面改質する工程と、前記下部電極上の表面改質を行わない領域に、インクジェット方式５によりゾルゲル液６を塗布する工程と、前記基板１の両面から赤外線を照射して前記ゾルゲル液６を熱処理する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きく且つ結晶粒径が均一な圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ニオブ酸バリウムの混晶として表される複合酸化物であって、Ｎｂと、Ｎｂ及びＴｉの総量とのモル比であるＮｂ／（Ｎｂ＋Ｔｉ）が、０．０７２５以上０．１２５以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】所期の寸法通りの凹凸パターンの印刷用版が得られる印刷用版の製造方法を提供する。
【解決手段】成形型原板１４ｋから作製される凹凸パターン基板１４の凹凸パターン形成面とは反対面に補強基板１５を接合して成形型１６とする成形型作製工程（１ａ）〜（１ｄ）と、成形型１６の凹凸パターン形成面に、液体状樹脂１３ａを塗布する塗布工程（２ａ）と、液体状樹脂１３ａの層を挟んで、支持基板５２を成形型１６に押圧させ、その状態で加熱により液体状樹脂１３ａを硬化させて硬化樹脂層１３とする硬化工程（２ｂ），（２ｃ）と、成形型１６を硬化樹脂層１３から剥離して、前記凹凸パターンが転写された硬化樹脂層１３と支持基板５２からなる印刷用版５０を得る剥離工程（２ｃ）と、を有し、硬化工程の加熱、冷却処理の温度範囲における補強基板１５と支持基板５２の熱膨張係数の差は支持基板５２と凹凸パターン基板１４の熱膨張係数の差よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】高精度な流路形状を形成可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及びそれにより得られるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子を有する基板と、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、を有するインクジェット記録ヘッドを、前記基板上に、ポジ型感光性樹脂にて前記流路のパターンを設ける工程；前記基板上に、前記パターンを被覆するように前記流路形成部材となるネガ型感光性樹脂の被覆樹脂層を設ける工程；３００ｎｍ以上の波長の光のみで前記被覆樹脂層を露光して、前記吐出口を形成する工程；および前記パターンを除去して前記流路を形成する工程；を有する方法で製造する。ただし、前記パターンは、３００ｎｍより短い波長の光には感度を有し、前記被覆樹脂層を露光するために用いられる光に対しては、感度をもたない。 （もっと読む）

【課題】振動板の構成膜である圧縮応力膜と引張応力膜を３層以上積層し、高精度で安定した吐出特性を有する。
【解決手段】振動板３を、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜された圧縮応力を有するシリコン酸化膜２２とポリシリコン膜２３、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜された引張応力を有するシリコン窒化膜２４、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜されたポリシリコン膜２５、シリコン酸化膜２６の５層の構成膜により形成する。 （もっと読む）

【課題】高密度化に伴って高アスペクト比の圧電柱を微細なピッチで形成しなければならない。
【解決手段】ベース部材１３上に２本の圧電部材１２、１２が並列に並べられて接合固定され、圧電部材１２には、溝１１３によって複数の圧電柱１１２が形成され、複数の圧電柱１１２は、圧電柱配列方向（ノズル配列方向）に傾斜して形成され、各圧電柱１１２は、溝１１３の深さ方向（圧電柱の高さ方向）において基端（溝１１３の底部側）から先端まで一定の角度で傾いている。 （もっと読む）

【課題】リーク電流が抑制され高い絶縁性を有して絶縁破壊が防止される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉛、ジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、酸素サイトに窒素を含む。 （もっと読む）

【課題】表面の凹凸パターンの凸部高さの均一化を図ることのできる印刷用版の製造方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＯ_２ボックス層１４ｂを有するＳＯＩ基板１４ｋの活性層１４ａにフォトリソグラフィ技術により凹凸パターンを形成して成形型１４とする工程と、成形型１４の凹凸パターン形成面に液体状樹脂１３ａを塗布する工程と、成形型１４の凹凸パターン面に塗布された液体状樹脂１３ａの層を挟んで、ガラス基板５２を成形型１４に押圧させ、その状態で加熱により液体状樹脂１３ａを硬化させて硬化樹脂層１３とする工程と、成形型１４を硬化樹脂層１３から剥離して、前記凹凸パターンが転写された硬化樹脂層１３とガラス基板５２からなる印刷用版５０を得る工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 電解メッキによって圧電部材に電極を形成する。
【解決手段】 駆動電圧の印加に伴う無鉛圧電部材の変形によってインクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記無鉛圧電部材に第１導電パターンを形成し、前記無鉛圧電部材のうち、少なくとも前記第１導電パターンを形成する領域以外の領域に、絶縁層を形成し、電解メッキによって前記第１導電パターン上に第２導電パターンを形成することにより、前記駆動電圧の印加に用いられる電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、記録素子基板の電気接続部を保護するための封止材が、記録素子基板の電気接続部が形成されない領域に流れ出すことを抑制する。
【解決手段】 エネルギー発生素子と電気的に接続される接続端子とを備える素子基板と、接続端子と電気的に接続されるリード配線を備える電気配線部材と、素子基板を収容する凹部と該凹部の内側面から凹部の内方に向かって突出する凸部とを備え、凹部内で接着剤を介して素子基板を支持するための支持部材と、接続端子とリード配線とが接続された接続部を封止するための封止材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、支持部材の、凹部の底面に接着剤を設ける工程と、凹部内に素子基板を設け、底面に設けられた接着剤を押圧して凸部と素子基板との間に接着剤の一部を導入する工程と、接続部を封止材で封止するに当たり、接着剤の一部によって封止材の流れを抑制する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】良好な変位特性および高い信頼性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極層１０と、第１電極層１０の上方に形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上方に形成された第２電極層３０と、を含み、第２電極層３０は、圧電体層２０の上面２２に形成された第１層３２と、第１層３２の上面３４に形成された第２層３６と、を有し、第２層３６の材質は、第１層３２の材質と同じであり、第２層３６の密度は、第１層３２の密度より小さい。 （もっと読む）