【課題】製造時の環境負荷を低減し、製造コストを低減しつつ、且つ簡易な構成で容易に電気機械変換素子を製造することが出来る、電気機械変換素子の製造装置、電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び印刷装置を提供する。
【解決手段】凹凸面側にＳＡＭ溶液５２の塗布された印刷版４６と基板１８とを接触させることによって、基板１８に撥液親液パターンを形成する。そして、基板１８上の親液部７４Ａに向かって機能性溶液の液滴７６Ａを塗布し、該親液部７４Ａに機能性溶液膜７６Ｂを形成する。この機能性溶液膜７６Ｂに、エネルギー付与装置７２からエネルギーを付与する。そして、ＳＡＭ溶液５２を塗布された印刷版４６と基板１８との接触時間を、下層側に形成する層から上層側に形成する層に向かって長くなるように調整する。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく、クラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及びその製造
方法、液体噴射装置、並びに圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電体層７０は、ＣＳＤ法（Chemical Solution Deposition）により形成
され、Ａサイトにカリウム及びナトリウムを含み、Ｂサイトにニオブを含むペロブスカイ
ト構造の複合酸化物を含む圧電材料からなる第１圧電体層７３及び第２圧電体層７９と、
第１圧電体層７３と第２圧電体層７９との間に設けられ、気相成長法により形成された中
間層７６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】保護膜の中抜き部をエッチングする際に、上部電極のオーバーエッチングが減少して断線の危険性が少なくなり、上部電極の薄膜化によりコストの低減した圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１電極２０を形成する工程と、第１電極２０の上方に圧電体層３０を形成する工程と、圧電体層３０の上方に第２電極４０を形成する工程と、第２電極４０の上方に第３電極５０を形成する工程と、少なくとも圧電体層３０の側面を覆う保護膜６０を形成する工程と、第３電極５０をストッパー層として保護膜６０を第３電極５０が露出するまでエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 圧電性能および機械的品質係数（Ｑ_ｍ）が良好なチタン酸バリウム系圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子を提供する。
【解決手段】 結晶粒子と、前記結晶粒子間を占める粒界を備えた圧電セラミックスであって、前記結晶粒子がペロブスカイト型構造のチタン酸バリウムおよび前記チタン酸バリウムに対して金属換算で０．０４質量％以上０．２０質量％以下のマンガンを含有しており、前記粒界にはＢａ_４Ｔｉ_１２Ｏ_２７およびＢａ_６Ｔｉ_１７Ｏ_４０から選ばれた少なくとも一つの化合物を含有する圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子。 （もっと読む）

【課題】安定した圧電特性を得ることが可能な電気機械変換素子、電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】最表面に酸化物電極層１２Ａを有する第１の電極１２と、酸化物電極層１２Ａ上に設けられ、パターニングされてなる金属電極である第２の電極１４と、第１の電極１２上の第２の電極１４の形成されていない領域に設けられた電気機械変換膜１６と、電気機械変換膜１６上に設けられた酸化物を含む第３の電極１８と、を備え、酸化物電極層１２Ａが下記一般式（１）で示されるペロブスカイト型複合酸化物を主成分とし、且つ該酸化物電極層１２Ａにおける、第２の電極１４の形成されていない領域の電気機械変換膜１６側の最表面の、一般式（１）ＡＢＯ_３中のＡとＢとの組成比Ａ／Ｂが０．８以上１．２以下である。 （もっと読む）

【課題】電極と圧電体層との密着性が優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金からなる第１電極６０と、ビスマス、バリウム、鉄、マンガン及びチタンを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体層７０と、第２電極８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層と前記第１電極の間に、鉄、バリウム、チタン及び酸素を含む層状化合物を有する液体噴射ヘッドＩとする。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの熱処理でも安定して膜の積層が可能で、製造工程を短縮できる電気−機械変換膜の作製方法と、電気-機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第1の電極と、電気-機械変換膜８３と、第2の電極とを順次設けて成る電気-機械変換素子を基板又は下地膜上に備えた液体吐出ヘッド構成体の、電気-機械変換膜８３を、少なくとも酸化チタン等の光触媒機能を有する化合物から成る表面改質膜８０を形成する工程と、表面改質膜８０に選択的に光を照射して光照射部位の親水性を高め、光照射部位と光未照射部位との水に対する接触角の差を60°を超えるように制御する工程により親水性とされた部位８１に直接、もしくは親水性部位８１に第1の電極を設けこれを介してインクジェット法によりパターン化して設ける電気−機械変換素子。 （もっと読む）

