【課題】圧電素子を用いた液滴吐出アクチュエータにおいて、効率的に振動板の変位を大きくすることが可能な液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】液滴が貯蔵される液室の一部を成す振動板を変形させて液室内の液滴をノズル孔から吐出させる液滴吐出ヘッドであって、振動板において前記液室側と反対面側に形成された圧電素子と、圧電素子において振動板側の面に形成された下部電極と、圧電素子において下部電極が形成された面と反対側の面に形成された上部電極と、を含む板状部材と、板状部材の上部電極側の一端に形成されており、板状部材が振動板との間に挟まれるように上部電極側に形成される基板と板状部材とを固定する固定壁と、板状部材の下部電極側の他端に形成されており、振動板を押圧する押圧壁と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板の加工方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るＳＯＩ基板の加工方法は、酸化層の両面にシリコン層が積層された構造のＳＯＩ基板に溝を形成するＳＯＩ基板の加工方法であって、シリコン層における溝が加工される領域を複数の単位領域に分割する工程と、分割された単位領域のうちの一部領域に対して酸化層が露出するようにドライエッチングする工程と、酸化層を除去して分割された単位領域のうちの残りの領域を除去する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】チャンバと連通している供給管に気泡が付着しないインクジェットプリントヘッドおよびその製造方法の提供。
【解決手段】感光性樹脂３８の構造層内に作られているチャンバと、それぞれの対応するインク供給管は、タンタルと金の保護層３４、３６で作られた平坦な底壁３６と、少なくとも１つの射出ノズル４６を含み、連続する外周線に沿って底壁に連結されている、実質的に凸状の表面で構成された上壁と、によって境界が定められており、各チャンバと各供給管の内側形状は、金属の、制御された非包囲式の金属の成長から得られ、タンタルの層３４の上に載っている金の層３６の寸法から始めて堆積した犠牲層５７の外側形状の相補形の印象なっている。 （もっと読む）

【課題】 複数の吐出口とエネルギー発生面との距離の均一化を図る。
【解決手段】 液体が吐出される吐出口と、該吐出口に連通する流路と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、第１の層と第２の層とがこの順で平坦に積層されている基板を用意するＡ工程と、前記第２の層に前記吐出口形成用の部材（Ａ）を形成するＢ工程と、前記第１の層に前記流路形成用の型を形成するＣ工程と、前記型の上面以上の厚さで前記型と前記部材（Ａ）とに密接に第３の層を設けるＤ工程と、前記型を除去して前記流路を形成するＥ工程と、をこの順に有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 所望のばらつきの少ない液体噴射特性を有することが確認された液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及びその製造工程において所望のばらつきの少ない液体吐出特性を有するか否かを簡易にかつ高精度に検査することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、圧電素子の並設方向の両外側には、少なくとも第１電極からなる検査用パターンと、第１電極、圧電体層及び第２電極とをこの順で備えてなる検査用圧電素子とが設けられ、検査用パターンの前記第１電極のシート抵抗Ｒｓ１と検査用圧電素子の前記第１電極のシート抵抗Ｒ１とのシート抵抗比Ｒｓ１／Ｒ１と、検査用パターンの第１電極のシート抵抗Ｒｓ２と検査用圧電素子の第１電極のシート抵抗Ｒ２とのシート抵抗比Ｒｓ２／Ｒ２との差が、０．２０以内である。 （もっと読む）

【課題】本発明は貫通口の加工精度を工程数を増やさずに向上できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の裏面の電極と貫通口を通して電気的に接続される発熱抵抗素子を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、（１）前記シリコン基板の上に、前記発熱抵抗素子となる発熱抵抗層を形成する工程と、（２）前記シリコン基板の裏面からプラズマを用いたドライエッチングにより前記発熱抵抗層に達するように前記貫通口を形成する工程と、を含み、前記工程（２）において、前記ドライエッチングによる前記発熱抵抗層からの発光スペクトルを検出することにより、前記貫通口の貫通を検知することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】所望の吐出性能の維持と圧力室への気泡浸入による吐出性能への悪影響の抑制とを図り得るインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インク供給路は、インクの供給方向に沿って共通流路２２に近い側から順に、第１の流路部３２、第２の流路部４２及び第３の流路部４３を少なくとも有し、第１の流路部３２は、共通流路２２から供給されるインクを第２の流路部４２内に上向きに流入させる縦流路であり、第３の流路部４３は、第２の流路部内４２のインクを該第２の流路部４２から横向きに流出させる横流路であり、第１の流路部３２の横断面積をＡ１、第２の流路部４２の横断面積をＡ２ａとしたとき、Ａ２ａ＞Ａ１であり、且つ、第２の流路部４２の縦断面積をＡ２ｂ、第３の流路部４３の縦断面積をＡ３としたとき、Ａ２ｂ＞Ａ３である。 （もっと読む）

