【課題】長期間に亘って圧電特性の低下を抑制することができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０上にランタンニッケル酸化物を主成分とする金属酸化膜２００を形成する工程と、金属酸化膜２００上に圧電体層７０となる圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧電体前駆体膜７１を７００℃以上、９００℃以下で加熱し結晶化させて圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に、第２電極８０を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ前駆体溶液を液体吐出ヘッドから吐出させて基板に塗布するときに付随液滴を基板に付着させず電気機械変換膜を高精度に形成できる電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】ＰＺＴ前駆体溶液４９をノズル孔５４から吐出することにより白金族電極４６にＰＺＴ前駆体溶液４９を塗布する塗布工程と、塗布したＰＺＴ前駆体溶液４９を熱処理して結晶化する熱処理工程とを有する電気機械変換膜の製造方法において、塗布工程は、ノズル板５１を例えば負極、白金族電極４６を正極にして、電圧を印加する印加工程と、帯電したＰＺＴ前駆体溶液４９をノズル孔５４から吐出する吐出工程と、吐出された主液滴４９ｄを白金族電極４６に塗布する主液滴塗布工程と、付随液滴４９ｅを異極性の吸引力によりノズル板５１に吸引させて回収する回収工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜と第２電極との密着性が向上した圧電素子を提供することを目的とする。
を提供する。
【解決手段】圧電素子３００は、第１電極６０と、第１電極上に設けられた圧電体層７０
と、圧電体層上に設けられた第２電極８０と、第２電極上に設けられた絶縁膜（保護膜）
１００とを具備し、第２電極の絶縁膜と接触する領域に、凹凸部８３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができる圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミックス膜形成用組成物は、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含む金属錯体混合物と、シリコーンオイルと、溶媒と、を含み、金属錯体混合物と溶媒との総量１００容量部に対してシリコーンオイルを５容量部以下含む。所定量のシリコーンオイルを含むことにより、圧電セラミックス膜を形成する際の焼成工程における熱膨張が抑制されて、圧電セラミックス膜の残留応力を低減させることができる。これにより、クラックの発生が抑制されたニオブ酸カリウムナトリウム系の圧電材料からなる圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。さらに、鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】高精細な液体吐出ヘッド用基板を歩留りよく製造する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）シリコン基板１のうち機能素子が形成された第一の面と反対側の面である第二の面を研削する工程と、（ｂ）研削して得られた第二の面を研磨する工程と、（ｃ）イオンの入射エネルギーを利用したリアクティブイオンエッチングにより、研磨して得られた第二の面をエッチングする工程と、（ｄ）リアクティブイオンエッチング後の第二の面にエッチングマスクを形成する工程と、（ｅ）エッチングマスクを用いてシリコン基板１をウェットエッチング処理し、液体供給口１２を形成する工程と、をこの順で有する。 （もっと読む）

【課題】より高い放熱性を有するインクジェット記録ヘッド、および該インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、は、インクに熱を加えて該インクが吐出するための圧力をインクに付与するインク吐出部２と、インク吐出部２を第一面３ａに備え、第一面３ａとは反対側の第二面３ｂに少なくとも一つの凹部９を有する基板３と、インク吐出部２から基板３へ伝えられた熱を外部へ放出する放熱部材８であって、凹部９の形状に合わせて形成された凸部１０を有し、凸部１０が凹部９に埋め込まれた状態で第二面３ｂに接合された放熱部材８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子にクラックが発生するのを防止する信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成される高弾性領域４０と、第１圧電体３０および高弾性領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上方に形成された第２電極６０と、を含み、高弾性領域４０は、第１圧電体３０および第２圧電体５０よりも弾性が高い。 （もっと読む）

