【課題】給電部に導電性部材を設けて平坦化することで、当該給電部の平坦化した部分を、外部装置に安定して接続し、圧電体にクラックを生じにくくすることができるインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドは、インク吐出部を有し、インク供給路を形成する開口を有するスペーサ、及び圧電体からなる振動板が交互に積層された積層圧電体と、前記インク吐出部に配設されたノズルプレートと、を有するインクジェットヘッドであって、前記積層圧電体は、更に、前記積層圧電体間に設けられた隙間に挿入される導電性部材により形成された、前記圧電体へ給電するための給電部を備え、前記給電部の一部では、前記導電性部材及び前記積層圧電体が平坦化され、当該平坦化された給電部の一部から、接続素子を介して外部装置と接続する。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットヘッドアセンブリー及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドアセンブリーは、インク流路が形成されるインクジェットヘッドプレートと、上記インクジェットヘッドプレート内の圧力チャンバに対応するように形成され、上記圧力チャンバからノズルへとインクを吐出するための駆動力を提供する圧電アクチュエーターと、上記インクジェットヘッドプレート上に積層され、外部から流入されるインクを上記インクジェットヘッドプレートの流入口に移動させる流路が形成されるパッケージ部と、上記パッケージ部に貫通形成されるビアに充填され、上記圧電アクチュエーターと電気的に接続する電気接続部を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル内のメニスカス位置を精度よく制御することにより、インク液滴の吐出性能の向上を図るノズルプレートの製造方法を提供することである。
【解決手段】液体が吐出するノズルを有するノズルプレートにおいて、前記ノズルの内面は、前記液体が吐出する吐出口から順に、親液性を有する第１親液面、撥液性を有する撥液面、親液性を有する第２親液面が形成されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性のある撥液性コーティングを流体噴射装置に施す。
【解決手段】流体噴射装置のノズル板を形成する方法は、多層基板の第一面に穴をエッチングにより形成する工程と、穴内にライナーを付ける工程と、ライナーの閉端部を露出させるように多層基板の第二面から層を除去する工程と、撥液性コーティングをライナーの閉端部及びライナーの閉端部を囲む領域に施す工程と、ノズルを開けるようにライナーの閉端部を除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の結晶性を向上し良好な変位特性が安定して得られる圧電素子を備えた液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の形成方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウエハー１１０の表面に第１の電極膜６０を形成する工程と、第１の電極膜上に第１の強誘電体膜７１ａを形成する工程と、この第１の強誘電体膜７１ａ上に形成したレジスト膜をマスクとして第１の強誘電体膜７１ａ及び第１の電極膜６０をエッチングする工程と、酸素プラズマアッシングによってレジスト膜を除去する第１の除去工程と、保護用レジスト膜を形成する工程と、最終的に有機剥離液で処理することによりレジスト膜及び保護用レジスト膜を除去する第２の除去工程と、残りの強誘電体膜を形成する工程と、強誘電体膜上に第２の電極膜を形成後、第２の電極膜及び強誘電体膜をパターニングして圧電素子を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と前記圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物である液体噴射ヘッド１とする。 （もっと読む）

【課題】液体による液体流路の壁面の浸食を抑制し、液滴の噴射特性を長期に亘って良好に維持することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】振動板５０の流路形成基板１０側の最表層が、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５１で構成されていると共に、流路形成基板１０の表面には、耐液体性を有する材料からなる保護膜２０が液体流路の壁面を覆って設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】保護膜と圧電体層との密着性が向上した圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、基板の上に形成された第１電極と、前記第１電極の上に形成された圧電体層と、前記圧電体層の上に形成された第２電極と、少なくとも前記圧電体層の側面を覆う保護膜と、を含み、前記圧電体層の前記側面は、前記第２電極から前記第１電極に向かう方向に沿って延びる複数の溝を有する。 （もっと読む）

