【課題】振動板の変位量を簡易な構造により増大させ、コストを増大させることなく、吐出効率が高い液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】液体を吐出するノズルが設けられた液室と、前記液室の前記ノズルとは反対側に圧電層及び電極が積層された圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加して前記圧電層を変形させ、前記液室に圧力を発生させることにより前記ノズルから前記液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、前記圧電層の分極方向と略直交する方向及び前記圧電層の前記分極方向と略同一方向に電界を与え、前記圧電層に変形を生じさせて前記ノズルから前記液体を吐出することで、前記圧電層の変位量を増大させ、液体吐出ヘッドの吐出効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制することのできる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】成膜手段により導電層の形成されたシリコンウェハ上に強誘電体前駆体膜を成膜する成膜工程（Ｓ２０３）と、加熱手段により前記強誘電体前駆体膜を加熱して強誘電体層を形成する加熱工程（Ｓ２０４，Ｓ２０５，Ｓ２０７）と、冷却手段により前記加熱されたシリコンウェハを冷却する冷却工程（Ｓ２０８）と、を、一連の処理工程として１枚の前記シリコンウェハごとに所定回数繰り返すように有し、前記加熱工程は、加熱焼成手段により前記強誘電体前駆体膜を加熱して焼成する焼成工程（Ｓ２０７）を含み、前記焼成工程の前に、位置調整手段により前記加熱焼成手段に対する前記シリコンウェハの板面回転方向の位置を前回までの焼成処理のときの該シリコンウェハの位置とは異なるように調整する位置調整工程（Ｓ２０６）をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】液体に対する接触角を制御することで、コーヒーステインを防ぎつつ基板上に均一に濡れ広がるようにして薄膜を形成することができる薄膜製造方法、並びに該薄膜製造方法により製造された薄膜を備える電気機械変換素子、該電気機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供すること。
【解決手段】基板上に、機能性インクが結晶化されてなる薄膜を形成する薄膜製造方法であって、前記基板上に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、レーザ光源、ランプ及びプラズマから選ばれるいずれか１により前記撥液膜の一部を除去して準親水部となる所望の形状の撥液膜除去部位を形成する撥液膜除去工程と、前記基板上における前記撥液膜除去部位にゾルゲル法により前記機能性インクを付与する機能性インク付与工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、弾性膜５０上に、第１電極６０と、圧電体層と、圧電体層上に設けられた第２電極と、を具備する圧電素子３００を備え、圧電体層は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、圧電体層の膜厚を６２０ｎｍ以上１５２０ｎｍ以下の範囲とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子形成部材の基端部の厚みの変化を抑えながら、コストダウンした圧電素子ユニット、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】非活性領域Ｉにおいて、個別内部電極１６から基端部１３２に向けて延長された位置に、基端部１３２に形成されたダミー電極端部１６ｂと、孤立したダミー電極島部１６ａとが形成されているので、非活性領域Ｉに連続して形成されたダミー電極と比較して、ダミー電極の面積を少なくできる。したがって、ダミー電極にかかるコストが抑えられ、コストの低減した圧電素子ユニット１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル形状などインク吐出に関する部位の形状の精度を保持しつつ犠牲層の除去をおこなう。
【解決手段】インクを収容可能な共通液室１０１と、共通液室１０１から流入されるインクをエネルギー発生素子２０２によって吐出可能なノズル１０２ごとのノズルチャンバ１０３とを含み構成されるインク室１１０を区画する壁部のうち、インクの供給を受け付ける供給口１０５が形成される基板２０１および保護膜２０３と、ノズルチャンバを区画するノズル層２０４と、を有し、基板２０１、保護膜２０３およびノズル層２０４とは異なる場所に形成され、１１０インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口と、犠牲層が除去された後、犠牲層除去口を封止する封止部材としての接点保護材１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電式インクジェットプリンティング・モジュールの熱サイクル間のインク速度の低下を減じる方法及び、圧電式インクジェットプリンティング・モジュールを分極する方法を提供する。
【解決手段】圧電素子３４はフィルム３０の上に合わされる。圧電素子３４は、フィルム３０に接する圧電素子３４の側に電極４０を有する。電極４０は、フィルム３０の５１側で電気接点３１と合わせられ、電極が駆動統合回路によって個々に対処されるようにする。電極４０は圧電素子３４の表面上の半導体被膜３６上に配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明は圧電素子、インクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による圧電素子は、圧電素子用圧電体組成物１００重量部に対し、９０重量部以上１００重量部未満のＰｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３を含む圧電セラミックパウダーと、０重量部超過１０重量部以下のガラスフリットとを含み、ガラスフリット１００重量部に１０から２０重量部のＺｎＯを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】発熱素子によって充分な熱エネルギを発生させ、かつ、発熱素子におけるキャビテーションを防止することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、共通液室から複数の圧力室２００にインクが供給され、該各圧力室２００内のインクが吐出口１００から吐出される。圧力室２００の吐出口１００に対向する面に、熱エネルギを発生させる２つの発熱素子４００，４０１が設けられ、発熱素子４００は発熱素子４０１よりも共通液室から近い位置にあり、２つの発熱素子４００，４０１の間の部分が、吐出口１００に対向している。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを構成する基板、圧電部材、枠部材をそれぞれ作成して接着する構成では、部品点数が増え、製造工数も増えてしまう。結果として製造原価が高くなっている。
【解決手段】
少なくとも一部が圧電部材よりなる基板と、基板の一面に形成された共通流路と、第１の開口部を通して共通流路に連通する圧力室と、圧力室に流体的に接続するノズルと、圧力室の内面に形成され駆動回路に接続する電極と、基板に設けられ共通流路を挟んで第１の開口部に対向する位置に第２の開口部を有し共通流路に接続する溝と、その溝の少なくとも一部を封止する封止材料と、を有するインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】流動体を付着させて熱処理を行う工程を繰り返し行うことにより微細パターンの膜を所望の膜厚で精密に作製可能とするパターン形成用基板と、パターン形成用基板を用いた圧電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】所定の流動体を特定領域に付着させて熱処理を行うことによりパターン化された膜を形成するためのパターン形成用基板１０で、特定領域を親和性とし、それ以外の領域を非親和性とする表面改質をおこなう。パターン形成用基板１０の表面改質処理対象となる金属膜はＰｔ膜５３を積層し、基体として、Ｔｉ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｗから選ばれる少なくとも１つの金属元素、酸素元素および炭素元素から構成されるＭＯＣ膜５２を用いる。 （もっと読む）