【課題】インクを吐出する位置や方向にばらつきがなく、印字品質を向上することが可能なラインヘッド、ラインヘッドの製造方法、及び記録装置を提供する。
【解決手段】複数の第１ノズル孔２３を有するベースプレート２１と、ベースプレート２１上に配置された、第１ノズル孔２３に連通する第２ノズル孔２５と、第２ノズル孔２５毎に設けられたアクチュエーターと、を有するノズルユニット２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シリコンデバイスをチップの状態で扱う際に、割れや欠けによってシリコンデバイスが損なわれることを抑制することができるシリコンデバイス、及びシリコンデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンデバイスの製造方法は、平面視において多角形の外形形状を有する平板状のシリコンデバイスを製造するシリコンデバイスの製造方法であって、シリコンデバイスが区画形成されたデバイスマザー基板に貫通孔を形成することによって、多角形の角部を形成する角部形成工程と、デバイスマザー基板をシリコンデバイスに分離する分離工程と、を有する。シリコンデバイスの多角形の角部の少なくとも１個は、多角形を構成する複数の辺における、互いに隣り合って位置している２個の辺と、２個の辺のそれぞれに接して辺を接続する角部曲線部とで形成されており、角部形成工程において角部曲線部を形成する。 （もっと読む）

【課題】保護膜の中抜き部をエッチングする際に、上部電極のオーバーエッチングが減少して断線の危険性が少なくなり、上部電極の薄膜化によりコストの低減した圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１電極２０を形成する工程と、第１電極２０の上方に圧電体層３０を形成する工程と、圧電体層３０の上方に第２電極４０を形成する工程と、第２電極４０の上方に第３電極５０を形成する工程と、少なくとも圧電体層３０の側面を覆う保護膜６０を形成する工程と、第３電極５０をストッパー層として保護膜６０を第３電極５０が露出するまでエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】エネルギー作用室体積を損なうことなくノズル密度を向上させインクを良好に吐出できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】明細書中に定義される各工程を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法であり型材を形成する工程の前に基板上のノズル壁の一部となる位置に第１の面および第２の面を有する三角部材を形成する工程を有しただし該第１の面は該第２の面より該作用室側に形成されかつ該三角部材の外部に該基板と直角又は鋭角を成し該第２の面は該三角部材の外部に該基板と鈍角を成し型材を形成する工程において該基板および該三角部材の上に感光性樹脂層を形成しこの樹脂層を露光する際に発生する回折光を該三角部材の第２の面で反射させ該回折光の反射光を該ノズル壁となる部分に位置する樹脂層によって吸収させるインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 流路壁部材の強度を維持し、複数の吐出口の長さの均一化を図ること。
【解決手段】 第１の層が平坦に設けられている基板を用意するＡ工程と、前記流路を形成するための前記流路の型と、前記型の外側に前記型と間隙を介して設けられた部材（Ａ）と、を前記第１の層から形成するＢ工程と、前記間隙を充填し前記型と前記部材（Ａ）とを被覆するように、第２の層を設けるＣ工程と、前記吐出口を形成するための部材（Ｂ）を前記型の上に前記第２の層から形成するＤ工程と、前記部材（Ａ）を除去するＥ工程と、前記部材（Ｂ）に密接するように、少なくとも前記基板に第３の層を設けるＦ工程と、前記型を除去して前記流路を形成するＧ工程と、をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ゴミの目詰まりを抑制可能な液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】表面に開口し液体を吐出する吐出口１４と、吐出口１４に連通する液体流路９と、を構成する流路形成部材１１と、表面と反対側の裏面に開口し、裏面側から表面側に向かって狭くなる第１の斜面を有する液体室１６と、第１の斜面に開口し、液体流路９と液体室１６とを繋ぐ液体経路５と、液体室１６の底部に設けられる第１の凹部１７と、を有する基板１と、を備える液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】個別液室基板の反りが小さい液滴吐出ヘッド、前記液滴吐出ヘッドを有するインクカートリッジ、前記インクカートリッジを有する画像形成装置、並びに前記液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 複数のノズル孔を有し、前記ノズル孔に連通する複数の圧力室の床面の一面となるノズル板と、
前記圧力室の壁面と、該各圧力室のノズル板に対向する側の床面を形成する振動板と、該振動板を介して設けられた圧電素子と、を有する個別液室基板と、
前記圧電素子を駆動するための駆動信号を出力するドライバＩＣと、