【課題】インク流路内に気泡が滞留することに起因するインク吐出効率の低下を招くおそれがなく、高画質の画像記録を行うことのできるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ガラス基板１とシリコン基板２とが積層一体化された積層体１０と、インクが供給される圧力室４と、該圧力室４内のインクを吐出させるノズルとを有すると共に、前記圧力室４から前記ノズルの出口７に向かうインク流路が前記ガラス基板１と前記シリコン基板２とに亘って貫通形成されてなるインクジェットヘッドにおいて、インク流路のうちガラス基板１に貫通形成される部分の出口側の内面は、出口に向けて次第に拡径する形状を有しており、ガラス基板１からシリコン基板２にかけて貫通形成されたインク流路のうち、ガラス基板１に貫通形成される部分の出口直径をＤ１、前記シリコン基板２に貫通形成される部分の入口直径をＤ２としたとき、Ｄ１≦Ｄ２である。 （もっと読む）

【課題】製造過程におけるシリコンウエハーの欠けや割れの発生を抑制できると共に、異
物の発生を抑制することができるシリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造
方法を提供する。
【解決手段】第１のウエハー１１０上に圧力発生素子を形成すると共に、第２のウエハー
１３０上に第１の基板１０が収まる深さの凹部１３１を形成し、第２のウエハー１３０の
凹部１３１内に第１のウエハー１１０を接合して接合体２００を形成し、第２のウエハー
１３０の第１のウエハー１１０が接合された面の少なくとも外周部に耐エッチング性を有
する材料からなる保護膜１５０を形成してこの保護膜１５０で第２のウエハー１１０の表
面を覆い、接合体２００の第１のウエハー１１０側の面を、第１のウエハー１１０の表面
と第２のウエハー１３０の表面とが同一平面となるまで加工し、その後、接合体２００を
所定サイズの複数のチップに分割する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の圧電体層の大粒化を防止し、しかも圧電体層のパターニングの際のエッチングストップ層としての機能も有する圧電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を具備する圧電素子３００と、振動板と、を備えた圧電アクチュエーターの製造方法であって、ＬａＮｉＯ_ｘ（ｘ＝２．５乃至２．７５）膜からなるＬＮＯ層５６を振動板５０，５５上に形成する工程と、ＬＮＯ層５６上にエッチングを用いてパターニングし、下電極６０を形成する工程と、ＬＮＯ層５６及び下電極６０上にエッチングを用いてパターニングし、圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上にエッチングを用いてパターニングし、上電極８０を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】第１の貫通口と連通する複数の第２の貫通口が形状精度よく形成された構造体を歩留まりよく得ることが可能なシリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】第１のシリコン基板１０２と、第２のシリコン基板１０１と、第１のシリコン基板１０２と、第２のシリコン基板１０１との間に設けられ、複数の凹部１０９が設けられた中間層１０３と、の組を用意し、第１のシリコン基板１０２の中間層１０３との接合面の裏の面側から、第１のマスクを使用して第１のシリコン基板１０２をエッチングして第１の貫通口１０７を形成し、中間層１０３の複数の凹部１０９に対応する部分を露出させ、凹部１０９の底部部分を除去して中間層に複数の開口を形成し、開口が形成された中間層をマスクとして第２のシリコン基板１０１に第２のエッチングを行うことにより第２の貫通口１０８を形成する。 （もっと読む）

【課題】密着層の表面を均一に不動態化する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、吐出エネルギーを発生する発熱部と、該発熱部の上に配置された保護層と、該保護層の上に配置された導電性を有する密着層と、該密着層の上であって少なくとも前記発熱部の上方の領域に配置された上部保護層と、を有し、前記上部保護層は、電気化学反応により溶出する金属を含みかつ加熱により前記溶出を妨げるほどの酸化膜を形成しない材料で構成され、前記密着層を介して電気的に接続されている、液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、前記密着層の表面を酸素を含むガスを放電させることにより酸化し、密着層酸化部を形成する工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【目的】上下２段に配置した圧力室にそれぞれ対応する絞り部の加工時間及び加工コストを抑制可能なインクジェットヘッドを提供すること。
【構成】複数の層からなる積層体によって構成され、前記積層体内に設けられた圧力室内のインクを圧力発生手段によってノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、前記積層体を構成する第１の層１２に形成された第１の圧力室１２１に連通する第１のインク供給路５０に設けられた第１の絞り部５２と、前記積層体を構成する第２の層１３に形成された第２の圧力室１３１に連通する第２のインク供給路７０に設けられた第２の絞り部７２とを有し、前記第１の絞り部５２と前記第２の絞り部７２は、共に前記積層体中の同一の層に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】 変位量の低下を抑制した強誘電体薄膜を形成することができる強誘電体薄膜形
成用組成物、液体噴射ヘッドの製造方法、及びアクチュエーター装置の製造方法を提供す
る。
【解決手段】 ＡＢＯ_３の化学式を有するペロブスカイト構造の強誘電体薄膜をゾル−ゲ
ル法により形成するための強誘電体薄膜形成用組成物であって、強誘電体薄膜を構成する
有機金属化合物と、水とを少なくとも含むゾルからなり、前記ゾルは、Ｂサイトを構成し
得る金属の総量をＸｍｏｌ／ｋｇとし、未反応水分量をＹｍｏｌ／ｋｇとしたとき、２Ｘ
＜Ｙ＜５Ｘを満たすようにする。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、圧電特性が優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、第１電極と、前記第１電極上に形成され鉄マンガン酸ビスマスランタンを含む圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第２電極と、を備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、結晶が（１１１）面に優先配向している。 （もっと読む）