【課題】高い電位が付与されうる引出部から第１電極に対してマイグレーションが生じるのを抑制した圧電アクチュエータ及びこれの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータの最上層の第１圧電層４０の上面には、複数の個別電極４３が配置されている。第１圧電層４０と中間層の第２圧電層４１との間には、個別電極４３と対向して、第１共通電極４４が配置されている。第１共通電極４４は、スルーホール３７内の充填材６５を介して第１圧電層４０の上面に形成された第１引出電極４６まで引き出されている。スルーホール３７内の充填材６５は、第１引出電極４６に取り囲まれている。個別電極４３を形成する導電性材料はＡｕであり、充填材６５を形成する導電性材料はＡｇであり、ＡｕはＡｇよりもマイグレーションが生じにくい材料となっている。 （もっと読む）

【課題】リーク電流を抑制し、絶縁性を向上させることができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金を含む第１電極６０と、第１電極上６０に設けられカリウム、ナトリウム、ニオブ、ビスマス及び鉄を含む酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０上に形成された第２電極８０とを備えた圧電素子３００とを具備する液体噴射ヘッドＩとする。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく、クラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド、液体噴射装
置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と圧電体層７０に設
けられた電極６０と、電極８０と、を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０
は、Ａサイトに、カリウム、ナトリウム、及びビスマスを含み、Ｂサイトにニオブ、鉄、
及びクロムを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の破壊を抑制して耐久性を向上した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０上に設けられた第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０が、（１００）配向のペロブスカイト構造を有し、前記第２電極８０側の前記圧電体層７０の（１００）配向に対応するＸ線回折強度分布の半価幅が、前記第１電極６０側の前記圧電体層７０の（１００）配向に対応するＸ線回折強度分布の半価幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きい圧電体膜を製造できる圧電体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂｉ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｂａ及びＴｉを含有し、Ｂｉと、Ｆｅ及びＭｎの総量とのモル比であるＢｉ／（Ｆｅ＋Ｍｎ）が、１．０２以上１．０８以下である圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を加熱して結晶化する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】個別電極と液体加圧室との間に位置ずれが生じても、液滴の吐出特性の変動が少ない液体吐出ヘッドおよび、それを用いた記録装置、ならびに液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の液体吐出孔８にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室１０が開口している流路部材４と、セラミック振動板５２１ａ上に、共通電極５３４、圧電セラミック層５２１ｂおよび複数の個別電極本体５３５ａがこの順で積層されている圧電アクチュエータユニット２１とが積層されている液体吐出ヘッド１３であって、セラミック振動板５２１ａには、複数の液体加圧室１０と対向する流路部材４側の面に、平面形状が液体加圧室１０を内包する形状で、共通電極５３４が露出しない深さで開口している凹部５２１ｃがそれぞれ設けられているとともに、個別電極本体５３４ａの平面形状は、それぞれ凹部５２１ｃより小さい液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】圧電素子用に、組成ずれが少なく結晶性の良好なニオブ酸カリウム混晶系ペロブスカイト型酸化物厚膜を提供する。
【解決手段】ペロブスカイト型酸化物膜１は、基板１０上に成膜され、平均膜厚が５μｍ以上であり、且つ、一般式（Ｐ）で表されるペロブスカイト型酸化物を含む。（Ｋ_{１−ｗ−ｘ}，Ａ_ｗ，Ｂ_ｘ）（Ｎｂ_{１−ｙ−ｚ}，Ｃ_ｙ，Ｄ_ｚ）Ｏ_３・・・（Ｐ）（式中、０＜ｗ＜１．０，０≦ｘ≦０．２，０≦ｙ＜１．０，０≦ｚ≦０．２，０＜ｗ＋ｘ＜１．０。ＡはＫ以外のイオン価数が１価のＡサイト元素、ＢはＡサイト元素、Ｃはイオン価数が５価のＢサイト元素、ＤはＢサイト元素。Ａ〜Ｄは各々１種又は複数種の金属元素である。） （もっと読む）