前記圧力室に液滴を供給する供給口及び共通液室とが設けられた共通液室基板と、
を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記個別液室基板は、前記ノズル板の接合面側の表面近傍の領域に、前記圧力室の幅方向両側の壁面間に亘って少なくとも一つの梁部を備え、前記梁部と前記壁面とは同じ材料でかつ連続した構造である液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 吐出口表面への付着物を少なくし、ヨレのない良好な吐出を得られるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの製造方法の製造方法において、基板１上に有機物の層７を形成する工程と、層７に紫外線を照射して、層７の表面の有機物を部分的に崩壊させる工程と、層７上に、流路の型となる溶解可能なパターン１０を形成する工程と、パターン１０上に流路形成部材を形成する工程と、流路形成部材に吐出口５を形成する工程と、パターン１０を溶解除去する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって高精度で液滴を吐出できる吐出ヘッド及び吐出装置、その吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル孔２２はシリコン基板やガラス基板等の無機基板に形成されるので、位置精度が高いだけではなく、耐久性も高い。吐出ヘッド２０の吐出口２３が位置する表面には、ダイヤモンド薄膜３２が形成されているので、吐出ヘッド２０の耐久性が高いだけでなく、撥液性も高い。吐出液が吐出ヘッド２０表面で広がらないので、吐出液の吐出精度が高い。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出安定性を維持することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル孔を有するノズルプレートと、ノズル孔に流路を介して繋がる圧力室と、圧力室内の液体に圧力を加える駆動素子と、を備える圧力発生素子と、からなり、ノズルプレートの液体を吐出する吐出面側は凹凸構造３０を有し、凹凸構造３０の凸部３１先端側は撥水性を有し、凹部３２の側面および底面は親水性を有し、凹部のワイピング方向の長さが１００μｍ以下であることを特徴とするインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減した液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。
【解決手段】流路形成基板１０としてシリコン単結晶基板を使用する場合と比較して、酸化ジルコニウムを含有する混合液を塗布、焼成して振動板１３を備えた流路形成基板１０を形成する。したがって、振動板の形成工程、シリコン単結晶基板を研削する工程およびシリコン単結晶基板をエッチングするためのマスク膜を形成する工程を省略でき、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。また、シリコン単結晶基板を侵すインクを使用しても、流路形成基板１０が酸化ジルコニウムを含んでいるので、インクからの保護のための保護膜を形成する工程が省略でき、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基板内を貫通する供給口の底部にフィルタ構造を精度良く形成できる吐出素子基板の製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する液体流路を有する流路形成部材と、前記液体流路に前記液体を供給する供給口を有する基板と、を備え、前記供給口の底部にフィルタ構造を有する吐出素子基板の製造方法であって、（１）前記基板の前記流路形成部材が配置される側の第一の面と反対側の第二の面から反応性イオンエッチングを行って貫通口を形成することにより前記供給口を形成する工程と、（２）前記供給口の側面及び底部に樹脂保護膜を配置する工程と、（３）前記供給口の底部の前記樹脂保護膜に前記第二の面側からのレーザー加工によって微細口を形成する工程と、を有することを特徴とする吐出素子基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の側面において、連続したリークパスが形成されにくい圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１電極２０と、第１電極２０の上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上に形成された第２電極４０と、を含み、圧電体層３０の側面は、第１電極２０から第２電極４０に向かう方向に沿って延びる第１の溝３５が複数形成された第１の波状面３２と、第１の波状面３２よりも第２電極４０側に設けられ、第１電極２０から第２電極４０に向かう方向に沿って延びる第２の溝３６が複数形成された第２の波状面３３と、第１の波状面３２と第２の波状面３３との境界領域３４と、を有し、第１の溝３５の第１の間隔は、第２の溝３６の第２の間隔と異なる。 （もっと読む）