【課題】変位量が大きく、且つ駆動効率の優れた薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】駆動信号により膜面に沿った方向に伸縮する変位膜を有する薄膜層と、薄膜層の両端または周縁を固定し、駆動信号による変位膜の伸長により、該薄膜層を膜面に垂直な方向に変位させる基板と、を備えた薄膜アクチュエータであって、薄膜層は、非駆動時、膜面に沿った初期の圧縮応力を有し、薄膜層の変位量は、圧縮応力の大きさにより変化し、圧縮応力の値は、駆動時、薄膜層の変位量を最大にする圧縮応力の値よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】最適駆動式圧電メンブレンの製造方法を提供する。
【解決手段】上部電極フィルムＥtoｐと下部電極フィルムＥｂｏｔの間に置かれた圧電材料フィルム３０と、該圧電フィルムを担持する弾性フィルム２０とを含む薄膜多層を基板１０の上に構成するメンブレンの製造方法であって、少なくとも１つの変曲点が画定されるような形でフィルムの平面に対し平行な軸に沿って前記メンブレンの少なくとも１つの凹面／凸面曲率を決定することで、凹状部分と凸状部分またはその逆に対応する第１の領域と第２の領域を画定するステップと、圧電材料フィルムと、下部電極フィルムと上部電極フィルムとを含む薄膜多層を基板表面上に被着させるステップと、フィルム面に対して垂直な電場を内部に印加する第１のメンブレン領域と、フィルムの平面に対して平行な電場を印加する第２の領域とを画定するように電極フィルムのうちの少なくとも一方を構造化するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおけるドット抜け及び温度変化を容易かつリアルタイムに検出することを可能とする液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及びノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズル孔１０及びノズル孔１０のそれぞれを中心として各ノズル孔１０の縁に形成された温度センサー２８を少なくとも有するノズル基板１２と、底壁が振動板２２を構成し、ノズル基板１２の複数のノズル孔１０に連通して吐出液を収容する複数の圧力室２６を有し、ノズル基板１２に積層されるキャビティ基板１４と、振動板２２を駆動する個別電極１８を有し、キャビティ基板１４に積層される電極基板１６と、ノズル孔１０に存在する吐出液の量により変化する温度によって液滴吐出状況の良否を判断する吐出検出回路３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】安定した変位特性を有し、信頼性の低下を抑えたアクチュエーター装置の製造方法、このアクチュエーター装置を備えた液体噴射ヘッドの製造方法およびこの液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置の製造方法を得ること。
【解決手段】フォトリソエッチ工程の段階で、下電極６０が形成される領域を残して、振動板５２上の第１圧電体層７１が除去されるが、フォトリソエッチ工程後に、第１圧電体層７１、下電極６０および振動板５２にわたって、４ｎｍ以上、２０ｎｍ以下の厚みのチタン酸ジルコン酸鉛を含む第２圧電体層７２を形成する。第２圧電体層７２が、下電極６０に形成された第１圧電体層７１および第２圧電体層７２上に形成される第３圧電体層７３と同じチタン酸ジルコン酸鉛なので、第１圧電体層７１と第２圧電体層７２との界面付近および第２圧電体層７２と第３圧電体層７３との界面付近で組成不安定相を生じにくくできる。 （もっと読む）