【課題】機械的な耐久性と撥水機能の耐久性を両立することができる液滴吐出ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル孔を有するノズルプレートと、ノズル孔に流路を介して繋がる圧力室と、前記圧力室の前記液体に圧力を加える圧力発生素子と、を備える流路構造体と、からなり、ノズルプレートの液体を吐出する吐出面側がフッ素含有ＤＬＣ膜２０からなることを特徴とする液滴吐出ヘッドおよび製造方法である。 （もっと読む）

【課題】液を良好に流し込むことができる液体供給口を有する液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】（１）エネルギー発生素子を表面側に有する基板１の裏面に、液体供給口１０に対応する開口９を有する耐エッチングマスク８を形成する工程と、（２）耐エッチングマスク８を用いて基板１をドライエッチング処理することにより、液体供給口１０を形成する工程と、を含む、前記工程（１）において、耐エッチングマスク８の開口９の周辺領域は開口９に近いほど薄くなっている液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板の傷等の欠陥による影響をなくし、液体供給口の開口寸法の精度を向上することができる液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の一方の面側に、液体供給口の形成位置を内側に囲むように、エッチングによって溝部を形成する工程と、前記シリコン基板の一方の面側であって、前記溝部内及び前記溝部の外側に、保護膜を形成する工程と、前記保護膜をマスクとして、前記シリコン基板に結晶異方性エッチング処理を施すことにより前記液体供給口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングでの基板厚さのバラツキの影響を抑え、供給口おもて面の開口精度を向上させると共に、貫通穴を効率良く形成すること。
【解決手段】開口部を有するエッチングマスク層をシリコン基板の裏面に形成する工程と、該シリコン基板の厚みを測定する工程と、該シリコン基板の裏面から該エッチングマスク層の開口部にレーザ光を照射して該シリコン基板の内部に測定した該シリコン基板の厚みに応じて厚みを変化させた変質層を形成する工程と、該変質層が形成された該シリコン基板に異方性エッチングを施して該基板を貫通せずかつ該基板内部に底面を有する凹部を形成する工程と、該凹部内にドライエッチングを施して、該凹部の底面からこのシリコン基板のおもて面まで貫通する貫通孔を形成する工程とを含むシリコン基板の加工方法。および液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】成膜した状態で引張応力膜となっている圧電体を用いた圧電アクチュエータの変位効率を向上させる。
【解決手段】空間部を有する基板の一方の面に設けられた弾性膜と、前記弾性膜の前記空間部上に設けられた圧電素子とを備え、前記圧電素子に電圧が印加されて撓み振動することにより、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、前記弾性膜は、前記圧電素子が形成される部分に引張応力を有し、前記圧電素子が形成される周辺部分に圧縮応力を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１積層体１２と、第１電極２０の上方に第１積層体１２と離間して形成された第２積層体１４と、第１積層体１２の側面、第２積層体１４の側面、および第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面を覆う被覆層６０と、を含み、第１積層体１２および第２積層体１４は、第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、を有し、第１電極２０は、塩素と化学反応する金属を含有し、第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面２０ａには、凸部５０および凹部の少なくとも一方が形成されている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置において液体をガス抜きするのに用いられる方法および物品を提供する。
【解決手段】ノズル開口部から液滴を吐出するために中で流体が加圧される流路であって、該流路の少なくとも一部分がシリコン材料により画成されている流路、および、流体貯留領域４７と真空領域４９との間に少なくとも１つの孔６０を有する仕切り５０を備えた脱気器４５であって、シリコン材料を含む脱気器、を含む液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】 保護層をエネルギー発生素子毎に独立して設けると、保護層とエネルギー発生素子との間のリーク電流検査を１度で行うことができず液体吐出ヘッド用基板の製造時の検査に時間がかかる懸念がある。