【課題】特殊な環境が不要で短時間且つ低コストでニッケル酸ランタン膜形成用組成物を製造することができるニッケル酸ランタン膜形成用組成物の製造方法、ニッケル酸ランタン膜の製造方法、及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも酢酸ランタン、酢酸ニッケル、酢酸、及び水を混合して混合溶液を得た後、混合溶液を加熱する。 （もっと読む）

【課題】クラックが発生し難い電気−機械変換膜、電気特性が安定する電気−機械変換素子等を提供する。
【解決手段】パターニングされた親水領域４に、インクジェット塗布装置によりＰＺＴ前駆体溶液（ゾルゲル液）５を塗布し、次いで、ＰＺＴ前駆体溶液５の液滴６を、基板１上のＰｔ面における所定パターン領域の塗布領域内（親水領域４）と、所定パターン領域外（ＳＡＭ膜２：撥水領域）とを跨ぐように着弾させた。所定パターン領域外は、親水性領域４である所定パターン領域内より接触角が非常に大きいので、着弾したゾルゲル液滴５の所定パターン領域外の塗布部分は所望パターン領域内へ吸い寄せられ、所望の形成パターン内にてレベリングされた。この塗布工程においてミストの発生はなく、所定パターン領域外に微小なゾルゲル液滴による独立した塗布欠陥は発生しなかった。 （もっと読む）

【課題】液相法で圧電体層を製造した場合に得られる圧電体層の圧電特性の面内均一性を向上させることができる前駆体溶液などを提供する。
【解決手段】本発明に係る前駆体溶液は、圧電体を形成するための前駆体溶液であって、前記前駆体溶液に含まれる金属に配位した配位子のうち、９０％以上が同じ種類の配位子である。 （もっと読む）

【課題】安定性の高い前駆体溶液の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る前駆体溶液の製造方法は、酸とアルコールと金属錯体とを含む、複合酸化物の前駆体溶液の製造方法であって、溶媒に対して２０質量％以上の水を添加する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に形成され、第１のヤング率を有する圧電体層２０と、電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、第１のヤング率より大きい第２のヤング率を有する絶縁体層４０と、を含み、圧電体層２０は、第１電極１０と第２電極３０とに挟まれた部分２２を有し、挟まれた部分２２の外側に、絶縁体層４０が隣接している。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣに切れ込みを入れることなく、ＦＰＣ分割面のうねり及び湾曲を矯正して半田接合面の平面度を向上させることにより、ＦＰＣの接続電極とＰＺＴの外部電極との密着性及び半田接合性を向上させて半田接合不良を低減することが可能なアクチュエータユニットを提供する。
【解決手段】ベース部材２に接合された圧電素子３に設けられた複数の外部電極６にフレキシブルプリントケーブル４に設けられた複数の接続電極９をそれぞれ半田接合することにより構成されたアクチュエータユニット１において、各外部電極６と各接続電極９との接合部近傍において、フレキシブルプリントケーブル４に各接続電極９の並び方向と同方向の軸線を有する曲げ加工部１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子、この圧電素子を備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】圧電体層３０の凹部３２内に第２電極４０が形成される。これによれば、第２電極４０の側面４２０が圧電体層３０で覆われているため、第２電極４０の側面４２０付近の電界集中を緩和することができる。したがって、放電が発生しづらくなる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金からなる第１電極６０、第１電極６０上に設けられ少なくともビスマスを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０、及び圧電体層７０上に設けられる第２電極８０を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０の第１電極６０側界面には、ビスマス及び白金を含む酸化物からなる酸化物部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電体の構成金属の拡散による特性低下を回避するとともに、圧電体の形成時の膜のはがれを回避し、さらに、圧電体の結晶性および平坦性を向上させる圧電デバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス１の基板１１上には、電極層２３を含む下地層１３を介して、圧電体１４が形成される。下地層１３は、第１の層２１と、第２の層２２とを含んでいる。第１の層２１は、金属酸化物または金属窒化物からなる。第２の層２２は、第１の層２１の金属酸化物の構成金属と同じ金属、または金属窒化物の構成金属と同じ金属からなる。 （もっと読む）