【課題】開口幅が縮められた供給口を有する液体吐出ヘッド用基板を高い生産効率で安定的に製造する方法を提供することにある。
【解決手段】相対する２面を持つシリコン基板の第１の面に、液体供給口を形成する部分に対応した開口部を有するエッチングマスク層を形成する工程と、第１の面に相対する第２の面の液体供給口を形成する部分に凹部を形成する工程と、第１の面の開口部上に凹部を形成する工程と、第１の面の開口部よりシリコン基板を結晶異方性エッチングにてエッチングし、液体供給口を形成する工程とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルを列設して成るノズル群を備える液体噴射ヘッドにおいて、各ノズルの噴射特性のばらつきを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法、及び、当該方法で製造された液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズルを列設してなるノズル列（ノズル群）と、ノズル毎に対応して形成された複数の圧力室と、各圧力室に対応して配設され当該圧力室の容積を変動させる複数の圧電素子（圧力発生手段）と、を備える記録ヘッドにおいて、各ノズルの開口径は、対応する圧電素子の変位量又は周波数特性に基づいて定められる。 （もっと読む）

【課題】加工処理と同時に厳密なエッチングレート管理が可能となるシリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１の裏面にエッチングレートを測定するためのエッチングレート測定用マスク層３８を形成しておき、結晶異方性エッチング処理の際に、エッチングレート測定用マスク層に設けられた開口部３２においてエッチング空間１７を形成する。このエッチング空間からエッチング液の状態を把握し、次ロットにおける結晶異方性エッチングにおける処理条件を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の形状のばらつきに起因するインク液滴の吐出量のばらつきが低減されたノズルプレートを得る。
【解決手段】表面が（１００）面である単結晶シリコン基板４０の第１の面４０ａをエッチングして凹部４５を形成する工程と、凹部４５の内面を含む第１の面４０ａの全面にエッチングマスク層４７を形成する工程と、凹部４５の底面におけるエッチングマスク層４７を除去して単結晶シリコンを露出させる工程と、凹部４５の底面を掘り下げて掘り下げ部４６を形成する工程と、掘り下げ部４６の内面に結晶方位を利用した異方性ウェットエッチングを施して、正８面体の空洞部４８を形成する工程と、単結晶シリコン基板４０を第１の面４０ａの反対側の面である第２の面４０ｂ側から空洞部４８に達するまで薄型化して空洞部４８の一部を第２の面４０ｂ側に開口された第２のノズル孔部１１ｂとする工程と、を有するノズルプレート１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 電解めっき法で作成した電力配線と端子のうち、電力配線にのみ樹脂からなる部材との密着性を確保するための層を設ける時、端子をレジストで被覆すると除去した際にレジストの残渣が残る可能性がある。また、端子の上にレジスト残渣があると、外部と十分に電気的接続ができない可能性がある。
【解決手段】 樹脂からなる部材と接する電力配線１３０の表層をレーザー光で加熱することで、貴金属の層とニッケルの層から、貴金属とニッケルとを主成分とする合金からなる密着層を設ける。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板に形成されたノズルについて、実際に対象物上に正しく画像を形成することが出来るノズルを得るため、ノズルの孔曲がり、すなわち吐出面に対する垂直度を調べる必要があった。
【解決手段】基準孔１５は、接合面側および吐出面側において開口する形状がそれぞれ正方形であり、底面が接合面に位置し、上面が吐出面に位置する正四角錐台の形状を有している。そして、この正四角錐台は、中心軸が吐出面に対して垂直方向になるように形成されている。従って、基準孔１５は、第１ノズル１１が開口している吐出面と沿う面において形成される上面（平面）形状の中心位置が、常に同じ位置を呈する孔である。この結果、基準孔１５を基準として、第１ノズル１１について、吐出面側の開口孔の中心位置と、接合面側の開口孔の中心位置を計測すれば、ノズル基板１０に設けられた第１ノズル１１について、吐出面に対する垂直度を調べることができる。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機械的強度及びリフィル性能に優れた液体吐出ヘッドに用いることのできる基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明では、（１）絶縁材料からなる絶縁層を表面に有し、複数の開口を有するエッチングマスク層を裏面に有するシリコン基板を提供する工程と、（２）前記エッチングマスク層をマスクとして、エッチング領域が絶縁層の開口と対向する部分に到達するようにリアクティブイオンエッチングを行うことで、隣接する複数の開口に対応した供給口となる穴を形成する工程と、をこの順に有し、工程（１）において、絶縁層は開口と対向する位置からマスク層の隣接する開口同士の間の部分と対向する位置にまで設けられ、工程（２）において、隣接する穴同士の間に設けられたシリコンの壁の裏面側の部分よりもシリコンの壁の表面側の部分を薄くするようにリアクティブイオンエッチングが行われる。 （もっと読む）