【解決手段】 複数の保護層と電気的に接続し、供給口となる位置に対応する基体の上側に設けられた接続部に接続する検査用端子と、複数のエネルギー発生素子が接続される端子と、の間のリーク電流検査を行った後に、前記接続部を除去して液体吐出ヘッド用基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチングを用いてシリコン基板における凹部の底部に垂直な開口を設けることができるシリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】第１の開口４の底部に、パターン開口１０を有するパターニングマスク１４’を用いて、プラズマを用いた反応性イオンエッチングにより第２の開口５を形成するシリコン基板の加工方法であって、前記プラズマに対する前記第１の開口内の露出を妨げる遮蔽構造１１’を前記シリコン基板内又は上に形成した状態で前記反応性イオンエッチングを行うシリコン基板の加工方法である。これにより、第２の開口の傾きの原因である、プラズマモールディング効果と呼ばれるシースの歪みを緩和することが出来る。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板の上に、第１導電層を形成する工程と、前記第１導電層の上に、圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層の上に、第２導電層を形成する工程と、前記第２導電層の上に、第３導電層を形成する工程と、前記第３導電層をパターニングし、第１の部分と、第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分との間に設けられた開口部と、を形成する工程と、前記開口部を覆い、かつ、前記第１の部分および前記第２の部分の前記開口部側の周縁部を覆うレジスト層を形成する工程と、前記第１の部分、前記第２の部分、および前記レジスト層をマスクとして、前記第２導電層をドライエッチングし、前記第１の部分および前記第２の部分からなる第１導電部および第２導電部と、前記第２導電層からなる第３導電部と、を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットヘッドアセンブリーに関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドアセンブリーは、内部にインク流路が形成され、上部にインク吐出のための駆動力を提供するアクチュエーターが形成されたインクジェットヘッドプレートと、上記アクチュエーターに電圧を印加するためのフレキシブル印刷回路基板（ＦＰＣＢ）と、上記アクチュエーターと上記フレキシブル印刷回路基板を電気的に連結するように提供され、上記アクチュエーターと接合する第１接合部より上記フレキシブル印刷回路基板と接合する第２接合部が上記インクジェットヘッドプレートの幅方向において内側に形成される中間基板とを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 複数の吐出口間で吐出口部材の吐出口開口に対応する部分の厚さが異なるように、形状に精度よく形成された吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まり良く得る。
【解決手段】 液体を吐出する吐出口を複数有する液体吐出ヘッドの製造方法において、第１の層と、第３の層に行われるエッチング法によるエッチングに対して前記第３の層より耐性を有する第２の層と、前記第３の層と、がこの順に積層された基板を用意する工程と、前記第３の層を前記エッチング法により部分的にエッチングして前記第２の層を露出させる工程と、露出した前記第２の層の少なくとも一部を除去して前記第１の層の上面の一部を露出させ、前記上面の露出した領域内に第１の前記吐出口を形成し、前記第３の層の上面に第２の前記吐出口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、インク供給口等の供給口内に、カバレッジ性に優れかつ容易に製造可能な液体吐出ヘッドを提要することを目的とする。。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口と該吐出口に連通する液流路とを含む流路形成部材と、前記液流路に前記液体を供給するための供給口を含むシリコン基板と、を少なくとも有する液体吐出ヘッドであって、前記供給口の壁面に、前記流路形成部材を構成する部材と同一の材料である有機樹脂からなる保護膜が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上に、第１導電層１０を形成する工程と、第１導電層１０の上に、能動領域となる領域を有する圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上に、前記領域とオーバーラップする第２導電層３０ａを形成する工程と、第２導電層３０ａの上に、前記領域とオーバーラップする第３導電層３０ｂを形成する工程と、前記領域の上方の第３導電層３０ｂにおいて、第３導電層３０ｂを第１の部分３１と第２の部分３２とに分割する開口部３６を形成する工程と、開口部３６と、第１の部分３１および第２の部分３２の開口部３６側の周縁部を覆うレジスト層１３０を形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第３導電層３０ｂをエッチングし、第１導電部３３と第２導電部３４とを形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第２導電層３０ａをエッチングし、第３導電部３５を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】長尺インクジェット記録ヘッドを量産する際に、短尺のユニットの良品のみを選別して組上げることによる歩留り向上を図り、また各ユニット形状を同一とすることによる組み立て時の選別工数を削減することにより、低コスト化を図る。