【課題】歪量が大きい圧電体膜を製造できる圧電体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂｉ，Ｆｅ，Ｂａ，Ｔｉ及びＣｏを含有し、Ｂｉと、Ｆｅ及びＣｏの総量とのモル比であるＢｉ／（Ｆｅ＋Ｃｏ）が、１．０２以上１．１０以下である圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を加熱して結晶化することによりＢｉ、Ｆｅ、Ｂａ、Ｔｉ及びＣｏを含有しペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体膜を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ基板２の引出電極８とフレキシブル基板４の配線電極９との間の電気的接続を容易にする。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、複数の溝５を有するアクチュエータ基板２と、複数の溝５の上部開口を塞いでチャンネルを構成するカバープレート３と、アクチュエータ基板２に駆動信号を供給するフレキシブル基板４とを備えている。アクチュエータ基板２の基板表面ＳＦの後方端ＲＥ近傍に吐出チャンネル１１の駆動電極７に接続する共通引出電極８ａとダミーチャンネル１２の駆動電極７に接続する個別引出電極８ｂがそれぞれ形成され、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａと個別配線電極９ｂにそれぞれ接続する。更に、フレキシブル基板４の共通配線電極９ａがアクチュエータ基板２の駆動電極７と交差する共通配線交差領域ＣＲでは、ダミーチャンネルの側面の駆動電極７は、その上端部が基板表面よりも深く形成される。 （もっと読む）

【課題】ＫＮＮ薄膜を優先的に（１００）に配向させた、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】ノズル開口６１２に連通する圧力室６２２と、圧電体３０と、圧電体３０に設けられた第１電極１９及び第２電極２０を有する圧電素子１００と、を備えた液体噴射ヘッド６００であって、第１電極１０及び第２電極２０の少なくとも一方は、白金を含み、圧電体３０は、ニオブ酸カリウムナトリウム及び鉄酸ビスマスを含む複合酸化物からなり、ニオブ酸カリウムナトリウムと鉄酸ビスマスのモル数の和に対する鉄酸ビスマスのモル数の比が、３％以上１０％以下であり、かつ、ニオブのモル数に対するカリウムとナトリウムのモル数の和の比が、１０３％以上１１５％以下である。 （もっと読む）

【課題】レーザーのパターニング処理により確実にかつ効率よく電気配線又は電極を形成するインクジェット記録装置の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録装置の製造方法は、基板と、前記基板に固定される他の構成部材と、の表面に金属皮膜を形成し、レーザーを走査して前記基板と前記構成部材の両方にまたがる除去対象領域の金属皮膜を除去することにより、圧電部材を駆動する信号を送信するための電気配線及び前記圧電部材に電圧を印加する電極の少なくともいずれかを形成する場合に、前記除去対象領域のうち、前記金属皮膜の密着力がより高い、前記基板と前記構成部材のいずれか一方に属する第１の領域に対して１回目のレーザーの走査を行い、前記第１の領域と、前記第１の領域と連続する、他方に属する第２の領域と、からなる前記除去対象領域全体に対して２回目のレーザーの走査を行う。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、良好な圧電特性を有する圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、圧電体層の原料液となる前駆体溶液を第１電極１０上に塗布して前駆体層２２を形成する工程と、前駆体層２２を熱処理により脱脂する工程と、脱脂した前駆体層２２を結晶化して、圧電体層を形成する工程と、を含み、前駆体溶液は、ビスマス、ナトリウム、バリウム、およびチタンを含み、熱処理の温度は、４２５℃以上４５０℃以下である。 （もっと読む）

【課題】剛性が高められた表面を備えた圧電素子を形成する。
【解決手段】圧電素子のインク室に隣接した湾曲した領域が、第１の方向および第２の方向に沿ってインク室に跨っており、該湾曲した領域が、該第１の方向に沿って変化する第１の曲率半径と該第２の方向に沿った第２の曲率半径とを備え、かつ該第１および第２の方向が直交している。 （もっと読む）