【課題】立体形状の制約が小さくなり成形密度が高い成形体が得られるセラミック基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミック基板の製造方法は、(a) 第１のセラミックスグリーンシートの温度をガラス転移温度以上に昇温する工程と、(b) 前記工程(a)の後に前記第１のセラミックスグリーンシートの第１の主面に型を圧入する工程と、(c) 前記第１のセラミックスグリーンシートの第１の主面に前記型を圧入した状態のまま前記第１のセラミックスグリーンシートの温度をガラス転移温度未満に降温する工程と、(d) 前記工程(c)の後に前記第１のセラミックスグリーンシートと前記型とを分離する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１００）面に優先配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合して得られる圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドに用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化してもインク等の液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れた、さらに好ましくはより薄い保護層を提供すること。
【解決手段】基体と、該基体に形成された発熱抵抗層と、液体の流路と、該発熱抵抗層に積層され、その端部が該発熱抵抗層上で段差部を形成する配線層と、該発熱抵抗層と該段差部を含む該配線層とを覆い、該発熱抵抗層と該流路との間に配された複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッド基体において、複数の該保護層のうち最も該流路に近い保護層が、Ｃａｔ−ＣＶＤ法により形成された窒化シリコン系の膜であり、複数の該保護層のうち最も該発熱抵抗層に近い保護層が、プラズマＣＶＤ法により形成された、ＳｉＯ膜、もしくは窒化シリコン系の膜であることを特徴とする液体吐出ヘッド基体。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１１０）面に結晶が強配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合した混合溶液にプロピレングリコールを添加した圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 配向度の高いニオブ酸バリウムビスマス系のタングステンブロンズ構造金属酸化物の圧電材料を提供する。また、それを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】 そのための本発明は少なくともＢａ、Ｂｉ、Ｎｂの金属元素を含み、前記金属元素がモル換算で以下の条件を満たすタングステンブロンズ構造金属酸化物を含有する圧電材料であって、前記圧電材料にＷが含有されており、前記Ｗの含有量が前記タングステンブロンズ構造金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．４０重量部以上３．００重量部以下であり、前記タングステンブロンズ構造金属酸化物がｃ軸配向を有することを特徴とする圧電材料である。Ｂａ／Ｎｂ＝ａとしたときのａが：０．３０≦ａ≦０．４００、Ｂｉ／Ｎｂ＝ｂとしたときのｂが：０．０１２≦ｂ≦０．０８４ （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上に、第１導電層１０を形成する工程と、第１導電層１０の上に、能動領域となる領域を有する圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上に、前記領域とオーバーラップする第２導電層３０ａを形成する工程と、第２導電層３０ａの上に、前記領域とオーバーラップする第３導電層３０ｂを形成する工程と、前記領域の上方の第３導電層３０ｂにおいて、第３導電層３０ｂを第１の部分３１と第２の部分３２とに分割する開口部３６を形成する工程と、開口部３６と、第１の部分３１および第２の部分３２の開口部３６側の周縁部を覆うレジスト層１３０を形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第３導電層３０ｂをエッチングし、第１導電部３３と第２導電部３４とを形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第２導電層３０ａをエッチングし、第３導電部３５を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、第１電極と圧電体層と第２電極とを備えた圧電素子を具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、第１電極を形成する工程と、前記第１電極上に、焼成によりビスマス、ナトリウム、カリウム、バリウム及びチタンを含む複合酸化物を形成する有機金属化合物と、ポリオキシエチレンアルキルエーテルとを含む圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することによりペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に第２電極を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】親水性のノズル内面と撥水性の吐出面の境界を精度よく形成することで、吐出精度とメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】基板の第１の面のノズルを形成すべき位置に非貫通状態の凹形状を形成する工程と、前記凹形状の表面にライナー膜を形成する工程と、前記第１の面の反対面である第２の面にエッチング処理を施し、前記ライナー膜を凸形状に露出させる工程と、前記第２の面に機能膜を形成する工程と、前記凸形状のライナー膜が露出するまで、前記機能膜にエッチング処理を施す工程と、前記第１の面の凹形状に流体を導入するとともに、前記第２の面を処理剤に浸漬して前記露出したライナー膜表面をエッチングしてノズルを形成するウエットエッチング工程とを備えたノズルプレートの製造方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧電体粉末と、バインダと、溶媒とを含むペースト材料を、基板上に印刷した後、焼成することで、圧電素子を製造する方法において、圧電特性を向上する。
【解決手段】単一径の圧電体粉末を用いるのではなく、比較的大径の圧電体粉末と小径の圧電体粉末と混合したペーストを用いる。具体的には、メジアンが０．９μｍのＰＺＴ粉末と、０．３μｍのＰＺＴ−ＰＺＮ粉末とを１：１で混合した粉末を用いた。したがって、焼成前（ａ）と後（ｂ）とを比較すると、大径のＰＺＴ粉末は成長の核になり、小径のＰＺＴ−ＰＺＮ粉末は大径のＰＺＴ粉末に吸収されつつ、流動化が活発で緻密な膜を成膜する。これによって、圧電特性を向上することができる。また、本焼成の温度を１１５０℃から、８５０℃程度にまで下げることができ、基板へのダメージを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を有する流路形成基板１０と、該流路形成基板１０上方に設けられて、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、を具備し、前記圧電素子３００が、（１００）面に優先配向し、ペロブスカイト構造を有するランタンニッケル酸化物を主成分とする配向制御層６２を有する第１電極６０と、該第１電極６０上方に形成されて鉄、マンガン、ビスマス、チタン及びカリウムを含む複合酸化物からなり、（１００）面に優先配向した圧電体層７０と、該圧電体層７０上方に設けられた第２電極８０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】安定した噴射特性を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１００は、制御部４０，４２が、第１電極１２の電位が第２電極１４の電位より低くなる時間が、第１電極の電位１２が第２電極１６の電位より高くなる時間よりも長い駆動電圧を、第１電極１２と第２電極１６との間に印加する第１制御と、第３電極２２の電位が第４電極２６の電位より高くなる時間が、第３電極２２の電位が第４電極２６の電位より低くなる時間よりも長い駆動電圧を、第３電極２２と第４電極２６との間に印加する第２制御と、を行い、第１制御および第２制御によって、開口部６から液体を排出する。 （もっと読む）

【課題】圧電部材の配置の密度が高められる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッド３は、液体を吐出するための圧力を液体に付与するための圧力室１４と、圧力室１４の内面の側に設けられた第１電極２２と、圧力室１４の外側に設けられた第２電極２３と、を備える圧電部材１２が、複数、各圧電部材１２の圧力室１４を流れる液体の流れ方向が互いに沿う様に、流れ方向と交わる第１方向と、流れ方向と交わるとともに第１方向とも交わる第２方向と、のそれぞれに関して配列されている。第１方向に配列された複数の第１電極２２と共通して接続された第１共通配線２４と、第２方向に配列された複数の第２電極２３と共通して接続された第２共通配線２５と、をそれぞれ複数有し、複数の第１共通配線２４が第２方向に関して配列され、複数の第２共通配線２５が第１方向に関して配列されている。 （もっと読む）

【課題】電界強度に比して大きな変形量を示す結晶配向セラミックスを提供する。
【解決手段】結晶配向セラミックス複合体は、第１面及び第２面を有する基板と、第１面に対向するように配置された｛１００｝配向セラミックス膜と、を有する。｛１００｝配向セラミックス膜は、第１断面を備える。第１断面とは、第１面に対して垂直であって、第１面の法線に対して±２０度の範囲内であるドメイン壁を備える９０度ドメインが、第１断面の１／３以上の面積を占める断面である。 （もっと読む）

【課題】キュリー温度が低く、強誘電性能に優れた非鉛系ペロブスカイト型酸化物を提供する。
【解決手段】本発明のペロブスカイト型酸化物は、下記一般式（Ｐ）で表されるものである。
（Ｂｉ_ｘ1，Ｂａ_ｘ2，Ｘ_ｘ３）（Ｆｅ_ｙ1，Ｔｉ_ｙ2，Ｍｎ_ｙ３）Ｏ_３ ・・・（Ｐ）