【解決手段】アクチュエータ部材４０と液室形成部材２０とノズル板１０とを備え、液室形成部材２０は、同一パターンの流路ユニットを含む複数の流路ユニットを結合して構成され、各流路ユニットには、流路ユニット同士の結合方向に液体流路が配列された液体流路列が複数形成され、各流路ユニットは、シリコンウェハを用いたリソグラフィーによるマスク形成あるいはマスク膜のエッチングによりマスクパターンを形成した後、異方性のウェットエッチングあるいはドライエッチングと異方性ウェットエッチングの両方により、シリコンウェハをエッチングして得た貫通溝により他の流路ユニットとの結合面を形成する。 （もっと読む）

【課題】リード電極と配線基板との間の導通不良の生じにくい、製造コストの低減した液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】ＣＶＤ法により保護膜１６を形成する前に、ＣＯＦ基板２１０が挿入される貫通孔３３が蓋部３４で塞がれているので、蓋部３４によって貫通孔３３内にＣＶＤ法で用いる原料ガスが侵入できず、貫通孔３３に引き出されたリード電極９０に保護膜１６が形成されない。したがって、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接続で導通不良が生じにくく、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧力チャンバ内に残留する残留圧力波を短時間で減殺させてインク吐出特性を向上させるインク流路構造及びこれを含むインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インク流路構造は、流入されたインクのノズルへの吐出のためにインクを格納する圧力チャンバ２１０及び圧力チャンバ２１０から発生する圧力によってインクを吐出した後、圧力チャンバ２１０にインクを供給し、圧力チャンバ２１０内に残留する残留圧力波を減殺させるために、圧力チャンバ２１０に向かう方向に拡張と縮小を繰り返す流路２３０を含む。 （もっと読む）

【課題】エッチングマスク層の形成及び剥離工程が少なく製造負荷が抑えられた液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】第一の平面と第二の平面とを有するシリコン基板に該基板を貫通する液体供給口を形成する液体吐出ヘッド用基板の製造方法であり該液体供給口が明細書中に定義する第一部分と複数の第二部分とを含み該第二の平面に該複数の第二部分に対応した形状の開口を有するエッチングマスク層を形成する工程と該第二の平面側から該マスク層の開口を通じて該第一部分となる凹部を形成する工程と該第二の平面側から該マスク層を用いて該複数の第二部分を形成し該液体供給口を形成する工程とを含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法。液体吐出ヘッドの製造方法。液体吐出ヘッドアセンブリの製造方法。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを発生させずに圧力室とノズルを高精度に形成する。
【解決手段】基板にノズルストレート部及びノズルテーパー部の領域を規定するための第１のマスクパターンと前記基板に圧力室に相当する空間部の領域を規定するための第２のマスクパターンとを同時に形成するパターニング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第１のエッチングを行い、前記基板にストレート状の貫通孔を形成する第１のエッチング工程と、前記第２のマスクパターンに基づいて第２のエッチングを行い、前記基板に前記圧力室に相当する空間部を形成する第２のエッチング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第３のエッチングを行い、前記圧力室に相当する空間部の前記貫通孔が形成された面のうち、該貫通孔の周辺にテーパー形状を形成する第３のエッチング工程とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ容易に記録ヘッド同士を位置決めする。
【解決手段】複数のノズル３０ａが形成されたノズル基板３０を有する複数の記録ヘッド２０を千鳥状に配列したラインヘッドモジュールにおいて、各記録ヘッド２０のノズル基板３０には、少なくとも１対の凸部６０と凸部６０に対応する少なくとも１対の凹部６２とが形成されている。 （もっと読む）