【課題】素子基板の構成材料と同じシリコンからなるオリフィスプレートを用いて液体吐出ヘッドを製造する際に信頼性の高い長尺の液体吐出ヘッドを製造することを可能にする。
【解決手段】オリフィスプレートを作製するためのシリコン基板２１の表面に、パターニングされたＡｌ層２２を形成し、Ａｌ層２２をマスクとしてシリコン基板２１のドライエッチングを行うことで、シリコン基板２１の表面における吐出口に対応する位置に配置された、凹部としての穴２１ａ、および溝状の切断ライン２１ｄを形成する。次に、シリコン基板２１の裏面を研削、研磨してシリコン基板２１を薄くすることにより穴２１ａを貫通させ、シリコン基板２１に吐出口３を形成するとともに、切断ライン２１ｂでシリコン基板２１が複数枚のオリフィスプレート１６分割される。これにより、シリコン基板２１に吐出口３が形成されてなるオリフィスプレート１６が作製される。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチングでシリコン基板に液体の供給口を、高精度に歩留まり良く形成することが可能な液体吐出ヘッド用の基板の製造方法を提供する。
【解決手段】供給口を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、（１）シリコン基板の第１の面の供給口に対応した部分に金属の窒化物を含む第１の層１２を設ける工程と、（２）アルミニウム、銅および金のいずれか１つ、またはそれらのうちの複数の合金からなる第２の層１０を前記第１の層の上に設ける工程と、（３）前記第２の面から前記第１の面に向かって、反応性イオンエッチングで前記シリコン基板をエッチングし、被エッチング領域を前記第１の層１２に到達させる工程と、を含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出状態が安定した液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】貫通孔を有するＳｉ基板からなり、前記貫通孔は、前記Ｓｉ基板の一方の面に開口する第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記Ｓｉ基板の他方の面側に開口している前記第１ノズルの断面より大きな断面を有する第２ノズルと、を有し、前記第１ノズルの前記一方の面の開口を液滴が吐出される吐出孔とする液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法において、所定の深さの前記第１ノズルを形成する第１ノズル形成工程と、前記一方の面及び前記第１ノズルの内面の内、側面を覆うエッチングマスクを用い、前記一方の面の開口側からＳｉ等方性ドライエッチング方法によるエッチングを行い、他方の面側に貫通させて前記第２ノズルを形成する第２ノズル形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】容易かつコストアップにならない方法で変位量を向上させ、高集積化及び低コスト化を実現した圧電型アクチュエータ、それを用いた液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の空隙部３３を有する基板２０と、基板２０の一方の面に固定された弾性膜２１と、弾性膜２１の一方の面に、空隙部３３に対応させて設けた複数の圧電素子を備え、圧電素子２２に電圧が印加されて撓み振動をすることで、弾性膜２１を該撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、弾性膜２１は、基板２０との固定部よりも、圧電素子２２の形成部分が、圧電素子２２の撓み方向側に突出した形状を有する。 （もっと読む）

【課題】区画形成された積層構造体を接着層に影響されずにレーザ光の照射によりスクライブして容易に取り出すことが可能な積層構造体基板および液滴吐出ヘッド基板、この積層構造体の製造方法および液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液滴吐出ヘッド基板１００は、封止基板１が複数区画形成された第１の基板１０１と、アクチュエータ基板３が複数区画形成された第２の基板１０３と、アクチュエータ基板３に対応して個々に接合されたノズルプレート４とを有している。第１の基板１０１と第２の基板１０３は、いずれもレーザ光を透過可能なシリコン単結晶基板からなり、第１の基板１０１の接合面には、切断予定ライン４０上に沿って凹部７が設けられている。凹部７の切断予定ライン４０上には、接着層９が介在しない状態で、第１の基板１０１と第２の基板１０３とが接合されている。 （もっと読む）