（式中、Ｂｉ及びＢａはＡサイト元素であり、ＸはＰｂ，Ｂａを除く平均イオン価数２価の１種又は複数種のＡサイト元素である。Ｆｅ，Ｔｉ，ＭｎはＢサイト元素である。Ｏは酸素。０＜ｘ１＋ｘ２＜１．０，０＜ｘ３＜１．０，０＜ｙ１＋ｙ２≦１．０，０≦ｙ３＜１．０，０＜ｘ１，０＜ｘ２，０＜ｙ１，０＜ｙ２。Ａサイト元素とＢサイト元素と酸素のモル比は１：１：３が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。） （もっと読む）

【課題】反りの小さな、薄い板状の圧電素子を製造することができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】薄板状圧電体６と一対の電極とを有する電極配設薄板状焼成圧電体３の端部５のうち少なくとも一部が枠体２に固定されてなる枠体付き電極配設薄板状圧電体３を、第１平面部を有する第１保持部材３１の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材３３の第２平面部とで挟んだ状態で、前記薄板状圧電体のキュリー温度以上、キュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で枠体付き電極配設薄板状圧電体３を加熱する工程を有する、薄板状圧電体６と一対の電極とを有する圧電素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】反りの小さな、薄い板状の圧電素子を製造することができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】開口部４を有する枠体２と、開口部４内に配置され、枠体２に固定された、所定の厚さで枠体２より薄い電極配設薄板状焼成圧電体３と、を備える枠体付き電極配設薄板状圧電体１を作製し、電極配設薄板状焼成圧電体３の表面に、所定の厚さの乾燥状態の樹脂前駆体の塗膜４４を形成して、樹脂前駆体配設薄板状焼成圧電体４３を有する枠体付き樹脂前駆体配設圧電体を作製し、樹脂前駆体配設薄板状焼成圧電体４３を、第１保持部材３２の第１平面部と第２保持部材３３の第２平面部とで加圧しながら挟んだ状態で、樹脂前駆体の塗膜を硬化させて樹脂膜配設薄板状焼成圧電体４３を形成する圧電素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極と、前記第１電極の上に形成され、膜厚が３μｍ以下の圧電体層と、前記圧電体層の上に形成された第２電極と、を含む圧電素子であって、前記圧電体層は、チタン酸ジルコン酸バリウムを主成分とし、チタンおよびジルコニウムの和に対するバリウムのモル比Ｘが、１．１５≦Ｘ≦１．３である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、リーク電流の発生を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上方に、焼成によりビスマス、鉄、マンガン、カリウム、及びチタンを含む複合酸化物を形成する有機金属化合物と、ポリビニルピロリドンと、を含む塗布液７１を塗布する工程と、塗布液７１を焼成し、ペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７２を形成する工程と、圧電体層７２の上方に第２電極を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来よりも大幅に少ない原材料及び製造エネルギーを用いて、かつ、従来よりも短工程で製造することが可能な機能性デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理することにより機能性固体材料となる機能性液体材料を準備する第１工程と、基材上に機能性液体材料を塗布することにより、機能性固体材料の前駆体組成物層を形成する第２工程と、前駆体組成物層を８０℃〜２００℃の範囲内にある第１温度に加熱することにより、前駆体組成物層の流動性を予め低くしておく第３工程と、前駆体組成物層を８０℃〜３００℃の範囲内にある第２温度に加熱した状態で前駆体組成物層に対して型押し加工を施すことにより、前駆体組成物層に型押し構造を形成する第４工程と、前駆体組成物層を第２温度よりも高い第３温度で熱処理することにより、前駆体組成物層から機能性固体材料層を形成する第５工程とをこの順序で含む機能性デバイスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつリーク電流を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及びこれを用いた液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成する工程と、絶縁体膜５５上に反応性スパッタリング法により酸化チタンからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にチタン、ビスマス、バリウム、カリウム及びナトリウムを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）